JPH1167679A - 反応管着脱装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】半導体製造装置内に専用の反応管着脱装置を設
けることで外管、内管等の炉体構成物の着脱の確実性、
安全性を向上させると共に作業性を向上させる。 【解決手段】炉内部にボートを挿脱するボートエレベー
タ５６を具備する縦型反応炉への反応管の着脱を行う反
応管着脱装置に於いて、反応管１３，１７が立設可能な
反応管受搬機２９と、該反応管受搬機を載置し水平方向
に進退可能な受載ビーム部２８とを有し、該受載ビーム
部の前進状態で前記受載ビーム部の反応管受載中心が縦
型反応炉の軸心と一致し、前記反応管受搬機がボートを
取外したボートエレベータにより受載可能である様構成
し、縦型反応炉への反応管の挿脱をボートエレベータ、
反応管着脱装置により行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造装置の反
応炉、特に縦型反応炉の炉体を構成する反応管の着脱を
容易にする反応管着脱装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１２は半導体製造装置の縦型炉の概略
を示している。該縦型反応炉ではウェーハ表面に薄膜が
生成され、或は不純物拡散処理、アニール処理等の各種
表面処理が行われ、ウェーハはボートに水平姿勢で多段
に保持され、炉内での処理はボートに保持された状態で
行われる。

【０００３】半導体製造装置の架台等所要の構造部材に
固定されたヒータベース１に有天筒状のヒータ２が立設
されている。該ヒータ２は、有天筒状の断熱部材３、該
断熱部材３を覆う金属板のヒータカバー４、及び前記断
熱部材３の内面に沿って立設された発熱線支持柱５、該
発熱線支持柱５により支持されコイル状に成形された発
熱線６から主に構成されている。

【０００４】前記ヒータベース１の下面側には金属製の
炉口フランジ７が固着される。該炉口フランジ７は上下
にフランジ部が形成された筒体８と該筒体８から水平４
方向に延出するアーム部９（図１参照）、及び後述する
内フランジ１０とを有し、該アーム部９の先端部に段付
きボルト１１が貫通し、該段付きボルト１１は前記ヒー
タベース１に螺着して炉口フランジ７を前記ヒータベー
ス１に固定する。

【０００５】前記筒体８の上端には石英製の有天筒状の
外管１３が立設され、該外管１３の下端には鍔部１４が
形成されており、該鍔部１４は外管固定リング１５によ
り前記炉口フランジ７に固定されている。前記内フラン
ジ１０には石英製の内管１７が前記外管１３と同心に立
設されている。

【０００６】上記外管１３、内管１７の組立てを行う場
合、縦型反応炉の外で先ず内管１７を前記炉口フランジ
７の内フランジ１０に立設し、次に前記炉口フランジ７
の上端に外管１３を立設して外管１３、内管１７を一体
化し、次にリフト等の搬送機により一体化した外管１
３、内管１７を前記ヒータ２の下方迄搬送し、上昇させ
てヒータ２内に挿入し、炉口フランジ７のアーム部９を
介して前記ヒータベース１に固着していた。

【０００７】前記外管１３、内管１７の取外しは前記組
立て手順の逆により行われ、前記外管１３、内管１７が
炉口フランジ７と共に一体に外され、リフト等の搬送機
により縦型反応炉の外に搬送された後、前記内管１７と
外管１３が分解されていた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記した様に従来では
外管、内管を縦型反応炉外で組立て分解しており、外
管、内管の昇降、搬送はリフト等の汎用機で行っている
ことからリフト等への移載が煩雑であり、搬送中の保
持、安定性に欠けると共に作業性が悪いという問題があ
った。

【０００９】本発明は斯かる実情に鑑み、半導体製造装
置内に専用の反応管着脱装置を設けることで外管、内管
等の炉体構成物の着脱の確実性、安全性を向上させると
共に作業性を向上させようとするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、炉内部にボー
トを挿脱するボートエレベータを具備する縦型反応炉へ
の反応管の着脱を行う反応管着脱装置に於いて、反応管
が立設可能な反応管受搬機と、該反応管受搬機を載置し
水平方向に進退可能な受載ビーム部とを有し、該受載ビ
ーム部の前進状態で前記受載ビーム部の反応管受載中心
が縦型反応炉の軸心と一致し、前記反応管受搬機がボー
トを取外したボートエレベータにより受載可能である様
構成した反応管着脱装置に係り、又縦型反応炉がヒー
タ、外管、内管を同心多重に有する構造であり、前記ヒ
ータがヒータベースに立設され、外管が炉口フランジに
立設され、該炉口フランジは前記ヒータベースに下方か
ら固着可能であり、内管は炉口フランジに設けられた内
フランジに内管受座を介して立設される反応管着脱装置
に係り、又前記内フランジには欠切部が形成され、前記
内管受座には前記欠切部を通過可能であると共に内フラ
ンジに乗載可能な駒部が形成され、前記反応管受搬機は
回転座を回転可能に有し、該回転座に前記内管受座が嵌
合可能である反応管着脱装置に係り、又前記内管受座に
は少なくとも２の係止孔が穿設され、前記回転座には受
載面より突出する様付勢され押込み可能なセットピンが
設けられ、該セットピンが前記係止孔に嵌脱可能である
反応管着脱装置に係り、又前記炉口フランジは半径方向
に延出するアーム部を有し、該アーム部がボルトを介し
てヒータベースに固着可能であり、前記反応管受搬機は
左右の受載ビーム部に掛渡る横ビームを有し、該横ビー
ムの両端にそれぞれ水平軸心を中心に回転可能な２本の
延出脚を有し、該延出脚は水平姿勢で前記横ビーム側に
固定可能な係止手段を有すると共に前記受載ビーム部上
に乗載可能であり、前記反応管受搬機が前記ボートエレ
ベータに支持された状態で前記係止手段の固定を解除す
ることで前記受載ビーム部は下方に垂下し、前記ボルト
の下方に作業空間を形成する反応管着脱装置に係り、更
に又前記回転座に合成樹脂製のブッシュが被嵌されたフ
ランジ受け皿が嵌脱可能であり、該フランジ受け皿はブ
ッシュを介して前記炉口フランジに嵌脱可能である反応
管着脱装置に係るものである。

【００１１】縦型反応炉への反応管の挿脱をボートエレ
ベータ、反応管着脱装置により行うので作業者の負担が
軽減され、安全性が向上する。

【００１２】内フランジの欠切部、内管受座の駒部、反
応管受搬機の回転座の回転構造により外管が組込まれた
状態でも内管の着脱が行え、作業の手順が簡略化する。

【００１３】水平姿勢の延出脚を介して受載ビーム部に
外管、内管が立設することになるので安定性が増大し、
而も外管の取付け作業時には延出脚は垂下するので作業
の邪魔になることがない。

【００１４】内管を支持する場合は回転座に内管受座を
介して内管が立設でき、又回転座にフランジ受け皿を嵌
合することで外管が立設でき、内管と外管とで反応管受
搬機を変える必要がなく、更にブッシュが存在すること
でフランジ受け皿に炉口フランジを嵌合する際の損傷等
弊害が防止できる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。

【００１６】先ず図１に於いて本発明の実施の対象とな
る縦型反応炉について説明する。尚、図１中、図１２中
で示したものと同様なものについては同符合を付してあ
る。

【００１７】半導体製造装置の架台等所要の構造部材に
固定されたヒータベース１に有天筒状のヒータ２が立設
されている。該ヒータ２は、有天筒状の断熱部材３、該
断熱部材３を覆う金属板のヒータカバー４、及び前記断
熱部材３の内面に沿って立設された発熱線支持柱５、該
発熱線支持柱５により支持されコイル状に成形された発
熱線６から主に構成されている。

【００１８】前記ヒータベース１の下面側には炉口フラ
ンジ７が固着される。該炉口フランジ７は上下にフラン
ジ部が形成された筒体８と該筒体８から水平４方向に延
出するアーム部９（図１参照）、及び後述する内フラン
ジ１０とを有し、該アーム部９の先端部に段付きボルト
１１が貫通し、該段付きボルト１１は前記ヒータベース
１に螺着して炉口フランジ７を前記ヒータベース１に固
定する。

【００１９】前記筒体８の上端には石英製の有天筒状の
外管１３が立設され、該外管１３の下端には鍔部１４が
形成されており、該鍔部１４は外管固定リング１５によ
り前記炉口フランジ７に固定されている。

【００２０】前記内フランジ１０には内管受座１６が載
設され、該内管受座１６に石英製の内管１７が前記外管
１３と同心に立設されている。

【００２１】図２、図３に前記内管受座１６が示されて
いる。該内管受座１６はリング座板部１９と円弧形状の
駒部２０から主に形成され、前記リング座板部１９の外
周囲、円周を３等分した位置に反中心方向に駒部２０が
少なくとも３箇所に突設され、前記リング座板部１９の
外径は前記内フランジ１０の内径よりも小径であり、前
記駒部２０の内径は前記リング座板部１９の外径と等し
くなっている。前記リング座板部１９には後述するセッ
トピン４６と嵌合可能な係止孔１８が穿設されている。

【００２２】前記内フランジ１０には前記駒部２０が通
過可能な欠切部２１が少なくとも３箇所（本実施の形態
では６箇所、図１１参照）に設けられ、該欠切部２１に
前記駒部２０が合致した状態で前記内管受座１６が内フ
ランジ１０を通過可能となっている。

【００２３】前記内管１７の組込みは、前記外管１３の
組立て後行われる。前記内管受座１６に内管１７を載置
し、前記駒部２０を前記欠切部２１に位置合わせして外
管１３の下方より内管１７を挿入し、駒部２０が欠切部
２１を通過した状態で内管受座１６を回転し、駒部２０
と欠切部２１との位置をずらせて内管受座１６を前記内
フランジ１０に載置する。内管受座１６は前記駒部２０
を介して前記内フランジ１０に乗載し、前記内管１７は
内管受座１６を介して前記内フランジ１０に立置する。
内フランジ１０の下方から固定リング２２を嵌め、該固
定リング２２を内管受座１６に固着し、前記内フランジ
１０を内管受座１６と固定リング２２間で挾持すること
で前記内管受座１６を固定する。

【００２４】次に、前記外管１３、内管１７を組立てる
反応管着脱装置について図５〜図８により説明する。

【００２５】半導体製造装置の筐体（図示せず）に固定
ベース２５を水平に固定し、該固定ベース２５に片側２
個宛のローラ２６を介してスライドフレーム２７を取付
け、該スライドフレーム２７を炉心に向かって進退可能
とする。該スライドフレーム２７は炉心側に延出する左
右１対の受載ビーム部２８を有し、該受載ビーム部２８
上には反応管受搬機２９が受載される。

【００２６】該反応管受搬機２９を説明する。

【００２７】前記受載ビーム部２８，２８間に掛渡る横
ビーム３１の両端にはそれぞれ関節部３２が設けられ、
該関節部３２には前記横ビーム３１と同方向に突出する
ピン３３を介して１対の延出脚３４，３４が対称且つ前
記受載ビーム部２８と平行にに設けられ、該延出脚３４
は前記ピン３３を中心に鉛直面内を回転自在となってい
る。前記ピン３３の嵌合するピン孔３６は前記延出脚３
４の長手方向に長い長孔となっている。前記延出脚３４
の回転中心側端には掛止突起３７が突設され、前記関節
部３２には前記ピン３３に対峙する掛止孔３８が穿設さ
れている。而して、前記延出脚３４を水平とし前記ピン
孔３６に対するピン３３の余裕分だけ水平方向に変位さ
せると、前記掛止突起３７は前記掛止孔３８に嵌脱可能
となっている。前記延出脚３４の自由端側には脚足３５
を螺着し、該脚足３５を回すことで脚足３５の突出量が
調整され、前記反応管受搬機２９が前記脚足３５を介し
４点で前記受載ビーム部２８に載置される。

【００２８】前記横ビーム３１の中央には座３９が形成
され、該座３９に軸受４１が設けられ、該軸受４１に軸
４２を回転自在に嵌合し、回転座４３が前記座３９に対
して非接触となる様、前記軸４２に取付けられ、該軸４
２を介して前記回転座４３が座３９に対して回転自在に
取付けられている。又、前記横ビーム３１には後述する
連結盤の係合ピンが嵌合する位置決め孔４０が穿設され
ている。

【００２９】前記回転座４３は図７に示される様に中央
に嵌合部４４が突設され、該嵌合部４４の周縁は面取加
工がなされている。前記嵌合部４４の中央部には嵌合部
４４と同心に調芯穴４５がテーパ状に穿設されている。
前記回転座４３の前記嵌合部４４を囲む円環部には円周
を３等分した位置にセットピン４６が後述する様に出入
り可能に突設されている。前記回転座４３には半径方向
に延出するセットレバー５０が固着されている。

【００３０】前記セットピン４６は中空で上端部４６ａ
が細径となった形状であり、前記回転座４３にテフロン
（弗素樹脂）チューブ等自己潤滑性のある合成樹脂製の
摺動軸受４８を介してピン収納孔４７に摺動自在に嵌設
され、前記セットピン４６の上端部４６ａのみが前記回
転座４３より突出可能となっている。前記ピン収納孔４
７は下端にはナット蓋４９が螺着されている。前記ピン
収納孔４７に収納され、セットピン４６とナット蓋４９
間に挾設されたスプリング５１により前記セットピン４
６は突出方向に付勢されている。

【００３１】前記回転座４３には炉口フランジ７受載用
のフランジ受け皿５２が嵌脱可能であり、該フランジ受
け皿５２の下面中央には前記調芯穴４５に契合可能なテ
ーパ状の突起５３を突設する。又、該フランジ受け皿５
２にはテフロン等の合成樹脂製のブッシュ５４を嵌合す
る。該ブッシュ５４の上端はテーパ状となっており、該
ブッシュ５４を介して前記フランジ受け皿５２が前記炉
口フランジ７に嵌脱可能となっている。

【００３２】図４に示す様に、縦型反応炉の下方にはボ
ート挿脱用のボートエレベータ５６が設けられている。
外管１３、内管１７の着脱を行う場合は、ボートエレベ
ータ５６からボートを取外した状態で行われる。

【００３３】鉛直方向に螺子ロッド５７及び一対のガイ
ドロッド５８が立設され、該ガイドロッド５８に摺動自
在に昇降ブロック５９が設けられ、該昇降ブロック５９
は前記螺子ロッド５７にナットを介して螺合している。
前記昇降ブロック５９に水平方向に延出するエレベータ
アーム６１が固着され、該エレベータアーム６１には前
記炉口フランジ７の軸心延長上に炉口蓋６２が設けら
れ、該炉口蓋６２は前記炉口フランジ７の下端開口を気
密に閉塞可能であると共に前記外管１３、内管１７着脱
時の管受け座を兼ねている。前記炉口蓋６２には位置決
めピン６３が突設され、該位置決めピン６３には連結盤
６４の位置決め孔６５が嵌合可能となっている。前記螺
子ロッド５７には図示しない昇降モータが連結されてお
り、該昇降モータの回転により前記螺子ロッド５７が回
転して前記昇降ブロック５９が昇降する様になってい
る。

【００３４】前記連結盤６４は前記位置決めピン６３で
回転方向が位置決めされた状態で前記炉口蓋６２に載置
され、前記連結盤６４には前記反応管受搬機２９が受載
される。前記連結盤６４には係合ピン６６が突設されて
おり、該係合ピン６６は前記横ビーム３１の位置決め孔
４０に嵌合可能である。

【００３５】以下、外管１３、内管１７の組込み手順に
ついて説明する。

【００３６】先ず外管１３の組込みについて説明する。

【００３７】ブッシュ５４を被嵌したフランジ受け皿５
２を前記回転座４３に嵌合し、一方前記炉口蓋６２には
上記した様に前記連結盤６４を載置する。

【００３８】前記炉口フランジ７に外管１３を立設し、
前記炉口フランジ７を前記ブッシュ５４を介して前記フ
ランジ受け皿５２に嵌合する。前記ブッシュ５４はフラ
ンジ受け皿５２と炉口フランジ７との金属接触を避け、
又嵌合時の金属接触による損傷を防止する。前記炉口フ
ランジ７は降下した状態とする。

【００３９】前記炉口フランジ７を介して前記外管１３
を前記反応管受搬機２９に立設し、前記受載ビーム部２
８を前進させ、嵌合部４４の中心をヒータ２の軸心に合
わせる。前記昇降ブロック５９、炉口蓋６２を介して前
記連結盤６４を上昇させ、前記連結盤６４上に前記反応
管受搬機２９を受載する。前記位置決めピン６３が前記
位置決め孔６５に嵌合して、前記ボートエレベータ５６
に対して前記反応管受搬機２９の位置関係が決定され
る。

【００４０】前記反応管受搬機２９が前記受載ビーム部
２８から離反する迄上昇した位置で、前記受載ビーム部
２８を後退させる。更に、前記連結盤６４を上昇させ、
外管１３を前記ヒータ２内に挿入する。図６に示す様
に、前記アーム部９が前記ヒータベース１に当接した状
態となると前記延出脚３４を引出し、前記掛止突起３７
と掛止孔３８との嵌合とを解き延出脚３４を下方に回動
させる。該延出脚３４が垂下した状態では前記段付きボ
ルト１１の下方が解放され、作業空間が形成される。前
記段付きボルト１１の回転作業が可能となり、該段付き
ボルト１１を前記アーム部９に捩込み炉口フランジ７を
前記ヒータベース１に固着する。

【００４１】前記延出脚３４を水平に戻し、前記掛止突
起３７を前記掛止孔３８に嵌合させる。前記炉口蓋６２
を降下させ、前記受載ビーム部２８を前進させ、反応管
受搬機受載位置とし、更に前記炉口蓋６２を降下させ、
前記反応管受搬機２９を前記受載ビーム部２８上に乗載
する。

【００４２】次に、内管１７の組込みについて図９〜図
１１により説明する。

【００４３】前記フランジ受け皿５２を回転座４３より
外し、前記嵌合部４４に前記内管受座１６を嵌合させる
と共に、前記セットピン４６を前記係止孔１８に嵌合さ
せる（図１０（Ａ）（Ｂ）参照）。前記セットピン４６
の前記係止孔１８への嵌合により回転座４３と内管受座
１６とが一体化し、前記セットレバー５０により回転座
４３を介して前記内管受座１６を回転させることができ
る。

【００４４】該内管受座１６に前記内管１７を立設し、
前記受載ビーム部２８を前進させ、嵌合部４４の中心を
ヒータ２の軸心に合わせる。前記昇降ブロック５９、炉
口蓋６２を介して前記連結盤６４を上昇させ、前記連結
盤６４上に前記反応管受搬機２９を受載する。

【００４５】前記反応管受搬機２９が前記受載ビーム部
２８から離反する迄上昇した位置で、前記受載ビーム部
２８を後退させる。更に、前記連結盤６４を上昇させ、
前記内管１７を前記ヒータ２内に挿入する。前記内管受
座１６が内フランジ１０に当接する直前で連結盤６４の
上昇を停止させ、前記セットレバー５０により回転座４
３を介して内管受座１６及び内管１７を回転させる。内
管受座１６の回転により前記駒部２０と欠切部２１とが
合致する（図１１参照）。前記連結盤６４を前記内管受
座１６が前記内フランジ１０より上位置になる迄上昇さ
せ、前記セットレバー５０により内管受座１６を回転さ
せ、前記駒部２０が欠切部２１より外れる位置とする。

【００４６】前記連結盤６４を降下させる。前記駒部２
０が内管受座１６上に載置される。前記連結盤６４を降
下させ、前記固定リング２２を内管受座１６に固着し、
前記内フランジ１０を前記固定リング２２と内管受座１
６とで挾持する。前記連結盤６４を炉口蓋６２より外し
て外管１３、内管１７の組込みが完了する。

【００４７】外管１３、内管１７の取外しは前述した組
込みの逆の手順で行われる。

【００４８】而して、外管１３、内管１７はそれぞれ個
別に着脱が可能であり、着脱作業時に外管１３、内管１
７は反応管着脱装置、ボートエレベータ５６により支持
されるので、作業者はボルトの取付け取外しのみを行え
ばよく、作業が著しく簡略化され、炉外での外管１３と
内管１７との組立て分解作業がなくなるので着脱作業手
順が簡略化されると共に重量物の支持を行う必要がなく
安全性が向上し、一人作業が可能となり省力化が図れ
る。

【００４９】尚、本発明は内管、外管の構成の縦型反応
炉に限らず、均熱管、反応管の構成に係る縦型反応炉に
も実施可能であることは言う迄もない。

【００５０】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、下記の
優れた効果を発揮する。

【００５１】 縦型反応炉への反応管の挿脱をボート
エレベータ、反応管着脱装置により行うので作業者の負
担が軽減され、安全性が向上する。

【００５２】 内フランジの欠切部、内管受座の駒
部、反応管受搬機の回転座の回転構造により外管が組込
まれた状態でも内管の着脱が行え、作業の手順が簡略化
する。

【００５３】 水平姿勢の延出脚を介して受載ビーム
部に外管、内管が立設することになるので安定性が増大
し、而も外管の取付け作業時には延出脚は垂下するので
作業の邪魔になることがない。

【００５４】 内管を支持する場合は回転座に内管受
座を介して内管が立設でき、又回転座にフランジ受け皿
を嵌合することで外管が立設でき、内管と外管とで反応
管受搬機を変える必要がなく、更にブッシュが存在する
ことでフランジ受け皿に炉口フランジを嵌合する際の損
傷等弊害が防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の対象となる縦型反応炉の断面図
である。

【図２】該縦型反応炉に使用される内管受座の平面図で
ある。

【図３】該内管受座の断面図である。

【図４】本発明の実施の形態を示す斜視図である。

【図５】同前本発明の実施の形態の要部を示す斜視図で
ある。

【図６】同前本発明の実施の形態に於ける反応管受搬機
と炉口フランジの関連を示す側面図である。

【図７】同前本発明の実施の形態に於ける回転座の断面
図である。

【図８】同前本発明の実施の形態に於ける外管組込み状
態を示す断面図である。

【図９】同前本発明の実施の形態に於ける内管組込み状
態を示す断面図である。

【図１０】（Ａ）（Ｂ）は同前本発明の実施の形態に於
ける回転座と内管受座との関連を示す部分断面図であ
る。

【図１１】同前本発明の実施の形態に於ける回転座と炉
口フランジとの関連を示す平面図である。

【図１２】従来の手法による反応管着脱が行われる縦型
反応炉を示す断面図である。

【符号の説明】

１ ヒータベース ２ ヒータ ７ 炉口フランジ ９ アーム部 １０ 内フランジ １３ 外管 １６ 内管受座 １７ 内管 １８ 係止孔 ２０ 駒部 ２１ 欠切部 ２８ 受載ビーム部 ２９ 反応管受搬機 ３１ 横ビーム ３４ 延出脚 ３７ 掛止突起 ３８ 掛止孔 ４０ 位置決め孔 ４３ 回転座 ４５ 調芯穴 ４６ セットピン ５０ セットレバー ５２ フランジ受け皿 ５４ ブッシュ ５６ ボートエレベータ ６２ 炉口蓋 ６４ 連結盤

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 炉内部にボートを挿脱するボートエレベ
   ータを具備する縦型反応炉への反応管の着脱を行う反応
   管着脱装置に於いて、反応管が立設可能な反応管受搬機
   と、該反応管受搬機を載置し水平方向に進退可能な受載
   ビーム部とを有し、該受載ビーム部の前進状態で前記受
   載ビーム部の反応管受載中心が縦型反応炉の軸心と一致
   し、前記反応管受搬機がボートを取外したボートエレベ
   ータにより受載可能である様構成したことを特徴とする
   反応管着脱装置。
2. 【請求項２】 縦型反応炉がヒータ、外管、内管を同心
   多重に有する構造であり、前記ヒータがヒータベースに
   立設され、外管が炉口フランジに立設され、該炉口フラ
   ンジは前記ヒータベースに下方から固着可能であり、内
   管は炉口フランジに設けられた内フランジに内管受座を
   介して立設される請求項１の反応管着脱装置。
3. 【請求項３】 前記内フランジには欠切部が形成され、
   前記内管受座には前記欠切部を通過可能であると共に内
   フランジに乗載可能な駒部が形成され、前記反応管受搬
   機は回転座を回転可能に有し、該回転座に前記内管受座
   が嵌合可能である請求項２の反応管着脱装置。
4. 【請求項４】 前記内管受座には少なくとも２の係止孔
   が穿設され、前記回転座には受載面より突出する様付勢
   され押込み可能なセットピンが設けられ、該セットピン
   が前記係止孔に嵌脱可能である請求項３の反応管着脱装
   置。
5. 【請求項５】 前記炉口フランジは半径方向に延出する
   アーム部を有し、該アーム部がボルトを介してヒータベ
   ースに固着可能であり、前記反応管受搬機は左右の受載
   ビーム部に掛渡る横ビームを有し、該横ビームの両端に
   それぞれ水平軸心を中心に回転可能な２本の延出脚を有
   し、該延出脚は水平姿勢で前記横ビーム側に固定可能な
   係止手段を有すると共に前記受載ビーム部上に乗載可能
   であり、前記反応管受搬機が前記ボートエレベータに支
   持された状態で前記係止手段の固定を解除することで前
   記受載ビーム部は下方に垂下し、前記ボルトの下方に作
   業空間を形成する請求項２の反応管着脱装置。
6. 【請求項６】 前記回転座に合成樹脂製のブッシュが被
   嵌されたフランジ受け皿が嵌脱可能であり、該フランジ
   受け皿はブッシュを介して前記炉口フランジに嵌脱可能
   である請求項５の反応管着脱装置。