JPH1148434A

JPH1148434A - 磁気記録媒体及びその支持体

Info

Publication number: JPH1148434A
Application number: JP22000497A
Authority: JP
Inventors: Masaaki Ono; 雅章小野; Masaya Onishi; 雅也大西; Sunao Harada; 直原田; Noriyuki Kitaori; 典之北折; Akira Ishikawa; 彰石川; Kazutoshi Otsuka; 和俊大塚
Original assignee: Kao Corp; Toray Industries Inc
Current assignee: Kao Corp; Toray Industries Inc
Priority date: 1997-07-31
Filing date: 1997-07-31
Publication date: 1999-02-23
Anticipated expiration: 2017-07-31
Also published as: JP3691941B2

Abstract

(57)【要約】【課題】表面性が良く走行性やヘッドタッチの良好な
磁気記録媒体が得られる支持体を提供する。【解決手段】粒子を含有するフィラー面と、粒子と有
機化合物を含有する被膜を有するマット面を持ち、フィ
ラー面の粒子の平均粒子径がマット面の被膜中の粒子の
平均粒子径の２倍以上大きく、厚さ２〜５．５μｍのポ
リエステル系プラスチックフィルムの両面に、金属、半
金属及び合金並びにこれらの酸化物及び複合物から選ば
れた金属材料からなる強化膜が形成されている磁気記録
媒体の支持体。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気テープなどの
磁気記録媒体に用いられる支持体と該支持体を用いてな
る強磁性金属薄膜型の磁性層を有する磁気記録媒体に関
する。

【０００２】

【従来の技術】近年の磁気記録は高密度記録化の方向に
あり、高周波数特性の優れた磁気記録媒体が要望されて
いる。従来は磁性粉を適当なバインダーに分散させて支
持体上に塗布したいわゆる塗布型の磁気記録媒体が主流
であり、高密度記録に対する要求を満たすために種々の
改善がなされているが、ほぼ限界に近づいている。

【０００３】塗布型の磁気記録媒体を超える性能を期待
できる磁気記録媒体として、支持体に蒸着等により磁性
金属を付着させた磁性層を有するいわゆる金属薄膜型の
磁気記録媒体が開発されている。金属薄膜型の磁気記録
媒体は、磁性層にバインダーを含まないことから磁性材
料の密度を高められるため、高密度記録に有望であると
されている。金属薄膜型の磁性層としては、Ｃｏ、Ｃｏ
−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｏ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｏ、
Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等が検討されている。金
属薄膜型の磁気記録媒体を実用化する際の製造法として
は、真空蒸着法が最も適しており、この方法でＣｏ−Ｎ
ｉ−Ｏからなる磁性層を形成したＨｉ８方式ＶＴＲ用テ
ープやＣｏ−Ｏからなる磁性層を形成したＤＶＣ（デジ
タルビデオカセット）用テープが既に実用化されてい
る。

【０００４】高密度記録を達成する別の方法として、磁
気記録媒体の支持体を薄膜化することが考えれられる。
通常、磁気記録媒体の支持体としては、ポリエチレンテ
レフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート
（ＰＥＮ）等のポリエステル系プラスチックをはじめと
する非磁性支持体が用いられ、その厚さは例えばＶＨＳ
型のビデオテープでは１６μｍ程度、８ｍｍビデオテー
プでは９μｍ程度であるが、高密度記録（小型・長時
間）を達成するために、より一層支持体の薄膜化を進め
る必要がある。薄膜化されたテープを用いる場合には、
今までの厚いテープとの互換性（ヘッドの当たりや走行
性など）を得ることが望まれ、この観点から、支持体と
して剛性の高いポリアミドフィルムが用いられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ポリア
ミドフィルムは現在市販されている量が従来のポリエス
テルフィルムと比べて格段に少なく、ポリアミドフィル
ムによる金属薄膜型磁気記録媒体の量的拡大には制約が
多い。また、ＰＥＴやＰＥＮをそのまま用いると、剛性
が低いので、ヘッドタッチが悪くなり、走行不良や大幅
な出力の低下を招くなどの点から、薄膜化には限界があ
った。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の問
題点に鑑み、磁気記録媒体の薄膜化に適した支持体を得
るために鋭意研究した結果、特定の構造を有するポリエ
ステル系プラスチックフィルムを用い、更に該フィルム
の両面に金属系の強化膜を設けたものを支持体とするこ
とにより、ポリアミドフィルムを用いた場合と同等の剛
性を有し、且つ表面性が良好となり出力特性に優れた磁
気記録媒体が得られることを見出し、本発明を完成する
に至った。

【０００７】すなわち本発明は、粒子を含有するフィラ
ー面と、粒子と有機化合物を含有する被膜を有するマッ
ト面を持ち、フィラー面の粒子の平均粒子径がマット面
の被膜中の粒子の平均粒子径の２倍以上大きく、厚さ２
〜５．５μｍのポリエステル系プラスチックフィルムの
両面に、金属、半金属及び合金並びにこれらの酸化物及
び複合物から選ばれた金属材料からなる強化膜が形成さ
れていることを特徴とする磁気記録媒体の支持体を提供
するものである。

【０００８】また、本発明は、かかる本発明の支持体
と、該支持体のマット面側に形成された磁性層を有する
磁気記録媒体であって、該磁性層が前記支持体の強化膜
自体からなるか該強化膜を含んで構成され、或いは該強
化膜上に形成された少なくとも１層の強磁性金属薄膜か
ら構成されることを特徴とする磁気記録媒体を提供する
ものである。

【０００９】＜支持体＞本発明の支持体は、ポリエステ
ル系プラスチックからなるフィルムと該フィルムの両面
に設けられた金属系の強化膜からなる。

【００１０】ここで、ポリエステルとしては、ポリエチ
レンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレ
ート（ＰＥＮ）、ポリテトラメチレンテレフタレート、
ポリ−１，４−シクロヘキシレンジメチレンテレフタレ
ート、ポリエチレン−２，６−ナフタリンジカルボキシ
レート、ポリエチレン−ｐ−オキシベンゾエートなどが
挙げられる。特にポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）が好まし
い。また、これらのポリエステルはホモポリエステルで
あってもコポリエステルであってもよい。

【００１１】また、本発明の支持体に用いられるポリエ
ステル系フィルムは、厚さが２〜５．５μｍ、好ましく
は３．５〜５．５μｍである。本発明の支持体は特定の
マット面とフィラー面を有するポリエステル系フィルム
に金属系の強化膜を形成するものである。フィルムの曲
げ剛性は、フィルムのヤング率、フィルムの厚さにより
算出可能であり、更にフィルムの両面に何らかの層を形
成する場合は、フィルムの曲げ剛性と形成する層の厚さ
とヤング率並びにフィルムの厚さから得られるパラメー
ターとを加味して算出される。このとき、最も外側に剛
性の高い層を形成すること、更にはフィルムの両側の最
も外側に剛性の高い層を形成することにより、高い曲げ
剛性が得られる。曲げ応力がフィルムに加わるとフィル
ムの一面側は縮み他面側は伸びることになり、フィルム
の伸び縮みを阻止することが曲げ剛性の向上につなが
る。よって、本発明の支持体としてフィルムの両面に硬
い膜を形成させる意味がある。一般に金属は酸化物の方
が硬度が高くなるので、強化膜の表面部を酸化すること
により、本発明の効果は更に向上する。更に、厚さ２〜
５．５μｍの薄いポリエステル系フィルムを用いる場合
でも、フィルムの両側に剛性の高い金属系の強化膜を形
成し、その際、強化膜の厚さやヤング率を調節すること
により、ポリアミドフィルムに匹敵する曲げ剛性の支持
体を得ることができる。本発明のこのような知見による
ものであるが、ポリエステル系フィルムの厚さが５．５
μｍを超えると、強化膜による曲げ剛性の向上効果は少
なくなる。これは、一般にフィルムの曲げ剛性は厚さの
３乗に比例することから、フィルムの厚さが増えるとフ
ィルムの剛性そのものが向上し、強化膜による剛性の向
上率が相対的に減少するからである。また、厚さが２μ
ｍ未満のポリエステル系フィルムは、基本的にフィルム
自体の曲げ剛性が低すぎるため、強化膜による剛性の向
上が加味されても十分な剛性が発現するには至らない。
本発明における強化膜による剛性の向上効果は厚さ３．
５〜５．５μｍのフィルムにおいて特に顕著である。

【００１２】また、本発明の支持体に用いられるポリエ
ステル系フィルムは、マット面とフィラー面とを有す
る。ここで、マット面とは、粒子と有機化合物を含有す
る被膜が形成された面を言い、通常、該被膜上には微細
突起が形成されている。また、フィラー面とは、フィル
ムに内在する粒子により表面突起が形成される面を言
う。

【００１３】本発明に用いられるポリエステル系フィル
ムは、単層でも使用可能であるが、２層以上の積層フィ
ルムを用いるのが好ましい。

【００１４】マット面の被膜に用いられる粒子の平均粒
子径はフィラー面の粒子の平均粒子径の1/2 以下であ
り、好ましくは５〜５０ｎｍ、より好ましくは８〜３０
ｎｍであり、シリカ、炭酸カルシウム、アルミナ、ポリ
アクリル酸球、ポリスチレン球等が用いられるが、これ
らに限定されない。被膜中には該粒子は好ましくは０．
５〜１２．０重量％、より好ましくは０．６〜１０．０
重量％含まれる。また、有機化合物としては、有機高分
子が好ましく、例えばポリビニルアルコール、トラガン
トゴム、カゼイン、ゼラチン、セルロース誘導体、水溶
性ポリエステル、ポリウレタン等の有機高分子又はこれ
らのブレンド体が使用できるが、これらに限定されな
い。

【００１５】また、磁気記録媒体の磁性層の耐久性を更
に増すために、必要に応じて、マット面を形成する被膜
下のポリエステル系フィルム層内には平均粒子径が３０
〜１５０ｎｍ、好ましくは４０〜１００ｎｍの粒子を
０．０１〜１．０重量％、好ましくは０．０２〜０．８
重量％含ませマット面上に更に表面突起を持たせても良
い。ここで使用される粒子は炭酸カルシウム、シリカ、
アルミナ、ポリスチレン等が例示されるがこれらに限定
されない。

【００１６】フィラー面に用いられる粒子は炭酸カルシ
ウム、シリカ、アルミナ、ポリスチレン等が例示される
がこれらに限定されない。この粒子の平均粒子径は好ま
しくは１００〜１０００ｎｍであり、より好ましくは１
５０〜９００ｎｍのものが用いられる。粒子の添加量
は、好ましくは、フィラー面を構成するポリエステル層
の０．０５〜１．０重量％であり、より好ましくは０．
０８〜０．８重量％である。

【００１７】上記平均粒子径は下記の方法により測定さ
れたものである。即ち、電顕試験台上に粒子粉体を、こ
の粒子ができるだけ重ならないように散在せしめ、電子
顕微鏡（好ましくは透過型電子顕微鏡）により倍率１０
０万倍程度で観測し、少なくとも１００個の粒子の面積
円相当径を求め、この数平均値をもって平均粒子径とす
る。

【００１８】なお、この平均粒子径をフィルムから求め
る場合下記の手法等により求められる。

【００１９】ａ）フィルムマット面に金スパッター装置
により金薄膜蒸着層を２０〜３０ｎｍ（Ａｎｍ）設け、
電子顕微鏡（好ましくは走査型電子顕微鏡）により倍率
１０万倍程度で観測し、少なくとも１００個の粒子の面
積円相当径を求め、この数平均値より２Ａｎｍ減じた値
をもって平均粒子径とする。

【００２０】ｂ）フィルムフィラー面をイオンエッチン
グしフィラー面の微粒子をフィルム表面から暴露し電子
顕微鏡（好ましくは走査型電子顕微鏡）により倍率１万
倍程度で観測し、少なくとも１００個の粒子の面積円相
当径を求め、この数平均値をもって平均粒子径とする。

【００２１】ポリエステル系フィルムの幅方向（磁気テ
ープとしたときの長手方向に直交する方向）のヤング率
は８０００ＭＰａ以上が好ましく、更に好ましくは８０
００〜１１８００ＭＰａである。幅方向のヤング率が８
０００ＭＰａ未満であると、本ポリエステル系フィルム
から作成された支持体より作成された磁気記録媒体のビ
デオテープレコーダー、データーストリーマー装置内で
の記録、再生時、ヘッドの走行、テープ走行規制ガイド
との接触等によるテープエッジダメージが発生する場合
がある。

【００２２】本支持体に用いられるポリエステル系フィ
ルムの長手方向（磁気テープとしたときの長手方向）の
ヤング率は、６０００ＭＰａ以下が好ましく、更に好ま
しくは３９００〜５５００ＭＰａである。長手方向のヤ
ング率が６０００ＭＰａを越えると、本ポリエステル系
フィルムから作成された支持体の長手方向の剛性が高く
なることがあり、本支持体より作成した磁気記録媒体の
従来の磁気記録媒体との互換性がとれなくなる場合がな
いとは言えないので、長手方向のヤング率は６０００Ｍ
Ｐａ以下が好ましい。

【００２３】上記ポリエステル系フィルムのヤング率
は、引張試験測定により得られる応力−ひずみ曲線にお
けるスタート点の立ち上がり勾配からＡＳＴＭＤ−８
８２−６７に準じて測定され、単位はＭＰａで表す。こ
のときのサンプル幅、実効長さは１０ｍｍ、１００ｍｍ
とし、引張速度は１００ｍｍ／ｍｉｎとした。

【００２４】本発明で用いるポリエステル系フィルムの
マット面の微細突起個数は好ましくは３００万個〜９０
００万個／ｍｍ²、より好ましくは５００万個〜８００
０万個／ｍｍ²であり、フィラー面の微細突起個数は好
ましくは５０００個〜２００万個／ｍｍ²、より好まし
くは１万個〜２００万個／ｍｍ²である。

【００２５】本発明においては、微細突起個数は顕微鏡
観察で測定される。マット面の微細突起は１万倍以上
（例えば３万倍）の倍率の電子顕微鏡で観察し、被膜の
上に突起状に見えるものであり、その突起個数は電子顕
微鏡（好ましくは走査型電子顕微鏡）で１０視野以上観
察して１ｍｍ²あたりに換算して求める。また、フィラ
ー面の微細突起は、１０００倍程度の倍率の光学顕微鏡
（好ましくは微分干渉顕微鏡）観察により突起状に見え
るものであり、その突起個数は光学顕微鏡で１視野以上
観察して１ｍｍ²あたりに換算して求める。

【００２６】図７に本発明の支持体のマット面の構造を
示す走査型電子顕微鏡写真（倍率３万倍）を、また図８
に本発明の支持体のフィラー面の構造を示す微分干渉顕
微鏡写真（倍率１０００倍）をそれぞれ示した。

【００２７】このようなマット面とフィラー面とを有す
るポリエステル系フィルムは、以下の方法で得ることが
できる。

【００２８】溶融、成形、二軸延伸、熱固定からなる通
常のプラスチックフィルム製造工程において、共押出し
技術の使用により含有粒子を可能な限り除いたマット面
用のポリエステル原料（Ａ）と、平均粒子径１００〜１
０００ｎｍの粒子を０．０５〜１．０重量％含有させた
フィラー面用のポリエステル原料（Ｂ）を用いたＡ／Ｂ
積層フィルムを押出し、縦方向に９０〜１５０℃で２．
５〜７．０倍延伸した後、Ａ層表面に平均粒子径が５〜
５０ｎｍ、好ましくは８〜３０ｎｍの微細粒子を０．５
〜１２．０重量％、好ましくは０．６〜１０．０重量％
含む有機化合物からなる塗液を塗布する。次に横方向に
９０〜１５０℃で３．０〜７．０倍延伸した後、１５０
〜２２０℃の温度で熱固定を行いつつ１．１倍以上、横
に延伸する。このようにして原料Ａ側表面にマット面、
Ｂ層表面にフィラー面を形成させることができる。原料
Ａには磁気テープ磁性面の磁気ヘッドによる耐久性を更
に増すために、微細粒子を含ませても良い。

【００２９】Ａ層、Ｂ層の間に更に層を設け、３層以上
の積層構造を有するポリエステル系フィルムを用いても
よい。

【００３０】また、かかるフィルムは、本発明に用いる
ポリエステル系フィルムのマット面の表面粗さＳＲａ値
は１〜６ｎｍであるのが好ましく、より好ましくは２〜
５ｎｍである。一方フィラー面の表面粗さＳＲａ値は１
０〜６０ｎｍであるのが好ましく、より好ましくは１５
〜５０ｎｍである。

【００３１】マット面のＳＲａ値は表面Ａ上に形成させ
た被膜内の微粒子種類、添加量、ポリエステルＡ層内部
の微細粒子の調整により調整することができる。フィラ
ー面のＳＲａ値は層Ｂ内の粒子種類、添加量の調整によ
り調整することができる。

【００３２】なお、この表面粗さＳＲａ値はＪＩＳＢ
０６０１で規定する中心線平均粗さ（Ｒａ）に相当す
る中心線面平均粗さであり、次の方法により測定された
ものである。小坂研究所製の光触針式（臨界角焦点エラ
ー検出方式）の３次元粗さ計（ＥＴ−３０ＨＫ）を使用
して測定した。ＳＲａ値の測定は試料表面にＡｌ蒸着を
施し光の反射率を増大させて行った。測定方向は幅方向
とし、カットオフ値は０．０８ｍｍ、測定長は０．１〜
０．２５ｍｍ、送りピッチは０．２μｍ、測定スピード
は２０μｍ／ｓ、測定本数は１００本とした。単位はｎ
ｍとした。

【００３３】通常、本発明の支持体では、当該フィルム
のマット面側に磁性層が形成され、フィラー面側にはバ
ックコート層が形成される。

【００３４】また、フィルムの両面に形成される強化膜
は、金属、半金属及び合金並びにこれらの酸化物及び複
合物から選ばれた金属材料からなる。具体的には、Ａ
ｌ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｎ
などの金属、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｃ、Ｓｂなどの半金
属が挙げられる。これらの金属及び半金属の合金として
は、Ｆｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−
Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇｄ、Ｃｏ−Ｓ
ｍ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｎｉ−Ｃｕ、Ｍｎ−Ｂｉ、Ｍｎ−Ｓ
ｂ、Ｍｎ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃ
ｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃｒ等が挙げられ
る。また、これらの金属、半金属及び合金の酸化物は、
例えば蒸着時に酸素ガスを導入することで容易に得られ
る。また、これらの金属、半金属及び合金の複合物とし
ては、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｏ、Ｓｉ−Ｃ、Ｓｉ−Ｎ、Ｃｕ−Ａ
ｌ−Ｏ、Ｓｉ−Ｎ−Ｏ、Ｓｉ−Ｃ−Ｏなどが挙げられ
る。

【００３５】強化膜の形成方法は問わないが、真空蒸着
法が一般的であり、その他にもスパッタ法やイオンプレ
ーティング法などを用いることができる。特に強化膜と
なる金属材料としては、コバルトを主体とする強磁性金
属とその酸化物が好適であり、この場合、真空中の斜め
蒸着により、強化膜を形成することが好ましい。

【００３６】強化膜の厚さは、２０〜５００ｎｍが好ま
しく、より好ましくは５０〜３００ｎｍである。

【００３７】本発明では、特に、強化膜が、金属、半金
属及び合金から選ばれた金属材料の酸化物を含み、該強
化膜中の酸素濃度の分布が該強化膜の表面近傍で大きい
ことが好ましく、更に、強化膜中の酸素濃度の分布が該
強化膜の表面近傍と該強化膜と前記フィルムの界面近傍
で大きいことが、フィルムの剛性の面で好ましい。この
ような酸素分布を有する強化膜は、成膜時又は成膜後、
表面を酸化性ガスで強制的に酸化処理することにより作
製することができる。また、強化膜中の酸素濃度分布の
測定は、オージェ電子分光分析の深さ方向の分析により
行うことができる。ただし、強化膜の表面やフィルムと
の界面付近は異物の混入などの影響により、オージェプ
ロファイルの形状を正確に求めることは困難であり、本
発明においてこれらの部分の酸素濃度の変化は排除され
る。

【００３８】ここで、「酸素濃度が大きい」とは、相対
的にその他の部分よりも酸素濃度が大きいことであり、
特に濃度の変動が１０原子％以上ある場合を含む。

【００３９】本発明において、強化膜はポリエステル系
フィルムの両面に形成されるが、両面とも同一の金属材
料で形成することが生産性の面から望ましく、特に本発
明では両面の強化膜をＣｏとその酸化物から形成するこ
とが好ましい。

【００４０】＜磁気記録媒体＞本発明の磁気記録媒体
は、上記の本発明の支持体のマット面側に少なくとも一
層の強磁性金属薄膜からなる磁性層を有する。磁性層
は、本発明の支持体の強化膜自体からなるか該強化膜を
含んで構成され、或いは該強化膜上に形成された少なく
とも１層の強磁性金属薄膜から構成される。

【００４１】本発明において、金属薄膜型の磁性層を形
成する磁性材料としては、通常の金属薄膜型の磁気記録
媒体の製造に用いられる強磁性金属材料が挙げられ、例
えばＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅ等の強磁性金属、また、Ｆｅ−Ｃ
ｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ
−Ｃｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌ
ａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇｄ、Ｃｏ−Ｓｍ、Ｃｏ−Ｐ
ｔ、Ｎｉ−Ｃｕ、Ｍｎ−Ｂｉ、Ｍｎ−Ｓｂ、Ｍｎ−Ａ
ｌ、Ｆｅ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃｒ等の強磁性合金が挙げられ
る。また、これら金属もしくは金属合金の窒化物、炭化
物、酸化物も好ましい。

【００４２】高密度記録のためには磁気記録媒体の磁性
層は、斜め蒸着又はスパッタなどにより基材上に形成さ
れる。斜め蒸着やスパッタの方法は特に限定されず、従
来公知の方法に準ずる。蒸着の際の真空度は１０^-4〜１
０^-7Ｔｏｒｒ程度である。

【００４３】特に、支持体の強化膜がＣｏ等の強磁性金
属から形成されている場合は、当該強化膜を磁性層とし
てもよく、特に本発明では、真空中での斜め蒸着によ
り、支持体の一面にコバルトを主体とする強磁性金属を
付着させて形成した強化膜を磁性層とすることが好まし
い。この場合、蒸着中に酸素ガスを導入してコバルトを
主体とする強磁性金属の酸化物が含まれるようにするこ
とが一層望ましい。

【００４４】更に、支持体上にバックコート層を形成す
ることができる。バックコート層は、カーボンブラック
やバインダーを主成分とする厚さ０．２〜１．０μｍ程
度の塗布型のバックコート層でもよいし、蒸着法、直流
スパッタ法、交流スパッタ法、高周波スパッタ法、直流
マグネトロンスパッタ法、高周波マグネトロンスパッタ
法、イオンビームスパッタ法などの乾式メッキ手段によ
り、真空中で金属又は半金属を支持体に付着させて形成
された金属薄膜型のバックコート層でもよい。後者の場
合、バックコート層として付着する金属としては、いろ
いろ考えられるが、Ａｌ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ａ
ｇ、Ｃｏなど及びこれらの合金が用いられ、Ａｌ、Ｃｏ
やＣｕ−Ａｌ合金が好適である。また、バックコート層
を形成する半金属としては、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｃ、
Ｓｂなどが用いられ、Ｓｉが好適である。更に蒸着時に
前記金属又は半金属に酸化反応、炭化反応等をさせた酸
化膜、炭化膜などのようにセラミックス化したものも好
適である。また、更に添加物をドープし、導電率を向上
させることは好ましい。金属薄膜型のバックコート層の
厚さは、０．０５〜１．０μｍ程度である。バックコー
ト層は金属薄膜型が好ましく、かかるバックコート層
は、本発明の支持体の強化膜自体からなるか該強化膜を
含んで構成され、或いは該強化膜上に形成された少なく
とも１層の強磁性金属薄膜から構成されることが好まし
い。特に支持体の強化膜をバックコート層とすることが
好ましい。

【００４５】また、本発明の磁気記録媒体においては、
磁性層上に厚さが１〜５０ｎｍの保護膜が設けられるの
が好ましい。保護層を構成する材料として、Ａｌ等の金
属の酸化物、窒化物、あるいは炭化物などの他、ＳｉＣ
等、及びそれを含む化合物などが考えられる。また、特
に、炭素膜、中でもダイヤモンドライクカーボンが好ま
しい。ダイヤモンドライクカーボンよりなる保護層はフ
ィジカルベーパーデポジション（ＰＶＤ）法又はケミカ
ルベーパーデポジション（ＣＶＤ）法により形成され
る。特に、ＥＣＲプラズマＣＶＤ装置により形成され
る。即ち、真空槽内に配設された支持体上の磁性層に対
してＥＣＲプラズマＣＶＤ装置を作動させ、磁性層に炭
化水素系ガスのプラズマを吹き付ける。これにより、磁
性層表面に保護層（ダイヤモンドライクカーボン層）が
形成される。

【００４６】更に、本発明の磁気記録媒体においては、
磁性層又は保護層上に適当な潤滑剤からなる潤滑剤層を
形成することが好ましい。特にパーフルオロポリエーテ
ル等のフッ素系の潤滑剤が好ましく、潤滑剤層の厚さは
０．５〜１０ｎｍ程度である。潤滑剤としては、例えば
-[C(R)F-CF₂-O]_p-(但し、RはF,CF₃, CH₃などの基) 、特
にHOOC-CF₂(OC₂F₄)_p(OCF₂)_q-OCF₂COOH，F-(CF₂CF₂CF₂O)
_n-CF₂CF₂COOH 等のカルボキシル基変性パーフルオロポ
リエーテル、HOCH₂-CF₂(OC₂F₄)_p(OCF₂)_q-OCF₂-CH₂OH, H
O-(C₂H₄O)_m-CH₂-(OC₂F₄)_p(OCF₂)_q-OCH₂-(OCH₂CH₂)_n-OH,
F-(CF₂CF₂CF₂O)_n-CF₂CF₂CH₂OH等のアルコール変性パー
フルオロポリエーテルが挙げられる。分子量は５００〜
５００００のものが好ましい。具体的には、モンテカチ
ーニ社の商品名「ＦＯＭＢＬＩＮＺＤＩＡＣ」や
「ＦＯＭＢＬＩＮＺＤＯＬ」、ダイキン工業社の商
品名「デムナムＳＡ」等がある。特に耐久性の面ではフ
ッ素系アルキル基とアルキル基の両方を持つ潤滑剤の使
用が好ましい。また、これらの潤滑剤を混合して使用す
ることも好ましい。

【００４７】なお、本発明においては、バックコート層
上にも上記のような潤滑剤層を形成することが走行性の
面から好ましい。

【００４８】本発明において、各磁性層の厚さは、２層
の場合、下層の磁性層の厚さが１０〜２００ｎｍ、上層
の磁性層の厚さが５〜１００ｎｍが好ましく、３層の場
合、下層の磁性層の厚さが１０〜２００ｎｍ、中間の磁
性層の厚さが１０〜１００ｎｍ、上層の磁性層の厚さが
５〜１００ｎｍが好ましい。また磁性層の数は高周波記
録媒体程多い方が良いが、実用的な範囲としては２〜５
層、特に２〜３層が適当と考えられる。多層の磁性層
は、一層ずつ形成しても、二以上の装置を用いて連続的
に成膜してもよい。

【００４９】また、本発明の磁気記録媒体の保磁力は、
磁性層全体の保磁力として１２００（Ｏｅ）（９５ＫＡ
／ｍ）以上であるのが好ましく、特に１３００（Ｏｅ）
（１０３ＫＡ／ｍ）以上が好ましい。

【００５０】

【発明の実施の形態】以下実施例にて本発明を説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。

【００５１】実施例１（１）支持体の製造下記の方法で、マット面とフィラー面を有する厚さ４．
９μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ムを得た。

【００５２】実質的に不活性粒子を含有しないポリエチ
レンテレフタレートに平均粒子径６０ｎｍのシリカを
０．０３重量％含有させた原料Ａと、実質的に不活性粒
子を含有しないポリエチレンテレフタレートに平均粒子
径３００ｎｍの炭酸カルシウムを０．２０重量％含有さ
せた原料Ｂとを厚み比５：１の割合で共押出しし、ロー
ル延伸法で１１０℃で３．０倍に縦延伸した。

【００５３】縦延伸の後の工程で、片側表面Ａの外側に
下記水溶液を塗布した。Ａ面外側：メチルセルロース０．１０重量％水溶性ポリエステル０．３０重量％（テレフタル酸７０モル％、５−ナトリウムスルホイソフタル酸３０モル％の酸成分とエチレングリコールとの１：１の共重合体）アミノエチルシランカップリング剤０．０１重量％平均粒子径１８ｎｍのシリカ０．０２重量％固形分濃度２０ｍｇ／ｍ² その後、ステンターにて横方向に１０５℃で３．３倍に
延伸し、更に２１５℃で１．５６倍に横延伸しながら熱
処理し、中間スプールに巻き、スリッターで小幅にスリ
ットし、円筒コアーにロール状に巻取り、マット面Ａ
（原料Ａに水溶液を塗布し被膜を形成した面）とフィラ
ー面Ｂ（原料Ｂよりなる面）を有する厚さ４．９μｍの
ロール状ポリエステルフィルムを得た。

【００５４】本ポリエステルフィルムはマット面の微細
突起個数が１８００万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値が３ｎｍ
であった。フィラー面の微細突起個数は２５万個／ｍｍ
²で、ＳＲａ値が２０ｎｍであった。ヤング率は長手方
向／幅方向で４２００ＭＰａ／９０００ＭＰａであっ
た。

【００５５】次いで、このＰＥＴフィルムの両面に、図
１の装置を用いて、それぞれ厚さ１２０ｎｍのＣｏ強化
膜を成膜し、強化膜が形成された支持体を製造した。こ
の時の蒸着条件は、最大入射角６０°、フィルム走行速
度１．５ｍ／分、電子銃パワー１６ｋＷ、ノズル１４ａ
からの酸素ガス流量１０ＳＣＣＭ、ノズル１４ｃからの
酸素ガス流量６０ＳＣＣＭであった。なお、図１は真空
蒸着装置の概略図であり、図１において、１は支持体、
１０は冷却キャンロール、１１はルツボ、１２はＣｏ、
１３は防着板、１４ａ、１４ｂ、１４ｃは酸素ガスノズ
ル、１５は電子銃、１６は真空チャンバである。本例で
は酸素ガスノズル１４ｂは使用しなかった。

【００５６】得られた支持体のマット面側の強化膜の元
素分布をオージェ電子分光法により分析した結果を図３
に示す。ここで、オージェ電子分光法は、電子銃条件と
して電子銃加速電圧１０ｋＶ、エミッション電流１０ｎ
Ａ、倍率２０００倍であり、エッチング条件として、エ
ッチングガスがアルゴンガスで、加速電圧３ｋＶ、イオ
ン電流３００ｎＡであり、この条件下で２５秒間毎にエ
ッチングして行った（以下同じ）。図３から、この支持
体のマット面側の強化膜は、その表面近傍と、強化膜と
ＰＥＴフィルムの界面近傍で酸素濃度が高いことがわか
る。

【００５７】（２）磁気テープの製造上記で得られた支持体フィルムを再度図１の装置にセッ
トし、支持体のマット面側のＣｏ強化膜上に、厚さ９０
ｎｍのＣｏ磁性層を形成した。この時の蒸着条件は、フ
ィルム走行速度１．３ｍ／分、電子銃パワー１５ｋＷ、
ノズル１４ｃからの酸素ガス流量５０ＳＣＣＭであった
（ノズル１４ａ、１４ｂは使用せず）。

【００５８】次いで、該Ｃｏ磁性層上にＣＶＤ法により
ダイヤモンドライクカーボンからなる厚さ１０ｎｍの保
護層を形成した。更に該保護層上とフィラー面側のＣｏ
強化膜上に、フッ素系潤滑剤〔商品名：ＡＭ２００１
（ダイキン工業社製）〕をそれぞれ厚さが２ｎｍとなる
ように付着して潤滑剤層を形成した。

【００５９】上記により得られた、Ｃｏ強化膜、Ｃｏ磁
性層、ダイヤモンドライクカーボン保護層及びフッ素系
潤滑層が形成されたフィルムを８ｍｍ巾に裁断し、カセ
ットケースにローディングし、８ｍｍビデオテープを得
た。

【００６０】（３）性能評価上記で得られた８ｍｍビデオテープについて、出力、走
行性（ジッタ）及びヘッドタッチの指標としてエンベロ
ープを以下の方法で評価した。走行性は走行に伴う電磁
変換特性の変化を表すジッタを指標とした。その結果を
表１に示す。

【００６１】出力８ｍｍＶＴＲを改造したデッキを用いて、表１の周波数
での出力を測定し、本実施例１を基準（０ｄＢ）とする
相対評価とした。

【００６２】ジッタジッタは、市販の８ｍｍＶＴＲを改造し、これにジッタ
メーターを接続して測定した。

【００６３】エンベロープエンベロープは、アドバンテスト社のＴＲ４１７１型ス
ペクトラアナライザを用い、ＲＢＷ＝１０ｋＨｚ、ＶＢ
Ｗ＝３０ｋＨｚ、周波数スパン＝０ＭＨｚ、スイープタ
イム＝４０ｍｓ、アベレージ＝１６回の条件で得られた
出力波形（エンベロープ）をオシロスコープで測定し、
図２に示すように、出力波形の最大値Ｂと最小値Ａから
欠け量として下記のように算出した。欠け量（dB）＝２０ｌｏｇ（Ａ／Ｂ）欠け量の小さいもの程ヘッドタッチが良好である。

【００６４】実施例２実施例１において、マット面の微細突起個数が８０００
万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値が２ｎｍである以外は、同様
の厚さ４．９μｍ、ヤング率は長手方向／幅方向で４２
００ＭＰａ／９０００ＭＰａのＰＥＴフィルムを用いて
実施例１と同様に８ｍｍビデオテープを製造し、実施例
１同様の性能評価を行った。その結果を表１に示す。な
お、ここで用いたＰＥＴフィルムは、実施例１のＰＥＴ
フィルム製造において、原料Ａから平均粒子径６０ｎｍ
のシリカを除き、片面表面Ａの外側に塗布される水溶液
に含まれる極微細シリカの平均粒子径を１０ｎｍとした
以外は実施例１と同様にして製造されたものである。

【００６５】実施例３実施例１において、フィラー面の微細突起個数が１００
万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値が４０ｎｍである以外は、同
様の厚さ４．９μｍ、ヤング率は長手方向／幅方向で４
２００ＭＰａ／９０００ＭＰａのＰＥＴフィルムを用い
て実施例１と同様に８ｍｍビデオテープを製造し、実施
例１同様の性能評価を行った。その結果を表１に示す。
なお、ここで用いたＰＥＴフィルムは、実施例１のＰＥ
Ｔフィルム製造において、原料Ｂに含まれる炭酸カルシ
ウムの含有量を０．６０重量％とした以外は実施例１と
同様にして製造されたものである。

【００６６】実施例４実施例１において、ＰＥＴフィルムに代えて厚さ４．２
μｍポリエチレンナフタナフタレート（ＰＥＮ）フィル
ムを用いた以外は実施例１と同様にして８ｍｍビデオテ
ープを製造し、実施例１同様の性能評価を行った。その
結果を表１に示す。なお、ここで用いたＰＥＮフィルム
は、マット面の微細突起個数が６００万個／ｍｍ²で、
ＳＲａ値が２ｎｍであった。フィラー面の突起個数は７
万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値は１７ｎｍであった。ヤング
率は長手方向／幅方向で５５００ＭＰａ／１１０００Ｍ
Ｐａであった。また、このＰＥＮフィルムは実施例１の
ＰＥＴフィルム製造において、原料をポリエチレンテレ
フタレートからポリエチレン−２，６−ナフタレートと
変更し、縦延伸温度、倍率を１３５℃で５．０倍とし、
横延伸温度、倍率を１３５℃、６．０倍とし、更に１６
０℃で１．２倍に横に延伸し、２００℃で熱処理と変更
した以外は実施例１と同様にして製造されたものであ
る。

【００６７】実施例５実施例１において、蒸着装置の酸素ガスノズル１４ａか
らの酸素ガスの導入をせずに両面の強化膜を形成し、そ
の他は実施例１と同様にして、８ｍｍビデオテープを製
造し、実施例１同様の性能評価を行った。その結果を表
１に示す。なお、得られた支持体のマット面側の強化膜
の元素分布をオージェ電子分光法により分析した結果を
図４に示す。図４から、この支持体のマット面側の強化
膜は、その表面近傍で酸素濃度が高いことがわかる。

【００６８】実施例６実施例１において、支持体に強化膜を形成する際に全く
酸素ガスを導入をせず、その他は実施例１と同様にし
て、８ｍｍビデオテープを製造し、実施例１同様の性能
評価を行った。その結果を表１に示す。なお、得られた
支持体のマット面側の強化膜の元素分布をオージェ電子
分光法により分析した結果を図５に示す。図５から、こ
の支持体のマット面側の強化膜は、酸素濃度がほぼ一定
であることがわかる（表面近傍がわずかに酸素濃度が高
いのは自然酸化によるものである）。

【００６９】実施例７ (1) 支持体の製造実施例１の製造法において、共押出しフィルムの厚さを
０．８倍、押出し速度を１．２倍とし、他は同様にし
て、マット面とフィラー面を有する厚さ３．５μｍのＰ
ＥＴフィルムを得た。本ポリエステルフィルムのマット
面の微細突起個数が１８００万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値
が３ｎｍであった。フィラー面の突起個数は２５万個／
ｍｍ²で、ＳＲａ値は２０ｎｍであった。ヤング率は長
手方向／幅方向で４３００ＭＰａ／９２００ＭＰａであ
った。

【００７０】次いで、このＰＥＴフィルムの両面に、図
１の装置を用いて、マット面に厚さ１００ｎｍのＳｉＯ
_x強化膜を成膜し、フィラー面に厚さ１５０ｎｍのＳｉ
Ｏ_x強化膜を成膜し、強化膜が形成された支持体を製造
した。この時の蒸着条件は、最大入射角４０°、電子銃
パワー１８ｋＷ、ノズル１４ａからの酸素ガス流量２０
ＳＣＣＭ、ノズル１４ｃからの酸素ガス流量３０ＳＣＣ
Ｍであり、フィルム走行速度はマット面で３ｍ／分、フ
ィラー面で４．５ｍ／分であった。

【００７１】（２）磁気テープの製造および性能評価上記で得られた支持体フィルムを再度図１の装置にセッ
トし、支持体のマット面側のＳｉＯ_x強化膜上に、厚さ
１５０ｎｍのＣｏ磁性層を形成した。この時の蒸着条件
は、最大入射角６０°、フィルム走行速度１．０ｍ／
分、電子銃パワー１６ｋＷ、ノズル１４ｃからの酸素ガ
ス流量７０ＳＣＣＭであった（ノズル１４ａ、１４ｂは
使用せず）。

【００７２】次いで、実施例１と同様にダイヤモンドラ
イクカーボンからなる保護層、フッ素系潤滑剤を形成
し、８ｍｍビデオテープを製造し、実施例１同様の性能
評価を行った。その結果を表１に示す。

【００７３】実施例８実施例７において、ＳｉＯ_x強化膜の形成の際に蒸着装
置の酸素ガスノズル１４ｂのみから酸素ガスを導入（流
量５０ＳＣＣＭ）して両面の強化膜を形成し、その他は
実施例７と同様にして、８ｍｍビデオテープを製造し、
実施例１同様の性能評価を行った。その結果を表１に示
す。なお、得られた支持体のマット面側の強化膜の元素
分布をオージェ電子分光法により分析した結果を図６に
示す。図６に示されるように、この支持体のマット面側
の強化膜中の酸素濃度は、その表面近傍は自然酸化によ
りやや高くなり、深さ方向に向かうにつれて一旦酸素濃
度が減少するが徐々に増加し、再度ゆるやかに減少して
いる。

【００７４】実施例９実施例７において、支持体のマット面に形成するＳｉＯ
_x強化膜をＮｉ−Ｏ強化膜に代えた以外は実施例７と同
様にして、８ｍｍビデオテープを製造し、実施例１同様
の性能評価を行った。その結果を表１に示す。なお、Ｎ
ｉ−Ｏ強化膜を形成する際の蒸着条件は、最大入射角５
０°、電子銃パワー１２ｋＷ、フィルム走行速度１．２
ｍ／分、ノズル１４ａからの酸素ガス流量２０ＳＣＣ
Ｍ、ノズル１４ｃからの酸素ガス流量４０ＳＣＣＭであ
った。

【００７５】実施例１０実施例７において、ＰＥＴフィルムに代えて厚さ２．５
μｍのＰＥＮフィルムを用いた以外は実施例７と同様に
して８ｍｍビデオテープを製造し、実施例７同様の性能
評価を行った。その結果を表１に示す。なお、ここで用
いたＰＥＮフィルムは、マット面の微細突起個数が６０
０万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値が２ｎｍであった。フィラ
ー面の突起個数は７万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値は１７ｎ
ｍであった。ヤング率は長手方向／幅方向で６０００Ｍ
Ｐａ／１１０００ＭＰａであった。また、このＰＥＮフ
ィルムは実施例４のＰＥＮフィルム製造において、共押
出しフィルムの厚さを０．７倍、押出し速度を１．２倍
とし、他は同様にして得た。

【００７６】実施例１１実施例７において、厚さ５．５μｍのＰＥＴフィルムを
用いた以外は実施例１と同様にして８ｍｍビデオテープ
を製造し、実施例１同様の性能評価を行った。その結果
を表１に示す。なお、ここで用いたＰＥＴフィルムは、
マット面の微細突起個数が１６００万個／ｍｍ²で、Ｓ
Ｒａ値が３ｎｍであった。フィラー面の突起個数は１５
万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値は１８ｎｍであった。ヤング
率は長手方向／幅方向で４３００ＭＰａ／９１００ＭＰ
ａであった。また、ここで用いられたＰＥＴフィルムは
実施例１のＰＥＴフィルム製造において、共押出しフィ
ルムの厚さを１．２倍とし、他は同様にして得た。

【００７７】実施例１２実施例９において、マット面側のＮｉ−Ｏ強化膜とフィ
ラー面側のＳｉＯ_x強化膜の厚さをそれぞれ２倍にした
（フィルム走行速度を半分にした）以外は実施例１と同
様にして、８ｍｍビデオテープを製造し、実施例１同様
の性能評価を行った。その結果を表１に示す。

【００７８】実施例１３実施例９において、マット面側のＮｉ−Ｏ強化膜とフィ
ラー面側のＳｉＯ_x強化膜の厚さをそれぞれ半分にした
（フィルム走行速度を２倍にした）以外は実施例１と同
様にして、８ｍｍビデオテープを製造し、実施例１同様
の性能評価を行った。その結果を表１に示す。

【００７９】実施例１４図１の装置を用いて、実施例１で得られたポリエステル
フィルムのマット面に厚さ１４０ｎｍのＣｏ強化膜を成
膜し、一方フィラー面には厚さ１４０ｎｍのＣｏ強化膜
を成膜した。その後、実施例１と同様にマット面の強化
膜上に保護層を形成し、更に該保護層上とフィラー面の
Ｃｏ強化膜上に潤滑剤層を形成した。その後実施例１と
同様に８ｍｍビデオテープを製造し、実施例１同様の性
能評価を行った。その結果を表１に示す。

【００８０】実施例１５実施例１のＰＥＴフィルム製造において、２１５℃での
横延伸倍率を１．２４倍と変更した以外は実施例１と同
様にして得た厚さ４．９μｍのＰＥＴフィルムを用い、
８ｍｍビデオテープを製造し、実施例１同様の性能評価
を行った。その結果を表１に示す。なお、ここで用いた
ＰＥＴフィルムは、マット面の微細突起個数が２０００
万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値が３ｎｍであった。フィラー
面の突起個数は３２万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値は２５ｎ
ｍであった。ヤング率は長手方向／幅方向で４３００Ｍ
Ｐａ／７５００ＭＰａであった。

【００８１】実施例１６実施例４のＰＥＮフィルム製造において、縦延伸倍率を
５．８倍と変更した以外は実施例４と同様にして厚さ
４．２μｍのＰＥＮフィルムを用い、８ｍｍビデオテー
プを製造し、実施例１同様の性能評価を行った。その結
果を表１に示す。なお、ここで用いたＰＥＮフィルム
は、マット面の微細突起個数が７００万個／ｍｍ²で、
ＳＲａ値が２ｎｍであった。フィラー面の突起個数は６
万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値は１６ｎｍであった。ヤング
率は長手方向／幅方向で６５００ＭＰａ／１１０００Ｍ
Ｐａであった。

【００８２】実施例１７実施例１のＰＥＴフィルム製造において、原料Ｂ内の炭
酸カルシウムの平均粒子径を８ｎｍとした。その他は実
施例１と同様にして厚さ４．９μｍのポリエステルフィ
ルムを得た以外は実施例１と同様にして８ｍｍビデオテ
ープを製造し、実施例１同様の性能評価を行った。その
結果を表１に示す。なお、ここで用いたＰＥＴフィルム
は、マット面の微細突起個数が１８００万個／ｍｍ
²で、ＳＲａ値が３ｎｍであった。フィラー面の突起個
数は３００万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値は８ｎｍであっ
た。ヤング率は長手方向／幅方向で４３００ＭＰａ／９
１００ＭＰａであった。

【００８３】実施例１８実施例１のＰＥＴフィルム製造において、原料Ｂ内の炭
酸カルシウムの平均粒子径を１２００ｎｍとした。その
他は実施例１と同様にして厚さ４．９μｍのポリエステ
ルフィルムを得た以外は実施例１と同様にして８ｍｍビ
デオテープを製造し、実施例１同様の性能評価を行っ
た。その結果を表１に示す。なお、ここで用いたＰＥＴ
フィルムは、マット面の微細突起個数が１８００万個／
ｍｍ²で、ＳＲａ値が３ｎｍであった。フィラー面の突
起個数は４０００個／ｍｍ²で、ＳＲａ値は７０ｎｍで
あった。ヤング率は長手方向／幅方向で４３００ＭＰａ
／９１００ＭＰａであった。

【００８４】実施例１９実施例１のＰＥＴフィルム製造において、片側表面Ａの
外側に塗布される水溶液に含まれる極微細シリカの平均
粒子径を４ｎｍとした以外は実施例１と同様にして厚さ
４．９μｍのＰＥＴフィルムを用い、８ｍｍビデオテー
プを製造し、実施例１同様の性能評価を行った。その結
果を表１に示す。なお、ここで用いたＰＥＴフィルム
は、マット面の微細突起個数が１．１億個／ｍｍ²で、
ＳＲａ値が２ｎｍであった。フィラー面の突起個数は２
５万個／ｍｍ²で、ＳＲａ値は２０ｎｍであった。ヤン
グ率は長手方向／幅方向で４３００ＭＰａ／９１００Ｍ
Ｐａであった。

【００８５】実施例２０実施例１のＰＥＴフィルム製造において、片側表面Ａの
外側に塗布される水溶液に含まれるシリカの平均粒子径
を６０ｎｍとした以外は実施例１と同様にして厚さ４．
９μｍのＰＥＴフィルムを用い、８ｍｍビデオテープを
製造し、実施例１同様の性能評価を行った。その結果を
表１に示す。なお、ここで用いたＰＥＴフィルムは、マ
ット面の微細突起個数が２００万個／ｍｍ²で、ＳＲａ
値が８ｎｍであった。フィラー面の突起個数は２５万個
／ｍｍ²で、ＳＲａ値は２０ｎｍであった。ヤング率は
長手方向／幅方向で４３００ＭＰａ／９１００ＭＰａで
あった。

【００８６】比較例１実施例１において、マット面とフィラー面が形成されて
いないＰＥＴフィルムを用い、このＰＥＴフィルムに実
施例１と同様にして強化膜を形成し、支持体とした。そ
の他は実施例１と同様にして、８ｍｍビデオテープを製
造し、実施例１同様の性能評価を行った。その結果を表
１に示す。

【００８７】比較例２実施例１において、支持体のフィラー面にＣｏ強化膜を
形成せず、代わりに公知のカーボンブラックとバインダ
ーとからなる塗料を塗布して厚さ０．５μｍ（乾燥厚）
の塗布型のバックコート層を形成した。その他は実施例
１と同様にして、８ｍｍビデオテープを製造し、実施例
１同様の性能評価を行った。その結果を表１に示す。

【００８８】比較例３実施例７において、支持体のフィラー面にＳｉＯ_x強化
膜を形成せず、代わりに公知のカーボンブラックとバイ
ンダーとからなる塗料を塗布して厚さ０．５μｍ（乾燥
厚）の塗布型のバックコート層を形成した。その他は実
施例１と同様にして、８ｍｍビデオテープを製造し、実
施例１同様の性能評価を行った。その結果を表１に示
す。

【００８９】比較例４実施例１のＰＥＴフィルム製造において、片側表面Ａの
外側に塗布される水溶液に含まれるシリカの平均粒子径
を５５ｎｍとし、原料Ｂ内の炭酸カルシウムの平均粒子
径を８０ｎｍとした以外は実施例１と同様にして厚さ
４．９μｍのＰＥＴフィルムを用い、８ｍｍビデオテー
プを製造し、実施例１同様の性能評価を行った。その結
果を表１に示す。なお、ここで用いたＰＥＴフィルム
は、マット面の微細突起個数が６０万個／ｍｍ²で、フ
ィラー面の突起個数は８００万個／ｍｍ²であった。

【００９０】

【表１】

【００９１】

【発明の効果】以上の如く本発明によれば、優れた剛性
を有する薄膜化された支持体が提供される。この支持体
を用いて得られる磁気記録媒体は走行性やヘッドの当た
りが良好であり、優れた出力特性を示すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録媒体の磁性層を形成するため
の装置の例を示す略図

【図２】実施例におけるエンベロープ欠け量を算出する
ためのモデル図

【図３】実施例１の支持体のマット面側の強化膜のオー
ジェ分光分析のチャート

【図４】実施例５の支持体のマット面側の強化膜のオー
ジェ分光分析のチャート

【図５】実施例６の支持体のマット面側の強化膜のオー
ジェ分光分析のチャート

【図６】実施例８の支持体のマット面側の強化膜のオー
ジェ分光分析のチャート

【図７】本発明の支持体のマット面の構造を示す走査型
電子顕微鏡写真（倍率３万倍）

【図８】本発明の支持体のフィラー面の構造を示す微分
干渉顕微鏡写真（倍率１０００倍）

【符号の説明】

１…支持体１０…冷却キャンロール１１…ルツボ１２…Ｃｏ１５…電子銃１６…真空チャンバ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者原田直滋賀県大津市園山一丁目１番１号東レ株式会社滋賀事業場内 (72)発明者北折典之栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会社研究所内 (72)発明者石川彰栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会社研究所内 (72)発明者大塚和俊栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会社研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】粒子を含有するフィラー面と、粒子と有
機化合物を含有する被膜を有するマット面を持ち、フィ
ラー面の粒子の平均粒子径がマット面の被膜中の粒子の
平均粒子径の２倍以上大きく、厚さ２〜５．５μｍのポ
リエステル系プラスチックフィルムの両面に、金属、半
金属及び合金並びにこれらの酸化物及び複合物から選ば
れた金属材料からなる強化膜が形成されていることを特
徴とする磁気記録媒体の支持体。
【請求項２】フィラー面の粒子の平均粒子径が１００
〜１０００ｎｍ、マット面の被膜中の粒子の平均粒子径
が５〜５０ｎｍであることを特徴とする請求項１記載の
支持体。
【請求項３】マット面の微細突起個数が３００万個〜
９０００万個／ｍｍ²であることを特徴とする請求項１
又は２記載の支持体。
【請求項４】ポリエステル系フィルムの幅方向のヤン
グ率が８０００ＭＰａ以上である請求項１〜３の何れか
１項記載の支持体。
【請求項５】フィラー面の微細突起個数が５０００個
〜２００万個／ｍｍ²であることを特徴とする請求項１
〜４の何れか１項記載の支持体。
【請求項６】ポリエステル系フィルムの長手方向のヤ
ング率が６０００ＭＰａ以下であることを特徴とする請
求項１〜５の何れか１項記載の支持体。
【請求項７】前記強化膜が、金属、半金属及び合金か
ら選ばれた金属材料の酸化物を含み、該強化膜中の酸素
濃度が該強化膜の表面近傍で大きい請求項１〜６の何れ
か１項記載の支持体。
【請求項８】前記強化膜が、金属、半金属及び合金か
ら選ばれた金属材料の酸化物を含み、該強化膜中の酸素
濃度が該強化膜の表面近傍と該強化膜と前記フィルムの
界面近傍で大きい請求項１〜６の何れか１項記載の支持
体。
【請求項９】前記金属材料がコバルトを主体とする強
磁性金属とその酸化物である請求項１〜８の何れか１項
記載の支持体。
【請求項１０】前記両面の強化膜が同一の金属材料か
らなる請求項１〜９の何れか１項記載の支持体。
【請求項１１】前記強化膜が真空中での斜め蒸着によ
り形成されたものである請求項１〜１０の何れか１項記
載の支持体。
【請求項１２】請求項１〜１１の何れか１項記載の支
持体と、該支持体のマット面側に形成された磁性層を有
する磁気記録媒体であって、該磁性層が前記支持体の強
化膜自体からなるか該強化膜を含んで構成され、或いは
該強化膜上に形成された少なくとも１層の強磁性金属薄
膜から構成されることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項１３】磁性層が前記支持体に形成された前記
強化膜からなる請求項１２記載の磁気記録媒体。
【請求項１４】磁性層がコバルトを主体とする強磁性
金属とその酸化物からなる請求項１２又は１３記載の磁
気記録媒体。
【請求項１５】磁性層の厚さが０．１〜０．３μｍで
ある請求項１２〜１４の何れか１項記載の磁気記録媒
体。
【請求項１６】磁性層上に保護層が形成されている請
求項１２〜１５の何れか１項記載の磁気記録媒体。
【請求項１７】保護層がダイヤモンドライクカーボン
からなる請求項１６記載の磁気記録媒体。
【請求項１８】磁性層又は保護層上に潤滑層が形成さ
れている請求項１２〜１７の何れか１項記載の磁気記録
媒体。
【請求項１９】潤滑層がフッ素系潤滑剤からなる請求
項１８記載の磁気記録媒体。
【請求項２０】支持体のフィラー面側にバックコート
層を有し、該バックコート層が前記支持体の強化膜自体
からなるか該強化膜を含んで構成され、或いは該強化膜
上に形成された少なくとも１層の強磁性金属薄膜から構
成される請求項１２〜１９の何れか１項記載の磁気記録
媒体。
【請求項２１】バックコート層が前記支持体に形成さ
れた前記強化膜からなる請求項２０記載の磁気記録媒
体。
【請求項２２】バックコート層がコバルトを主体とす
る強磁性金属とその酸化物からなる請求項２０又は２１
記載の磁気記録媒体。
【請求項２３】バックコート層上に潤滑層が形成され
ている請求項２０〜２２の何れか１項記載の磁気記録媒
体。