JPH1159726A - 液体薬品搬送用容器及びこれに用いる容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液排出管及び内側容器の外側容器への取付、
シール構造を簡素化することにより、取り扱いが容易
で、かつ低コストで製造できる液体薬品搬送用容器を提
供する。 【解決手段】 フランジ７ａを形成した液排出管７と、
外側容器１と内側容器２との間に気体を封入する通気孔
１２と、外側容器１の口部４に嵌入された固定用ネック
５と、内側容器２に設けられフランジ３ａを形成した中
空形状の袋口ノズル３と、口部４を閉塞するキャップ８
とを備え、袋口ノズル３の中空部に液排出管７は挿入さ
れ、液排出管７及び袋口ノズル３は、それぞれのフラン
ジ部がキャップ８と固定用ネック５とで挟持されて外側
容器１に固定されている。このため、口部４における液
排出管７及び内側容器２の外側容器１への取付、シール
に必要な部品を削減でき構造を簡素化できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体・液晶などの
分野で用いられるフォトレジスト、有機溶媒などの高純
度薬品、または医薬、バイオ、食品などのあらゆる分野
で用いられる液体薬品を収納して搬送する液体薬品搬送
用容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、外側容器内の内側容器に液体
薬品を収納して、液体薬品を搬送する方法が用いられて
いる。この方法に用いる液体薬品搬送用容器は、あらか
じめ洗浄された可撓性フィルムで形成された袋状の内側
容器が、外側容器内に設けられている。内側容器内に液
体薬品を収納した状態で、両容器の口部分を密閉して搬
送を行う。液体薬品を排出した後は、内側容器を廃棄し
新たな内側容器に交換することにより、繰り返し充填、
搬送を行うことができる。

【０００３】このように、容器を二重構造としているの
は、例えば金属製容器にそのまま液体薬品を収納した場
合は、液体薬品と金属製容器との接触による液体薬品の
純度の悪化、再充填による相互汚染等の問題があるから
である。また、金属製容器の洗浄は、繰り返して溶媒や
純粋で洗わなければならず、大変手間とコストがかか
り、完全に洗浄するのは困難であった。

【０００４】前記のような容器を二重構造とした液体薬
品搬送用容器の一例が、特開平６−１０００８７号公報
に提案されている。以下、図８、９を用いてこの従来の
液体薬品搬送用容器について説明する。

【０００５】図８は、容器を組立てた状態の上端部を示
す断面図である。容器は、外側容器２０と可撓性の内側
容器２１とを備えている。内側容器２１には、取付体２
２が設けられている。取付体２２はリティナー２３によ
って外側容器２０の口部２４に取り付けられている。こ
のため、内側容器２１は外側容器２０の中で支えられて
いる。

【０００６】また、汲出しチューブ２５には、カップリ
ング２６が接続されている。カップリング２６は、取付
体２２の中に固定され、空所２９が形成されている。蓋
２７が、取付体２２、カップリング２６を包囲して、口
部２４にねじ込まれている。この状態では、破断可能な
膜２８によって、取付体２２の開口部及び外側容器２０
の口部２４は封止されている。また、要所は、Ｏリング
３０、３１、３２によりシールされている。

【０００７】液体薬品の充填は、内側容器２１を窒素等
の気体で膨脹させ、取付体２２を介して、液体薬品を供
給する。充填した後に、カップリング２６が接続された
吸い出しチューブ２５を取付体２２の中に挿入する。こ
の後に、膜２８、蓋２７及びキャップ３３を取り付けれ
ば、図８に示した状態になる。この状態で、容器の搬送
が可能になる。

【０００８】図９は、容器から液体薬品を排出する際の
状態を示す容器の上端部を示す断面図である。内側容器
２１から、液体薬品を排出するためには、まず図８に示
した状態からキャップ３３を取り外す。次に、ディスペ
ンサー３４を蓋２７にねじ込んで取り付ける。この状態
を、図９に示している。ディスペンサー３４は、上部コ
ネクタ３４ａ、下部コネクタ３４ｂ、プローブ３５等の
複数の部品で構成されている。

【０００９】ディスペンサー３４を取り付けることによ
って、プローブ３５のシャフト３６が膜２８を破断し、
シャフト３６の先端部分は、カップリング２６内に挿入
されることになる。

【００１０】この状態で空気等の圧縮流体を、圧縮導管
３７の中に供給する。圧縮流体は、圧縮導管３７、圧縮
通路３８、及び圧縮通路３９を通って圧縮空間４０へ入
る。圧縮流体は、圧縮空間４０に入ると内側容器２１を
収縮させる。このことにより、内側容器２１内の液体薬
品は、吸い出しチューブ２５の先端の開口部から流入し
て、吸い出しチューブ２５、流体通路４１、流体通路４
２を通過して、容器外へ押し出される。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ような液体薬品搬送用容器では、以下のような問題があ
った。 （１）汲出しチューブは、中空パイプにカップリングが
接続され、さらにこのカップリングには、Ｏリングが取
り付けられている。また、液排出時に用いるディスペン
サーには、中空パイプのカップリングに接続されるプロ
ーブ、上下コネクタ等の複数の部品から構成されてい
る。このため、部品点数が多く複雑な構造となってい
た。 （２）搬送時の外側容器の口部のシールは、カップリン
グ部と内側容器の取付体とのシールだけでは足りず、別
途破断可能な膜によるシールが必要となる。このこと
も、部品点数を増加させ、構造を複雑にさせる要因とな
っていた。 （３）液体薬品排出時には、ディスペンサーのプローブ
のシャフト部が、シール用の膜を破断することになる。
このとき破断したシールの断片が容器内に混入し、内部
の液体を汚染する可能性があった。また、次の搬送を行
う場合には、破断した膜は廃棄し、新たな膜に交換する
必要があり、取り扱いが面倒で、交換の度に余分なコス
トを必要としていた。 （４）内側容器は、現実の製品としては、フィルム２枚
の周囲をヒートシールした平袋形状のものを用いる。こ
のような内側容器では液排出の際、内側容器の４隅部分
が折れ曲がり、この４隅部分に液体薬品が残留し、十分
な液排出ができない場合があった。

【００１２】本発明は前記従来の問題を解決するもので
あり、液排出管及び内側容器の外側容器への取り付け構
造、シール構造を簡素化することにより、取り扱いが容
易でかつ低コストな液体薬品搬送用容器及びこれに用い
る容器を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の液体薬品搬送用容器は、外側容器内の可撓
性の内側容器に液体薬品を収納して液体薬品を搬送する
液体薬品搬送用容器であって、上端部にフランジを形成
した液排出管と、前記外側容器と前記内側容器との間に
気体を封入する通気孔と、前記外側容器の口部に嵌入さ
れた固定用ネックと、前記内側容器に設けられ上端部に
フランジを形成した中空形状の袋口ノズルと、前記外側
容器の口部を閉塞するキャップとを備え、前記袋口ノズ
ルの中空部に前記液排出管が挿入され、前記液排出管及
び前記袋口ノズルはそれぞれのフランジ部が前記キャッ
プと前記固定用ネックとで挟持されることにより前記外
側容器に固定されていることを特徴とする。

【００１４】前記のような液体薬品搬送用容器によれ
ば、外側容器の口部分における取付構造、シール構造を
簡素化できるので、取り扱いが容易で、低コストで製造
が可能になる。

【００１５】前記液体薬品搬送用容器においては、前記
固定用ネックは、上端部にフランジを形成し、フランジ
部が前記口部と当接し、外周部が前記口部の内周部と嵌
合することにより、前記外側容器の口部に嵌入されてい
ることが好ましい。

【００１６】また、前記固定用ネックを２個用い、前記
固定用ネックの１個分の形状は上端部にフランジが形成
された筒形状を垂直方向に２分割した形状に相当するこ
とが好ましい。前記のように、固定用ネックを２個用い
れば、固定用ネックの袋口ノズルへの取り付けが容易に
なる。

【００１７】また、液体薬品の排出時には、前記キャッ
プに代えて、天面部に貫通孔の形成された液排出キャッ
プが取り付けられていることが好ましい。前記液排出キ
ャップが取り付けられた液体薬品搬送用容器において
は、前記液排出キャップ及び前記固定用ネックに前記通
気孔が形成されていることが好ましい。

【００１８】また、前記液体薬品搬送用容器において
は、前記通気孔が前記外側容器に形成されていることが
好ましい。また、前記液排出管のフランジ部の上面と前
記キャップの下面との間がシール材によりシールされて
いることが好ましい。前記のようにシール材を設けれ
ば、搬送時、液排出時の液体薬品の漏れを防止すること
ができる。

【００１９】また、前記液排出管の先端部の側面部を貫
通する横穴が形成されていることが好ましい。前記のよ
うに横穴が形成されていれば、液排出時における液体薬
品の内側容器から液排出管への流入を確実に行うことが
できる。

【００２０】また、前記内側容器の材料が、樹脂製フィ
ルムであることが好ましい。樹脂製フィルムの材料は、
中に入れる液体の性質によって選択する。例えば、一般
的にはポリエチレン樹脂を選択し、耐薬品性が要求され
るときは、フッ素樹脂などを選択する。

【００２１】また、前記内側容器は底面が円形で円筒形
状に形成可能であることが好ましい。前記のような内側
容器であれば、外側容器内の容積を有効に活用すること
ができ、さらに液排出の際の液体薬品の残留も防止でき
る。

【００２２】次に、本発明の容器は、前記各液体薬品搬
送用容器に記載の液体薬品搬送用容器の内側容器として
用いる容器であって、樹脂製フィルムで形成され、底面
が円形で円筒形状に形成可能であることを特徴とする。
前記のような内側容器を用いれば、外側容器内の容積を
有効に活用することができ、さらに液排出の際の液体薬
品の残留も防止できる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図１〜７を用いて説明する。図１は、本実施形態に係
る液体薬品搬送用容器の断面図である。ステンレス等の
金属製の外側容器１内に、ポリエチレン等の樹脂製フィ
ルムで形成された可撓性の内側容器２が設けられてい
る。内側容器２の口部４には袋口ノズル３が設けられて
いる。袋口ノズル３は、円筒形状で両端部にフランジ部
３ａ、３ｂが形成されている。フランジ部３ｂに内側容
器２の口部が溶着されている。

【００２４】まず、内側容器２の外側容器１への装着に
ついて説明する。最初に、折り畳んだ内側容器２を、外
側容器１の口部４より入れる。次に、固定用ネック５を
袋口ノズル３に挟み込んで、内側容器２を外側容器１へ
装着する。

【００２５】図２に、固定用ネック５の袋口ノズル３へ
の取り付け方法を示す斜視図を示している。固定用ネッ
ク５は２個用い、１個分の形状は上端部に円盤状のフラ
ンジが形成された円筒を垂直方向に２分割した形状に相
当する。

【００２６】固定用ネック５を２分割形状としているの
は、これら２部品を一体にした形状であると、固定用ネ
ック５の内周径より大きい袋口ノズル３のフランジ部３
ａ、３ｂによって、袋口ノズル３を固定用ネック５へ挿
入させることができないからである。

【００２７】矢印ａ、ｂ方向から、袋口ノズル３の外周
部を固定用ネック５で挟み込んだ後、固定用ネック５の
円筒部の外周部を外側容器１の口部４の内周部に押し込
む（矢印ｃ方向）。図３に、内側容器２の外側容器１へ
の装着が完了した状態の斜視図を示している。図３に示
した状態で、袋口ノズル３の開口部６より窒素等の気体
を吹き込み内側容器２を、外側容器１内で膨らませる。

【００２８】なお、内側容器２の底面の形状は、円形が
好ましい。底面が円形であれば、内側容器２を膨らませ
ると、内側容器２は円筒形状となる。外側容器１を、こ
の円筒形状に合わせた円筒形状にしておけば、液体薬品
を充填した状態では、外側容器１と内側容器２との間の
空間を小さくすることができるので、外側容器１内の容
積を有効に活用することができる。また、液排出の際に
は平袋形状のものとは異なり、内側容器の上下の端部に
おける折れ曲がりを防止できるので、液残留も防止でき
る。

【００２９】この状態で、液体薬品を内側容器２内に充
填する。液体薬品の充填後、液排出管７、キャップ８を
取り付ける。図４に、液排出管７、キャップ８の取り付
け方法を示す斜視図を示している。まず、液排出管７を
開口部６に差し込む。液排出管７はポリエチレン等の樹
脂製で、管形状で上端部にフランジ部７ａが一体に形成
されている。次に、キャップ８を、外側容器１のねじ部
９にねじ込んで締め付ける（矢印ｃ方向）。

【００３０】以上のようにして、液体薬品の充填が完了
する。この状態で、容器の搬送が可能になる。図５に、
液体薬品の充填完了後における容器上部の断面図を示し
ている。固定用ネック５のフランジ部５ａと外側容器１
の口部４の上端面とが当接し、固定用ネック５の外周部
と口部４の内周部とが嵌合している。このため、固定用
ネック５は円周方向、垂直方向ともに口部４に固定され
ている。

【００３１】また、袋口ノズル３のフランジ部３ａと固
定用ネック５とが当接し、袋口ノズル３の外周部と固定
用ネック５の内周部とが嵌合している。このため、袋口
ノズル３は円周方向、垂直方向ともに固定用ネック５に
固定されている。さらに、液排出管７のフランジ部７ａ
と袋口ノズル３のフランジ部３ａとが当接し、液排出管
７の外周部と袋口ノズル３の内周部とが嵌合している。
このため、液排出管７は円周方向、垂直方向ともに袋口
ノズル３に固定されている。

【００３２】前記のように固定用ネック５、袋口ノズル
３及び液排出管７とが、外側容器１に固定された状態
で、キャップ８が締め付けられているので、これら各部
品の搬送中の位置ずれを防止することができる。また、
液排出管７のフランジ部７ａと、キャップ８との間に
は、Ｏリング９が設けられているので、液体薬品の漏れ
を防止することができる。

【００３３】以上のように本実施形態のものは、従来例
と比べて、液排出管７及び内側容器２の外側容器１への
取付け、シール構造を簡素化しているので各部品の取付
け及び液充填の際の取り扱いが容易になり、かつ低コス
トで製造が可能になる。

【００３４】また、部品点数を削減できることにより、
外側容器１の口部４の口径を一定寸法とした場合、寸法
上の制約を受ける部品も少なくなる。例えば固定用ネッ
ク５及び袋口ノズルの内径を大きくすれば、液排出管７
は、十分な内径を確保することができる。液排出管７の
内径は、大きいほど液排出時間を短縮することができ
る。

【００３５】次に、液体薬品の排出について説明する。
液体薬品の排出の際には、まずキャップ８を取り外し、
液排出用キャップ１０に交換する。図６に、液排出用キ
ャップ１０を取り付けた状態の容器上部の断面図を示し
ている。

【００３６】液排出用キャップ１０には、排出口１１が
設けられている。液排出用キャップ１０は、天面部の肉
厚寸法及び排出口１１を設けている点を除けば、キャッ
プ８と同一構成である。液排出管７に挿入するジョイン
トパイプ等は不要であり、簡単な構成である。

【００３７】次に、外側容器１に設けられたガス通気孔
１２より気体を封入する。封入気体は、窒素または空気
が好ましい。固定用ネック５と口部４とは嵌合し、さら
に固定用ネック５と袋口ノズル３とは嵌合しているの
で、封入気体の容器外への漏れを防止することができ
る。このため、気体を封入し続けると、外側容器１内が
加圧されることになる。この加圧により、内側容器２が
収縮する方向に圧力が加わるため、内側容器２内の液体
薬品は液排出管７を経由して、排出口１１より排出され
ることになる。

【００３８】図７に、液排出管７の下部における容器の
断面図を示している。液体薬品の内側容器２内から液排
出管７への移動は、液排出管７の先端の開口部１２及び
液排出管７の側面部を貫通している横穴１３により可能
となる。横穴１３を設けているのは、先端開口部１４だ
けでは、先端開口部１４が内側容器２により塞がれてし
まい、液体薬品の管内への移動が円滑に行われない場合
があるからである。

【００３９】液体薬品の排出後は、内側容器２を外側容
器１から取り外し、新たな内側容器２に交換することに
より、繰り返し液体薬品の充填、搬送を行うことができ
る。本実施形態のものは、内側容器２以外は消耗部品が
ないため、取り扱いが容易でかつ繰り返し使用によるコ
スト増を抑えることができる。

【００４０】なお、本実施形態ではガス通気孔を１２を
外側容器１に設けた場合について説明したが、液排出用
キャップ１０及び固定用ネック５に通気孔を設けて、ガ
ス通気孔としてもよい。

【００４１】また、本実施形態では、液体薬品の排出の
際には、排出口１１を設けた液排出用キャップ１０に交
換する場合について説明したが、排出口を設けたキャッ
プをシールして用い、運搬、液排出の際のキャップを兼
用してもよい。

【００４２】

【実施例】以下、本発明の一実施例について説明する。
外側容器１を、ＳＵＳ ３０４で成形し、外径φ２００
ｍｍ、全高４００ｍｍ、容積２０Ｌとした。内側容器２
は、ポリエチレン樹脂（ＰＥ）のフィルムで成形し、上
部に袋口ノズルを溶着し、底面が円形の円筒形とし、外
径φ３００ｍｍ、全高４８０ｍｍ（袋口ノズル含む）と
した。液排出管の内径はφ１６ｍｍとした。

【００４３】以上のような実施例で、性能を測定した結
果、液排出時は、０．１kgf/cm²の低圧加圧で、９９．
５％の液体を排出できた。液排出管の内径をφ１６ｍｍ
と大口径としているので、液体の排出は短時間ででき
た。液体を水とし、加圧を０．１kgf/cm²とした場合
は、排出速度は約１２L/minで、１分３０秒で排出が完
了した。

【００４４】

【発明の効果】以上のように本発明の液体薬品搬送用容
器によれば、液排出管及び袋口ノズルの外側容器への固
定は、それぞれのフランジ部をキャップと固定用ネック
とで挟持する構成であるので、外側容器の口部分におけ
る取付構造、シール構造を簡素化できる。また、液排出
時に用いる液排出用キャップは、液排出管に挿入するジ
ョイントパイプ等は不要であり、簡単な構造とすること
ができる。このため、取り扱いが容易で、低コストで製
造できる。

【００４５】また、液体薬品の搬送、排出を繰り返した
場合、内側容器以外は消耗部品がないため、取り扱いが
容易でかつ繰り返し使用によるコスト増を抑えることが
できる。

【００４６】また、本発明の容器を内側容器として用い
れば、外側容器内の容積を有効に活用することができ、
さらに液排出の際の液体薬品の残留も防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体薬品搬送用容器の一実施形態の断
面図

【図２】本発明の液体薬品搬送用容器の固定用ネックの
取付方法の一実施形態を示す斜視図

【図３】本発明の液体薬品搬送用容器の内側容器を外側
容器へ装着が完了した状態の一実施形態を示す斜視図

【図４】本発明の液体薬品搬送用容器の液排出管及びキ
ャップの取付方法の一実施形態を示す斜視図

【図５】本発明の液体薬品搬送用容器の液体薬品の充填
完了後における容器上部の一実施形態を示す断面図

【図６】本発明の液体薬品搬送用容器の液排出用キャッ
プを取り付けた状態の容器上部の断面図

【図７】本発明の液体薬品搬送用容器の液排出管の下部
における断面図

【図８】従来の液体薬品搬送用容器の上端部の一例を示
す断面図

【図９】従来の液体薬品搬送用容器のディスペンサを取
り付けた状態の一例を示す断面図

【符号の説明】

１ 外側容器 ２ 内側容器 ３ 袋口ノズル ３ａ，３ｂ，５ａ，７ａ フランジ部 ４ 口部 ５ 固定用ネック ６ 開口部 ７ 液排出管 ８ キャップ ９ ねじ部 １０ 液排出用キャップ １１ 排水口 １２ ガス通気孔 １３ 横穴 １４ 先端開口部

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外側容器内の可撓性の内側容器に液体薬
   品を収納して液体薬品を搬送する液体薬品搬送用容器で
   あって、上端部にフランジを形成した液排出管と、前記
   外側容器と前記内側容器との間に気体を封入する通気孔
   と、前記外側容器の口部に嵌入された固定用ネックと、
   前記内側容器に設けられ上端部にフランジを形成した中
   空形状の袋口ノズルと、前記外側容器の口部を閉塞する
   キャップとを備え、前記袋口ノズルの中空部に前記液排
   出管が挿入され、前記液排出管及び前記袋口ノズルはそ
   れぞれのフランジ部が前記キャップと前記固定用ネック
   とで挟持されることにより前記外側容器に固定されてい
   ることを特徴とする液体薬品搬送用容器。
2. 【請求項２】 前記固定用ネックは、上端部にフランジ
   を形成し、フランジ部が前記外側容器の口部と当接し、
   外周部が前記口部の内周部と嵌合することにより、前記
   口部に嵌入されている請求項１に記載の液体薬品搬送用
   容器。
3. 【請求項３】 前記固定用ネックを２個用い、前記固定
   用ネックの１個分の形状は上端部にフランジが形成され
   た筒形状を垂直方向に２分割した形状に相当する請求項
   １または２に記載の液体薬品搬送用容器。
4. 【請求項４】 液体薬品の排出時には、前記キャップに
   代えて、天面部に貫通孔の形成された液排出キャップが
   取り付けられている請求項１から３のいずれかに記載の
   液体薬品搬送用容器。
5. 【請求項５】 前記液排出キャップ及び前記固定用ネッ
   クに前記通気孔が形成されている請求項４に記載の液体
   薬品搬送用容器。
6. 【請求項６】 前記通気孔が前記外側容器に形成されて
   いる請求項１から５のいずれかに記載の液体薬品搬送用
   容器。
7. 【請求項７】 前記液排出管のフランジ部の上面と前記
   キャップの下面との間がシール材によりシールされてい
   る請求項１から６のいずれかに記載の液体薬品搬送用容
   器。
8. 【請求項８】 前記液排出管の先端部の側面部を貫通す
   る横穴が形成されている請求項１から７のいずれかに記
   載の液体薬品搬送用容器。
9. 【請求項９】 前記内側容器の材料が、樹脂製フィルム
   である請求項１から８のいずれかに記載の液体薬品搬送
   用容器。
10. 【請求項１０】 前記内側容器は、底面が円形で円筒形
    状に形成可能である請求項１から９のいずれかに記載の
    液体薬品搬送用容器。
11. 【請求項１１】 請求項１から１０のいずれかに記載の
    液体薬品搬送用容器の内側容器として用いる容器であっ
    て、樹脂製フィルムで形成され、底面が円形で円筒形状
    に形成可能であることを特徴とする容器。