JPH1177389A - リニアモータを用いたプレス機 - Google Patents
リニアモータを用いたプレス機Info
- Publication number
- JPH1177389A JPH1177389A JP24149997A JP24149997A JPH1177389A JP H1177389 A JPH1177389 A JP H1177389A JP 24149997 A JP24149997 A JP 24149997A JP 24149997 A JP24149997 A JP 24149997A JP H1177389 A JPH1177389 A JP H1177389A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motor
- press
- cylinder
- control unit
- punch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B30—PRESSES
- B30B—PRESSES IN GENERAL
- B30B1/00—Presses, using a press ram, characterised by the features of the drive therefor, pressure being transmitted directly, or through simple thrust or tension members only, to the press ram or platen
- B30B1/42—Presses, using a press ram, characterised by the features of the drive therefor, pressure being transmitted directly, or through simple thrust or tension members only, to the press ram or platen by magnetic means, e.g. electromagnetic
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Punching Or Piercing (AREA)
- Control Of Presses (AREA)
- Press Drives And Press Lines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 シリンダ機構の制御を油圧によって行わない
で、加工精度を高めることを可能にし、かつコンパクト
なプレス機を得る。 【解決手段】 ヘッド１８内にシリンダ機構に代えてリ
ニアモータ１９を設け、このリニアモータ１９によっ
て、シリンダ２０を可動する。そしてシリンダ２０の下
降によってパンチ８の頭部を押し下げることにより、両
タレット６、７の間に介在させたワークＷにパンチ加工
するものである。
で、加工精度を高めることを可能にし、かつコンパクト
なプレス機を得る。 【解決手段】 ヘッド１８内にシリンダ機構に代えてリ
ニアモータ１９を設け、このリニアモータ１９によっ
て、シリンダ２０を可動する。そしてシリンダ２０の下
降によってパンチ８の頭部を押し下げることにより、両
タレット６、７の間に介在させたワークＷにパンチ加工
するものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、油圧に代えてリニ
アモータによってストライカであるシリンダを上昇、下
降させるプレス機に関する。
アモータによってストライカであるシリンダを上昇、下
降させるプレス機に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のプレス機の一例としてタレットパ
ンチプレスを説明する。例えば図８に示すタレットパン
チプレスは、上タレット６及び下タレット７を回転自在
に軸支し、両タレット６、７の任意のステーションに取
り付けた一対のパンチ８及びダイ９をモータＭの回転に
よりパンチ位置に移動させる。
ンチプレスを説明する。例えば図８に示すタレットパン
チプレスは、上タレット６及び下タレット７を回転自在
に軸支し、両タレット６、７の任意のステーションに取
り付けた一対のパンチ８及びダイ９をモータＭの回転に
よりパンチ位置に移動させる。
【０００３】そして、その上部に位置するラム（ストラ
イカ）１０でパンチ８の頭部を押し下げることにより、
両タレット６、７の間に介在させたワークＷにパンチ加
工するものである。
イカ）１０でパンチ８の頭部を押し下げることにより、
両タレット６、７の間に介在させたワークＷにパンチ加
工するものである。
【０００４】前述のワークＷの一端はクランプ装置１１
で把持されて平面座標上の任意の位置に移動可能とされ
ている。また、前述のラム１０を昇降駆動するためのシ
リンダ機構１２が設けられている。このシリンダ機構１
２（ヘッドともいう）は、電磁比例弁ＳＯＬを備えた油
圧ユニットによって制御されるようになっている。ま
た、このプレス機には操作ペンダント１４と、ＮＣ装置
１５とが設けられ、ＮＣ装置１５が操作ペンダント１４
からの指示に基づいて油圧ユニット１３を制御する。
で把持されて平面座標上の任意の位置に移動可能とされ
ている。また、前述のラム１０を昇降駆動するためのシ
リンダ機構１２が設けられている。このシリンダ機構１
２（ヘッドともいう）は、電磁比例弁ＳＯＬを備えた油
圧ユニットによって制御されるようになっている。ま
た、このプレス機には操作ペンダント１４と、ＮＣ装置
１５とが設けられ、ＮＣ装置１５が操作ペンダント１４
からの指示に基づいて油圧ユニット１３を制御する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プレス機は、油圧ユニットによってシリンダを上昇、下
降させている。
プレス機は、油圧ユニットによってシリンダを上昇、下
降させている。
【０００６】すなわち、油圧ユニットによって、シリン
ダ機構を制御してストライカを可動しているので、油圧
のための機構が複雑であると共に、装置自体が大型にな
る。
ダ機構を制御してストライカを可動しているので、油圧
のための機構が複雑であると共に、装置自体が大型にな
る。
【０００７】従って、シリンダ機構の制御を油圧によっ
て行わないで、加工精度を高めることを可能にし、かつ
コンパクトなプレス機であることが望ましい。
て行わないで、加工精度を高めることを可能にし、かつ
コンパクトなプレス機であることが望ましい。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、ワークをパン
チとダイに乗せ、パンチを下降、上昇させてプレスする
プレス機において、シリンダを電磁力で下降及び上昇さ
せるリニアモータをパンチの上方に垂直に取り付けらた
リニアモータ型のヘッド部と、リニアモータ型のヘッド
の各電機子に対して所定の周波数の電力を供給する制御
部とを備えたことを要旨とする。
チとダイに乗せ、パンチを下降、上昇させてプレスする
プレス機において、シリンダを電磁力で下降及び上昇さ
せるリニアモータをパンチの上方に垂直に取り付けらた
リニアモータ型のヘッド部と、リニアモータ型のヘッド
の各電機子に対して所定の周波数の電力を供給する制御
部とを備えたことを要旨とする。
【０００９】すなわち、油圧ユニットに代えて、シリン
ダをリニアモータによって可動しているので、装置自体
がコンパクトになる。
ダをリニアモータによって可動しているので、装置自体
がコンパクトになる。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１に示すプレス機は、ヘッド１
８内にシリンダ機構に代えてリニアモータ１９を設け、
このリニアモータ１９によって、ストライカ２０（以下
シリンダ２０という）を可動する。そしてシリンダ２０
の下降によってパンチ８の頭部を押し下げることによ
り、両タレット６、７の間に介在させたワークＷにパン
チ加工するものである。
８内にシリンダ機構に代えてリニアモータ１９を設け、
このリニアモータ１９によって、ストライカ２０（以下
シリンダ２０という）を可動する。そしてシリンダ２０
の下降によってパンチ８の頭部を押し下げることによ
り、両タレット６、７の間に介在させたワークＷにパン
チ加工するものである。
【００１１】また、油圧ユニットに代えて、操作ペンダ
ント１４、ＮＣ装置１５からの指示に基づいてリニアモ
ータ１９に電力を供給する制御部２１が設けられてい
る。
ント１４、ＮＣ装置１５からの指示に基づいてリニアモ
ータ１９に電力を供給する制御部２１が設けられてい
る。
【００１２】＜リニアモータの構成＞前述のリニアモー
タ１９は、図２に示すように、例えば円筒型を成してい
る。このリニアモータ１９は、放射状に磁化したリング
状の互いに磁極が異なる永久磁石２５ａ、２５ｂを可動
子であるシリンダ２０に偶数極取付けている。これらの
永久磁石２５ａ、２５ｂは、外側がＮ極又はＳ極となる
ように形成された永久磁石であって、その材質はフェラ
イト又は磁石鋼を用いている。
タ１９は、図２に示すように、例えば円筒型を成してい
る。このリニアモータ１９は、放射状に磁化したリング
状の互いに磁極が異なる永久磁石２５ａ、２５ｂを可動
子であるシリンダ２０に偶数極取付けている。これらの
永久磁石２５ａ、２５ｂは、外側がＮ極又はＳ極となる
ように形成された永久磁石であって、その材質はフェラ
イト又は磁石鋼を用いている。
【００１３】また、これらの永久磁石２５ａ、２５ｂが
通過できる大きな円孔にされ、かつ外側が正八角形状の
板状磁性体をシリンダ２０のストローク方向に積層した
複数個の第１コア部２６を複数個適当な間隔のスロット
を設けて形成している。この第１コア部２６の外側周辺
部には、板状磁性体をシリンダ２０の円周方向に積層し
た第２コア部２７を形成する。
通過できる大きな円孔にされ、かつ外側が正八角形状の
板状磁性体をシリンダ２０のストローク方向に積層した
複数個の第１コア部２６を複数個適当な間隔のスロット
を設けて形成している。この第１コア部２６の外側周辺
部には、板状磁性体をシリンダ２０の円周方向に積層し
た第２コア部２７を形成する。
【００１４】そして、第１コア部２６と第２コア部２７
の間に設けたスロットに、リング状にまかれた電機子コ
イル２８を挿入して構成されている。
の間に設けたスロットに、リング状にまかれた電機子コ
イル２８を挿入して構成されている。
【００１５】このため、電機子コイル２８によって発生
される磁界の磁力線はその方向に沿う板状の磁性体で構
成される磁気回路、すなわちシリンダ２０のストローク
方向に積層された板状の磁性体からなる第１コア部２６
と、シリンダ２０方向の円周方向に積層された板状の磁
性体からなる第２コア部２７で構成される磁気回路を流
れる。従って、シリンダ２０はストローク方向の推進力
のみを受けて動く。
される磁界の磁力線はその方向に沿う板状の磁性体で構
成される磁気回路、すなわちシリンダ２０のストローク
方向に積層された板状の磁性体からなる第１コア部２６
と、シリンダ２０方向の円周方向に積層された板状の磁
性体からなる第２コア部２７で構成される磁気回路を流
れる。従って、シリンダ２０はストローク方向の推進力
のみを受けて動く。
【００１６】また、リニアモータ１９は、図３に示すよ
うに、界磁巻線を電気角１２０度ずつずらした３組の３
相巻線として電機子側に設け、電機子巻線も電気角１２
０度ずつずらした３組の３相巻線として電機子側に設
け、その巻線間の電気角を９０度とした構造であっても
よい。
うに、界磁巻線を電気角１２０度ずつずらした３組の３
相巻線として電機子側に設け、電機子巻線も電気角１２
０度ずつずらした３組の３相巻線として電機子側に設
け、その巻線間の電気角を９０度とした構造であっても
よい。
【００１７】このようなリニアモータ１９は、図４に示
すように直立方体状の筐体３０内に治められ、筐体３０
のいずれか一方の面３１がブラケット３２に密着されて
上部ユニットの側板３３に取り付けられている。
すように直立方体状の筐体３０内に治められ、筐体３０
のいずれか一方の面３１がブラケット３２に密着されて
上部ユニットの側板３３に取り付けられている。
【００１８】＜制御部の構成＞図５は制御部２１の概略
構成図である。リニアモータ１９には電機子電流Ｉａと
界磁電流Ｉｆが図２で示した第１のコア部２６及び第２
のコア部２７の電機子巻線及び界磁巻線にそれぞれ流さ
れる。そして、リニアモータ１９の磁極の位置及び速度
が第１検出器５０により検出される。
構成図である。リニアモータ１９には電機子電流Ｉａと
界磁電流Ｉｆが図２で示した第１のコア部２６及び第２
のコア部２７の電機子巻線及び界磁巻線にそれぞれ流さ
れる。そして、リニアモータ１９の磁極の位置及び速度
が第１検出器５０により検出される。
【００１９】この第１検出器５０は、速度検出と磁極位
置検出が可能な検出器であって、例えばロータリエンコ
ーダ、ロータリレゾルバ等が利用される。
置検出が可能な検出器であって、例えばロータリエンコ
ーダ、ロータリレゾルバ等が利用される。
【００２０】前述の電機子電流Ｉａ及び界磁電流Ｉｆは
各インバータ５１、インバータ５２によって以下に説明
するように制御される。まず、速度指令Ｓ１により希望
する所定の速度が速度アンプ５３に与えられる。また、
この速度アンプ５３には第１検出器５０によって検出さ
れたリニアモータ１９の速度Ｓ２がフィードバックされ
電機子電流制御指令Ｓ５及びインバータ５１の出力側に
設けた電機子電流検出器５５によって検出された界磁電
流Ｓ７と共に電機子電流アンプ５４にフィードバックさ
れ、この電機子電流アンプ５４からインバータ制御信号
Ｓ９が出力される。
各インバータ５１、インバータ５２によって以下に説明
するように制御される。まず、速度指令Ｓ１により希望
する所定の速度が速度アンプ５３に与えられる。また、
この速度アンプ５３には第１検出器５０によって検出さ
れたリニアモータ１９の速度Ｓ２がフィードバックされ
電機子電流制御指令Ｓ５及びインバータ５１の出力側に
設けた電機子電流検出器５５によって検出された界磁電
流Ｓ７と共に電機子電流アンプ５４にフィードバックさ
れ、この電機子電流アンプ５４からインバータ制御信号
Ｓ９が出力される。
【００２１】一方、界磁電流指令Ｓ１１が界磁電流アン
プ５７に入力されると共に、インバータ５２の出力側に
設けた界磁電流検出器５６によって検出された界磁電流
Ｓ１３が界磁電流アンプ５７にフィードバックされる。
この界磁電流アンプ５７からインバータ５２を制御する
インバータ制御信号Ｓ１５が出力される。
プ５７に入力されると共に、インバータ５２の出力側に
設けた界磁電流検出器５６によって検出された界磁電流
Ｓ１３が界磁電流アンプ５７にフィードバックされる。
この界磁電流アンプ５７からインバータ５２を制御する
インバータ制御信号Ｓ１５が出力される。
【００２２】さらに、速度Ｓ２、電機子電流Ｓ７及び界
磁電流Ｓ１３が電機子電流、界磁電流位相制御アンプ５
８に入力され、各電流の位相を制御するための制御信号
Ｓ１７、Ｓ１９がインバータ５１及びインバータ５２に
入力される。
磁電流Ｓ１３が電機子電流、界磁電流位相制御アンプ５
８に入力され、各電流の位相を制御するための制御信号
Ｓ１７、Ｓ１９がインバータ５１及びインバータ５２に
入力される。
【００２３】また、前述の電機子電流界磁電流位相制御
アンプ５８には、加圧量設定回路６０が接続されてい
る。この加圧量設定回路６０は、メモリ６１に記憶され
ている加圧パターンに基づく制御値を電機子電流界磁電
流位相制御アンプ５８に設定する。
アンプ５８には、加圧量設定回路６０が接続されてい
る。この加圧量設定回路６０は、メモリ６１に記憶され
ている加圧パターンに基づく制御値を電機子電流界磁電
流位相制御アンプ５８に設定する。
【００２４】メモリ６１には、図６に示す標準加圧パタ
ーンと、加圧が最大となる前にシリンダ２０を振動させ
る加圧振動パターンとが記憶されている。
ーンと、加圧が最大となる前にシリンダ２０を振動させ
る加圧振動パターンとが記憶されている。
【００２５】このメモリ６１は、操作ペンダント１４、
ＮＣ装置１５からの加圧値に従ってメモり６１のパター
ンを書き換える加圧パターン書換部６２と、加圧量設定
回路６０が加圧振動パターンを引き当てたとき、電機子
電流界磁電流位相制御アンプ５８の電流周波数を高周波
電流にする振動発生回路６３が設けられている。
ＮＣ装置１５からの加圧値に従ってメモり６１のパター
ンを書き換える加圧パターン書換部６２と、加圧量設定
回路６０が加圧振動パターンを引き当てたとき、電機子
電流界磁電流位相制御アンプ５８の電流周波数を高周波
電流にする振動発生回路６３が設けられている。
【００２６】従って、メモリ６０に記憶されている標準
加圧パターンに対応する板材がパンチ８の下にセットさ
れると、リニアモータ１９のシリンダ２０は図７に示す
ように初めは急激に下降させられ、パンチ８が板材に接
したときゆっくりとした加圧される。
加圧パターンに対応する板材がパンチ８の下にセットさ
れると、リニアモータ１９のシリンダ２０は図７に示す
ように初めは急激に下降させられ、パンチ８が板材に接
したときゆっくりとした加圧される。
【００２７】また、図７に示す加圧振動パターンが選択
されたときは、加圧力が最大となる前にシリンダ２０が
振動する。このため、パンチ８が板材から容易に抜け
る。
されたときは、加圧力が最大となる前にシリンダ２０が
振動する。このため、パンチ８が板材から容易に抜け
る。
【００２８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、プレス機
のヘッド部内にリニアモータを設け、このリニアモータ
のシリンダを電磁力で下降及び上昇させるようにしたの
で、装置自体がコンパクトになるという効果が得られて
いる。
のヘッド部内にリニアモータを設け、このリニアモータ
のシリンダを電磁力で下降及び上昇させるようにしたの
で、装置自体がコンパクトになるという効果が得られて
いる。
【図１】本発明の実施の形態のプレス機の概略構成図で
ある。
ある。
【図２】リニアモータの構成図である。
【図３】リニアモータの電気角を説明する説明図であ
る。
る。
【図４】リニアモータの取付機構の断面図である。
【図５】制御部の概略構成図である。
【図６】制御部の標準加圧パターンを説明する説明図で
ある。
ある。
【図７】制御部の高周波振動加圧パターンを説明する説
明図である。
明図である。
【図８】従来のプレス機の概略構成図である。
１９ リニアモータ ２０ シリンダ １４ 操作ペンダント １５ ＮＣ装置 ２５ａ 永久磁石 ２５ｂ 永久磁石 ２６ 第１コア部 ２７ 第２コア部 ２８ 電機子コイル ３２ ブラケット ３３ 上部ユニットの側板 ３５ 取付調整ネジ機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内藤 欽志郎 神奈川県伊勢原市石田318番地３
Claims (5)
- 【請求項１】 ワークをパンチとダイに乗せ、前記パン
チを下降、上昇させてプレスするプレス機において、 シリンダを電磁力で下降及び上昇させるリニアモータを
前記パンチの上方に垂直に取り付けらたリニアモータ型
のヘッド部と、 前記リニアモータ型のヘッドの各電機子に対して所定の
周波数の電力を供給する制御部とを有するリニアモータ
を用いたプレス機。 - 【請求項２】 前記リニアモータ型のヘッド部は、 前記リニアモータを垂直に上部ユニットに取り付けるた
めのブラケットに、前記リニアモータを取り外し可能に
固着し、このブラケットと前記上部ユニットとを取付調
整機構によって軸持されていることを特徴とする請求項
１のリニアモータを用いたプレス機。 - 【請求項３】 前記制御部は、 加圧パターンに対応する加圧力で前記リニアモータのシ
リンダを可動させる電力を前記リニアモータに供給する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のリニアモータを
用いたプレス機。 - 【請求項４】 前記制御部は、 標準の加圧パターン及び高周波振動パターンを有し、Ｎ
Ｃ装置からの指示に基づいて、いずれかのパターンで前
記シリンダを可動させることを特徴とする請求項１、２
又は３記載のリニアモータを用いたプレス機。 - 【請求項５】 前記制御部は、 前記加圧パターンを前記ＮＣ装置からの加圧パターンに
書き換える手段を有していることを特徴とする請求項４
記載のリニアモータを用いたプレス機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24149997A JPH1177389A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | リニアモータを用いたプレス機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24149997A JPH1177389A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | リニアモータを用いたプレス機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177389A true JPH1177389A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17075243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24149997A Pending JPH1177389A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | リニアモータを用いたプレス機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1177389A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2288003A1 (en) * | 2008-04-16 | 2011-02-23 | Totankako Co., Ltd. | Lead wire embedding device and lead wire embedding method |
| CN102019714A (zh) * | 2009-09-17 | 2011-04-20 | 会田工程技术有限公司 | 压力机和控制方法 |
| CN102161063A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-08-24 | 安徽工业大学 | 一种用于金属带材的连续冲孔装置 |
| JP2013510003A (ja) * | 2009-11-10 | 2013-03-21 | トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 工作機械のプレス駆動装置および加工方法 |
| CN103163038A (zh) * | 2013-04-02 | 2013-06-19 | 山东大学 | 电磁驱动高速切削模拟实验装置 |
| DE102014201470A1 (de) | 2013-01-29 | 2014-07-31 | Aida Engineering, Ltd. | Presse und Verfahren zur Steuerung des Pressenstößels |
| CN104890045A (zh) * | 2015-06-15 | 2015-09-09 | 上海工程技术大学 | 一种电磁驱动式文件打孔机 |
| CN105150220A (zh) * | 2015-10-12 | 2015-12-16 | 南昌航空大学 | 一种用于转子冲片再加工的冲床机械手 |
-
1997
- 1997-09-05 JP JP24149997A patent/JPH1177389A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2288003A4 (en) * | 2008-04-16 | 2014-12-17 | Totankako Co Ltd | DEVICE AND METHOD FOR COATING CONNECTING WIRES |
| EP2288003A1 (en) * | 2008-04-16 | 2011-02-23 | Totankako Co., Ltd. | Lead wire embedding device and lead wire embedding method |
| CN102019714A (zh) * | 2009-09-17 | 2011-04-20 | 会田工程技术有限公司 | 压力机和控制方法 |
| EP2311630A3 (en) * | 2009-09-17 | 2012-03-14 | Aida Engineering, Ltd. | Press machine and method of controlling the same |
| US9021946B2 (en) | 2009-09-17 | 2015-05-05 | Aida Engineering, Ltd. | Press machine and method of controlling the same |
| JP2013510003A (ja) * | 2009-11-10 | 2013-03-21 | トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 工作機械のプレス駆動装置および加工方法 |
| CN102161063A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-08-24 | 安徽工业大学 | 一种用于金属带材的连续冲孔装置 |
| DE102014201470A1 (de) | 2013-01-29 | 2014-07-31 | Aida Engineering, Ltd. | Presse und Verfahren zur Steuerung des Pressenstößels |
| US10160175B2 (en) | 2013-01-29 | 2018-12-25 | Aida Engineering, Ltd. | Press machine and method for controlling slide of press machine |
| DE102014201470B4 (de) | 2013-01-29 | 2024-02-01 | Aida Engineering, Ltd. | Presse und Verfahren zur Steuerung des Pressenstößels |
| CN103163038A (zh) * | 2013-04-02 | 2013-06-19 | 山东大学 | 电磁驱动高速切削模拟实验装置 |
| CN104890045A (zh) * | 2015-06-15 | 2015-09-09 | 上海工程技术大学 | 一种电磁驱动式文件打孔机 |
| CN105150220A (zh) * | 2015-10-12 | 2015-12-16 | 南昌航空大学 | 一种用于转子冲片再加工的冲床机械手 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1906514B1 (en) | Linear motor and machine tool having the same mounted thereon | |
| KR970023649A (ko) | 스테이지장치 및 리니어모터와, 상기 스테이지장치를 사용한 노광장치 및 디바이스생산방법 | |
| JPH1177389A (ja) | リニアモータを用いたプレス機 | |
| US20110217136A1 (en) | Machine tool | |
| JPH11151631A (ja) | 電気式のテーブル及びプレス機 | |
| JP2003319633A (ja) | ボイスコイル型モータおよび作業ヘッド | |
| JP2005278280A (ja) | ムービングコイル形リニアスライダ | |
| JP4081828B2 (ja) | 同心多軸モータ | |
| KR850000278A (ko) | 공작기계 | |
| JP2005218203A (ja) | アクチュエータ及びボンディング装置 | |
| JPS63500362A (ja) | 工作機械 | |
| JP3863975B2 (ja) | リニアモータを用いた板金加工機及びリニアモータ型の下部テーブル装置 | |
| JP3255236B2 (ja) | ２自由度アクチュエータ | |
| JPH01234106A (ja) | 超音波振動コアドリルボール盤 | |
| CN103916043A (zh) | 旋转电机驱动的铁镓合金逆磁致伸缩驱动器及使用的方法 | |
| JPH04101657A (ja) | アクチュエータ | |
| JP2528915B2 (ja) | 直流リニアモ―タ | |
| JPH0230801B2 (ja) | 5jikuseigyogatajikijikukeomochiitashindosetsusakusochi | |
| JP2003200220A (ja) | 曲げ加工装置 | |
| JP4270816B2 (ja) | パンチプレスのリポジショニング用ワーク保持装置 | |
| CN114448320B (zh) | 一种基于音圈电机的电磁顺应装置 | |
| KR100191403B1 (ko) | 고압 프레스의 패스틱 콘트롤러 장치 | |
| JPH077909A (ja) | 円筒形リニアモータ | |
| CN110332277B (zh) | 基于永磁驱动的曲面薄壁件振动控制装置 | |
| JPH07136985A (ja) | 板状体の切断装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040830 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070202 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070213 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20070411 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20070928 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070928 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070928 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071113 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20080509 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |