JPH05218795A - 表面弾性波反射器に関する方法と装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 弾性波伝搬基板(120) に結合した弾性波変換
器(510, 520)から成る弾性波装置(501) を提供するこ
と。 【構成】 弾性波変換器(510, 520)は、電気形態と音響
形態との間で信号エネルギを変換する。音響反射器(53
0, 540)は弾性波変換器(510, 520)のいずれかの側上に
置かれる。音響反射器(530, 540)は、ほぼ１弾性波波長
の長さだけ隔てて置かれた音響反射エレメント(544) か
ら成り、製作上の制約を緩和すると同時に弾性波反射性
を強化する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は弾性波を採用するマイク
ロエレクトロニクス装置に関し、特に、弾性波反射器を
採用する周波数選択部品に関する。

【０００２】

【従来の技術】エレクトロニクスの分野には非常に広範
囲の新規の要請が課されており、無線通信に基づく新し
い種類の機器が開発されるにつれ、無線周波数帯域の割
当ては困難になって来ている。

【０００３】前記要請は、ますます高い周波数（例え
ば、500 メガヘルツ超）を採用することを強制してお
り、スペクトル空間のさらなる効率的利用が必要になっ
ている。これらの傾向に促されて、高い周波数帯域およ
びますます狭い通過帯域で動作することができる周波数
選択部品を求める要求が生じている。さらに、改良型の
帯域外信号拒絶装置と結合した、挿入損失が小さく、形
状係数が小さく、電力消費が少ない装置が求められてい
る。

【０００４】弾性波装置は、無線機、ページング装置お
よびその他の高周波エレクトロニクス装置のようなエレ
クトロニクス信号処理機器の構造において、特に重要に
なろうとしている。これは、そのような弾性波装置は集
積回路を製作する技術を使用して平面上に容易に作るこ
とができ、丈夫でコンパクトであり、初期調節または定
期的調節が不要であり、静止電力を消費しないからであ
る。

【０００５】信号周波数fsig、弾性波の波長λおよび弾
性波媒体の性質を説明する基本方程式は下記の通りであ
る： λf_sig＝V_s (1) 式(1) において、V_sは弾性波媒体中の音速を示す。音速
Vsが与えられた場合、f_sigを増大させるためにはλを減
少させなければならない。

【０００６】弾性波伝搬音響変換器は、通常、１波長に
満たない幅を有する電極に依存している。方程式(1) と
ともに、写真製版上の制約が、電極の幅の下限を定める
ことによって周波数の上限を決定する。実際の大量生産
機器およびその技術のための現行の最低電極幅は約１マ
イクロメートルである。最低電極幅が約１マイクロメー
トルである場合、周波数の上限は１ギガヘルツと２ギガ
ヘルツとの間に定められる。現在のところ、この周波数
上限は、新しいエレクトロニクス機器の開発のために関
心が集中している周波数帯域である。

【０００７】反射エレメントの周期(period)に対する反
射エレメントの幅の比率（メタライゼーション比率とも
呼ばれる）、金属の厚さ等のような製作変数の制御は、
写真製版上の限度に近付くにつれ、すなわち、所要の反
射エレメント幅が小さくなるにつれ、ますます困難にな
る。その結果として、写真製版上およびエッチング上の
限度に等しいか、または、前記限度に近い反射エレメン
ト幅を必要とする装置の製作歩留まりは減少する。

【０００８】波長当たり２個の反射エレメントを採用す
る在来の技術によれば、音響装置中の反射エレメント当
たり提供される音響反射性が限定されるという事実の中
にも、別の問題がある。この問題は、ますます、帯域幅
を減少させ、挿入損失を増大させる。

【０００９】また、表面弾性波(SAW) 共鳴装置に関して
遭遇する別の問題は、製造によって誘導される速度の変
動に対する中心周波数の感度(sensitivity) と結合し
た、そのような装置の帯域幅が非常に狭いという事実か
らもたらされる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】したがって、高周波数
濾波用途のためには、増大した線幅を採用し、改良型の
（幅広い）帯域幅または減少したＱを有するSAW 共鳴装
置が極めて望ましい。

【００１１】必要とされるのは、製造上の変数に対する
感度が最低であり、部品の寸法を最低にしながら装置の
性能を最大にし、現行の音響装置設計、製作および使用
法と両立する様式で容易に実行することができる装置、
および、その装置を実現するための技術である。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明に従い、弾性波反
射装置のための新規な方法と装置を開示する。 新規な
弾性波装置は、弾性波伝搬基板に結合した弾性波変換器
から構成される。変換器は信号エネルギを電気形態と音
響形態の間で変換する。音響反射器は弾性波変換器のい
ずれかの側上に置かれ、音響反射装置は、１弾性波波長
だけ隔てて置かれた弾性波反射エレメントから構成され
る。

【００１３】エレクトロニクス−音響装置を作るための
方法は、弾性波伝搬基板を用意する段階、第１音響変換
器構造を弾性波伝搬基板に結合する段階、および、弾性
波伝搬基板上および音響変換器のいずれかの側に２グル
ープの反射エレメントを配置する段階から構成される。
上記において、個々の反射エレメントは、弾性波波長当
たり１個の反射エレメントの周期性を有する。

【００１４】本発明の上記およびその他の特徴と長所
は、添付図面とともに以下の詳細な説明を読めば、さら
によく理解されるであろう。

【００１５】

【実施例】表面弾性波(SAW) 装置を含む弾性波装置は、
他のタイプの周波数選択部品なら動作の効率が限定され
る数十メガヘルツから数ギガヘルツの範囲のUHF および
VHF 周波数で動作する。本明細書において、『弾性
波』、『表面弾性波』および『SAW』 という用語は、固
体媒体中を伝搬する超短波音響エネルギを指すために互
換的に使用される。

【００１６】図１は先行技術に従った弾性波フィルタ 1
00の平面図である。弾性波フィルタ100は、基板 120、
および、それぞれ相互接続線132, 134および142, 144を
介して信号源130 および負荷 140に結合された変換器 1
05, 110 から構成されている。変換器 105, 110 は、さ
らに、バス 115およびくし型電極107, 109, 112, 114か
ら構成されている。

【００１７】変換器 105, 110 は電気エネルギを音響エ
ネルギに変換し、音響エネルギを電気エネルギに変換す
る。バス 115によって相互接続された相互かみ合いくし
型電極107,109, 112, 114は、全部または一部が圧電性
である、基盤材料の研磨表面上に、例えば真空蒸発法に
よって堆積された薄膜メタルで作られる。代表的な場
合、変換器 105, 110 を作るくし型電極107, 109, 112,
114およびバス 115は、当業に周知である処理法を使用
して、写真製版的に限定される。

【００１８】基盤材料 120の圧電性は、適当な周波数を
有する信号源 130からの電気信号によって励磁されると
き、変換器 105から機械波が放射される原因になり、逆
に、変換器 110が適当に高周波処理を受けた(insonifie
d)とき、負荷 140に電気出力信号を届ける。

【００１９】別の方法として、非圧電性基板上の音響エ
ネルギの圧電励磁を可能にするため、例えば単結晶Siの
ような非圧電性材料上に、直流三極スパッタリングによ
って堆積した圧電性材料、例えばZnO の薄膜オーバーレ
イ（overlay）を採用することができる。

【００２０】圧電性オバーレイ材料は、基板の全表面上
に堆積させることができ、または、例えば、当業におい
て周知であるシャドウ・マスク（shadow-masking）の技
術によって、変換器 105, 110 のみに限定させることが
できる。例えば、1975年 IEEE Ultrason.Symp.Proc., p
p. 223-226 の、F. S. Hickernell, M. Adamo, A. Lond
on and H. Bush による”An integrated Zn0/Si-MOSFET
programmable matched filter,”を参照すること。表
面弾性波は多種類の材料上で持続させることができ、機
械的運動をすることができる何らかの手段によって変換
(transduce) させることができる。

【００２１】SAW 装置が動作すると、一部の周波数の信
号は入力から出力に通過することができるようになり、
一方、その他の周波数の信号の通過は阻止される。した
がって、SAW 装置は信号の処理および調整(conditionin
g)のために有用であるエレクトロニクス・フィルタを形
成する。

【００２２】多くのタイプのSAW 装置において、音響反
射器を、特定の場所における音響エネルギの伝搬の方向
を逆転する様式とすることが望ましい。このことは、音
響媒体表面上に置くか音響媒体表面中に貫通する材料の
みぞもしくはストリップまたは材料のみぞおよびストリ
ップの組合わせからなる反射エレメントの周期的構造を
手段として達成される。

【００２３】音響反射器からの反射特性を大きくし、同
時に均等にすることが極めて望ましい。製造誤差の変動
を理由として、個々の反射エレメントの反射特性が相互
に一定でない場合、装置の性能およびそのような装置の
歩留まりが悪影響を被る。

【００２４】図２は、屈折エレメント210 から成る、先
行技術に従った弾性波反射器構造201の平面図である。
反射エレメント210 は、反射エレメント210 の長い縁が
音響等位相フロント（equi-phase front）と平行の方向
になる方向にされている。

【００２５】図３は、先行技術に従った図２の反射エレ
メント構造201 の一部分205 であって、図２の切断線Ｚ
−Ｚ’上で切断した拡大側面断面図である。図３が示す
基板120 は、基板120 上に堆積されていて隙間234 によ
って隔てられた、幅232 の反射エレメント230 を有す
る。

【００２６】代表的な場合、このタイプの先行技術の構
造は音響波長の約４分の１の寸法232,234を有するの
で、２つの反射エレメント幅232 および隙間幅234 を合
計すると、１音響波長になる。

【００２７】図４は、反射エレメントの長い軸が弾性波
伝搬方法に対して直角に向けられた場合の、128 °Ｙ−
カット、Ｘ−伝搬LiNbO3の結晶の表面上の伝導性電極か
ら成る反射エレメントの計算された反射性305, 310を示
す。

【００２８】カーブ305 は、音響波長当たり１個の反射
エレメントのメタライゼーション比率に対する反射性を
示し、カーブ310 は、音響波長当たり２個の反射エレメ
ントのメタライゼーション比率に対する反射率を示す。
図４は、128 °Ｙ−回転、Ｘ−伝搬型ニオブ酸リチウム
(LiNbO3)に適した、厚さ3500オングストロームのアルミ
ニウム電極、および、約８マイクロメートルの弾性波波
長に相当する約480 メガヘルツの音響周波数、および、
毎秒約3830メートルの弾性波速度について計算されたグ
ラフである。

【００２９】この一般的なカーブ形状は、この材料の、
多種類の異なった条件について得られる。図４に示され
たカーブは、弾性波波長に対する反射エレメントの厚さ
が0.044 である場合に相当する。

【００３０】弾性波屈折の別の考察が、Wrightによる”
Modelling and experimental measurements of the ref
lector properties of SAW metallic gratings,”Proc.
1984IEEE Ultrason. Symp., pp. 54-63 に示されてお
り、また、Penunuriらによる”Single-phase, unidirec
tional transducer design for charge transport devi
ces,”Proc. 1990 Ultrason. Symp., pp. 237-242 にも
示されている。

【００３１】弾性波反射係数の大きさは電極の幅が弾性
波波長の約４分の１のときピークに達する傾向があり、
電極幅がほぼゼロおよび１波長であるときゼロに向かう
傾向があることが認められる。電極幅がゼロまたは１波
長である場合は、電極を較正するフィルムがないか連続
しているかのいずれかなのであるから、もはや、弾性波
伝搬条件中に不連続は存在しない。

【００３２】大部分の表面波基板は、また、電極幅が２
分の１波長であるときにゼロに向かう傾向がある弾性波
反射係数の大きさを提供する。このようになるのは、大
きさが等しく符号が反対の反射係数を備える（反射エレ
メントの一つの縁はステップ『アップ』から成り、他の
縁はステップ・バック『ダウン』から成る）ように、反
射エレメントの縁をモデル化しているためである。

【００３３】それらの縁は２分の１波長の距離だけ隔て
られている。この距離は、0 °の移相に相当する、１サ
イクルの全移相すなわち360 °の移相のために、表面波
が２回（第２縁に達するために１回、および、第２縁に
おいて反射された波の成分が第１縁に戻るとき１回）横
切らなければならない距離である。この移相は、２つの
縁の２つの反射係数に加算されて、得られた係数を相互
に参照し、大きさゼロの全反射係数を提供する。

【００３４】一部の表面波基板は、全反射係数の部分が
両電極縁において同じ符号を有するという特殊な条件を
提供する。128 °Y-回転、Ｘ−伝搬型LiNbO3のような、
それらの電極の場合、反射エレメントの幅が２分の１波
長のとき、全弾性波反射係数大きさのピークを持つこと
が可能である。

【００３５】このピーク値を、事実上、実際の装置製作
技術の線幅の制約内において達成されるはずの値より大
きくすることができる。したがって、エレクトロニクス
特性のために反射エレメントに依存するSAW フィルタに
そのような基板を使用すると、強力な新しい技術を提供
することができる。

【００３６】本発明によれば、弾性波波長に対する特定
の反射エレメント厚さ比率につき、弾性波波長当たり１
個の幅広い反射エレメントを組込むことにより、同じス
ペースに小さな反射エレメント数個を備えることによっ
て得られるよりも大きな単位長さ当たり反射率を、特定
の材料上で、得ることができる。この事実は、図４のカ
ーブ305, 310の比較によって見ることができる。カーブ
305 は、弾性波波長当たり１個の反射エレメントの音響
反射率を示し、カーブ310 は、弾性波波長当たり２個の
反射エレメントの場合に得られる音響反射率を示す。

【００３７】カーブ310 の場合よりカーブ305 の場合の
方が大きな値が達成される。すなわち、高周波数SAW 装
置の場合、図の左半分のデータのみが適用するため、こ
の差は大きい。高周波数（例えば、750 メガヘルツ超）
の場合、図４の右半分に相当する反射の大きさを実現す
るために要求される、より小さな線幅および隙間幅の利
用を試みることは、実際的でない。

【００３８】図５は、本発明の望ましい一実施例に従っ
た弾性波反射器構造401 の平面図である。図５は、全部
が等しい幅を有する反射エレメント410 を示す。

【００３９】図６は、図５の弾性波反射器構造401 の一
部分405 の、図５の切断線Ｚ−Ｚ'上で切断した拡大側
面断面図である。図６は、図５の反射器アレー(array)
401の一弾性波波長を示し、基板120 および幅432 を有
する反射器エレメント430 から構成され、その反射エレ
メント430 は隙間434 によって隔てられている。

【００４０】図５、６の構造は、特に高周波数におい
て、図２、３に示された先行技術の構造が提供する（図
４のカーブ310 の中頃）よりも事実上大きな、音響波波
長当たり弾性波反射（図４のカーブ305 の中頃）を提供
する。したがって、図５、６の構造により、帯域幅を大
きくし、挿入損失を低くすることができる。

【００４１】さらに、電極の幅の変動に不感性である集
合（aggregate）弾性波反射率を達成するという利益を
得るために、この性質を使用することができることが発
見された。このことは、多数の電極幅を採用することに
よって達成される。装置の製作のために採用される材料
ににかかわらず、反射エレメント幅に対して反射係数の
正負の両スロープを利用することができるのであるか
ら、この方式は、音響基板に幅広く適用することができ
る。

【００４２】図７は、本発明の一実施例に従った弾性波
反射器構造403 の平面図である。図７は、第１幅を有す
る反射エレメント412 および第２幅を有する反射エレメ
ント414を示す。弾性波反射器403 を構成する反射エレ
メント412, 414は、相互の間の幅が等しくなるように配
列されている。

【００４３】図８は、本発明の別の一実施例に従った弾
性波反射器構造405 の平面図である。図８は、第１幅を
有する反射エレメント412 および第２幅を有する反射エ
レメント414 を示す。一つの幅の反射エレメント、例え
ば414 の対が、他の幅の反射エレメント、例えば412 の
対と隣り合っている。

【００４４】図９は、図７の弾性波反射器構造403 の一
部分407 の、図７の切断線Ｚ−Ｚ''上で切断した拡大側
面断面図である。図９は、図７の反射器アレー403 の２
つの弾性波波長を示し、基板120 、および、それぞれが
幅452, 442を有する反射エレメント450, 440から構成さ
れ、その反射エレメントは隙間444 によって隔てられ
る。

【００４５】図１０は、図７の弾性波反射器構造405 の
一部分409 の、図８の切断線Ｚ''−Ｚ''' 上で切断した
拡大側面断面図である。図１０は、図８の反射器アレー
405の４つの弾性波波長を示し、基板120 、および、そ
れぞれが幅452, 442を有する反射エレメント450, 440か
ら構成され、その反射エレメントは隙間446, 444, 454
によって隔てられる図９、１０において、線Ｘ，Ｘ' の
間に示された図の部分は、それぞれ、図７、８の弾性波
反射器構造403, 405を提供するために連結することがで
きる最少単位の反射エレメント群に相当する。

【００４６】図８、１０の電極440, 450についての電極
当たり反射率が図４の位置Ａ，Ｂに示されている。電極
440, 450が図４において矢印Ａ，Ｂによって示された設
計目標幅442, 452を有する場合、電極440, 450が提供す
る反射係数の大きさは等しい。図４に従えば、例えば、
幅442 は0.32λであり、幅452 は0.58λである。その場
合、隙間幅は、例えば、図４Ｅ，４Ｆの隙間幅444 は0.
55λであり、図１０の隙間幅454,446は 0.145λおよび
0.355λである。

【００４７】製造上の変動が原因となって、電極の幅が
設計目標幅より大きくまたは小さくなり、その結果、個
々の反射係数がもはや等しくならないことがある。

【００４８】ただし、１つはカーブ305 のピークＢ' の
左になり、他の１つはカーブ305 のピークＢ' の右にな
るように設計幅を選択することによって、個々の屈折係
数が変動する場合においてさえ、電極440, 450の反射係
数の総和は一定に留まる。

【００４９】例えば、図９、１０の電極440, 450のエッ
チングが過大であれば、個々の電極幅および対応する個
々の反射係数（図４に示す）は、ＡからＡ''へ、およ
び、ＢからＢ''へとそれぞれシフトされるが、組合わせ
反射係数はＡ＋Ｂ＝Ａ''＋Ｂ''である。反対に、エッチ
ングが過小であれば、個々の反射係数は、Ａ，Ｂから
Ａ''' 、Ｂ'''へそれぞれシフトされるが、組合わせ反
射係数はＡ＋Ｂ＝Ａ''' ＋Ｂ''' である。

【００５０】また、図４には位置Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆが示さ
れている。位置Ｃ，Ｆは反射係数の大きさが類似した位
置であり、位置Ｄ，Ｅも同様である。幅Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ
または幅Ｃ，Ｆまたは幅Ｄ，Ｅの電極からなる弾性波反
射器も、製作された電極の幅とは無関係な弾性波反射特
性を示すことになる。

【００５１】同様に、電極幅を群として選択し、各群が
類似した大きさの総合反射係数および電極幅に対する相
反した弾性波反射係数スロープを有するようにした場
合、その他の多数の電極幅組合わせがこの重要な長所を
提供する。各群を構成する反射エレメントの数は異なら
せることができる。

【００５２】弾性波反射器の特性を変えることなく、隙
間幅もさらに変化させることができる。反射器アレーを
形成するため、図９の装置を２つの基本的様式で反復す
ることができる。

【００５３】前記２つの様式とは、図７に示されている
通り、図９の一つの部分のＸが隣接部分のＸ’に対応す
るように隣接部分を連結すること、および、一つの部分
のＸ（またはＸ' ）が隣接部分のＸ（またはＸ' ）に対
応する様に、相互に鏡像である隣接部分を連結すること
である。この並列関係は、図８，１０に図示されてい
る。

【００５４】これらの２つの構造の相違は、図９の装置
が２つの反射エレメント幅442, 452および１つの隙間幅
444 で構成されているのに対し、図10は、２つの反射エ
レメント幅442, 452および異なった３つの隙間幅444, 4
46, 454 を示すことである。

【００５５】図１１は、本発明に従った弾性波反射器53
0, 540の対の間に収容されたSAW 変換器510, 520の対か
ら成る共鳴装置501 の単純化した平面図である。図１１
は、また、リード線575 により、弾性波変換器510, 520
の間で選択的にアースに接続されたオプショナル（opti
onal）電極群515 、および、弾性波反射器530, 540を構
成する反射エレメント544 をそれぞれ接続するオプショ
ナル・バス531, 541を示す。

【００５６】外部エレクトロニクス装置（図示されてい
ない）に電気信号を伝えるため、SAW変換器510, 520
は、それぞれ、入力リード線571, 573および出力リード
線577,579に接続されている。電極515 は、変換器510,
520の電気的結合を切り、その結果、弾性波からもたら
される電気信号のみがリード線577, 579上の出力信号に
寄与し、共鳴装置501 の動作を改善することができる。

【００５７】図１２は、本発明の一実施例に従ったSAW
共鳴装置の一部分507 の、単純化した拡大断面側面図で
ある。図１２は、弾性波伝搬基板120 、幅562 を有する
変換器電極521 、幅580 を有し、幅564 の隙間によって
隔てられた弾性波反射エレメント544から構成される。
代表的な場合、幅562 は一波長の８分の１から４分の１
までの範囲であり、幅580 は、0.1 λ≦W ≦0.9 λの範
囲上で変動させることができる。上記の式において、w
は幅580 であり、λは弾性波波長である。本発明の望ま
しい一実施例において、幅580 は、弾性波波長の約２分
の１である。

【００５８】動作時、適当な周波数の電気信号が１個の
変換器、例えば510 に与えられると、左右両方に音響エ
ネルギが放射される。左に放射されたエネルギは弾性波
反射器530 に入射してこのエネルギを反射させ、その
後、右に伝搬させる。変換器510 が放射したすべての音
響エネルギはこのように変換器520 に入射し、変換器52
0 を通過した成分は反射器540 によって反射され、変換
器520 に戻される。

【００５９】このように、図１に示された先行技術の例
のような、弾性波反射器を採用しない弾性波装置とは対
照的に、変換器510 から変換器520 への音響エネルギの
究めて効率的な輸送が可能である。

【００６０】図１３は、本発明に従った共鳴装置の伝送
応答610 のグラフである。データ610は、中心周波数が
非常に高くて944 メガヘルツであること、挿入損失が極
度に低くて1.9 dBと2 dBとの間であること、および、帯
域幅が比較的広い３ｄＢの7.5 メガヘルツであることを
含め、興味深く価値があるいくつかの特徴を示す。上記
で説明した新規な反射エレメントの使用して、この特徴
の組合わせを得ることができる。

【００６１】さらに、方程式(1) を参照すると、先行技
術を使用してこの周波数でSAW フィルタを実現するため
には、約１マイクロメートルの線幅が必要になるはずで
ある。本発明は、この周波数のために２マイクロメート
ルの反射エレメント幅を使用して反射エレメントを作る
ことができるようにし、一方では、在来のSAW 共鳴装置
よりも多くの帯域幅の大きさのオーダーを提供すること
ができるようにする。

【００６２】本発明は、このように、在来型の低損失SA
W フィルタ方式よりも製造が容易であり、製作歩留まり
が改善され、温度変動に直ちに対応する弾性波フィルタ
・パターンを作る技術を提供する。

【００６３】これは、弾性波波長当たり１個の反射エレ
メントを使用する方法が、フィルタの帯域幅を通した伝
送特性の非常な平坦さ、挿入損失の低さ、帯域幅の広
さ、およびフィルタ動作周波数が高いという長所を提供
することを示している。

【００６４】

【発明の効果】前記の説明により、本発明が前述の問題
を解決し、前述の目標を達成すること、および、本明細
書において指摘した通り、実質的な長所を備えているこ
と、すなわち、幅広い帯域幅、低い挿入損失、高い中心
周波数能力、および、減少された線幅要件を、簡潔な装
置寸法とともに提供することは当業者には明らかであろ
う。

【００６５】本発明を特定の材料、構造および段階につ
いて説明して来たが、そのような選択は説明の都合上の
ものであって、限定を意図したものではない。本明細書
に記載された説明に基づき、当業者は、本発明が他の材
料、構造と処理段階にも適用されることを理解するであ
ろう。また、特許請求の範囲には、本開示に基づいて当
業において発生するであろう変化を含めることが意図さ
れている。

【図面の簡単な説明】

【図１】先行技術に従った弾性波フィルタの平面図であ
る。

【図２】先行技術に従った弾性波反射器構造の平面図で
ある。

【図３】先行技術に従った弾性波反射器構造の一部分
の、図２の切断線Ｚ−Ｚ’上で切断した拡大側面断面図
である。

【図４】メタライゼーション比率に対する反射エレメン
トの計算された反射率を示す。

【図５】本発明の望ましい実施例に従った弾性波屈折器
構造の平面図である。

【図６】図５の弾性波反射器構造の一部分の、図５の切
断線Ｚ−Ｚ' 上で切断した拡大側面断面図である。

【図７】本発明の一実施例に従った弾性波反射器構造の
平面図である。

【図８】本発明の他の一実施例に従った弾性波反射器構
造の平面図である。

【図９】図７の弾性波反射器構造の一部分の、図７の切
断線Ｚ−Ｚ''上で切断した拡大側面断面図である。

【図１０】図８の弾性波反射器構造の一部分の、図８の
切断線Ｚ''−Ｚ''' 上で切断した拡大側面断面図であ
る。

【図１１】本発明の一実施例に従ったSAW 共鳴装置の単
純化した平面図である。

【図１２】本発明の一実施例に従ったSAW 共鳴装置の一
部分の、単純化した拡大断面側面図である。

【図１３】本発明に従った共鳴装置の伝送応答のグラフ
である。

【符号の説明】

100 弾性波フィルタ 105, 110 変換器 107, 109, 112, 114 くし型電極 115 バス 120 基板 130 信号源 132, 134, 142, 144 相互接続線 140 負荷 201, 401, 403, 507, 530, 540, 573 弾性波反射器 205, 210, 130, 232 反射エレメント構造の一部分 232, 432, 442, 452, 562, 580 反射エレメントの幅 234, 434, 444, 446, 454, 564 隙間 305, 310 カーブ 405, 407, 409 弾性波反射器の一部 410, 430, 440, 450, 544 反射エレメント 412 第１幅を有する反射エレメント 414 第２幅を有する反射エレメント 501 共鳴装置 510, 520 弾性波変換器 515 電極群（オプショナル） 531, 541 バス（オプショナル） 571 入力リード線 575 リード線 577, 579 出力リード線 610 伝送応答

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ディビッド・ペヌヌリ アメリカ合衆国アリゾナ州フォンタイン・ ヒルズ、ノース・デマレット・ドライブ 10422 (72)発明者 フレデリック・ワイ・チョー アメリカ合衆国アリゾナ州スコッツ・デー ル、イースト・モンテリー・ウェイ8731

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弾性波伝搬基板(120) ；(510) は電気形
   態と音響形態との間のエネルギー変換を行う第１弾性波
   変換器(510) ；前記弾性波伝搬基板(120) に結合される
   第１弾性波変換器(510) であって、前記第１弾性波変換
   器；および前記弾性波伝搬基板(120) に結合される第１
   (530) および第２(540) 音響反射器であって、前記第１
   弾性波反射器(530) は前記第１弾性波変換器(510) の片
   側上に配置され、前記第２弾性波反射器(540) は前記第
   １弾性波トランスデューサ(510)の他の側上に配置さ
   れ、前記第１(530) および第２(540) 弾性波反射器は弾
   性波エネルギを反射し、前記第１(530) および第２(54
   0) 弾性波反射器それぞれが、ほぼ１弾性波波長隔てら
   れる複数(403, 405)の音響反射エレメント(544)を含む
   第１(530)および第２(540) 音響反射器；から構成され
   ることを特徴とする弾性波装置(501) 。
2. 【請求項２】 弾性波伝搬基板(120) を用意する段階；
   および第１弾性波変換器および第１(530) 、第２(540)
   弾性波反射器を前記弾性波伝搬基板(120) 上に配置する
   段階であって、前記第１(530) 、第２(540) 弾性波変換
   器のそれぞれは弾性波伝搬基板(120) 上に位置する複数
   の反射エレメント(544) から成り、前記第１弾性波反射
   器(530) は前記第１弾性波変換器(510) の片側に配置さ
   れ、第２弾性波屈折器(540) は前記第１弾性波変換器(5
   10) の他の側に配置され、複数の反射エレメント(544)
   の個々の反射エレメント(544) が１弾性波波長あたり１
   反射エレメントの間隔を有するように第１弾性波変換器
   および第１(530) 、第２(540) 弾性波反射器を配置する
   段階；から構成されることを特徴とする電子−弾性波装
   置(501) を製作する方法。
3. 【請求項３】 128 °Ｙ−回転、Ｘ−伝搬型ニオブ酸リ
   チウムの弾性波伝搬基板(120) ；(501) は電気形態と音
   響形態との間のエネルギー変換を行う第１弾性波変換器
   (501) ；前記弾性波伝搬基板(120) に結合する第１弾性
   波変換器(510) であって、前記第１弾性波変換器；およ
   び前記弾性波伝搬基板(120) に結合される第１(530) 、
   第２(540) 弾性波反射器であって、前記第１弾性波反射
   器(530) は前記第１弾性波変換器(510) の片側上に配置
   され、前記第２弾性波反射器(540) は前記第１弾性波変
   換器(510) の他の側上に配置され、前記第１(530) およ
   び第２(540) 弾性波反射器はそれぞれ、ほぼ１弾性波波
   長隔てられる複数の弾性波反射エレメント(544) から成
   る、前記弾性波伝搬基板(120) に結合される第１(530)
   および第２(540) 音響反射器；から構成されることを特
   徴とする弾性波装置(501) 。