JPH1177478A - 研磨用液体からの研磨粉等の除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】研磨機で使用済みの混合液から研磨粉や油分を
高精度に除去して研磨用液体を十分浄化された状態で回
収することのできる研磨用液体からの研磨粉等の除去装
置を提供する。 【解決手段】研磨用液体Ｄに磁性の研磨粉Ｂおよび油分
Ｃが混入した混合液Ａをケーシング１に保持する。内周
面に対向して磁石１８が配置された回転体１３を、その
下部がケーシング１１内の混合液Ａに浸漬された状態で
回転させる。回転体１３に付着して搬送される付着物か
ら研磨用液体Ｄを絞り取る絞りローラ１９を、回転体１
３の外周面に接した配置で設けて、回転体１３との摩擦
接触により回転させる。研磨用液体Ｄが絞り取られた付
着物を分離回収手段２１により回転体から分離して回収
する。絞りローラ１９の外周面に付着した油分Ｃを含む
油系液体ＣＣを吸引する油吸引器２を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、研磨機で使用済み
の研磨用液体に研磨粉や油分が混入した混合液から研磨
粉などを除去して、研磨用液体のみを回収するための研
磨用液体からの研磨粉等の除去装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】軸受面やカム面の研磨機では、一般に研
磨用液体を用いて冷却を行いながら研磨される。この研
磨機で使用済みの研磨用液体はこれに研磨粉や油分が混
入した混合液として排出される。近年では、混合液から
研磨粉などを分離して研磨用液体を回収し、この研磨用
液体を再使用するとともに、分離した研磨粉も回収して
いる。このような用途に用いられる装置としては、実開
昭48-98777号公報に記載の液体浄化装置が知られてい
る。この装置は、内周面に磁石を付設した回転搬送体の
下部を混合液中に浸漬し、混合液中に混入した鉄粉のよ
うな磁性研磨粉を磁力により回転搬送体の外周面に吸着
させて、この吸着した研磨粉を回転搬送体の回転に伴っ
て上方へ回転搬送する。上方へ搬送された研磨粉は、回
転搬送体の外周面に押し付けられて回転搬送体との摩擦
接触により回転する絞りローラで付着液体を絞り取られ
たのちに、回転搬送体の外周面に接触したかき取り板に
よってかき取られて除去されるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記装
置では、混合液中に油分が混入していると、この油分が
絞りローラの外周面に付着して回転搬送体と絞りローラ
との摩擦力が極端に低下する。それにより、絞りローラ
は回転搬送体に対しスリップするので、回転搬送体の外
周面に吸着された研磨粉は、絞りローラとの間を通過で
きなくなって落下してしまうので、除去することができ
なくなる。

【０００４】また、磁力による吸着手段のみでは混合液
中の研磨粉を完全に除去できないので、残った混合液は
別の容器に移して混入している研磨粉を沈殿させ、その
上澄みの研磨用液体を回収するようにしている。したが
って、研磨用液体の回収作業は研磨粉の沈殿を待って行
われるので、回収作業が能率的でない。しかも、研磨粉
のうちの微小な粉や油分は、沈殿せずに表面張力によっ
て研磨用液体の液面上に浮遊するので、回収される研磨
用液体には微小な浮遊物が混入してしまい、研磨用液体
を高品質に浄化した状態で回収することができない。あ
るいは、浮遊物が集積してケーシング壁面等に固着する
と、その除去作業も手間のかかる作業である。

【０００５】そこで、本発明は、研磨機で使用済みの混
合液から研磨粉や油分を高精度に除去して研磨用液体を
十分浄化された状態で回収することのできる研磨用液体
からの研磨粉等の除去装置を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の一構成に係る研磨用液体からの研磨粉等の
除去装置は、研磨用液体に磁性の研磨粉および油分が混
入した混合液を保持するケーシングと、下部が前記ケー
シング内の混合液に浸漬されて回転する回転体と、この
回転体の内周面に対向して配置された磁石と、前記回転
体の外周面に接して配置され、前記回転体との摩擦接触
により回転して、前記回転体に付着して搬送される付着
物から研磨用液体を絞り取る絞りローラと、研磨用液体
が絞り取られた付着物を前記回転体から分離して回収す
る分離回収手段と、前記回転体と絞りローラとの接触部
位よりも回転体の回転方向の手前側で回転体の外周面に
付着した油分を含む油系液体を吸引する油吸引器とを備
えている。

【０００７】この研磨用液体からの研磨粉等の除去装置
は、回転体の内周側の磁石が研磨粉を回転体の外周面に
吸着し、回転体の回転に伴い上方へ搬送する。この研磨
粉は、搬送過程において、これに付着している研磨用液
体が絞りローラにより絞り取られたのちに、分離回収手
段により、回転体から分離して回収される。絞りローラ
により研磨粉から絞り取られた研磨用液体はケーシング
内に落下して回収される。また、研磨粉に付着して搬送
される油系液体は、研磨用液体よりも比重が小さいため
に研磨粉の表面に出やすいので、絞りローラの手前で油
吸引器で吸引して除去される。これにより、絞りローラ
は、油系液体の付着により回転体に対しスリップしよう
とするのを確実に防止されて、常に所要の絞り機能を維
持する。そのため、混合液から研磨粉と油系液体とが効
果的に除去されて、ケーシング内には十分に浄化された
研磨用液体が効率的に残存する。

【０００８】上記発明において、さらに、油吸引器で吸
引された油系液体から研磨用液体と油分を分離して回収
する油水分離器を備えた構成とすることが好ましい。こ
れにより、絞りローラの外周面から油吸引器で吸引した
油系液体に含まれている研磨用液体をも回収することが
できるので、研磨用液体の回収効率が向上する。

【０００９】また、本発明の他の構成に係る研磨用液体
からの研磨粉等の除去装置は、研磨用液体に研磨粉およ
び油分が混入した混合液を受け入れる容器と、この容器
の底壁の分離作業部に設けられ、前記混合液から液体成
分を分離して通過させるメッシュ壁と、前記分離作業部
に沿って混合液を前記容器の先端部へかき寄せるかき寄
せ機とを備え、前記かき寄せ機のストロークの先端と前
記容器の先端縁との間に前記メッシュ壁の一部で形成さ
れたかき寄せ物の一時貯溜部が設けられている。

【００１０】この研磨用液体からの研磨粉等の除去装置
は、混合液が容器の底壁の分離作業部に供給されると、
混合液中の液体成分のみが分離作業部のメッシュ壁を通
過して滴下し、混合液中の研磨粉などがメッシュ壁上に
残る。また、分離作業部に供給された混合液がかき寄せ
機により分離作業部に沿って容器の先端部へかき寄せら
れるときに、メッシュ壁上の研磨粉などは、分離作業部
に沿って容器の先端部に向けかき寄せられていき、かき
寄せ機が最大ストロークまで作動したときに、メッシュ
壁の一部で形成された一時貯溜部に一時的に貯溜され
る。この貯溜時に、研磨粉などに付着している液体成分
は、一時貯溜部を構成するメッシュ壁を通過して容器内
に滴下して回収される。この一時貯溜部の研磨粉を含む
かき寄せ物は、つぎにかき寄せ機によりかき寄せられて
くるかき寄せ物により外部に押し出されて排出される。
したがって、この除去装置では、メッシュ壁による混合
液のろ過機能を利用した簡単で確実な手段で研磨粉など
を除去できるとともに、研磨液中から抽出してメッシュ
壁に残った研磨粉などを、即座に排出せずに、一時貯溜
部に一旦貯溜させていることにより、研磨粉などに付着
して残存している液体成分をさらに回収することができ
る。

【００１１】また、前記一構成に係る除去装置から排出
される混合液を前記他の構成に係る除去装置に供給する
構成とすることができる。それにより、前段の除去装置
により研磨粉と油系液体とが除去された混合液は、後段
の除去装置によりメッシュ壁でろ過されて、液中に残存
している研磨粉などが一層効果的に除去される。それに
より、混合液から研磨粉や油系液体を効果的に除去し
て、研磨用液体を十分に浄化した状態で回収できる。

【００１２】さらに、前記一構成に係る除去装置または
前記他の構成に係る除去装置から排出される研磨用液体
を順次受け入れる直列配置された複数の分離槽と、後段
の前記分離槽の上部に設けられ、研磨用液体中から浮遊
物を除去するメッシュを有する浄化器と、前記分離槽間
の隔壁に設けられ、前段の分離槽内の研磨用液体の上層
部を前記浄化器に流出させる上部開口と、隔壁の上下方
向中間部に設けられ、前段の分離槽の混合液の中間層を
後段の層に流出させる中間開口と、最後段の分離槽に設
けられ、研磨用液体を回収する吸引機とを備えた構成と
することもできる。

【００１３】これにより、研磨用液体の液面に浮遊する
ために前記一構成または前記他の構成の除去装置におい
て十分に除去できなかった微小な研磨粉などは、研磨用
液体の上層部が分離槽間の隔壁の上部開口を通って複数
の分離槽に順次送られていく際に、上部開口に設けられ
たメッシュからなる浄化器に通過を阻止されて滞留し、
除去される。また、研磨用液体中に僅かに残存している
研磨粉などは、各分離槽における底部に沈殿し、各分離
槽における研磨用液体のうちの最も浮遊物が少ない中間
部分が隔壁の中間開口を通過して後段側の分離槽に順次
流動していく。したがって、最後段の分離槽には研磨粉
や浮遊物などが十分に除去された状態まで浄化された研
磨用液体が流入し、この研磨用液体が吸引機で回収され
る。この回収された研磨用液体はそのまま再使用が可能
なものとなる。

【００１４】上記除去装置において、さらに、油水分離
器と、前記浄化器内の浮遊物を吸引して油水分離器へ送
る吸引装置とを有する構成とすることができる。それに
より、浄化器内の浮遊物は油水分離器により油系液体お
よび微小な研磨粉などが分離除去され、浮遊物中に僅か
に含まれている研磨用液体を回収することができるの
で、研磨用液体の回収効率が一層向上する。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明
の一実施形態に係る除去装置の全体構成を示す概略平面
図である。この除去装置は、研磨装置から排出される研
磨用液体Ｄに研磨粉Ｂおよび油分Ｃが混入した混合液Ａ
から磁性の研磨粉Ｂを磁力により吸着して除去する第１
の除去機構１と、この第１の除去機構１における絞りロ
ーラ１９の手前で、回転体１３の外周面に付着した油分
Ｃを含む油系液体ＣＣを矢印で示すように吸引する油吸
引機２と、この油吸引器２で吸引された油系液体ＣＣか
ら研磨用液体Ｄと油分Ｃを分離して回収する油水分離器
１５と、第１の除去機構１から排出される混合液Ａをさ
らに研磨用液体Ｄと研磨粉Ｂとに分離して回収する第２
の除去機構３とを備えている。

【００１６】さらに、前記第１および第２の除去機構
１，３の下方には、第２の除去機構３から排出される研
磨用液体Ｄを順次通過させながら槽間の浄化器６２によ
り研磨用液体Ｄ中の浮遊物Ｅを分離除去する第１〜４の
分離槽４〜７と、最後段の第４の分離槽７の内部に設け
られた回収槽８とが設けられている。これら槽４〜８の
外部には、回収槽８内の研磨用液体Ｄを回収するバキュ
ームポンプからなる吸引機９と、各浄化器６２内の浮遊
物を吸引して油水分離器１５へ送るバキュームポンプか
らなる吸引装置１０とが配置されている。

【００１７】第１の除去機構１は、これの切断側面図で
ある図２に示すような構成になっている。同図におい
て、ケーシング１１には研磨装置などから排出される混
合液Ａが供給管１２により供給されて、その混合液Ａが
内部に充満される。このケーシング１１には、下部をケ
ーシング１１内の混合液Ａ内に浸漬させて回転する支軸
１４に固定されたドラムからなる回転体１３が配設され
ており、この回転体１３はモータ１７（図１）に連結さ
れた前記支軸１４の回転により、図２の矢印方向に回転
駆動される。回転体１３の内部には、その周壁１３ａの
内周面に対向して、円筒体の上部の一部が切欠した断面
Ｃ字形状の磁石１８が、回転体１３に対し同心状の配置
で両端をケーシング１１に固定して設けられている。

【００１８】前記回転体１３の上方部（支軸１４よりも
上方）には、ゴムのような弾性体からなる絞りローラ１
９が配設されている。この絞りローラ１９は、ケーシン
グ１１に回転自在に支持されて、ばね２０により回転体
１３の外周面に押し付けられている。また、回転体１３
の絞りローラ１９の接触部に対し回転方向の下流側であ
って磁石１８の磁力が及ばない位置には、分離回収手段
として、かき取り板２１がその先端を回転体１３の外周
面に接触させて設けられている。

【００１９】前記絞りローラ１９と回転体１３との接触
部位の近傍で、この接触部位に対して回転体１３の回転
方向の手前側、つまり上流側の部位には、油吸引器２の
吸引パイプ２２の先端が、回転体１３の上半部（支軸１
４の中心よりも上方の部分）外周面に近接して配置され
ている。この油吸引器２としては、この実施形態では空
気の噴流による負圧により吸引力を発生させる真空エジ
ェクター装置が用いられており、この真空エジェクター
装置が、連結杆２５を介して往復駆動機１６によって図
１の矢印方向に往復動される連結杆２５に支持されてい
る。それにより、吸引パイプ２２の先端が、回転体１３
と絞りローラ１９の接触部近傍で回転体１３の外周面に
近接した状態で、回転体１３の軸方向の両端部間を往復
移動して、回転体１３の全外周面に付着している油系液
体ＣＣを吸引する。吸引パイプ２２の往復移動の半周期
は、回転体１３の外周面に付着した研磨粉Ｂが混合液Ａ
から上方へ抜け出して絞りローラ１９との接触部位に達
する時間よりも短くするのが好ましく、これにより、付
着したすべての研磨粉Ｂから油系液体ＣＣを吸引でき
る。

【００２０】前記第１の除去機構１の動作を説明する。
第１の除去機構１は、回転体１３の内方の磁石１８が回
転体１３の周壁１３ａを介して混合液Ａ中に混入してい
る鉄系などの磁性研磨粉Ｂに作用するので、研磨粉Ｂ
が、回転体１３における混合液Ａに浸漬している外周面
に磁力で吸着されて、回転体１３の回転に伴い上方へ順
次搬送されていく。研磨粉Ｂには研磨用液体Ｄおよび油
分Ｃなどの液体成分が付着しているが、そのうちの油分
Ｃは研磨用液体Ｄよりも比重が小さいために、研磨粉Ｂ
の表面、つまり回転体１３の径方向外方寄りに出やすい
ので、この油分Ｃを主として含んだ油系液体ＣＣが、油
吸引器２により十分吸引される。吸引された油系液体Ｃ
Ｃは、図１の油水分離器１５に送給されて、この液体中
に僅か含まれている研磨用液体Ｄと油分Ｃとに分離して
回収される。さらに、研磨粉Ｂは、これに付着している
研磨用液体Ｄからなる液体成分が絞りローラ１９により
絞り取られたのちに、かき取り板２１にかき取られて回
転体１３から分離され、粉受けボックス２３に収納され
る。絞りローラ１９により研磨粉Ｂから絞り取られた研
磨用液体Ｄはケーシング１１内に滴下して回収される。

【００２１】したがって、図２の絞りローラ１９は、油
系液体ＣＣの付着により回転体１３に対しスリップしよ
うとするのを確実に防止されて、常に所要の絞り機能を
維持し、研磨粉Ｂを、これに付着した液体を絞りながら
確実に通過させる。それにより、上記第１の除去機構１
では、混合液Ａから研磨粉Ｂと油系液体ＣＣとが効果的
に除去されて、研磨用液体Ｄに僅かな研磨粉Ｂと油系液
体ＣＣとが混入した混合液Ａがケーシング１１内に残存
する。この残存した混合液Ａはケーシング１１の排出口
２４から、図１の送液管２７を介して第２の除去機構３
に送られる。

【００２２】第１の除去機構１の油吸引器２から送給パ
イプ２８を介して油系液体ＣＣが送られる油水分離器１
５は、これの縦断面図である図３に示すような構成にな
っている。すなわち、分離用容器２９は、隔壁板３０で
区画されて、その下方で連通する第１室３１と第２室３
２とに区分されており、第２室３２には、研磨用液体Ｄ
の取出用パイプ３３が、その上端開口面を隔壁板３０の
上端に対し僅かに低く位置させた鉛直状態で分離用容器
２９に液密に貫通して配設されている。

【００２３】したがって、第１室３１内に送給された油
系液体ＣＣは、比重の小さい油分Ｃや比重は大きいが微
小な研磨粉Ｂなどが液面に浮遊した浮遊物Ｅと、研磨用
液体Ｄとに分離され、僅かに含まれている研磨粉Ｂが第
１室３１の底部に沈殿する。研磨用液体Ｄは隔壁板３０
の下方から第２室３２に流入したのち、取出用パイプ３
３にその上端開口から流入して回収される。一方、浮遊
物Ｅは第１室３１からオーバーフローして樋３４を伝っ
て油受けボックス３７に収納される。このようにして、
油系液体ＣＣ中に含まれている僅かな研磨用液体Ｄをも
回収するので、研磨用液体Ｄの回収効率が一層向上す
る。

【００２４】上記第２の除去機構３は図４の斜視図に示
すような構成になっている。第１の除去機構１からの混
合液Ａを受け入れる容器３８は、第１の分離槽４（図
１）の上方部に設けられており、この容器３８の底壁の
分離作業部３５には混合液Ａから研磨用液体Ｄのみを通
過させて第１の分離槽４に滴下させるパンチメタルのよ
うな多孔板からなるメッシュ壁３９が設けられている。
メッシュ壁３９の両側には側壁板４０，４１が対向して
配置され、一方の側壁板４０と容器３８との間は、送給
管２７から送られた混合液Ａを分離作業部３５に向け流
動させる導入通路４２になっている。この導入通路４２
を流動する混合液Ａは、一方の側壁板４０の一側部から
延びた湾曲形状のガイド板４３と容器３８の内壁に固定
された湾曲形状のガイド板４４とにより、容器３８の後
端部（図４の右端側）から分離作業部３５の中央部に導
かれる。

【００２５】分離作業部３５の上方には、分離作業部３
５に沿って混合液Ａを容器３８の先端部、つまり前端部
（図４の左端側）へかき寄せるかき寄せ機４７が設けら
れている。このかき寄せ機４７は、駆動源のエアシリン
ダ４８と、エアシリンダ４８のロッドの先端に任意に回
動可能に連結されたかき寄せ板４９と、かき寄せ板４９
の両端に回転自在に取り付けられたガイドローラ５０，
５０と、このガイドローラ５０，５０をそれぞれ転動さ
せながら案内する下部ガイドレール５１、下部ガイドレ
ール５１の上方において後端を支持ピン５２を介して側
壁板４０に回動自在に支持された上部可動ガイドレール
５３と、この上部可動ガイドレール５３の後方に連続す
る配置で側壁板４０に固着された上部固定ガイドレール
５４とにより構成されている。

【００２６】メッシュ壁３９は、後端部から中間部まで
がほぼ水平に位置し、中間部から前端部に向けて上がり
勾配に傾斜している。メッシュ壁３９の前端部には、混
合液Ａから分離した研磨粉Ｂを粉受けボックス５５へ送
り出すため排出部５７が延設されている。一方、下部ガ
イドレール５１は、メッシュ壁３９に対応して、後端部
から中間部までがほぼ水平で、中間部から前端部に向け
て上がり勾配に傾斜している。支持ピン５２を支点とし
て回動自在の上部可動ガイドレール５３は、図４に図示
するように、通常時には自重により前端部が固定ガイド
レール５１に接触する状態で静止している。上部固定ガ
イドレール５４は、上部可動ガイドレール５３に近接す
る前端部から後端部にかけて下り勾配に傾斜しており、
この後端部と下部ガイドレール５１との間に、ガイドロ
ーラ５０が通過できる間隔が設けられている。

【００２７】つぎに、第２の除去機構３の動作を説明す
る。図１の第１の除去機構１から送給管２７を介して送
られた混合液Ａは、図４の導入通路４２を通って容器３
８内に導入され、両ガイド板４４，４３の間を通って分
離作業部３５の後方中央部に流入する。この混合液Ａに
含まれている研磨粉Ｂは混合液Ａの流れに沿って分離作
業部３５の後方中央部に集められる。

【００２８】一方、かき寄せ板４９は、図５に示すエア
シリンダ４８のストロークＳの範囲内でメッシュ壁３９
に沿った前後方向に往復動される。エアシリンダ４８の
ロッドが後退状態のときには、かき寄せ板４９が図５
（ａ）に２点鎖線で示す分離作業部３５の後方に位置し
ており、この状態からエアシリンダ４８が駆動してロッ
ドが突出されると、ガイドローラ５０は、図５（ａ）に
実線で示す中間位置までは下部ガイドレール５１の水平
部分上を転動したのちに、下部ガイドレール５１の傾斜
部分上を転動しながら上昇して、図５（ｂ）に実線で示
す最前端まで前進移動する。なお、ガイドローラ５０
は、最前端に達する直前に、上部可動ガイドレール５３
を（ｂ）に２点鎖線で示すように押し上げて回動させな
がら前進し、ガイドローラ５０が最前端に達して時点
で、上部可動ガイドレール５３は、ガイドローラ５０に
よる押し上げ力を解除されて、自重により実線で示す元
の状態に復帰する。

【００２９】かき寄せ板４９は、上記のガイドローラ５
０の移動に伴い案内されてメッシュ壁３９に沿いながら
移動し、混合液Ａを先端側に押し流していく。このと
き、混合液Ａ中の研磨用液体Ｄは、メッシュ壁３９を通
過して第１の分離槽４に滴下する。なお、メッシュ壁３
９は、後端部から中間部までは比較的小さな網目に、か
つ中間部から前端部までは研磨粉Ｂを通さない範囲で大
きな網目に形成されている。したがって、分離作業部３
５の後部に流入した混合液Ａ中の研磨用液体Ｄは、メッ
シュ壁３９の中間部まで押し流される過程においてメッ
シュ壁３９を通過して滴下する量が少ない。それによ
り、混合液Ａ中の研磨粉Ｂは、液体に含有された状態で
メッシュ壁３９の中間部まで円滑に搬送されるととも
に、中間部から上方へ押し上げられるときに殆どがメッ
シュ壁３９を通過して滴下する。

【００３０】図５（ｂ）に示すように、かき寄せ板４９
はメッシュ壁３９の最前端の手前まで移動されるだけで
あり、メッシュ壁４９におけるかき寄せ板４９の移動ス
トロークの前端停止位置と容器３８の先端縁との間に対
向する箇所は、研磨粉Ｂを含むかき寄せ物の一時貯溜部
５８となる。このように、かき寄せ板４９により前端部
にかき寄せられたかき寄せ物は、そのまま粉受けボック
ス５５に排出されずに、一時貯溜部５８に一時的に貯溜
され、この貯溜中に、研磨粉Ｂに付着している研磨用液
体Ｄがメッシュ壁３９を通って滴下する。これにより、
研磨用液体Ｄの回収効率がさらに向上する。

【００３１】最前端まで移動したガイドローラ５０は、
エアシリンダ４８のロッドが後退されるときに、図５
（ｂ）の左端に２点鎖線で示すように、下部ガイドレー
ル５１に前端が接触している上部可動ガイドレール５３
上に乗り上げて後退し、さらに、上部固定ガイドレール
５４に乗り移って転動しながら後退し、図５（ｂ）の右
側に２点鎖線で二つ示すように、上部固定ガイドレール
５４の後端から下部ガイドレール５１上に落下する。

【００３２】かき寄せ板４９は、上記のように移動する
ガイドローラ５０により案内されて、メッシュ壁３９の
上方へ持ち上げられた状態を保持しながら後退するの
で、前方へかき寄せた研磨粉Ｂを後退させることがな
い。つぎに、かき寄せ板４９が前進移動していくとき
に、このかき寄せ板４９でかき寄せられて前方へ移送さ
れていく研磨粉Ｂが、一時貯溜部５８上に一旦貯溜され
ていた研磨粉Ｂを排出部５７へ押し出す。以後、同様の
動作を繰り返して、第１の除去機構１によって除去でき
なかった研磨粉Ｂがほぼ完全に除去され、第１の分離槽
４には、微小な研磨粉などが僅かに混入しただけの研磨
用液体Ｄが残存する。

【００３３】図６は第２の分離槽５と第３の分離槽６と
の部分の縦断面図を示しているが、隣接する各二つの分
離槽４，５、５，６、６，７間は何れも同様の構成にな
っている。すなわち、各分離槽５〜７を相互に区分する
隔壁５９の上下方向中間部には、研磨用液体Ｄの中間層
を後段側へ流出させるための中間開口６０が設けられ、
隔壁５９の上部には、研磨用液体Ｄの上層部を後段側へ
流出させるための上部開口６１が設けられている。さら
に、隔壁５９における上部開口６１の形成箇所には、図
７に示すような有底円筒体を半分に切断した形態のメッ
シュからなる浄化器６２が、それぞれ後段側において上
部開口６１を塞ぐよう配置して固定されている。

【００３４】また、図１に示すように、第４の分離槽７
の内部には、回収分離槽８が設けられている。この回収
分離槽８は、研磨用液体Ｄを通過させることのできる２
枚のメッシュ板８１、８２により第４の分離槽７の隅部
を囲って構成されている。これら５つの槽４〜８の上部
は蓋体７０によって覆われている。この蓋体７０の上面
には、回収分離槽８内部の研磨用液体Ｄを吸引して回収
するバキュームポンプからなる吸引機９が設置されてい
る。前記第１および第２の除去機構１，３も蓋体７０の
上面に支持されている。

【００３５】一方、各浄化器６２には、蓋体７０を貫通
して吸引用パイプ６４がそれぞれ配管されており、分離
槽４〜７の外部には、各吸引用パイプ６４を介して浄化
器６２内の浮遊物を吸引して油水分離器１５へ送るバキ
ュームポンプなどからなる吸引装置１０が設けられてい
る。

【００３６】前記第１および第２の除去機構１，３で
は、混合液Ａの液面に研磨用液体Ｄの泡と混在して浮遊
する微小な研磨粉Ｂなどを十分に除去することができな
い場合があるが、第２の除去機構３から排出された研磨
用液体が第１〜４の各分離槽４〜７に順次送られていく
際に、研磨用液体の液面上に浮遊する浮遊物Ｅは、上部
開口６１に設けられた浄化器６２に通過を阻止されて、
浄化器６２内に滞留して除去される。また、研磨用液体
Ｄ中に僅かに残存している研磨粉Ｂなどは、各分離槽４
〜７における底部に沈殿し、各分離槽４〜７における研
磨用液体Ｄのうちの最も混入物が少ない中間部分が、隔
壁５９の中間開口６０を通過して後段側の分離槽に順次
流動していく。したがって、最後段の回収槽８には微小
な研磨粉Ｂなどもほぼ完全に除去された研磨用液体Ｄが
流入し、この研磨用液体Ｄが吸引機９で回収される。こ
の回収された研磨用液体Ｄは、そのまま再使用が可能な
状態まで浄化されたものであるから、吸引機９により研
磨装置などに直接送給することも可能である。

【００３７】また、浄化器６２内に滞留する浮遊物Ｅに
は僅かながらも研磨用液体Ｄが含まれているので、吸引
装置１０が定期的に駆動されて浄化器６２内の浮遊物Ｅ
が油水分離器１５に送られて、この浮遊物Ｅから油系液
体ＣＣおよび微小な研磨粉Ｂなどが分離除去され、浮遊
物Ｅ中に僅かに含まれている研磨用液体Ｄをも回収す
る。これにより、研磨用液体Ｄの回収効率が一層向上す
る。

【００３８】

【発明の効果】以上のように、本発明の一構成に係る研
磨用液体からの研磨粉等の除去装置によれば、磁石の磁
力により回転体の外周面に吸着して搬送される研磨粉に
付着している研磨用液体を絞りローラにより絞り取った
のちに、研磨粉を排出して除去するとともに、絞りロー
ラの手前で回転体の外周面に転移して付着する油系液体
を油吸引器で吸引して除去する構成としたので、絞りロ
ーラが油系液体の付着により回転体に対しスリップしよ
うとするのを確実に防止することができ、絞りローラに
常に所要の絞り機能を維持させることができる。そのた
め、混合液から研磨粉と油系液体とを効果的に除去し
て、研磨用液体を十分に浄化した状態で回収できる。

【００３９】また、本発明の他の構成に係る研磨用液体
からの研磨粉等の除去装置によれば、混合液をかき寄せ
機によってかき寄せながらメッシュ壁によってろ過する
簡単で確実な手段で研磨粉などを除去できるとともに、
メッシュ壁に残った研磨粉などを、即座に排出せずに、
一時貯溜部に一旦貯溜させることにより、研磨粉などに
付着した液体成分をも効率的に回収することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る研磨用液体からの研
磨粉などの除去装置の全体構成を示す概略平面図であ
る。

【図２】同装置における第１の除去機構を示す切断側面
図である。

【図３】同装置における油水分離器を示す縦断面図であ
る。

【図４】同装置における第２の除去機構を示す斜視図で
ある。

【図５】（ａ），（ｂ）は同第２の除去機構の動作を説
明するための概略切断側面図である。

【図６】同装置における隣接する分離槽間の構造を示す
縦断面図である。

【図７】同分離槽に設けられた浄化器を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１…第１の除去機構、２…油吸引器、３…第２の除去機
構、４〜７…分離槽、８…回収槽、９…吸引機、１０…
吸引装置、１１…ケーシング、１３…回転体、１５…油
水分離器、１８…磁石、１９…絞りローラ、２１…かき
取り板（分離回収手段）、３５…分離作業部、３８…容
器、３９…メッシュ壁、４７…かき寄せ機、５８…一時
貯溜部、５９…隔壁、６０…中間開口、６１…上部開
口、６２…浄化器、Ａ…混合液、Ｂ…研磨粉、Ｃ…油
分、ＣＣ…油系液体、Ｄ…研磨用液体、Ｅ…浮遊物。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 研磨用液体に磁性の研磨粉および油分が
   混入した混合液を保持するケーシングと、 下部が前記ケーシング内の混合液に浸漬されて回転する
   回転体と、 この回転体の内周面に対向して配置された磁石と、 前記回転体の外周面に接して配置され、前記回転体との
   摩擦接触により回転して、前記回転体に付着して搬送さ
   れる付着物から研磨用液体を絞り取る絞りローラと、 研磨用液体が絞り取られた付着物を前記回転体から分離
   して回収する分離回収手段と、 前記回転体と絞りローラとの接触部位よりも回転体の回
   転方向の手前側で回転体の外周面に付着した油分を含む
   油系液体を吸引する油吸引器とを備えた研磨用液体から
   の研磨粉等の除去装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、さらに、油吸引器で
   吸引された油系液体から研磨用液体と油分を分離して回
   収する油水分離器を備えた研磨用液体からの研磨粉等の
   除去装置。
3. 【請求項３】 研磨用液体に研磨粉および油分が混入し
   た混合液を受け入れる容器と、 この容器の底壁の分離作業部に設けられ、前記混合液か
   ら液体成分を分離して通過させるメッシュ壁と、 前記分離作業部に沿って混合液を前記容器の先端部へか
   き寄せるかき寄せ機とを備え、 前記かき寄せ機のストロークの先端と前記容器の先端縁
   との間に前記メッシュ壁の一部で形成されたかき寄せ物
   の一時貯溜部が設けられている研磨用液体からの研磨粉
   等の除去装置。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の除去装置から排出され
   る混合液が請求項３に記載の除去装置に供給される研磨
   用液体からの研磨粉等の除去装置。
5. 【請求項５】 請求項１または３に記載の除去装置から
   排出される研磨用液体を順次受け入れる直列配置された
   複数の分離槽と、 後段の分離槽の上部に設けられ、研磨用液体中から浮遊
   物を除去するメッシュを有する浄化器と、 前記分離槽間の隔壁に設けられ、前段の分離槽内の研磨
   用液体の上層部を前記浄化器に流出させる上部開口と、 隔壁の上下方向中間部に設けられ、前段の分離槽の研磨
   用液体の中間層を後段の層に流出させる中間開口と、 最後段の分離槽に設けられ、研磨用液体を回収する吸引
   機とを備えた研磨用液体からの研磨粉等の除去装置。
6. 【請求項６】 請求項５において、さらに、油水分離器
   と、前記浄化器内の浮遊物を吸引して前記油水分離器へ
   送る吸引装置とを有する研磨用液体からの研磨粉等の除
   去装置。