JP3227923U - 反応管の組立用治具 - Google Patents
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Abstract
【課題】反応管を正確かつ容易に組み立てることができる組立用治具を提供する。【解決手段】内管及び外管を有する反応管の組立用治具であって、内管を支持するマニホールド及び外管を支持するボトムフランジを保持する保持部(搬送台車110)と、保持部に取り付けられ、マニホールドを位置決めする第1の位置決め部(マニホールド固定部品130)と、保持部に取り付けられ、ボトムフランジを位置決めする第2の位置決め部(ボトムフランジ位置合わせ部品140)と、を有する。【選択図】図1
Description
本開示は、反応管の組立用治具に関する。
反応容器の内側壁に該反応容器の下端より上方に設けられる支持部と着脱治具の上面とを突き当て反応容器を加熱装置内から着脱する技術が知られている(例えば、特許文献1参照)。
本開示は、反応管を正確かつ容易に組み立てることができる技術を提供する。
本開示の一態様による反応管の組立用治具は、内管及び外管を有する反応管の組立用治具であって、前記内管を支持するマニホールド及び前記外管を支持するボトムフランジを保持する保持部と、前記保持部に取り付けられ、前記マニホールドを位置決めする第1の位置決め部と、前記保持部に取り付けられ、前記ボトムフランジを位置決めする第2の位置決め部と、を有する。
本開示によれば、反応管を正確かつ容易に組み立てることができる。
以下、添付の図面を参照しながら、本開示の限定的でない例示の実施形態について説明する。添付の全図面中、同一又は対応する部材又は部品については、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。
〔反応管の組立用治具〕
図1〜図7を参照し、実施形態の反応管の組立用治具(以下、単に「組立用治具」という。)の一例について説明する。図1及び図2は、実施形態の組立用治具の一例を示す斜視図である。図1は搬送台車の上に外管取付用部品を取り付けた状態を示し、図2は搬送台車から外管取付用部品を取り外した状態を示す。図3は、縦型熱処理装置の一例を示す斜視図である。図4は、マニホールド固定部品の一例を示す図である。図5は、マニホールド固定部品の一例を示す図であり、マニホールド固定部品によりマニホールドを固定した状態を示す。図5(a)はマニホールド固定部品を斜め上方から見たときの図であり、図5(b)はマニホールド固定部品を斜め下方から見たときの図である。図6は、ボトムフランジ位置合わせ部品の一例を示す図である。図6(a)は斜視図であり、図6(b)は上面図である。図7は、ボトムフランジ位置合わせ部品の一例を示す図であり、ボトムフランジ位置合わせ部品によりボトムフランジを位置合わせした状態を示す。
図1〜図7を参照し、実施形態の反応管の組立用治具(以下、単に「組立用治具」という。)の一例について説明する。図1及び図2は、実施形態の組立用治具の一例を示す斜視図である。図1は搬送台車の上に外管取付用部品を取り付けた状態を示し、図2は搬送台車から外管取付用部品を取り外した状態を示す。図3は、縦型熱処理装置の一例を示す斜視図である。図4は、マニホールド固定部品の一例を示す図である。図5は、マニホールド固定部品の一例を示す図であり、マニホールド固定部品によりマニホールドを固定した状態を示す。図5(a)はマニホールド固定部品を斜め上方から見たときの図であり、図5(b)はマニホールド固定部品を斜め下方から見たときの図である。図6は、ボトムフランジ位置合わせ部品の一例を示す図である。図6(a)は斜視図であり、図6(b)は上面図である。図7は、ボトムフランジ位置合わせ部品の一例を示す図であり、ボトムフランジ位置合わせ部品によりボトムフランジを位置合わせした状態を示す。
組立用治具100は、縦型熱処理装置の反応管10を組み立てるために用いられる治具である。組立用治具100は、ボートエレベータ等の昇降機構(図示せず)により昇降可能に構成される。
縦型熱処理装置は、反応管10内に、複数の基板を多段に保持したボート(図示せず)を収容して複数の基板に一括で熱処理を行う装置である。基板は、例えば半導体ウエハであってよい。反応管10は、内管11及び外管12を含む。内管11は、インナーチューブとも称され、下端が開放された有天井の略円筒形状に形成されている。内管11の下端は、例えばステンレス鋼により形成されるマニホールド13によって支持される。マニホールド13は、外周面に平面部13aを含む略円環形状を有する。マニホールド13の上面には、マニホールド13とボトムフランジ14とを位置決めするための位置決めピン13cが圧入される。マニホールド13には、内管11内にガスを導入するためのガスノズル(図示せず)が取り付けられる。外管12は、アウターチューブとも称され、下端が開放されて内管11の外側を覆う有天井の略円筒形状に形成されている。外管12の下端は、略円環形状のボトムフランジ14によって支持される。ボトムフランジ14には、外周面から外方に延設し、ベースプレート15(図10を参照)から下方に延設する3本の支柱16にボトムフランジ14を固定する際に用いられる3つの突出部14aが形成されている。また、ボトムフランジ14の下面には、マニホールド13に圧入された位置決めピン13cが挿入される位置決め孔14bが形成されている。内管11及び外管12は、同軸状に配置されて二重管構造となっている。内管11及び外管12は、例えば石英等の耐熱材料により形成されている。
組立用治具100は、搬送台車110、外管取付用部品120、マニホールド固定部品130及びボトムフランジ位置合わせ部品140を有する。
搬送台車110は、水平方向に移動可能に構成されている。搬送台車110は、外管取付用部品120を取り外した状態において内管11及びマニホールド13を保持し、外管取付用部品120を取り付けた状態において外管12及びボトムフランジ14を保持する。搬送台車110は、台車本体111、支持車輪112、取っ手113及びマニホールド保持部114を有する。
台車本体111は、上板111a、側板111b、111c及び後板111dを含む。上板111aは、中心部に略円形状の開口が形成された略板形状を有する。側板111bは、略板形状を有し、上板111aの一方の側方の端部から下方に延設する。側板111cは、略板形状を有し、上板111aの他方の側方の端部から下方に延設する。側板111bと側板111cとは、対向して配置される。後板111dは、略板形状を有し、上板111aの後方の端部から下方に延設する。
支持車輪112は、台車本体111の四隅、例えば側板111b、111cに取り付けられており、台車本体111の移動に伴って回転し、台車本体111を前後方向に移動させる。
取っ手113は、台車本体111の後方、例えば後板111dに取り付けられている。作業者は、搬送台車110の後方において取っ手113を保持しながら台車本体111を前後方向に移動させる。
マニホールド保持部114は、略円環形状を有し、台車本体111の上に取り付けられている。マニホールド保持部114は、マニホールド13の下面を保持する。マニホールド保持部114におけるマニホールド13の下面が載置される位置には、例えばポリテトラフルオロエチレン(polytetrafluoroethylene;PTFE)等のフッ素樹脂により形成された載置部114aが設けられている。載置部114aは、例えばマニホールド保持部114の周方向に沿って間隔を空けて4つ設けられている。マニホールド保持部114の上面には、マニホールド保持部114の周方向に沿って間隔を空けて8つの凹部114bが形成されている。
外管取付用部品120は、搬送台車110上、例えばマニホールド保持部114上に着脱可能に取り付けられる。外管取付用部品120は、略円環形状を有し、外管12及びボトムフランジ14を保持する。外管取付用部品120における外管12が載置される位置には、例えばPTFE等のフッ素樹脂により形成された載置部120aが設けられている。載置部120aは、例えば外管取付用部品120の周方向に沿って間隔を空けて4つ設けられている。外管取付用部品120の下面には、8つの凹部114bと対応する位置に8つの凸部120bが形成されている。そして、8つの凹部114bに8つの凸部120bを嵌合させることにより、マニホールド保持部114上に外管取付用部品120が位置決めされた状態で取り付けられる。
マニホールド固定部品130は、搬送台車110上、例えばマニホールド保持部114に取り付けられ、マニホールド13を位置決めする。マニホールド固定部品130は、図4に示されるように、ベース131、平板部132及び挿通ピン133を含む。
ベース131は、固定部131a、第1鉛直部131b、水平部131c及び第2鉛直部131dを含む。固定部131aは、板状に形成されており、マニホールド保持部114の上面にネジ等により固定されている。第1鉛直部131bは、固定部131aから下方に延設する部位である。水平部131cは、第1鉛直部131bから固定部131aと反対側(外側)へ水平に延設する部位である。第2鉛直部131dは、水平部131cから上方に延設する部位である。
平板部132は、第2鉛直部131dにおける固定部131aの側(第2鉛直部131dの内側)に取り付けられている。平板部132は、図5(a)及び図5(b)に示されるように、マニホールド13が所望の回転位置でマニホールド保持部114の上に載置された場合にマニホールド13の平面部13aと対向する。作業者は、マニホールド保持部114にマニホールド13を載置する際、マニホールド13の平面部13aの位置を平板部132の位置に合わせるようにマニホールド13を載置する。これにより、作業者は、マニホールド保持部114上にマニホールド13を載置する際、マニホールド13の位置合わせを容易に行うことができる。また、平板部132は、マニホールド13の平面部13aの位置が平板部132の位置にあっていない状態でマニホールド保持部114の上にマニホールド13を載置した場合にマニホールド13の下面と干渉するように構成されていることが好ましい。これにより、作業者が回転方向の向きを間違えてマニホールド保持部114上にマニホールド13を載置することを防止できる。平板部132は、例えばPTFE等のフッ素樹脂により形成されている。
挿通ピン133は、水平部131cの上面から上方に突出する。挿通ピン133は、マニホールド13に形成された挿通孔13bに挿通可能に構成される。挿通ピン133が挿通孔13bに挿通されることにより、搬送台車110(マニホールド保持部114)に対してマニホールド13が位置決めされる。挿通孔13bは、マニホールド13を厚さ方向に貫通し、マニホールド13とボトムフランジ14とを位置合わせするために設けられる位置決めピン13cが圧入されている孔であってよい。
ボトムフランジ位置合わせ部品140は、搬送台車110上、例えば台車本体111の上板111a上における後方側に着脱可能に取り付けられ、ボトムフランジ14を位置決めする。ボトムフランジ位置合わせ部品140は、搬送台車110上に外管取付用部品120が取り付けられ、外管取付用部品120上にボトムフランジ14が載置された状態で、ボトムフランジ14の突出部14aに接する位置で固定される。ボトムフランジ位置合わせ部品は、図6(a)及び図6(b)に示されるように、ベース141、固定部142、第1接触部143及び第2接触部144を含む。
ベース141は、板状部材を屈曲させて形成され、上方から見たときに略W字形状を有する。ベース141は、外管取付用部品120上にボトムフランジ14を載置した状態において、ボトムフランジ14の突出部14aの高さ位置よりも上方まで延設する。また、ベース141は、マニホールド保持部114上にマニホールド13を載置した状態において、マニホールド13上端の高さ位置よりも上方まで延設する。
固定部142は、ベース141の下端から水平方向に延設する板状部材であり、ネジ等により台車本体111の上板111a上に固定される。上板111a上に固定される固定部142の位置は、水平方向に所定の範囲(例えば数mm)で調整できるようになっている。これにより、外管取付用部品120上にボトムフランジ14が載置された状態で、第1接触部143及び第2接触部144をボトムフランジ14の突出部14aに確実に押圧できる。
第1接触部143は、ベース141にネジ等により取り付けられている。第1接触部143は、外管取付用部品120上にボトムフランジ14が載置されたときにボトムフランジ14の突出部14aに押し当てられる。第1接触部143は、例えばPTFE等のフッ素樹脂により形成されている。
第2接触部144は、ベース141における第1接触部143が取り付けられている面と異なる面にネジ等により取り付けられている。第2接触部144は、外管取付用部品120上にボトムフランジ14が載置されたときにボトムフランジ14の突出部14aにお押し当てられる。第2接触部144は、例えばPTFE等のフッ素樹脂により形成されている。
作業者は、外管取付用部品120上にボトムフランジ14を載置する際、ボトムフランジ位置合わせ部品140の第1接触部143及び第2接触部144をボトムフランジ14の突出部14aに押し当て、突出部14aに接する位置で固定する。これにより、搬送台車110に対してボトムフランジ14が位置決めされる。
〔反応管の組立方法〕
図8〜図16を参照し、実施形態の組立用治具100を用いて反応管10を組み立てる方法の一例について説明する。図8〜図16は、実施形態の組立用治具100を用いて反応管10を組み立てる方法の一例を示す図である。
図8〜図16を参照し、実施形態の組立用治具100を用いて反応管10を組み立てる方法の一例について説明する。図8〜図16は、実施形態の組立用治具100を用いて反応管10を組み立てる方法の一例を示す図である。
まず、図8に示されるように、組立用治具100の外管取付用部品120の上にボトムフランジ14及び外管12を載置する。なお、図8は、組立用治具100の外管取付用部品120上にボトムフランジ14及び外管12が載置された状態を示す斜視図である。
次に、図9に示されるように、ボトムフランジ位置合わせ部品140をボトムフランジ14の突出部14aに接する位置で固定する。このとき、ボトムフランジ位置合わせ部品140の2箇所(第1接触部143及び第2接触部144)を、突出部14aと接触させる。なお、図9は、ボトムフランジ位置合わせ部品140がボトムフランジ14の突出部14aに接触した状態を示す上面図であり、ボトムフランジ位置合わせ部品140を拡大して示している。
次に、図10に示されるように、昇降機構(図示せず)により、ボトムフランジ14を上昇させて、ベースプレート15から下方に延設する3本の支柱16にボトムフランジ14の3つの突出部14aを取り付ける。これにより、ベースプレート15にボトムフランジ14が固定される。ベースプレート15にボトムフランジ14を固定した後、昇降機構により、組立用治具100を下降させる。これにより、ボトムフランジ14及び外管12が組立用治具100の外管取付用部品120上から離脱する。なお、図10は、ベースプレート15にボトムフランジ14が固定された状態を示す斜視図である。
次に、図11に示されるように、搬送台車110上から外管取付用部品120を上方に持ち上げて取り外す。これにより、組立用治具100は、搬送台車110上にマニホールド13及び内管11を載置可能となる。なお、図11は、搬送台車110上から外管取付用部品120を上方に取り外した状態を示す斜視図である。
次に、図12に示されるように、搬送台車110上にマニホールド13を載置する。このとき、作業者は、マニホールド13の平面部13aの位置をマニホールド固定部品130の平板部132の位置に合わせるようにマニホールド13を載置する。これにより、作業者は、マニホールド13の位置合わせを容易に行うことができる。また、作業者は、マニホールド13に形成された挿通孔13bにマニホールド固定部品130の挿通ピン133を挿通させる。これにより、搬送台車110(マニホールド保持部114)に対してマニホールド13が位置決めされる。なお、図12は、マニホールド13が搬送台車110上に載置された状態を示す図であり、図12(a)は上面図であり、図12(b)は側面図であり、図12(c)はマニホールド固定部品130を拡大して示す斜視図である。
次に、図13に示されるように、マニホールド13の上面に石英ピン13dを取り付け、内管11の下端に形成された凹部11aと石英ピン13dとを位置合わせした状態で、マニホールド13上に内管11を載置する。その後、マニホールド13の上面に形成された円環溝13eに複数(例えば3つ)の内管センタリング治具13fの下端を嵌め込むことにより、内管11をマニホールド13の中央の位置に揃える。円環溝13eは、例えばマニホールド13に内管11が載置された状態で、内管11の外壁の僅かに外側の位置に形成されている。内管センタリング治具13fは、例えば図13(a)に示されるように、上方から見たときに略円弧形状を有すると共に、図13(b)に示されるように所定の高さを有する。続いて、組立用治具100をボートエレベータに載置し、その後に内管センタリング治具13fを取り外す。これにより、組立用治具100をボートエレベータに載置する際に内管11がマニホールド13の中央の位置からずれることを防止できる。なお、図13は、マニホールド13上に内管11が載置された状態を示す図であり、図13(a)は上面図であり、図13(b)は図13(a)のB−B矢視断面図である。
次に、図14に示されるように、昇降機構により、ボトムフランジ位置合わせ部品140がボトムフランジ14の突出部14aに接触可能な高さまで組立用治具100を上昇させる。なお、図14はマニホールド13及び内管11が載置された組立用治具100を上昇させた状態を示す図であり、図14(a)は斜視図であり、図14(b)はボトムフランジ位置合わせ部品140を拡大して示す上面図である。
次に、図15に示されるように、組立用治具100を回転させることにより、ボトムフランジ14の突出部14aとボトムフランジ位置合わせ部品140とを接触させることにより、ボトムフランジ14と組立用治具100との位置合わせを行う。これにより、ボトムフランジ14に対して組立用治具100に載置されたマニホールド13が位置決めされる。なお、図15は、ボトムフランジ14と組立用治具100とが位置合わせされた状態を示す図であり、図15(a)は斜視図であり、図15(b)はボトムフランジ位置合わせ部品140を拡大して示す上面図である。
次に、図16に示されるように、昇降機構により、組立用治具100を上昇させてボトムフランジ14の下面にマニホールド13の上面を接触させ、ボトムフランジ14にマニホールド13をネジ等により固定する。このとき、ボトムフランジ14に対してマニホールド13が位置決めされている。そのため、マニホールド13に設けられた位置決めピン13cと、ボトムフランジ14に形成された位置決めピン13cを挿通させるための位置決め孔14bとが自動的に位置合わせされる。そのため、位置決めピン13cを直接目視で確認できなくても、正確かつ安全に作業を行うことができる。なお、図16は、ボトムフランジ14にマニホールド13が固定された状態を示す斜視図である。
なお、上記の実施形態において、搬送台車110及び外管取付用部品120は保持部の一例であり、搬送台車110は第1の保持部の一例であり、外管取付用部品120は第2の保持部の一例である。また、マニホールド固定部品130は第1の位置決め部の一例であり、ボトムフランジ位置合わせ部品140は第2の位置決め部の一例である。
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
10 反応管
11 内管
12 外管
13 マニホールド
13a 平面部
13b 挿通孔
14 ボトムフランジ
14a 突出部
100 組立用治具
110 搬送台車
120 外管取付用部品
130 マニホールド固定部品
140 ボトムフランジ位置合わせ部品
11 内管
12 外管
13 マニホールド
13a 平面部
13b 挿通孔
14 ボトムフランジ
14a 突出部
100 組立用治具
110 搬送台車
120 外管取付用部品
130 マニホールド固定部品
140 ボトムフランジ位置合わせ部品
Claims (7)
- 内管及び外管を有する反応管の組立用治具であって、
前記内管を支持するマニホールド及び前記外管を支持するボトムフランジを保持する保持部と、
前記保持部に取り付けられ、前記マニホールドを位置決めする第1の位置決め部と、
前記保持部に取り付けられ、前記ボトムフランジを位置決めする第2の位置決め部と、
を有する、反応管の組立用治具。 - 前記マニホールドは、外周面に平面部を含む略円環形状を有し、
前記第1の位置決め部は、前記マニホールドが所望の回転位置で前記保持部の上に載置された場合に前記平面部と対向する平板部を含む、
請求項1に記載の反応管の組立用治具。 - 前記マニホールドは、厚さ方向に貫通する挿通孔を含み、
前記第1の位置決め部は、前記挿通孔に挿通可能な挿通ピンを含む、
請求項1又は2に記載の反応管の組立用治具。 - 前記ボトムフランジは、略円環形状を有し、外周面から外方に延設する突出部を含み、
前記第2の位置決め部は、前記保持部の上に、前記突出部と接触可能に設けられている、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の反応管の組立用治具。 - 前記第2の位置決め部は、前記突出部と2箇所で接触可能に構成される、
請求項4に記載の反応管の組立用治具。 - 前記保持部は、
前記マニホールドを保持する第1の保持部と、
前記第1の保持部の上に着脱可能に設けられ、前記ボトムフランジを保持する第2の保持部と、
を含む、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の反応管の組立用治具。 - 前記第1の位置決め部及び前記第2の位置決め部は、前記第1の保持部に固定されている、
請求項6に記載の反応管の組立用治具。
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