JPS58108473A - 異常電圧検出装置 - Google Patents
異常電圧検出装置Info
- Publication number
- JPS58108473A JPS58108473A JP56207411A JP20741181A JPS58108473A JP S58108473 A JPS58108473 A JP S58108473A JP 56207411 A JP56207411 A JP 56207411A JP 20741181 A JP20741181 A JP 20741181A JP S58108473 A JPS58108473 A JP S58108473A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- range
- reference voltage
- inputted
- circuit
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
- G01R19/165—Indicating that current or voltage is either above or below a predetermined value or within or outside a predetermined range of values
- G01R19/16566—Circuits and arrangements for comparing voltage or current with one or several thresholds and for indicating the result not covered by subgroups G01R19/16504, G01R19/16528, G01R19/16533
- G01R19/1659—Circuits and arrangements for comparing voltage or current with one or several thresholds and for indicating the result not covered by subgroups G01R19/16504, G01R19/16528, G01R19/16533 to indicate that the value is within or outside a predetermined range of values (window)
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、集積回路測定装置の異常電圧を検出する装置
に関するものである。
に関するものである。
一般にDCパラメトリック特性t@定する集積回路測定
装置(以下DCテスタと称す)においては、その特性を
精度よく測定する為(例えばリーク電流測定)回路の切
シ換え等にはメカニカルがリードリレーを用いている。
装置(以下DCテスタと称す)においては、その特性を
精度よく測定する為(例えばリーク電流測定)回路の切
シ換え等にはメカニカルがリードリレーを用いている。
通常のリードリレーは、そのオン、オフ動作時チャタリ
ング現象を生じ、安定に至るまでの所要時間を必要とし
、その時間はリードリレー個々にバラツキがある。又。
ング現象を生じ、安定に至るまでの所要時間を必要とし
、その時間はリードリレー個々にバラツキがある。又。
経年変化等によって劣化すると前記オン、オフ時間が次
第に長くなると共に益々リードリレー間のバラツキも大
きくなる等の欠点があった。
第に長くなると共に益々リードリレー間のバラツキも大
きくなる等の欠点があった。
かかる背景のもとにDCテスタにて被測定素子(以下D
UTと称す)のパラメ) IJラック性を測定する際、
プログラマブル電圧、電流印加源(以下DP8と称す)
から任意の電圧、電流を印加するが、尚鋏リードリレー
の動作時間が遅くなシ。
UTと称す)のパラメ) IJラック性を測定する際、
プログラマブル電圧、電流印加源(以下DP8と称す)
から任意の電圧、電流を印加するが、尚鋏リードリレー
の動作時間が遅くなシ。
テスト実行中電圧、電流レンジの切換え特等本来ならD
Cテスタ内の構成回路中、リードリレーが動作し閉回路
が形成されてから電圧電流等が印加されるべきなのに動
作ズレを起こし、リードリレーが動作する以前に電圧電
流等が印加される為異常電圧が発生し&製品の劣化ある
いは製品を破壊する恐れがあった。
Cテスタ内の構成回路中、リードリレーが動作し閉回路
が形成されてから電圧電流等が印加されるべきなのに動
作ズレを起こし、リードリレーが動作する以前に電圧電
流等が印加される為異常電圧が発生し&製品の劣化ある
いは製品を破壊する恐れがあった。
一般KICテスタは所定のII能及び精度が維持されて
いるかIC11品の測定を行う前に定期的にチェックさ
れている。又測定は第1図に示す様にまずDUTK印加
される電圧等はリレーがオン後安定してから印加され、
さらにDUTが安定した時点で判定パルスをゲート信号
とし測定、その後リレーをオフにしてからDUTの印加
電源がオフになるタイミングでテストが実行される。以
上のことからリレーのオン、オフ時1判定パルスは禁止
されておシリレーのオン、オフ動作時リレーのチャタリ
ング発生するサージ電圧は検出不可能である。これらの
点検を行うには、全DP8t−それぞれのレンジで動作
させ、オシロスコープ尋ヲ用いて目視にて点検しなけれ
ばならず1日常の点検では、多大な時間を要する為省略
し、6ケ月あるいは1年に1回の定期点検時に実施して
いるのが実状である。
いるかIC11品の測定を行う前に定期的にチェックさ
れている。又測定は第1図に示す様にまずDUTK印加
される電圧等はリレーがオン後安定してから印加され、
さらにDUTが安定した時点で判定パルスをゲート信号
とし測定、その後リレーをオフにしてからDUTの印加
電源がオフになるタイミングでテストが実行される。以
上のことからリレーのオン、オフ時1判定パルスは禁止
されておシリレーのオン、オフ動作時リレーのチャタリ
ング発生するサージ電圧は検出不可能である。これらの
点検を行うには、全DP8t−それぞれのレンジで動作
させ、オシロスコープ尋ヲ用いて目視にて点検しなけれ
ばならず1日常の点検では、多大な時間を要する為省略
し、6ケ月あるいは1年に1回の定期点検時に実施して
いるのが実状である。
本発明の目的は、これらの点検を自動的に行う検出接置
を提供し日常の点検に十分対応できることにある。
を提供し日常の点検に十分対応できることにある。
本発明は予じめDCテスタにプログラムしたDP8の出
力と基準電圧発生部で設定した基準電圧との比較を行い
DP8の出方が基準!圧以上になりた時(DP8のレン
ジ等に使用しているリードリレーのチャタリング等によ
るオーバーシェード。
力と基準電圧発生部で設定した基準電圧との比較を行い
DP8の出方が基準!圧以上になりた時(DP8のレン
ジ等に使用しているリードリレーのチャタリング等によ
るオーバーシェード。
アンダーシ為−ト発生時)表示させ、DP8の異常電圧
発生状態を知ろうとするものである。
発生状態を知ろうとするものである。
以下1図面を用いて本発明の一実施例を説明する。
第2図に、一般的なりCテスタの回路構成ブロック図を
示す。DP8101〜103はレジスタ及びラッチ回路
L□〜Ls、DAC回路り、〜Ds t−介してアンプ
回路人、〜A4 にて増幅、出力されフォースラインと
な〕、マたセンスラインはポルf−ジrhO’)−F、
〜P、、抵抗R0〜R3及びR。
示す。DP8101〜103はレジスタ及びラッチ回路
L□〜Ls、DAC回路り、〜Ds t−介してアンプ
回路人、〜A4 にて増幅、出力されフォースラインと
な〕、マたセンスラインはポルf−ジrhO’)−F、
〜P、、抵抗R0〜R3及びR。
〜凡、。を介して帰還回路が構成されている。尚、DP
81011102は電圧印加、DP83は電流印加例を
示している。又、R,〜ル、。は電流印加電源の電流レ
ンジ用の抵抗であL通常前記DrS内の電圧、電流レン
ジの切シ換えにはリードリレーが用いられている。各D
P8の電圧は、リレーマトリクス105によって印加対
象の端子が選択され、DUTの任意のピンに印加される
。
81011102は電圧印加、DP83は電流印加例を
示している。又、R,〜ル、。は電流印加電源の電流レ
ンジ用の抵抗であL通常前記DrS内の電圧、電流レン
ジの切シ換えにはリードリレーが用いられている。各D
P8の電圧は、リレーマトリクス105によって印加対
象の端子が選択され、DUTの任意のピンに印加される
。
次に本発明について説明する。第3図の破線内が本発明
の実施例の検出装置のブロック図である。
の実施例の検出装置のブロック図である。
同図中、検出回路201〜209ti各Dps1−DP
83の電圧印加(以下VFと称すン用3レンジ(201
=lVV7ジe 202 =l OVvンジ。
83の電圧印加(以下VFと称すン用3レンジ(201
=lVV7ジe 202 =l OVvンジ。
203=1pOVレンジ)分とDP84の電流印加(以
下IFと称す)用6レンジ(204=l#Av7ジt
205=10sAvy9,206=100AAレンジ
* 207=1mAレンジ* 208==10mA
レンジ、209=100mAレンジ)分に対応する9回
路である。負荷抵抗213−1〜213−30内021
3−2 及び213−3 i;i、VFO各しyジの電
圧がフルスケール出力した時、検出電圧が同一レベルに
なる様に抵抗分割され、又、負荷抵抗213−4〜21
3−9紘IF時各電流レンジでフォースした個々の電流
値の検出電圧が同一になるように各レンジに対して抵抗
値を選らび、各負荷抵抗の一方はDCテスタのGNDラ
インに継がれる。各負荷抵抗における検出電圧はウィン
ドコンパレータ一部210−1〜210−9に入力され
。
下IFと称す)用6レンジ(204=l#Av7ジt
205=10sAvy9,206=100AAレンジ
* 207=1mAレンジ* 208==10mA
レンジ、209=100mAレンジ)分に対応する9回
路である。負荷抵抗213−1〜213−30内021
3−2 及び213−3 i;i、VFO各しyジの電
圧がフルスケール出力した時、検出電圧が同一レベルに
なる様に抵抗分割され、又、負荷抵抗213−4〜21
3−9紘IF時各電流レンジでフォースした個々の電流
値の検出電圧が同一になるように各レンジに対して抵抗
値を選らび、各負荷抵抗の一方はDCテスタのGNDラ
インに継がれる。各負荷抵抗における検出電圧はウィン
ドコンパレータ一部210−1〜210−9に入力され
。
基準電圧発生部214で予じめ定めた基準電圧と比較さ
れ、その判定結果がメモリ部211−1〜21・1−9
に記憶され、その出力情帳が嵌示部212−1〜21
2−9 で表示される電源部215は本検出装置の電源
部であLテスト中信号216゜テストスタート信号21
7はDCテスタの制御回路106から取シ出した信号で
前記メモリ部211へ供給されコントロール信号として
使用する。
れ、その判定結果がメモリ部211−1〜21・1−9
に記憶され、その出力情帳が嵌示部212−1〜21
2−9 で表示される電源部215は本検出装置の電源
部であLテスト中信号216゜テストスタート信号21
7はDCテスタの制御回路106から取シ出した信号で
前記メモリ部211へ供給されコントロール信号として
使用する。
第4図は本実施例の回路の詳細を説明するために、DP
8のルンジに対応する201 t−抜き出した図である
。tず、DP8にて出力された電圧はりレーマトリクス
を経由し、負荷抵抗213−IK入クシ検出部210ウ
ィンドコンパレータCOMI、C0M2に入力される。
8のルンジに対応する201 t−抜き出した図である
。tず、DP8にて出力された電圧はりレーマトリクス
を経由し、負荷抵抗213−IK入クシ検出部210ウ
ィンドコンパレータCOMI、C0M2に入力される。
又、基準電圧発生部214で作られた基準電圧はウイン
ドコンパレータCOMI、C0M2の基準電圧として入
力される。そして前記DP8の各レンジ回路を構成する
リードリレーのチャタリングの影響によシ発生した異常
電圧は予じめ設定された電圧+v、−V1よシ大きいと
その出力はハイレベルとなLORゲート回路を経由し、
ANDゲート回路のl入力に入シ、又ANDゲート回路
の他方入力はテスト実行中ノイズ岬の影響によ)、動作
しない様第5図に示す様にテスト中だけゲートを開ける
為の信号216が入力される。前記ANDゲート回路の
出力は、フリップフロップ回路F/F K入力されセッ
トされると発光−子211が表示される。
ドコンパレータCOMI、C0M2の基準電圧として入
力される。そして前記DP8の各レンジ回路を構成する
リードリレーのチャタリングの影響によシ発生した異常
電圧は予じめ設定された電圧+v、−V1よシ大きいと
その出力はハイレベルとなLORゲート回路を経由し、
ANDゲート回路のl入力に入シ、又ANDゲート回路
の他方入力はテスト実行中ノイズ岬の影響によ)、動作
しない様第5図に示す様にテスト中だけゲートを開ける
為の信号216が入力される。前記ANDゲート回路の
出力は、フリップフロップ回路F/F K入力されセッ
トされると発光−子211が表示される。
又、フリップフロップ回路P/Fのリセット入力は図中
のテストスタート信号217でこのF/Fをクリアする
為のものである。
のテストスタート信号217でこのF/Fをクリアする
為のものである。
第6図は、実際に本回路を接続し、テストを実行するた
めのプログラムの一例を示す図である。
めのプログラムの一例を示す図である。
まず、IPINKIVレンジ用検出回路を液検出回路P
INにIOV用・−−−−・9 P I Nに100m
A vンジ用を順次接続しておく。lテスト目にて、
1PINKDP81(DIVしyジ、2PINKDP8
2010Vvyジ、3PINKDP83の100Vレン
ジをプログラムし、2テストにて1PINにDP82の
IVレンジ、2PINにDP83の10Vしyジ、3P
INにDP81O100Vvy9t3?x)Kて、IP
INKDP8aolVレンジをプログラムする。4テス
トにて1PINにDP84のIVレンジ、5テストにて
2PINにDP84のIOVレンジ、6テストにて3P
INにDP84の100■レンジ、7テスト、4PIN
KDPS4のl#Aレンジ、8テスト、5PINにDP
84の10μAレンジ、・・・・・・12テス)9PI
NKDP84の100mA レンジが継がる様同様にプ
ログラムし、テストを実行すると全DP8の全レンジの
チェックを自動的に行うことができる。第7図は、第6
図中のプログラムでlテストt−実行した時の、リレー
マトリクスの動作と負荷抵抗の接ぎ方を示す図である。
INにIOV用・−−−−・9 P I Nに100m
A vンジ用を順次接続しておく。lテスト目にて、
1PINKDP81(DIVしyジ、2PINKDP8
2010Vvyジ、3PINKDP83の100Vレン
ジをプログラムし、2テストにて1PINにDP82の
IVレンジ、2PINにDP83の10Vしyジ、3P
INにDP81O100Vvy9t3?x)Kて、IP
INKDP8aolVレンジをプログラムする。4テス
トにて1PINにDP84のIVレンジ、5テストにて
2PINにDP84のIOVレンジ、6テストにて3P
INにDP84の100■レンジ、7テスト、4PIN
KDPS4のl#Aレンジ、8テスト、5PINにDP
84の10μAレンジ、・・・・・・12テス)9PI
NKDP84の100mA レンジが継がる様同様にプ
ログラムし、テストを実行すると全DP8の全レンジの
チェックを自動的に行うことができる。第7図は、第6
図中のプログラムでlテストt−実行した時の、リレー
マトリクスの動作と負荷抵抗の接ぎ方を示す図である。
この様に本発明によれば、各DPSの全レンジの日常点
検が可能にな、a、SS品の劣fヒ及び破壊等を未然に
防止することができ、その効果は大きい。
検が可能にな、a、SS品の劣fヒ及び破壊等を未然に
防止することができ、その効果は大きい。
第1図はDOテスタのタイミング信号を示す図。
諮2図はDCテスタのDPS部及びリレーマトリクス部
を示す図、第3図はDCテスタ及び本発明のブロック図
を、示す図、第4図は本発明実施例の回路を示す図、第
5図はDCテスタのタイミング信号を示す図、第6図は
プログラムの実施例を示す図、第7図はりレーマトリク
スのリードリレーのオン状!1を示す図、である。 なシ図中罠於いて% 101,102,103・・・・
・・DP8,105・・・・・・リレーマトリクス%L
□。 L、、L、・・・・・・レジスタ及びラッチ回路、Dl
。 DD ・・・・・・D/Aコンバータ% F、、F、
、F。 21 S ・・・・・・ボルテージホロワ−1Rユ〜凡自* l(
1g+〜凡、。 ・・・・・・レンジ切シ換え用抵抗、A1.ムs* A
so A4・・・・・・アンプ回路k ’Lm” !J
・・・・・・リードリレー。 106・・・・・・DCテスタの制御回路、201〜2
05゜209・・・・・・検出回路部、210−1〜2
10 5*210−9 ・・・・・・検出部、213−
1〜213−5゜213−9 ・・・・・・負荷抵抗
、211−1〜211−5゜211−9 ・・・・・
・メモリ部、212−1〜212−5゜212−9 ・
・・・・・聚示部、214・・・・・・基準電圧発生部
、215・・・・・・電源部、216・・・・・・テス
ト中信号。 2i7・・・・・・テストスタート信号、である。 V7手1 テス)3 ゛・、 〜3、 串(回 殆1図 ?−7図
を示す図、第3図はDCテスタ及び本発明のブロック図
を、示す図、第4図は本発明実施例の回路を示す図、第
5図はDCテスタのタイミング信号を示す図、第6図は
プログラムの実施例を示す図、第7図はりレーマトリク
スのリードリレーのオン状!1を示す図、である。 なシ図中罠於いて% 101,102,103・・・・
・・DP8,105・・・・・・リレーマトリクス%L
□。 L、、L、・・・・・・レジスタ及びラッチ回路、Dl
。 DD ・・・・・・D/Aコンバータ% F、、F、
、F。 21 S ・・・・・・ボルテージホロワ−1Rユ〜凡自* l(
1g+〜凡、。 ・・・・・・レンジ切シ換え用抵抗、A1.ムs* A
so A4・・・・・・アンプ回路k ’Lm” !J
・・・・・・リードリレー。 106・・・・・・DCテスタの制御回路、201〜2
05゜209・・・・・・検出回路部、210−1〜2
10 5*210−9 ・・・・・・検出部、213−
1〜213−5゜213−9 ・・・・・・負荷抵抗
、211−1〜211−5゜211−9 ・・・・・
・メモリ部、212−1〜212−5゜212−9 ・
・・・・・聚示部、214・・・・・・基準電圧発生部
、215・・・・・・電源部、216・・・・・・テス
ト中信号。 2i7・・・・・・テストスタート信号、である。 V7手1 テス)3 ゛・、 〜3、 串(回 殆1図 ?−7図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 集積回路測定装置に於いて、プログラマブル電圧電流印
加源の各電圧電流レンジ数に対応させ。 任意のデバイスピンを選択し、前記プログラマブル電圧
電流印加源からレンジに対応した、電圧。 電流を前記デバイスピンKm続した負荷抵抗に印加し、
l*低抵抗検出電圧と予め定めた基準電圧値とを比較判
定し、その結果を不嵐メモリに記憶させ過渡的に発生す
る異常電圧を自動的に検出することを特徴とする異常電
圧検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56207411A JPS58108473A (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 異常電圧検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56207411A JPS58108473A (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 異常電圧検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58108473A true JPS58108473A (ja) | 1983-06-28 |
Family
ID=16539291
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56207411A Pending JPS58108473A (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 異常電圧検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58108473A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0682258A1 (en) * | 1994-05-09 | 1995-11-15 | Ciba Corning Diagnostics Corp. | Obstruction detection circuit for sample probe |
-
1981
- 1981-12-22 JP JP56207411A patent/JPS58108473A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0682258A1 (en) * | 1994-05-09 | 1995-11-15 | Ciba Corning Diagnostics Corp. | Obstruction detection circuit for sample probe |
US5503036A (en) * | 1994-05-09 | 1996-04-02 | Ciba Corning Diagnostics Corp. | Obstruction detection circuit for sample probe |
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