JPH1165663A - 位置制御装置および位置制御方法 - Google Patents

位置制御装置および位置制御方法

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JPH1165663A
JPH1165663A JP22855297A JP22855297A JPH1165663A JP H1165663 A JPH1165663 A JP H1165663A JP 22855297 A JP22855297 A JP 22855297A JP 22855297 A JP22855297 A JP 22855297A JP H1165663 A JPH1165663 A JP H1165663A
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孝一 加藤
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倫雄 松本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】各制御軸方向の送り方向の逆転時に、当該制御
軸方向以外の方向に生じる目標位置に対する位置誤差の
補正が可能な位置制御装置を提供する。 【解決手段】複数の制御軸を有する制御対象の位置制御
を行う位置制御手段としてのサーボ制御部12〜14、
サーボドライバ15〜17、サーボモータ18〜20
と、複数の制御軸のうち一の制御軸の送り方向の逆転時
に、他の制御軸方向の位置誤差を補正するとともに一の
制御軸の送り方向の逆転時に、他の制御軸方向および一
の制御軸方向の位置誤差の補正を同時に行う位置補正部
4〜6を有するものとした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、数値制御(以下、
NC)工作機械等の複数の制御軸を有する制御対象の位
置制御を行うNC装置などの位置制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、マシニングセンタやNC旋盤装
置等のNC工作機械では、一般的に、モータ等の回転駆
動源からの回転力をラック及びピンオン、ボールねじ及
びナットなどからなるの送り機構によって直線運動に変
換し、被加工物を固定するテーブルや被加工物を切削す
る工具等を所定の位置に移動させている。近年、被加工
物の自由曲面を加工するために、例えば、5軸などの複
数の制御軸を有するNC工作機械が一般的になってい
る。このようなNC工作機械の制御軸の制御方式として
は、いわゆるフルクローズドフィードバック方式とセミ
クローズドフィードバック方式が知られている。
【0003】フルクローズドフィードバック方式は、テ
ーブル等の制御対象にリニヤスケールなどの位置検出装
置を直接設置し、この位置検出装置からの位置信号をサ
ーボモータにフィードバックして位置制御を行う方式で
ある。この方式では、制御対象の位置を直接検出するこ
とができるため、制御対象の位置決め精度が高いのが特
徴である。しかしながら、上記の方式では、位置検出装
置とサーボモータとの間のフィードバックループ中に、
比較的機械剛性の低いラック及びピンオン、ボールねじ
及びナットなどからなる送り機構が介在するため、サー
ボ系の固有周波数が低下し、位置ループゲインを高める
ことが難しい。このため、サーボ系の追従性を高めるこ
とが難しい。
【0004】一方、セミクローズドフィードバック方式
は、テーブル等の制御対象を駆動するサーボモータにレ
ゾルバや光学式のロータリエンコーダ等の回転位置検出
器を取り付け、この回転位置検出器からの検出された回
転量をサーボモータにフィードバックし、サーボモータ
の回転量を制御することで間接的にテーブル等の制御対
象の位置制御を行う方式である。この方式では、サーボ
ループ中に比較的機械剛性の低いラック及びピンオン、
ボールねじ及びナットなどからなる送り機構が介在しな
いため、サーボ系の固有周波数を高くとれ、サーボモー
タの追従性を高くすることが可能であることが特徴であ
る。このため、NC工作機械ではセミクローズドフィー
ドバック方式によって駆動制御を行うのが一般的となっ
ている。しかしながら、セミクローズドフィードバック
方式では、サーボモータを駆動制御して間接的にテーブ
ル等の制御対象の位置制御を行っている。このため、制
御軸の送り方向を逆転した場合には、ボールねじ及びナ
ットなどの送り機構に存在するいわゆるバックラッシュ
や弾性変形等による機械的な位置誤差が発生してしまう
ことがあり、これによりテーブル等の制御対象の制御軸
方向における位置誤差が発生してしまう。このような制
御対象の制御軸方向における位置誤差が存在すると、被
加工物の精密な加工を行うことができない。
【0005】このため、従来のNC工作機械を制御する
NC装置は、バックラッシュ補正機能とよばれる位置誤
差を補正する機能を有しているのが一般的である。この
バックラッシュ補正機能は、位置指令値と実際の制御対
象の位置との差(位置誤差)を予めレーザ測長器等の検
出手段によって測定しておき、制御軸の送り方向の逆転
時に上記の位置誤差を打ち消す所定の補正量を位置指令
に加えるものである。上記のバックラッシュ補正機能を
用いれば、バックラッシュ等の機械的誤差が発生する制
御軸方向の正確な位置制御は概ね可能となる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、マシニ
ングセンタ等の複数の制御軸を有するNC工作機械で
は、複数の制御軸間で相互に作用する力が存在するた
め、各軸を上記のようなバックラッシュ補正機能によっ
て補正しても、工具やテーブル等の所定の制御点には、
他の方向の位置誤差が生じることが通例である。例え
ば、X,Y,Z軸方向に送り機構を有するマシンングセ
ンタにおいて、テーブル上に固定された被加工物を主軸
に取り付けられた回転工具によって加工する場合を考え
る。所定の軸、例えば、X軸方向に送り制御しながら工
具によって被加工物を切削加工するような場合には、X
軸方向の送り機構の案内面には、X軸方向の送りによる
力や切削力等によって生じる反力やモーメントなどが作
用する。すなわち、X軸方向の送り機構の案内面には、
X軸方向の力以外にY,Z軸方向に作用する力が生じ
る。
【0007】通常、送り機構の案内面には、微小な隙間
などの機械的なガタが存在し、また、弾性変形も生じう
る。したがって、X軸方向の送り機構の案内面にY,Z
軸方向に力が作用すると、X軸方向のみならず、Y,Z
軸方向に位置変位が生じる。このようなX軸方向の送り
の際のY,Z軸方向の位置変位は、X軸の送り方向が逆
転すると、X軸方向の送り機構の案内面に作用する力の
向きが逆転することから、Y,Z軸方向の位置誤差とな
って顕著に現れる。このような誤差は、Y,Z軸方向の
送り機構についても同様に生じ、X,Y,Z軸方向の各
送り機構に相互に作用する力によって発生する。このた
め、従来においては、X,Y,Z軸の各軸方向のバック
ラッシュ補正機能によって各制御軸の送り機構に発生す
るバックラッシュ等の機械的誤差を補正しても、上述の
ような位置誤差が存在していた。この位置誤差の存在に
よって、被加工物の加工面に形状誤差が生じる原因とな
っていた。このような位置誤差は、上記のセミクローズ
ドフィードバック方式およびフルクローズドフィードバ
ック方式による制御方式のいずれの場合についても発生
しうる。
【0008】本発明は、上記のような問題を解消すべく
なされたものであって、複数の制御軸を有する制御対象
の一の制御軸の送り方向の逆転時に、制御対象の目標位
置に対する前記一の制御軸方向以外の他の制御軸方向に
生じる位置誤差の補正が可能な位置制御装置を提供する
ことを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の制御軸
を有する制御対象の位置制御を行う位置制御手段と、前
記複数の制御軸のうち一の制御軸の送り方向の逆転時
に、前記制御対象の目標位置に対する他の制御軸方向の
位置誤差を補正する制御指令を前記位置制御手段に対し
て出力する第1の位置補正手段とを有する。
【0010】本発明では、第1の位置補正手段によっ
て、制御軸間の干渉や工作機械における加工時の切削力
などによって発生する他の制御軸方向の位置誤差を補正
することができる。
【0011】前記制御対象は、複数の可動部材と、前記
可動部材に対応する複数の駆動手段と、前記可動部材と
前記駆動手段とを連結し、前記駆動手段からの駆動力を
前記可動部材に伝達する送り機構と、前記駆動手段の位
置を検出し、これを前記位置制御手段にフィードバック
する位置検出手段とを有する。
【0012】本発明では、このような構成により、いわ
ゆるセミクローズドループ方式を採用するサーボ系を有
するNC工作機械において、バックラッシュ補正機能の
みでは補正できない位置誤差を補正可能となる。
【0013】本発明は、前記一の制御軸の送り方向を逆
転した時に生じる前記制御対象の目標位置に対する前記
一の制御軸方向の位置誤差を補正する第2の位置補正手
段をさらに有する。
【0014】本発明では、このような構成により、いわ
ゆるセミクローズドループ方式を採用するサーボ系を有
するNC工作機械における制御軸間の干渉や工作機械に
おける加工時の切削力などによって発生する他の制御軸
方向の位置誤差を補正することができるとともに、バッ
クラッシュ等の機械誤差を補正できる。
【0015】前記第1および第2の補正手段は、前記一
の制御軸の送り方向の逆転時に、前記制御対象の目標位
置に対する他の制御軸方向および前記一の制御軸方向の
位置誤差の補正を行う。
【0016】前記第1の位置補正手段は、前記一の制御
軸に対する制御指令から、当該制御軸の送り方向の逆転
を検出する。
【0017】前記第1の位置補正手段は、前記一の制御
軸の送り方向の逆転の検出に応じて、他の制御軸の制御
指令を補正する手段を有する。
【0018】前記第1の位置補正手段は、前記一の制御
軸の送り方向の逆転の際に他の制御軸の制御指令を補正
する補正量を予め保持している。
【0019】前記位置制御手段は、制御情報としてのプ
ログラムを解析処理するプログラム解析処理部と、前記
プログラム解析処理部において得られた各制御軸毎の位
置指令を所定時間当たりの移動量として各制御軸に分配
する位置指令分配部と、前記移動量応じて前記駆動手段
の駆動制御を行うサーボ制御部とを有する。
【0020】前記制御対象は、被加工物および工具を任
意の位置に移動可能な複数の制御軸を有する数値制御工
作機械であり、前記第1の位置補正手段は、他の制御軸
の位置指令を補正する補正量を工具にかかる切削力に応
じて算出する。
【0021】前記第1の位置補正手段は、他の制御軸の
位置指令を補正する補正量を前記一の制御軸の送り方向
の位置の関数として保持している。
【0022】前記第1の位置補正手段は、他の制御軸の
位置指令を補正する補正量を前記一の制御軸の送り方向
の複数位置に関して離散的に保持し、前記離散的に保持
された補正量を補間して前記一の制御軸の送り方向の位
置に応じた補正量を算出する。
【0023】前記制御対象は、被加工物および工具を任
意の位置に移動可能な複数の制御軸を有する数値制御工
作機械であり、前記第1の位置補正手段は、前記数値制
御工作機械による被加工物の加工時と非加工時とで他の
制御軸の位置指令を補正する補正量を変更する。
【0024】前記第1の補正手段は、出力した他の制御
軸の位置補正量毎に累積値を積算し、所定の工程が終了
後に対応する制御軸に制御指令として当該累積値を出力
する。
【0025】前記制御対象は、Z軸方向に設けられた回
転工具を駆動する主軸と、前記主軸が設けられ、Z軸方
向およびY軸方向に移動可能な第1の可動部材と、Z軸
方向およびY軸方向に沿ってそれぞれ設けられ、前記第
1の可動部材に形成されたねじ部にねじ込まれたZ軸お
よびY軸ボールねじと、前記各々のボールねじを駆動す
るZ軸およびY軸サーボモータと、X軸方向に移動可能
に設けられた被加工物を固定するための第2の可動部材
と、X軸方向に沿って設けられ、前記第2の可動部材に
形成されたねじ部にねじ込まれたX軸ボールねじと、前
記X軸ボールねじを駆動するX軸サーボモータと、前記
X,Y,Z軸サーボモータの回転量を検出して前記サー
ボ制御部にフィードバックする第1〜第3の回転位置検
出器とを有し、前記第1の位置補正手段は、第2の可動
部材に設置された被加工物をX軸の正方向に送って第1
の目標位置に位置決めし、当該被加工物をX軸の負方向
に送って第2の目標位置に位置決めする動作において、
前記回転工具の前記被加工物に対するZ軸方向およびY
軸方向のうち少なくとも一方方向の目標位置に対する位
置ずれを補正するように、前記YおよびZ軸サーボモー
タに対する制御指令を補正する。
【0026】本発明に係る位置制御方法は、複数の制御
軸を有する制御対象の位置制御方法であって、前記複数
の制御軸のうち一の制御軸の送り方向の逆転を当該制御
軸に対する位置指令から検出し、前記一の制御軸の送り
方向の逆転の検出に応じて、前記制御対象の目標位置に
対する他の制御軸方向に生じる位置誤差を補正する補正
量を他の制御軸に対する位置指令として当該他の制御軸
に出力する。
【0027】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。図1は、本発明に係る位置
制御装置としてのNC装置の一実施形態の構成を示す説
明図である。図1において、NC装置1は、NCプログ
ラム解析・位置指令分配部3と、X,Y,Z軸位置補正
部4〜6と、加算部8〜10と、X,Y,Z軸サーボ制
御部12〜14と、X,Y,Z軸サーボドライバ15〜
17とを有している。また、X,Y,Z軸サーボドライ
バ15〜17には、X,Y,Z軸サーボモータ18〜2
0が接続されている。X,Y,Z軸サーボモータ18〜
20には、例えば光学式のロータリエンコーダなどの回
転位置検出器18a〜20aが備わっている。
【0028】NCプログラム解析処理・位置指令分配部
3は、例えば、被加工物を加工する工具の軌跡データな
どを所定の言語でプログラミング化したNCプログラミ
ングを解析(解読)処理して軌跡データを各制御軸の移
動すべき位置指令に変換し、これを各制御軸に分配す
る。各制御軸に対する位置指令rx ,ry ,rz は、所
定時間当たりの移動量として順次出力される。この移動
量は、例えばパルス量として与えられる。上記の機能
は、一般的にNC装置に通常的に備わった機能である。
また、NCプログラムは、一般的には、CADシステム
や自動プログラミングシステムによって作成され、所定
の記憶媒体を介して、または、通信手段によってNC装
置1にダウンロードされる。
【0029】X,Y,Z軸位置補正部4〜6は、NCプ
ログラム解析処理・位置指令分配部3から受けた位置指
令rx ,ry ,rz に基づき、各軸X,Y,Z軸の送り
方向(移動方向)の逆転を検出する。この送り方向の逆
転の検出は、順次入力される各位置指令(移動量)の前
回と今回の符号が反転したか否かを判別することによっ
て検出される。
【0030】X軸位置補正部4は、入力される位置指令
x の逆転を検出すると、位置指令rx ,ry ,rz
補正する補正量DXX,DXY,DXZをX,Y,Z軸加算器
8,9,10にそれぞれ出力する。Y軸位置補正部5
は、入力される位置指令ry の逆転を検出すると、位置
指令rx ,ry ,rz を補正する補正量DYX,DYY,D
YZをX,Y,Z軸加算器8,9,10にそれぞれ出力す
る。Z軸位置補正部6は、入力される位置指令rz の逆
転を検出すると、位置指令rx ,ry ,rz を補正する
補正量DZX,DZY,DZZをX,Y,Z軸加算器8,9,
10にそれぞれ出力する。X,Y,Z軸加算部8〜10
は、各位置指令rx ,ry ,rz をそれぞれrx+DXX
+DYX+DZX,ry +DYY+DXY+DZY,rz +DZZ
YZ+DXZとしてX,Y,Z軸サーボ制御部12〜14
に出力する。
【0031】ここで、上記の補正量DXX,DXY,DXZ
YX,DYY,DYZ,DZX,DZY,D ZZについて説明す
る。X軸位置補正部4からX軸加算器8に出力される補
正量DXXは、ボールねじ及びナットなどのX軸方向の送
り機構に存在するいわゆるバックラッシュや弾性変形等
による機械的な位置誤差を補正するための補正量であ
る。同様にY,Z軸位置補正部5,6からそれぞれY,
Z軸加算器9,10に出力される補正量DYY,DZZは、
ボールねじ及びナットなどのX軸方向の送り機構に存在
するいわゆるバックラッシュや弾性変形等による機械的
な位置誤差を補正するための補正量である。以下、補正
量DXX,DYY,DZZをバックラッシュ補正量と呼ぶ。こ
れらのバックラッシュ補正量DXX,DYY,DZZは、制御
対象である例えばNC工作機械などの機械について各制
御軸の送り方向の逆転時に発生する機械誤差を、工作機
械の組立調整時等に予め測定することにより決定され
る。
【0032】一方、X軸位置補正部4からX軸の位置指
令rx の送り方向が逆転する際にY,Z軸加算器9,1
0にそれぞれ出力される補正量DXY,DXZは、X軸の位
置指令rx の送り方向が逆転する際に、Y軸およびZ軸
方向に生じる位置誤差を補正するための補正量である。
すなわち、例えば、マシニングセンタ等の複数の制御軸
を有するNC工作機械では、例えば、X軸方向に送り制
御しながら工具によって被加工物を切削加工するような
場合には、X軸方向の送り機構の案内面には、X軸方向
の送りによる力や切削力等によって生じる反力やモーメ
ントなどが作用する。送り機構の案内面のY,Z軸方向
に力が作用すると、X軸方向のみならず、Y,Z軸方向
に位置誤差が生じる。このY,Z軸方向に位置誤差はX
軸の送り方向を逆転する際に顕著に現れる。X軸方向の
位置誤差は、上記のバックラッシュ補正量DXXによって
位置指令r x を補正することにより概ね補正されるが、
Y,Z軸方向の位置誤差は、そのまま残ってしまう。
【0033】そこで、本実施形態では、X軸の送り方向
を逆転する際に、バックラッシュ補正量DXXによって位
置指令rx を補正するとともに、Y,Z軸方向の位置誤
差を補正するために、Y、Z軸位置指令ry ,rz にそ
れぞれ補正量DXY,DXZを加算して、Y、Z軸位置指令
y ,rz を補正し、Y,Z軸方向に位置誤差を補正す
る。これにより、X軸の送り方向を逆転した際に発生す
るX軸方向のバックラッシュ等の機械誤差が補正される
とともに、Y,Z軸方向に発生する位置誤差が同時に補
正される。
【0034】また、Y軸位置補正部5からY軸の位置指
令ry の送り方向がそれぞれ逆転する際に、X,Z軸加
算器8,10に出力される補正量DYX,DYZおよびZ軸
位置補正部6からZ軸の位置指令rz の送り方向がそれ
ぞれ逆転する際に、X,Y軸加算器8,9にそれぞれ出
力される補正量DZX,DZYについてもX軸の場合と全く
同様である。以下、上記の補正量DXY,DXZ,DYX,D
YZ,DZX,DZYを他軸補正量と呼ぶ。なお、他軸補正量
XY,DXZ,DYX,DYZ,DZX,DZYの決定方法につい
ては後述する。
【0035】X,Y,Z軸サーボ制御部12〜14は、
位置ループ、速度ループおよび電流ループから構成され
る。位置ループは、たとえば、各制御軸の位置指令(移
動量)を受けて、これらの移動量と各サーボモータ18
〜20の回転位置を検出する回転位置検出器18a〜2
0aからの位置フィードバック信号との偏差に比例動作
を施して(位置ループゲインをかける)、これを速度ル
ープに対する速度指令として出力する。速度ループは、
たとえば、前記速度指令と回転位置検出器18a〜20
aからの位置フィードバック信号のサンプリング時間毎
の差分値(速度フィードバック信号)との偏差に比例動
作および積分動作を施してトルク指令とし、これを電流
ループに出力する。電流ループは、たとえば、各サーボ
モータ18〜20の駆動電流から換算した各サーボモー
タ18〜20の出力トルク信号と上記トルク指令との偏
差に比例動作を施して電流指令とし、これをサーボドラ
イバ15〜17に所定の電気信号に変換して出力する。
X,Y,Z軸サーボ制御部12〜14は、本実施形態で
はソフトウエアによって実現されるが、ハードウエアに
よっても実現可能である。
【0036】X,Y,Z軸サーボドライバ15〜17
は、X,Y,Z軸サーボ制御部12〜14からの電流指
令を増幅した駆動電流をX,Y,Zサーボモータ18〜
20に出力する。X,Y,Z軸サーボモータ18〜20
は駆動電流に応じて駆動され、X,Y,Z軸サーボモー
タ18〜20に備わった回転位置検出器18a〜20a
は、X,Y,Z軸サーボモータ18〜20の回転量に応
じた検出パルスをX,Y,Z軸サーボ制御部12〜14
に対して出力する。回転位置検出器18a〜20aとし
ては、例えば、インクリメンタル方式のロータリエンコ
ーダまたはアブソリュート方式のロータリエンコーダを
用いることができる。インクリメンタル方式のロータリ
エンコーダを用いた場合には、当該ロータリエンコーダ
は1回転毎の位置信号を回転パルス信号として出力する
ことから、回転パルス信号の数をX,Y,Z軸サーボ制
御部12〜14において管理することにより、X,Y,
Z軸サーボモータ18〜20の絶対位置が管理できる。
【0037】以上のような構成により、X,Y,Z軸サ
ーボモータ18〜20の回転位置制御が可能となる。な
お、NC装置1は、X,Y,Zサーボモータ18〜20
の回転位置制御のみならず、速度制御およびトルク制御
が可能であるが、詳細については省略する。また、NC
装置1は、X,Y,Zサーボモータ18〜20以外のさ
らに多数の制御軸を制御可能であり、例えばスピンドル
モータ等の回転速度制御する機能を有している。
【0038】図1に示したNC装置1の各機能は、たと
えば、図2に示すような構成のハードウエアによって実
現される。図2において、マイクロプロセッサ21は、
ROM(Read Only Memory) 22、RAM(Random Acc
ess Memory) 23、インターフェース回路24、グラフ
ィック制御回路25、表示装置26、キーボード28、
ソフトウエアキー27等とバスを介して接続されてい
る。マイクロプロセッサ21は、ROM22に格納され
たシステムプログラムにしたがって、NC装置1全体を
制御する。
【0039】ROM22には、上記したNCプログラム
解析・位置指令分配部3、X,Y,Z軸位置補正部4〜
6、加算部8〜10、X,Y,Z軸サーボ制御部12〜
14などを実現するプログラムや、NC装置1全体を制
御するためのシステムプログラムが格納される。RAM
23は、ROM22に格納されたプログラムがダウンロ
ードされたり、各種のNCプログラム、データなどが格
納され、例えば、後述する補正量データ等が格納され
る。
【0040】グラフィック制御回路25は、ディジタル
信号を表示用の信号に変換し、表示装置26に与える。
表示装置26には、例えば、CRT表示装置や液晶表示
装置が使用される。表示装置26は、ソフトウエアキー
27またはキーボード28を用いて作業者が対話形式で
加工プログラムを作成していくときに、形状、加工条件
および生成された加工プログラム等を表示する。作業者
は、表示装置26に表示される内容(対話形データ入力
画面)にしたがってデータを入力することにより、加工
プログラムを作成することができる。表示装置26の画
面には、その画面で受けられる作業またはデータがメニ
ュー形式で表示される。メニューのうちどの項目を選択
するかは、メニューの下のソフトウエアキー27を押す
ことにより行う。キーボード28は、NC装置1に必要
なデータを入力するのに使用される。
【0041】インターフェース回路24は、マイクロプ
ロセッサ21から出力された位置指令等の指令を所定の
信号に変換してX〜Z軸サーボドライバ15〜17に出
力する。また、インターフェース回路24は、X〜Z軸
サーボモータ18〜20に備わった位置検出器18a〜
20aからの、たとえば検出パルスを逐次カウントし、
所定のディジタル信号に変換してマイクロプロセッサ2
1に出力する。
【0042】マシニングセンタの一例 図3は、本実施形態のNC装置が適用されうる制御対象
としてのマシニングセンタの一例を示す構成図である。
図3に示すマシニングセンタは、いわゆる門型のマシニ
ングセンタであって、門型のコラム38の各軸によって
両端部を移動可能に支持されたクロスレール37に、ク
ロスレール37上を移動可能に支持された可動部材44
を介して主軸45が鉛直方向(Z軸方向)に移動可能に
設けられている。
【0043】可動部材44には、水平方向にクロスレー
ル37内を通じて図示しない雌ねじ部が形成されてお
り、これにボールねじ41がねじ込まれている。ボール
ねじ41の端部には、Y軸サーボモータ19が設けられ
ており、ボールねじ41はY軸サーボモータ19によっ
て回転駆動される。ボールねじ41の回転駆動によっ
て、可動部材44はY軸方向に移動可能となり、これに
よって主軸45のY軸方向の移動が行われる。
【0044】さらに、可動部材44には、鉛直方向に方
向に図示しない雌ねじ部が形成されており、これにボー
ルねじ42がねじ込まれている。ボールねじ42の端部
には、Z軸サーボモータ20が設けられている。Z軸サ
ーボモータ20によってボールねじ42が回転駆動さ
れ、これにより可動部材44に移動可能に設けられた主
軸45のZ軸方向の移動が行われる。
【0045】主軸45内には、主軸モータ31が内蔵さ
れ、主軸モータ31は、主軸45の先端に設けられるエ
ンドミルなどの工具Tを回転駆動する。主軸45の下方
には、X軸テーブル35がX軸方向に移動可能に設けら
れている。X軸テーブル35には、雌ねじ部(図示せ
ず)が形成されており、これにX軸方向に沿って設けら
れたボールねじから構成される送り機構を介してX軸サ
ーボモータ18が接続されている。X軸テーブル35
は、X軸サーボモータ18の回転駆動によってX軸方向
の移動が行われる。
【0046】なお、上記のX,Y,Z軸サーボモータ1
8の駆動制御は、NC装置1によって行われる。また、
門型コラム38には、図示しない雌ねじ部がそれぞれ形
成されており、これにねじ込まれるボールねじ32aを
クロスレール昇降用モータ32によって回転駆動するこ
とによりクロスレール37は昇降する。さらに、工具T
は自動工具交換装置(ATC)39によって種々のもの
に交換可能になっており、各種アタッチメントの交換も
自動交換装置(AAC)40によって種々のものに交換
可能になっている。
【0047】次に、上述したマシニングセンタによる被
加工物、例えば金型の切削加工の一例について説明す
る。図4は、X軸テーブル35上に固定された被加工物
WをボールエンドミルTによって、被加工物Wの一面の
仕上げ切削を行っている様子を示す斜視図である。被加
工物Wの一面の仕上げ切削を行うには、例えば図4に示
すように、ボールエンドミルTによる切り込み量が所定
となるように、Z軸方向の位置決めを行い、主軸モータ
31によって所定の回転速度回転させられるボールエン
ドミルTに対して、X軸テーブル35(被加工物W)を
X軸方向に所定の送り速度で移動させながら切削加工を
行う。そして、X軸方向の所定の位置でボールエンドミ
ルTをY軸方向にピックフィード量Pで移動させ、ボー
ルエンドミルTをX軸の反対方向に同様の送り速度で移
動させる。この動作を繰り返し行うことにより、被加工
物Wの一面の仕上げ切削を行う。
【0048】図5は、図4に示す手順で仕上げ加工を行
った場合の仕上げ面の仕上げ面粗さを説明する図であ
る。ボールエンドミルTをピックフィード量PでY軸方
向に移動させながら、切削加工を行うと、図5に示すよ
うに理想的には切削面は波状に形成される。このとき、
切削面の最高部と最低部との距離hを仕上げ面粗さとす
る。仕上げ面粗さhは、理論的には、次式(1)により
表される。
【0049】 h=P2 /8R ・・・(1) 但し、Rはボールエンドミルの先端部の曲率半径であ
る。
【0050】仕上げ面粗さhは、小さいほど仕上げ面の
面精度が高く、例えば金型の場合には、仕上げ面粗さh
を非常に小さくできれば、後工程における研磨工程を省
略したり、研磨工程を簡略化することができる。
【0051】しかしながら、従来のマシニングセンタに
よる仕上げ面切削においては、仕上げ面粗さhを小さく
できないという問題があった。これは、X軸テーブル3
5(被加工物W)をX軸方向に所定の送り速度で往復移
動させる際に、+X軸方向から−X軸方向に送り方向を
逆転または−X軸方向から+X軸方向に送り方向を逆転
する際に、ボールエンドミルTと被加工物Wとの間にZ
軸方向の位置ずれ、すなわち、ボールエンドミルTと被
加工物Wとの間の目標相対位置からのずれが発生するこ
とに起因していた。ボールエンドミルTと被加工物Wと
の間にZ軸方向の位置ずれδzは、ボールエンドミルT
から被加工物Wが受ける切削力やX軸テーブル35の移
動の際に作用する力などが、送り方向を逆転する際に変
化し、X軸テーブル35や主軸45の送り機構などにZ
軸方向の位置ずれを発生させているものと考えられる。
【0052】また、ボールエンドミルTと被加工物Wと
の間のZ軸方向の位置ずれδzは、X軸テーブル35を
+X軸方向から−X軸方向に送り方向を逆転する場合
と、−X軸方向から+X軸方向に送り方向を逆転する場
合とでは、大きさは略等しいが向きが逆となって発生す
る。したがって、X軸方向のバックラッシュ等の機械誤
差を補正したとしても、仕上げ面粗さhを小さくできな
い。また、上記のようなZ軸方向の位置ずれδzが発生
すると、一方の送り方向においてはボールエンドミルT
に大きな切削負荷が掛かり、ボールエンドミルの交換時
期が早まって、加工の中断が頻繁になるため、結果とし
て、加工時間が長時間となってしまうという不利益も存
在する。
【0053】ここで、図6は、ボールエンドミルTによ
って被加工物Wを切削加工した場合の仕上げ面の状態を
示しており、図中実線L1は理想状態における場合であ
り、図中点線L2はボールエンドミルTと被加工物Wと
の間のZ軸方向の位置ずれδzが正負の方向に発生した
場合である。なお、Z軸は相対量を示している。ボール
エンドミルTと被加工物Wとの間のZ軸方向の位置ずれ
δzが正負の方向に発生すると、点線L2に示すよう
に、X軸の一方の送り方向(図中(1)の領域)ではZ
軸方向切り込み量が大きくなり、X軸の他の送り方向
(図中(2)の領域)ではZ軸方向切り込み量が小さく
なる。このため、ボールエンドミルTと被加工物Wとの
間のZ軸方向の位置ずれδzが正負の方向に発生する
と、理想状態に比較して仕上げ面粗さhが増大する。
【0054】また、図7は、仕上げ面の様子を示す説明
図であって、(a)は理想状態における仕上げ面の状態
を示す平面図であり、(b)はZ軸方向に位置ずれを生
じた場合の仕上げ面の状態を示す平面図である。図7
(a)に示すように、理想的には、互いにX軸の送り方
向が反対(逆方向)の切削面Sf,Sbは、略等間隔に
形成される。一方、図7(b)に示すように、ボールエ
ンドミルTと被加工物Wとの間のZ軸方向の位置ずれδ
zが正負の方向に発生すると、一方の切削面SfのY軸
方向の幅が太くなり、他方の切削面Sbの幅が細くな
る。したがって、理想状態の場合と、ボールエンドミル
Tと被加工物Wとの間のZ軸方向の位置ずれδzが正負
の方向に発生した場合とでは、切削面の様子が異なるた
め、視覚的にも仕上げ面の良否を確認することができ
る。
【0055】上述のような問題が、上記した構成のマシ
ンングセンタを本実施形態に係るNC装置1によって駆
動制御することによって解決される。図8は、本実施形
態のNC装置1の動作を説明するためのフローチャート
である。以下、図8に示すフローチャートに基づいて説
明する。まず、例えば、NCテープやフロッピディスク
などの記憶媒体からNCプログラムがNC装置に読み込
まれ、RAM23に記憶される。NCプログラム解析処
理・指令分配部3では、上記のNCプログラムを解析処
理し、各制御軸毎に位置指令rx ,ry ,rz に分配す
る。各制御軸毎に分配された位置指令rx ,ry ,rz
は、所定時間当たりの移動量としてそれぞれX,Y,Z
軸位置指令補正部4〜6に順次入力される(ステップS
1)。
【0056】次いで、各軸位置指令補正部4〜6では、
入力された移動量に基づいて、各軸の送り方向が逆転し
たか否かを検出する(ステップS2)。逆転したか否か
は、位置指令パルスの符号が逆転したか否かを検出する
ことで判断する。したがって、前回入力された移動量と
今回入力された移動量の符号が異なる場合には、送り方
向が逆転する指令であると判断される。
【0057】逆転しない場合には、再度位置指令を取得
する(ステップS3)。位置指令rx ,ry ,rz の送
り方向が逆転した場合には、例えば、X軸の場合には、
+X軸方向から−X軸方向への送り方向の逆転か、−X
軸方向から+X軸方向への送り方向の逆転かを判断する
(ステップS4)。ここでは、各サーボモータ18〜2
0の回転方向が正方向から負方向あるいは負方向から正
方向かを判断する。この判断は、位置指令rx ,ry
z は符号付きパルス量(所定時間当たりの移動パル
ス)で与えられることから、この符号の反転順序から容
易できる。
【0058】回転方向が正方向から負方向に逆転する場
合には、これに対応するバックラッシュ補正量DXX,D
YY,DZZおよび他軸補正量DXY,DXZ,DYX,DYZ,D
ZX,DZYを取得する(ステップS5)。負方向から正方
向に逆転する場合にも、同様に対応するバックラッシュ
補正量DXX,DYY,DZZおよび他軸補正量DXY,DXZ
YX,DYZ,DZX,DZYを取得する(ステップS6)。
通常、バックラッシュ補正量DXX,DYY,DZZは、正方
向と負方向とで大きさは同じで符号が逆の量を使用す
る。次に、対応する加算器8〜10に出力し、各位置指
令rx ,ry ,rz に補正量を加算する(ステップS
7)。
【0059】ここで、他軸補正量DXY,DXZ,DYX,D
YZ,DZX,DZYの決定方法について説明する。例えば、
上述したボールエンドミルTによる仕上げ切削加工のよ
うに、ボールエンドミルTと被加工物Wとの間のZ軸方
向の位置ずれδzが大きさは略同じで正負の方向に発生
する場合には、予め位置ずれδzを測定してこれを打ち
消す他軸補正量DXZをNC装置1に記憶しておく。上述
したステップS5またはS6において、逆転する向きに
応じて、他軸補正量DXZに符号を付け、加算器10に出
力する。他軸補正量DXY,DXZ,DYX,DYZ,DZX,D
ZYは、実際に加工を行った場合の位置ずれ量から決定す
ることができ、あるいは、レーザ干渉装置等の位置検出
手段を用いて、所定の軸を送り制御させ、他の軸の位置
ずれを検出してもよい。
【0060】機械の構造によっては、例えば、正方向か
ら負方向への送り方向の逆転の場合と負方向から正方向
への送り方向の逆転の場合とでは、他の軸方向に位置ず
れ量が異なり上述のような同じ大きさの他軸補正量で
は、補正が十分でない場合も考えられる。例えば、重力
の影響などによって逆転する向きによって位置ずれ量が
異なる場合も考えられる。このような場合には、逆転の
向きに応じて、異なる値の他軸補正量をNC装置1内に
保持する。
【0061】また、駆動される制御軸の送り方向の逆転
時に、他の制御軸方向に発生する位置ずれ、駆動される
制御軸の位置に応じて変化する場合が考えられる。例え
ば、他軸補正量DXZがX軸方向の位置の関数、すなわ
ち、図10に示すように、例えば、X軸方向の位置に応
じて直線的に変化する場合には、NC装置1おいて次式
(2)によって他軸補正量DXZを算出する。
【0062】 DXZ(x)=−K・x+DXZ0 ・・・(2)
【0063】また、例えば、X軸方向の複数位置におい
てZ軸方向の位置ずれ量が異なる場合が考えられる。こ
の場合には、図11に示すように、X軸方向の複数位置
に対応して他軸補正量DXZをテーブルとして保持してお
く。また、複数点間における他軸補正量DXZは、直線補
間によって算出することができる。
【0064】また、例えば、NC工作機械の工具にかか
る切削力の大きさにしたがい、駆動する制御軸以外の他
の制御軸方向の位置ずれ量が変化する場合が考えられ
る。このような場合、例えば図12に示すように、切削
力の大きさに応じて、他軸補正量を直線的に変化させ
る。あるいは、切削力の大きさに応じて、他軸補正量を
段階的に変化させる。切削力の大きさは、例えば、工具
を駆動する主軸モータの駆動電流を検出するなどの方法
によって検出することができる。また、切削力が働かな
い場合、すなわち、非加工時においては、切削力が働か
ない分他の制御軸方向の位置ずれ量も小さいと考えられ
る。このような場合には、例えば図12に示す他軸補正
量DXZ0 を他軸補正量とすればよい。
【0065】対応する各加算器8〜10にバックラッシ
ュ補正量および他軸補正量を出力した後に、当該補正量
を過去のバックラッシュ補正量および他軸補正量を
XX,D XY,DXZ,DYX,DYY,DYZ,DZX,DZY,D
ZZについてそれぞれ累積する(ステップS8)。バック
ラッシュ補正量および他軸補正量による各軸サーボモー
タ18〜20の絶対位置がずれるの防止するために、各
補正量の累積値を管理して、所定の工程が完了後に、各
軸サーボモータ18〜20の絶対位置を補正するためで
ある。
【0066】次いで、位置指令から判断して、連続する
加工動作が終了したか否かを判断する(ステップS
9)。この判断は、X,Y,Z軸共に位置指令が入力さ
れていない場合などには、一定の加工工程が完了したと
判断することができる。
【0067】次いで、上記した累積値を対応する制御軸
の位置指令として払いだす(ステップS10)。これに
より、各軸サーボモータ18〜20の絶対位置のずれを
防止することができる。
【0068】実施例 ここで、図9は、被加工物Wとしての金型の一面を実際
に加工した場合の加工結果を示す説明図であって、
(a)は本実施形態による場合であり、(b)は従来の
場合である。加工条件は、金型の材料:FCD700
(SG)、工具:ボールエンドミル(超硬)、工具径:
16mm、主軸回転速度:4400rpm、X軸方向の
送り速度3800mm/min、Y軸方向のピックフィ
ード量P:0.7mm、Z軸方向切り込み量1mmとし
て行った。また、図9(a)においては、Z軸の位置指
令rz を他軸補正量DXZを加算して補正し、他の位置指
令については補正を行わなかった。さらに、図9(b)
において、他軸補正量によってボールエンドミルTと被
加工物Wとの間に発生するZ軸方向の位置ずれ量δz
は、±9μm程度であるため、他軸補正量DXZの大きさ
を9μmとし、X軸の送り方向の逆転の向きに応じて符
号を付けた。
【0069】図9(b)において、他軸補正量によって
ボールエンドミルTと被加工物Wとの間に発生するZ軸
方向の位置ずれ量δzを補正しない場合には、領域
(1)においては、Z軸方向に切り込み量が大きく、領
域(2)においては切り込み量が少なくなっており、仕
上げ面粗さhが悪化しているのがわかる。一方、本実施
形態に係るNC装置1による制御によれば、図9(a)
に示すように仕上げ面粗さhが飛躍的に改善するのがわ
かる。
【0070】以上のように、本実施形態によれば、各制
御軸方向の送り方向の逆転時に生じる当該制御軸方向の
機械的誤差を補正するバックラッシュ補正機能に加え
て、送り方向の逆転時に当該制御軸方向以外の方向に生
じる位置誤差の補正が可能となり、NC工作機械などの
制御対象において生じる2次元または3次元の位置誤差
を平面的または立体的に補正することができる。この結
果、例えば、マシニングセンタにおいてボールエンドミ
ルTによる被加工物Wの一面を仕上げ切削したような場
合に、仕上げ面の仕上げ面粗さを向上させることができ
る。
【0071】本発明は上述した実施形態に限定されな
い。上述した実施形態では、制御方式としてセミクロー
ズドフィードバック方式を用いた場合の制御対象につい
て本発明を適用した場合について説明したが、本発明は
セミクローズドフィードバック方式に限らず、フルクロ
ーズドフィードバック方式を用いた制御対象にも適用可
能である。フルクローズドフィードバック方式を用いた
場合には、駆動される制御軸方向には、バックラッシュ
等の機械誤差は理論的には存在しないが、駆動される制
御軸以外の制御軸方向には位置誤差が発生する。このよ
うな制御対象の場合には、上述したバックラッシュ補正
量による位置補正は行わずに、他軸補正量による位置補
正を行えばよい。
【0072】さらに、上述の実施形態では、駆動手段と
してサーボモータ、送り機構としてボールねじと雌ねじ
を使用したものについて説明したが、例えば、送り機構
を使用せず、リニアモータ等によって直接駆動する場合
についても本発明は適用可能である。
【0073】また、上述の実施形態では、制御軸が3軸
の場合について説明したが、本発明はさらに多数の制御
軸を有する制御対象についても同様に適用可能である。
【0074】
【発明の効果】本発明によれば、複数の制御軸を有する
制御対象の一の制御軸の送り方向の逆転時に当該制御軸
方向以外の他の制御軸方向に生じる目標位置に対する位
置誤差の補正が可能となり、制御対象の目標位置に対す
る位置誤差を2次元的あるいは3次元的に補正すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のNC装置の一実施形態の構成を示す説
明図である。
【図2】図1に示したNC装置を実現するためのハード
ウエア構成の一例を示す説明図である。
【図3】本実施形態のNC装置が適用されうるマシニン
グセンタの一例を示す構成図である。
【図4】ボールエンドミルによって被加工物の一面の仕
上げ切削を行っている様子を示す斜視図である
【図5】図4に示す手順で仕上げ加工を行った場合の仕
上げ面の仕上げ面粗さを説明するための図である。
【図6】仕上げ面のY軸とZ軸によって構成される平面
方向の断面図である。
【図7】仕上げ面の様子を示す説明図であって、(a)
は理想状態における仕上げ面の状態を示す平面図であ
り、(b)はZ軸方向に位置ずれを生じた場合の仕上げ
面の状態を示す平面図である。
【図8】本実施形態のNC装置の動作を説明するための
フローチャートである。
【図9】金型の一面を実際に加工した場合の加工結果を
示す説明図であって、(a)は本実施形態による場合で
あり、(b)は従来の場合である。
【図10】他軸補正量の他の算出方法を示す説明図であ
る。
【図11】他軸補正量のさらに他の算出方法を示す説明
図である。
【図12】他軸補正量のさらに他の算出方法を示す説明
図である。
【符号の説明】
1…NC装置 3…NCプログラム解析処理・指令分配部 4〜6…X,Y,Z軸位置補正部 8〜10…加算器 12〜14…X,Y,Z軸サーボ制御部 15〜17…X,Y,Z軸サーボドライバ 18〜20…X,Y,Z軸サーボモータ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成9年9月12日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0049
【補正方法】変更
【補正内容】
【0049】 h2 /8R (ただしP<<Rのとき) …(1) 但し、Rはボールエンドミルの先端部の曲率半径であ
る。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0054
【補正方法】変更
【補正内容】
【0054】また、図7は、仕上げ面の様子を示す説明
図であって、(a)は理想状態における仕上げ面の状態
を示す平面図であり、(b)はZ軸方向に位置ずれを生
じた場合の仕上げ面の状態を示す平面図である。図7
(a)に示すように、理想的には、互いにX軸の送り方
向が反対(逆方向)の切削面Sf,Sbは、略等間隔に
形成される。一方、図7(b)に示すように、ボールエ
ンドミルTと被加工物Wとの間のZ軸方向の位置ずれδ
zが正負の方向に発生すると、一方の切削面SのY軸
方向の幅が太くなり、他方の切削面Sの幅が細くな
る。したがって、理想状態の場合と、ボールエンドミル
Tと被加工物Wとの間のZ軸方向の位置ずれδzが正負
の方向に発生した場合とでは、切削面の様子が異なるた
め、視覚的にも仕上げ面の良否を確認することができ
る。
【手続補正3】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図5
【補正方法】変更
【補正内容】
【図5】
【手続補正4】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図7
【補正方法】変更
【補正内容】
【図7】
【手続補正5】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図9
【補正方法】変更
【補正内容】
【図9】

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の制御軸を有する制御対象の位置制御
    を行う位置制御手段と、 前記複数の制御軸のうち一の制御軸の送り方向の逆転時
    に、前記制御対象の目標位置に対する他の制御軸方向の
    位置誤差を補正する制御指令を前記位置制御手段に対し
    て出力する第1の位置補正手段とを有する位置制御装
    置。
  2. 【請求項2】前記制御対象は、複数の可動部材と、 前記可動部材に対応する複数の駆動手段と、 前記可動部材と前記駆動手段とを連結し、前記駆動手段
    からの駆動力を前記可動部材に伝達する送り機構と、 前記駆動手段の位置を検出し、これを前記位置制御手段
    にフィードバックする位置検出手段とを有する請求項1
    に記載の位置制御装置。
  3. 【請求項3】前記一の制御軸の送り方向を逆転した時に
    生じる前記制御対象の当該制御軸方向の位置誤差を補正
    する第2の位置補正手段をさらに有する請求項1または
    2に記載の位置制御装置。
  4. 【請求項4】前記第1および第2の補正手段は、前記一
    の制御軸の送り方向の逆転時に、前記制御対象の他の制
    御軸方向および前記一の制御軸方向の位置誤差の補正を
    行う請求項3に記載の位置制御装置。
  5. 【請求項5】前記第1の位置補正手段は、前記一の制御
    軸に対する制御指令から、当該制御軸の送り方向の逆転
    を検出する手段を有する請求項1〜4のいずれかに記載
    の位置制御装置。
  6. 【請求項6】前記第1の位置補正手段は、前記一の制御
    軸の送り方向の逆転の検出に応じて、他の制御軸の制御
    指令を補正する請求項1〜5に記載の位置制御装置。
  7. 【請求項7】前記第1の位置補正手段は、前記一の制御
    軸の送り方向の逆転の際に他の制御軸の制御指令を補正
    する補正量を予め保持している請求項6に記載の位置制
    御装置。
  8. 【請求項8】前記位置制御手段は、制御情報としてのプ
    ログラムを解析処理するプログラム解析処理部と、 前記プログラム解析処理部において得られた各制御軸毎
    の位置指令を所定時間当たりの移動量として各制御軸に
    分配する位置指令分配部と、 前記移動量に応じて前記駆動手段の駆動制御を行うサー
    ボ制御部とを有する請求項2〜7のいずれかに記載の位
    置制御装置。
  9. 【請求項9】前記制御対象は、被加工物および工具を任
    意の位置に移動可能な複数の制御軸を有する数値制御工
    作機械であり、 前記第1の位置補正手段は、他の制御軸の位置指令を補
    正する補正量を工具にかかる切削力に応じて算出する手
    段を有する請求項6に記載の位置制御装置。
  10. 【請求項10】前記第1の位置補正手段は、他の制御軸
    の位置指令を補正する補正量を前記一の制御軸の送り方
    向の位置の関数として保持している請求項6に記載の位
    置制御装置。
  11. 【請求項11】前記第1の位置補正手段は、他の制御軸
    の位置指令を補正する補正量を前記一の制御軸の送り方
    向の複数位置に関して離散的に保持し、前記離散的に保
    持された補正量を補間して前記一の制御軸の送り方向の
    位置に応じた補正量を算出する請求項6に記載の位置制
    御装置。
  12. 【請求項12】前記制御対象は、被加工物および工具を
    任意の位置に移動可能な複数の制御軸を有する数値制御
    工作機械であり、 前記第1の位置補正手段は、前記数値制御工作機械によ
    る被加工物の加工時と非加工時とで他の制御軸の位置指
    令を補正する補正量を変更する手段を有する請求項1に
    記載の位置制御装置。
  13. 【請求項13】前記第1の位置補正手段は、出力した他
    の制御軸の位置補正量毎に累積値を積算し、所定の工程
    が終了後に当該累積値を対応する制御軸に制御指令とし
    て出力する請求項1に記載の位置制御装置。
  14. 【請求項14】前記制御対象は、Z軸方向に設けられた
    回転工具を駆動する主軸と、前記主軸が設けられ、Z軸
    方向およびY軸方向に移動可能な第1の可動部材と、Z
    軸方向およびY軸方向に沿ってそれぞれ設けられ、前記
    第1の可動部材に形成されたねじ部にねじ込まれたZ軸
    およびY軸ボールねじと、前記各々のボールねじを駆動
    するZ軸およびY軸サーボモータと、X軸方向に移動可
    能に設けられた被加工物を固定するための第2の可動部
    材と、X軸方向に沿って設けられ、前記第2の可動部材
    に形成されたねじ部にねじ込まれたX軸ボールねじと、
    前記X軸ボールねじを駆動するX軸サーボモータと、前
    記X,Y,Z軸サーボモータの回転量を検出して前記サ
    ーボ制御部にフィードバックする第1〜第3の回転位置
    検出器とを有し、 前記第1の位置補正手段は、第2の可動部材に設置され
    た被加工物をX軸の正方向に送って第1の目標位置に位
    置決めし、当該被加工物をX軸の負方向に送って第2の
    目標位置に位置決めする動作において、前記回転工具の
    前記被加工物に対するZ軸方向およびY軸方向のうち少
    なくとも一方方向の目標位置に対する位置ずれを補正す
    るように、前記YおよびZ軸サーボモータに対する制御
    指令を補正する請求項2〜13のいずれかに記載の位置
    制御装置。
  15. 【請求項15】複数の制御軸を有する制御対象の位置制
    御方法であって、 前記複数の制御軸のうち一の制御軸の送り方向の逆転を
    当該制御軸に対する位置指令から検出し、 前記一の制御軸の送り方向の逆転の検出に応じて、前記
    制御対象の目標位置に対する他の制御軸方向に生じる位
    置誤差を補正する補正量を他の制御軸に対する位置指令
    として当該他の制御軸に出力する位置制御方法。
  16. 【請求項16】前記他の制御軸方向に生じる位置誤差を
    補正する補正量は、予め前記制御対象の特性に基づいて
    測定されている請求項15に記載の位置制御方法。
  17. 【請求項17】前記一の制御軸の送り方向の逆転の検出
    に応じて、当該一の制御軸方向に生じる位置誤差を補正
    する請求項15または16に記載の位置制御方法。
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