JPH1197967A - 弾性表面波一方向性変換器と電子装置 - Google Patents
弾性表面波一方向性変換器と電子装置Info
- Publication number
- JPH1197967A JPH1197967A JP29765697A JP29765697A JPH1197967A JP H1197967 A JPH1197967 A JP H1197967A JP 29765697 A JP29765697 A JP 29765697A JP 29765697 A JP29765697 A JP 29765697A JP H1197967 A JPH1197967 A JP H1197967A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- electrode
- parallel
- electronic device
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】本発明は新たな構造の一方向弾性表面波変換器
に関するものであり、良好な変換特性をもつ一方向弾性
表面波を得ることを目的としている。 【解決手段】本発明はソリット型の数対のすだれ状電極
とソリット型のグレーティング型の反射器を配置した構
造の電極を一組として、これらの組を各組からの弾性表
面波が同位相で加えられるように配置した新たな一方向
弾性表面波変換器及びスプリアス特性を抑圧した構造の
変換器である。
に関するものであり、良好な変換特性をもつ一方向弾性
表面波を得ることを目的としている。 【解決手段】本発明はソリット型の数対のすだれ状電極
とソリット型のグレーティング型の反射器を配置した構
造の電極を一組として、これらの組を各組からの弾性表
面波が同位相で加えられるように配置した新たな一方向
弾性表面波変換器及びスプリアス特性を抑圧した構造の
変換器である。
Description
【産業上の利用分野】本発明は正規型の数対からなるす
だれ状電極弾性表面波変換器と反射電極からなる電極を
一単位として、これらの電極を同じ位相となるように数
組配置した構造の一方向性の弾性表面波変換器及びこれ
らの変換器を用いた電子装置に関する。
だれ状電極弾性表面波変換器と反射電極からなる電極を
一単位として、これらの電極を同じ位相となるように数
組配置した構造の一方向性の弾性表面波変換器及びこれ
らの変換器を用いた電子装置に関する。
【従来技術】従来のすだれ状電極弾性表面波変換器は、
両方向性のため、低損失の弾性表面波変換器は得られな
かった。また、この難点を解決する方法として、一方向
弾性表面波変換器が種々提案されている。本発明の類似
の構造として、Ｍ．Ｌｅｗｉｓらの方法（ＩＥＥＥ Ｕ
ｌｔｒａｓｏｎ．Ｓｙｍｐ．Ｐｒｏｃ．Ｖｏｌ．２，ｐ
ｐ．１５８７−１５９０（１９８６））が提案されてい
るが、励振電極として、λ／８のダブル電極が用いられ
ているため、励振電極の効率が悪い。本発明はそれらの
欠点を取り除いた構造である。
両方向性のため、低損失の弾性表面波変換器は得られな
かった。また、この難点を解決する方法として、一方向
弾性表面波変換器が種々提案されている。本発明の類似
の構造として、Ｍ．Ｌｅｗｉｓらの方法（ＩＥＥＥ Ｕ
ｌｔｒａｓｏｎ．Ｓｙｍｐ．Ｐｒｏｃ．Ｖｏｌ．２，ｐ
ｐ．１５８７−１５９０（１９８６））が提案されてい
るが、励振電極として、λ／８のダブル電極が用いられ
ているため、励振電極の効率が悪い。本発明はそれらの
欠点を取り除いた構造である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本方法は、新たな構造
のソリット型の励振電極と反射器も含めた構造のグルー
プ型の一方向弾性表面波を得ることにより、励振及び受
信効率の良い弾性表面波一方向性を得る方法に関するも
のである。
のソリット型の励振電極と反射器も含めた構造のグルー
プ型の一方向弾性表面波を得ることにより、励振及び受
信効率の良い弾性表面波一方向性を得る方法に関するも
のである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上述したごとき
従来の欠陥を除去すべくなされたものであって、ソリッ
ト型のすだれ状電極とグレーティング型の反射器を配置
した一方向弾性表面波変換器に関するものである。
従来の欠陥を除去すべくなされたものであって、ソリッ
ト型のすだれ状電極とグレーティング型の反射器を配置
した一方向弾性表面波変換器に関するものである。
【０００５】
【実施例１】圧電性基板或いは圧電性薄膜をもつ基板或
いは圧電性をもつ半導体基板の上に、ソリット型の数対
からなるすだれ状電極弾性表面波変換器を作製した後、
弾性表面波の前進伝搬方向と反対の位置に短絡或いは開
放型のグレーティング状の反射電極を配置し、この反射
電極の弾性表面波とすだれ状電極により励振される弾性
表面波が、前進方向には同位相となり、後退方向には逆
位相になるようにした電極を一単位として、これらの電
極を同じ位相となるように数組から数１０組配置した構
造の一方向性弾性表面波変換器及びこれらの変換器を用
いた電子装置が実施例の１である。
いは圧電性をもつ半導体基板の上に、ソリット型の数対
からなるすだれ状電極弾性表面波変換器を作製した後、
弾性表面波の前進伝搬方向と反対の位置に短絡或いは開
放型のグレーティング状の反射電極を配置し、この反射
電極の弾性表面波とすだれ状電極により励振される弾性
表面波が、前進方向には同位相となり、後退方向には逆
位相になるようにした電極を一単位として、これらの電
極を同じ位相となるように数組から数１０組配置した構
造の一方向性弾性表面波変換器及びこれらの変換器を用
いた電子装置が実施例の１である。
【実施例２】図１或いは図２に示すように、圧電性基板
或いは圧電性薄膜をもつ基板或いは圧電性をもつ半導体
基板１の上に、電極幅がほぼλ／４（λは、弾性表面波
の基本動作における波長）である数対からなるすだれ状
電極弾性表面波変換器２を作製した後、弾性表面波の伝
搬方向と反対の位置に開放型３或いは短絡型４の電極幅
がほぼλ／４からなるグレーティング状の反射電極を配
置し、励振電極と反射電極の間隔Δが、前進方向では励
振波と反射波が同じ位相になるように、後退方向では反
対位相になるように、０．２λから０．８λの範囲にあ
る電極を一単位として、これらの電極を同じ位相となる
ように数組から数１０組配置した構造の一方向性弾性表
面波変換器及びこれらの変換器を用いた電子装置が実施
例の２である。
或いは圧電性薄膜をもつ基板或いは圧電性をもつ半導体
基板１の上に、電極幅がほぼλ／４（λは、弾性表面波
の基本動作における波長）である数対からなるすだれ状
電極弾性表面波変換器２を作製した後、弾性表面波の伝
搬方向と反対の位置に開放型３或いは短絡型４の電極幅
がほぼλ／４からなるグレーティング状の反射電極を配
置し、励振電極と反射電極の間隔Δが、前進方向では励
振波と反射波が同じ位相になるように、後退方向では反
対位相になるように、０．２λから０．８λの範囲にあ
る電極を一単位として、これらの電極を同じ位相となる
ように数組から数１０組配置した構造の一方向性弾性表
面波変換器及びこれらの変換器を用いた電子装置が実施
例の２である。
【実施例３】図３、図４に示すように、図１及び図２の
弾性表面波変換器、或いはシングル型の電極或いはダブ
ル電極型の構造の一方向性すだれ状変換器を並行に配置
した構造において、励振電極８と反射電極９及び１０が
並行に交互に配置された構造であり、伝搬方向に直角で
伝搬面に平行な方向からすだれ状電極を見たとき、その
励振及び受信の強度がほぼ同じ大きさである様に、並行
に２列配置した構造の弾性表面波変換器及びこの変換器
を用いた電子装置が実施例の３である。
弾性表面波変換器、或いはシングル型の電極或いはダブ
ル電極型の構造の一方向性すだれ状変換器を並行に配置
した構造において、励振電極８と反射電極９及び１０が
並行に交互に配置された構造であり、伝搬方向に直角で
伝搬面に平行な方向からすだれ状電極を見たとき、その
励振及び受信の強度がほぼ同じ大きさである様に、並行
に２列配置した構造の弾性表面波変換器及びこの変換器
を用いた電子装置が実施例の３である。
【実施例４】図５、図６、図７に示す様に、図１、図２
の構造の弾性表面波変換器或いは図１、図２に於いて、
シングル或いはダブル電極構造の一方向性すだれ状変換
器を、伝搬方向に直角で伝搬面に平行な方向からすだれ
状電極を見たとき、その励振及び受信の強度がほぼ同じ
大きさである様に、図５、図６、図７のように、並行に
２列以上配置した構造の弾性表面波変換器及びこの変換
器を用いた電子装置が実施例の４である。実施例の２の
一方向性弾性表面波変換器の計算結果の１例として、１
２８°回転Ｙ板・Ｘ伝搬の基板の計算結果を図８に示
す。実線は前進方向（）、点線は後退方向（）の特
性を示す。約１５ｄＢの方向性が得られていることが判
る。また、実施例の４の変換器の周波数特性を図９に示
す。実線は前進方向（）、点線は後退方向（）の特
性を示す。図から、中心周波数以外の周波数特性である
スプリアス信号が抑圧されていることが判る。
の構造の弾性表面波変換器或いは図１、図２に於いて、
シングル或いはダブル電極構造の一方向性すだれ状変換
器を、伝搬方向に直角で伝搬面に平行な方向からすだれ
状電極を見たとき、その励振及び受信の強度がほぼ同じ
大きさである様に、図５、図６、図７のように、並行に
２列以上配置した構造の弾性表面波変換器及びこの変換
器を用いた電子装置が実施例の４である。実施例の２の
一方向性弾性表面波変換器の計算結果の１例として、１
２８°回転Ｙ板・Ｘ伝搬の基板の計算結果を図８に示
す。実線は前進方向（）、点線は後退方向（）の特
性を示す。約１５ｄＢの方向性が得られていることが判
る。また、実施例の４の変換器の周波数特性を図９に示
す。実線は前進方向（）、点線は後退方向（）の特
性を示す。図から、中心周波数以外の周波数特性である
スプリアス信号が抑圧されていることが判る。
【０００７】
【発明の効果】本発明の方法を用いることにより、良好
な一方向弾性表面波変換器が得られる。
な一方向弾性表面波変換器が得られる。
【０００８】
【図１】本発明の一方向弾性表面波変換器の断面図
（ａ）及び平面図（ｂ）を示す。
（ａ）及び平面図（ｂ）を示す。
【図２】本発明の一方向弾性表面波変換器の断面図
（ａ）及び平面図（ｂ）を示す。
（ａ）及び平面図（ｂ）を示す。
【図３】本発明の一方向弾性表面波変換器の平面図を示
す。
す。
【図４】本発明の一方向弾性表面波変換器の平面図を示
す。
す。
【図５】本発明の一方向弾性表面波変換器の平面図を示
す。
す。
【図６】本発明の一方向弾性表面波変換器の平面図を示
す。
す。
【図７】本発明の一方向弾性表面波変換器の平面図を示
す。
す。
【図８】実施例の２の一方向弾性表面波変換器の計算結
果を示す。
果を示す。
【図９】実施例の４の一方向弾性表面波変換器の周波数
特性（ａ）及び放射アドミッタンス（ｂ）の計算結果を
示す。
特性（ａ）及び放射アドミッタンス（ｂ）の計算結果を
示す。
１…基板、２…すだれ状電極、３…開放型反射器、４…
短絡型反射器、５…取り出し電極、６…取り出し電極、
７…方向性、８…すだれ状電極、９…開放型反射器、１
０…短絡型反射器、１１…取り出し電極、１２…取り出
し電極、１３…取り出し電極、１４…方向性、１５…す
だれ状電極、１６…開放型反射器、１７…短絡型反射
器、１８…取り出し電極、１９…取り出し電極、２０…
取り出し電極、２１…取り出し電極、２２…方向性、２
３…すだれ状電極、２４…反射器、２６…取り出し電
極、２７…方向性、
短絡型反射器、５…取り出し電極、６…取り出し電極、
７…方向性、８…すだれ状電極、９…開放型反射器、１
０…短絡型反射器、１１…取り出し電極、１２…取り出
し電極、１３…取り出し電極、１４…方向性、１５…す
だれ状電極、１６…開放型反射器、１７…短絡型反射
器、１８…取り出し電極、１９…取り出し電極、２０…
取り出し電極、２１…取り出し電極、２２…方向性、２
３…すだれ状電極、２４…反射器、２６…取り出し電
極、２７…方向性、
Claims (4)
- 【請求項１】圧電性基板或いは圧電性薄膜をもつ基板或
いは圧電性をもつ半導体基板の上に、ソリット型の数対
からなるすだれ状電極弾性表面波変換器を作製した後、
弾性表面波の前進伝搬方向と反対の位置にソリット型の
短絡或いは開放のグレーティング状の反射電極を配置
し、この反射電極の弾性表面波とすだれ状電極により励
振される弾性表面波が、前進方向には同位相となり、後
退方向には逆位相になるようにした電極を一単位とし
て、これらの電極を同一の伝搬路上に同じ位相となるよ
うに数組から数１０組配置した構造の一方向性弾性表面
波変換器及びこれらの変換器を用いた電子装置。 - 【請求項２】請求項１の弾性表面波変換器として、圧電
性基板或いは圧電性薄膜をもつ基板或いは圧電性をもつ
半導体基板１の上に、電極幅がほぼλ／４（λは、弾性
表面波の基本動作における波長）である数対からなるす
だれ状電極弾性表面波変換器２を作製した後、弾性表面
波の伝搬方向と反対の位置に開放型３或いは短絡型４の
電極幅がほぼλ／４からなるグレーティング状の反射電
極を配置し、励振電極と反射電極の間隔Δが、前進方向
では励振波と反射波が同じ位相になるように、後退方向
では反対位相になるように、０．２λから０．８λの範
囲にある電極を一単位として、これらの電極を同じ位相
となるように数組から数１０組配置した構造の一方向性
弾性表面波変換器及びこれらの変換器を用いた電子装
置。 - 【請求項３】請求項１及び２のすだれ状弾性表面波変換
器、或いは、シングル型の電極或いはダブル電極型の構
造の一方向性すだれ状弾性表面波変換器を並行に配置し
た構造において、励振電極８と反射電極９及び１０が並
行に交互に配置された構造であり、伝搬方向に直角で伝
搬面に平行な方向からすだれ状電極を見たとき、その励
振及び受信の強度がほぼ同じ大きさである様に、並行に
２列配置した構造の弾性表面波変換器及びこの変換器を
用いた電子装置。 - 【請求項４】請求項１及び請求項２の弾性表面波変換
器、或いはシングル或いはダブル電極構造の一方向性す
だれ状変換器を、伝搬方向に直角で伝搬面に平行な方向
からすだれ状電極を見たとき、その励振及び受信の強度
がほぼ同じ大きさである様に、並行に２列以上配置した
構造の弾性表面波変換器及びこの変換器を用いた電子装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29765697A JPH1197967A (ja) | 1997-09-23 | 1997-09-23 | 弾性表面波一方向性変換器と電子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29765697A JPH1197967A (ja) | 1997-09-23 | 1997-09-23 | 弾性表面波一方向性変換器と電子装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1197967A true JPH1197967A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17849428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29765697A Pending JPH1197967A (ja) | 1997-09-23 | 1997-09-23 | 弾性表面波一方向性変換器と電子装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1197967A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007508752A (ja) * | 2003-10-08 | 2007-04-05 | アールエフ ソウ コンポーネンツ，インコーポレーテッド | 単相一方向弾性表面波変換器および改良された反射器 |
-
1997
- 1997-09-23 JP JP29765697A patent/JPH1197967A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007508752A (ja) * | 2003-10-08 | 2007-04-05 | アールエフ ソウ コンポーネンツ，インコーポレーテッド | 単相一方向弾性表面波変換器および改良された反射器 |
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