JPS58100844A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
感光性樹脂組成物Info
- Publication number
- JPS58100844A JPS58100844A JP20072481A JP20072481A JPS58100844A JP S58100844 A JPS58100844 A JP S58100844A JP 20072481 A JP20072481 A JP 20072481A JP 20072481 A JP20072481 A JP 20072481A JP S58100844 A JPS58100844 A JP S58100844A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive resin
- resin composition
- weight
- parts
- adhesion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/085—Photosensitive compositions characterised by adhesion-promoting non-macromolecular additives
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は感光性樹脂組成物に関する。
更に詳しくは１例えば印刷配線板の製造、金属精密加工
等に用いられるエツチングレジスト。
等に用いられるエツチングレジスト。
めっきレジスト等の目的とする基材に対する加工が終っ
た後に基材１・り除去することを目的として用いられる
感光性樹脂組成物に関する。
た後に基材１・り除去することを目的として用いられる
感光性樹脂組成物に関する。
印刷配線板の製造、金属精密加工等の分野において、エ
ツチング、めっき等の基材の化学的。
ツチング、めっき等の基材の化学的。
電気的手法全周いての加工、変性の際に、レジスト材料
として感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性エレ
メントを使用することは公知である。感光性エレメント
としては、支持体上に感光性樹脂組成物を積層したもの
が広く使用されている。
として感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性エレ
メントを使用することは公知である。感光性エレメント
としては、支持体上に感光性樹脂組成物を積層したもの
が広く使用されている。
このような感光性樹脂組成物およびこれを用い良悪光性
エレメントに要求される特性としては、エツチングレジ
スト又はめつきレジストとして使用に耐えうる充分な耐
楽品性および基材との密着性が要求されている。特に、
近年印刷配線板の分野においては１回路の高密度化が進
み、これらの用途に使用する感光性樹脂組成物およびこ
れを用いた感光性ニレメン）Ｋは、更に密着性の優れた
ものが要求されている。
エレメントに要求される特性としては、エツチングレジ
スト又はめつきレジストとして使用に耐えうる充分な耐
楽品性および基材との密着性が要求されている。特に、
近年印刷配線板の分野においては１回路の高密度化が進
み、これらの用途に使用する感光性樹脂組成物およびこ
れを用いた感光性ニレメン）Ｋは、更に密着性の優れた
ものが要求されている。
一方、これらの用途１例えばめっき又はエツチング加工
では、加工終了後その目的の九めに用い九エツチングレ
ジスト又はめつきレジストをすみやかに基材上から除去
するのが通例である。使用済みレジストの剥離には、有
機溶剤を用いることが多いが、基材には熱硬化性樹脂積
層物が使用されていることが多く、有機溶剤はこのよう
な基材をおかす傾向がある。このためレジストの除去壕
九は剥離にこれら有機溶剤を用いる場合は短時間の処理
が必要である。
では、加工終了後その目的の九めに用い九エツチングレ
ジスト又はめつきレジストをすみやかに基材上から除去
するのが通例である。使用済みレジストの剥離には、有
機溶剤を用いることが多いが、基材には熱硬化性樹脂積
層物が使用されていることが多く、有機溶剤はこのよう
な基材をおかす傾向がある。このためレジストの除去壕
九は剥離にこれら有機溶剤を用いる場合は短時間の処理
が必要である。
また、剥離後に続いて新友なめつき、エツチング勢の１
鵬をうけることもあプ、剥離はこれらの工１ｉＫ悪影譬
を及ぼしてはならず完全な剥離が要求される。
鵬をうけることもあプ、剥離はこれらの工１ｉＫ悪影譬
を及ぼしてはならず完全な剥離が要求される。
しかし、先に述べたエツチング又はめつき加工Ｋｌ！求
される密着性と剥離における完全剥離性とは相反する面
があり、密着性の優れ九しジスト程、剥離が困難になる
傾向がある。
される密着性と剥離における完全剥離性とは相反する面
があり、密着性の優れ九しジスト程、剥離が困難になる
傾向がある。
めっきレジストの場合９幅広いめっき条件に対応するた
めに、密着付与剤の使用が一般的である。例えば特公昭
５０−９１７７号公報には密着性付与剤としてベンゾト
リアゾールに代表される芳香族複素環化合物が、！ｌｉ
８昭５３−７０２号公報には２−メルカプトベンゾチア
ゾール誘導体が、特公昭５５−２２４８１号公報にはベ
ンゾトリアゾール誘導体の塩酸塩が開示されてｂる。
めに、密着付与剤の使用が一般的である。例えば特公昭
５０−９１７７号公報には密着性付与剤としてベンゾト
リアゾールに代表される芳香族複素環化合物が、！ｌｉ
８昭５３−７０２号公報には２−メルカプトベンゾチア
ゾール誘導体が、特公昭５５−２２４８１号公報にはベ
ンゾトリアゾール誘導体の塩酸塩が開示されてｂる。
しかし、これら密着性付与剤を使用した場合。
例えばベンゾトリアゾール類を密着性付与剤として使用
した場合、剥離後に基材上に赤色の変色を残す傾向があ
る。同様の観察が特開昭５５−６５２０２号公報、４！
開昭５５−６５２０３号公報でもなされている。このよ
うな変色は後のエツチング、めっｔ１勢の工程に悪影響
を与える０例えばエツチングの際の金属を不十分にエツ
チングさせて残金としたり、めつきにおいてはめつき析
出むら、めっき層間剥離等の問題を起こす場合がある。
した場合、剥離後に基材上に赤色の変色を残す傾向があ
る。同様の観察が特開昭５５−６５２０２号公報、４！
開昭５５−６５２０３号公報でもなされている。このよ
うな変色は後のエツチング、めっｔ１勢の工程に悪影響
を与える０例えばエツチングの際の金属を不十分にエツ
チングさせて残金としたり、めつきにおいてはめつき析
出むら、めっき層間剥離等の問題を起こす場合がある。
これら鋼面の変色１着色の原因は不明であるが、銅とこ
れら密着性付与剤との好ましく表い反応によるものと推
定される。
れら密着性付与剤との好ましく表い反応によるものと推
定される。
本発明はこれら公知の密着性付与剤の欠点ｒ鑑み、上記
赤色変色を発生しない密着性付与剤について鋭意研究し
九結果９本発明に達した。
赤色変色を発生しない密着性付与剤について鋭意研究し
九結果９本発明に達した。
即ち９本発明はエチレン性不飽和化合物、活性線により
遊離基を発生する開始剤及びフィルム性付与ポリマーを
含む感光性樹脂組成物において９式（１） ｂ、Ｒｔ、ＲｍはＨ又は炭素数１〜１２のアルキル基で
Ｒ１と−は同一でも異なってもよい）で示されるトリア
ジン・ジチオール誘導体を、感光性樹脂組成物１００重
量部に対し０．００１〜５重量部含有してなる感光性樹
脂組成物に関する。
遊離基を発生する開始剤及びフィルム性付与ポリマーを
含む感光性樹脂組成物において９式（１） ｂ、Ｒｔ、ＲｍはＨ又は炭素数１〜１２のアルキル基で
Ｒ１と−は同一でも異なってもよい）で示されるトリア
ジン・ジチオール誘導体を、感光性樹脂組成物１００重
量部に対し０．００１〜５重量部含有してなる感光性樹
脂組成物に関する。
これらの化合物を密着性付与剤として用いるととＫより
、前述の赤色変色を代表例とする銅面の好ましくない変
色１着色を防止し、かつ。
、前述の赤色変色を代表例とする銅面の好ましくない変
色１着色を防止し、かつ。
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントの
密着性を向上できる。
密着性を向上できる。
本発明に用いられる密着性付与剤として用いられる式（
１）で示されるトリアジン・ジチオール誘導体としては
９例えばｉ−）リアジン−λ４６−ドリチオール、ジア
リルアミノ−１，＆５）リアジンース４ジチオール、ジ
メチルアミン−１，３，５）リアジン−λ４ジチオール
、ジブチルアミノ−１，＆５）リアジン−＆４ジチオー
ル。
１）で示されるトリアジン・ジチオール誘導体としては
９例えばｉ−）リアジン−λ４６−ドリチオール、ジア
リルアミノ−１，＆５）リアジンース４ジチオール、ジ
メチルアミン−１，３，５）リアジン−λ４ジチオール
、ジブチルアミノ−１，＆５）リアジン−＆４ジチオー
ル。
ベンゾアミノ−１，３，５）リアジン２．４ジチオール
等が挙げられる。これらトリアジン・ジチオール誘導体
の配合量は感光性樹脂組成物１００重量部に対して０．
００１〜５重量部、好ましくはα００５〜１重量部とさ
れる。これはへ００１重景部よシ少ない場合は密着性向
上に対する効果がなく、５重量部より多い場合は感光性
樹脂組成物の重合を阻害し、硬化速度に悪影響を与える
からである。
等が挙げられる。これらトリアジン・ジチオール誘導体
の配合量は感光性樹脂組成物１００重量部に対して０．
００１〜５重量部、好ましくはα００５〜１重量部とさ
れる。これはへ００１重景部よシ少ない場合は密着性向
上に対する効果がなく、５重量部より多い場合は感光性
樹脂組成物の重合を阻害し、硬化速度に悪影響を与える
からである。
本発明の感光性樹脂組成物に含まれるその他の成分にり
いては何ら制限なく、既に知られている化合物を用いる
ことができる。
いては何ら制限なく、既に知られている化合物を用いる
ことができる。
エチレン性不飽和化合物としては９例えばトＩＪ メ？
６−ルプ四パントリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリアクリレート、Ｌ６−ヘキサンジオールジアク
リレート、ス２−ビス（４−メタクリロキシエトキシフ
ェニル）プロパン。
６−ルプ四パントリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリアクリレート、Ｌ６−ヘキサンジオールジアク
リレート、ス２−ビス（４−メタクリロキシエトキシフ
ェニル）プロパン。
λ２−ビス（４−アクリロキシエトキシフェニル）フロ
パン、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ト
リメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロ
ールプロパントリグリシジルエーテルのアクリル酸又は
メタクリル酸付加物、ビスフェノールＡ−エピクロルヒ
ドリン系エポキシ樹脂のアクリル酸又はメタクリル酸付
加物、無水フタル酸−ネオペンチルグリコール−アクリ
ル酸の１ ：１ ：２付加物等の低分子不飽和ポリエス
テル、ジエチレングリコールジアクリレート、ナト２エ
チＶングリコールジアクリレート、ノナエチレングリコ
ールジアクリレート、ポリエチレングリコール（分子量
約４００〜６００）ジ・アクリレート、テトラエチレン
グリコールジメタクリレート、ノナエチレンジメタクリ
レート等が挙げられる。
パン、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ト
リメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロ
ールプロパントリグリシジルエーテルのアクリル酸又は
メタクリル酸付加物、ビスフェノールＡ−エピクロルヒ
ドリン系エポキシ樹脂のアクリル酸又はメタクリル酸付
加物、無水フタル酸−ネオペンチルグリコール−アクリ
ル酸の１ ：１ ：２付加物等の低分子不飽和ポリエス
テル、ジエチレングリコールジアクリレート、ナト２エ
チＶングリコールジアクリレート、ノナエチレングリコ
ールジアクリレート、ポリエチレングリコール（分子量
約４００〜６００）ジ・アクリレート、テトラエチレン
グリコールジメタクリレート、ノナエチレンジメタクリ
レート等が挙げられる。
ま九、活性線により遊離基を発生する開始剤についても
何ら制限はなく、従来知られている化合物を用いること
ができる。例えばベンゾフェノン、ｐ、ｐ−ジメチルア
ミノベンゾフェノン。
何ら制限はなく、従来知られている化合物を用いること
ができる。例えばベンゾフェノン、ｐ、ｐ−ジメチルア
ミノベンゾフェノン。
ｐ、ｐ−ジＩロルペンゾフエノン等のベンゾフェノン類
、これ等の混合物、２−エチルアントラキノン、２−ｔ
ブチルアントラキノン等のアントラキノ７類、２−りａ
ロチオキサントン、ベンゾイン、ベンゾインアルキルエ
ーテル、ベンジル、λ４５−トリアリールイミダゾール
２量体等が挙げられる。
、これ等の混合物、２−エチルアントラキノン、２−ｔ
ブチルアントラキノン等のアントラキノ７類、２−りａ
ロチオキサントン、ベンゾイン、ベンゾインアルキルエ
ーテル、ベンジル、λ４５−トリアリールイミダゾール
２量体等が挙げられる。
フィルム性付与ポリマーとしては０例えばポリメチルメ
タクリレート、メチルメタクリレート−エチルアクリレ
ート共重合体等のメタクリル酸エステル類、アクリル酸
エステル類の重合体又は共重合体、ポリスチレン、スチ
レン−メタクリル酸エステル共重合体、ポリビニルホル
マール、ホリヒニルプチラール、セルロースアセテート
ブチレートなどの高分子ポリマーが目的に応じて使用さ
れる。
タクリレート、メチルメタクリレート−エチルアクリレ
ート共重合体等のメタクリル酸エステル類、アクリル酸
エステル類の重合体又は共重合体、ポリスチレン、スチ
レン−メタクリル酸エステル共重合体、ポリビニルホル
マール、ホリヒニルプチラール、セルロースアセテート
ブチレートなどの高分子ポリマーが目的に応じて使用さ
れる。
なお１本発明の感光性樹脂組成物には必要に応じて、そ
の他の添加剤として染料、可ソ剤。
の他の添加剤として染料、可ソ剤。
顔料、離燃剤、安定剤等を添加してもよい。
以下１本発明を実施例および比較例によ）説明する。部
とあるのは重量部である。
とあるのは重量部である。
実施例および比較例
囚 次に示す配合により感光性樹脂組成物を調整した（
乾燥重量６００部）。
乾燥重量６００部）。
ポリメチルメタクリレート １６７Ｇ（部）ペンタ
エリスリトールトリアクリレート ２５０ノナエチレン
グリコールジアクリレー） １５０ベンゾフエノン
４ｓミヒラーケトン
６２７２−メチレンビス（４−メチル−６６−
１−ブチルフェノール） マラカイトグリーン Ｏ，ｓロイコク
リスタルバイオレット ５四臭化炭素
１２メチルエチルケトン、
３００上記組成物を各２５０ Ｐｆずつと９．
それぞれにつき表１に示す配合をした。
エリスリトールトリアクリレート ２５０ノナエチレン
グリコールジアクリレー） １５０ベンゾフエノン
４ｓミヒラーケトン
６２７２−メチレンビス（４−メチル−６６−
１−ブチルフェノール） マラカイトグリーン Ｏ，ｓロイコク
リスタルバイオレット ５四臭化炭素
１２メチルエチルケトン、
３００上記組成物を各２５０ Ｐｆずつと９．
それぞれにつき表１に示す配合をした。
（単位はＰｆである）
表１に示す配合物を、それぞれ厚さ２３μｍヲ有スるポ
リエチレンテレフタレートフィルム上にナイフコーター
で塗工・乾燥し、膜厚５０μｍを有する感光性エレメン
トを作成し丸。次に、ｇ光性エレメントをスコッチプラ
イトで清浄に研磨し九２００ｍ１１１Ｘ２５０１１１の
銅張積層板上に、１６５℃に加熱したゴムロールで圧着
し。
リエチレンテレフタレートフィルム上にナイフコーター
で塗工・乾燥し、膜厚５０μｍを有する感光性エレメン
トを作成し丸。次に、ｇ光性エレメントをスコッチプラ
イトで清浄に研磨し九２００ｍ１１１Ｘ２５０１１１の
銅張積層板上に、１６５℃に加熱したゴムロールで圧着
し。
試料片とした。
これらの試料片を室温下で３０分放置し、所定の回路パ
ターンを有するネガを通し真空焼きわくの中で減圧しな
がら露光しえ。露光はオーク社製ＨＭＷ−２０００露光
機を用い、２５ｍＪ／ｄの露光量で行なった。露光後３
０分放置し、１゜１．１−）リフ買ルエタンを現偉液と
して、６０秒間スプレー現漬し九。得られた回路パター
ンを有する試料片を室温下で３日放置後、剥離液塩化メ
チレン中に２分間浸漬、水洗し銅表面の変色、４Ｉに赤
色変色の有無について観察し丸。
ターンを有するネガを通し真空焼きわくの中で減圧しな
がら露光しえ。露光はオーク社製ＨＭＷ−２０００露光
機を用い、２５ｍＪ／ｄの露光量で行なった。露光後３
０分放置し、１゜１．１−）リフ買ルエタンを現偉液と
して、６０秒間スプレー現漬し九。得られた回路パター
ンを有する試料片を室温下で３日放置後、剥離液塩化メ
チレン中に２分間浸漬、水洗し銅表面の変色、４Ｉに赤
色変色の有無について観察し丸。
結果を表２に示す。
実施例１〜２．比較例１は清浄な銅面を再び露出したが
、比較例２は感光層硬化物が接着してい大部分に回路パ
ターンそのｉｔの赤色変色模様が認められた。
、比較例２は感光層硬化物が接着してい大部分に回路パ
ターンそのｉｔの赤色変色模様が認められた。
この実施例から、會°着性付与剤として用いたベンゾト
リアゾールは鋼面を変色させるが９本発明の実施例１〜
２の感光性樹脂組成物を用い九試料片は銅面に対し、悪
影響は及ぼしていないことがわかる。
リアゾールは鋼面を変色させるが９本発明の実施例１〜
２の感光性樹脂組成物を用い九試料片は銅面に対し、悪
影響は及ぼしていないことがわかる。
（Ｂ） 実施例１〜２．比較例１〜２で得た試料片を
用い、（３）と同様の露光・現儂を行なって得られた回
路パターンを有する試料片に表３に示す条件でピロ銅、
半田めっきを行なった。結果を表４に示す。
用い、（３）と同様の露光・現儂を行なって得られた回
路パターンを有する試料片に表３に示す条件でピロ銅、
半田めっきを行なった。結果を表４に示す。
表 ３ めっき条件
表４
めっき評価
Ｏもぐりなし
× レジスト浮き、全面もぐプ
表４の結果から、実施例１〜２に用いえ化合物は、密着
性付与剤としての効果を有することが示される。
性付与剤としての効果を有することが示される。
Claims (1)
- エチレン性不飽和化合物、活性線によシ遊離基を発生す
る開始剤及びフィルム性付与ポリマーを含む感光性樹脂
組成物において９式（１）り、Ｒ，、ＲｆＨＨ又は炭素
数１〜１２のアルキル基で、Ｒ１とＲ１は同一でも異な
ってもよい。）で示されるトリアジン・ジチオール誘導
体を感光性樹脂組成物１００重量部に対して０．００１
〜５重量部含有してなる感光性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20072481A JPS58100844A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20072481A JPS58100844A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58100844A true JPS58100844A (ja) | 1983-06-15 |
Family
ID=16429135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20072481A Pending JPS58100844A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58100844A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59152439A (ja) * | 1983-02-18 | 1984-08-31 | Daicel Chem Ind Ltd | 金属に対する接着性の改善された感光性組成物 |
| JPS59154440A (ja) * | 1983-02-21 | 1984-09-03 | Daicel Chem Ind Ltd | 光硬化性樹脂組成物 |
| JPH05158240A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-06-25 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | フォトソルダーレジスト組成物 |
| CN105425543A (zh) * | 2014-09-12 | 2016-03-23 | 住友化学株式会社 | 固化性树脂组合物 |
-
1981
- 1981-12-11 JP JP20072481A patent/JPS58100844A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59152439A (ja) * | 1983-02-18 | 1984-08-31 | Daicel Chem Ind Ltd | 金属に対する接着性の改善された感光性組成物 |
| JPS59154440A (ja) * | 1983-02-21 | 1984-09-03 | Daicel Chem Ind Ltd | 光硬化性樹脂組成物 |
| JPH05158240A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-06-25 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | フォトソルダーレジスト組成物 |
| CN105425543A (zh) * | 2014-09-12 | 2016-03-23 | 住友化学株式会社 | 固化性树脂组合物 |
| JP2016056323A (ja) * | 2014-09-12 | 2016-04-21 | 住友化学株式会社 | 硬化性樹脂組成物 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100191177B1 (ko) | 감광성 수지 조성물 및 그를 이용한 감광 소자 | |
| US4741987A (en) | Photopolymerizable composition including benzotriazole carboxylic acid | |
| JP3750101B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及びプリント配線板 | |
| KR970009609B1 (ko) | 가교 경화형 수지 조성물 | |
| US4572888A (en) | Photopolymerizable composition with adhesion improving additive | |
| JPS60208748A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体 | |
| US3376138A (en) | Photosensitive prepolymer composition and method | |
| JPS6250832A (ja) | 光硬化性フオトレジスト層のストリツピング法 | |
| JPS645691B2 (ja) | ||
| JPS58100844A (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JPH0635190A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体 | |
| JPH06236031A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント | |
| US4980266A (en) | Photosensitive resin composition | |
| JPS61201237A (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JP2677916B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント | |
| JP3419744B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法 | |
| JP2019002978A (ja) | ポジ型感光性レジスト | |
| JP2596089B2 (ja) | 感光性樹脂組成物および感光性樹脂組成物積層体 | |
| JPH0113089B2 (ja) | ||
| JP3173191B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント | |
| JPH02311846A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性積層体 | |
| JP3111641B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム | |
| JP2000338659A (ja) | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法 | |
| JPS6398651A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性積層体 | |
| JPH02103050A (ja) | メッキ及びエッチング用レジストの形成方法 |