JPH1182609A - 除振装置及び露光装置 - Google Patents
除振装置及び露光装置Info
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- JPH1182609A JPH1182609A JP9247554A JP24755497A JPH1182609A JP H1182609 A JPH1182609 A JP H1182609A JP 9247554 A JP9247554 A JP 9247554A JP 24755497 A JP24755497 A JP 24755497A JP H1182609 A JPH1182609 A JP H1182609A
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- cable
- cables
- vibration isolation
- tension
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
Abstract
(57)【要約】
【課題】ケーブルおよびホースの影響を受けることな
く、外乱振動の抑制（制振）効果を向上させることがで
きる除振装置及びこれを備えた露光装置を提供すること
にある。 【解決手段】本発明の除振装置は、台座（２）に対して
除振部材（４Ａ〜４Ｄ）を介して取り付けられた除振対
象物（４０）と、前記除振対象物に接続されたケーブル
（４１，４５）と、を含み、前記ケーブルの張カのベク
トルの延長線上近傍に、前記除振対象物の回転モーメン
トの回転中心（Ｏ）が位置している。また本発明の露光
装置は マスクに形成されたパターンを投影光学系を介
して感光基板に投影露光する露光装置本体（４０）と、
台座（２）と前記露光装置本体とを連結する除振部材
（４Ａ〜４Ｄ）と、前記露光装置本体に接続されたケー
ブル（４１，４５）と、を含み、前記ケーブルの張力の
ベクトルの延長線上近傍に、前記除振対象物の回転モー
メントの回転中心（Ｏ）が位置している構成である。
く、外乱振動の抑制（制振）効果を向上させることがで
きる除振装置及びこれを備えた露光装置を提供すること
にある。 【解決手段】本発明の除振装置は、台座（２）に対して
除振部材（４Ａ〜４Ｄ）を介して取り付けられた除振対
象物（４０）と、前記除振対象物に接続されたケーブル
（４１，４５）と、を含み、前記ケーブルの張カのベク
トルの延長線上近傍に、前記除振対象物の回転モーメン
トの回転中心（Ｏ）が位置している。また本発明の露光
装置は マスクに形成されたパターンを投影光学系を介
して感光基板に投影露光する露光装置本体（４０）と、
台座（２）と前記露光装置本体とを連結する除振部材
（４Ａ〜４Ｄ）と、前記露光装置本体に接続されたケー
ブル（４１，４５）と、を含み、前記ケーブルの張力の
ベクトルの延長線上近傍に、前記除振対象物の回転モー
メントの回転中心（Ｏ）が位置している構成である。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、除振装置及び露光
装置に関する。更に詳しくは、本発明は、除振台の振動
を打ち消すようにアクチュエータにより除振台を駆動す
るいわゆるアクティブ方式を採用するに適した除振装置
及びこの除振装置を備えた露光装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、除振装置の除振台を支持する除振
パッドとしてばダンピング液中に圧縮コイルバネを入れ
た機械式ダンパや空気式ダンパ等種々のものが使用され
ている。特に、空気式ダンパを備えた空気バネ除振装置
はバネ定数を小さく設定でき、約１０Ｈｚ以上の振動を
絶縁することから、精密機器の支持に広く用いられてい
る。また、最近では従来のパッシブ除振装置の限界を打
破するために、アクティブ除振装置が提案されている
（例えば、特開平７−１６６０４３号公報等参照）。こ
れは、除振台の振動をセンサで検出し、このセンサの出
力に基づいてアクチュエータを駆動することにより振動
制御を行う除振装置であり、低周波制御帯域に共振ピー
クの無い理想的な振動絶縁効果を持たせることができる
ものである。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】ステッパ等では、投影
レンズ、照明系、ＸＹステージ（ウエハステージ）等が
除振パッドに保持された定盤上に搭載されており、これ
らを駆動するための電気機器、空圧機器が同じく除振台
上の本体に多数配置されている。従って、除振台上の本
体と装置の外部との間には膨大な量のケーブルやホース
が引き回されている。（本明細書では、ケーブルとホー
スを含めてケーブルと総称する。）ケーブルが装置本体
に与える張力は実質的なものであり、除振上悪影響を与
えている。 【０００４】とくに、アクティブ式の除振装置では、位
置制御ループにより本体の姿勢を初期位置に位置決めを
するが、ケーブルの数や量が大きくなると本体に及ぼす
力も大きくなり、それを補正するためにアクチュエータ
に必要とされる推力も大きくなる。このような除振装置
では、アクチュエータより発生する発熱量が大きく、露
光装置の置かれている環境の温度変化が大きくなる。ま
たケーブルそのものを伝達経路として床振動等の外乱を
除振台上の本体に伝えてしまい、ステージ精度の悪化等
の要因となることもありうる。 【０００５】本発明は、かかる事情の下になされたもの
で、その目的はケーブルおよびホースの影響を受けるこ
となく、外乱振動の抑制（制振）効果を向上させること
ができる除振装置及びこれを備えた露光装置を提供する
ことにある。 【０００６】 【課題を解決する為の手段】本発明の除振装置は、台座
（２）に対して除振部材を介して取り付けられた除振対
象物（４０）と、前記除振対象物に接続されたケーブル
（４１，４１’，４５）と、を含み、前記ケーブルの張
カのベクトルの延長線上近傍に、前記除振対象物の回転
モーメントの回転中心（Ｏ）が位置している。 【０００７】また本発明の露光装置は マスクに形成さ
れたパターンを投影光学系を介して感光基板に投影露光
する露光装置本体（４０）と、台座（２）と前記露光装
置本体とを連結する除振部材（４Ａ〜４Ｄ）と、前記露
光装置本体に接続されたケーブルと、を含み、前記ケー
ブルの張力のベクトルの延長線上近傍に、前記除振対象
物の回転モーメントの回転中心が位置している構成であ
る。 【０００８】本発明の請求項２の構成によれば、前記除
振装置において、前記除振対象物（４０）と接続される
前記ケーブル（４１，４１’，４５）は複数あり、前記
除振対象物（４０）におよぼす前記複数のケーブルの張
力のベクトル和の合成べクトルの延長線上近傍に、前記
除振対象物の回転モーメントの回転中心（Ｏ）が位置し
ている。 【０００９】本発明の請求項３の構成による除振装置
は、台座（２）に対して除振部材（４Ａ〜４Ｄ）を介し
て取り付けられた除振対象物（４０）と、前記除振対象
物に接続されたケーブル（４１，４１’，４５）と、を
含み、前記除振対象物と結合される前記ケーブルは複数
あり、前記除振対象物におよぼす前記ケーブルの張力の
ベクトル加算を行った合成張力が、前記ケーブルのうち
少なくとも１つのケーブルの張力よりも小さくなる構成
である。 【００１０】本発明の請求項４の除振装置は、台座
（２）に対して除振部材（４Ａ〜４Ｄ）を介して取り付
けられた除振対象物（４０）と、前記除振対象物に接続
されたケーブル（４１，４１’，４５）と、を含み、前
記除振対象物と接続される前記ケーブルは複数あり、前
記ケーブルを分散させて前記除振対象物に接続する構成
である。 【００１１】本発明の請求項５のものは、前記除振装置
において、前記台座に対する前記除振対象物の変位と振
動との少なくとも一方を抑制する方向に前記除振対象物
を駆動するアクチュエータ（７Ａ〜７Ｄ、３２Ａ〜３２
Ｄ）と、前記変位と前記振動との少なくとも一方を検出
するセンサ（１０Ｚ１〜１０Ｚ３，１０Ｙ１，１０Ｙ
２、１０Ｘ）と、前記センサの検出出力に基づいて前記
アクチュエータを駆動制御する制御部（１１）と、を含
む構成である。 【００１２】さらに、請求項６の除振装置においては、
前記除振対象物に接続される前記ケーブル（４１，４
１’，４５）は、前記台座に固定される構成とする。 【００１３】 【実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図ｌない
し図２、図３に基づいて説明する。 【００１４】図１には、一実施の形態に係る露光装置の
概略斜視図が示されている。この図１において、設置面
としての床上に台座２が設置され、この上に除振部材と
しての除振パッド４Ａ〜４Ｄ（４Ｄは図示なし）が設置
され、さらにその上に除振台としての定盤６が設置され
ている。 【００１５】除振パッド４Ａ〜４Ｄは、それぞれ定盤６
の底面の４個の頂点付近に配置されている。本実施の形
態では、除振パッド４Ａ〜４Ｄとして空気式ダンパが使
用され、空気の圧力により高さを調整できるため、上下
動機構の役目も兼ねている。 【００１６】台座２と定盤６との間に除振パッド４Ａと
並列にアクチュエータ７Ａが設置されている。アクチュ
エータ７Ａは、台座２上に固定された固定子９Ａと定盤
６の底面に固定された可動子８Ａとから構成され、制御
装置１１からの指示に応じて台座２から定盤６の底面に
対する付勢力、または定盤６の底面から台座２に向かう
吸引力を発生する。他の除振パッド４Ｂ〜４Ｄにおいて
も、同様に並列にアクチュエータ７Ｂ〜７Ｄが設置され
ている。 【００１７】定盤６上にはＸＹ方向に駆動される基板ス
テージとしてのＸＹステージ２０が載置されている。更
に、このＸＹステージ２０上にＺレベリングステージ、
θステージ及びウエハホルダ２１を介して感光基板とし
てのウエハＷが吸着保持されている。 【００１８】定盤６上でＸＹステージ２０を囲むように
第ｌコラム２４が植設され、第１コラム２４の上板の中
央部に投影光学系ＰＬが固定され、第１コラム２４の上
板に投影光学系ＰＬを囲むように第２コラム２６が植設
され、第２コラム２６の上板の中央部にレチクルステー
ジ２７を介してマスクとしてのレチクルＲが載置されて
いる。 【００１９】第１コラム２４にはＺ方向加速度を検出す
る振動センサとしての加速度センサ５Ｚ１、５Ｚ２、５
Ｚ３が取りつけられている。Ｙ方向加速度を検出するた
めの加速度センサ５Ｙ１、５Ｙ２、Ｘ方向加速度を検出
するための加速度センサ５Ｘも同様に取り付けられてい
る。 【００２０】また、第１コラム２４にはＺ方向変位を検
出する変位センサｌ０Ｚ１、１０Ｚ２、１０Ｚ３が取り
つけられている。またＹ方向変位を検出する変位センサ
ｌ０Ｙｌ、ｌ０Ｙ２、Ｘ方向変位を検出する変位センサ
ｌ０Ｘも同様に取り付けられている。 【００２１】第ｌコラム２４の側面にアクチュエータ３
２Ａが台座２に固定された支柱との間に取り付けられて
いる。アクチュエータ３２Ａは、支柱に固定された固定
子３４Ａと、可動子３３Ａとから構成され、制御装置１
１から可動子３３Ａ内のコイルに流れる電流を調整する
ことにより、第ｌコラム２４に対して±Ｘ方向に力を与
えることができる。 【００２２】同様に、第１コラム２４の上面２箇所にア
クチュエータ３２Ｂ、３２Ｃが台座２に固定された支柱
との間に取り付けられ、制御装置１１からの指示により
±Ｙ方向の力を与えることができるようになっている。 【００２３】また、定盤６にはＸＹステージの位置計測
手段としてレーザ干渉計３０Ｘ，３０Ｙ，３０Ｒが設け
られているが、３０Ｙのみが図示されている。 【００２４】本実施の形態では、防振対象物として、定
盤６、ＸＹステージ２０、ウエハホルダ２１、第１コラ
ム２４、投影光学系ＰＬ、第２コラム２６、及びレチク
ルステージ２７等により露光装置本体部４０が構成され
ている。なお、図１においては、図示の複雑化を避ける
ため、ケーブル、ホース類は図示を省略してある。 【００２５】図２に本体上のケーブル、ホースの引き回
しの状態を模式的に示す。本体上におかれている電気機
器、空圧機器を駆動するためのケーブル、ホースの引き
回しの経路については図中の二点鎖線で示すように本体
上の１箇所および数箇所に束ねたうえで装置の外部にそ
のまま出されるのがふつうであった。 【００２６】本実施の形態では、防振対象物である露光
装置本体４０より張り出されるケーブル４１による張力
のベクトルの合成ベクトルのほぼ延長線上に本体の回転
中心Ｏがあるように選択され、このことによりケーブル
４１の引っ張りによる除振上の悪影響が最小にされてい
る。 【００２７】図３は本発明の第２実施の形態を示す模式
的説明図である。図３において、露光装置本体４０に接
続されるケーブルは符号４５で示す如く通常多数本にわ
たる。そこで、第２実施の形態ではケーブル４５を本体
側固定手段４６を介して分散することにより張力の影響
を緩和させている。また、ケーブル４５による張力の合
成ベクトルは本体の回転中心と同じ高さにされており、
本体４０のいわゆるローリング運動を減少させている。 【００２８】また、図３に示す如く露光装置本体４０か
ら出てくるケーブル４５を固定部材４７を介して台座２
に一度固定してから外部装置（図示なし）へと引き回す
ようにすれば、外部からの引っ張り等による影響を排除
できる。ケーブル４５になるべくたるみを付けて自重に
より発生する張力を減少させるようにすると良い。 【００２９】図４は本発明の第３実施の形態を示す模式
的説明図である。図４において、露光装置本体４０に接
続されるケーブルは複数あり、複数あるケーブルの何本
かを例えば図４で示すようにケーブル４１，４１’のよ
うに露光装置本体４０の互いに向かい合う側面部から張
り出すように配置し固定すれば、互いにケーブル４１，
４１’の張力が打ち消し合う関係となり、ケーブル４
１，４１’の張力のベクトル和、すなわち合成ベクトル
が少なくとも一つのケーブルの張力よりも小さくなり、
一本のケーブルの場合に比較して、各張力が分散され絶
対的に小さくなり、またその合成張力も小さくなる。こ
の結果、ケーブルの張力の影響を緩和させることが可能
である。 【００３０】 【発明の効果】本発明においては、ケーブルおよびホー
スの影響を受けることなく、外乱振動の抑制（制振）効
果を向上させ、しがも、環境温度に対する影響を最小限
に抑えることができる除振装置及びこれを備えた露光装
置が実現可能となる。
装置に関する。更に詳しくは、本発明は、除振台の振動
を打ち消すようにアクチュエータにより除振台を駆動す
るいわゆるアクティブ方式を採用するに適した除振装置
及びこの除振装置を備えた露光装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、除振装置の除振台を支持する除振
パッドとしてばダンピング液中に圧縮コイルバネを入れ
た機械式ダンパや空気式ダンパ等種々のものが使用され
ている。特に、空気式ダンパを備えた空気バネ除振装置
はバネ定数を小さく設定でき、約１０Ｈｚ以上の振動を
絶縁することから、精密機器の支持に広く用いられてい
る。また、最近では従来のパッシブ除振装置の限界を打
破するために、アクティブ除振装置が提案されている
（例えば、特開平７−１６６０４３号公報等参照）。こ
れは、除振台の振動をセンサで検出し、このセンサの出
力に基づいてアクチュエータを駆動することにより振動
制御を行う除振装置であり、低周波制御帯域に共振ピー
クの無い理想的な振動絶縁効果を持たせることができる
ものである。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】ステッパ等では、投影
レンズ、照明系、ＸＹステージ（ウエハステージ）等が
除振パッドに保持された定盤上に搭載されており、これ
らを駆動するための電気機器、空圧機器が同じく除振台
上の本体に多数配置されている。従って、除振台上の本
体と装置の外部との間には膨大な量のケーブルやホース
が引き回されている。（本明細書では、ケーブルとホー
スを含めてケーブルと総称する。）ケーブルが装置本体
に与える張力は実質的なものであり、除振上悪影響を与
えている。 【０００４】とくに、アクティブ式の除振装置では、位
置制御ループにより本体の姿勢を初期位置に位置決めを
するが、ケーブルの数や量が大きくなると本体に及ぼす
力も大きくなり、それを補正するためにアクチュエータ
に必要とされる推力も大きくなる。このような除振装置
では、アクチュエータより発生する発熱量が大きく、露
光装置の置かれている環境の温度変化が大きくなる。ま
たケーブルそのものを伝達経路として床振動等の外乱を
除振台上の本体に伝えてしまい、ステージ精度の悪化等
の要因となることもありうる。 【０００５】本発明は、かかる事情の下になされたもの
で、その目的はケーブルおよびホースの影響を受けるこ
となく、外乱振動の抑制（制振）効果を向上させること
ができる除振装置及びこれを備えた露光装置を提供する
ことにある。 【０００６】 【課題を解決する為の手段】本発明の除振装置は、台座
（２）に対して除振部材を介して取り付けられた除振対
象物（４０）と、前記除振対象物に接続されたケーブル
（４１，４１’，４５）と、を含み、前記ケーブルの張
カのベクトルの延長線上近傍に、前記除振対象物の回転
モーメントの回転中心（Ｏ）が位置している。 【０００７】また本発明の露光装置は マスクに形成さ
れたパターンを投影光学系を介して感光基板に投影露光
する露光装置本体（４０）と、台座（２）と前記露光装
置本体とを連結する除振部材（４Ａ〜４Ｄ）と、前記露
光装置本体に接続されたケーブルと、を含み、前記ケー
ブルの張力のベクトルの延長線上近傍に、前記除振対象
物の回転モーメントの回転中心が位置している構成であ
る。 【０００８】本発明の請求項２の構成によれば、前記除
振装置において、前記除振対象物（４０）と接続される
前記ケーブル（４１，４１’，４５）は複数あり、前記
除振対象物（４０）におよぼす前記複数のケーブルの張
力のベクトル和の合成べクトルの延長線上近傍に、前記
除振対象物の回転モーメントの回転中心（Ｏ）が位置し
ている。 【０００９】本発明の請求項３の構成による除振装置
は、台座（２）に対して除振部材（４Ａ〜４Ｄ）を介し
て取り付けられた除振対象物（４０）と、前記除振対象
物に接続されたケーブル（４１，４１’，４５）と、を
含み、前記除振対象物と結合される前記ケーブルは複数
あり、前記除振対象物におよぼす前記ケーブルの張力の
ベクトル加算を行った合成張力が、前記ケーブルのうち
少なくとも１つのケーブルの張力よりも小さくなる構成
である。 【００１０】本発明の請求項４の除振装置は、台座
（２）に対して除振部材（４Ａ〜４Ｄ）を介して取り付
けられた除振対象物（４０）と、前記除振対象物に接続
されたケーブル（４１，４１’，４５）と、を含み、前
記除振対象物と接続される前記ケーブルは複数あり、前
記ケーブルを分散させて前記除振対象物に接続する構成
である。 【００１１】本発明の請求項５のものは、前記除振装置
において、前記台座に対する前記除振対象物の変位と振
動との少なくとも一方を抑制する方向に前記除振対象物
を駆動するアクチュエータ（７Ａ〜７Ｄ、３２Ａ〜３２
Ｄ）と、前記変位と前記振動との少なくとも一方を検出
するセンサ（１０Ｚ１〜１０Ｚ３，１０Ｙ１，１０Ｙ
２、１０Ｘ）と、前記センサの検出出力に基づいて前記
アクチュエータを駆動制御する制御部（１１）と、を含
む構成である。 【００１２】さらに、請求項６の除振装置においては、
前記除振対象物に接続される前記ケーブル（４１，４
１’，４５）は、前記台座に固定される構成とする。 【００１３】 【実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図ｌない
し図２、図３に基づいて説明する。 【００１４】図１には、一実施の形態に係る露光装置の
概略斜視図が示されている。この図１において、設置面
としての床上に台座２が設置され、この上に除振部材と
しての除振パッド４Ａ〜４Ｄ（４Ｄは図示なし）が設置
され、さらにその上に除振台としての定盤６が設置され
ている。 【００１５】除振パッド４Ａ〜４Ｄは、それぞれ定盤６
の底面の４個の頂点付近に配置されている。本実施の形
態では、除振パッド４Ａ〜４Ｄとして空気式ダンパが使
用され、空気の圧力により高さを調整できるため、上下
動機構の役目も兼ねている。 【００１６】台座２と定盤６との間に除振パッド４Ａと
並列にアクチュエータ７Ａが設置されている。アクチュ
エータ７Ａは、台座２上に固定された固定子９Ａと定盤
６の底面に固定された可動子８Ａとから構成され、制御
装置１１からの指示に応じて台座２から定盤６の底面に
対する付勢力、または定盤６の底面から台座２に向かう
吸引力を発生する。他の除振パッド４Ｂ〜４Ｄにおいて
も、同様に並列にアクチュエータ７Ｂ〜７Ｄが設置され
ている。 【００１７】定盤６上にはＸＹ方向に駆動される基板ス
テージとしてのＸＹステージ２０が載置されている。更
に、このＸＹステージ２０上にＺレベリングステージ、
θステージ及びウエハホルダ２１を介して感光基板とし
てのウエハＷが吸着保持されている。 【００１８】定盤６上でＸＹステージ２０を囲むように
第ｌコラム２４が植設され、第１コラム２４の上板の中
央部に投影光学系ＰＬが固定され、第１コラム２４の上
板に投影光学系ＰＬを囲むように第２コラム２６が植設
され、第２コラム２６の上板の中央部にレチクルステー
ジ２７を介してマスクとしてのレチクルＲが載置されて
いる。 【００１９】第１コラム２４にはＺ方向加速度を検出す
る振動センサとしての加速度センサ５Ｚ１、５Ｚ２、５
Ｚ３が取りつけられている。Ｙ方向加速度を検出するた
めの加速度センサ５Ｙ１、５Ｙ２、Ｘ方向加速度を検出
するための加速度センサ５Ｘも同様に取り付けられてい
る。 【００２０】また、第１コラム２４にはＺ方向変位を検
出する変位センサｌ０Ｚ１、１０Ｚ２、１０Ｚ３が取り
つけられている。またＹ方向変位を検出する変位センサ
ｌ０Ｙｌ、ｌ０Ｙ２、Ｘ方向変位を検出する変位センサ
ｌ０Ｘも同様に取り付けられている。 【００２１】第ｌコラム２４の側面にアクチュエータ３
２Ａが台座２に固定された支柱との間に取り付けられて
いる。アクチュエータ３２Ａは、支柱に固定された固定
子３４Ａと、可動子３３Ａとから構成され、制御装置１
１から可動子３３Ａ内のコイルに流れる電流を調整する
ことにより、第ｌコラム２４に対して±Ｘ方向に力を与
えることができる。 【００２２】同様に、第１コラム２４の上面２箇所にア
クチュエータ３２Ｂ、３２Ｃが台座２に固定された支柱
との間に取り付けられ、制御装置１１からの指示により
±Ｙ方向の力を与えることができるようになっている。 【００２３】また、定盤６にはＸＹステージの位置計測
手段としてレーザ干渉計３０Ｘ，３０Ｙ，３０Ｒが設け
られているが、３０Ｙのみが図示されている。 【００２４】本実施の形態では、防振対象物として、定
盤６、ＸＹステージ２０、ウエハホルダ２１、第１コラ
ム２４、投影光学系ＰＬ、第２コラム２６、及びレチク
ルステージ２７等により露光装置本体部４０が構成され
ている。なお、図１においては、図示の複雑化を避ける
ため、ケーブル、ホース類は図示を省略してある。 【００２５】図２に本体上のケーブル、ホースの引き回
しの状態を模式的に示す。本体上におかれている電気機
器、空圧機器を駆動するためのケーブル、ホースの引き
回しの経路については図中の二点鎖線で示すように本体
上の１箇所および数箇所に束ねたうえで装置の外部にそ
のまま出されるのがふつうであった。 【００２６】本実施の形態では、防振対象物である露光
装置本体４０より張り出されるケーブル４１による張力
のベクトルの合成ベクトルのほぼ延長線上に本体の回転
中心Ｏがあるように選択され、このことによりケーブル
４１の引っ張りによる除振上の悪影響が最小にされてい
る。 【００２７】図３は本発明の第２実施の形態を示す模式
的説明図である。図３において、露光装置本体４０に接
続されるケーブルは符号４５で示す如く通常多数本にわ
たる。そこで、第２実施の形態ではケーブル４５を本体
側固定手段４６を介して分散することにより張力の影響
を緩和させている。また、ケーブル４５による張力の合
成ベクトルは本体の回転中心と同じ高さにされており、
本体４０のいわゆるローリング運動を減少させている。 【００２８】また、図３に示す如く露光装置本体４０か
ら出てくるケーブル４５を固定部材４７を介して台座２
に一度固定してから外部装置（図示なし）へと引き回す
ようにすれば、外部からの引っ張り等による影響を排除
できる。ケーブル４５になるべくたるみを付けて自重に
より発生する張力を減少させるようにすると良い。 【００２９】図４は本発明の第３実施の形態を示す模式
的説明図である。図４において、露光装置本体４０に接
続されるケーブルは複数あり、複数あるケーブルの何本
かを例えば図４で示すようにケーブル４１，４１’のよ
うに露光装置本体４０の互いに向かい合う側面部から張
り出すように配置し固定すれば、互いにケーブル４１，
４１’の張力が打ち消し合う関係となり、ケーブル４
１，４１’の張力のベクトル和、すなわち合成ベクトル
が少なくとも一つのケーブルの張力よりも小さくなり、
一本のケーブルの場合に比較して、各張力が分散され絶
対的に小さくなり、またその合成張力も小さくなる。こ
の結果、ケーブルの張力の影響を緩和させることが可能
である。 【００３０】 【発明の効果】本発明においては、ケーブルおよびホー
スの影響を受けることなく、外乱振動の抑制（制振）効
果を向上させ、しがも、環境温度に対する影響を最小限
に抑えることができる除振装置及びこれを備えた露光装
置が実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施の形態に係る投影露光装置を
示す斜視図である。 【図２】第１実施の形態に関し露光装置本体上のケーブ
ル引き回しの模式図である。 【図３】本発明の第２実施の形態について露光装置本体
上のケーブルの固定方法を示す模式的説明図である。 【図４】本発明の第３実施の形態について、露光装置本
体上のケーブルの固定方法を示す模式的説明図である。 【符号の説明】 ２ 台座 ４Ａ〜４Ｄ 除振パッド ５Ｚｌ〜５Ｚ３、５Ｙ１、５Ｙ２、５Ｘ 加速度センサ ６ 定盤（除振
台） ７Ａ〜７Ｄ、３２Ａ〜３２Ｃ アクチュエー
タ ｌ０Ｚｌ〜ｌ０Ｚ３、１０Ｙ１、１０Ｙ２、１０Ｘ
変位センサ ｌｌ 制御装置 ２０ ＸＹステージ
（基板ステージ） ２７ レチクルステ
ージ ３０Ｘ、３０Ｙ、３０Ｒ レーザ干渉計
（位置計測手段） Ｒ レチクル ＰＬ 投影光学系 Ｗ ウエハ（感光
基板）
示す斜視図である。 【図２】第１実施の形態に関し露光装置本体上のケーブ
ル引き回しの模式図である。 【図３】本発明の第２実施の形態について露光装置本体
上のケーブルの固定方法を示す模式的説明図である。 【図４】本発明の第３実施の形態について、露光装置本
体上のケーブルの固定方法を示す模式的説明図である。 【符号の説明】 ２ 台座 ４Ａ〜４Ｄ 除振パッド ５Ｚｌ〜５Ｚ３、５Ｙ１、５Ｙ２、５Ｘ 加速度センサ ６ 定盤（除振
台） ７Ａ〜７Ｄ、３２Ａ〜３２Ｃ アクチュエー
タ ｌ０Ｚｌ〜ｌ０Ｚ３、１０Ｙ１、１０Ｙ２、１０Ｘ
変位センサ ｌｌ 制御装置 ２０ ＸＹステージ
（基板ステージ） ２７ レチクルステ
ージ ３０Ｘ、３０Ｙ、３０Ｒ レーザ干渉計
（位置計測手段） Ｒ レチクル ＰＬ 投影光学系 Ｗ ウエハ（感光
基板）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 台座に対して除振部材を介して取り付け
られた除振対象物と、 前記除振対象物に接続されたケーブルと、を含む除振装
置において、 前記ケーブルの張力のベクトルの延長線上近傍に、前記
除振対象物の回転モーメントの回転中心が位置している
ことを特徴とする除振装置。 【請求項２】 前記除振対象物と接続される前記ケーブ
ルは複数のケーブルがあり、前記除振対象物におよぼす
前記複数のケーブルの張力のベクトル和の合成べクトル
の延長線上近傍に、前記除振対象物の回転モーメントの
回転中心が位置していることを特徴とする請求項１記載
の除振装置。 【請求項３】 台座に対して除振部材を介して取り付け
られた除振対象物と、 前記除振対象物に接続されたケーブルと、を含む除振装
置において、 前記除振対象物と結合される前記ケーブルは複数あり、
前記除振対象物におよぼす前記ケーブルの張力のベクト
ル加算を行った合成張力が、前記ケーブルのうち少なく
とも１つのケーブルの張力よりも小さくなることを特徴
とする除振装置。 【請求項４】 台座に対して除振部材を介して取り付け
られた除振対象物と、 前記除振対象物に接続されたケーブルと、を含む除振装
置において、 前記除振対象物と接続される前記ケーブルは複数あり、
前記ケーブルを分散させて前記除振対象物に接続するこ
とを特徴とする除振装置。 【講求項５】 前記台座に対する前記除振対象物の変位
と振動との少なくとも一方を抑制する方向に前記除振対
象物を駆動するアクチュエータと、 前記変位と前記振動との少なくとも一方を検出するセン
サと、 前記センサの検出出力に基づいて前記アクチュエータを
駆動制御する制御部と、 を含むことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の
除振装置。 【請求項６】 前記除振対象物に接続される前記ケーブ
ルは、前記台座に固定されることを特徴する請求項１、
２、３、４又は５記載の除振装置。 【請求項７】 マスクに形成されたパターンを投影光学
系を介して感光基板に投影露光する露光装置本体と、 台座と前記露光装置本体とを連結する除振部材と、 前記露光装置本体に接続されたケーブルと、を含む露光
装置において、 前記ケーブルの張力のベクトルの延長線上近傍に、前記
除振対象物の回転モーメントの回転中心が位置している
ことを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9247554A JPH1182609A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 除振装置及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9247554A JPH1182609A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 除振装置及び露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1182609A true JPH1182609A (ja) | 1999-03-26 |
Family
ID=17165229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9247554A Withdrawn JPH1182609A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 除振装置及び露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1182609A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6396562B1 (en) | 1998-12-02 | 2002-05-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Microdevice manufacturing apparatus |
| JP2008042201A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Asml Netherlands Bv | ケーブル接続、ケーブル接続用の制御システム、およびケーブル接続を経て振動が第１の対象から第２の対象へと伝達されることを軽減する方法 |
| CN111965943A (zh) * | 2019-05-20 | 2020-11-20 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机 |
-
1997
- 1997-08-29 JP JP9247554A patent/JPH1182609A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6396562B1 (en) | 1998-12-02 | 2002-05-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Microdevice manufacturing apparatus |
| JP2008042201A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Asml Netherlands Bv | ケーブル接続、ケーブル接続用の制御システム、およびケーブル接続を経て振動が第１の対象から第２の対象へと伝達されることを軽減する方法 |
| US8743344B2 (en) | 2006-08-08 | 2014-06-03 | Asml Netherlands B.V. | Cable connection, control system, and method to decrease the passing on of vibrations from a first object to a second object |
| CN111965943A (zh) * | 2019-05-20 | 2020-11-20 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机 |
| CN111965943B (zh) * | 2019-05-20 | 2021-09-17 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040806 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040813 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040813 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20060929 |