JPH1177496A - 薄型ワーク駆動装置及び薄型ワークが適用された研削装置 - Google Patents
薄型ワーク駆動装置及び薄型ワークが適用された研削装置Info
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- JPH1177496A JPH1177496A JP25434997A JP25434997A JPH1177496A JP H1177496 A JPH1177496 A JP H1177496A JP 25434997 A JP25434997 A JP 25434997A JP 25434997 A JP25434997 A JP 25434997A JP H1177496 A JPH1177496 A JP H1177496A
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- thin work
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 両面共に平行度が求められる薄型ワークの加
工に使用される両頭研削装置において、加工ワークの使
用面にダメージを与えないように円形のワークの周縁に
ついて効率よく自転駆動させることができる薄型ワーク
駆動装置を提供すること、及び該駆動装置を適用した研
削装置を提供する。 【解決手段】 両面がワーク保持器１３で保持されてい
る円板状の薄型ワーク１２を自転させる駆動装置であ
る。さらに該駆動装置は、該薄型ワーク１２の周縁に沿
って１８０°以上の角度に渡って駆動ベルト１８で接触
保持し該駆動ベルト１８を回転させることにより、薄型
ワーク１２を自転させる。
工に使用される両頭研削装置において、加工ワークの使
用面にダメージを与えないように円形のワークの周縁に
ついて効率よく自転駆動させることができる薄型ワーク
駆動装置を提供すること、及び該駆動装置を適用した研
削装置を提供する。 【解決手段】 両面がワーク保持器１３で保持されてい
る円板状の薄型ワーク１２を自転させる駆動装置であ
る。さらに該駆動装置は、該薄型ワーク１２の周縁に沿
って１８０°以上の角度に渡って駆動ベルト１８で接触
保持し該駆動ベルト１８を回転させることにより、薄型
ワーク１２を自転させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄型ワーク、例え
ば、光学部品のガラス、半導体シリコンウエハ、ＣＤ、
ＭＤ等のガラスディスクのような薄型ワークの両面を処
理する加工装置に適用でき、薄型ワークを自転させなが
ら適用する場合の薄型ワークの駆動装置に関する。特
に、両頭研削砥石を有する研削装置に適用する場合の薄
型ワークの回転駆動装置、及び駆動されている薄型ワー
クが適用された研削装置に関する。
ば、光学部品のガラス、半導体シリコンウエハ、ＣＤ、
ＭＤ等のガラスディスクのような薄型ワークの両面を処
理する加工装置に適用でき、薄型ワークを自転させなが
ら適用する場合の薄型ワークの駆動装置に関する。特
に、両頭研削砥石を有する研削装置に適用する場合の薄
型ワークの回転駆動装置、及び駆動されている薄型ワー
クが適用された研削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、両頭研削砥石を有する研削装置へ
ワークを適用するための技術として、ワークより薄いキ
ャリアでワークを固定して研削装置の両頭研削砥石間に
保持挿入する方式が知られている。このようなワーク保
持挿入方式には、ベアリング、ピストンリング等のシン
プルな形状の部品を保持挿入して研削する場合に用いら
れるスルーフィード方式、また、小物品を保持挿入して
研削を行うロータリーキャリア方式、また、ブレーキデ
ィスク等の特殊な形状のものや加工物の一部分の両面研
削に用いられるガンフィード方式、また、クロスピン等
の複雑な形状のものや加工物の一部分の両面研削に用い
られるスイングアーム方式があった。
ワークを適用するための技術として、ワークより薄いキ
ャリアでワークを固定して研削装置の両頭研削砥石間に
保持挿入する方式が知られている。このようなワーク保
持挿入方式には、ベアリング、ピストンリング等のシン
プルな形状の部品を保持挿入して研削する場合に用いら
れるスルーフィード方式、また、小物品を保持挿入して
研削を行うロータリーキャリア方式、また、ブレーキデ
ィスク等の特殊な形状のものや加工物の一部分の両面研
削に用いられるガンフィード方式、また、クロスピン等
の複雑な形状のものや加工物の一部分の両面研削に用い
られるスイングアーム方式があった。
【０００３】しかしながら、これらのワーク保持挿入方
式においては、厚みが１ｍｍ未満のワークに対して、ワ
ークを固定するためのキャリアはさらに薄くせねばなら
ず、薄すぎて剛性が不足してキャリアとして機能せず、
またそのような薄いキャリアを製造することも困難であ
った。
式においては、厚みが１ｍｍ未満のワークに対して、ワ
ークを固定するためのキャリアはさらに薄くせねばなら
ず、薄すぎて剛性が不足してキャリアとして機能せず、
またそのような薄いキャリアを製造することも困難であ
った。
【０００４】一方、厚みが１ｍｍ未満のワークに対して
も適用可能であり、ワークをより柔らかい材料で製作し
たローラ型保持器で挟み込み、該保持器のローラに対し
てモータ等により自動運転を与えることによりワークを
回転駆動し研削を行う方法が知られている。図１、図２
は、カップ型砥石１を２個向かい合わせてなる両頭研削
砥石を有する研削装置に対して、従来のローラ型保持器
に保持された薄型ワークを適用した例を示す。図１は側
断面図、図２は平面図である。図１及び図２において、
薄型ワーク２は、自身より柔らかい材料で製作したロー
ラ型保持器３で保持、回転駆動されている。薄型ワーク
２は、端面に平坦な研削動作面４を有する一対のカップ
型両頭研削砥石からなる研削装置に適用されている。
も適用可能であり、ワークをより柔らかい材料で製作し
たローラ型保持器で挟み込み、該保持器のローラに対し
てモータ等により自動運転を与えることによりワークを
回転駆動し研削を行う方法が知られている。図１、図２
は、カップ型砥石１を２個向かい合わせてなる両頭研削
砥石を有する研削装置に対して、従来のローラ型保持器
に保持された薄型ワークを適用した例を示す。図１は側
断面図、図２は平面図である。図１及び図２において、
薄型ワーク２は、自身より柔らかい材料で製作したロー
ラ型保持器３で保持、回転駆動されている。薄型ワーク
２は、端面に平坦な研削動作面４を有する一対のカップ
型両頭研削砥石からなる研削装置に適用されている。
【０００５】しかしながら、薄型ワークを該ローラ型保
持器により挟み込み回転駆動する従来の方式は、ローラ
がワークより柔らかいため、ローラの磨耗が発生し、ダ
ストの発生が著しく、コンタミネーションを著しく嫌う
クリーンルーム環境での使用はできないという問題があ
った。また、該方式では、ローラの圧力によりワークが
歪みを起こしやすいという問題があった。
持器により挟み込み回転駆動する従来の方式は、ローラ
がワークより柔らかいため、ローラの磨耗が発生し、ダ
ストの発生が著しく、コンタミネーションを著しく嫌う
クリーンルーム環境での使用はできないという問題があ
った。また、該方式では、ローラの圧力によりワークが
歪みを起こしやすいという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、両
面共に平行度が求められるワーク（例えば光学部品のガ
ラスや半導体シリコンウェハなど）の加工に使用される
両頭研削装置に適用でき、加工ワークの使用面にダメー
ジを与えないように円形のワークを効率よく自転させる
ことができる薄型ワーク駆動装置を提供すること、及び
２個のカップ型砥石を向かい合わせてなる研削装置に対
して、該薄型ワーク駆動装置を適用可能に配置した研削
装置を提供することを目的とする。
面共に平行度が求められるワーク（例えば光学部品のガ
ラスや半導体シリコンウェハなど）の加工に使用される
両頭研削装置に適用でき、加工ワークの使用面にダメー
ジを与えないように円形のワークを効率よく自転させる
ことができる薄型ワーク駆動装置を提供すること、及び
２個のカップ型砥石を向かい合わせてなる研削装置に対
して、該薄型ワーク駆動装置を適用可能に配置した研削
装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記した問題点を解決す
るために、本発明は、両面が保持されている円板状の薄
型ワークを自転させる駆動装置であって、該駆動装置
は、該薄型ワークの周縁に沿って１８０°以上の角度に
渡って駆動ベルトで接触保持し該駆動ベルトを回転させ
ることができることを特徴とする薄型ワーク駆動装置で
ある。
るために、本発明は、両面が保持されている円板状の薄
型ワークを自転させる駆動装置であって、該駆動装置
は、該薄型ワークの周縁に沿って１８０°以上の角度に
渡って駆動ベルトで接触保持し該駆動ベルトを回転させ
ることができることを特徴とする薄型ワーク駆動装置で
ある。
【０００８】また、本発明の前記薄型ワーク駆動装置を
研削装置に適用した好ましい態様は、開放側の端面は平
坦な研削動作面となっている２個のカップ型砥石の開放
側を向かい合わせて、薄型ワークが存在する方向にイン
フィード或いはアウトフィード可能に配置し、且つカッ
プ型砥石自体を回転可能に構成してなる研削装置に対し
て、両面が保持され且つ前記の駆動ベルトを用いた薄型
ワーク駆動装置で自転するように駆動されている薄型ワ
ークを適用可能に配置したことを特徴とする研削装置で
ある。
研削装置に適用した好ましい態様は、開放側の端面は平
坦な研削動作面となっている２個のカップ型砥石の開放
側を向かい合わせて、薄型ワークが存在する方向にイン
フィード或いはアウトフィード可能に配置し、且つカッ
プ型砥石自体を回転可能に構成してなる研削装置に対し
て、両面が保持され且つ前記の駆動ベルトを用いた薄型
ワーク駆動装置で自転するように駆動されている薄型ワ
ークを適用可能に配置したことを特徴とする研削装置で
ある。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の薄型ワーク駆動装置を、
両頭研削砥石を有する研削装置に適用する場合を例にし
て以下に説明する。図３、図４は、両頭研削砥石を有す
る研削装置に適用した薄型ワーク駆動装置の概略図を示
し、図３は側面図、図４は平面図である。
両頭研削砥石を有する研削装置に適用する場合を例にし
て以下に説明する。図３、図４は、両頭研削砥石を有す
る研削装置に適用した薄型ワーク駆動装置の概略図を示
し、図３は側面図、図４は平面図である。
【００１０】１１は、カップ型砥石であり、カップ型砥
石１１の開放側の端面は平坦な研削動作面１４となって
いる。カップ型砥石１１は２個がペアとなり開放側が互
いに向かいあって、横型の両頭研削砥石装置を形成して
いる。両頭研削砥石装置は互いの研削動作面１４の間隔
が調整自在となるように移動装置（図示せず）により保
持されており、且つ薄型ワーク１２に対して切り込むこ
とが可能な駆動装置を有しており、薄型ワーク１２の両
面研削ができる研削装置を形成している。上記の研削装
置は、両面に研削処理を要する薄型ワーク１２の研削に
適している。横型の両頭研削砥石を有する研削装置にお
いては、カップ型砥石１１の径に比べて、薄型ワーク１
２の径は、通常、１／２か若しくはそれ以下とすること
により効率的に研削加工が行える。
石１１の開放側の端面は平坦な研削動作面１４となって
いる。カップ型砥石１１は２個がペアとなり開放側が互
いに向かいあって、横型の両頭研削砥石装置を形成して
いる。両頭研削砥石装置は互いの研削動作面１４の間隔
が調整自在となるように移動装置（図示せず）により保
持されており、且つ薄型ワーク１２に対して切り込むこ
とが可能な駆動装置を有しており、薄型ワーク１２の両
面研削ができる研削装置を形成している。上記の研削装
置は、両面に研削処理を要する薄型ワーク１２の研削に
適している。横型の両頭研削砥石を有する研削装置にお
いては、カップ型砥石１１の径に比べて、薄型ワーク１
２の径は、通常、１／２か若しくはそれ以下とすること
により効率的に研削加工が行える。
【００１１】１３は薄型ワーク１２を保持するためのワ
ーク保持器であり、ワーク保持器１３の両面の内側には
薄型ワーク１２を保持する静圧パッド部１５或いは、ワ
ーク保持用パッド（図示せず）が設けられている。ワー
ク保持器１３において静圧パッド部１５を採用する場合
には、潤滑剤としての液体或いは気体等の流体を圧力を
かけて供給することにより、薄型ワーク１２の両面を流
体圧で保持することができる。液体は気体に比べて熱容
量が高いので、研削時に発生する熱を効率よく吸収して
取り除くことができ、したがって、薄型ワーク１２の熱
歪みを最小に抑制するので、静圧パッド部１５に好まし
く使用される。特に被加工物の研削の際に使用される研
削液は、静圧パッド部１５に適用される流体に最も適し
ており、粘性、加工対象物、加工熱による歪みの最小化
において適している。水も好ましく使用される流体であ
る。
ーク保持器であり、ワーク保持器１３の両面の内側には
薄型ワーク１２を保持する静圧パッド部１５或いは、ワ
ーク保持用パッド（図示せず）が設けられている。ワー
ク保持器１３において静圧パッド部１５を採用する場合
には、潤滑剤としての液体或いは気体等の流体を圧力を
かけて供給することにより、薄型ワーク１２の両面を流
体圧で保持することができる。液体は気体に比べて熱容
量が高いので、研削時に発生する熱を効率よく吸収して
取り除くことができ、したがって、薄型ワーク１２の熱
歪みを最小に抑制するので、静圧パッド部１５に好まし
く使用される。特に被加工物の研削の際に使用される研
削液は、静圧パッド部１５に適用される流体に最も適し
ており、粘性、加工対象物、加工熱による歪みの最小化
において適している。水も好ましく使用される流体であ
る。
【００１２】１７１、１７２、１７３はサーボモータ１
６により回転できるように構成されたプーリーであり、
該プーリー１７１、１７２、１７３は少なくとも３個設
けられている。該プーリー１７１、１７２、１７３に掛
けられた駆動ベルト１８は、薄型ワーク１２の周縁に沿
って１８０°以上の角度に渡って接触保持して、本発明
の薄型ワーク駆動装置を構成している。
６により回転できるように構成されたプーリーであり、
該プーリー１７１、１７２、１７３は少なくとも３個設
けられている。該プーリー１７１、１７２、１７３に掛
けられた駆動ベルト１８は、薄型ワーク１２の周縁に沿
って１８０°以上の角度に渡って接触保持して、本発明
の薄型ワーク駆動装置を構成している。
【００１３】上記本発明の薄型ワーク駆動装置を研削装
置に適用した場合の作動を説明する。２個のカップ型砥
石１１，１１を有する横型両頭研削砥石装置は、その２
個のカップ型砥石１１、１１の研削面１４、１４の間に
薄型ワーク１２を挿入した後、両側のカップ型砥石１
１、１１を薄型ワーク１２が存在する方向へインフィー
ドすることによって薄型ワーク１２の両面を一度に加工
する形態をとる。図３は、同方向もしくは逆方向に回転
する２個のカップ型砥石１１、１１の間に、カップ型砥
石１１の径と同等もしくはそれ以上の径を持つ薄型ワー
ク１２がはさまれて、２個のカップ型砥石１１、１１に
より両面を加工されている状態を示す断面図である。
置に適用した場合の作動を説明する。２個のカップ型砥
石１１，１１を有する横型両頭研削砥石装置は、その２
個のカップ型砥石１１、１１の研削面１４、１４の間に
薄型ワーク１２を挿入した後、両側のカップ型砥石１
１、１１を薄型ワーク１２が存在する方向へインフィー
ドすることによって薄型ワーク１２の両面を一度に加工
する形態をとる。図３は、同方向もしくは逆方向に回転
する２個のカップ型砥石１１、１１の間に、カップ型砥
石１１の径と同等もしくはそれ以上の径を持つ薄型ワー
ク１２がはさまれて、２個のカップ型砥石１１、１１に
より両面を加工されている状態を示す断面図である。
【００１４】このとき薄型ワーク１２は、ワーク保持器
１３の内側に用意された静圧パッド部１５や回転パッド
（図示せず）によってカップ型砥石１１がインフィード
する方向に保持される。この薄型ワーク１２が保持され
た状態で、駆動源としてのサーボモータ１６により各プ
ーリー１７１、１７２、１７３を回転させて、駆動ベル
ト１８を回転させることにより、薄型ワーク１２の周縁
に沿って１８０°以上の角度に渡って接触保持していた
駆動ベルト１８と薄型ワーク１２との間の摩擦力によ
り、薄型ワーク１２を自転させる。
１３の内側に用意された静圧パッド部１５や回転パッド
（図示せず）によってカップ型砥石１１がインフィード
する方向に保持される。この薄型ワーク１２が保持され
た状態で、駆動源としてのサーボモータ１６により各プ
ーリー１７１、１７２、１７３を回転させて、駆動ベル
ト１８を回転させることにより、薄型ワーク１２の周縁
に沿って１８０°以上の角度に渡って接触保持していた
駆動ベルト１８と薄型ワーク１２との間の摩擦力によ
り、薄型ワーク１２を自転させる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、駆動ベルトと薄型ワー
クとの間の摩擦によって薄型ワークを回転させる構造を
とることで、薄型ワークの加工面が駆動機構に接触する
ことなく薄型ワークを自転させることができるようにな
るので、加工面が駆動機構によって傷つけられることが
なく、精度の高い薄型ワーク駆動装置となり、特に、２
個のカップ型砥石を向かい合わせてなる研削装置に対し
て、薄型ワークを高精度に適用可能に配置し自転させる
ことができる。
クとの間の摩擦によって薄型ワークを回転させる構造を
とることで、薄型ワークの加工面が駆動機構に接触する
ことなく薄型ワークを自転させることができるようにな
るので、加工面が駆動機構によって傷つけられることが
なく、精度の高い薄型ワーク駆動装置となり、特に、２
個のカップ型砥石を向かい合わせてなる研削装置に対し
て、薄型ワークを高精度に適用可能に配置し自転させる
ことができる。
【００１６】また本発明によれば、円板状の薄型ワーク
の周縁が１８０°以上の角度に渡って駆動ベルトで保持
されることから薄型ワークを回転駆動するのに摩擦力の
発生によりすべりがなくなり、薄型ワークの自転速度が
一定に保たれる。
の周縁が１８０°以上の角度に渡って駆動ベルトで保持
されることから薄型ワークを回転駆動するのに摩擦力の
発生によりすべりがなくなり、薄型ワークの自転速度が
一定に保たれる。
【図１】両頭研削砥石を有する研削装置に対して、従来
のローラ型保持器に保持された薄型ワークを適用した例
を示す側断面図である。
のローラ型保持器に保持された薄型ワークを適用した例
を示す側断面図である。
【図２】両頭研削砥石を有する研削装置に対して、従来
のローラ型保持器に保持された薄型ワークを適用した例
を示す平面図である。
のローラ型保持器に保持された薄型ワークを適用した例
を示す平面図である。
【図３】両頭研削砥石を有する研削装置に適用した、本
発明の薄型ワーク駆動装置の概略を示した側面図であ
る。
発明の薄型ワーク駆動装置の概略を示した側面図であ
る。
【図４】両頭研削砥石を有する研削装置に適用した、本
発明の薄型ワーク駆動装置の概略を示した平面図であ
る。
発明の薄型ワーク駆動装置の概略を示した平面図であ
る。
１、１１ カップ型砥石 ２、１２ 薄型ワーク ３ ローラ型保持器 ４、１４ 研削動作面 １３ ワーク保持器 １５ 静圧パッド部 １６ サーボモータ １７１、１７２、１７３ プーリー １８ 駆動ベルト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩瀬 昭雄 愛媛県新居浜市惣開町５番２号 住友重機 械工業株式会社新居浜製造所内 (72)発明者 永田 浩 愛媛県新居浜市惣開町５番２号 住友重機 械工業株式会社新居浜製造所内
Claims (2)
- 【請求項１】 両面が保持されている円板状の薄型ワー
クを自転させる駆動装置であって、該駆動装置は、該薄
型ワークの周縁に沿って１８０°以上の角度に渡って駆
動ベルトで接触保持し該駆動ベルトを回転させることが
できることを特徴とする薄型ワーク駆動装置。 - 【請求項２】 開放側の端面は平坦な研削動作面となっ
ている２個のカップ型砥石の開放側を向かい合わせて、
薄型ワークが存在する方向にインフィード或いはアウト
フィード可能に配置し、且つカップ型砥石自体を回転可
能に構成してなる研削装置に対して、 両面が保持され且つ請求項１記載の薄型ワーク駆動装置
で回転駆動されている薄型ワークを適用可能に配置した
ことを特徴とする研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25434997A JPH1177496A (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 薄型ワーク駆動装置及び薄型ワークが適用された研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25434997A JPH1177496A (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 薄型ワーク駆動装置及び薄型ワークが適用された研削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177496A true JPH1177496A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17263766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25434997A Pending JPH1177496A (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 薄型ワーク駆動装置及び薄型ワークが適用された研削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1177496A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005070620A1 (ja) | 2004-01-22 | 2005-08-04 | Koyo Machine Industries Co.,Ltd. | 両頭平面研削装置 |
| WO2010116911A1 (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-14 | Ntn株式会社 | ころ端面加工用ワーク供給装置、ころ端面加工機、および転がり軸受用ころ |
| TWI447796B (zh) * | 2005-12-08 | 2014-08-01 | Shinetsu Handotai Kk | Semiconductor wafer at both ends of the grinding device, static pressure pad and the use of the pad at both ends of the grinding method |
-
1997
- 1997-09-03 JP JP25434997A patent/JPH1177496A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005070620A1 (ja) | 2004-01-22 | 2005-08-04 | Koyo Machine Industries Co.,Ltd. | 両頭平面研削装置 |
| US7347770B2 (en) | 2004-01-22 | 2008-03-25 | Koyo Machine Industries Co., Ltd. | Two-sided surface grinding apparatus |
| KR101117431B1 (ko) * | 2004-01-22 | 2012-02-29 | 고요 기카이 고교 가부시키가이샤 | 양두 평면 연삭 장치 |
| TWI447796B (zh) * | 2005-12-08 | 2014-08-01 | Shinetsu Handotai Kk | Semiconductor wafer at both ends of the grinding device, static pressure pad and the use of the pad at both ends of the grinding method |
| WO2010116911A1 (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-14 | Ntn株式会社 | ころ端面加工用ワーク供給装置、ころ端面加工機、および転がり軸受用ころ |
| JP2010240807A (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-28 | Ntn Corp | ころ端面加工用ワーク供給装置、ころ端面加工機、および転がり軸受用ころ |
| US8613643B2 (en) | 2009-04-09 | 2013-12-24 | Ntn Corporation | Work feeder for roller end face working machine, roller end face working machine and rollers for roller bearing |
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