JPH1164654A - 光導波路 - Google Patents
光導波路Info
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- JPH1164654A JPH1164654A JP22028297A JP22028297A JPH1164654A JP H1164654 A JPH1164654 A JP H1164654A JP 22028297 A JP22028297 A JP 22028297A JP 22028297 A JP22028297 A JP 22028297A JP H1164654 A JPH1164654 A JP H1164654A
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- waveguide
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- bent
- continuously
- optical waveguide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 例えば光通信、光信号処理、光計測等に用い
られる、曲げ導波路構造当たりの過剰損失を軽減した光
導波路を提供することを課題とする。 【解決手段】 平面基板状に形成された光を伝搬するコ
アと前記コアより屈折率の低いクラッドにより構成され
た光導波路において、前記光導波路の曲げ導波路部分１
２の曲率が連続的に変化する。
られる、曲げ導波路構造当たりの過剰損失を軽減した光
導波路を提供することを課題とする。 【解決手段】 平面基板状に形成された光を伝搬するコ
アと前記コアより屈折率の低いクラッドにより構成され
た光導波路において、前記光導波路の曲げ導波路部分１
２の曲率が連続的に変化する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば光通信、光
信号処理、光計測等に用いられる、光導波路に関する。
信号処理、光計測等に用いられる、光導波路に関する。
【０００２】
【従来の技術】石英系導波路型光部品は石英系光ファイ
バとの整合性が良く、伝搬損失が0.１ｄＢ／ｃｍと小さ
く、熱的に安定で長期信頼性に優れていることから、実
用的な光部品として注目されている。これまでに１６×
１６大規模マトリックス・スイッチが７２×８８ｍｍの
チップ上に作成され良好に動作する等が確認されている
（参考文献：A HIMENO"STRICTLY NONBLICKING 16×16 M
ATRIX SWITCH USING SILICA-BASED PLANAR LIGHTWAVECI
RSUITS" ECOC'94,vol.3 PD)。
バとの整合性が良く、伝搬損失が0.１ｄＢ／ｃｍと小さ
く、熱的に安定で長期信頼性に優れていることから、実
用的な光部品として注目されている。これまでに１６×
１６大規模マトリックス・スイッチが７２×８８ｍｍの
チップ上に作成され良好に動作する等が確認されている
（参考文献：A HIMENO"STRICTLY NONBLICKING 16×16 M
ATRIX SWITCH USING SILICA-BASED PLANAR LIGHTWAVECI
RSUITS" ECOC'94,vol.3 PD)。
【０００３】上記１６×１６大規模マトリックス・スイ
ッチの導波路全長は、５８ｃｍになる。しかし、低損失
な曲げ導波路の使用によりスイッチ群が葛篭折りに配置
できるため、当該大規模マトリックス・スイッチのサイ
ズを７２×８８ｍｍというチップサイズに納めることが
できる。
ッチの導波路全長は、５８ｃｍになる。しかし、低損失
な曲げ導波路の使用によりスイッチ群が葛篭折りに配置
できるため、当該大規模マトリックス・スイッチのサイ
ズを７２×８８ｍｍというチップサイズに納めることが
できる。
【０００４】この従来の曲げ導波路構図を図８に示す。
図８に示すように、従来の曲げ導波路構造０１は、直線
導波路部分０２，０４と曲率一定の曲線導波路部分０３
とから構成されている。このような導波路においては、
ある一定値以上の曲率の曲線導波路を光が伝搬すると、
光は放射モードに結合し、導波路の損失が生じる。その
ため、通常は曲線導波路部分０３の曲率は損失が増大す
る曲率より小さな値に設定されている。
図８に示すように、従来の曲げ導波路構造０１は、直線
導波路部分０２，０４と曲率一定の曲線導波路部分０３
とから構成されている。このような導波路においては、
ある一定値以上の曲率の曲線導波路を光が伝搬すると、
光は放射モードに結合し、導波路の損失が生じる。その
ため、通常は曲線導波路部分０３の曲率は損失が増大す
る曲率より小さな値に設定されている。
【０００５】一方、導波路を伝搬する光の横モードの分
布は導波路の曲率に依存し、変化する。直線導波路部分
０２，０４を伝搬する光の横モードの分布と、曲線導波
路部分０３を伝搬する光の横モードの分布とは異なって
いる。そのため、直線導波路部分０２，０４と曲線導波
路部分０３との接合部分では、横モードの分布のズレに
起因する損失が生じる。この横モードの分布のズレに起
因する損失を軽減するために、直線導波路部分０２，０
４と曲線導波路部分０３との接続部での横モードの分布
のズレを補償し、損失を低減する様々な工夫が行われて
いる。
布は導波路の曲率に依存し、変化する。直線導波路部分
０２，０４を伝搬する光の横モードの分布と、曲線導波
路部分０３を伝搬する光の横モードの分布とは異なって
いる。そのため、直線導波路部分０２，０４と曲線導波
路部分０３との接合部分では、横モードの分布のズレに
起因する損失が生じる。この横モードの分布のズレに起
因する損失を軽減するために、直線導波路部分０２，０
４と曲線導波路部分０３との接続部での横モードの分布
のズレを補償し、損失を低減する様々な工夫が行われて
いる。
【０００６】例えば、図８に示すように、直線導波路部
分０２，０４と曲線導波路部分０３との接続部におい
て、導波路の中心をズラして接続する方法が知られてい
る。その他の方法としては、図１０に示した;Ladouceur
等が提案した曲げ導波路部分の構成がある( 参考文献:F
rancois Ladouceur and Pierre Labeye "A NEW GENERAL
APPROACH TO OPTICAL WAVEGUIDE PATH DESIGN" IEEE l
ightwave technol,vol.13,No.3,1995)。図１０に示した
曲げ導波路構造０５は、直線導波路部分０６，０８と曲
線導波路部分０７とから構成されており、曲線導波路部
分０７の導波路幅を直線導波路部分０６，０８より大き
めにとり、接続部近接部には丸みを持たせて二つの幅の
異なる導波路を接続している。
分０２，０４と曲線導波路部分０３との接続部におい
て、導波路の中心をズラして接続する方法が知られてい
る。その他の方法としては、図１０に示した;Ladouceur
等が提案した曲げ導波路部分の構成がある( 参考文献:F
rancois Ladouceur and Pierre Labeye "A NEW GENERAL
APPROACH TO OPTICAL WAVEGUIDE PATH DESIGN" IEEE l
ightwave technol,vol.13,No.3,1995)。図１０に示した
曲げ導波路構造０５は、直線導波路部分０６，０８と曲
線導波路部分０７とから構成されており、曲線導波路部
分０７の導波路幅を直線導波路部分０６，０８より大き
めにとり、接続部近接部には丸みを持たせて二つの幅の
異なる導波路を接続している。
【０００７】これらの工夫により、導波路接続部の両側
でそれぞれ伝搬する光の横モードの分布のズレを少なく
することができる。横モード同士の分布のズレが小さく
なると、接続部での損失が小さくなり低損失な曲げ導波
路が実現可能となる。
でそれぞれ伝搬する光の横モードの分布のズレを少なく
することができる。横モード同士の分布のズレが小さく
なると、接続部での損失が小さくなり低損失な曲げ導波
路が実現可能となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の提案では、直線導波路を伝搬する光の横モードと曲線
導波路を伝搬する光の横モードを近似的に重ね合わせる
工夫にすぎない。そのため、依然として、横モードの大
きな不連続点が残り、横モードの不一致による損失は原
理的に残ってしまう、という問題がある。特に、葛折り
にして長尺導波路では、一つ一つの曲げ導波路の損失が
積算され、全体として大きな損失となってしまうという
問題がある。
の提案では、直線導波路を伝搬する光の横モードと曲線
導波路を伝搬する光の横モードを近似的に重ね合わせる
工夫にすぎない。そのため、依然として、横モードの大
きな不連続点が残り、横モードの不一致による損失は原
理的に残ってしまう、という問題がある。特に、葛折り
にして長尺導波路では、一つ一つの曲げ導波路の損失が
積算され、全体として大きな損失となってしまうという
問題がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明による［請求項１］の光導波路は、平
面基板状に形成された光を伝搬するコアと前記コアより
屈折率の低いクラッドにより構成された光導波路におい
て、前記光導波路の曲げ部分の曲率が連続的に変化する
ことを特徴とする。
るために、本発明による［請求項１］の光導波路は、平
面基板状に形成された光を伝搬するコアと前記コアより
屈折率の低いクラッドにより構成された光導波路におい
て、前記光導波路の曲げ部分の曲率が連続的に変化する
ことを特徴とする。
【００１０】また、［請求項２］の光導波路は、平面基
板状に形成された光を伝搬するコアと前記コアより屈折
率の低いクラッドにより構成された光導波路において、
前記光導波路の曲げ部分の曲率が階段的に変化すること
を特徴とする。
板状に形成された光を伝搬するコアと前記コアより屈折
率の低いクラッドにより構成された光導波路において、
前記光導波路の曲げ部分の曲率が階段的に変化すること
を特徴とする。
【００１１】本発明によれば、曲率零の直線導波路か
ら、導波路の曲率を連続的または階段的に曲率を大きく
していき、その後再び曲率を小さくしていき、再び曲率
零である直線導波路に結合させる曲げ導波路構造が実現
できる。本発明による曲げ導波路構造においては、導波
路の曲率が連続的またはステップ状の階段的に変化する
ので、導波路を伝搬する光の横モードは連続的または階
段的に変化し、従来問題となった横モードの大きな不連
続点が無くなる。そのため本発明による曲げ導波路構造
を用いれば横モードの不一致による光の損失を抑えるこ
とが可能となる。
ら、導波路の曲率を連続的または階段的に曲率を大きく
していき、その後再び曲率を小さくしていき、再び曲率
零である直線導波路に結合させる曲げ導波路構造が実現
できる。本発明による曲げ導波路構造においては、導波
路の曲率が連続的またはステップ状の階段的に変化する
ので、導波路を伝搬する光の横モードは連続的または階
段的に変化し、従来問題となった横モードの大きな不連
続点が無くなる。そのため本発明による曲げ導波路構造
を用いれば横モードの不一致による光の損失を抑えるこ
とが可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００１３】［第１の実施の形態］図１に本実施の形態
による曲げ導波路部分の構造を示す。図２には、本実施
の形態による曲げ導波路における、導波路上の道のりと
導波路の曲率との関係を示す。
による曲げ導波路部分の構造を示す。図２には、本実施
の形態による曲げ導波路における、導波路上の道のりと
導波路の曲率との関係を示す。
【００１４】図１の曲げ導波路構造１０は、曲率零の直
線導波路部分１１から曲率連続変化領域１２へ移行し、
再び直線導波路部分１３につらなる構造をしている。曲
率連続変化領域１２では、図２に示すように、導波路の
曲率が零から連続的に大きくなり、その後再び連続的に
小さくなり再び曲率零になるように設計した。導波路の
幅と高さとは一定であり、８μｍ×８μｍとした。ま
た、曲率連続変化領域１２での最大曲率部の曲げ半径は
５ｍｍとした。
線導波路部分１１から曲率連続変化領域１２へ移行し、
再び直線導波路部分１３につらなる構造をしている。曲
率連続変化領域１２では、図２に示すように、導波路の
曲率が零から連続的に大きくなり、その後再び連続的に
小さくなり再び曲率零になるように設計した。導波路の
幅と高さとは一定であり、８μｍ×８μｍとした。ま
た、曲率連続変化領域１２での最大曲率部の曲げ半径は
５ｍｍとした。
【００１５】図３には図１の曲げ導波路構造を用いて作
成した長尺導波路の模式図を示す。図３に示した長尺導
波路パターンは、図１の曲げ導波路構造１０を１６２個
含み、全体で7.５ｍの導波路長を持つように設計した。
成した長尺導波路の模式図を示す。図３に示した長尺導
波路パターンは、図１の曲げ導波路構造１０を１６２個
含み、全体で7.５ｍの導波路長を持つように設計した。
【００１６】ここで、比較のために、図８に示した導波
路の中心をズラして接続する従来の曲げ導波路構造０１
を用いて、図７に示す長尺導波路を作成した。ここで、
導波路の幅と高さとは一定であり、８μｍ×８μｍとし
た。また、曲率連続変化領域での最大曲率部の曲げ半径
は５ｍｍとした。図７の従来技術による導波路も、図３
の本実施の形態の導波路と同様に曲げ導波路構造を１６
２個含み、全体で7.５ｍの導波路長を持つように設計し
た。
路の中心をズラして接続する従来の曲げ導波路構造０１
を用いて、図７に示す長尺導波路を作成した。ここで、
導波路の幅と高さとは一定であり、８μｍ×８μｍとし
た。また、曲率連続変化領域での最大曲率部の曲げ半径
は５ｍｍとした。図７の従来技術による導波路も、図３
の本実施の形態の導波路と同様に曲げ導波路構造を１６
２個含み、全体で7.５ｍの導波路長を持つように設計し
た。
【００１７】図９には、図８の従来構造の曲げ導波路に
おける、導波路上の道のりと導波路の曲率の関係を図示
する。
おける、導波路上の道のりと導波路の曲率の関係を図示
する。
【００１８】前述した通り、図８の曲げ導波路構造０１
は、直線導波路部分０２から曲線導波路部分０３を経て
直線導波路部分０４に連なる構造をしている。しかしな
がら、図９に示すように、曲線導波路部分での曲げ半
径、すなわち、曲率は一定である。この従来構造では曲
率の不連続点が生じるので、直線導波路部分と曲線導波
路部分との接続には、導波路同士の中心をずらし、横モ
ード同士の不一致が少なくなるようにした。
は、直線導波路部分０２から曲線導波路部分０３を経て
直線導波路部分０４に連なる構造をしている。しかしな
がら、図９に示すように、曲線導波路部分での曲げ半
径、すなわち、曲率は一定である。この従来構造では曲
率の不連続点が生じるので、直線導波路部分と曲線導波
路部分との接続には、導波路同士の中心をずらし、横モ
ード同士の不一致が少なくなるようにした。
【００１９】本実施の形態の導波路（図３）及び従来技
術の導波路（図７）は以下の工程により作成した。先
ず、シリコン基板上に、火炎体積法により、石英系下部
クラッド層と、二酸化ゲルマニウム等を添加して屈折率
を高めた石英系コア層とを形成した。次に、コア層をフ
ォトリソグラフィ及び反応性イオンエッチングを用いて
加工し、前記導波路構造のコア・パターンを形成した。
その後、火炎体積法により上部クラッド層を形成して埋
め込み導波路を作成した。クラッド層とコア層との比屈
折率差は0.７５％とした。
術の導波路（図７）は以下の工程により作成した。先
ず、シリコン基板上に、火炎体積法により、石英系下部
クラッド層と、二酸化ゲルマニウム等を添加して屈折率
を高めた石英系コア層とを形成した。次に、コア層をフ
ォトリソグラフィ及び反応性イオンエッチングを用いて
加工し、前記導波路構造のコア・パターンを形成した。
その後、火炎体積法により上部クラッド層を形成して埋
め込み導波路を作成した。クラッド層とコア層との比屈
折率差は0.７５％とした。
【００２０】導波路の過剰損失の評価には波長1.３μｍ
のレーザ光と波長1.５５μｍのレーザ光で評価した。入
力側には1.３μｍ用偏波保持ファイバを用い、出力側に
は1.３μｍ用シングルモードファイバを用いた。入力側
と出力側とのファイバを直接つきあわせたときの受光レ
ベルの差より導波路の過剰損失を計測した。
のレーザ光と波長1.５５μｍのレーザ光で評価した。入
力側には1.３μｍ用偏波保持ファイバを用い、出力側に
は1.３μｍ用シングルモードファイバを用いた。入力側
と出力側とのファイバを直接つきあわせたときの受光レ
ベルの差より導波路の過剰損失を計測した。
【００２１】図７に示した従来型の曲げ導波路構造を用
いた長尺導波路の波長1.３μｍと波長1.５５μｍでの導
波路の過剰損失の結果は、各々２４ｄＢと２８ｄＢであ
った。一方、図３に示した本実施の形態による曲げ構造
を用いた長尺導波路の波長1.３μｍと波長1.５μｍでの
過剰損失の結果は、各々１7.５ｄＢと２０ｄＢであっ
た。このように、本実施の形態での曲げ導波路構造の使
用により導波路全体で波長1.３μｍと波長1.５μｍとで
6.５ｄＢと８ｄＢの状損失の軽減が達成された。曲げ導
波路構造あたりにすると各々約0.０４ｄＢ／個と約0.０
５ｄＢ／個の過剰損失改善がみられた。
いた長尺導波路の波長1.３μｍと波長1.５５μｍでの導
波路の過剰損失の結果は、各々２４ｄＢと２８ｄＢであ
った。一方、図３に示した本実施の形態による曲げ構造
を用いた長尺導波路の波長1.３μｍと波長1.５μｍでの
過剰損失の結果は、各々１7.５ｄＢと２０ｄＢであっ
た。このように、本実施の形態での曲げ導波路構造の使
用により導波路全体で波長1.３μｍと波長1.５μｍとで
6.５ｄＢと８ｄＢの状損失の軽減が達成された。曲げ導
波路構造あたりにすると各々約0.０４ｄＢ／個と約0.０
５ｄＢ／個の過剰損失改善がみられた。
【００２２】［第２の実施の形態］つぎに、導波路の曲
率を零から一定値まで段階的に変化させた曲げ導波路構
造をもった、導波路作成の実施の形態を説明する。
率を零から一定値まで段階的に変化させた曲げ導波路構
造をもった、導波路作成の実施の形態を説明する。
【００２３】図４は本実施の形態により作成した曲げ導
波路部分の導波路構造の概略図である。本実施の形態で
は、曲率を変化させる分割数を、２，４，８，１６段階
とした。すなわち、図４において、導波路構造２１，２
２，２３，２４はそれぞれ分割数２，４，８，１６の場
合を示している。全ての曲げ導波路構造の最小曲げ半径
を５ｍｍとした。さらに、一定の導波路長毎に曲率が変
化する点が分布するように設計した。ここで、分割数２
の曲げ導波路構造は従来型の曲げ導波路構造の一つであ
る図８のものに相当する。比較のため、分割数２の曲げ
導波路構造に限り、従来から行われている過剰損失低減
の工夫である、直線導波路部分と曲線導波路部分との接
続部分で導波路の中心をズラす工夫を施した。
波路部分の導波路構造の概略図である。本実施の形態で
は、曲率を変化させる分割数を、２，４，８，１６段階
とした。すなわち、図４において、導波路構造２１，２
２，２３，２４はそれぞれ分割数２，４，８，１６の場
合を示している。全ての曲げ導波路構造の最小曲げ半径
を５ｍｍとした。さらに、一定の導波路長毎に曲率が変
化する点が分布するように設計した。ここで、分割数２
の曲げ導波路構造は従来型の曲げ導波路構造の一つであ
る図８のものに相当する。比較のため、分割数２の曲げ
導波路構造に限り、従来から行われている過剰損失低減
の工夫である、直線導波路部分と曲線導波路部分との接
続部分で導波路の中心をズラす工夫を施した。
【００２４】図５にこれらの曲げ構造を用いた長尺導波
路の模式図を示す。分割数２と４の回路を一枚のウエハ
で、分割数８と１６の回路を別のウエハ上に作成した。
一本の導波路あたりの曲げ導波路構造の数は４２個で、
導波路長は2.１ｍで一定になるように設計した。ここ
で、符号２５は図４に示す導波路構造２１，２２，２
３，２４である。また、図中、符号Ａは分割数２又は８
を示し、符号Ｂは分割数４又は１６を示す。導波路は、
第１の実施の形態と同様に、火炎体積法、フォトリソグ
ラフィ及び反応性イオンエッチングを用いて作成した埋
め込み型石英導波路で、導波路の比屈折率差は0.７５％
とし、導波路幅８μｍ、導波路高さ８μｍとした。波長
1.３μｍでの導波路の過剰損失の測定結果を図６に示
す。曲率を変化させる階段数を増やすことにより、導波
路の過剰損失を7.５ｄＢ／から5.９ｄＢに軽減された過
剰損失を曲げ導波路構造の数で割ると約0.０３ｄＢ／個
となる。
路の模式図を示す。分割数２と４の回路を一枚のウエハ
で、分割数８と１６の回路を別のウエハ上に作成した。
一本の導波路あたりの曲げ導波路構造の数は４２個で、
導波路長は2.１ｍで一定になるように設計した。ここ
で、符号２５は図４に示す導波路構造２１，２２，２
３，２４である。また、図中、符号Ａは分割数２又は８
を示し、符号Ｂは分割数４又は１６を示す。導波路は、
第１の実施の形態と同様に、火炎体積法、フォトリソグ
ラフィ及び反応性イオンエッチングを用いて作成した埋
め込み型石英導波路で、導波路の比屈折率差は0.７５％
とし、導波路幅８μｍ、導波路高さ８μｍとした。波長
1.３μｍでの導波路の過剰損失の測定結果を図６に示
す。曲率を変化させる階段数を増やすことにより、導波
路の過剰損失を7.５ｄＢ／から5.９ｄＢに軽減された過
剰損失を曲げ導波路構造の数で割ると約0.０３ｄＢ／個
となる。
【００２５】これは第１の実施の形態で測定された改善
量、約0.０４ｄＢ／個に近い値である。このように、曲
げ導波路構造の曲率の変化は連続的ではなくいわゆるス
テップ状の階段的なものであっても過剰損失に対しては
十分効果的であったことが確認された。
量、約0.０４ｄＢ／個に近い値である。このように、曲
げ導波路構造の曲率の変化は連続的ではなくいわゆるス
テップ状の階段的なものであっても過剰損失に対しては
十分効果的であったことが確認された。
【００２６】本実施の形態では、導波路の曲率に合わせ
て、導波路の中心軸をずらす事や、導波路の幅を替える
ことはしなかったが、本発明に併せてこれらを最適化す
れば過剰損失が低減できることは容易に推測できること
はいうまでもない。
て、導波路の中心軸をずらす事や、導波路の幅を替える
ことはしなかったが、本発明に併せてこれらを最適化す
れば過剰損失が低減できることは容易に推測できること
はいうまでもない。
【００２７】本実施の形態では、曲率の不連続点で、接
続部の構造に丸みをもたせることはしなかったが、本発
明に併せて丸みを最適化すれば過剰損失が低減できるこ
とは容易に推測できることはいうまでもない。
続部の構造に丸みをもたせることはしなかったが、本発
明に併せて丸みを最適化すれば過剰損失が低減できるこ
とは容易に推測できることはいうまでもない。
【００２８】本実施の形態では、埋込型で矩形断面の石
英系導波路について説明したが、リブ型導波路でも、拡
散型導波路のように断面が矩形でなくても、また半導体
導波路にように石英系とは異なる材料系の導波路におい
ても同様の効果が期待されることはいうまでもない。
英系導波路について説明したが、リブ型導波路でも、拡
散型導波路のように断面が矩形でなくても、また半導体
導波路にように石英系とは異なる材料系の導波路におい
ても同様の効果が期待されることはいうまでもない。
【００２９】本実施の形態では、導波路の道のりあたり
の曲率の変化率を一定にしたり、曲率の不連続点の分布
を平均化したりしたが、曲率の変化率や不連続点の分布
に変化を持たせても、過剰損失の低減に効果があること
はいうまでもない。
の曲率の変化率を一定にしたり、曲率の不連続点の分布
を平均化したりしたが、曲率の変化率や不連続点の分布
に変化を持たせても、過剰損失の低減に効果があること
はいうまでもない。
【００３０】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の曲げ導
波路構造を用いると、導波路の曲率の不連続変化量を極
めて小さくすることができる。そのため導波路の曲率不
連続点での、伝搬する光の横モードの不一致が軽減さ
れ、曲げ導波路構造当たりの過剰損失が軽減される。こ
の曲げ導波路構造は、特に葛折りにした長尺な光回路を
作成したとき、光回路の過剰損失を低減させるのに極め
て効果的である。
波路構造を用いると、導波路の曲率の不連続変化量を極
めて小さくすることができる。そのため導波路の曲率不
連続点での、伝搬する光の横モードの不一致が軽減さ
れ、曲げ導波路構造当たりの過剰損失が軽減される。こ
の曲げ導波路構造は、特に葛折りにした長尺な光回路を
作成したとき、光回路の過剰損失を低減させるのに極め
て効果的である。
【図１】第１の実施の形態の光導波路の曲げ導波路構造
図である。
図である。
【図２】第１の実施の形態の曲げ導波路構造における、
導波路上の道のりと導波路の曲率の関係を示す図であ
る。
導波路上の道のりと導波路の曲率の関係を示す図であ
る。
【図３】第１の実施の形態の長尺導波路を示す模式図で
ある。
ある。
【図４】第２の実施の形態の光導波路の曲げ導波路構造
図である。
図である。
【図５】第２の実施の形態の長尺導波路を示す模式図で
ある。
ある。
【図６】第２の実施の形態の長尺導波路の過剰損失測定
結果を示すグラフである。
結果を示すグラフである。
【図７】比較のために用いた従来型の長尺導波路を示す
模式図である。
模式図である。
【図８】従来の光導波路の曲げ導波路構造図である。
【図９】従来の曲げ導波路構造における、導波路上の道
のりと導波路の曲率の関係を示す図である。
のりと導波路の曲率の関係を示す図である。
【図１０】従来（Ladouceur 等が提案) の光導波路の曲
げ導波路構造図である。
げ導波路構造図である。
１０ 曲げ導波路構造 １１ 直線導波路部分 １２ 曲率連続変化領域 １３ 直線導波路部分 ２１〜２４ 導波路構造
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 姫野 明 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 平面基板状に形成された光を伝搬するコ
アと前記コアより屈折率の低いクラッドにより構成され
た光導波路において、 前記光導波路の曲げ部分の曲率が連続的に変化すること
を特徴とする光導波路。 - 【請求項２】 平面基板状に形成された光を伝搬するコ
アと前記コアより屈折率の低いクラッドにより構成され
た光導波路において、 前記光導波路の曲げ部分の曲率が階段的に変化すること
を特徴とする光導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22028297A JPH1164654A (ja) | 1997-08-15 | 1997-08-15 | 光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22028297A JPH1164654A (ja) | 1997-08-15 | 1997-08-15 | 光導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1164654A true JPH1164654A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16748736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22028297A Withdrawn JPH1164654A (ja) | 1997-08-15 | 1997-08-15 | 光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1164654A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005221874A (ja) * | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Fujitsu Ltd | 光変調器 |
| JP2008224740A (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-25 | Anritsu Corp | 光変調デバイス |
| JP2011180180A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路、光配線、光電気混載基板および電子機器 |
| JP2015532470A (ja) * | 2012-10-18 | 2015-11-09 | テクノロギアン トゥトキムスケスクス ヴェーテーテー オイ | 曲がり光導波管 |
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| CN111580214A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-08-25 | 华南师范大学 | 一种多模波导及其设计方法 |
| US10838146B2 (en) | 2016-06-03 | 2020-11-17 | Rockley Photonics Limited | Single mode waveguide with an adiabatic bend |
| JP2022153599A (ja) * | 2018-03-22 | 2022-10-12 | 株式会社日立製作所 | 光センサおよびそれを用いた分析装置 |
| US11681167B2 (en) | 2018-04-06 | 2023-06-20 | Rockley Photonics Limited | Optoelectronic device and array thereof |
| US11835762B2 (en) | 2021-03-05 | 2023-12-05 | Rockley Photonics Limited | Higher order mode filter |
-
1997
- 1997-08-15 JP JP22028297A patent/JPH1164654A/ja not_active Withdrawn
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