JPH1158045A - レーザ光線誘導装置 - Google Patents

レーザ光線誘導装置

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JPH1158045A
JPH1158045A JP10167211A JP16721198A JPH1158045A JP H1158045 A JPH1158045 A JP H1158045A JP 10167211 A JP10167211 A JP 10167211A JP 16721198 A JP16721198 A JP 16721198A JP H1158045 A JPH1158045 A JP H1158045A
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mirror
pressure
laser beam
beam guiding
guiding device
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JP10167211A
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Martin Huonker
フォンカー マルチン
Adolf Giesen
ギーセン アドルフ
Martin Bea
ベア マルチン
Helmut Hugel
フューゲル ヘルムート
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Trumpf SE and Co KG
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 適応ミラーによりレーザ光線を光線径路に誘
導するための装置を提供する。 【解決手段】 ミラー（１２）の裏面に設けられた圧電
調整部材（１７）を備える。調整部材（１７）とミラー
（１２）の裏面（２４）との間に圧力伝導装置（１９）
を設ける。圧力伝導装置（１９）は、ミラー（１２）の
変形可能な表面の広い面積に作用する。ミラー（１２）
の収差が少なくなり、光線の発散が誘導されやすくな
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、請求項１の前段部
分に記載したように、光線径路において適応性のあるミ
ラー（適応ミラー：adaptive mirror)によって光線径路
にレーザ光線を誘導するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】このような装置は、たとえばＤＥ４１０
８４１９Ａ１に開示されており、これによると、この装
置は、機械加工される加工物に、レーザ光線の波面や横
断面の幾何学的形態を誘導する。この目的のために、レ
ーザ光源のできるだけ近くにミラーの表面を偏向させて
配設してある。そのミラーは、アクチュエータの最小の
ストロークに関連して、ミラーを盛り上がらせ、大きな
光線の拡大を確実に引き起こすことができ、その結果、
焦点距離を一定に保ち、及び／又は、機械加工処理に柔
軟に加工パラメータを用いることができるようになる。
アクチュエータは、圧電最終制御要素として構成され、
上記要素はミラーハウジングに設けられる。圧電最終調
整要素は、ミラーの裏面に直接作用する結果として、迅
速で正確なミラーの位置調整(alignment) を行うことが
可能である。
【０００３】しかし、このような装置には、ミラー表面
の曲率をごく僅かに変化させたり調整したりすることが
特に困難であるという短所がある。その結果、このよう
なシステムの光学的品質は限定される。これは、ミラー
の曲率のための力がミラーの裏面の一点だけに導入され
るという事実に基づいている。このため、ミラーの曲り
又はその表面曲率を一様にすることが難しく、その結果
としてミラーの収差が増加する。さらに、このような装
置は、ミラーの曲率を、微細にあるいは柔軟に調整する
ことが不可能であるという短所を持つ。圧電最終制御要
素が駆動されている時、長さの変化が突然起き、即ち、
力が突然にミラーの裏面に導かれ、この結果、光学シス
テム品質が制限される。
【０００４】さらに、適応ミラーによってレーザ光線を
誘導する原理は、ＤＥ４１３７８３２Ａ１に開示されて
いる。この装置、即ち適応ミラーの場合、表面曲率は、
静圧が加えられる丸い板の原理を使うことにより変化す
る。上記静圧は、冷却液によりミラーの中央に加えられ
る。冷却液は、ミラーの端部に設けられた冷却剤排出ラ
インを介して取り除かれる。冷却液の圧力は電磁バルブ
を介して制御されることが望ましい。
【０００５】しかし、このようなシステムは、調整率が
制限された帯域幅しかもたず、たとえば、これは、５０
Ｈｚに限定されている。このようなシステムは、多くの
用途に対して反応が非常に遅い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、適応ミラーによって、レーザ光線を光線径路に誘導
するための装置を作ることであり、これにより、光学的
な高品質が、調整率の高い動的帯域幅に関連して提供さ
れる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明に従
って、請求項１の特徴により達成される。
【０００８】２つの原理、即ち、ミラーの液圧的変形及
び圧電的変形という２つの原理の発明的組み合わせによ
り、高品質の光学システムを作ることが可能であり、同
時に、変調可能な周波数の高い動的帯域幅のシステムを
作ることが可能である。圧力伝導装置によって生じる静
圧によるミラーの変形のため、一様に力を導入すること
ができ、ミラーの調波曲げを達成できる。変形圧力が圧
力伝導装置を介して圧電最終制御要素により与えられる
ので、ミラーの曲率を変化させるための高い動的帯域幅
が存在し、圧力伝導装置は、ミラーの裏面に間接的又は
直接的に作用する。
【０００９】本発明の好ましい実施例によれば、圧力伝
導装置は、主として非圧縮性で、容易に変形する中間体
を有することが判る。これには、圧電最終制御要素の調
整通路（the adjusting path）の正確且つ迅速な変化
は、ミラーの裏面に直接には作用しないが、直接的又は
間接的に中間体に作用する。この結果、柔軟な液圧変形
を維持することができ、とりわけ、曲げ力を一様に導入
することを可能になる。
【００１０】本発明のさらに好ましい実施例によれば、
圧力伝導装置は、中間体に作用する圧力伝導部材を有す
ることが判る。上記圧力伝導部材は、有利には、中間体
の直径、もしくは、実質的には中間体の直径にまで拡が
っている。直接駆動と比べると、圧電最終制御要素を介
する場合には、直接駆動する場合よりも、曲げられた中
間点の振幅（変位幅）を実質的に高くすることが結果と
して可能である。この理由は、特に、中間体の量(volum
e)か、望ましくは端部領域において、実質的に圧力伝導
部材と置き換えられることによる。これにより、より小
さな調整通路を有するより小さな圧電最終制御要素を用
いて、曲率の割にミラーの中間点の振幅をより大きくす
ることが可能になる。これは、圧力部材が大きな構造で
あるため、大量の液体が置き換えられるためであり、こ
の結果、ミラーの中間点で湾曲を拡大することが可能に
なる。
【００１１】次に、好ましい実施例や発展的な実施例が
他の請求項において特定されている。
【００１２】
【発明の実施の形態】好ましく典型的な実施例は以下の
図面において示される。図１は本発明装置の断面図であ
る。図２は図１の選択的実施例の断面図である。図３は
図１の変形例の断面図である。図４は図１及び図２に関
するもう１つの選択的実施例の断面図である。図５は本
発明のもう１つの選択的実施例の断面図である。
【００１３】本発明によるところの、適応ミラー１２に
よってレーザ光線を誘導するための装置１１が図１に示
されている。単数又は複数の適応ミラー１２は、レーザ
光線の径路に規則的に挿入され、例えば、レーザ切断加
工ヘッド３１によって加工物を機械加工する時の焦点を
調整する。これは、Ｚ方向での焦点位置と焦点距離との
両方を変化させるために、単数又は複数の適応ミラー１
２を使用することが可能であることを意味する。これに
より、レーザ光源とレーザ切断加工ヘッド３１との間の
レーザ光線の異なった長さにより生じる焦点の変化が埋
め合わされる。これらの修正方法は、例えば、加工面積
が６×３ｍであるレーザフラットベッドマシンの場合に
特に必要である。
【００１４】装置１１は、ミラー１２に接合されるミラ
ーハウジング１４を有し、閉塞ハウジングユニットを形
成する。これは、直接的又は間接的に行われる。最終制
御要素１７は、望ましくは、圧電アクチュエータとして
構成され、ミラーハウジング１４の内部１６における基
盤（ベース）１８に配設される。ミラー１２の方を指す
最終制御要素１７の端部とミラー１２との間に圧力伝導
装置１９が設けられ、その圧力伝導装置１９は、例えば
ミラー１２へ４０から６０μｍの範囲におくことができ
るように伝導調整通路を取り次ぐ。
【００１５】図１に示される典型的な実施例では、圧力
伝導装置１９は圧力伝導部材２１を備え、これは、ミラ
ー１２とミラーハウジング１４との間にクランプされる
曲弛性のある隔壁(flexurally slack)２２に力を及ぼす
ものである。この構成は、ミラー１２と隔壁２２との間
に、所謂中間体２３を作り、上記中間体２３を介して、
最終制御要素１７の調整通路がミラー１２の裏面２４へ
圧力伝導部材２１の効果によって伝導され得るため、反
りが、ミラー表面に生じる。利点としては、中間体２３
が閉塞空間として構成されることであり、その閉塞空間
は、相対的に薄い液状フィルムとして提供されることが
望ましい。例えば、液状フィルムは、０．２から０．５
ｍｍの肉厚であり、本願によってこれをより大きくも小
さくもできる。
【００１６】圧力伝導部材２１は、最終制御要素１７に
面する傾斜 (bevels) を有する圧力プランジャーとして
構成され、この結果、力を伝導するための曲難性 (flex
urally stiff) の断面が確保される。圧力プランジャー
は、図５に詳細に示されているように、ディスクとして
構成されることが望ましい。
【００１７】また、１つの選択としては、圧力伝導部材
２１がきのこ形状に構成され、最終制御要素が圧力軸を
押圧するものであってもよい。圧力軸の直径は、最終制
御要素１７の直径と一致することが望ましい。
【００１８】液状、油性又はジェル状物質は中間体２３
に設けられ、圧力チャンバとして構成される。圧力チャ
ンバ内の液体は、水であることが望ましい。また１つの
選択肢としては、容易に変形する主に非圧縮性のディス
クであって、プラスチック製又はゴム状素材からなるも
のを使用してもよい。
【００１９】隔壁２２は、曲弛性があってエラストマー
素材またはそれと類似の素材で構成されることにより、
圧電伝導部材２１は大きな径を有するように構成される
ことが望ましく、実際には隔壁２２の表面全体を押圧す
る。
【００２０】隔壁２２は別の方法で設けられてもよい。
しかし、本実施例では、ミラー１２の裏面２４を直接押
圧する圧力チャンバが閉塞されるか、又は閉塞された圧
力チャンバが構成されることを念頭に置く。ミラー１２
は、冷却剤管２７の中に誘導される冷却剤により冷却さ
れる。
【００２１】ミラー表面又はミラー１２の偏向（deflec
tion）又は曲率は、最終制御要素１７の小さな圧力表面
の原理に基づくものであり、上記最終制御要素１７は、
圧力伝導装置１９によって、実質的に大きな直径を有す
るようになり、ミラー１２の裏面から起こされて表面に
作用する。中間体２３の量の置換のため、相対的に小さ
い最終制御要素１７の調整通路を拡大することができる
一種のレバー（てこ）効果が生じる。この結果、圧電伝
導部材２１は、相対的に大きな直径を有するように構成
されており、その圧力表面に一致し、本質的にミラーハ
ウジング１４の内径に一致する。同時に、液体フィルム
は、薄く構成されていることが有利になる。最終制御要
素１７に電圧が加えられる時、後者は、ミラー１２の方
向に偏向されることにより、圧力伝導部材２１は、上方
へ移動する。圧力チャンバを封緘する隔壁は、このよう
に、ミラー１２の方向に移動することにより、ミラーの
中間点２６を偏向することができる。レバー（てこ）効
果は、最終制御要素１７の調整通路に対してミラーの中
間点２６の振幅を大きくすることができる。しかし、同
時に、非常に高い調整率が、選択され伝導される。
【００２２】適応ミラーは、以下の方法で駆動され、相
互に連結される。
【００２３】レーザ加工ヘッド３１は加工物に当てられ
るものであり、レーザ加工ヘッド３１の軸ｘ，ｙの長さ
（を測定する）ための測定装置３２、及びｚ方向には測
定装置３３を備える。測定装置３２及び３３は、現在の
検出データを制御装置３４へ送信する。焦点位置又は焦
点距離を変更するよう要求される上記データは、これに
より決定される。制御装置３４は、電気通信線３７を介
して圧電最終制御要素１７へ接続される電圧源３６へ対
応する信号を出力する。さらに、適応ミラー１２は制御
装置３４に接続可能である。常設ドライブ（permanent
drive)は、適応ミラー１２に設けられ、これは、測定さ
れるバリュー（value)装置[sic] ３２，３３によって測
定されたバリューを継続的に検出することにより行われ
る。たとえば、２ｋＨｚまでの周波数をもつ帯域幅であ
れば可能である。
【００２４】図１の選択的実施例が図２に示される。図
２と対照してみると、中間体２３は、液体などで満たさ
れて隔壁によって封緘されるのではなく、ミラー１２の
裏面２４と圧力伝導装置１９の圧力伝導部材２１との間
にクランプされる圧力クッションを有する。圧力クッシ
ョンは、望ましくは弾性薄膜４２を有し、その弾性薄膜
４２は全面で閉塞され、液状又はジェル状の物質４３を
その内部に収容する。このような実施例はアセンブリを
単純化するという利点がある。さらに、圧力クッション
の内部の物質及び量を選択することにより、伝導率又は
周波数及び振幅の大きさに適応できるようにすることを
可能にする。
【００２５】図１に関する本発明装置１１のさらに有利
に発展した実施例は、図３に示される。ミラー１２の裏
面２４では、中間体２３が階段状に構成されており、第
１のセクション４６は大きな径を有し、第２のセクショ
ン４７は小さな径を有する。ミラー１２の裏面２４のこ
の階段状の構成は、てこの割合を増やすことに役立つ。
ミラー１２がより大きく湾曲することは、ミラーの中間
点２６で壁の肉厚のテーパによって行われる。また同時
に、セクション４７は、セクション４６における端部領
域に追加的に空間をあけて一定の液量を収容することが
できる。この結果、ミラー１２を偏向するために、ある
いはミラー１２の曲率を大きくするために振幅を増大す
ることができる。
【００２６】ミラー１２の裏面２４は多段になってお
り、セクション４６及び４７の直径は、ミラーの中心点
２６の方へ行くほど小さくなっている。また、円錐形テ
ーパ又はその組み合わせにすることも可能である。
【００２７】図１及び図２に関する装置１１のさらなる
選択的実施例は、図４に示される。図１の実施例と対照
して、圧力伝導装置１９は、その外端領域において弾性
バネ素材５１を有する圧力伝導部材２１を備え、上記弾
性バネ素材５１は、インタースペース（中間体）２３又
は圧力チャンバを封緘するものである。バネ要素５１
は、ミラー１２とミラーハウジング１４との間にクラン
プされる。選択肢として、バネ要素５１はミラー１２の
環状カラー５２を押圧し、中間体２３の閉塞空間を形成
する。バネ要素５１は、その端部領域においてその（可
動）自在な端部で一点に作動するディスク（円盤）状バ
ネとして有利に構成されている。上記シーリング要素又
はバネ要素５１は、圧力伝導部材２１と一体にあるいは
挿入部として構成されることが可能である。
【００２８】また、ミラー１２の裏面２４は、選択肢と
して、図３に示される裏面２４’と同様に構成されてい
る。
【００２９】本発明装置１１のさらなる選択的実施例は
図５に示される。この実施例の場合、例えば３つの最終
制御要素１７があり、これは電気通信線３７を介して共
同して駆動されることが望ましいものであり、上記要素
１７は、圧力伝導部材２１に作用する。最終制御要素１
７は、特定の直径周辺に互いに一定の間隔を空けて配設
されることが有利である。代わりに、１つだけ、又は２
つ以上の最終制御要素１７が設けられることも可能であ
る。これらの最終制御要素１７は、同時に圧力伝導要素
２１に作用し、曲難性のディスクとして構成されてお
り、ミラーハウジング１４において調整通路に沿ってミ
ラーの中間点２６に対して直角に可動する。圧力伝導部
材２１は、媒体に対して圧力チャンバをしっかりと封緘
する。この目的のために、圧力伝導部材２１の周辺端部
とミラーハウジング１４との間にシーリング要素５６が
配設されており、上記シーリング要素５６は、Ｏリング
として構成されることが望ましい。閉塞された圧力チャ
ンバの実施例のこの形状は、図１及び図３の隔壁２２、
又は図４のシーリングバネ要素を使う構成に代わる形状
である。
【００３０】また、図５に従った本実施例の場合、隔壁
２２、バネ要素５１又は圧力クッションがシーリング要
素５６の代わりに設けられてもよい。さらに、実施例の
それぞれの特徴を交換できることも、構成要件に適用で
きる。
【００３１】すべての実施例は、圧力が最終制御要素１
７の相対的に小さな表面から圧力伝導部材２１の大きな
表面へ伝導されることにより、表面は、順次、ミラー１
２の裏面２４に大きく影響することになるという点で共
通している。また同時に、大きな置換量は、相対的に狭
く、薄い構成、又は[sic] 液体フィルムからなる圧力チ
ャンバにより達成され、この結果、ミラー中間点２６の
振幅、及びミラー１２表面の曲率は比較的大きく構成さ
れることができる。また同時に、本発明装置のこの形状
は、良好な光学的品質及びミラー１２が適応するための
周波数の高帯域幅を結果的に生じる。
【００３２】さらに、本発明に従って、ミラーの裏面に
面する圧力チャンバを有する選択的装置を提供すること
が可能であり、上記選択的装置は、ミラーの中間点を介
して通じる縦軸心において見られるように、たとえば、
圧力チャンバに繋がり、中間ピストンが適用される圧力
柱（column）を設けている。圧電最終制御要素は、中間
ピストンをミラーの中間点の方向に調整移動によって動
かすものであり、これは、中間ピストンの反対側の端部
で働くことができる。この結果、圧力チャンバに収容さ
れる液体又は物質の量が増大することにより、ミラー又
はミラー表面は、湾曲する。
【００３３】また、圧電最終制御要素と圧力伝導装置と
の組み合わせを含む選択的実施例もある。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、光学的な高品質を有
し、調整率の高い動的帯域幅を有するレーザ光線誘導装
置を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明装置の断面図である。
【図２】図１の選択的実施例の断面図である。
【図３】図１の変形例の断面図である。
【図４】図１及び図２に関するもう１つの選択的実施例
の断面図である。
【図５】本発明のもう１つの選択的実施例の断面図であ
る。
【符号の説明】
１２ 適応ミラー １４ ミラーハウジング １７ 圧電調整部材 １９ 圧力伝導装置 ２１ 圧力伝導部材 ２３ 中間体（閉塞空間） ２４ ミラーの裏面 ２６ 隔壁 ３１ レーザ切断加工ヘッド ３２ 測定装置 ３３ 測定装置 ３４ 制御装置 ３６ 電圧発生装置 ４２ 弾性薄膜 ４３ 物質 ４６，４７ 圧力チャンバセクション ５１ 弾力性要素（弾性バネ素材） ５６ シーリング要素
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アドルフ ギーセン ドイツ連邦共和国、デー−71272 レニン ゲン、コーンブルメンウェグ 21 (72)発明者 マルチン ベア ドイツ連邦共和国、デー−70716 シュト ゥットガルト、ベベルシュトラーセ 29 ／１ (72)発明者 ヘルムート フューゲル ドイツ連邦共和国、デー−71067 ジンデ ルフィンゲン、エッセンジャー シュトラ ーセ 22

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 適応ミラー（１２）によって光線径路に
    レーザ光線を誘導するための装置であり、上記ミラー
    （１２）の裏面に設けられた圧電調整部材（１７）を有
    するものであって、光線の発散を誘導するため、ミラー
    （１２）の小さな収差の変形を達成できるように、調整
    部材（１７）とミラー（１２）の裏面（２４）との間に
    圧力伝導装置（１９）を設け、上記圧力伝導装置（１
    ９）は、ミラー（１２）の変形可能な表面の広い面積に
    作用するものであることを特徴とするレーザ光線誘導装
    置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の装置であって、圧力伝
    導装置（１９）は、主に非圧縮性で容易に変形可能な中
    間体（２３）を備えるレーザ光線誘導装置。
  3. 【請求項３】 請求項２に記載の装置であって、中間体
    （２３）は、閉塞空間に位置する液状、油性、又はジェ
    ル状の物質であるレーザ光線誘導装置。
  4. 【請求項４】 請求項３に記載の装置であって、閉塞空
    間に位置する流体は、水であるレーザ光線誘導装置。
  5. 【請求項５】 請求項２から４のいずれか１つに記載の
    装置であって、圧力伝導装置（１９）は、中間体（２
    ３）に作用する圧力伝導部材（２１）を有するレーザ光
    線誘導装置。
  6. 【請求項６】 請求項３に記載の装置であって、閉塞空
    間（２３）は、ミラー（１２）の裏面（２４）に隣接す
    る圧力チャンバであり、望ましくは曲弛性のある隔壁
    （２６）によって構成されるレーザ光線誘導装置。
  7. 【請求項７】 請求項３から６のいずれかに１つに記載
    の装置であって、圧力伝導部材（２１）の圧力プランジ
    ャーは、その全体表面で本質的に隔壁（２６）を押圧す
    る曲難性のディスクとして構成されるレーザ光線誘導装
    置。
  8. 【請求項８】 請求項５に記載の装置であって、圧力伝
    導部材（２１）は、大きな径で構成されており、小さな
    径で構成される圧力軸を備え、少なくとも一部分に圧電
    調整部材（１７）を含むレーザ光線誘導装置。
  9. 【請求項９】 請求項３から６のいずれか１つに記載の
    装置であって、閉塞空間は、ミラー（１２）の裏面（２
    ４）に隣接する圧力チャンバであり、望ましくは圧力伝
    導部材（２１）に配設され、圧力チャンバの端部を押圧
    するディスク状スプリングである弾力性要素（５１）に
    より構成されるレーザ光線誘導装置。
  10. 【請求項１０】 請求項５に記載の装置であって、圧力
    伝導部材（２１）は、ディスク形状の構成であり、ミラ
    ー（１２）の裏面（２４）に位置する圧力チャンバを構
    成するレーザ光線誘導装置。
  11. 【請求項１１】 請求項１０に記載の装置であって、望
    ましくは、Ｏリングであるシーリング要素（５６）は、
    圧力伝導部材（２１）の周辺表面と圧力伝導部材（２
    １）を囲むミラーハウジング（１４）との間に備えられ
    るレーザ光線誘導装置。
  12. 【請求項１２】 請求項１０又は１１に記載の装置であ
    って、圧電伝導部材（２１）は、少なくとも１つの圧電
    調整部材（１７）によって影響されるレーザ光線誘導装
    置。
  13. 【請求項１３】 請求項１２に記載の装置であって、複
    数の圧電調整部材（１７）の場合、上記圧電調整部材
    は、影響される圧力伝導部材（２１）表面に一様に分配
    されるレーザ光線誘導装置。
  14. 【請求項１４】 請求項２から１３のいずれか１つに記
    載の装置であって、ミラー（１２）の裏面（２４）に圧
    力チャンバとして構成される中間体（２３）は、圧力チ
    ャンバセクション（４６，４７）を有し、上記圧力チャ
    ンバセクションは、中央部から半径方向外側に延びてお
    り、径が、望ましくは段階的に大きくなるレーザ光線誘
    導装置。
  15. 【請求項１５】 請求項２に記載の装置であって、中間
    体（２３）は、圧力クッションとして構成されており、
    全面で閉塞される弾性薄膜（４２）から形成され、その
    内側には、液状、油性又はジェル状の物質（４３）を満
    たすレーザ光線誘導装置。
  16. 【請求項１６】 請求項２に記載の装置であって、中間
    体（２３）は、薄い、容易に変形可能な、主として非圧
    縮性のディスクとして構成され、上記ディスクは、望ま
    しくは、プラスチック製又はゴム状素材からなるレーザ
    光線誘導装置。
  17. 【請求項１７】 請求項２に記載の装置であって、中間
    体（２３）は、10分の数ミリメートルの範囲の厚みがあ
    るレーザ光線誘導装置。
  18. 【請求項１８】 請求項６に記載の装置であって、圧力
    伝導部材（２１）の表面は、曲げ特性を有するミラー
    （１２）の裏面（２４）と少なくとも同等であるか、又
    はそれより大きいレーザ光線誘導装置。
  19. 【請求項１９】 請求項１から１８のいずれかに１つに
    記載の装置であって、１つ又は複数の圧電調整部材（１
    ７）は、プログラム可能な制御装置（３４）により制御
    可能な電圧発生装置（３６）に接続するレーザ光線誘導
    装置。
  20. 【請求項２０】 請求項１９に記載の装置であって、プ
    ログラム可能な制御装置（３４）は、Ｘ−Ｙ面で切断さ
    れる加工物に対してレーザ切断加工ヘッド（３１）の位
    置を検出する測定装置（３２）を使用するものであり、
    さらに、Ｚ方向における位置を検出するための測定装置
    （３３）を使用するものであり、レーザ切断加工ヘッド
    （３１）の検出された位置の機能として、適応ミラー
    （１２）を駆動するレーザ光線誘導装置。
JP10167211A 1997-06-16 1998-06-15 レーザ光線誘導装置 Pending JPH1158045A (ja)

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