JPH1177989A - インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH1177989A JPH1177989A JP9244919A JP24491997A JPH1177989A JP H1177989 A JPH1177989 A JP H1177989A JP 9244919 A JP9244919 A JP 9244919A JP 24491997 A JP24491997 A JP 24491997A JP H1177989 A JPH1177989 A JP H1177989A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- ink
- groove
- head
- grooves
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 静電容量が小さく、天板の接着精度を必要と
しないインクジェットプリンタヘッドを提供することで
ある。 【解決手段】 基板４の一面と正面部７とに開放させて
溝９を形成し、前記基板４の前記正面部７からの所定位
置に前記溝９にまで達する深さの一定幅の切り込み溝２
４を形成し、この切り込み溝２４を支持基板で覆ってイ
ンク室に連通する共通液室を形成した。
しないインクジェットプリンタヘッドを提供することで
ある。 【解決手段】 基板４の一面と正面部７とに開放させて
溝９を形成し、前記基板４の前記正面部７からの所定位
置に前記溝９にまで達する深さの一定幅の切り込み溝２
４を形成し、この切り込み溝２４を支持基板で覆ってイ
ンク室に連通する共通液室を形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オンデマンド方式
のインクジェットプリンタヘッド及びその製造方法に関
するものである。
のインクジェットプリンタヘッド及びその製造方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧電部材を用いたオンデマンド方
式のインクジェットプリンタにおいて採用されているヘ
ッドモジュール１の構造を図１１乃至図１３に示す。す
なわち、このヘッドモジュール１は、少なくとも一方が
圧電部材よりなる下層基板２及び上層基板３とからなる
積層された基板４と天板５を接着又は接合により一体化
してヘッド本体６を形成した後、このヘッド本体６の端
面開口部、すなわち、正面部７に厚さ１０乃至１００μ
ｍ程度のノズルプレート８を接着した構造になってい
る。さらに、詳しく説明すると、基板４には、上層基板
３の上面から下層基板２の内部まで到達するとともに正
面部７が開口し後部が閉鎖した多数の溝９が形成されて
いる。すなわち、前記溝９は、前記ヘッド本体６の一面
と正面部７とに開放させて形成されているものであり、
ＩＣウェハーの切断等に用いているダイシングソーのダ
イヤモンドホィール等により並行に研削されている。さ
らに、これらの溝９の後部から基板４の上面後端まで延
長して前記溝９内に無電解ニッケルメッキ法で電極１０
及び配線パターン１１が形成されている。この配線パタ
ーン１１には、ＦＰＣなどで駆動回路が接続される。こ
の時、基板４に形成された溝９は、それらの溝９の両側
に形成された側壁１２と天板５とで一つ一つが遮断され
てインク流路を兼ねたインク室１３とされ、さらに、こ
れらのインク室１３のすべてに連通するインク供給口と
して作用する共通液室１４が前記天板５の下面に形成さ
れ、この天板５には、前記共通液室１４の両側部分に連
通するインク供給口１５が形成されている。また、前記
ノズルプレート８には、前記インク室１３毎に開口する
インク吐出口１６が形成されている。しかして、前記基
板４の溝９のサイズは、ヘッドモジュール１の仕様によ
り異なるが、例えば、溝９の深さが ０.４ｍｍ、溝幅が
８０μｍ、溝９の長さは１０ｍｍ程度となっている。
式のインクジェットプリンタにおいて採用されているヘ
ッドモジュール１の構造を図１１乃至図１３に示す。す
なわち、このヘッドモジュール１は、少なくとも一方が
圧電部材よりなる下層基板２及び上層基板３とからなる
積層された基板４と天板５を接着又は接合により一体化
してヘッド本体６を形成した後、このヘッド本体６の端
面開口部、すなわち、正面部７に厚さ１０乃至１００μ
ｍ程度のノズルプレート８を接着した構造になってい
る。さらに、詳しく説明すると、基板４には、上層基板
３の上面から下層基板２の内部まで到達するとともに正
面部７が開口し後部が閉鎖した多数の溝９が形成されて
いる。すなわち、前記溝９は、前記ヘッド本体６の一面
と正面部７とに開放させて形成されているものであり、
ＩＣウェハーの切断等に用いているダイシングソーのダ
イヤモンドホィール等により並行に研削されている。さ
らに、これらの溝９の後部から基板４の上面後端まで延
長して前記溝９内に無電解ニッケルメッキ法で電極１０
及び配線パターン１１が形成されている。この配線パタ
ーン１１には、ＦＰＣなどで駆動回路が接続される。こ
の時、基板４に形成された溝９は、それらの溝９の両側
に形成された側壁１２と天板５とで一つ一つが遮断され
てインク流路を兼ねたインク室１３とされ、さらに、こ
れらのインク室１３のすべてに連通するインク供給口と
して作用する共通液室１４が前記天板５の下面に形成さ
れ、この天板５には、前記共通液室１４の両側部分に連
通するインク供給口１５が形成されている。また、前記
ノズルプレート８には、前記インク室１３毎に開口する
インク吐出口１６が形成されている。しかして、前記基
板４の溝９のサイズは、ヘッドモジュール１の仕様によ
り異なるが、例えば、溝９の深さが ０.４ｍｍ、溝幅が
８０μｍ、溝９の長さは１０ｍｍ程度となっている。
【０００３】このように形成された複数個のヘッドモジ
ュール１は、図１４に示すように支持基板１７の両面に
配設されてインクジェットプリンタヘッド１８として構
成されている。すなわち、支持基板１７の両面にはヘッ
ドモジュール１が交互に配設され、それぞれのインク供
給口１５には図示しないインクタンクに接続されたイン
ク供給チューブ１９が接続キャップ２０を用いて順次接
続されている。また、前記支持基板１７には取付孔２１
が形成されている。
ュール１は、図１４に示すように支持基板１７の両面に
配設されてインクジェットプリンタヘッド１８として構
成されている。すなわち、支持基板１７の両面にはヘッ
ドモジュール１が交互に配設され、それぞれのインク供
給口１５には図示しないインクタンクに接続されたイン
ク供給チューブ１９が接続キャップ２０を用いて順次接
続されている。また、前記支持基板１７には取付孔２１
が形成されている。
【０００４】このような構成において、ヘッド本体６の
インク室１３にインクを供給した状態で駆動するインク
室１３の両側に位置する側壁１２をシェアモード変形に
より湾曲させて徐々に離反させ、これを急激に初期位置
に復帰させてインク室１３内のインクを加圧することで
インク吐出口１６からインク滴を吐出させる。このと
き、クロストークを防止するため、偶数番目のインク室
１３と奇数番目のインク室１３とを交互に側壁１２で加
圧するように駆動する。また、インク吐出口１６の断面
形状は、後部が拡開し前部が縮小するようにテーパー状
に形成されているため、インク室１３で加圧されたイン
クは効率良く吐出される。
インク室１３にインクを供給した状態で駆動するインク
室１３の両側に位置する側壁１２をシェアモード変形に
より湾曲させて徐々に離反させ、これを急激に初期位置
に復帰させてインク室１３内のインクを加圧することで
インク吐出口１６からインク滴を吐出させる。このと
き、クロストークを防止するため、偶数番目のインク室
１３と奇数番目のインク室１３とを交互に側壁１２で加
圧するように駆動する。また、インク吐出口１６の断面
形状は、後部が拡開し前部が縮小するようにテーパー状
に形成されているため、インク室１３で加圧されたイン
クは効率良く吐出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】第一の課題は、インク
室１３の静電容量が大きいというものである。すなわ
ち、側壁１２部分に形成された電極１０に電圧が印加さ
れてその側壁１２の変形がなされるものであるが、その
際に、インク滴を吐出させるインク室１３内の有効流路
Ａは、正面部７から共通液室１４の正面側の縁部ａまで
の部分である。この有効流路Ａの長さは、仕様により種
々のものがあるが、その一例を上げれば、１０ｍｍ程度
である。しかるに、側壁１２に形成された電極１０は、
有効流路Ａの部分のみではなく、共通液室１４の部分、
すなわち、ダイシングソー等による円弧部等を含む部分
が存在する。この部分には当然のことながら静電容量が
あり、この静電容量が大きいことは高速駆動の障害にな
っている。
室１３の静電容量が大きいというものである。すなわ
ち、側壁１２部分に形成された電極１０に電圧が印加さ
れてその側壁１２の変形がなされるものであるが、その
際に、インク滴を吐出させるインク室１３内の有効流路
Ａは、正面部７から共通液室１４の正面側の縁部ａまで
の部分である。この有効流路Ａの長さは、仕様により種
々のものがあるが、その一例を上げれば、１０ｍｍ程度
である。しかるに、側壁１２に形成された電極１０は、
有効流路Ａの部分のみではなく、共通液室１４の部分、
すなわち、ダイシングソー等による円弧部等を含む部分
が存在する。この部分には当然のことながら静電容量が
あり、この静電容量が大きいことは高速駆動の障害にな
っている。
【０００６】第二の課題は、有効流路Ａの長さ精度を確
保することが難しいという点である。すなわち、前述の
ように、有効流路Ａの長さは天板５に形成された共通液
室１４の縁部ａの位置により定められるため、基板４に
対する天板５の位置を正確に定めて接着しなければなら
ない。そのため、天板５の接着精度をかなり高いものと
しなければならないと云う問題がある。
保することが難しいという点である。すなわち、前述の
ように、有効流路Ａの長さは天板５に形成された共通液
室１４の縁部ａの位置により定められるため、基板４に
対する天板５の位置を正確に定めて接着しなければなら
ない。そのため、天板５の接着精度をかなり高いものと
しなければならないと云う問題がある。
【０００７】第三の課題は、支持基板１７に複数個のヘ
ッドモジュール１を固定した場合に、各ヘッドモジュー
ル１に対するインク供給のために、インク供給チューブ
１９を用いて接続しなければならないと云う点である。
これにより、インクジェットプリンタヘッド１８として
大型化し、コンパクトに形成することができないもので
ある。
ッドモジュール１を固定した場合に、各ヘッドモジュー
ル１に対するインク供給のために、インク供給チューブ
１９を用いて接続しなければならないと云う点である。
これにより、インクジェットプリンタヘッド１８として
大型化し、コンパクトに形成することができないもので
ある。
【０００８】第四の課題は、側壁１２の両面に形成され
た電極１０間の電気的な短絡が発生する可能性が高いこ
とである。すなわち、基板４は、下層基板２と上層基板
３とを接着したものであるが、この接着部分に気泡が混
入する場合があり、この気泡の存在により隣合う電極１
０の間で電気的な短絡が発生する。そのため、インク室
１３内の下層基板２と上層基板３との接着部の長さが大
きければ大きい程、その可能性が高いものであり、有効
流路Ａ部分以外でも短絡するおそれがある。
た電極１０間の電気的な短絡が発生する可能性が高いこ
とである。すなわち、基板４は、下層基板２と上層基板
３とを接着したものであるが、この接着部分に気泡が混
入する場合があり、この気泡の存在により隣合う電極１
０の間で電気的な短絡が発生する。そのため、インク室
１３内の下層基板２と上層基板３との接着部の長さが大
きければ大きい程、その可能性が高いものであり、有効
流路Ａ部分以外でも短絡するおそれがある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
板厚方向に分極した少なくとも１枚以上の圧電部材を積
層した基板を形成し、この基板に互いに平行な複数の溝
とこれらの溝を隔てる少なくとも一部が前記圧電部材か
らなる側壁とを等間隔に形成し、前記側壁を形成する圧
電部材に電圧を印加する電極とこれらの電極に接続され
た配線パターンとを前記基板に形成し、前記溝の上部を
覆う天板と前記溝の正面部を覆うノズルプレートとを取
り付けて複数のインク室を形成した複数のヘッドモジュ
ールを長尺の支持基板に配設したインクジェットプリン
タヘッドにおいて、前記溝を前記基板の一面と正面部と
に開放させて形成し、前記基板の他面の前記正面部から
の所定位置に前記溝にまで達する深さの一定幅の切り込
み溝を形成し、この切り込み溝を前記支持基板で覆って
前記インク室に連通する共通液室を形成したものであ
る。従って、インク室内の有効流路の長さは、切り込み
溝を機械加工により形成することができるため、きわめ
て正確に形成することができ、天板を接着する場合にそ
の天板の位置の正確度を必要としない。また、切り込み
溝の部分には、基板の接着層部分が存在しないため、イ
ンク室内における気泡による電気的短絡が発生する領域
を狭くすることができ、これにより、電気的短絡が発生
する確率を低くすることができる。
板厚方向に分極した少なくとも１枚以上の圧電部材を積
層した基板を形成し、この基板に互いに平行な複数の溝
とこれらの溝を隔てる少なくとも一部が前記圧電部材か
らなる側壁とを等間隔に形成し、前記側壁を形成する圧
電部材に電圧を印加する電極とこれらの電極に接続され
た配線パターンとを前記基板に形成し、前記溝の上部を
覆う天板と前記溝の正面部を覆うノズルプレートとを取
り付けて複数のインク室を形成した複数のヘッドモジュ
ールを長尺の支持基板に配設したインクジェットプリン
タヘッドにおいて、前記溝を前記基板の一面と正面部と
に開放させて形成し、前記基板の他面の前記正面部から
の所定位置に前記溝にまで達する深さの一定幅の切り込
み溝を形成し、この切り込み溝を前記支持基板で覆って
前記インク室に連通する共通液室を形成したものであ
る。従って、インク室内の有効流路の長さは、切り込み
溝を機械加工により形成することができるため、きわめ
て正確に形成することができ、天板を接着する場合にそ
の天板の位置の正確度を必要としない。また、切り込み
溝の部分には、基板の接着層部分が存在しないため、イ
ンク室内における気泡による電気的短絡が発生する領域
を狭くすることができ、これにより、電気的短絡が発生
する確率を低くすることができる。
【００１０】請求項２記載の発明は、複数個のヘッドモ
ジュールを支持基板上に配設し、この支持基板上に形成
したインク流路によりそれぞれのヘッドモジュールの切
り込み溝を連通して共通液室を形成したものである。従
って、各ヘッドモジュールへのインク供給のためにイン
ク供給チューブを用いる必要がなく、これにより、コン
パクトなインクジェットプリンタヘッドを形成すること
ができる。
ジュールを支持基板上に配設し、この支持基板上に形成
したインク流路によりそれぞれのヘッドモジュールの切
り込み溝を連通して共通液室を形成したものである。従
って、各ヘッドモジュールへのインク供給のためにイン
ク供給チューブを用いる必要がなく、これにより、コン
パクトなインクジェットプリンタヘッドを形成すること
ができる。
【００１１】請求項３記載の発明は、支持基板に長溝状
のインク流路を形成し、このインク流路に沿わせて複数
個のヘッドモジュールを連設し、これらのヘッドモジュ
ール間の前記インク流路の開放部分をカバーにより閉塞
したので、支持基板に複数個のヘッドモジュールを取り
付けることがきわめて容易なものである。
のインク流路を形成し、このインク流路に沿わせて複数
個のヘッドモジュールを連設し、これらのヘッドモジュ
ール間の前記インク流路の開放部分をカバーにより閉塞
したので、支持基板に複数個のヘッドモジュールを取り
付けることがきわめて容易なものである。
【００１２】請求項４記載の発明は、板厚方向に分極し
た少なくとも１枚以上の圧電部材を積層した基板を形成
し、この基板に互いに平行な複数の溝とこれらの溝を隔
てる少なくとも一部が前記圧電部材からなる側壁とを等
間隔に形成し、前記側壁を形成する圧電部材に電圧を印
加する電極とこれらの電極に接続された配線パターンと
を前記基板に形成し、前記溝の上部を覆う天板を接着固
定し、この天板が固定された前記基板の正面部を平坦に
加工する正面部加工とこの正面部を基準として前記溝に
まで達する深さの一定幅の切り込み溝を加工する切り込
み溝加工とを順次行ない、前記溝の正面部を覆うノズル
プレートを取り付けて複数のインク室を備えたヘッドモ
ジュールを形成し、複数のヘッドモジュールをインク流
路を備えた長尺の支持基板に配設するようにしたもので
ある。従って、切り込み溝の形成を基板の正面部の仕上
作業と同時にきわめて高精度で簡単に行なうことができ
る。
た少なくとも１枚以上の圧電部材を積層した基板を形成
し、この基板に互いに平行な複数の溝とこれらの溝を隔
てる少なくとも一部が前記圧電部材からなる側壁とを等
間隔に形成し、前記側壁を形成する圧電部材に電圧を印
加する電極とこれらの電極に接続された配線パターンと
を前記基板に形成し、前記溝の上部を覆う天板を接着固
定し、この天板が固定された前記基板の正面部を平坦に
加工する正面部加工とこの正面部を基準として前記溝に
まで達する深さの一定幅の切り込み溝を加工する切り込
み溝加工とを順次行ない、前記溝の正面部を覆うノズル
プレートを取り付けて複数のインク室を備えたヘッドモ
ジュールを形成し、複数のヘッドモジュールをインク流
路を備えた長尺の支持基板に配設するようにしたもので
ある。従って、切り込み溝の形成を基板の正面部の仕上
作業と同時にきわめて高精度で簡単に行なうことができ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図１
乃至図５に基づいて説明する。図１１乃至図１４につい
て説明した部分と同一部分は同一符号を用い説明も省略
する。まず、ヘッドモジュール１は、少なくとも一方が
圧電部材よりなる下層基板２及び上層基板３とからなる
積層された基板４と平板状に形成された天板２２を接着
又は接合により一体化してヘッド本体６を形成した後、
このヘッド本体６の端面開口部、すなわち、正面部７に
厚さ１０乃至１００μｍ程度のノズルプレート８を接着
した構造になっている。さらに、詳しく説明すると、基
板４には、上層基板３の上面から下層基板２の内部まで
到達するとともに正面部７が開口し後部が閉鎖した多数
の溝９が形成されている。すなわち、前記溝９は、前記
ヘッド本体６の一面と正面部７とに開放させて形成され
ているものであり、ＩＣウェハーの切断等に用いている
ダイシングソーのダイヤモンドホィール等により並行に
研削されている。さらに、これらの溝９の後部から基板
４の上面後端まで延長して前記溝９内に無電解ニッケル
メッキ法で電極１０及び配線パターン１１が形成されて
いる。この配線パターン１１には、ＦＰＣなどで駆動回
路が接続される。この時、基板４に形成された溝９は、
それらの溝９の両側に形成された側壁１２と天板２２と
で一つ一つが遮断されてインク流路を兼ねたインク室１
３とされている。前記天板２２には、後述する切り込み
溝の両側端部付近に位置させてインク供給口２３が形成
されている。
乃至図５に基づいて説明する。図１１乃至図１４につい
て説明した部分と同一部分は同一符号を用い説明も省略
する。まず、ヘッドモジュール１は、少なくとも一方が
圧電部材よりなる下層基板２及び上層基板３とからなる
積層された基板４と平板状に形成された天板２２を接着
又は接合により一体化してヘッド本体６を形成した後、
このヘッド本体６の端面開口部、すなわち、正面部７に
厚さ１０乃至１００μｍ程度のノズルプレート８を接着
した構造になっている。さらに、詳しく説明すると、基
板４には、上層基板３の上面から下層基板２の内部まで
到達するとともに正面部７が開口し後部が閉鎖した多数
の溝９が形成されている。すなわち、前記溝９は、前記
ヘッド本体６の一面と正面部７とに開放させて形成され
ているものであり、ＩＣウェハーの切断等に用いている
ダイシングソーのダイヤモンドホィール等により並行に
研削されている。さらに、これらの溝９の後部から基板
４の上面後端まで延長して前記溝９内に無電解ニッケル
メッキ法で電極１０及び配線パターン１１が形成されて
いる。この配線パターン１１には、ＦＰＣなどで駆動回
路が接続される。この時、基板４に形成された溝９は、
それらの溝９の両側に形成された側壁１２と天板２２と
で一つ一つが遮断されてインク流路を兼ねたインク室１
３とされている。前記天板２２には、後述する切り込み
溝の両側端部付近に位置させてインク供給口２３が形成
されている。
【００１４】ついで、前記基板４に前記天板２２を接着
した後に、前記基板４と前記天板２２との前面を研削し
て平坦な正面部７が仕上げられる。この正面部７の仕上
げをした直後にその正面部７の仕上げの状態で前記正面
部７を基準にして前記基板４の裏面から切り込み溝２４
を機械加工により形成する。この切り込み溝２４の加工
は、正面部７の加工のために加工機に前記基板４を取り
付けたままの状態で行なわれるものである。この切り込
み溝２４は、基板４の接着部を十分に越えるようにその
深さが設定されている。すなわち、前記切り込み溝２４
は、前記基板４の裏面の前記正面部７からの所定位置に
前記溝９にまで達する深さの一定幅のものである。この
切り込み溝２４の深さは、基板４の下層基板２と上層基
板３との接着部を越える深さであることが必要である。
そして、その切り込み溝２４の深さが大きい時には、電
極１０間の静電容量を小さくすることができるものであ
るが、１本の電極１０当たりの配線抵抗が上がってしま
う問題があるため、静電容量と配線抵抗との両者を勘案
してその深さが定められる。切り込み溝２４の幅に関し
ては、溝９の円弧部の全体が切り欠かれるのに十分な長
さだけあれば良いものである。
した後に、前記基板４と前記天板２２との前面を研削し
て平坦な正面部７が仕上げられる。この正面部７の仕上
げをした直後にその正面部７の仕上げの状態で前記正面
部７を基準にして前記基板４の裏面から切り込み溝２４
を機械加工により形成する。この切り込み溝２４の加工
は、正面部７の加工のために加工機に前記基板４を取り
付けたままの状態で行なわれるものである。この切り込
み溝２４は、基板４の接着部を十分に越えるようにその
深さが設定されている。すなわち、前記切り込み溝２４
は、前記基板４の裏面の前記正面部７からの所定位置に
前記溝９にまで達する深さの一定幅のものである。この
切り込み溝２４の深さは、基板４の下層基板２と上層基
板３との接着部を越える深さであることが必要である。
そして、その切り込み溝２４の深さが大きい時には、電
極１０間の静電容量を小さくすることができるものであ
るが、１本の電極１０当たりの配線抵抗が上がってしま
う問題があるため、静電容量と配線抵抗との両者を勘案
してその深さが定められる。切り込み溝２４の幅に関し
ては、溝９の円弧部の全体が切り欠かれるのに十分な長
さだけあれば良いものである。
【００１５】このように形成された複数個のヘッドモジ
ュール１は、図５に示すように支持基板２５の両面に配
設されてインクジェットプリンタヘッド２６として構成
されている。すなわち、支持基板２５の両面にはヘッド
モジュール１が交互に配設され、それぞれのインク供給
口１５には図示しないインクタンクに接続されたインク
供給チューブ１９が接続キャップ２０を用いて順次接続
されている。また、前記支持基板２５には取付孔２７が
形成されている。
ュール１は、図５に示すように支持基板２５の両面に配
設されてインクジェットプリンタヘッド２６として構成
されている。すなわち、支持基板２５の両面にはヘッド
モジュール１が交互に配設され、それぞれのインク供給
口１５には図示しないインクタンクに接続されたインク
供給チューブ１９が接続キャップ２０を用いて順次接続
されている。また、前記支持基板２５には取付孔２７が
形成されている。
【００１６】このように構成することにより、切り込み
溝２４でカットされた分だけ電極１０間の静電容量が小
さくなる。そのため、高速駆動をすることが容易にな
る。
溝２４でカットされた分だけ電極１０間の静電容量が小
さくなる。そのため、高速駆動をすることが容易にな
る。
【００１７】また、正面部７を基準にして切り込み溝２
４の位置を定めることができるため、有効流路Ａの長さ
精度を確保することが容易である。そのため、天板５の
接着時におけるその接着精度は低いものであってもよ
い。
４の位置を定めることができるため、有効流路Ａの長さ
精度を確保することが容易である。そのため、天板５の
接着時におけるその接着精度は低いものであってもよ
い。
【００１８】さらに、側壁１２の両面に形成された電極
１０間の電気的な短絡が発生する可能性についてみれ
ば、切り込み溝２４によりその接着層の一部をカットさ
れているため、短絡する確率を低いものとすることがで
きる。
１０間の電気的な短絡が発生する可能性についてみれ
ば、切り込み溝２４によりその接着層の一部をカットさ
れているため、短絡する確率を低いものとすることがで
きる。
【００１９】本発明の第二の実施の形態を図６乃至図１
０に基づいて説明する。前述の第一の実施の形態を説明
した図１乃至図５について説明した部分と同一部分は同
一符号を用い説明も省略する。本実施の形態において
は、天板２８にインク供給口が形成されていないもので
あり、また、支持基板２９の両面にはその長手方向に長
いインク流路３０が形成されているものである。これら
のインク流路３０は、その一端で連通孔３１により連通
している。
０に基づいて説明する。前述の第一の実施の形態を説明
した図１乃至図５について説明した部分と同一部分は同
一符号を用い説明も省略する。本実施の形態において
は、天板２８にインク供給口が形成されていないもので
あり、また、支持基板２９の両面にはその長手方向に長
いインク流路３０が形成されているものである。これら
のインク流路３０は、その一端で連通孔３１により連通
している。
【００２０】しかして、複数個のヘッドモジュール１
は、その切り込み溝２４をインク流路３０に対面させな
がらそのインク流路３０に沿わせて配設し、支持基板２
９に形成されたモジュール固定孔３２を利用して固定さ
れる。そして、各ヘッドモジュール１の間又はその両側
において開口するインク流路３０は、カバー３３により
閉塞される。また、インク流路３０の端部には、それぞ
れインクタンクに接続するための接続口部材３４が接着
固定されている。
は、その切り込み溝２４をインク流路３０に対面させな
がらそのインク流路３０に沿わせて配設し、支持基板２
９に形成されたモジュール固定孔３２を利用して固定さ
れる。そして、各ヘッドモジュール１の間又はその両側
において開口するインク流路３０は、カバー３３により
閉塞される。また、インク流路３０の端部には、それぞ
れインクタンクに接続するための接続口部材３４が接着
固定されている。
【００２１】このように形成することにより、各ヘッド
モジュール１へのインク供給のために、前述のようにイ
ンク供給チューブを用いる必要がないので、全体をコン
パクトにまとめることができる。
モジュール１へのインク供給のために、前述のようにイ
ンク供給チューブを用いる必要がないので、全体をコン
パクトにまとめることができる。
【００２２】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、板厚方向に分極
した少なくとも１枚以上の圧電部材を積層した基板を形
成し、この基板に互いに平行な複数の溝とこれらの溝を
隔てる少なくとも一部が前記圧電部材からなる側壁とを
等間隔に形成し、前記側壁を形成する圧電部材に電圧を
印加する電極とこれらの電極に接続された配線パターン
とを前記基板に形成し、前記溝の上部を覆う天板と前記
溝の正面部を覆うノズルプレートとを取り付けて複数の
インク室を形成した複数のヘッドモジュールを長尺の支
持基板に配設したインクジェットプリンタヘッドにおい
て、前記溝を前記基板の一面と正面部とに開放させて形
成し、前記基板の他面の前記正面部からの所定位置に前
記溝にまで達する深さの一定幅の切り込み溝を形成し、
この切り込み溝を前記支持基板で覆って前記インク室に
連通する共通液室を形成したので、インク室内の有効流
路の長さは、切り込み溝を機械加工により形成すること
ができるため、きわめて正確に形成することができ、天
板を接着する場合にその天板の位置の正確度を必要とし
ない。また、切り込み溝の部分には、基板の接着層部分
が存在しないため、インク室内における気泡による電気
的短絡が発生する領域を狭くすることができ、これによ
り、電気的短絡が発生する確率を低くすることができる
と云う効果を有する。
した少なくとも１枚以上の圧電部材を積層した基板を形
成し、この基板に互いに平行な複数の溝とこれらの溝を
隔てる少なくとも一部が前記圧電部材からなる側壁とを
等間隔に形成し、前記側壁を形成する圧電部材に電圧を
印加する電極とこれらの電極に接続された配線パターン
とを前記基板に形成し、前記溝の上部を覆う天板と前記
溝の正面部を覆うノズルプレートとを取り付けて複数の
インク室を形成した複数のヘッドモジュールを長尺の支
持基板に配設したインクジェットプリンタヘッドにおい
て、前記溝を前記基板の一面と正面部とに開放させて形
成し、前記基板の他面の前記正面部からの所定位置に前
記溝にまで達する深さの一定幅の切り込み溝を形成し、
この切り込み溝を前記支持基板で覆って前記インク室に
連通する共通液室を形成したので、インク室内の有効流
路の長さは、切り込み溝を機械加工により形成すること
ができるため、きわめて正確に形成することができ、天
板を接着する場合にその天板の位置の正確度を必要とし
ない。また、切り込み溝の部分には、基板の接着層部分
が存在しないため、インク室内における気泡による電気
的短絡が発生する領域を狭くすることができ、これによ
り、電気的短絡が発生する確率を低くすることができる
と云う効果を有する。
【００２３】請求項２記載の発明は、複数個のヘッドモ
ジュールを支持基板上に配設し、この支持基板上に形成
したインク流路によりそれぞれのヘッドモジュールの切
り込み溝を連通して共通液室を形成したので、各ヘッド
モジュールへのインク供給のためにインク供給チューブ
を用いる必要がなく、これにより、コンパクトなインク
ジェットプリンタヘッドを形成することができると云う
効果を有する。
ジュールを支持基板上に配設し、この支持基板上に形成
したインク流路によりそれぞれのヘッドモジュールの切
り込み溝を連通して共通液室を形成したので、各ヘッド
モジュールへのインク供給のためにインク供給チューブ
を用いる必要がなく、これにより、コンパクトなインク
ジェットプリンタヘッドを形成することができると云う
効果を有する。
【００２４】請求項３記載の発明は、支持基板に長溝状
のインク流路を形成し、このインク流路に沿わせて複数
個のヘッドモジュールを連設し、これらのヘッドモジュ
ール間の前記インク流路の開放部分をカバーにより閉塞
したので、支持基板に複数個のヘッドモジュールを取り
付けることがきわめて容易なものである。
のインク流路を形成し、このインク流路に沿わせて複数
個のヘッドモジュールを連設し、これらのヘッドモジュ
ール間の前記インク流路の開放部分をカバーにより閉塞
したので、支持基板に複数個のヘッドモジュールを取り
付けることがきわめて容易なものである。
【００２５】請求項４記載の発明は、板厚方向に分極し
た少なくとも１枚以上の圧電部材を積層した基板を形成
し、この基板に互いに平行な複数の溝とこれらの溝を隔
てる少なくとも一部が前記圧電部材からなる側壁とを等
間隔に形成し、前記側壁を形成する圧電部材に電圧を印
加する電極とこれらの電極に接続された配線パターンと
を前記基板に形成し、前記溝の上部を覆う天板を接着固
定し、この天板が固定された前記基板の正面部を平坦に
加工する正面部加工とこの正面部を基準として前記溝に
まで達する深さの一定幅の切り込み溝を加工する切り込
み溝加工とを順次行ない、前記溝の正面部を覆うノズル
プレートを取り付けて複数のインク室を備えたヘッドモ
ジュールを形成し、複数のヘッドモジュールをインク流
路を備えた長尺の支持基板に配設するようにしたので、
切り込み溝の形成を基板の正面部の仕上作業と同時にき
わめて高精度で簡単に行なうことができると云う効果を
有する。
た少なくとも１枚以上の圧電部材を積層した基板を形成
し、この基板に互いに平行な複数の溝とこれらの溝を隔
てる少なくとも一部が前記圧電部材からなる側壁とを等
間隔に形成し、前記側壁を形成する圧電部材に電圧を印
加する電極とこれらの電極に接続された配線パターンと
を前記基板に形成し、前記溝の上部を覆う天板を接着固
定し、この天板が固定された前記基板の正面部を平坦に
加工する正面部加工とこの正面部を基準として前記溝に
まで達する深さの一定幅の切り込み溝を加工する切り込
み溝加工とを順次行ない、前記溝の正面部を覆うノズル
プレートを取り付けて複数のインク室を備えたヘッドモ
ジュールを形成し、複数のヘッドモジュールをインク流
路を備えた長尺の支持基板に配設するようにしたので、
切り込み溝の形成を基板の正面部の仕上作業と同時にき
わめて高精度で簡単に行なうことができると云う効果を
有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態を示す平面図であ
る。
る。
【図２】その縦断側面図である。
【図３】その底面図である。
【図４】その縦断正面図である。
【図５】インクジェットプリンタヘッドの分解斜視図で
ある。
ある。
【図６】本発明の第二の実施の形態を示す平面図であ
る。
る。
【図７】インクジェットプリンタヘッドを形成するため
の支持基板の平面図である。
の支持基板の平面図である。
【図８】その支持基板の縦断正面図である
【図９】インクジェットプリンタヘッドの分解斜視図で
ある。
ある。
【図１０】カバーの取付状態を示す分解斜視図である。
【図１１】従来のヘッドモジュールの一例を示す一部を
切り欠いた斜視図である。
切り欠いた斜視図である。
【図１２】その平面図である。
【図１３】その側面図である。
【図１４】従来のインクジェットプリンタヘッドの斜視
図である。
図である。
１ ヘッドモジュール ４ 基板 ５ 天板 ７ 正面部 ８ ノズルプレート ９ 溝 １０ 電極 １１ 配線パターン １２ 側壁 １３ インク室 １４ 共通液室 １７ 支持基板 １８ インクジェットプリンタヘッド ２２ 天板 ２４ 切り込み溝 ２６ インクジェットプリンタヘッド ２８ 天板 ２９ 支持基板 ３０ インク流路 ３３ カバー
Claims (4)
- 【請求項１】 板厚方向に分極した少なくとも１枚以上
の圧電部材を積層した基板を形成し、この基板に互いに
平行な複数の溝とこれらの溝を隔てる少なくとも一部が
前記圧電部材からなる側壁とを等間隔に形成し、前記側
壁を形成する圧電部材に電圧を印加する電極とこれらの
電極に接続された配線パターンとを前記基板に形成し、
前記溝の上部を覆う天板と前記溝の正面部を覆うノズル
プレートとを取り付けて複数のインク室を形成した複数
のヘッドモジュールを長尺の支持基板に配設したインク
ジェットプリンタヘッドにおいて、前記溝を前記基板の
一面と正面部とに開放させて形成し、前記基板の他面の
前記正面部からの所定位置に前記溝にまで達する深さの
一定幅の切り込み溝を形成し、この切り込み溝を前記支
持基板で覆って前記インク室に連通する共通液室を形成
したことを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。 - 【請求項２】 複数個のヘッドモジュールを支持基板上
に配設し、この支持基板上に形成したインク流路により
それぞれのヘッドモジュールの切り込み溝を連通して共
通液室を形成したことを特徴とする請求項１記載のイン
クジェットプリンタヘッド。 - 【請求項３】 支持基板に長溝状のインク流路を形成
し、このインク流路に沿わせて複数個のヘッドモジュー
ルを連設し、これらのヘッドモジュール間の前記インク
流路の開放部分をカバーにより閉塞したことを特徴とす
る請求項２記載のインクジェットプリンタヘッド。 - 【請求項４】 板厚方向に分極した少なくとも１枚以上
の圧電部材を積層した基板を形成し、この基板に互いに
平行な複数の溝とこれらの溝を隔てる少なくとも一部が
前記圧電部材からなる側壁とを等間隔に形成し、前記側
壁を形成する圧電部材に電圧を印加する電極とこれらの
電極に接続された配線パターンとを前記基板に形成し、
前記溝の上部を覆う天板を接着固定し、この天板が固定
された前記基板の正面部を平坦に加工する正面部加工と
この正面部を基準として前記溝にまで達する深さの一定
幅の切り込み溝を加工する切り込み溝加工とを順次行な
い、前記溝の正面部を覆うノズルプレートを取り付けて
複数のインク室を備えたヘッドモジュールを形成し、複
数のヘッドモジュールをインク流路を備えた長尺の支持
基板に配設するようにしたことを特徴とするインクジェ
ットプリンタヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9244919A JPH1177989A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9244919A JPH1177989A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177989A true JPH1177989A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17125933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9244919A Pending JPH1177989A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1177989A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001063032A (ja) * | 1999-08-25 | 2001-03-13 | Xerox Corp | 印刷素子及び印刷ヘッドの製造方法 |
| US6419344B2 (en) | 2000-03-13 | 2002-07-16 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet head and ink-jet printer |
-
1997
- 1997-09-10 JP JP9244919A patent/JPH1177989A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001063032A (ja) * | 1999-08-25 | 2001-03-13 | Xerox Corp | 印刷素子及び印刷ヘッドの製造方法 |
| US6419344B2 (en) | 2000-03-13 | 2002-07-16 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet head and ink-jet printer |
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