JPH1152030A - 論理回路用テストパターン作成方法及び装置、並びに、論理回路用試験方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 所望の論理回路の動作を試験するテストパタ
ーンを作成するための論理回路用テストパターン作成方
法及び装置、並びに、論理回路用試験方法及び装置に関
し、故障発見の効率のよいテストパターンを容易に生成
できる論理回路用テストパターン作成方法及び装置、並
びに、論理回路用試験方法及び装置を提供することを目
的とする。 【解決手段】 論理回路のレイアウトに応じて前記論理
回路で抽出すべき故障の発生確率を推定し、推定された
故障検出確率の高い順にテストパターンを順次作成し、
作成されたテストパターンのうち上位のテストパターン
で検出可能な故障がすべて検出される下位のテストパタ
ーンを削除し、テストパターンを圧縮し、最終的なテス
トパターンとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は論理回路用テストパ
ターン作成方法及び装置、並びに、論理回路用試験方法
及び装置に係り、特に、所望の論理回路の動作を試験す
るテストパターンを作成するための論理回路用テストパ
ターン作成方法及び装置、並びに、論理回路用試験方法
及び装置に関する。

【０００２】近年、半導体集積回路は大規模化してお
り、試験時間も増大している。不良チップにおいて試験
開始から打ち切りまでの時間を短くするためには、実際
に発生しやすい不良をより早い段階で検出するテストパ
ターンを作成する必要がある。

【０００３】

【従来の技術】従来、テストパターンを作成するには、
まず、量産初期の所定数の論理集積回路に対して、全テ
ストパターンを供給して試験を行う。試験結果に基づい
て各入力パターンで検出される故障率を求める。次に、
求められた故障検出率の降順に全テストパターンを並べ
替える。並べ替えた全テストパターンの上位のテストパ
ターンからテスト結果が重複しないテストパターンを抽
出し、以降の論理集積回路のテストパターンとする。

【０００４】この後、論理集積回路に対して、故障検出
率の降順にテストパターンを供給し、試験を行う。ま
た、従来、既に検出された故障が含まれるテストパター
ンを削除して、試験時に供給すべきテストパターンの数
を減少させる、いわゆる、圧縮を行う場合には、そのテ
ストパターンがある故障を検出するか否かや、故障の検
出される回数に基づいて必要とするテストパターンを抽
出していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来のテス
トパターン作成方法では、圧縮を行う場合には、そのテ
ストパターンがある故障を検出するか否かや、実際に試
験をした結果得られる故障の検出される回数のみに基づ
いてテストパターンを作成しており、故障の発生確率等
を考慮していなかったため、効率の悪いテストパターン
が先に実施され、試験時間が長くなる等の問題点があっ
た。

【０００６】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、故障発見の効率のよいテストパターンを容易に生成
できる論理回路用テストパターン作成方法及び装置、並
びに、論理回路用試験方法及び装置を提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１は、論
理回路の出力パターンに応じて該論理回路の故障を検出
するために該論理回路に供給するテストパターンを作成
する論理回路用テストパターン作成方法において、前記
論理回路のレイアウトに応じて前記論理回路で抽出すべ
き故障の発生確率を推定する故障検出確率推定過程と、
前記故障検出確率推定過程で得られた故障検出確率に基
づいて故障検出確率の高い順に配列され、かつ、故障が
重複するパターンが圧縮されたテストパターンを作成す
るテストパターン作成過程とを有することを特徴とす
る。

【０００８】請求項１によれば、論理回路のレイアウト
に応じて推定された故障の発生確率の高い順に、かつ、
故障が重複するパターンが圧縮されたテストパターンが
生成されるため、実際に発生しやすい故障に有効なテス
トパターンを効率的に生成でき、生成されたテストパタ
ーンによりテストを行うことにより故障がある場合には
早い段階で、故障を発見できるので、テストを迅速に行
える。

【０００９】請求項２は、前記故障検出確率推定過程
が、前記論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所
定の配線が他の配線と交差する回数に応じて前記故障検
出確率を推定することを特徴とする。請求項２によれ
ば、論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の
配線が他の配線と交差する回数に応じて故障検出確率を
推定して、テストパターンを作成することにより、縮退
故障の主な原因である電源線または接地線などの配線を
優先することができるため、実際に発生しやすい故障に
有効なテストパターンを優先的に作成できる。

【００１０】請求項３は、前記故障検出確率推定過程
が、前記論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所
定の配線の実配線長に応じて前記故障検出確率を推定す
ることを特徴とする。請求項３によれば、論理回路のレ
イアウト上、故障を抽出すべき所定の配線の実配線長に
応じて故障検出確率を推定して、テストパターンを作成
することにより、断線や短絡の可能性の大きい実配線長
が長い配線の故障を優先することができるため、断線や
短絡を原因とする故障に有効なテストパターンを優先的
に作成できる。

【００１１】請求項４は、前記故障検出確率推定過程
が、前記論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所
定の配線が配線途中で配線層を替える回数に応じて前記
故障検出確率を推定することを特徴とする。請求項４に
よれば、論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所
定の配線が配線途中で配線層を替える回数に応じて故障
検出確率を推定して、テストパターンを作成することに
より、配線の断線を原因とする故障を優先してテストパ
ターンを作成することができるため、断線を原因とする
故障に有効なテストパターンを優先的に作成できる。

【００１２】請求項５は、前記故障検出確率推定過程
が、前記論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所
定の配線の周囲の配線密度に応じて前記故障検出確率を
推定することを特徴とする。請求項５によれば、論理回
路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の配線の周囲
の配線密度に応じて前記故障検出確率を推定してテスト
パターンを作成することにより、短絡の原因となる故障
を優先してテストパターンを作成できるため、短絡を原
因とする故障に有効なテストパターンを優先的に作成で
きる。

【００１３】請求項６は、前記テストパターン作成過程
が、前記故障検出確率推定過程で得られた故障検出確率
に基づいて故障検出確率の高い順に全てのテストパター
ンを生成するテストパターン生成過程と、前記テストパ
ターン生成過程で作成されたテストパターン中、前記故
障検出確率が上位のテストパターンで検出された故障が
含まれる下位テストパターンを削除する第１の圧縮過程
とを有することを特徴とする。

【００１４】請求項６によれば、テストパターン生成過
程により全てのテストパターンを生成した後、第１の圧
縮過程により故障検出確率が上位のテストパターンで検
出された故障が含まれる下位テストパターンを削除する
ことによりテストパターンを圧縮する、いわゆる、スタ
ティックコンパクションによりテストパターンを圧縮す
ることにより、実際に発生しやすい故障に有効なテスト
パターンを効率的に生成でき、生成されたテストパター
ンによりテストを行うことにより故障がある場合には早
い段階で、故障を発見できるので、テストを迅速に行え
る。

【００１５】請求項７は、前記テストパターン作成過程
が、前記故障検出確率推定過程で得られた故障検出確率
に基づいて故障検出確率の高い順に順次故障が重複する
パターンを圧縮しつつテストパターンを作成する第２の
圧縮過程を有することを特徴とする。請求項７によれ
ば、故障検出確率推定過程で得られた故障検出確率に基
づいて故障検出確率の高い順に順次故障が重複するパタ
ーンを圧縮しつつテストパターンを作成する、いわゆ
る、ダイナミックコンパクションによりテストパターン
を圧縮することにより、実際に発生しやすい故障に有効
なテストパターンを効率的に生成でき、生成されたテス
トパターンによりテストを行うことにより故障がある場
合には早い段階で、故障を発見できるので、テストを迅
速に行える。

【００１６】請求項８は、論理回路の出力パターンに応
じて該論理回路の故障を検出するために該論理回路に供
給するテストパターンを作成する論理回路用テストパタ
ーン作成装置において、前記論理回路のレイアウト情報
を記憶するレイアウト情報記憶手段と、前記レイアウト
情報記憶手段に記憶された前記論理回路のレイアウト情
報に応じて前記論理回路で抽出すべき故障の発生確率を
推定する故障検出確率推定手段と、 前記故障検出確率
推定手段で検出された故障検出確率の高い順に配列さ
れ、かつ、故障が重複するテストパターンが圧縮された
テストパターンを作成するテストパターン作成手段とを
有することを特徴とする。

【００１７】請求項８によれば、論理回路のレイアウト
に応じて推定された故障の発生確率の高い順に、かつ、
故障が重複するパターンが圧縮されたテストパターンが
生成されるため、実際に発生しやすい故障に有効なテス
トパターンを効率的に生成でき、生成されたテストパタ
ーンによりテストを行うことにより故障がある場合には
早い段階で、故障を発見できるので、テストを迅速に行
える。

【００１８】請求項９は、前記故障検出確率推定手段
が、前記論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所
定の配線が他の配線と交差する回数に応じて前記故障検
出確率を推定することを特徴とする。請求項９によれ
ば、論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の
配線が他の配線と交差する回数に応じて故障検出確率を
推定して、テストパターンを作成することにより、縮退
故障の主な原因である電源線または接地線などの配線を
優先することができるため、実際に発生しやすい故障に
有効なテストパターンを優先的に作成できる。

【００１９】請求項１０は、前記故障検出確率推定手段
が、前記論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所
定の配線の実配線長に応じて前記故障検出確率を推定す
ることを特徴とする。請求項１０によれば、論理回路の
レイアウト上、故障を抽出すべき所定の配線の実配線長
に応じて故障検出確率を推定して、テストパターンを作
成することにより、断線や短絡の可能性の大きい実配線
長が長い配線の故障を優先することができるため、断線
や短絡を原因とする故障に有効なテストパターンを優先
的に作成できる。

【００２０】請求項１１は、前記故障検出確率推定手段
が、前記論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所
定の配線が配線途中で配線層を替える回数に応じて前記
故障検出確率を推定することを特徴とする。請求項１１
によれば、論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき
所定の配線が配線途中で配線層を替える回数に応じて故
障検出確率を推定して、テストパターンを作成すること
により、配線の断線を原因とする故障を優先してテスト
パターンを作成することができるため、断線を原因とす
る故障に有効なテストパターンを優先的に作成できる。

【００２１】請求項１２は、前記故障検出確率推定手段
が、前記論理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所
定の配線の周囲の配線密度に応じて前記故障検出確率を
推定することを特徴とする。請求項１２によれば、論理
回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の配線の周
囲の配線密度に応じて前記故障検出確率を推定してテス
トパターンを作成することにより、短絡の原因となる故
障を優先してテストパターンを作成できるため、短絡を
原因とする故障に有効なテストパターンを優先的に作成
できる。

【００２２】請求項１３は、前記テストパターン作成手
段を、前記故障検出確率推定手段で検出された故障検出
確率に基づいて全てのテストパターンを作成し、作成さ
れたテストパターンのうち、上位のテストパターンに検
出可能な故障がすべて含まれる下位のテストパターンを
削除することにより圧縮を行うことを特徴とする。請求
項１３によれば、テストパターン作成手段により全ての
テストパターンを生成した後、故障検出確率が上位のテ
ストパターンで検出された故障が含まれる下位テストパ
ターンを削除することによりテストパターンを圧縮す
る、いわゆる、スタティックコンパクションによりテス
トパターンを圧縮することにより、実際に発生しやすい
故障に有効なテストパターンを効率的に生成でき、生成
されたテストパターンによりテストを行うことにより故
障がある場合には早い段階で、故障を発見できるので、
テストを迅速に行える。

【００２３】請求項１４は、前記テストパターン作成手
段が、前記故障検出確率推定過程で得られた故障検出確
率に基づいて故障検出確率の高い順に順次故障が重複す
るパターンを圧縮しつつテストパターンを作成すること
を特徴とする。請求項１４によれば、故障検出確率推定
過程で得られた故障検出確率に基づいて故障検出確率の
高い順に順次故障が重複するパターンを圧縮しつつテス
トパターンを作成する、いわゆる、ダイナミックコンパ
クションによりテストパターンを圧縮することにより、
実際に発生しやすい故障に有効なテストパターンを効率
的に生成でき、生成されたテストパターンによりテスト
を行うことにより故障がある場合には早い段階で、故障
を発見できるので、テストを迅速に行える。

【００２４】請求項１５は、論理回路にテストパターン
を供給し、該テストパターンに応じて得られる出力パタ
ーンに応じて該論理回路の故障を検出する論理回路用試
験方法において、前記論理回路のレイアウトに応じて前
記論理回路で抽出すべき故障の発生確率を推定し、推定
された故障検出確率の高い順に順次圧縮して作成された
テストパターンを上位のテストパターンから順に順次、
前記論理回路に供給し、前記テストパターンセットを前
記論理回路に供給したときの前記論理回路の出力パター
ンを検出し、前記論理回路の出力パターンに応じて故障
を判定し、前記論理回路から故障を検出したときに、前
記テストパターンの供給を停止し、前記論理回路の試験
を中止することを特徴とする。

【００２５】請求項１５によれば、故障検出確率の高い
順に順次作成されたテストパターンから順次試験を行う
ので、早い段階で故障を検出でき、故障が検出されたと
きには直ちに試験が停止されるので、不要な試験を行う
ことがないので、試験を効率よく行える。請求項１６
は、論理回路にテストパターンを供給し、該テストパタ
ーンに応じて得られる出力パターンに応じて該論理回路
の故障を検出する論理回路用試験装置において、前記論
理回路のレイアウトに応じて前記論理回路で抽出すべき
故障の発生確率を推定し、推定された故障検出確率の高
い順に順次圧縮して作成されたテストパターンが記憶さ
れたテストパターン記憶手段と、前記論理回路の出力パ
ターンを検出する出力パターン検出手段と、前記テスト
パターン記憶手段に記憶された前記テストパターンを順
次前記論理回路に供給し、前記出力パターン検出手段で
検出される出力パターンに応じて故障を判定し、前記論
理回路から故障を検出したときに、前記テストパターン
の供給を停止し、前記論理回路の試験を中止する試験制
御手段とを有することを特徴とする。

【００２６】請求項１６によれば、故障検出確率の高い
順に順次作成されたテストパターンから順次試験を行う
ので、早い段階で故障を検出でき、故障が検出されたと
きには直ちに試験が停止されるので、不要な試験を行う
ことがないので、試験を効率よく行える。

【００２７】

【発明の実施の形態】図１に本発明の論理回路用試験シ
ステムの一実施例のブロック構成図を示す。本実施例の
論理回路用試験システム１は、主に、テストパターンを
作成するテストパターン作成装置２、及び、テストパタ
ーン作成装置２で生成されたテストパターンに応じて論
理集積回路３−１〜３−ｎを試験する試験装置４から構
成される。

【００２８】テストパターン作成装置２は、レイアウト
情報を記憶するレイアウト情報記憶部１１、テストパタ
ーン生成用のプログラムが格納されたプログラムメモリ
１２、プログラムメモリ１２に格納されたプログラムに
より処理が実行され、レイアウト情報記憶部１１に応じ
てテストパターンを生成する処理部１３、処理部１３の
処理における中間結果などを記憶する作業用メモリ１
４、処理部１３の処理により生成されたテストパターン
を記憶するテストパターン記憶部１５、命令及びデータ
などの入出力を行う入出力部１６、入出力部１６を介し
て命令、データを入力する入力装置１７、データの表示
などを行うディスプレイ１８から構成される。

【００２９】テストパターン作成装置２では、入力装置
１７からの指示に応じて処理部１３がプログラムメモリ
１２に予め格納されたテストパターン用プログラムを実
行して、レイアウト情報記憶部１１に予め記憶されたテ
ストしようとする論理集積回路３−１〜３−ｎのレイア
ウト情報に基づいてテストパターンを作成する。製造プ
ロセス上の基本的な問題がなく、量産状態にある半導体
集積回路においては突発的欠陥の発生する確率は回路内
でほぼ均等であると考えられる。縮退故障や短絡故障で
モデル化した場合、ある信号線が１回電源線と交差し、
別の信号線が１０回交差しているのでは、１０回交差し
ている信号線上の仮定故障のほうが実際の故障発生確率
が高いのは明らかである。

【００３０】そこで回路内の信号線をいくつかの観点か
ら調べることによって、それぞれの信号線上に想定され
た仮定故障の発生しやすさを見積もることができる。故
障情報（故障辞書）において、発生しやすい故障に高い
優先順位をつけて、優先度の高い故障を検出可能なテス
トパターンから先に処理するようにテストパターンの圧
縮及びこの後の処理をおこなうことによって、発生しや
すい故障をより早く検出することが可能なテストパター
ンをより短いシーケンスで作成できる。

【００３１】次に、テストパターン作成装置２によるテ
ストパターン作成動作について図面とともに説明する。
図２に本発明の論理回路用試験システムの一実施例の処
理部によるテストパターン作成時の動作フローチャート
を示す。処理部１３では、まず、レイアウト情報記憶部
１１からテストしようとする論理集積回路３−１〜３−
ｎのレイアウト情報を読み出し、故障を検出しようとす
る各信号線の故障発生度を推定することにより、仮定故
障の重み付けを行う（ステップＳ１）。

【００３２】次に、処理部１３は、各信号線にステップ
Ｓ１で推定された推定故障発生度を割り付ける（ステッ
プＳ２）。次に、処理部１３は、割り付けられた推定故
障発生度に応じて後述するようにテストパターンを作成
する（ステップＳ３）。まず、ステップＳ１の各信号線
の故障発生度を推定する処理について説明する。各信号
線の故障発生度を推定するには、回路の故障情報（故障
辞書）及びレイアウト情報から抽出した信号線の物理情
報を使用する。信号線の物理情報は、電源線または接地
線との交差回数、配線長、配線層交替回数、配線密度に
応じて設定されるポイントによって集計され、その合計
ポイントが故障発生度として使用される。

【００３３】交差回数に応じて設定されるポイントは、
例えば、注目する信号線が電源線または接地線と交差す
る回数が０回ならば、０ポイント、１回ならば１ポイン
ト、２回ならば２ポイント・・・１０回ならば１０ポイ
ントとし、１回から１０回までは交差回数をそのままポ
イントに、１１回以上は１０ポイントとする。図３に本
発明の論理回路用試験システムの一実施例の交差回数に
よる故障発生度推定処理の動作説明図を示す。

【００３４】図３で、論理ゲートＧ1 と論理ゲートＧ2
とは信号線ＬS1を介して接続され、論理ゲートＧ3 と論
理ゲートＧ2 とは信号線ＬS2を介して接続され、論理ゲ
ートＧ3 と論理ゲートＧ4 とは信号線ＬS2及び信号線Ｌ
S3を介して接続され、論理ゲートＧ2 の出力は信号線Ｌ
S4に接続され、論理ゲートＧ4 の出力は信号線ＬS5に接
続される。

【００３５】このとき、信号線ＬS1、ＬS2は、電源線又
は接地線ＬD1〜ＬD3の３本の電源線又は接地線と交差す
るので、３ポイントに設定される。また、信号線ＬS3
は、電源線又は接地線ＬD5〜ＬD10 の６本の電源線又は
接地線と交差するので、６ポイントに設定される。さら
に、信号線ＬS4は、電源線又は接地線ＬD7〜ＬD13 の７
本の電源線又は接地線と交差するので、７ポイント、信
号線ＬS5は、電源線又は接地線ＬD13 の１本の電源線又
は接地線と交差するので、１ポイントに設定される。

【００３６】また、配線長応じたポイントは、平均配線
長の５分の１を１ポイント、平均配線長の５分の２を２
ポイント、平均配線長の５分の３を３ポイント・・・平
均配線長の５分の１０以上を１０ポイントとして、最小
０から最大１０までのポイントとして割り振られる。図
４に本発明の論理回路用試験システムの一実施例の配線
長による故障発生度推定処理の動作説明図を示す。

【００３７】図４で、論理ゲートＧ11と論理ゲートＧ12
とは信号線ＬS11 により接続され、論理ゲートＧ13と論
理ゲートＧ14とは信号線ＬS12 により接続されているも
のとする。信号線ＬS11 は、論理ゲートＧ11と論理ゲー
トＧ12とを直線的に接続しており、その配線長は、平均
配線長ｄ0 の３倍の３ｄ0 とされている。このため、信
号線ＬS11 には３ポイントが設定される。

【００３８】また、論理ゲートＧ13と論理ゲートＧ14と
は、直線距離では、論理ゲートＧ11と論理ゲートＧ12と
の距離と同じ距離となるように配置されているが、信号
線ＬS12 は、障害物ａ、ｂを避けて配置されており、そ
の配線長は、平均配線長ｄ0の５倍の５ｄ0 とされてい
る。このため、信号線ＬS12 には５ポイントが設定され
る。

【００３９】また、配線層交替回数に応じたポイント
は、一つの配線層から他の配線層に切り替わる回数であ
る交替回数が０回ならば０ポイント、１回ならば１ポイ
ント、２回ならば２ポイント・・・１０回以上なら１０
ポイントとし、最小０ポイントから最大１０ポイントに
設定される。図５に本発明の論理回路用試験システムの
一実施例の配線層交替による故障発生度推定処理の動作
説明図を示す。

【００４０】図５で、論理ゲートＧ21と論理ゲートＧ22
とは信号線ＬS21 により接続され、論理ゲートＧ23と論
理ゲートＧ22とは信号線ＬS22 により接続されているも
のとする。論理ゲートＧ21と論理ゲートＧ22とを接続す
る信号線ＬS21 は、配線層Ｓ1 に配線され、論理ゲート
Ｇ11と論理ゲートＧ12とを直線的に接続しており、配線
層交替回数は０回であるので、０ポイントが設定され
る。

【００４１】また、同一の配線層Ｓ1 に形成された論理
ゲートＧ23と論理ゲートＧ22を接続する信号線ＬS22
は、配線層Ｓ1 に配線された信号線ＬS22-1 、ＬS22-3
、配線層Ｓ2 に配線された信号線ＬS22-2 から構成さ
れる。このため、信号線ＬS22 では、配線層Ｓ1 に形成
された信号線ＬS22-1 と配線層Ｓ2 に形成される信号線
ＬS22-2 とを接続するために、配線層Ｓ1 から配線層Ｓ
2 に配線層交替が行われ、また、配線層Ｓ2 に形成され
た信号線ＬS22-2 と配線層Ｓ1 に形成される信号線ＬS2
2-3 とを接続するために、配線層Ｓ2 から配線層Ｓ1 に
配線層交替が行われ、よって、計２回の配線層交替が行
われことになる。したがって、信号線ＬS22の配線層交
替によるポイントは２ポイントに設定される。

【００４２】また、配線密度によるポイントは、平均配
線密度の５分の１を１ポイントとして、各信号線におい
て最も混んでいる箇所での配線密度によってポイントを
設定する。例えば、信号線において最も混んでいる箇所
での配線密度が平均配線密度の５分の１であれば、１ポ
イント、配線密度が平均配線密度の５分の２であれば、
２ポイント、配線密度が平均配線密度の５分の３であれ
ば、３ポイント・・・配線密度が平均配線密度の５分の
１０以上であれば、１０ポイントに設定される。

【００４３】図６に本発明の論理回路用試験システムの
一実施例の配線層交替による故障発生度推定処理の動作
説明図を示す。図６で、論理ゲートＧ31と論理ゲートＧ
32とは、信号線ＬS31 により接続され、論理ゲートＧ33
と論理ゲートＧ34とは、信号線ＬS32 により接続され、
論理ゲートＧ35と論理ゲートＧ36とは、信号線ＬS33 に
より接続され、論理ゲートＧ37と論理ゲートＧ38とは、
信号線ＬS34 により接続される。

【００４４】論理ゲートＧ31と論理ゲートＧ32とを接続
する信号線ＬS31 は、周囲に他の信号線が存在せず、配
線密度は平均配線密度の５分の１以下であるので、０ポ
イントに設定される。また、論理ゲートＧ33と論理ゲー
トＧ34とを接続する信号線ＬS32 、論理ゲートＧ35と論
理ゲートＧ36とを接続する信号線ＬS33 、論理ゲートＧ
37と論理ゲートＧ38とを接続する信号線ＬS34 は、互い
に平行に、かつ、近接して配置され、最も配線密度が高
くなる領域Ａで、配線密度が平均配線密度の５分の７程
度となるとすると、信号線ＬS32 、信号線ＬS33 、信号
線ＬS34 には、それぞれ７ポイントが設定される。

【００４５】処理部１３は、以上のようにして交差回
数、配線長、配線層交替回数、配線密度に応じてそれぞ
れ設定されたポイントを各信号線毎に割り当て、集計結
果を作業用メモリ１４に格納する。次に、処理部１３
は、ステップＳ２で求められ、作業用メモリ１４に格納
された交差回数、配線長、配線層交替回数、配線密度に
応じてそれぞれ設定されたポイントの信号線毎の集計結
果から故障発生度に対応する合計ポイントを検出し、合
計ポイントの大きい順にテストパターン作成及び必要最
小限のテストパターンだけを抽出する圧縮処理等の処理
を行い、テストパターンを作成する。

【００４６】処理部１３で行われるテストパターンの作
成、圧縮等の処理としては、テストパターン生成中に同
時に圧縮処理を行うダイナミックコンパクション、及
び、交差回数、配線長、配線層交替回数、配線密度に応
じてそれぞれ設定されたポイントに応じて不要なテスト
パターンの削除や効率よいテストが可能なようにテスト
パターンを並べ替えるスタティックコンパクションがあ
る。

【００４７】まず、ダイナミックコンパクションにより
テストパターンを作成する場合について図面とともに説
明する。図７に本発明の論理回路用試験システムの一実
施例のダイナミックコンパクションによりテストパター
ンを生成しようとする論理回路の一例のブロック構成図
を示す。

【００４８】図７に示す論理回路は説明を簡単するため
に、論理ゲートＧ41、Ｇ42、Ｇ43、Ｇ44の４つの論理ゲ
ートから構成する。図７において論理ゲートＧ41には信
号線Ａ、Ｂが接続される。論理ゲートＧ41は、信号線
Ａ、Ｂの論理に応じた出力パターンを信号線Ｅに出力す
る。信号線Ｃは、信号線Ｆ、Ｇに分岐される。信号線Ｇ
は論理ゲートＧ42に接続される。論理ゲートＧ42には信
号線Ｄ、Ｇが接続される。論理ゲートＧ42は信号線Ｄ、
Ｇの論理に応じた出力パターンを信号線Ｊに出力する。

【００４９】また、信号線Ｆは、論理ゲートＧ43に接続
される。論理ゲートＧ43は、信号線Ｆの論理を反転させ
て信号線Ｈに出力する。信号線Ｅ、及び、信号線Ｈは、
論理ゲートＧ44に供給される。論理ゲートＧ44は、信号
線Ｅ、Ｈの論理に応じた出力パターンを信号線Ｉから出
力する。図８は本発明の論理回路用試験システムの一実
施例のダイナミックコンパクションによりテストパター
ンを生成しようとする論理回路の一例のポイント集計表
を示す図である。

【００５０】図７に示すような論理回路の各信号線Ａ〜
Ｊに対して交差回数、配線長、配線層交替回数、配線密
度に応じてそれぞれ設定されたポイントを求めたところ
図８に示すようなポイント集計表が得られたとする。図
８に示すように信号線Ａ〜Ｊのポイント値を見ると、信
号線Ｄの合計ポイントが２４ポイントで他の信号線Ａ〜
Ｃ、Ｅ〜Ｊのうちで一番高いポイントとなっている。そ
こで、信号線Ｄの「０」の縮退故障ｓａ0 をターゲット
にしたテスト生成について考える。

【００５１】図７で、信号線Ｃの論理を「０」、信号線
Ｄの論理を「１」とすることにより、故障の影響を信号
線Ｊの論理として伝搬することができる。この時には、
信号線Ａ、Ｂの入力値は「Ｘ」（don't care）のままで
ある。次に、このテストパターンにマージ可能なテスト
パターンを生成するときのターゲットとなる故障を考え
る。

【００５２】このテストパターンにマージ可能なターゲ
ット故障の候補として、信号線Ａの「０」の縮退故障ｓ
ａ0 や信号線Ｂの「０」の縮退故障ｓａ0 などを挙げら
れる。このうち、図８で一番ポイントの高い信号線の故
障は信号線Ｂの「０」縮退故障ｓａ0 である。そこで、
信号線Ｂの「０」縮退故障ｓａ0 についてすでに生成し
たテストパターンにマージ可能なように、信号線Ａ、Ｂ
に論理を割り付ける図９に本発明の論理回路用試験シス
テムの一実施例のダイナミックコンパクションによりテ
ストパターンを作成しようとする論理回路の一例の動作
説明図を示す。

【００５３】図９に示すように信号線Ａに論理「０」、
信号線Ｂに論理「１」を割り当てることにより信号線Ｄ
のテストパターンのマージ可能なテストパターンを作成
できる。残った故障に対して、以上のことを繰り返すこ
とにより、発生しやすい故障が早い順序で実施されるよ
うなテストパターンが生成される。

【００５４】生成されたテストパターンはテストパター
ン記憶部１５にテスト順に順次格納される。なお、テス
トパターンのターゲットとする故障を選択する際に、同
時に検出する故障のある信号線を考慮することにより、
多く発生しやすい故障を早く検出可能なテストパターン
を生成することができる。

【００５５】次にスタティックコンパクションによりテ
ストパターンを作成する場合について図面とともに説明
する。スタティックコンパクションでは、あるテストパ
ターンについて、そのテストパターンが検出可能な故障
がそれ以外のテストパターンで全て検出される場合、そ
のテストパターンを冗長なテストパターンとして、テス
トパターンセットから削除する。通常は目標とする仮定
故障の重みは意識しないが、本方法では、通常のテスト
パターン圧縮を故障情報（故障辞書）にあるポイントと
あわせて行う。

【００５６】１つのテストパターンが検出した故障のポ
イントの総数が大きなものから優先的にテストするテス
トパターンを作成する。以上により、全体として発生し
やすい故障をより早く検出する効率良いテストパターン
圧縮が実現される。図１０に本発明の論理回路用試験シ
ステムの一実施例のスタティックコンパクションにより
テストパターンを作成しよとする論理回路の一例のブロ
ック構成図を示す。

【００５７】図１０に示す論理回路は説明を簡単にする
ため、論理ゲートＧ51、Ｇ52、Ｇ53の３つの論理ゲート
から構成する。図１０において論理ゲートＧ51には信号
線Ａ、Ｂが接続される。論理ゲートＧ51は、信号線Ａ、
Ｂの論理に応じた出力パターンを信号線Ｅに出力する。
また、論理ゲートＧ52には信号線Ｃ、Ｄが接続される。
論理ゲートＧ52は信号線Ｃ、Ｄの論理に応じた出力パタ
ーンを信号線Ｆに出力する。

【００５８】さらに、論理ゲートＧ53には、信号線Ｅ、
Ｆが接続される。論理ゲートＧ53は、信号線Ｅ、Ｆの論
理に応じた論理を信号線Ｇに出力する。図１１に本発明
の論理回路用試験システムの一実施例のスタティックコ
ンパクションによりテストパターンを作成しよとする論
理回路の一例のポイント集計表を示す。

【００５９】スタティックコンパクションでは、各配線
Ａ〜Ｇ毎に図３〜図６で説明したように交差回数、配線
長、配線層交替回数、配線密度に応じたポイントを算出
し、図１１に示すような配線Ａ〜Ｇ毎の交差回数、配線
長、配線層交替回数、配線密度に応じたポイント、及
び、ポイント合計、順位を集計した集計表を作成する。
次に、テストパターンを作成する。

【００６０】図１２〜図１５に本発明の論理回路用試験
システムの一実施例のスタティックコンパクションによ
るテストパターン作成動作を説明するための図を示す。
図１０に示すような論理回路からは、例えば、図１２に
示すようなテストパターン１〜５の５つのテストパター
ンが作成されたとする。図１２では、各配線Ａ〜Ｇの故
障ＳＡ0 及び故障ＳＡ1 について、テストパターン１〜
５の各テストパターンでは、「○」で示した故障の検出
が可能である。

【００６１】図１２で求められたテストパターン１〜５
には、配線Ａ〜Ｇのうちテスト可能なポイントの合計が
付与される。例えば、図１２で、テストパターン１は、
テストパターン１で「○」が付与されテスト可能な配線
Ｂのポイントである「１９」、配線Ｄのポイントである
「２６」、配線Ｅのポイントである「１２」、配線Ｆの
ポイントである「１４」、配線Ｇのポイントである「１
０」を加算した「９１」が合計ポイントが付与される。
また、テストパターン２は、テストパターン２で「○」
が付与され、テスト可能な配線Ｂのポイントである「１
９」、配線Ｃのポイントである「１３」、配線Ｅのポイ
ントである「１２」、配線Ｆのポイントである「１
４」、配線Ｇのポイントである「１０」を加算した「６
８」が合計ポイントとして付与される。テストパターン
３〜５に対しても同様のポイント合計が算出される。図
１２に示すようにテストパターン３のポイント合計は
「７２」、テストパターン４のポイント合計が「６
３」、テストパターン５のポイント合計が「９３」とな
る。

【００６２】図１２に付与されたポイント合計の計算結
果から、テストパターン５のポイント合計「９３」が一
番ポイント合計が多く、試験装置ではじめに試験を行う
テストパターンとして最適であるので、テストパターン
５を試験装置により最初に試験するテストパターンとし
て設定する。２番目に実施するテストパターンを求める
ときには、図１３に示すようにテストパターン５でテス
トされる配線ＡのＳＡ0 故障、配線ＤのＳＡ1 故障、配
線ＥのＳＡ1 故障、配線ＦのＳＡ1 故障、配線ＧのＳＡ
1 故障を除いてポイント合計を算出する。テストパター
ン５でテストされる配線ＡのＳＡ0 故障、配線ＤのＳＡ
1 故障、配線ＥのＳＡ1 故障、配線ＦのＳＡ1 故障、配
線ＧのＳＡ1 故障を除いてポイント合計を算出すると、
図１３に示すようにテストパターン１のポイント合計が
「１９」、テストパターン２のポイント合計が「３
２」、テストパターン３のポイント合計が「７２」、テ
ストパターン４のポイント合計が「６３」となる。

【００６３】図１３に示す計算結果から、テストパター
ン３のポイント合計「７２」が一番ポイント合計が多い
ので、テストパターン３をテストパターン５に続けて実
施すべく設定される。３番目に実施するテストパターン
は図１４に示すようにテストパターン５及びテストパタ
ーン３でテストされる配線ＡのＳＡ0 、ＳＡ1 故障、配
線ＢのＳＡ1故障、配線ＤのＳＡ1 故障、配線ＥのＳＡ0
、ＳＡ1 故障、配線ＦのＳＡ1 故障、配線ＧのＳＡ0
、ＳＡ1 故障を除いてポイント合計を算出する。図１
４に示すように配線ＡのＳＡ0 、ＳＡ1 故障、配線Ｂの
ＳＡ1 故障、配線ＤのＳＡ1 故障、配線ＥのＳＡ0 、Ｓ
Ａ1 故障、配線ＦのＳＡ1 故障、配線ＧのＳＡ0 、ＳＡ
1故障を除いてポイント合計を算出すると、テストパタ
ーン１のポイント合計が「１９」、テストパターン２の
ポイント合計が「３２」、テストパターン３のポイント
合計が「５３」となる。

【００６４】図１４に示す計算結果から、テストパター
ン４のポイント合計「５３」が一番ポイント合計が多い
ので、テストパターン４をテストパターン５、テストパ
ターン３に続けて実施すべく設定される。４番目に実施
するテストパターンは図１５に示すようにテストパター
ン５、３、４でテストされる配線ＡのＳＡ0 、ＳＡ1 故
障、配線ＢのＳＡ1 故障、配線ＣのＳＡ0 故障、配線Ｄ
のＳＡ0 、ＳＡ1 故障、配線ＥのＳＡ0 、ＳＡ1 故障、
配線ＦのＳＡ0 、ＳＡ1 故障、配線ＧのＳＡ0 、ＳＡ1
故障を除いてポイント合計を算出する。図１５に示すよ
うに配線ＡのＳＡ0 、ＳＡ1 故障、配線ＢのＳＡ1故
障、配線ＣのＳＡ0 故障、配線ＤのＳＡ0 、ＳＡ1 故
障、配線ＥのＳＡ0 、ＳＡ1 故障、配線ＦのＳＡ0 、Ｓ
Ａ1 故障、配線ＧのＳＡ0 、ＳＡ1 故障を除いてポイン
ト合計を算出すると、テストパターン２のポイント合計
が「３２」、テストパターン１のポイント合計が「１
９」となる。

【００６５】図１５に示す計算結果から、テストパター
ン２のポイント合計「３２」がテストパターン１のポイ
ント合計「１９」より大きくなるので、テストパターン
２をテストパターン５、テストパターン３、テストパタ
ーン４に続けて実施すべく設定される。また、図１５に
おいてテストパターン５、３、４、２を実行することに
より、全ての故障、すなわち、配線ＡのＳＡ0 、ＳＡ1
故障、配線ＢのＳＡ0 、ＳＡ1故障、配線ＣのＳＡ0 故
障、配線ＤのＳＡ0 、ＳＡ1 故障、配線ＥのＳＡ0 、Ｓ
Ａ1 故障、配線ＦのＳＡ0 、ＳＡ1 故障、配線ＧのＳＡ
0 、ＳＡ1 故障がテストされるので、テストパターン１
の実行は不要となり、削除される。

【００６６】以上のようにテストパターン５，３，４，
２の順にテストを行うことにより発生しやすい故障を早
い段階で検出可能なテストパターンの順序を設定でき
る。なお、本実施例では、ダイナミックコンパクション
とスタティックコンパクションとをそれぞれ別々に実施
した例について説明したが、ダイナミックコンパクショ
ンにより生成、圧縮されたテストパターンに対してスタ
ティックコンパクションを実施し、さらに、圧縮、並べ
換えを行うことにより、より最適なテストパターン及び
テスト順序を得ることができる。

【００６７】以上のようにして得られたテストパターン
により論理回路３−１〜３−ｎに対して試験が実施され
る。チップが製造された後、テスターでの試験が実施さ
れる。良品チップではすべてのテストパターンを正常に
パスするが、不良品では途中で期待値と測定値に食い違
いが生じる。試験時間の短縮のために不良品であること
が判ったらただちに試験を打ち切り、次のチップの試験
に移る。

【００６８】図１６に本発明の論理回路用試験システム
の一実施例の試験装置の動作フローチャートを示す。試
験装置４は、入力装置１７から試験開始指示があると、
まず、テストパターン数を示すｎを「１」に設定する
（ステップＳ２−１）。次に、試験装置４は、テストパ
ターン作成装置２で作成され、テストパターン記憶部１
５に記憶されたテストパターンをテストパターン作成装
置２で予め設定された順位のうちｎ番目に設定されたテ
ストパターンを読み出し、論理回路３−１〜３−ｎに供
給する（ステップＳ２−２、Ｓ２−３）。

【００６９】試験装置４は、ステップＳ２−３で読み出
されたテストパターンに応じて論理回路３−１〜３−ｎ
から出力される出力パターンを検出する（ステップＳ２
−４）。 試験装置４はステップＳ２−４で読み出され
た論理回路３−１〜３−ｎの検出出力パターンが正常論
理か否かを判定する（ステップＳ２−５）。ステップＳ
２−５で、論理回路３−１〜３−ｎの検出出力パターン
が正常論理でない、すなわち、論理回路３−１〜３−ｎ
に故障があれば、以降の試験を中止し、故障を報知する
（ステップＳ２−６、Ｓ２−７）。

【００７０】また、ステップＳ２−５で論理回路３−１
〜３−ｎの検出出力パターンが正常論理、すなわち、論
理回路３−１〜３−ｎに故障がなければ、次に、ｎが設
定された最大のテストパターン順位か否かを判定する
（ステップＳ２−８）。ステップＳ２−８でｎが設定さ
れた最大のテストパターン順位に達していなければ、ｎ
をｎ＋１に設定して、ステップＳ２−２に戻って、次に
設定されたテストパターンによる故障判定を実行する
（ステップＳ２−９）。

【００７１】また、ステップＳ２−８で、ｎが設定され
た最大のテストパターン順位になると、論理回路３−１
〜３−ｎには故障がないと判断できるので、正常である
旨を報知し、次の論路回路３−１〜３−ｎの試験を行う
（ステップＳ２−１０）。本実施例の試験装置４によれ
ば、不良品であることが判ったらただちに試験を打ち切
り、次のチップの試験に移るので、試験時間を短縮でき
る。

【００７２】

【発明の効果】上述の如く、本発明の請求項１によれ
ば、論理回路のレイアウトに応じて推定された故障の発
生確率の高い順に、かつ、故障が重複するパターンが圧
縮されたテストパターンが生成されるため、実際に発生
しやすい故障に有効なテストパターンを効率的に生成で
き、生成されたテストパターンによりテストを行うこと
により故障がある場合には早い段階で、故障を発見でき
るので、テストを迅速に行える等の特長を有する。

【００７３】請求項２によれば、論理回路のレイアウト
上、故障を抽出すべき所定の配線が他の配線と交差する
回数に応じて故障検出確率を推定して、テストパターン
を作成することにより、縮退故障の主な原因である電源
線または接地線などの配線を優先することができるた
め、実際に発生しやすい故障に有効なテストパターンを
優先的に作成できる等の特長を有する。

【００７４】請求項３によれば、論理回路のレイアウト
上、故障を抽出すべき所定の配線の実配線長に応じて故
障検出確率を推定して、テストパターンを作成すること
により、断線や短絡の可能性の大きい実配線長が長い配
線の故障を優先することができるため、断線や短絡を原
因とする故障に有効なテストパターンを優先的に作成で
きる等の特長を有する。

【００７５】請求項４によれば、論理回路のレイアウト
上、故障を抽出すべき所定の配線が配線途中で配線層を
替える回数に応じて故障検出確率を推定して、テストパ
ターンを作成することにより、配線の断線を原因とする
故障を優先してテストパターンを作成することができる
ため、断線を原因とする故障に有効なテストパターンを
優先的に作成できる等の特長を有する。

【００７６】請求項５によれば、論理回路のレイアウト
上、故障を抽出すべき所定の配線の周囲の配線密度に応
じて前記故障検出確率を推定してテストパターンを作成
することにより、短絡の原因となる故障を優先してテス
トパターンを作成できるため、短絡を原因とする故障に
有効なテストパターンを優先的に作成できる等の特長を
有する。

【００７７】請求項６によれば、テストパターン生成過
程により全てのテストパターンを生成した後、第１の圧
縮過程により故障検出確率が上位のテストパターンで検
出された故障が含まれる下位テストパターンを削除する
ことによりテストパターンを圧縮する、いわゆる、スタ
ティックコンパクションによりテストパターンを圧縮す
ることにより、実際に発生しやすい故障に有効なテスト
パターンを効率的に生成でき、生成されたテストパター
ンによりテストを行うことにより故障がある場合には早
い段階で、故障を発見できるので、テストを迅速に行え
る等の特長を有する。

【００７８】請求項７によれば、故障検出確率推定過程
で得られた故障検出確率に基づいて故障検出確率の高い
順に順次故障が重複するパターンを圧縮しつつテストパ
ターンを作成する、いわゆる、ダイナミックコンパクシ
ョンによりテストパターンを圧縮することにより、実際
に発生しやすい故障に有効なテストパターンを効率的に
生成でき、生成されたテストパターンによりテストを行
うことにより故障がある場合には早い段階で、故障を発
見できるので、テストを迅速に行える等の特長を有す
る。

【００７９】請求項８によれば、論理回路のレイアウト
に応じて推定された故障の発生確率の高い順に、かつ、
故障が重複するパターンが圧縮されたテストパターンが
生成されるため、実際に発生しやすい故障に有効なテス
トパターンを効率的に生成でき、生成されたテストパタ
ーンによりテストを行うことにより故障がある場合には
早い段階で、故障を発見できるので、テストを迅速に行
える等の特長を有する。

【００８０】請求項９によれば、論理回路のレイアウト
上、故障を抽出すべき所定の配線が他の配線と交差する
回数に応じて故障検出確率を推定して、テストパターン
を作成することにより、縮退故障の主な原因である電源
線または接地線などの配線を優先することができるた
め、実際に発生しやすい故障に有効なテストパターンを
優先的に作成できる等の特長を有する。

【００８１】請求項１０によれば、論理回路のレイアウ
ト上、故障を抽出すべき所定の配線の実配線長に応じて
故障検出確率を推定して、テストパターンを作成するこ
とにより、断線や短絡の可能性の大きい実配線長が長い
配線の故障を優先することができるため、断線や短絡を
原因とする故障に有効なテストパターンを優先的に作成
できる等の特長を有する。

【００８２】請求項１１によれば、論理回路のレイアウ
ト上、故障を抽出すべき所定の配線が配線途中で配線層
を替える回数に応じて故障検出確率を推定して、テスト
パターンを作成することにより、配線の断線を原因とす
る故障を優先してテストパターンを作成することができ
るため、断線を原因とする故障に有効なテストパターン
を優先的に作成できる等の特長を有する。

【００８３】請求項１２によれば、論理回路のレイアウ
ト上、故障を抽出すべき所定の配線の周囲の配線密度に
応じて前記故障検出確率を推定してテストパターンを作
成することにより、短絡の原因となる故障を優先してテ
ストパターンを作成できるため、短絡を原因とする故障
に有効なテストパターンを優先的に作成できる等の特長
を有する。

【００８４】請求項１３によれば、テストパターン作成
手段により全てのテストパターンを生成した後、故障検
出確率が上位のテストパターンで検出された故障が含ま
れる下位テストパターンを削除することによりテストパ
ターンを圧縮する、いわゆる、スタティックコンパクシ
ョンによりテストパターンを圧縮することにより、実際
に発生しやすい故障に有効なテストパターンを効率的に
生成でき、生成されたテストパターンによりテストを行
うことにより故障がある場合には早い段階で、故障を発
見できるので、テストを迅速に行える等の特長を有す
る。

【００８５】請求項１４によれば、故障検出確率推定過
程で得られた故障検出確率に基づいて故障検出確率の高
い順に順次故障が重複するパターンを圧縮しつつテスト
パターンを作成する、いわゆる、ダイナミックコンパク
ションによりテストパターンを圧縮することにより、実
際に発生しやすい故障に有効なテストパターンを効率的
に生成でき、生成されたテストパターンによりテストを
行うことにより故障がある場合には早い段階で、故障を
発見できるので、テストを迅速に行える等の特長を有す
る。

【００８６】請求項１５によれば、故障検出確率の高い
順に順次作成されたテストパターンから順次試験を行う
ので、早い段階で故障を検出でき、故障が検出されたと
きには直ちに試験が停止されるので、不要な試験を行う
ことがないので、試験を効率よく行える等の特長を有す
る。請求項１６によれば、故障検出確率の高い順に順次
作成されたテストパターンから順次試験を行うので、早
い段階で故障を検出でき、故障が検出されたときには直
ちに試験が停止されるので、不要な試験を行うことがな
いので、試験を効率よく行える等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の論理回路用試験システムの一実施例の
ブロック構成図である。

【図２】本発明の論理回路用試験システムの一実施例の
処理部の動作フローチャートを示す。

【図３】本発明の論理回路用試験システムの一実施例の
交差回数による故障発生度推定処理の動作説明図であ
る。

【図４】本発明の論理回路用試験システムの一実施例の
配線長による故障発生度推定処理の動作説明図である。

【図５】本発明の論理回路用試験システムの一実施例の
配線層交替回数による故障発生度推定処理の動作説明図
である。

【図６】本発明の論理回路用試験システムの一実施例の
配線密度による故障発生度推定処理の動作説明図であ
る。

【図７】本発明の論理回路用試験システムの一実施例の
ダイナミックコンパクションによりテストパターンを生
成しようとする論理回路の一例のブロック構成図であ
る。

【図８】本発明の論理回路用試験システムの一実施例の
ダイナミックコンパクションによりテストパターンを生
成しようとする論理回路の一例のポイント集計表を示す
図である。

【図９】本発明の論理回路用試験システムの一実施例の
ダイナミックコンパクションによりテストパターンを生
成しようとする論理回路の一例の動作説明図である。

【図１０】本発明の論理回路用試験システムの一実施例
のスタティックコンパクションによりテストパターンを
生成しようとする論理回路の一例のブロック構成図であ
る。

【図１１】本発明の論理回路用試験システムの一実施例
のスタティックコンパクションによりテストパターンを
生成しようとする論理回路の一例のポイント集計表を示
す図である。

【図１２】本発明の論理回路用試験システムの一実施例
のスタティックコンパクションによるテストパターン生
成動作を説明するための図である。

【図１３】本発明の論理回路用試験システムの一実施例
のスタティックコンパクションによるテストパターン生
成動作を説明するための図である。

【図１４】本発明の論理回路用試験システムの一実施例
のスタティックコンパクションによるテストパターン生
成動作を説明するための図である。

【図１５】本発明の論理回路用試験システムの一実施例
のスタティックコンパクションによるテストパターン生
成動作を説明するための図である。

【図１６】本発明の論理回路用試験システムの一実施例
の試験装置の動作フローチャートである。

【符号の説明】

１ 論理回路用試験システム ２ 論理回路用テストパターン作成装置 ３−１〜３−ｎ 論理回路 ４ 試験装置 １１ レイアウト情報記憶部 １２ プログラムメモリ １３ 処理部 １４作業用メモリ １５ テストパターン記憶部 １６ 入出力部 １７ 入力装置 １８ ディスプレイ Ｇ1 〜Ｇ4 、Ｇ11〜Ｇ14、Ｇ21〜Ｇ23、Ｇ31〜Ｇ38、Ｇ
41〜Ｇ44、Ｇ51〜Ｇ53論理ゲート

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 論理回路の出力パターンに応じて該論理
   回路の故障を検出するために該論理回路に供給するテス
   トパターンを作成する論理回路用テストパターン作成方
   法において、 前記論理回路のレイアウトに応じて前記論理回路で抽出
   すべき故障の発生確率を推定する故障検出確率推定過程
   と、 前記故障検出確率推定過程で得られた故障検出確率に基
   づいて故障検出確率の高い順に配列され、かつ、故障が
   重複するパターンが圧縮されたテストパターンを作成す
   るテストパターン作成過程とを有することを特徴とする
   論理回路用テストパターン作成方法。
2. 【請求項２】 前記故障検出確率推定過程は、前記論理
   回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の配線が他
   の配線と交差する回数に応じて前記故障検出確率を推定
   することを特徴とする請求項１記載の論理回路用テスト
   パターン作成方法。
3. 【請求項３】 前記故障検出確率推定過程は、前記論理
   回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の配線の実
   配線長に応じて前記故障検出確率を推定することを特徴
   とする請求項１又は２記載の論理回路用テストパターン
   作成方法。
4. 【請求項４】 前記故障検出確率推定過程は、前記論理
   回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の配線が配
   線途中で配線層を替える回数に応じて前記故障検出確率
   を推定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
   一項記載の論理回路用テストパターン作成方法。
5. 【請求項５】 前記故障検出確率推定過程は、前記論理
   回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の配線の周
   囲の配線密度に応じて前記故障検出確率を推定すること
   を特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項記載の論理
   回路用テストパターン作成方法。
6. 【請求項６】 前記テストパターン作成過程は、前記故
   障検出確率推定過程で得られた故障検出確率に基づいて
   故障検出確率の高い順に全てのテストパターンを生成す
   るテストパターン生成過程と、 前記テストパターン生成過程で作成されたテストパター
   ン中、前記故障検出確率が上位のテストパターンで検出
   された故障が含まれる下位テストパターンを削除する第
   １の圧縮過程とを有することを特徴とする請求項１乃至
   ５のいずれか一項記載の論理回路用テストパターン作成
   方法。
7. 【請求項７】 前記テストパターン作成過程は、前記故
   障検出確率推定過程で得られた故障検出確率に基づいて
   故障検出確率の高い順に順次故障が重複するパターンを
   圧縮しつつテストパターンを作成する第２の圧縮過程を
   有することを特徴とする請求項１記載の論理回路用テス
   トパターン作成方法。
8. 【請求項８】 論理回路の出力パターンに応じて該論理
   回路の故障を検出するために該論理回路に供給するテス
   トパターンを作成する論理回路用テストパターン作成装
   置において、 前記論理回路のレイアウト情報を記憶するレイアウト情
   報記憶手段と、 前記レイアウト情報記憶手段に記憶された前記論理回路
   のレイアウト情報に応じて前記論理回路で抽出すべき故
   障の発生確率を推定する故障検出確率推定手段と、 前
   記故障検出確率推定手段で検出された故障検出確率の高
   い順に配列され、かつ、故障が重複するテストパターン
   が圧縮されたテストパターンを作成するテストパターン
   作成手段とを有することを特徴とする論理回路用テスト
   パターン作成装置。
9. 【請求項９】 前記故障検出確率推定手段は、前記論理
   回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の配線が他
   の配線と交差する回数に応じて前記故障検出確率を推定
   することを特徴とする請求項８記載の論理回路用テスト
   パターン作成装置。
10. 【請求項１０】 前記故障検出確率推定手段は、前記論
    理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の配線の
    実配線長に応じて前記故障検出確率を推定することを特
    徴とする請求項８又は９記載の論理回路用テストパター
    ン作成装置。
11. 【請求項１１】 前記故障検出確率推定手段は、前記論
    理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の配線が
    配線途中で配線層を替える回数に応じて前記故障検出確
    率を推定することを特徴とする請求項９乃至１０のいず
    れか一項記載の論理回路用テストパターン作成装置。
12. 【請求項１２】 前記故障検出確率推定手段は、前記論
    理回路のレイアウト上、故障を抽出すべき所定の配線の
    周囲の配線密度に応じて前記故障検出確率を推定するこ
    とを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか一項記載の
    論理回路用テストパターン作成装置。
13. 【請求項１３】 前記テストパターン作成手段は、前記
    故障検出確率推定手段で検出された故障検出確率に基づ
    いて全てのテストパターンを作成し、作成されたテスト
    パターンのうち、上位のテストパターンに検出可能な故
    障がすべて含まれる下位のテストパターンを削除するこ
    とにより圧縮を行うことを特徴とする請求項９乃至１１
    のいずれか一項記載の論理回路用テストパターン作成装
    置。
14. 【請求項１４】 前記テストパターン作成手段は、前記
    故障検出確率推定過程で得られた故障検出確率に基づい
    て故障検出確率の高い順に順次故障が重複するパターン
    を圧縮しつつテストパターンを作成することを特徴とす
    る請求項９乃至１１のいずれか一項記載の論理回路用テ
    ストパターン作成装置。
15. 【請求項１５】 論理回路にテストパターンを供給し、
    該テストパターンに応じて得られる出力パターンに応じ
    て該論理回路の故障を検出する論理回路用試験方法にお
    いて、 前記論理回路のレイアウトに応じて前記論理回路で抽出
    すべき故障の発生確率を推定し、推定された故障検出確
    率の高い順に順次圧縮して作成されたテストパターンを
    上位のテストパターンから順に順次、前記論理回路に供
    給し、 前記テストパターンセットを前記論理回路に供給したと
    きの前記論理回路の出力パターンを検出し、 前記論理回路の出力パターンに応じて故障を判定し、 前記論理回路から故障を検出したときに、前記テストパ
    ターンの供給を停止し、前記論理回路の試験を中止する
    ことを特徴とする論理回路用試験方法。
16. 【請求項１６】 論理回路にテストパターンを供給し、
    該テストパターンに応じて得られる出力パターンに応じ
    て該論理回路の故障を検出する論理回路用試験装置にお
    いて、 前記論理回路のレイアウトに応じて前記論理回路で抽出
    すべき故障の発生確率を推定し、推定された故障検出確
    率の高い順に順次圧縮して作成されたテストパターンが
    記憶されたテストパターン記憶手段と、 前記論理回路の出力パターンを検出する出力パターン検
    出手段と、 前記テストパターン記憶手段に記憶された前記テストパ
    ターンを順次前記論理回路に供給し、前記出力パターン
    検出手段で検出される出力パターンに応じて故障を判定
    し、前記論理回路から故障を検出したときに、前記テス
    トパターンの供給を停止し、前記論理回路の試験を中止
    する試験制御手段とを有することを特徴とする論理回路
    用試験装置。