JPH1194871A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH1194871A JPH1194871A JP25877397A JP25877397A JPH1194871A JP H1194871 A JPH1194871 A JP H1194871A JP 25877397 A JP25877397 A JP 25877397A JP 25877397 A JP25877397 A JP 25877397A JP H1194871 A JPH1194871 A JP H1194871A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- acceleration sensor
- vibrating body
- piezoelectric
- prevented
- Prior art date
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- Pending
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- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動体の面に垂直な方向への過大な衝撃に対
しても圧電振動子が破損しない加速度センサを提供す
る。 【解決手段】 両面に圧電素子３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ
を貼り付け、一端側を支持台１１に固定した振動体２か
らなる圧電振動子１において、振動体２の面に垂直な方
向の両側に圧電素子３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄと一定の距
離をおいて振動体ストッパー２１を設ける。 【効果】 本発明の加速度センサによれば、振動体の面
に垂直な方向に過大な衝撃が加わったときにも、振動体
ストッパーが振動体のたわみを制限することによって、
振動体のたわみが弾性限界を越えて折れ曲がったり、振
動体を支持するカプラが変形したり、応力によって振動
体に貼り付けた圧電素子が破損したりすることを防止
し、その結果、圧電振動子が動作しなくなって、加速度
センサとしての機能を失うことを防止することができ
る。
しても圧電振動子が破損しない加速度センサを提供す
る。 【解決手段】 両面に圧電素子３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ
を貼り付け、一端側を支持台１１に固定した振動体２か
らなる圧電振動子１において、振動体２の面に垂直な方
向の両側に圧電素子３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄと一定の距
離をおいて振動体ストッパー２１を設ける。 【効果】 本発明の加速度センサによれば、振動体の面
に垂直な方向に過大な衝撃が加わったときにも、振動体
ストッパーが振動体のたわみを制限することによって、
振動体のたわみが弾性限界を越えて折れ曲がったり、振
動体を支持するカプラが変形したり、応力によって振動
体に貼り付けた圧電素子が破損したりすることを防止
し、その結果、圧電振動子が動作しなくなって、加速度
センサとしての機能を失うことを防止することができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加速度センサ、特
に自動車用ナビゲーションシステムに使用される圧電型
加速度センサに関する。
に自動車用ナビゲーションシステムに使用される圧電型
加速度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に、従来の片持ち梁構造の圧電振動
子を用いた加速度センサを示す。また、図３に、その側
面図を示す。
子を用いた加速度センサを示す。また、図３に、その側
面図を示す。
【０００３】図２および図３において、加速度センサ１
２は圧電振動子１からなり、圧電振動子１は板状の振動
体２、振動体２の一方主面に貼り付けられた圧電素子３
ａおよび３ｂ、同じく他方主面に貼り付けられた圧電素
子３ｃおよび３ｄ、水平支持部４ａおよび４ｂ、重り取
り付け部５、連結部６、７、８、９、重り１０、支持台
１１から構成されている。
２は圧電振動子１からなり、圧電振動子１は板状の振動
体２、振動体２の一方主面に貼り付けられた圧電素子３
ａおよび３ｂ、同じく他方主面に貼り付けられた圧電素
子３ｃおよび３ｄ、水平支持部４ａおよび４ｂ、重り取
り付け部５、連結部６、７、８、９、重り１０、支持台
１１から構成されている。
【０００４】圧電振動子１の連結部６、７、８、９は、
それぞれ２つのカプラ６ａと６ｂ、７ａと７ｂ、８ａと
８ｂ、９ａと９ｂで構成されている。水平支持部４ａお
よび４ｂは２つの連結部６と７によって振動体２の長手
方向の一端側に接続されている。また、重り取り付け部
５も２つの連結部８と９によって振動体２の長手方向の
他端側に接続されている。また、重り１０は重り取り付
け部５に取り付けられている。
それぞれ２つのカプラ６ａと６ｂ、７ａと７ｂ、８ａと
８ｂ、９ａと９ｂで構成されている。水平支持部４ａお
よび４ｂは２つの連結部６と７によって振動体２の長手
方向の一端側に接続されている。また、重り取り付け部
５も２つの連結部８と９によって振動体２の長手方向の
他端側に接続されている。また、重り１０は重り取り付
け部５に取り付けられている。
【０００５】ここで、振動体２、水平支持部４ａおよび
４ｂ、重り取り付け部５、連結部６、７、８、９は、エ
リンバなどの恒弾性金属材料を所定の形状に打ち抜くな
どして一体的に形成されている。また、連結部６、７、
８、９を構成するカプラ６ａ、６ｂ、７ａ，７ｂ，８
ａ，８ｂ，９ａ、９ｂは、振動体２の長手方向の伸縮振
動を妨げないように細い部材で構成されている。そし
て、水平支持部４ａおよび４ｂは支持台１１に固定さ
れ、その結果、圧電振動子１は、振動体２を、その長手
方向の一端側で連結部６と７によって保持する片持ち梁
構造となっている。
４ｂ、重り取り付け部５、連結部６、７、８、９は、エ
リンバなどの恒弾性金属材料を所定の形状に打ち抜くな
どして一体的に形成されている。また、連結部６、７、
８、９を構成するカプラ６ａ、６ｂ、７ａ，７ｂ，８
ａ，８ｂ，９ａ、９ｂは、振動体２の長手方向の伸縮振
動を妨げないように細い部材で構成されている。そし
て、水平支持部４ａおよび４ｂは支持台１１に固定さ
れ、その結果、圧電振動子１は、振動体２を、その長手
方向の一端側で連結部６と７によって保持する片持ち梁
構造となっている。
【０００６】なお、説明の都合上、図２に示すように、
振動体２の長手方向をＸ軸方向、振動体２の面に垂直な
方向をＹ軸方向、振動体２の面に平行で長手方向と直交
する方向をＺ軸方向として座標軸を設ける。ここで、各
軸の矢印の方向が正の方向である。以後の説明におい
て、方向に関してはこの座標軸を適用する。
振動体２の長手方向をＸ軸方向、振動体２の面に垂直な
方向をＹ軸方向、振動体２の面に平行で長手方向と直交
する方向をＺ軸方向として座標軸を設ける。ここで、各
軸の矢印の方向が正の方向である。以後の説明におい
て、方向に関してはこの座標軸を適用する。
【０００７】このように構成された加速度センサ１２に
おいて、振動体２の長手方向の他端側に設けられた圧電
素子３ａおよび３ｃと、一端側に設けられた圧電素子３
ｂおよび３ｄは、その両面に電極が形成され駆動信号が
印加される。圧電素子は両面の電極に印加される電圧の
方向によって、全体が収縮したり伸長したりする性質を
持っている。そこで、加速度センサ１２においては、駆
動信号によって振動体２の一端側の２つの圧電素子３ｂ
と３ｄが収縮すれば他端側の２つの圧電素子３ａと３ｃ
が伸長し、一端側の２つの圧電素子３ｂと３ｄが伸長す
れば他端側の２つの圧電素子３ａと３ｃが収縮するよう
に構成されている。その結果、振動体２は駆動信号によ
ってその一端側と他端側が交互に収縮と伸長を繰り返す
伸縮振動を行う。そして、このとき、各圧電素子に形成
された電極からは、圧電素子の伸縮振動に応じた信号が
出力される。なお、この場合、振動体２の一端側と他端
側が互いに逆向きの伸縮振動をするため、伸縮振動中も
振動体２の全長は変わらない。
おいて、振動体２の長手方向の他端側に設けられた圧電
素子３ａおよび３ｃと、一端側に設けられた圧電素子３
ｂおよび３ｄは、その両面に電極が形成され駆動信号が
印加される。圧電素子は両面の電極に印加される電圧の
方向によって、全体が収縮したり伸長したりする性質を
持っている。そこで、加速度センサ１２においては、駆
動信号によって振動体２の一端側の２つの圧電素子３ｂ
と３ｄが収縮すれば他端側の２つの圧電素子３ａと３ｃ
が伸長し、一端側の２つの圧電素子３ｂと３ｄが伸長す
れば他端側の２つの圧電素子３ａと３ｃが収縮するよう
に構成されている。その結果、振動体２は駆動信号によ
ってその一端側と他端側が交互に収縮と伸長を繰り返す
伸縮振動を行う。そして、このとき、各圧電素子に形成
された電極からは、圧電素子の伸縮振動に応じた信号が
出力される。なお、この場合、振動体２の一端側と他端
側が互いに逆向きの伸縮振動をするため、伸縮振動中も
振動体２の全長は変わらない。
【０００８】この状態において、加速度センサ１２に対
してＹ軸方向の加速度が加わると、振動体２に水平支持
部４ａおよび４ｂと連結部６と７で保持された部分を基
点としたたわみが生じる。この時、重り１０は振動体２
のたわみを大きくする働きをしている。振動体２がたわ
むと、圧電素子３ｂと３ｄには互いに逆位相の電圧が発
生する。そこで、この２つの圧電素子３ｂと３ｄの出力
電圧の差を取ることにより、加速度センサ１２のＹ軸方
向に加わる加速度を検出することができる。
してＹ軸方向の加速度が加わると、振動体２に水平支持
部４ａおよび４ｂと連結部６と７で保持された部分を基
点としたたわみが生じる。この時、重り１０は振動体２
のたわみを大きくする働きをしている。振動体２がたわ
むと、圧電素子３ｂと３ｄには互いに逆位相の電圧が発
生する。そこで、この２つの圧電素子３ｂと３ｄの出力
電圧の差を取ることにより、加速度センサ１２のＹ軸方
向に加わる加速度を検出することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、加速度
センサ１２において、Ｙ軸方向に衝撃（大きな加速度）
が加わると、重り１０がＹ軸方向に大きく動き、振動体
２が大きくたわむ。この時、振動体２のたわみがその弾
性限界を超えると、振動体２が折れ曲がってしまった
り、振動体２と支持台１１を接続する連結部６および７
を構成するカプラ６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂが変形してし
まう。また、振動体２のたわみが大きくなり過ぎると、
振動体２に貼り付けられている圧電振動子３ａ、３ｂ、
３ｃ、３ｄにも過大な応力が加わり、クラックが入るな
どして破損してしまう。そして、その結果、圧電振動子
１が動作しなくなり、加速度センサ１２がその機能を失
ってしまうという問題がある。
センサ１２において、Ｙ軸方向に衝撃（大きな加速度）
が加わると、重り１０がＹ軸方向に大きく動き、振動体
２が大きくたわむ。この時、振動体２のたわみがその弾
性限界を超えると、振動体２が折れ曲がってしまった
り、振動体２と支持台１１を接続する連結部６および７
を構成するカプラ６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂが変形してし
まう。また、振動体２のたわみが大きくなり過ぎると、
振動体２に貼り付けられている圧電振動子３ａ、３ｂ、
３ｃ、３ｄにも過大な応力が加わり、クラックが入るな
どして破損してしまう。そして、その結果、圧電振動子
１が動作しなくなり、加速度センサ１２がその機能を失
ってしまうという問題がある。
【００１０】そこで、本発明は、Ｙ軸方向の過大な衝撃
に対しても、圧電振動子が動作しなくなって、その機能
を失うことのない加速度センサを提供する。
に対しても、圧電振動子が動作しなくなって、その機能
を失うことのない加速度センサを提供する。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明の加速度センサは、板状の振動体の面に圧
電素子を設け、前記振動体の一端を支持台に固定し、他
端に重りを取り付けた、片持ち梁構造の圧電振動子を用
いた加速度センサにおいて、前記振動体の面に平行に、
前記振動体の一定以上のたわみを制限する振動体ストッ
パーを設けたことを特徴とする。
めに、本発明の加速度センサは、板状の振動体の面に圧
電素子を設け、前記振動体の一端を支持台に固定し、他
端に重りを取り付けた、片持ち梁構造の圧電振動子を用
いた加速度センサにおいて、前記振動体の面に平行に、
前記振動体の一定以上のたわみを制限する振動体ストッ
パーを設けたことを特徴とする。
【００１２】このように構成することにより、本発明の
加速度センサは、振動体の面に垂直な方向への過大な衝
撃に対して、振動体やカプラの変形や圧電素子の破損に
よって圧電振動子が動作しなくなるのを防止することが
できる。
加速度センサは、振動体の面に垂直な方向への過大な衝
撃に対して、振動体やカプラの変形や圧電素子の破損に
よって圧電振動子が動作しなくなるのを防止することが
できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の加速度センサの
一実施例を示す。図１は側面図で、図２および図３と同
一もしくは同等の部分には同じ記号を付し、その説明は
省略する。
一実施例を示す。図１は側面図で、図２および図３と同
一もしくは同等の部分には同じ記号を付し、その説明は
省略する。
【００１４】図１において、加速度センサ２０を構成す
る圧電振動子１の板状の振動体２の面に垂直な方向の両
側には、振動体２に設けられた圧電素子３ａ、３ｂ、３
ｃ、３ｄと一定の距離をおいて平行に振動体ストッパー
２１が設けられている。振動体ストッパー２１は、振動
体２の一方主面側に設けられた上部ストッパー２１ａと
振動体２の他方主面側に設けられた下部ストッパー２１
ｂで構成されており、支持台１１とともに例えば実装基
板（図示せず）に固定されて、振動体２に連動して動か
ないようになっている。
る圧電振動子１の板状の振動体２の面に垂直な方向の両
側には、振動体２に設けられた圧電素子３ａ、３ｂ、３
ｃ、３ｄと一定の距離をおいて平行に振動体ストッパー
２１が設けられている。振動体ストッパー２１は、振動
体２の一方主面側に設けられた上部ストッパー２１ａと
振動体２の他方主面側に設けられた下部ストッパー２１
ｂで構成されており、支持台１１とともに例えば実装基
板（図示せず）に固定されて、振動体２に連動して動か
ないようになっている。
【００１５】振動体ストッパー２１は、少なくとも圧電
素子３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄに面する側がゴムなどの弾
性体からなり、加速度センサ２０に対してＹ軸方向の過
大な衝撃が加わったときに振動体２の一定以上のたわみ
を制限する。ここで、圧電素子３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ
と振動体ストッパー２１との間の一定の距離とは、加速
度センサ２０にＹ軸方向で加速度測定の可能な通常の加
速度が加わったときに、圧電素子３ａ、３ｂ、３ｃ、３
ｄと振動体ストッパー２１が接触せず、しかし、振動体
２のたわみが弾性限界を越えたり、カプラ６ａ、６ｂ、
７ａ、７ｂが変形したり、圧電素子３ａ、３ｂ、３ｃ、
３ｄが応力によって破損したりしない距離である。
素子３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄに面する側がゴムなどの弾
性体からなり、加速度センサ２０に対してＹ軸方向の過
大な衝撃が加わったときに振動体２の一定以上のたわみ
を制限する。ここで、圧電素子３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ
と振動体ストッパー２１との間の一定の距離とは、加速
度センサ２０にＹ軸方向で加速度測定の可能な通常の加
速度が加わったときに、圧電素子３ａ、３ｂ、３ｃ、３
ｄと振動体ストッパー２１が接触せず、しかし、振動体
２のたわみが弾性限界を越えたり、カプラ６ａ、６ｂ、
７ａ、７ｂが変形したり、圧電素子３ａ、３ｂ、３ｃ、
３ｄが応力によって破損したりしない距離である。
【００１６】このように、振動体２の両側に振動体２の
面に平行に振動体ストッパー２１を設けることによっ
て、加速度センサ２０にＹ軸方向への過大な衝撃が加わ
ったときにも、振動体２のたわみが振動体ストッパー２
１で制限される。また、振動体ストッパー２１の圧電素
子３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄに面する側をゴムなどの弾性
体で形成することにより、圧電素子の破損を防止するこ
とができる。
面に平行に振動体ストッパー２１を設けることによっ
て、加速度センサ２０にＹ軸方向への過大な衝撃が加わ
ったときにも、振動体２のたわみが振動体ストッパー２
１で制限される。また、振動体ストッパー２１の圧電素
子３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄに面する側をゴムなどの弾性
体で形成することにより、圧電素子の破損を防止するこ
とができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明の加速度センサによれば、圧電素
子を貼り付けた振動体の面に平行に、圧電素子と一定の
距離をおいて振動体ストッパーを設けて、振動体の面に
垂直な方向に過大な衝撃が加わったときにも振動体スト
ッパーにより振動体のたわみを制限することにより、振
動体のたわみが弾性限界を越えて折れ曲がったり、カプ
ラが変形したり、振動体のたわみの応力によって圧電素
子が破損することを防止し、その結果、圧電振動子が動
作しなくなって、加速度センサとしての機能を失うこと
を防止することができる。
子を貼り付けた振動体の面に平行に、圧電素子と一定の
距離をおいて振動体ストッパーを設けて、振動体の面に
垂直な方向に過大な衝撃が加わったときにも振動体スト
ッパーにより振動体のたわみを制限することにより、振
動体のたわみが弾性限界を越えて折れ曲がったり、カプ
ラが変形したり、振動体のたわみの応力によって圧電素
子が破損することを防止し、その結果、圧電振動子が動
作しなくなって、加速度センサとしての機能を失うこと
を防止することができる。
【図１】本発明の加速度センサの一実施例を示す側面図
である。
である。
【図２】従来の加速度センサの例を示す斜視図である。
【図３】図２の加速度センサの側面図である。
１…圧電振動子 ２…振動体 ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ…圧電素子 ４ａ…水平支持部 ５…重り取り付け部 ６ａ、６ｂ、８ａ、８ｂ…カプラ １０…重り １１…支持台 ２０…加速度センサ ２１…振動体ストッパー ２１ａ…上部ストッパー ２１ｂ…下部ストッパー
Claims (1)
- 【請求項１】 板状の振動体の面に圧電素子を設け、前
記振動体の一端を支持台に固定し、他端に重りを取り付
けた、片持ち梁構造の圧電振動子を用いた加速度センサ
において、 前記振動体の面に平行に、前記振動体の一定以上のたわ
みを制限する振動体ストッパーを設けたことを特徴とす
る加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25877397A JPH1194871A (ja) | 1997-09-24 | 1997-09-24 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25877397A JPH1194871A (ja) | 1997-09-24 | 1997-09-24 | 加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1194871A true JPH1194871A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17324889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25877397A Pending JPH1194871A (ja) | 1997-09-24 | 1997-09-24 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1194871A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7637156B2 (en) | 2004-07-12 | 2009-12-29 | Sumitomo Precision Products | Angular velocity sensor with vibrator having ring portion and electrodes positioned inside and outside the ring portion |
-
1997
- 1997-09-24 JP JP25877397A patent/JPH1194871A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7637156B2 (en) | 2004-07-12 | 2009-12-29 | Sumitomo Precision Products | Angular velocity sensor with vibrator having ring portion and electrodes positioned inside and outside the ring portion |
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