JPH11500536A - 電磁場レベルの高速走査方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 電磁放射レベルの高速走査方法および装置は、被検査デバイスの走査を、スペクトル・アナライザからの出力ビデオ信号のデジタル化と同期させるシンクロナイザを含む。シンクロナイザは、被検査デバイスからの同期信号に応答することができ、あるいは同期信号を被検査デバイスに対して発生することができる。ビデオ出力信号のレベルおよび周波数を較正する方法を提供する。一旦較正したなら、高速走査を用いて単一プローブ多周波数／時間走査を進めて振幅対周波数および時間プロットを生成することができ、更に単一周波数多プローブ／時間走査を進めて振幅対空間および時間プロットを生成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】 電磁場レベルの高速走査方法および装置 発明の分野 本発明は、プリント基板からの電磁場レベルの高速走査方法および装置に関し 、特に回路パッケージおよび同様の装置の検査に関するものである。 発明の背景 回路基板の設計における重要なツールに、動作中の回路基板からの電磁波放射 を容易かつ正確に突き止め、測定する機能がある。従来技術の電予式放射モニタ は、１９９１年７月２３日に Northern Telecom Limited 社に譲渡されたカナダ 特許第１，２８６，７２４号、１９８９年５月９日に許可された米国特許第４， ８２９，２３８号および１９９１年４月９日に許可された米国特許第５，００６ ，７８８号に代表される。これらの特許は、動作中のプリント回路基板からの電 磁波放射レベルを監視する方法および装置について記載するものである。 これらの従来技術は、ユーザに２種類の走査を実行可能とする。それらは、ス ペクトル走査、即ち、スキャナの周波数に対する信号強度に関する走査、および 空間走査、即ち、プリント回路基板上の信号位置に対する信号強度に関する走査 である。スペクトル走査は、プローブには無関係に、各周波数点において観察さ れた最高値のみを保持するので、その表示は、単に周波数に対してプロットされ たピーク電磁波振幅の特性図に過ぎない。その他の読み取り値は全て破棄されて しまう。空間走査は、選択された走査領域内において、各プローブに対して指定 された周波数における信号レベルの読み取り値を取り込む。走査の結果は表示フ ァイルに保持され、規定された周波数における走査領域内の電流（信号強度）を 色別にコード化したマップを与える。走査を完了するのに必要な時間は９５秒以 内である。 従来技術の装置に伴う欠点およびその限界は、生産ラインにおける検査に使用 できる程高速に被検査基板を走査することができないという事実に関係する。か かる用途において有効であるためには、１秒よりも遥かに短い間に、被検査プリ ント回路基板の全ての位置からスペクトル情報を収集する方法および装置が必要 となる。 発明の概要 本発明の目的は、プリント回路パッケージからの電磁波放射レベルを監視する ための、改良された方法および装置を提供することである。 本発明の一態様によれば、物体からの電磁波放射を検査する装置が提供され、 この装置は、前記物体に直接隣接し、既知の空間構成を有する複数の所定位置に 配置可能なプローブ手段と、プローブ手段を各所定位置に順次アドレスするアド レシング手段と、アドレシング手段に接続され、物体に直接隣接する各領域から の電磁波放射によってプローブ手段内に誘起される電流を測定する受信機と、プ ローブ手段からの電気出力を分析して、物体に直接隣接する電磁波放射レベルの 測定値を、各所定位置に関連付けて得る信号処理手段と、スペクトル情報の収集 および分析を行うスペクトル分析手段と、スペクトル分析手段のアナログ出力を デジタル出力に変換するデジタル計算手段と、デジタル出力を較正する較正手段 から成る。 本発明の別の実施形態では、スペクトル分析出力は、「video out」出力ソケ ットを介して、アナログ／デジタル変換器に接続する。 本発明の更に別の実施形態では、初期アナログ／デジタル変換をトリガし、電 磁走査装置による被検査プリント回路パッケージの掃引を開始することにより、 被検査プリント回路パッケージの動作を走査装置と同期させ、時間に関する走査 データの収集を可能とする。 本発明の一実施形態では、被検査プリント回路パッケージのスペクトル走査を 行い、その結果ピーク振幅を周波数に対してプロットした特性図の表示を得る。 コンピュータ・システムによっていくつかのピークを選択し、各ピークの周波数 を記録する。これらのピークの周波数から、断片的に線形な周波数較正曲線を生 成する。 本発明の別の実施形態では、プリント回路パッケージからの電磁放射の測定レ ベルを較正する方法が提供される。スペクトル・アナライザの「Cal Out」出力 を、４０ｄＢの減衰手段を介して、スペクトル・アナライザの入力に直列に接続 する。 具体的には、プリント回路パッケージからの電磁波放射を検査するために、前 述の装置は、更に、回路レイアウト設計データが格納されているメモリと、レイ アウト設計データを制御手段に入力する手段とを含むことができ、前記制御手段 は、回路レイアウト設計データから回路レイアウト・マップを生成するように動 作可能であり、前記表示手段は、電磁波放射レベル測定値の前記マップと前記回 路レイアウトとを同時に表示し、前記マップを重ね合わせるように動作可能であ る。 本発明によれば、スペクトル・アナライザは、電磁プローブ・アレイと直列に 配置される。 本発明の別の実施形態によれば、スペクトル・アナライザの「video out」端 子は、高速アナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器に接続する。 スペクトル−空間走査を用いることにより、本発明は、従来技術において見出 された欠点を克服しようとするものである。スペクトル−空間走査の使用は、従 来技術の走査装置よりも、数桁高速に、プリント回路基板からの電磁波放射の測 定を可能にする。走査の高速化により、ユーザは走査データから大量のデータ構 造を構築することができる。加えて、本システムは、強力な操作ツール、比較ツ ールおよび分析ツールを提供し、走査結果を多数の観点から得ることができ、新 たなレベルの視覚化機能を確立するものである。 本発明の更に別の目的は、以下に記載する特徴を有する装置を提供することで ある。即ち、改良された製品の生産を可能とし、事前の追従時間を大幅に短縮し 、その結果プリント回路パッケージの販売までの時間を短縮し、再設計や改造の ためのコストを削減し、発生する電磁波放射が予め設定されている規格に準拠す ることを保証する価格効率が高い手段を提供し、製品のライフ・サイクル・コス トを最少化することがあげられる。スペタトル−空間走査システムは、低コスト 、自動、非接触で、プリント回路パッケージの品質検査および製造ライン上での それらの性能検査を可能にするものである。 図面の簡単な説明 本発明は、図面を参照し以下の説明からよりよく理解されよう。 図１は、公知技術の走査装置を示す。 図２は、本発明の一実施形態による高速走査装置をブロック図で示す。 図３は、本発明の一実施形態による較正方法をフロー・チャートで示す。 図４は、図２の装置によって収集した振幅対周波数スペクトルの関係について 、図３の方法にしたがってスペクトルのピークに枠を重ね合わせてグラフで示す 。 図５は、図３の方法による較正点として、ピークの適切度に対する評価をグラ フで示す。 図６は、図３の方法によるピークの狭帯域掃引をグラフで示す。 図７は、収集したスペクトル・データの周波数を較正するために図３の方法で 用いる、サンプル片毎の線形化曲線を示す。 図８は、本発明の一実施形態による、スペクトル振幅較正方法をフロー・チャ ートで示す。 図９は、図８の方法に用いる装置の設定を示す。 図１０は、図８の方法によって得られた振幅較正曲線の一例をグラフで示す。 図１１は、表Ｂの方法によって得られた時間−周波数−レベル・プロットの一 例をグラフで示す。 詳細な説明 図１に示すような公知の装置において、物体からの電磁波放射を検査する方法 は、電磁波放射監視プローブのアレイを物体に直接隣接して配置してプローブが アレイ内において所定の位置を占めるようにし、順次プローブをアドレスして、 物体の直接隣接する各領域からの電磁波放射によってプローブ内に誘起される検 出電流を測定し、プローブからの電気出力を分析し、物体の直接隣接する電磁波 放射の、位置に依存する測定値を得ることから成る。 例えば、同時係属中のカナダ特許出願第２，１６１，２９２号に記載されてい る装置は、プラス１ギガヘルツ（＋１ＧＨｚ）の電磁掃引範囲を有する。１００ ＫＨｚ帯域を用いる場合、分析対象の電磁スペクトル内に含まれる情報全てをカ バーするには最少でも２０，０００回の読み取り値が必要となる。従来技術の装 置におけるスペクトル・アナライザの内部デジタイザでは、３４回の別個の掃引 を必要とし、各掃引は完了するのに１００ｍ秒を要する。この速度は、高速の製 造への適用には適当ではない。スペクトル・スキャナの速度を高める方法の１つ は、外部の高速デジタイザを接続することである。しかしながら、唯一使用可能 な出力は、スペクトル・アナライザの「video out」出力のみである。この出力 は較正されないため、得られる走査結果は一貫性を欠くものとなる。 図２を参照すると、本発明の一実施形態による高速走査装置が、ブロック図で 示されている。この高速走査装置は、電磁走査（ＥＭＳＣＡＮ）プローブ・アレ イ１０、スペクトル・アナライザ１２、アナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器１ ６を有するコンピュータ１４、被検査デバイス（ＤＵＴ：device under test） ２０が放射する電磁放射を検査する同期（ＳＹＮＣ）ブロック１８を含む。ＥＭ ＳＣＮプローブ・アレイ１０は、ＩＥＥＥ４８８バス２２を通じて、スペクトル ・アナライザ１２およびコンピュータ１４に接続されている。スペクトル・アナ ライザ１２は、ビデオ・アウト・ライン２４およびブランキング・アウト・ライ ン２６を通じて、Ａ／Ｄコネクタに接続されている。コンピュータ１４は、ライ ン２８を通じてＳＹＮＣブロック１８に接続され、それにレディ信号またはＡＲ Ｍ信号を供給する。ＳＹＮＣブロック１８は、ＤＵＴ２０に接続された入出力ポ ートを有し、同期信号ライン３０を通じて同期信号をＤＵＴ２０から受け取り、 あるいはＤＵＴ２０に送信する。ＳＹＮＣブロック１８は、第１トリガ・ライン ３２を通じてスペクトル・アナライザ１２に、および第２トリガ・ライン３４を 通じてＡ／Ｄ変換器１６に結合された出力を有する。 動作中、高速走査を行うには、Ａ／Ｄ変換器１６において、ビデオ・アウト・ ライン２４上に供給されるビデオ・アウト信号を外部でデジタル化する。デジタ ル化プロセスは、スペクトル・アナライザと同期して開始する。任意選択として 、同期信号を被検査デバイス（ＤＵＴ）２０に印加することができ、あるいは、 ＤＵＴ２０から受け取ることができる。同期はＳＹＮＣブロック１８によって得 られる。ＳＹＮＣブロック１８は、最初に、コンピュータ１４からレディ信号を 受 け取り、次に一動作モードにおいて同期信号をＤＵＴ２０に送り、トリガ信号を スペクトル・アナライザ１２およびＡ／Ｄ変換器１６へ送る。このようにして、 ＤＵＴ２０ならびにスペクトル・アナライザおよびＡ／Ｄ変換器双方における動 作は同期する。 別の動作モードでは、準備完了状態にあるＳＹＮＣブロック１８は、ＤＵＴ２ ０が発生したｓｙｎｃ信号を受け取り、これに応答して、スペクトル・アナライ ザ１２およびＡ／Ｄ変換器１６にトリガ信号を送る。Ａ／Ｄ変換器１６は、スペ クトル・アナライザ１２からのビデオ・ブランキング信号を用いて、そのデジタ ル化プロセスを停止する。スペクトル・アナライザは、例えば、Hewlett-Packar d社の８５９４Ｅでよい。 スペクトル・アナライザの各掃引に対して、所定数のデータ点をマップする際 に一貫性を維持するには、Ａ／Ｄ変換器からのデジタル化データ出力に対してデ ータ補間またはデシメーションを行う。例えば、サンプリング・レートが１００ ｋＨｚおよび掃引時間が１秒の場合、スペクトル・アナライザの各掃引毎に、１ ００，０００のデータ点が得られる。しかしながら、データのデジタル化を停止 するためにＡ／Ｄ変換器１６が用いるブランキング信号は、正確に１００，００ ０のデータ・ポイントが発生されることを保証するに足りる精度を有していない 可能性がある。この場合、データの補間またはデシメーションを行い、各掃引か ら正確に所定数のデータ点即ちサンプルが得られるようにする。 高速測定プロセスのステップを、次の表に纏めておく。 図３を参照すると、本発明の一実施形態による較正方法が、フロー・チャート で示されている。一旦表Ａのステップ１ないし９にしたがってデータを収集した なら、ステップ１０において、図３の周波数較正方法を以下のように適用する。 ブロック１００に表す最初のステップは、図４に示すように周波数範囲全体に渡 って等間隔に設けたいくつかの枠の各々における最も高いピークを発見すること である。次に、ブロック１０２に表すように、当該ピーク下における最低レベル および領域に基づいて、各枠内のピークについて、図５に示すような較正点とし て使用するために容認可能か否かを評価する。次に、ブロック１０４に表すよう に、最初の容認可能なピークの未較正周波数を発見する。次に、ブロック１０６ に表すように、スペクトル・アナライザの中心周波数をこの周波数に設定する。 次に、ブロック１０８に表すように、スペクトル・アナライザのスパンを、元の スパンの小さい部分に設定する。次に、ブロック１１０に表すように、スペクト ル・アナライザを用いて掃引を行う。ブロック１１２に表すように、スペクトル ・アナライザのマーカを、図６に示すようにピークに移動させる。ブロック１１ ４において、このマーカ（ピーク）の周波数を判定する。ブロック１１６におい て、容認可能な各ピークに対しステップ３ないし８を繰り返す。次に、ブロック １１８に表すように、測定値から断片的な線形化曲線を生成する。これを図７に 示す。最後に、ブロック１２０に表すように、この曲線を用いて、表示されたス ペクトルを較正周波数に調節する。 図８を参照すると、本発明の一実施形態によるスペクトル振幅較正方法が、フ ロー・チャートで示されている。図２の装置では、スペクトル・アナライザ１２ において、図９に示すように４０ｄＢのアッテネータを介して「Cal Out」を「I n」に接続する。これは、ブロック２００に表されている。ブロック２０２に表 すように、トレースが下端グラティキュール(bottom graticule)上に来るように スペクトル・アナライザの基準レベルおよび減衰レベルを設定する。ブロック２ ０４に表すように、「Video Out」上の電圧を測定する。ブロック２０６に表す ように、トレースが次のグラティキュール上に来るように、スペクトル・アナラ イザの基準レベルおよび減衰レベルを増加する。ブロック２０８に表すように、 上端グラティキュールを測定するまで、ステップ３およびステップ４を繰り返す 。ブロック２１０に表すように、これらのデータから較正式を計算する。この式 は、図１０に示すように、直線即ちＹ＝ａＸ＋ｂに合わせた最小二乗式である。 一旦図２の設定が較正され、これによって高速走査が可能となったなら、時間 に関するデータの収集が実施できるようになる。時間に関するデータを収集する 方法には、単一プローブ多周波数法（スペクトル）、および単一周波数多プロー ブ法（空間）という２種類がある。 単一周波数多プローブ法でデータを収集するには、スペクトル・アナライザの 中心周波数を、ゼロ・スパンにおける所望周波数に設定し、検討対象の期間にわ たり各プローブ毎に出力をデジタル化する。デジタル化の開始は、ＤＵＴ上の動 作と同期させる。詳細なステップを以下の表Ｂに示す。 単一プローブのスペクトル・データを収集するには、スペクトル・アナライザ を所望のスペクトル掃引に設定し、単一のプローブを選択する。ＤＵＴ上の動作 の時点０においてスペクトル・アナライザの掃引をトリガし、データを収集する 。次に、時点０＋１ｎサンプル期間（複数）においてスペクトル・アナライザを トリガし、所望の時間間隔にわたってデータを収集するまでプロセスを繰り返す 。注意：同様に多数のプローブを走査し、位置対時間および周波数の関係を示す データ集合を生成することも可能である。これは、前述の２種類の走査の組み合 わせである。詳細なステップを以下の表Ｃに示す。 請求の範囲に定義した本発明の範囲から逸脱することなく、上述の本発明の特 定な実施形態には、多数の変更、変容、および改造が可能である。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】１９９７年１０月１７日 【補正内容】 明細書 電磁場レベルの高速走査方法および装置 発明の分野 本発明は、プリント基板からの電磁場レベルの高速走査方法および装置に関し 、特に回路パッケージおよび同様の装置の検査に関するものである。 発明の背景 回路基板の設計における重要なツールに、動作中の回路基板からの電磁波放射 を容易かつ正確に突き止め、測定する機能がある。従来技術の電子式放射モニタ は、１９９１年７月２３日にNorthern Telecom Limited社に譲渡されたカナダ特 許第１，２８６，７２４号、１９８９年５月９日に許可された米国特許第４，８ ２９，２３８号、１９９１年４月９日に許可された米国特許第５，００６，７８ ８号、および米国特許第５，２１８，２９４号に代表される。これらの特許は、 動作中のプリント回路基板からの電磁波放射レベルを監視する方法および装置に ついて記載するものである。 これらの従来技術は、ユーザに２種類の走査を実行可能とする。それらは、ス ペクトル走査、即ち、スキャナの周波数に対する信号強度に関する走査、および 空間走査、即ち、プリント回路基板上の信号位置に対する信号強度に関する走査 である。スペクトル走査は、プローブには無関係に、各周波数点において観察さ れた最高値のみを保持するので、その表示は、単に周波数に対してプロットされ たピーク電磁波振幅の特性図に過ぎない。その他の読み取り値は全て破棄されて しまう。空間走査は、選択された走査領域内において、各プローブに対して指定 された周波数における信号レベルの読み取り値を取り込む。走査の結果は表示フ ァイルに保持され、規定された周波数における走査領域内の電流（信号強度）を 色別にコード化したマップを与える。走査を完了するのに必要な時間は９５秒以 内である。 従来技術の装置に伴う欠点およびその限界は、生産ラインにおける検査に使用 できる程高速に被検査基板を走査することができないという事実に関係する。か かる用途において有効であるためには、１秒よりも遥かに短い間に、被検査プリ ント回路基板の全ての位置からスペクトル情報を収集する方法および装置が必要 となる。 発明の概要 本発明の目的は、プリント回路基板からの電磁場レベルを監視するための、改 良された方法および装置を提供することである。 本発明の一態様によれば、デバイスからの電磁場を検査する装置が提供され、 この装置は、前記デバイスに直接隣接し、既知の空間構成を有する複数の所定位 置に配置可能なプローブ手段と、プローブ手段を各所定位置に順次アドレスする アドレシング手段と、アドレシング手段に接続され、被検査デバイスに直接隣接 する各領域からの電磁場によってプローブ手段内に誘起される電流を測定する受 信機と、プローブ手段からの電気出力を分析して、被検査デバイスに直接隣接す る電磁場レベルの測定値を、各所定位置に関連付けて得る信号処理手段と、スペ クトル情報の収集および分析を行うスペクトル分析手段と、スペクトル分析手段 のアナログ出力をデジタル出力に変換するデジタル計算手段と、デジタル出力を 較正する較正手段から成る。 本発明の別の実施形態では、スペクトル分析出力は、「video out」出力ソケ ットを介して、アナログ／デジタル変換器に接続する。 本発明の更に別の実施形態では、初期アナログ／デジタル変換をトリガし、電 磁走査装置による被検査プリント回路基板の掃引を開始することにより、被検査 デバイスの動作を走査装置と同期させ、時間に関する走査データの収集を可能と する。 本発明の一実施形態では、被検査デバイスのスペクトル走査を行い、その結果 ピーク振幅を周波数に対してプロットした特性図の表示を得る。コンピュータ・ システムによっていくつかのピークを選択し、各ピークの周波数を記録する。こ れらのピークの周波数から、断片的に線形な周波数較正曲線を生成する。 本発明の別の態様は、電磁場レベルの高速走査方法を対象とし、この方法は、 複数のプローブから成るプローブ手段に直接隣接して被検査デバイスを配置する ステップであって、各プローブが当該プローブ手段内において所定の位置を有す る前記ステップと、複数のプローブの第１プローブをアドレスし、次いでスペク トル分析の掃引を同期させ、被検査デバイスの動作と同一時点において開始させ るステップと、第１プローブによって検出された、被検査デバイスからの電磁場 レベルを測定し、スペクトル・アナライザを用いて所望の周波数範囲全体におい て掃引を行い、ビデオ出力信号を生成するステップと、ビデオ出力信号をデジタ ル化し、デジタル化ビデオ出力信号のレベルを較正し、こうして得られた個々の データをセーブするステップから成る。更に、これらのステップは、任意に、必 要に応じて複数のプローブの各プローブに対して繰り返し、デジタル化データ集 合の個々のデータ間において前記ステップの周波数を較正し、任意に１サンプル 時間余分に待ち、次いで複数のプローブの各プローブに対して、可能なサンプル 時間の各々に対して上記ステップを繰り返し、較正データ集合を表示することが できる。 本発明の別の実施形態では、被検査デバイスからの電磁放射の測定レベルを較 正する方法が提供される。スペクトル・アナライザの「Cal Out」出力を、４０ ｄＢの減衰手段を介して、スペクトル・アナライザの入力に直列に接続する。 具体的には、デバイスからの電磁場を検査するために、前述の装置は、更に、 回路レイアウト設計データが格納されているメモリと、レイアウト設計データを 制御手段に入力する手段とを含むことができ、前記制御手段は、回路レイアウト 設計データから回路レイアウト・マップを生成するように動作可能であり、前記 表示手段は、電磁場レベル測定値の前記マップと前記回路レイアウトとを同時に 表示し、前記マップを重ね合わせるように動作可能である。 本発明によれば、スペクトル・アナライザは、電磁プローブ・アレイと直列に 配置される。 本発明の別の実施形態によれば、スペクトル・アナライザの「video out」端 子 は、高速アナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器に接続する。 スペクトル−空間走査を用いることにより、本発明は、従来技術において見出 された欠点を克服しようとするものである。スペクトル−空間走査の使用は、従 来技術の走査装置よりも、数桁高速に、被検査デバイスからの電磁場の測定を可 能にする。走査の高速化により、ユーザは走査データから大量のデータ構造を構 築することができる。加えて、本システムは、強力な操作ツール、比較ツールお よび分析ツールを提供し、走査結果を多数の観点から得ることができ、新たなレ ベルの視覚化機能を確立するものである。 本発明の更に別の目的は、以下に記載する特徴を有する装置を提供することで ある。即ち、改良された製品の生産を可能とし、事前の追従時間を大幅に短縮し 、その結果被検査デバイスの販売までの時間を短縮し、再設計や改造のためのコ ストを削減し、発生する電磁場が予め設定されている規格に準拠することを保証 する価格効率が高い手段を提供し、製品のライフ・サイクル・コストを最少化す ることがあげられる。スペクトル−空間走査システムは、低コスト、自動、非接 触で、デバイスの品質検査および製造ライン上でのそれらの性能検査を可能にす るものである。 図面の簡単な説明 本発明は、図面を参照し以下の説明からよりよく理解されよう。 図１は、公知技術の走査装置を示す。 図２は、本発明の一実施形態による高速走査装置をブロック図で示す。 図３は、本発明の一実施形態による較正方法をフロー・チャートで示す。 図４は、図２の装置によって収集した振幅対周波数スペクトルの関係について 、図３の方法にしたがってスペクトルのピークに枠を重ね合わせてグラフで示す 。 図５は、図３の方法による較正点として、ピークの適切度に対する評価をグラ フで示す。 図６は、図３の方法によるピークの狭帯域掃引をグラフで示す。 図７は、収集したスペクトル・データの周波数を較正するために図３の方法で 用いる、サンプル片毎の線形化曲線を示す。 図８は、本発明の一実施形態による、スペクトル振幅較正方法をフロー・チャ ートで示す。 図９は、図８の方法に用いる装置の設定を示す。 図１０は、図８の方法によって得られた振幅較正曲線の一例をグラフで示す。 図１１は、表Ｂの方法によって得られた時間−周波数−レベル・プロットの一 例をグラフで示す。 詳細な説明 図１に示すような公知の装置において、デバイスからの電磁場を検査する方法 は、電磁場監視プローブのアレイを被検査デバイスに直接隣接して配置してプロ ーブがアレイ内において所定の位置を占めるようにし、順次プローブをアドレス して、被検査デバイスの直接隣接する各領域からの電磁場によってプローブ内に 誘起される検出電流を測定し、プローブからの電気出力を分析し、被検査デバイ スの直接隣接する電磁場の、位置に依存する測定値を得ることから成る。 例えば、同時係属中のカナダ特許出願第２，１６１，２９２号に記載されてい る装置は、プラス１ギガヘルツ（＋１ＧＨｚ）の電磁掃引範囲を有する。１００ ＫＨｚ帯域を用いる場合、分析対象の電磁スペクトル内に含まれる情報全てをカ バーするには最少でも２０，０００回の読み取り値が必要となる。従来技術の装 置におけるスペクトル・アナライザの内部デジタイザでは、３４回の別個の掃引 を必要とし、各掃引は完了するのに１００ｍ秒を要する。この速度は、高速の製 造への適用には適当ではない。スペクトル・スキャナの速度を高める方法の１つ は、外部の高速デジタイザを接続することである。しかしながら、唯一使用可能 な出力は、スペクトル・アナライザの「video out」出力のみである。この出力 は較正されないため、得られる走査結果は一貫性を欠くものとなる。 図２を参照すると、本発明の一実施形態による高速走査装置が、ブロック図で 示されている。この高速走査装置は、電磁走査（ＥＭＳＣＡＮ）プローブ・アレ イ１０、スペクトル・アナライザ１２、アナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器１ ６を有するコンピュータ１４、被検査デバイス（ＤＵＴ：device under test） ２０が放射する電磁放射を検査する同期（ＳＹＮＣ）ブロック１８を含む。ＥＭ ＳＣＮプローブ・アレイ１０は、ＩＥＥＥ４８８バス２２を通じて、スペクトル ・アナライザ１２およびコンピュータ１４に接続されている。スペクトル・アナ ライザ１２は、ビデオ・アウト・ライン２４およびブランキング・アウト・ライ ン２６を通じて、Ａ／Ｄコネクタに接続されている。コンピュータ１４は、ライ ン２８を通じてＳＹＮＣブロック１８に接続され、それにレディ信号またはＡＲ Ｍ信号を供給する。ＳＹＮＣブロック１８は、ＤＵＴ２０に接続された入出力ポ ートを有し、同期信号ライン３０を通じて同期信号をＤＵＴ２０から受け取り、 あるいはＤＵＴ２０に送信する。ＳＹＮＣブロック１８は、第１トリガ・ライン ３２を通じてスペクトル・アナライザ１２に、および第２トリガ・ライン３４を 通じてＡ／Ｄ変換器１６に結合された出力を有する。 動作中、高速走査を行うには、Ａ／Ｄ変換器１６において、ビデオ・アウト・ ライン２４上に供給されるビデオ・アウト信号を外部でデジタル化する。デジタ ル化プロセスは、スペクトル・アナライザと同期して開始する。任意選択として 、同期信号を被検査デバイス（ＤＵＴ）２０に印加することができ、あるいは、 ＤＵＴ２０から受け取ることができる。同期はＳＹＮＣブロック１８によって得 られる。ＳＹＮＣブロック１８は、最初に、コンピュータ１４からレディ信号を 受け取り、次に一動作モードにおいて同期信号をＤＵＴ２０に送り、トリガ信号 をスペクトル・アナライザ１２およびＡ／Ｄ変換器１６へ送る。このようにして 、ＤＵＴ２０ならびにスペクトル・アナライザおよびＡ／Ｄ変換器双方における 動作の同期を取る。 別の動作モードでは、準備完了状態にあるＳＹＮＣブロック１８は、ＤＵＴ２ ０が発生した同期信号を受け取り、これに応答して、スペクトル・アナライザ１ ２およびＡ／Ｄ変換器１６にトリガ信号を送る。Ａ／Ｄ変換器１６は、スペクト ル・アナライザ１２からのビデオ・ブランキング信号を用いて、そのデジタル化 プロセスを停止する。スペクトル・アナライザは、例えば、Hewlett-Packard 社 の８５９４Ｅでよい。 スペクトル・アナライザの各掃引に対して、所定数のデータ点をマップする際 に一貫性を維持するには、Ａ／Ｄ変換器からのデジタル化データ出力に対してデ ータ補間またはデシメーションを行う。例えば、サンプリング・レートが１００ ｋＨｚおよび掃引時間が１秒の場合、スペクトル・アナライザの各掃引毎に、１ ００，０００のデータ点が得られる。しかしながら、データのデジタル化を停止 するためにＡ／Ｄ変換器１６が用いるブランキング信号は、正確に１００，００ ０のデータ・ポイントが発生されることを保証するに足りる精度を有していない 可能性がある。この場合、データの補間またはデシメーションを行い、各掃引か ら正確に所定数のデータ点即ちサンプルが得られるようにする。 高速測定プロセスのステップを、次の表に纏めておく。 図３を参照すると、本発明の一実施形態による較正方法が、フロー・チャート で示されている。一旦表Ａのステップ１ないし９にしたがってデータを収集した なら、ステップ１０において、図３の周波数較正方法を以下のように適用する。 ブロック１００に表す最初のステップは、図４に示すように周波数範囲全体に渡 って等間隔に設けたいくつかの枠の各々における最も高いピークを発見すること である。次に、ブロック１０２に表すように、当該ピーク下における最低レベル および領域に基づいて、各枠内のピークについて、図５に示すような較正点とし て使用するために容認可能か否かを評価する。次に、ブロック１０４に表すよう に、最初の容認可能なピークの未較正周波数を発見する。次に、ブロック１０６ に表すように、スペクトル・アナライザの中心周波数をこの周波数に設定する。 次に、ブロック１０８に表すように、スペクトル・アナライザのスパンを、元の スパンの小さい部分に設定する。次に、ブロック１１０に表すように、スペクト ル・アナライザを用いて掃引を行う。ブロック１１２に表すように、スペクトル ・アナライザのマーカを、図６に示すようにピークに移動させる。ブロック１１ ４において、このマーカ（ピーク）の周波数を判定する。ブロック１１６におい て、容認可能な各ピークに対しステップ３ないし８を繰り返す。次に、ブロック １１８に表すように、測定値から断片的な線形化曲線を生成する。これを図７に 示す。最後に、ブロック１２０に表すように、この曲線を用いて、表示されたス ペクトルを較正周波数に調節する。 図８を参照すると、本発明の一実施形態によるスペクトル振幅較正方法が、フ ロー・チャートで示されている。図２の装置では、スペクトル・アナライザ１２ において、図９に示すように４０ｄＢのアッテネータを介して「Cal Out」を「I n」に接続する。これは、ブロック２００に表されている。ブロック２０２に表 すように、トレースが下端グラティキュール(bottom graticule)上に来るように スペクトル・アナライザの基準レベルおよび減衰レベルを設定する。ブロック２ ０４に表すように、「Video Out」上の電圧を測定する。ブロック２０６に表す ように、トレースが次のグラティキュール上に来るように、スペクトル・アナラ イザの基準レベルおよび減衰レベルを増加する。ブロック２０８に表すように、 上端グラティキュールを測定するまで、ステップ３およびステップ４を繰り返す 。ブロック２１０に表すように、これらのデータから較正式を計算する。この式 は、図１ ０に示すように、直線即ちＹ＝ａＸ＋ｂに合わせた最小二乗式である。 一旦図２の設定が較正され、これによって高速走査が可能となったなら、時間 に関するデータの収集が実施できるようになる。時間に関するデータを収集する 方法には、単一プローブ多周波数法（スペクトル）、および単一周波数多プロー ブ法（空間）という２種類がある。 単一周波数多プローブ法でデータを収集するには、スペクトル・アナライザの 中心周波数を、ゼロ・スパンにおける所望周波数に設定し、検討対象の期間にわ たり各プローブ毎に出力をデジタル化する。デジタル化の開始は、ＤＵＴ上の動 作と同期させる。詳細なステップを以下の表Ｂに示す。 単一プローブのスペクトル・データを収集するには、スペクトル・アナライザ を所望のスペクトル掃引に設定し、単一のプローブを選択する。ＤＵＴ上の動作 の時点０においてスペクトル・アナライザの掃引をトリガし、データを収集する 。次に、時点０＋１ｎサンプル期間（複数）においてスペクトル・アナライザを トリガし、所望の時間間隔にわたってデータを収集するまでプロセスを繰り返す 。注意：同様に多数のプローブを走査し、位置対時間および周波数の関係を示す データ集合を生成することも可能である。これは、前述の２種類の走査の組み合 わせである。詳細なステップを以下の表Ｃに示す。 請求の範囲に定義した本発明の範囲から逸脱することなく、上述の本発明の特 定な実施形態には、多数の変更、変容、および改造が可能である。 請求の範囲 １．デバイス（２０）からの電磁場を検査する装置であって、前記デバイス（２ ０）に直接隣接する複数の所定位置に配置可能なプローブ手段（１０）であって 、前記所定の位置が既知の空間構成を有する前記プローブ手段（１０）と、前記 プローブ手段（１０）を各所定位置に順次アドレスするアドレシング手段（１４ ）と、前記プローブ手段（１０）からの電気出力を分析し、前記デバイス（２０ ）に直接隣接する電磁場レベルの測定値を、各所定位置に関連付けて得るように したスペクトル・アナライザ（１２）とから成り、前記装置は、 前記スペクトル・アナライザが、ビデオ出力（２４）と、スペクトル掃引の終 了を判定する手段（２６）とを有し、 前記ビデオ出力（２４）に接続され、そこから受け取る信号をデジタル化する デジタイザ（１６）と、 前記スペクトル・アナライザ（１２）、前記デジタイザ（１６）および前記デ バイス（２０）に接続されたシンクロナイザ（１８）と、 前記デジタル化出力信号の周波数を較正する手段と、 を更に備えていることを特徴とする装置。 ２．請求項１記載の装置において、前記デジタイザ（１６）および較正手段は、 コンピュータ（１４）から成ることを特徴とする装置。 ３．請求項２記載の装置において、前記デジタイザ（１６）は、前記スペクトル ・アナライザ（１２）のビデオ・ブランキング出力（２６）に接続されているこ とを特徴とする装置。 ４．請求項３記載の装置において、前記シンクロナイザ（１８）は、前記コンピ ュータ（１４）に接続され、レディ信号を送出しあるいは受け取ることを特徴と する装置。 ５．請求項４記載の装置において、前記シンクロナイザ（１８）は、前記デバイ ス（２０）に接続され、そこから同期信号を受け取ることを特徴とする装置。 ６．請求項４記載の装置において、前記シンクロナイザ（１８）は、前記デバイ ス（２０）に接続され、同期信号を前記デバイスに送出することを特徴とする装 置。 ７．電磁場レベルの高速走査方法であって、 ａ）複数のプローブから成るプローブ手段（１０）に直接隣接して被検査デバ イス（２０）を配置するステップであって、各プローブが該プローブ手段内にお いて所定の位置を有する前記ステップ、 ｂ）前記複数のプローブの第１プローブをアドレスするステップと、 ｃ）スペクトル分析の掃引を同期させ、前記被検査デバイスの動作と同一時点 において開始させるステップと、 ｄ）前記第１プローブによって検出された、前記被検査デバイスからの電磁場 レベルを測定し、所望の周波数範囲全体においてスペクトル・アナライザ（１２ ）の掃引を用いて、ビデオ出力信号を生成するステップと、 ｅ）前記ビデオ出力信号をデジタル化するステップと、 ｆ）前記デジタル化ビデオ出力信号のレベルを較正するステップと、 ｇ）個々のデータをセーブするステップと、 ｈ）必要に応じて、前記複数のプローブの各プローブに対して、ステップｂ） ないしｇ）を任意に繰り返し、デジタル化データ集合を生成するステップと、 ｉ）前記デジタル化データ集合の個々のデータ間において、前記ステップの周 波数を較正するステップと、 ｊ）任意に１サンプル時間余分に待ち、次いで前記複数のプローブの各プロー ブに対して、可能なサンプル時間の各々の間にステップｂ）ないしｉ）を繰り返 すステップと、 ｋ）前記較正データ集合を表示するステップと、 から成ることを特徴とする方法。 ８．電磁場レベルの高速走査方法であって、 ａ）複数のプローブから成るプローブ手段（１０）に直接隣接して被検査デバ イス（２０）を配置するステップであって、各プローブが該プローブ手段内にお いて所定の位置を有する前記ステップと、 ｂ）前記複数のプローブの第１プローブをアドレスするステップと、 ｃ）前記第１プローブによって検出された、前記被検査デバイスからの電磁場 レベルを測定し、所望の周波数範囲全体においてスペクトル・アナライザ（１２ ）の掃引を用いて、ビデオ出力信号を生成するステップと、 ｄ）前記ビデオ出力信号をデジタル化するステップと、 ｅ）前記デジタル化ビデオ出力信号のレベルを較正するステップと、 ｆ）個々のデータをセーブするステップと、 ｇ）必要に応じて、前記複数のプローブの各プローブに対して、ステップｂ） ないしｆ）を任意に繰り返し、デジタル化データ集合を生成するステップと、 ｈ）前記デジタル化データ集合の個々のデータ間において、前記ステップの周 波数を較正するステップと、 ｉ）前記較正データ集合を表示するステップと、 から成ることを特徴とする方法。 ９．電磁場レベルの高速走査方法であって、 ａ）複数のプローブから成るプローブ手段（１０）に直接隣接して被検査デバ イス（２０）を配置するステップであって、各プローブが該プローブ手段内にお いて所定の位置を有する前記ステップと、 ｂ）前記複数のプローブの第１プローブをアドレスするステップと、 ｃ）前記第１プローブによって検出された、前記被検査デバイスからの電磁場 レベルを測定し、所望の周波数範囲全体においてスペクトル・アナライザ（１２ ） の掃引を用いて、ビデオ出力信号を生成するステップと、 ｄ）前記ビデオ出力信号をデジタル化するステップと、 ｅ）前記デジタル化ビデオ出力信号のレベルを較正するステップと、 ｆ）個々のデータをセーブするステップと、 ｇ）前記デジタル化データ集合の個々のデータ間において、前記ステップの周 波数を較正するステップと、 ｈ）１サンプル時間余分に待ち、次いで前記複数のプローブの各プローブに対 して、各可能なサンプル時間の間にステップｂ）ないしｇ）を繰り返すステップ と、 ｉ）前記較正データ集合を表示するステップと、 から成ることを特徴とする方法。 １０．電磁場レベルの高速走査方法であって、 ａ）複数のプローブから成るプローブ手段（１０）に直接隣接して被検査デバ イス（２０）を配置するステップであって、各プローブが該プローブ手段内にお いて所定の位置を有する前記ステップと、 ｂ）前記複数のプローブの第１プローブをアドレスするステップと、 ｃ）前記第１プローブによって検出された、前記被検査デバイスからの電磁場 レベルを測定し、所望の周波数範囲全体においてスペクトル・アナライザ（１２ ）の掃引を用いて、ビデオ出力信号を生成するステップと、 ｄ）前記ビデオ出力信号をデジタル化するステップと、 ｅ）前記デジタル化ビデオ出力信号のレベルを較正するステップと、 ｆ）個々のデータをセーブするステップと、 ｇ）必要に応じて、前記複数のプローブの各プローブに対して、ステップｂ） ないしｆ）を繰り返し、デジタル化データ集合を生成するステップと、 ｈ）前記デジタル化データ集合の個々のデータ間において、前記ステップの周 波数を較正するステップと、 ｉ）１サンプル時間余分に待ち、次いで前記複数のプローブの各プローブに対 して、可能なサンプル時間の各々の間にステップｂ）ないしｈ）を繰り返すステ ップと、 ｊ）前記較正データ集合を表示するステップと、 から成ることを特徴とする方法。 １１．デバイス（２０）からの電磁場を高速度で検査する装置であって、前記デ バイス（２０）に直接隣接する複数の所定位置に配置可能なプローブ手段（１０ ）であって、前記所定の位置が既知の空間構成を有する前記プローブ手段（１０ ）と、前記プローブ手段（１０）を各所定位置に順次アドレスするアドレシング 手段（１４）と、前記プローブ手段（１０）からの電気出力を分析し、前記デバ イス（２０）に直接隣接する電磁場レベルの測定値を、各所定位置に関連付けて 得るようにしたスペクトル・アナライザ（１２）とから成り、前記装置は、 前記スペクトル・アナライザがビデオ出力（２４）を有し、 前記ビデオ出力（２４）に接続され、そこから受け取る信号をデジタル化する デジタイザ（１６）と、 前記スペクトル・アナライザ（１２）、前記デジタイザ（１６）および前記デ バイス（２０）に接続されたシンクロナイザ（１８）と、 前記デジタル化出力信号の周波数を較正する手段と、 を更に備えており、 電磁場レベルの高速走査が、 ａ）複数のプローブから成るプローブ手段（１０）に直接隣接して被検査デバ イス（２０）を配置するステップであって、各プローブが該プローブ手段内にお いて所定の位置を有する前記ステップと、 ｂ）前記複数のプローブの第１プローブをアドレスするステップと、 ｃ）スペクトル分析の掃引を同期させ、前記被検査デバイスの動作と同一時点 において開始させるステップと、 ｄ）前記第１プローブによって検出された、前記被検査デバイスからの電磁場 レベルを測定し、所望の周波数範囲全体においてスペクトル・アナライザ（１２ ） の掃引を用いて、ビデオ出力信号を生成するステップと、 ｅ）前記ビデオ出力信号をデジタル化するステップと、 ｆ）前記デジタル化ビデオ出力信号のレベルを較正するステップと、 ｇ）個々のデータをセーブするステップと、 ｈ）必要に応じて、前記複数のプローブの各プローブに対して、ステップｂ） ないしｇ）を任意に繰り返し、デジタル化データ集合を生成するステップと、 ｉ）前記デジタル化データ集合の個々のデータ間において、前記ステップの周 波数を較正するステップと、 ｊ）任意に１サンプル時間余分に待ち、次いで前記複数のプローブの各プロー ブに対して、可能なサンプル時間の各々の間にステップｂ）ないしｉ）を繰り返 すステップと、 ｋ）前記較正データ集合を表示するステップと、 から成ることを特徴とする装置。 １２．請求項７記載の方法において、前記デジタル化ビデオ出力信号を較正する ステップは、 ａ）減衰較正出力信号を前記スペクトル・アナライザの入力に印加するステッ プと、 ｂ）前記スペクトル・アナライザのトレースが、下端グラティキュール上に来 るように、基準レベルおよび減衰レベルを調節するステップと、 ｃ）前記トレースが次に高いグラティキュール上に来るように、基準レベルお よび減衰レベルを変化させるステップと、 ｄ）前記トレースによって上端グラティキュールを反応させるまで、前記変化 させるステップを繰り返すステップと、 ｅ）前記基準レベルおよび減衰レベルに基づいて較正式を計算するステップと 、 を含むことを特徴とする方法。 １３．請求項１２記載の方法において、前記式は直線に合わせた最小二乗式であ ることを特徴とする方法。 １４．スペクトル・アナライザのビデオ出力信号周波数を較正する方法であって 、 ａ）スペクトル分析の初期掃引のために、周波数範囲全体にわたり離間して設 けた数個の枠の各々に対して、複数の固有のピークを発見するステップと、 ｂ）前記ピークの未較正周波数を発見するステップと、 ｃ）前記ピークの各々に対して、前記初期掃引よりも狭い周波数帯域を掃引す るステップと、 ｄ）前記周波数帯域内のピークの周波数にマークを付けるステップと、 ｅ）前記ピークの各々のマークを付けた周波数を用いて、較正曲線を生成する ステップと、 から成ることを特徴とする方法。 １５．請求項１４記載の方法であって、更に、前記較正曲線にしたがって、前記 ビデオ出力信号を調節するステップを含むことを特徴とする方法。 １６．請求項１４記載の方法において、前記較正曲線は、断片的な線形化曲線で あることを特徴とする方法。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．デバイスからの電磁波放射を検査する装置であって、 前記デバイスに直接隣接する複数の所定位置に配置可能なプローブ手段であっ て、前記所定の位置が既知の空間構成を有する前記プローブ手段と、 前記プローブ手段を各所定位置に順次アドレスするアドレシング手段と、 前記プローブ手段からの電気出力を分析し、前記デバイスに直接隣接する電磁 波放射レベルの測定値を、各所定位置に関連付けて得るようにした、ビデオ出力 を有するスペクトル・アナライザと、 前記ビデオ出力に接続され、そこから受け取る信号をデジタル化するデジタイ ザと、 前記スペクトル・アナライザ、前記デジタイザおよび前記デバイスに接続され たシンクロナイザと、 前記デジタル化出力信号の周波数を較正する手段と、 を更に備えていることを特徴とする装置。 ２．請求項１記載の装置において、前記デジタイザおよび較正手段は、コンピュ ータから成ることを特徴とする装置。 ３．請求項２記載の装置において、前記デジタイザは、前記スペクトル・アナラ イザのビデオ・ブランキング出力に接続されていることを特徴とする装置。 ４．請求項３記載の装置において、前記シンクロナイザは、前記コンピュータに 接続され、レディ信号を送出しあるいは受け取ることを特徴とする装置。 ５．請求項４記載の装置において、前記シンクロナイザは、前記デバイスに接続 され、そこから同期信号を受け取ることを特徴とする装置。 ６．請求項４記載の装置において、前記シンクロナイザは、前記デバイスに接続 され、同期信号を前記デバイスに送出することを特徴とする装置。 ７．電磁波放射レベルの高速走査方法であって、 スペクトル分析の掃引を同期させ、それによって発生されたビデオ出力信号を デジタル化するステップと、 前記ビデオ出力信号のレベルを較正するステップと、 複数のプローブの各プローブに対して、同期および較正ステップを繰り返すス テップと、 前記ビデオ出力信号周波数を較正するステップと、 前記較正データを表示するステップと、 から成ることを特徴とする方法。 ８.デバイスに直接隣接する複数の所定位置に配置可能なプローブ手段であって 、前記所定の位置が既知の空間構成を有する前記プローブ手段と、前記プローブ 手段を各所定位置に順次アドレスするアドレシング手段と、前記プローブ手段か らの電気出力を分析し、前記デバイスに直接隣接する電磁波放射レベルの測定値 を、各所定位置に関連付けて得るようにした、ビデオ出力を有するスペクトル・ アナライザと、前記ビデオ出力に接続され、そこから受け取る信号をデジタル化 するデジタイザと、前記スペクトル・アナライザ、前記デジタイザおよび前記デ バイスに接続されたシンクロナイザと、前記デジタル化出力信号の周波数を較正 する手段と、を備えている、デバイスからの電磁波放射を検査する装置において 、電磁波放射レベルを高速走査する方法であって、 スペクトル分析の掃引を同期させ、それによって発生されたビデオ出力信号を デジタル化するステップと、 前記ビデオ出力信号のレベルを較正するステップと、 複数のプローブの各プローブに対して、同期および較正ステップを繰り返すス テップと、 前記ビデオ出力信号周波数を較正するステップと、 前記較正データを表示するステップと、 から成ることを特徴とする方法。 ９．請求項８記載の方法において、更に、前記デバイスをスペクトル分析の掃引 およびビデオ信号デジタル化とに同期させるステップを含むことを特徴とする方 法。 １０．請求項８記載の方法において、前記ビデオ出力レベルを較正するステップ は、 減衰較正出力信号を前記スペクトル・アナライザの入力に印加するステップと 、 前記スペクトル・アナライザのトレースが、下端グラティキュール上に来るよ うに、基準レベルおよび減衰レベルを調節するステップと、 前記トレースが次に高いグラティキュール上に来るように、基準レベルおよび 減衰レベルを変化させるステップと、 前記トレースによって上端グラティキュールを反応させるまで、前記変化させ るステップを繰り返すステップと、 前記基準レベルおよび減衰レベルに基づいて較正式を計算するステップと、 を含むことを特徴とする方法。 １１．請求項１０記載の方法において、前記式は直線に合わせた最小二乗式であ ることを特徴とする方法。 １２．請求項８記載の方法において、前記ビデオ出力信号周波数を較正するステ ップは、 スペクトル分析の初期掃引のために、周波数範囲全体にわたり離間して設けた 数個の枠の各々に対して、いくつかの高いピークを発見するステップと、 前記ピークの未較正周波数を発見するステップと、 前記ピークの各々を含む、前記初期掃引よりも狭い周波数帯域を掃引するステ ップと、 前記周波数帯域内のピークの周波数にマークを付けるステップと、 最も高いピークの各々のマークを付けた周波数を用いて、較正曲線を生成する ステップと、 から成ることを特徴とする方法。 １３．請求項１２記載の方法であって、更に、前記較正曲線にしたがって、前記 ビデオ出力信号を調節するステップを含むことを特徴とする方法。 １４．請求項１２記載の方法において、前記較正曲線は、断片的な線形化曲線で あることを特徴とする方法。 １５．デバイスに直接隣接する複数の所定位置に配置可能なプローブ手段であっ て、前記所定の位置が既知の空間構成を有する前記プローブ手段と、前記プロー ブ手段を各所定位置に順次アドレスするアドレシング手段と、前記プローブ手段 からの電気出力を分析し、前記デバイスに直接隣接する電磁波放射レベルの測定 値を、各所定位置に関連付けて得るようにした、ビデオ出力を有するスペクトル ・アナライザと、前記ビデオ出力に接続され、そこから受け取る信号をデジタル 化するデジタイザと、前記スペクトル・アナライザ、前記デジタイザおよび前記 デバイスに接続されたシンクロナイザと、前記デジタル化出力信号の周波数を較 正する手段と、を備えている、デバイスからの電磁波放射を検査する装置におい て、電磁波放射レベルを高速走査する方法であって、 スペクトル分析の掃引を同期させ、それによって発生されたビデオ出力信号を デジタル化するステップと、 前記ビデオ出力信号のレベルを較正するステップと、 所要の期間が経過するまで、同期を繰り返しかつ各掃引毎に更に１サンプル時 間待ってから較正するステップと、 前記ビデオ出力信号周波数を較正するステップと、 前記較正データを表示するステップと、 から成ることを特徴とする方法。 １６．デバイスに直接隣接する複数の所定位置に配置可能なプローブ手段であっ て、前記所定の位置が既知の空間構成を有する前記プローブ手段と、前記プロー ブ手段を各所定位置に順次アドレスするアドレシング手段と、前記プローブ手段 からの電気出力を分析し、前記デバイスに直接隣接する電磁波放射レベルの測定 値を、各所定位置に関連付けて得るようにした、ビデオ出力を有するスペクトル ・アナライザと、前記ビデオ出力に接続され、そこから受け取る信号をデジタル 化するデジタイザと、前記スペクトル・アナライザ、前記デジタイザおよび前記 デバイスに接続されたシンクロナイザと、前記デジタル化出力信号の周波数を較 正する手段と、を備えている、デバイスからの電磁波放射を検査する装置におい て、電磁波放射レベルを高速走査する方法であって、 それによって発生されたビデオ出力信号をデジタル化し、デバイスの動作と同 期するステップと、 前記ビデオ出力信号のレベルを較正するステップと、 複数のプローブの各プローブに対して、同期および較正ステップを繰り返すス テップと、 前記ビデオ出力信号周波数を較正するステップと、 前記較正データを表示するステップと、 から成ることを特徴とする方法。