JPH1144594A - 圧力検出器 - Google Patents
圧力検出器Info
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- JPH1144594A JPH1144594A JP19981097A JP19981097A JPH1144594A JP H1144594 A JPH1144594 A JP H1144594A JP 19981097 A JP19981097 A JP 19981097A JP 19981097 A JP19981097 A JP 19981097A JP H1144594 A JPH1144594 A JP H1144594A
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- pressure
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微小圧力も検出できるようにする。封入液を
少なくして温度特性を向上させる。 【解決手段】 円筒型ダイアフラム３に凸パターン３Ａ
１〜３Ａ４および凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎを設ける。
本体管路１の内側に、円筒型ダイアフラム３の凸パター
ン３Ａ１〜３Ａ４に対して凹パターン１Ａ１〜１Ａ４を
形成し、凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎに対して凸パターン
１Ｂ１〜１Ｂｎを形成する。円筒型ダイアフラム３の両
端開口部を本体管路１の内面に溶接する。この溶接状態
において、凸パターン３Ａ１〜３Ａ４，凹パターン３Ｂ
１〜３Ｂｎと凹パターン１Ａ１〜１Ａ４，凸パターン１
Ｂ１〜１Ｂｎとが微小な間隙を隔てて嵌め合わされた状
態とし、この凹凸パターンで挟まれた空間を受圧室４と
する。
少なくして温度特性を向上させる。 【解決手段】 円筒型ダイアフラム３に凸パターン３Ａ
１〜３Ａ４および凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎを設ける。
本体管路１の内側に、円筒型ダイアフラム３の凸パター
ン３Ａ１〜３Ａ４に対して凹パターン１Ａ１〜１Ａ４を
形成し、凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎに対して凸パターン
１Ｂ１〜１Ｂｎを形成する。円筒型ダイアフラム３の両
端開口部を本体管路１の内面に溶接する。この溶接状態
において、凸パターン３Ａ１〜３Ａ４，凹パターン３Ｂ
１〜３Ｂｎと凹パターン１Ａ１〜１Ａ４，凸パターン１
Ｂ１〜１Ｂｎとが微小な間隙を隔てて嵌め合わされた状
態とし、この凹凸パターンで挟まれた空間を受圧室４と
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、管路内を満たす
流体の圧力を検出する圧力検出器に関するものである。
流体の圧力を検出する圧力検出器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、管路内を満たす気体や液体，
混相流などの流体の圧力を検出する圧力検出器として、
本体管路の内側に筒状のダイアフラムを備えた圧力検出
器が用いられている。
混相流などの流体の圧力を検出する圧力検出器として、
本体管路の内側に筒状のダイアフラムを備えた圧力検出
器が用いられている。
【０００３】例えば、特公昭４８−４１０９２号公報
（先行技術１）では、本体管路の内側に円筒型ダイアフ
ラムを設け、このダイアフラムと本体管路の内側との間
の空間を受圧室とし、この受圧室に封入液を充填してい
る。この圧力検出器では、本体管路内に流体が満たされ
ると、この流体の静的圧力を受けてダイアフラムが外方
へ変形し、受圧室に充填された封入液の圧力に変換され
る。この封入液の圧力に基づいて本体管路内を満たす流
体の圧力を検出する。
（先行技術１）では、本体管路の内側に円筒型ダイアフ
ラムを設け、このダイアフラムと本体管路の内側との間
の空間を受圧室とし、この受圧室に封入液を充填してい
る。この圧力検出器では、本体管路内に流体が満たされ
ると、この流体の静的圧力を受けてダイアフラムが外方
へ変形し、受圧室に充填された封入液の圧力に変換され
る。この封入液の圧力に基づいて本体管路内を満たす流
体の圧力を検出する。
【０００４】特開平７−１９９８０号公報（先行技術
２）にも、先行技術１と同様の圧力検出器が示されてお
り、この圧力検出器では円筒型ダイアフラムをフッ素樹
脂製としている。特公昭４３−６２３１号公報（先行技
術３）にも、先行技術１と同様の圧力検出器が示されて
いるが、この圧力検出器ではダイアフラムの断面を非円
形としている。この場合、ダイアフラムが流体の静的圧
力を受けて外方へ変形し、非円形断面が円形になろうと
する。これにより、すなわち圧力が大きくなるに従って
断面が円形に近づくように変形するため、耐圧強度が高
まる。
２）にも、先行技術１と同様の圧力検出器が示されてお
り、この圧力検出器では円筒型ダイアフラムをフッ素樹
脂製としている。特公昭４３−６２３１号公報（先行技
術３）にも、先行技術１と同様の圧力検出器が示されて
いるが、この圧力検出器ではダイアフラムの断面を非円
形としている。この場合、ダイアフラムが流体の静的圧
力を受けて外方へ変形し、非円形断面が円形になろうと
する。これにより、すなわち圧力が大きくなるに従って
断面が円形に近づくように変形するため、耐圧強度が高
まる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の圧力検出器では、ダイアフラムを筒状として
いる点で共通しているが、何れの場合もダイアフラムは
その軸方向および周方向に拡張・縮小できる構造ではな
く、微小圧力を検出するには適さない。また、ダイアフ
ラムと本体管路の内側との間の空間が受圧室とされる
が、何れの場合もこの受圧室が大きく、封入液を多量に
必要とし、温度特性が悪くなる（封入液が多いほど温度
特性が悪くなる）。
うな従来の圧力検出器では、ダイアフラムを筒状として
いる点で共通しているが、何れの場合もダイアフラムは
その軸方向および周方向に拡張・縮小できる構造ではな
く、微小圧力を検出するには適さない。また、ダイアフ
ラムと本体管路の内側との間の空間が受圧室とされる
が、何れの場合もこの受圧室が大きく、封入液を多量に
必要とし、温度特性が悪くなる（封入液が多いほど温度
特性が悪くなる）。
【０００６】本発明はこのような課題を解決するために
なされたもので、第１発明の目的とするところは、微小
圧力を検出することができる圧力検出器を提供すること
にある。また、第２発明の目的とするところは、微小圧
力を検出することができ、かつ封入液を少なくして温度
特性に優れた圧力検出器を提供することにある。
なされたもので、第１発明の目的とするところは、微小
圧力を検出することができる圧力検出器を提供すること
にある。また、第２発明の目的とするところは、微小圧
力を検出することができ、かつ封入液を少なくして温度
特性に優れた圧力検出器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、第１発明（請求項１に係る発明）は、本体管
路の内側に筒状のダイアフラムを備えた圧力検出器にお
いて、ダイアフラムにこのダイアフラムをその軸方向お
よび周方向に拡張・縮小可能とする凹凸パターンを形成
したものである。この発明によれば、ダイアフラムに形
成された凹凸パターンによって、微小な圧力でもダイア
フラムが変位する。
るために、第１発明（請求項１に係る発明）は、本体管
路の内側に筒状のダイアフラムを備えた圧力検出器にお
いて、ダイアフラムにこのダイアフラムをその軸方向お
よび周方向に拡張・縮小可能とする凹凸パターンを形成
したものである。この発明によれば、ダイアフラムに形
成された凹凸パターンによって、微小な圧力でもダイア
フラムが変位する。
【０００８】第２発明（請求項２に係る発明）は、本体
管路の内側に筒状のダイアフラムを備えた圧力検出器に
おいて、ダイアフラムにこのダイアフラムをその軸方向
および周方向に拡張・縮小可能とする凹凸パターンを形
成し、本体管路の内側にダイアフラムに形成された凹凸
パターンに対してその凹凸方向を逆とした凹凸パターン
を形成し、ダイアフラムの凹凸パターンと本体管路の凹
凸パターンとを微小な間隙を隔てて嵌め合わせるように
したものである。この発明によれば、ダイアフラムに形
成された凹凸パターンによって、微小な圧力でもダイア
フラムが変位する。また、ダイアフラムの凹凸パターン
と本体管路の凹凸パターンとを微小な間隙を隔てて嵌め
合わせることによって、ダイアフラムと本体管路の内側
との間に作られる受圧室が小さくなり、この受圧室への
封入液の充填量を少なくして温度特性を向上させること
ができる。
管路の内側に筒状のダイアフラムを備えた圧力検出器に
おいて、ダイアフラムにこのダイアフラムをその軸方向
および周方向に拡張・縮小可能とする凹凸パターンを形
成し、本体管路の内側にダイアフラムに形成された凹凸
パターンに対してその凹凸方向を逆とした凹凸パターン
を形成し、ダイアフラムの凹凸パターンと本体管路の凹
凸パターンとを微小な間隙を隔てて嵌め合わせるように
したものである。この発明によれば、ダイアフラムに形
成された凹凸パターンによって、微小な圧力でもダイア
フラムが変位する。また、ダイアフラムの凹凸パターン
と本体管路の凹凸パターンとを微小な間隙を隔てて嵌め
合わせることによって、ダイアフラムと本体管路の内側
との間に作られる受圧室が小さくなり、この受圧室への
封入液の充填量を少なくして温度特性を向上させること
ができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施の形態に基づ
き詳細に説明する。図２はこの発明の一実施の形態を示
す圧力検出器の外観斜視図であり、図１はこの圧力検出
器の管路断面図である。同図において、１は本体管路、
２はキャピラリ、３は円筒状のダイアフラム（円筒型ダ
イアフラム）、４は受圧室、５は封入液である。
き詳細に説明する。図２はこの発明の一実施の形態を示
す圧力検出器の外観斜視図であり、図１はこの圧力検出
器の管路断面図である。同図において、１は本体管路、
２はキャピラリ、３は円筒状のダイアフラム（円筒型ダ
イアフラム）、４は受圧室、５は封入液である。
【００１０】円筒型ダイアフラム３は本体管路１の内側
に設けられている。円筒型ダイアフラム３には、図３に
示すように、この円筒型ダイアフラム３をその軸方向お
よび周方向に拡張・縮小可能とする凹凸パターンが形成
されている。この場合、円筒型ダイアフラム３は金属製
（例えばステンレス製）とされ、円周に沿って形成され
たリング状のリブ３Ａ１〜３Ａ４が凸パターン、軸方向
に長く形成された長円形のリブ３Ｂ１〜３Ｂｎが凹パタ
ーンとされている。
に設けられている。円筒型ダイアフラム３には、図３に
示すように、この円筒型ダイアフラム３をその軸方向お
よび周方向に拡張・縮小可能とする凹凸パターンが形成
されている。この場合、円筒型ダイアフラム３は金属製
（例えばステンレス製）とされ、円周に沿って形成され
たリング状のリブ３Ａ１〜３Ａ４が凸パターン、軸方向
に長く形成された長円形のリブ３Ｂ１〜３Ｂｎが凹パタ
ーンとされている。
【００１１】本体管路１の内側には、円筒型ダイアフラ
ム３に形成された凹凸パターンに対して、その凹凸方向
を逆とした凹凸パターンが形成されている。この場合、
円筒型ダイアフラム３の凸パターン３Ａ１〜３Ａ４に対
して凹パターン１Ａ１〜１Ａ４が形成され、円筒型ダイ
アフラム３の凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎに対して凸パタ
ーン１Ｂ１〜１Ｂｎが形成されている。
ム３に形成された凹凸パターンに対して、その凹凸方向
を逆とした凹凸パターンが形成されている。この場合、
円筒型ダイアフラム３の凸パターン３Ａ１〜３Ａ４に対
して凹パターン１Ａ１〜１Ａ４が形成され、円筒型ダイ
アフラム３の凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎに対して凸パタ
ーン１Ｂ１〜１Ｂｎが形成されている。
【００１２】円筒型ダイアフラム３はその両端開口部が
本体管路１の内面に溶接等でシールされている。この状
態において、円筒型ダイアフラム３の凸パターン３Ａ１
〜３Ａ４，凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎと本体管路１の凹
パターン１Ａ１〜１Ａ４，凸パターン１Ｂ１〜１Ｂｎと
が微小な間隙を隔てて嵌め合わされた状態とされ、この
凸パターン３Ａ１〜３Ａ４，凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎ
と凹パターン１Ａ１〜１Ａ４，凸パターン１Ｂ１〜１Ｂ
ｎとで挟まれた空間が受圧室４とされている。この受圧
室４に封入液（例えば、シリコンオイル）５が充填され
ており、この充填された封入液５が連通孔１−１を介し
キャピラリ２を通って圧力発信器本体（図示せず）へ送
られている。
本体管路１の内面に溶接等でシールされている。この状
態において、円筒型ダイアフラム３の凸パターン３Ａ１
〜３Ａ４，凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎと本体管路１の凹
パターン１Ａ１〜１Ａ４，凸パターン１Ｂ１〜１Ｂｎと
が微小な間隙を隔てて嵌め合わされた状態とされ、この
凸パターン３Ａ１〜３Ａ４，凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎ
と凹パターン１Ａ１〜１Ａ４，凸パターン１Ｂ１〜１Ｂ
ｎとで挟まれた空間が受圧室４とされている。この受圧
室４に封入液（例えば、シリコンオイル）５が充填され
ており、この充填された封入液５が連通孔１−１を介し
キャピラリ２を通って圧力発信器本体（図示せず）へ送
られている。
【００１３】この圧力検出器では、本体管路１内に被測
定流体が満たされると、この流体の静的圧力を受けて円
筒型ダイアフラム３が変形し、受圧室４に充填された封
入液５の圧力に変換される。この封入液５の圧力に基づ
いて、圧力発信器本体において、本体管路１内を満たす
流体の静的圧力が検出される。ここで、円筒型ダイアフ
ラム３は、その凸パターン３Ａ１〜３Ａ４，凹パターン
３Ｂ１〜３Ｂｎによって軸方向および周方向に拡張・縮
小可能とされているため、微小な圧力でも変位する。こ
れにより、本体管路１内の微小な流体圧力も検出するこ
とが可能となり、感度が良好となる。すなわち、この圧
力検出器では、円筒型ダイアフラム３に凸パターン３Ａ
１〜３Ａ４，凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎを形成すること
により、この円筒型ダイアフラム３のやわらかさを小に
して、圧力伝達特性を向上させることができる。
定流体が満たされると、この流体の静的圧力を受けて円
筒型ダイアフラム３が変形し、受圧室４に充填された封
入液５の圧力に変換される。この封入液５の圧力に基づ
いて、圧力発信器本体において、本体管路１内を満たす
流体の静的圧力が検出される。ここで、円筒型ダイアフ
ラム３は、その凸パターン３Ａ１〜３Ａ４，凹パターン
３Ｂ１〜３Ｂｎによって軸方向および周方向に拡張・縮
小可能とされているため、微小な圧力でも変位する。こ
れにより、本体管路１内の微小な流体圧力も検出するこ
とが可能となり、感度が良好となる。すなわち、この圧
力検出器では、円筒型ダイアフラム３に凸パターン３Ａ
１〜３Ａ４，凹パターン３Ｂ１〜３Ｂｎを形成すること
により、この円筒型ダイアフラム３のやわらかさを小に
して、圧力伝達特性を向上させることができる。
【００１４】また、この圧力検出器では、円筒型ダイア
フラム３の凸パターン３Ａ１〜３Ａ４，凹パターン３Ｂ
１〜３Ｂｎと本体管路１の凹パターン１Ａ１〜１Ａ４，
凸パターン１Ｂ１〜１Ｂｎとを微小な間隙を隔てて嵌め
合わせることによって、円筒型ダイアフラム３と本体管
路１の内側との間に作られる受圧室４の容積が小さくな
り、この受圧室４への封入液５の充填量が少なくなっ
て、温度特性が向上する。すなわち、この圧力検出器で
は、シール液熱膨張による検出精度への影響（特に零点
温度特性）を小にするため、封入シール液量を最小にし
ている。すなわち、円筒型ダイアフラム３とこの円筒型
ダイアフラム３を収納する本体管路１との間に形成され
るシール液封入のための間隙（キャビティ）を最小にし
ている。
フラム３の凸パターン３Ａ１〜３Ａ４，凹パターン３Ｂ
１〜３Ｂｎと本体管路１の凹パターン１Ａ１〜１Ａ４，
凸パターン１Ｂ１〜１Ｂｎとを微小な間隙を隔てて嵌め
合わせることによって、円筒型ダイアフラム３と本体管
路１の内側との間に作られる受圧室４の容積が小さくな
り、この受圧室４への封入液５の充填量が少なくなっ
て、温度特性が向上する。すなわち、この圧力検出器で
は、シール液熱膨張による検出精度への影響（特に零点
温度特性）を小にするため、封入シール液量を最小にし
ている。すなわち、円筒型ダイアフラム３とこの円筒型
ダイアフラム３を収納する本体管路１との間に形成され
るシール液封入のための間隙（キャビティ）を最小にし
ている。
【００１５】次にダイアフラムの成形方法の例を述べ
る。 〔静水圧成形法〕この実施の形態において、円筒型ダイ
アフラム３は、静水圧成形法によって製造されている。
この静水圧成形法では、本体管路１を精密鋳造物とし、
本体管路１に金型を兼用させる。先ず、図４（ａ）に示
すように、その内面に凹凸パターンが形成されている本
体管路１にステンレス製の円筒Ｓを入れる。
る。 〔静水圧成形法〕この実施の形態において、円筒型ダイ
アフラム３は、静水圧成形法によって製造されている。
この静水圧成形法では、本体管路１を精密鋳造物とし、
本体管路１に金型を兼用させる。先ず、図４（ａ）に示
すように、その内面に凹凸パターンが形成されている本
体管路１にステンレス製の円筒Ｓを入れる。
【００１６】そして、図４（ｂ）に示すように、この円
筒Ｓの上端部および下端部を本体管路１の内面に密接す
る。この場合、本体管路１の内面と円筒Ｓとの間に次工
程での高圧液体が侵入しないように密に密接することが
重要である。なお、本体管路１には封入液の連通孔１−
１が形成されているので、この連通行１−１も密に塞い
でおく。
筒Ｓの上端部および下端部を本体管路１の内面に密接す
る。この場合、本体管路１の内面と円筒Ｓとの間に次工
程での高圧液体が侵入しないように密に密接することが
重要である。なお、本体管路１には封入液の連通孔１−
１が形成されているので、この連通行１−１も密に塞い
でおく。
【００１７】次に、図４（ｃ）に示すように、図４
（ｂ）の本体管路１を静水圧プレス容器１００へ入れ
て、高圧液体（１００ＭＰａ）を注入する。すると、円
筒Ｓが塑性変形して、本体管路１に形成されている凹凸
パターンに対してそのその凹凸方向を逆とした凹凸パタ
ーンが円筒Ｓに形成される。
（ｂ）の本体管路１を静水圧プレス容器１００へ入れ
て、高圧液体（１００ＭＰａ）を注入する。すると、円
筒Ｓが塑性変形して、本体管路１に形成されている凹凸
パターンに対してそのその凹凸方向を逆とした凹凸パタ
ーンが円筒Ｓに形成される。
【００１８】静水圧プレス容器１００から本体管路１を
取り出すと、ステンレスのスプリングバックによって、
本体管路１の内面と円筒Ｓの外面との間に僅かなすき間
が発生し、円筒Ｓが円筒型ダイアフラム３となる。この
後、円筒Ｓの端部付近を本体管路の内面に溶接する。
取り出すと、ステンレスのスプリングバックによって、
本体管路１の内面と円筒Ｓの外面との間に僅かなすき間
が発生し、円筒Ｓが円筒型ダイアフラム３となる。この
後、円筒Ｓの端部付近を本体管路の内面に溶接する。
【００１９】〔ニッケルメッキ成形法〕ニッケルメッキ
成形法での製造も可能である。この方法では、図５
（ｂ）に示すように、図５（ａ）に示した本体管路１’
の内面にワックス層Ｗを形成する。そして、このワック
ス層Ｗの形成された本体管路１’をニッケル無電解メッ
キ層２００へ入れ（図５（ｃ））、ニッケルメッキを施
す。そして、このニッケルメッキの施された本体管路
１’をオーブンに入れ、ワックスＷを溶解する。する
と、図５（ｄ）に示すように、ワックスＷの抜けたすき
間が受圧室４’となり、ニッケルメッキによる円筒型ダ
イアフラム３’が形成される。
成形法での製造も可能である。この方法では、図５
（ｂ）に示すように、図５（ａ）に示した本体管路１’
の内面にワックス層Ｗを形成する。そして、このワック
ス層Ｗの形成された本体管路１’をニッケル無電解メッ
キ層２００へ入れ（図５（ｃ））、ニッケルメッキを施
す。そして、このニッケルメッキの施された本体管路
１’をオーブンに入れ、ワックスＷを溶解する。する
と、図５（ｄ）に示すように、ワックスＷの抜けたすき
間が受圧室４’となり、ニッケルメッキによる円筒型ダ
イアフラム３’が形成される。
【００２０】〔爆発成形法〕爆発成形法での製造も可能
である。この方法では、爆薬の水中爆発によって発生す
る衝撃水圧を利用して、円筒型ダイアフラムを形成す
る。すなわち、図４に示した高圧流体を用いるいる代わ
りに、爆薬の水中爆発によって生じる水流を利用する。
である。この方法では、爆薬の水中爆発によって発生す
る衝撃水圧を利用して、円筒型ダイアフラムを形成す
る。すなわち、図４に示した高圧流体を用いるいる代わ
りに、爆薬の水中爆発によって生じる水流を利用する。
【００２１】なお、上述した実施の形態においては、円
筒型ダイアフラムおよび本体管路に凹パターンと凸パタ
ーンとを混ぜて設けたが、必ずしも凹パターンと凸パタ
ーンとを混ぜなくてもよい。すなわち、円筒型ダイアフ
ラムに凸パターン（凹パターン）のみを、本体管路に凹
パターン（凸パターン）のみを設けるようにしてもよ
い。図６（ａ）〜（ｃ）に凹凸パターンの他の例を示
す。図６（ａ）の凹凸パターンを採用した円筒型ダイア
フラムを図６（ｄ）に示す。この円筒型ダイアフラムに
は凸パターンのみを設けている。また、ダイアフラムは
円筒形に限らず、だ円筒でも角筒でもよい。
筒型ダイアフラムおよび本体管路に凹パターンと凸パタ
ーンとを混ぜて設けたが、必ずしも凹パターンと凸パタ
ーンとを混ぜなくてもよい。すなわち、円筒型ダイアフ
ラムに凸パターン（凹パターン）のみを、本体管路に凹
パターン（凸パターン）のみを設けるようにしてもよ
い。図６（ａ）〜（ｃ）に凹凸パターンの他の例を示
す。図６（ａ）の凹凸パターンを採用した円筒型ダイア
フラムを図６（ｄ）に示す。この円筒型ダイアフラムに
は凸パターンのみを設けている。また、ダイアフラムは
円筒形に限らず、だ円筒でも角筒でもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように本
発明によれば、第１発明では、ダイアフラムにこのダイ
アフラムをその軸方向および周方向に拡張・縮小可能と
する凹凸パターンを形成したので、微小な圧力でもダイ
アフラムが変位するものとなり、微小圧力を検出するこ
とができ、感度が良好となる。第２発明では、第１発明
の効果に加えて、ダイアフラムの凹凸パターンと本体管
路の凹凸パターンとを微小な間隙を隔てて嵌め合わせる
ことによって、ダイアフラムと本体管路の内側との間に
作られる受圧室が小さくなり、この受圧室への封入液の
充填量を少なくして、温度特性を向上させることができ
る。
発明によれば、第１発明では、ダイアフラムにこのダイ
アフラムをその軸方向および周方向に拡張・縮小可能と
する凹凸パターンを形成したので、微小な圧力でもダイ
アフラムが変位するものとなり、微小圧力を検出するこ
とができ、感度が良好となる。第２発明では、第１発明
の効果に加えて、ダイアフラムの凹凸パターンと本体管
路の凹凸パターンとを微小な間隙を隔てて嵌め合わせる
ことによって、ダイアフラムと本体管路の内側との間に
作られる受圧室が小さくなり、この受圧室への封入液の
充填量を少なくして、温度特性を向上させることができ
る。
【図１】 図２に示した圧力検出器の管路断面図であ
る。
る。
【図２】 本発明の一実施の形態を示す圧力検出器の外
観斜視図である。
観斜視図である。
【図３】 この圧力検出器における円筒型ダイアフラム
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図４】 円筒型ダイアフラムの静水圧成形法による製
造過程を説明する図である。
造過程を説明する図である。
【図５】 円筒型ダイアフラムのニッケルメッキ成形法
による製造過程を説明する図である。
による製造過程を説明する図である。
【図６】 凹凸パターンの他の例を示す図である。
１…本体管路、１Ａ１〜１Ａ４…凹パターン、１Ｂ１〜
１Ｂｎ…凸パターン、２…キャピラリ、３…円筒状のダ
イアフラム（円筒型ダイアフラム）、３Ａ１〜３Ａ４…
凸パターン、３Ｂ１〜３Ｂｎ…凹パターン、４…受圧
室、５…封入液。
１Ｂｎ…凸パターン、２…キャピラリ、３…円筒状のダ
イアフラム（円筒型ダイアフラム）、３Ａ１〜３Ａ４…
凸パターン、３Ｂ１〜３Ｂｎ…凹パターン、４…受圧
室、５…封入液。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０１Ｌ 19/06 Ｇ０１Ｌ 19/06 Ａ
Claims (2)
- 【請求項１】 本体管路の内側に筒状のダイアフラムを
備えた圧力検出器において、 前記ダイアフラムにこのダイアフラムをその軸方向およ
び周方向に拡張・縮小可能とする凹凸パターンが形成さ
れていることを特徴とする圧力検出器。 - 【請求項２】 本体管路の内側に筒状のダイアフラムを
備えた圧力検出器において、 前記ダイアフラムにこのダイアフラムをその軸方向およ
び周方向に拡張・縮小可能とする凹凸パターンが形成さ
れ、 前記本体管路の内側に前記ダイアフラムに形成された凹
凸パターンに対してその凹凸方向を逆とした凹凸パター
ンが形成され、 前記ダイアフラムの凹凸パターンと前記本体管路の凹凸
パターンとが微小な間隙を隔てて嵌め合わせられている
ことを特徴とする圧力検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19981097A JPH1144594A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19981097A JPH1144594A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 圧力検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1144594A true JPH1144594A (ja) | 1999-02-16 |
Family
ID=16414022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19981097A Pending JPH1144594A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 圧力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1144594A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101203415B1 (ko) * | 2011-09-08 | 2012-11-21 | 두온 시스템 (주) | 물결 형상 격리 다이어프램을 갖는 차압 센서의 제조 방법 및 그에 의해 제조된 차압 센서 |
| JP2013028615A (ja) * | 2005-07-18 | 2013-02-07 | Univ Of Massachusetts Lowell | ナノエマルジョンを製造および使用するための組成物および方法 |
| JP2013190197A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-09-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | グロープラグ |
| CN111279171A (zh) * | 2017-12-26 | 2020-06-12 | Smk株式会社 | 传感器用连接器 |
-
1997
- 1997-07-25 JP JP19981097A patent/JPH1144594A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013028615A (ja) * | 2005-07-18 | 2013-02-07 | Univ Of Massachusetts Lowell | ナノエマルジョンを製造および使用するための組成物および方法 |
| KR101203415B1 (ko) * | 2011-09-08 | 2012-11-21 | 두온 시스템 (주) | 물결 형상 격리 다이어프램을 갖는 차압 센서의 제조 방법 및 그에 의해 제조된 차압 센서 |
| JP2013190197A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-09-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | グロープラグ |
| CN111279171A (zh) * | 2017-12-26 | 2020-06-12 | Smk株式会社 | 传感器用连接器 |
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