JPH1177498A - 薄型ワークの回転駆動方法 - Google Patents
薄型ワークの回転駆動方法Info
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- JPH1177498A JPH1177498A JP25435097A JP25435097A JPH1177498A JP H1177498 A JPH1177498 A JP H1177498A JP 25435097 A JP25435097 A JP 25435097A JP 25435097 A JP25435097 A JP 25435097A JP H1177498 A JPH1177498 A JP H1177498A
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- Japan
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- thin
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- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 両面共に平行度が求められるワークの加工に
使用される両頭研削装置に適用でき、加工ワークの使用
面にダメージを与えないように円形のワークを効率よく
自転させることができる薄型ワークの回転駆動方法を提
供する。 【解決手段】 円板状の薄型ワーク１２を液圧を利用し
た静圧パッド部１３により支持し、該静圧パッド部１３
により液圧を印加する液は、薄型ワーク１２の円周と同
心で相似の方向の流れとなるように薄型ワーク１２に適
用することにより、薄型ワーク１２を回転駆動させる。
前記薄型ワーク１２の回転駆動方法の好ましい適用は、
開放側の端面は平坦な研削動作面１４となっている２個
のカップ型砥石１１、１１の開放側を向かい合わせてな
る両頭型研削装置に対して適用することができる。
使用される両頭研削装置に適用でき、加工ワークの使用
面にダメージを与えないように円形のワークを効率よく
自転させることができる薄型ワークの回転駆動方法を提
供する。 【解決手段】 円板状の薄型ワーク１２を液圧を利用し
た静圧パッド部１３により支持し、該静圧パッド部１３
により液圧を印加する液は、薄型ワーク１２の円周と同
心で相似の方向の流れとなるように薄型ワーク１２に適
用することにより、薄型ワーク１２を回転駆動させる。
前記薄型ワーク１２の回転駆動方法の好ましい適用は、
開放側の端面は平坦な研削動作面１４となっている２個
のカップ型砥石１１、１１の開放側を向かい合わせてな
る両頭型研削装置に対して適用することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄型ワーク、例え
ば、光学部品のガラスや半導体シリコンウエハ、ＣＤ、
ＭＤ等のような薄型ワークの両面を処理する加工装置に
適用でき、薄型ワークを自転させながら適用する場合の
薄型ワークの回転駆動方法に関する。特に、両頭研削砥
石を有する研削装置に適用する場合の薄型ワークの回転
駆動方法に関する。
ば、光学部品のガラスや半導体シリコンウエハ、ＣＤ、
ＭＤ等のような薄型ワークの両面を処理する加工装置に
適用でき、薄型ワークを自転させながら適用する場合の
薄型ワークの回転駆動方法に関する。特に、両頭研削砥
石を有する研削装置に適用する場合の薄型ワークの回転
駆動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、両頭研削砥石を有する研削装置へ
ワークを適用するための技術として、ワークより薄いキ
ャリアでワークを固定して研削装置の両頭研削砥石間に
保持挿入する方式が知られている。このようなワーク保
持挿入方式には、ベアリング、ピストンリング等のシン
プルな形状の部品を保持挿入して研削する場合に用いら
れるスルーフィード方式、また、小物品を保持挿入して
研削を行うロータリーキャリア方式、また、ブレーキデ
ィスク等の特殊な形状のものや加工物の一部分の両面研
削に用いられるガンフィード方式、また、クロスピン等
の複雑な形状のものや加工物の一部分の両面研削に用い
られるスイングアーム方式があった。
ワークを適用するための技術として、ワークより薄いキ
ャリアでワークを固定して研削装置の両頭研削砥石間に
保持挿入する方式が知られている。このようなワーク保
持挿入方式には、ベアリング、ピストンリング等のシン
プルな形状の部品を保持挿入して研削する場合に用いら
れるスルーフィード方式、また、小物品を保持挿入して
研削を行うロータリーキャリア方式、また、ブレーキデ
ィスク等の特殊な形状のものや加工物の一部分の両面研
削に用いられるガンフィード方式、また、クロスピン等
の複雑な形状のものや加工物の一部分の両面研削に用い
られるスイングアーム方式があった。
【０００３】しかしながら、これらのワーク保持挿入方
式においては、ワーク厚みが１ｍｍ未満のワークに対し
て、ワークを固定するためのキャリアはさらに薄くせね
ばならず、薄すぎて剛性が不足してキャリアとして機能
せず、またそのような薄いキャリアを製造することも困
難であった。
式においては、ワーク厚みが１ｍｍ未満のワークに対し
て、ワークを固定するためのキャリアはさらに薄くせね
ばならず、薄すぎて剛性が不足してキャリアとして機能
せず、またそのような薄いキャリアを製造することも困
難であった。
【０００４】一方、ワーク厚みが１ｍｍ未満のワークに
対しても適用可能であり、ワークをより柔らかい材料で
製作したローラ型保持器で挟み込み、該保持器のローラ
に対してモータ等により自動運転を与えることによりワ
ークを回転駆動し研削を行う方法が知られている。図
１、図２は、カップ型砥石１を２個向かい合わせてなる
両頭研削砥石を有する研削装置に対して、従来のローラ
型保持器に保持された薄型ワーク２を適用した例を示
す。図１は側断面図、図２は平面図である。図１及び図
２において、薄型ワーク２は、自身より柔らかい材料で
製作したローラ型保持器３で保持、回転駆動されてい
る。薄型ワーク２は、端面に平坦な研削動作面４を有す
る一対のカップ型両頭研削砥石からなる研削装置に適用
されている。
対しても適用可能であり、ワークをより柔らかい材料で
製作したローラ型保持器で挟み込み、該保持器のローラ
に対してモータ等により自動運転を与えることによりワ
ークを回転駆動し研削を行う方法が知られている。図
１、図２は、カップ型砥石１を２個向かい合わせてなる
両頭研削砥石を有する研削装置に対して、従来のローラ
型保持器に保持された薄型ワーク２を適用した例を示
す。図１は側断面図、図２は平面図である。図１及び図
２において、薄型ワーク２は、自身より柔らかい材料で
製作したローラ型保持器３で保持、回転駆動されてい
る。薄型ワーク２は、端面に平坦な研削動作面４を有す
る一対のカップ型両頭研削砥石からなる研削装置に適用
されている。
【０００５】しかしながら、薄型ワークを該ローラ型保
持器により挟み込み回転駆動する従来の方式は、ローラ
がワークより柔らかいため、ローラの磨耗が発生し、ダ
ストの発生が著しく、コンタミネーションを著しく嫌う
クリーンルーム環境での使用はできないという問題があ
った。また、該方式では、ローラの圧力によりワークが
歪みを起こしやすいという問題があった。
持器により挟み込み回転駆動する従来の方式は、ローラ
がワークより柔らかいため、ローラの磨耗が発生し、ダ
ストの発生が著しく、コンタミネーションを著しく嫌う
クリーンルーム環境での使用はできないという問題があ
った。また、該方式では、ローラの圧力によりワークが
歪みを起こしやすいという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、両
面共に平行度が求められるワーク（例えば光学部品のガ
ラスや半導体シリコンウェハなど）の加工に使用される
両頭研削装置に適用でき、加工ワークの使用面にダメー
ジを与えないように円形のワークを効率よく自転させる
ことができる薄型ワークの回転駆動方法を提供するこ
と、及び２個のカップ型砥石を向かい合わせてなる研削
装置に対して、該薄型ワークの回転駆動方法を適用する
方法を提供することを目的とする。
面共に平行度が求められるワーク（例えば光学部品のガ
ラスや半導体シリコンウェハなど）の加工に使用される
両頭研削装置に適用でき、加工ワークの使用面にダメー
ジを与えないように円形のワークを効率よく自転させる
ことができる薄型ワークの回転駆動方法を提供するこ
と、及び２個のカップ型砥石を向かい合わせてなる研削
装置に対して、該薄型ワークの回転駆動方法を適用する
方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記した問題点を解決す
るために、本発明は、円板状の薄型ワークを液圧を利用
した静圧パッドにより支持し、該静圧パッドにより液圧
を印加する液は、薄型ワークの円周と同心で相似の方向
の流れとなるように薄型ワークに適用することにより、
薄型ワークを回転駆動させることを特徴とする薄型ワー
クの回転駆動方法である。
るために、本発明は、円板状の薄型ワークを液圧を利用
した静圧パッドにより支持し、該静圧パッドにより液圧
を印加する液は、薄型ワークの円周と同心で相似の方向
の流れとなるように薄型ワークに適用することにより、
薄型ワークを回転駆動させることを特徴とする薄型ワー
クの回転駆動方法である。
【０００８】本発明の前記薄型ワークの回転駆動方法の
好ましい適用は、開放側の端面は平坦な研削動作面とな
っている２個のカップ型砥石の開放側を向かい合わせ
て、薄型ワークが存在する方向にインフィード或いはア
ウトフィード可能に配置し、且つカップ型砥石自体を回
転可能に構成してなる研削装置に対して、適用すること
を特徴とする。
好ましい適用は、開放側の端面は平坦な研削動作面とな
っている２個のカップ型砥石の開放側を向かい合わせ
て、薄型ワークが存在する方向にインフィード或いはア
ウトフィード可能に配置し、且つカップ型砥石自体を回
転可能に構成してなる研削装置に対して、適用すること
を特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明に使用される薄型ワーク駆
動装置を、両頭研削砥石を有する研削装置に適用する場
合を例にして以下に説明する。図３、図４は、本発明に
使用される両頭研削砥石を有する研削装置に適用した薄
型ワーク駆動装置の概略図を示し、図３は側面図、図４
は平面図である。
動装置を、両頭研削砥石を有する研削装置に適用する場
合を例にして以下に説明する。図３、図４は、本発明に
使用される両頭研削砥石を有する研削装置に適用した薄
型ワーク駆動装置の概略図を示し、図３は側面図、図４
は平面図である。
【００１０】１１は、カップ型砥石であり、カップ型砥
石１１の開放側の端面は平坦な研削動作面１４となって
いる。カップ型砥石１１は２個がペアとなり開放側が互
いに向かいあって、横型の両頭研削砥石装置を形成して
いる。両頭研削砥石装置は互いの研削動作面１４の間隔
が調整自在となるように移動装置（図示せず）により保
持されており、且つ薄型ワーク１２に対して切り込むこ
とが可能な駆動装置を有しており、薄型ワーク１２の両
面研削ができる研削装置を形成している。上記の研削装
置は、両面に研削処理を要する薄型ワーク１２の研削に
適している。横型の両頭研削砥石を有する研削装置にお
いては、カップ型砥石１１の径に比べて、薄型ワーク１
２の径は、通常、１／２か若しくはそれ以下とすること
により効率的に研削加工が行える。
石１１の開放側の端面は平坦な研削動作面１４となって
いる。カップ型砥石１１は２個がペアとなり開放側が互
いに向かいあって、横型の両頭研削砥石装置を形成して
いる。両頭研削砥石装置は互いの研削動作面１４の間隔
が調整自在となるように移動装置（図示せず）により保
持されており、且つ薄型ワーク１２に対して切り込むこ
とが可能な駆動装置を有しており、薄型ワーク１２の両
面研削ができる研削装置を形成している。上記の研削装
置は、両面に研削処理を要する薄型ワーク１２の研削に
適している。横型の両頭研削砥石を有する研削装置にお
いては、カップ型砥石１１の径に比べて、薄型ワーク１
２の径は、通常、１／２か若しくはそれ以下とすること
により効率的に研削加工が行える。
【００１１】１３は薄型ワーク１２を液体の静圧で保持
するための静圧パッド部である。静圧パッド部は、潤滑
材としての液体に圧力をかけて供給することにより、薄
型ワーク１２の両面を流体圧で保持することができる機
能を有する。液体は気体に比べて熱容量が高いので、研
削時に発生する熱を効率よく吸収して取り除くことがで
き、したがって、薄型ワーク１２の熱歪みを最小に抑制
するので、静圧パッド部１３に好ましく使用される。特
に被加工物の研削の際に使用される研削液は、静圧パッ
ド部１３に適用される流体に最も適しており、粘性、加
工対象物、加工熱による歪みの最小化において適してい
る。水も好ましく使用される流体である。
するための静圧パッド部である。静圧パッド部は、潤滑
材としての液体に圧力をかけて供給することにより、薄
型ワーク１２の両面を流体圧で保持することができる機
能を有する。液体は気体に比べて熱容量が高いので、研
削時に発生する熱を効率よく吸収して取り除くことがで
き、したがって、薄型ワーク１２の熱歪みを最小に抑制
するので、静圧パッド部１３に好ましく使用される。特
に被加工物の研削の際に使用される研削液は、静圧パッ
ド部１３に適用される流体に最も適しており、粘性、加
工対象物、加工熱による歪みの最小化において適してい
る。水も好ましく使用される流体である。
【００１２】本発明における静圧パッド部１３に適用す
る液体は、薄型ワーク１２の円周に対して同心で相似の
円弧を描くように流れるように供給することにより、薄
型ワーク１２を正確に保持しながら且つ薄型ワーク１２
に対して回転力を与えることができる。
る液体は、薄型ワーク１２の円周に対して同心で相似の
円弧を描くように流れるように供給することにより、薄
型ワーク１２を正確に保持しながら且つ薄型ワーク１２
に対して回転力を与えることができる。
【００１３】図５は、静圧パッド部１３に形成されたリ
セス１７の形状を示し、該形状は薄型ワーク１２の円周
に対して同心で相似の円弧を描くように刻まれており、
液体が適用された場合に液体流れを形成することができ
る。
セス１７の形状を示し、該形状は薄型ワーク１２の円周
に対して同心で相似の円弧を描くように刻まれており、
液体が適用された場合に液体流れを形成することができ
る。
【００１４】本発明の薄型ワーク１２の周縁の一部分
は、ガイドフレーム１５に包囲されており、ガイドフレ
ーム１５の内側円弧に埋め込まれた、ガイド部材１６の
規制により薄型ワーク１２の中心位置が維持されてい
る。該ガイド部材１６には、例えば、回転可能なガイド
ローラが使用できる。
は、ガイドフレーム１５に包囲されており、ガイドフレ
ーム１５の内側円弧に埋め込まれた、ガイド部材１６の
規制により薄型ワーク１２の中心位置が維持されてい
る。該ガイド部材１６には、例えば、回転可能なガイド
ローラが使用できる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、静圧パッド部により液
圧を印加する液は、薄型ワークの円周と同心で相似の方
向の流れとなるように薄型ワークに適用されるので、薄
型ワークを正確に保持しながら且つ薄型ワークに対して
回転力を与えることができ、しかも薄型ワークを回転さ
せる駆動機構が薄型ワークの加工面に接触することなく
ワークを自転させることができるようになるので、加工
面が駆動機構によって傷つけられることがなく、精度の
高いワーク加工品を得ることができる。
圧を印加する液は、薄型ワークの円周と同心で相似の方
向の流れとなるように薄型ワークに適用されるので、薄
型ワークを正確に保持しながら且つ薄型ワークに対して
回転力を与えることができ、しかも薄型ワークを回転さ
せる駆動機構が薄型ワークの加工面に接触することなく
ワークを自転させることができるようになるので、加工
面が駆動機構によって傷つけられることがなく、精度の
高いワーク加工品を得ることができる。
【図１】両頭研削砥石を有する研削装置に対して、従来
のローラ型保持器に保持された薄型ワークを適用した例
を示す側断面図である。
のローラ型保持器に保持された薄型ワークを適用した例
を示す側断面図である。
【図２】両頭研削砥石を有する研削装置に対して、従来
のローラ型保持器に保持された薄型ワークを適用した例
を示す平面図である。
のローラ型保持器に保持された薄型ワークを適用した例
を示す平面図である。
【図３】本発明に使用される両頭研削砥石を有する研削
装置に適用した薄型ワーク駆動装置の側面の概略図であ
る。
装置に適用した薄型ワーク駆動装置の側面の概略図であ
る。
【図４】本発明に使用される両頭研削砥石を有する研削
装置に適用した薄型ワーク駆動装置の平面の概略図であ
る。
装置に適用した薄型ワーク駆動装置の平面の概略図であ
る。
【図５】本発明に使用される静圧パッド部に形成された
リセスの形状を示す。
リセスの形状を示す。
１、１１ カップ型砥石 ２、１２ 薄型ワーク ３ ローラ型保持器 ４、１４ 研削動作面 １３ 静圧パッド部 １５ ガイドフレーム １６ ガイド部材 １７ リセス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩瀬 昭雄 愛媛県新居浜市惣開町５番２号 住友重機 械工業株式会社新居浜製造所内 (72)発明者 永田 浩 愛媛県新居浜市惣開町５番２号 住友重機 械工業株式会社新居浜製造所内
Claims (3)
- 【請求項１】 円板状の薄型ワークを液圧を利用した静
圧パッドにより支持し、 該静圧パッドにより液圧を印加する液は、薄型ワークの
円周と同心で相似の方向の流れとなるように薄型ワーク
に適用することにより、薄型ワークを回転駆動させるこ
とを特徴とする薄型ワークの回転駆動方法。 - 【請求項２】 開放側の端面は平坦な研削動作面となっ
ている２個のカップ型砥石の開放側を向かい合わせて、
薄型ワークが存在する方向にインフィード或いはアウト
フィード可能に配置し、且つカップ型砥石自体を回転可
能に構成してなる研削装置に対して、 請求項１記載の回転駆動方法で薄型ワークを回転させて
研削することを特徴とする薄型ワークの回転駆動方法。 - 【請求項３】 前記薄型ワークの外周は、ガイド部材の
規制により薄型ワークの中心位置が維持されている請求
項１又は２記載の薄型ワークの回転駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25435097A JP3157129B2 (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 薄型ワークの回転駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25435097A JP3157129B2 (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 薄型ワークの回転駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177498A true JPH1177498A (ja) | 1999-03-23 |
| JP3157129B2 JP3157129B2 (ja) | 2001-04-16 |
Family
ID=17263780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25435097A Expired - Fee Related JP3157129B2 (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 薄型ワークの回転駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3157129B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007015322A1 (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-08 | Ntn Corporation | ブレーキディスクの制動面加工装置 |
| WO2007066457A1 (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-14 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 半導体ウェーハの両頭研削装置、静圧パッドおよびこれを用いた両頭研削方法 |
| JP2008119785A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの研削装置および研削方法 |
-
1997
- 1997-09-03 JP JP25435097A patent/JP3157129B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007015322A1 (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-08 | Ntn Corporation | ブレーキディスクの制動面加工装置 |
| JP2007038349A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Ntn Corp | ブレーキディスクの制動面加工装置 |
| US8323074B2 (en) | 2005-08-03 | 2012-12-04 | Ntn Corporation | Brake disk braking surface processing device |
| WO2007066457A1 (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-14 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 半導体ウェーハの両頭研削装置、静圧パッドおよびこれを用いた両頭研削方法 |
| US7887394B2 (en) | 2005-12-08 | 2011-02-15 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Double-disc grinding machine, static pressure pad, and double-disc grinding method using the same for semiconductor wafer |
| KR101356997B1 (ko) * | 2005-12-08 | 2014-02-03 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 반도체 웨이퍼의 양두연삭장치용 정압패드, 이것을 포함하는 양두연삭장치, 및 이것을 이용한 양두연삭방법 |
| JP2008119785A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの研削装置および研削方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3157129B2 (ja) | 2001-04-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |