JPH1137877A

JPH1137877A - 圧力センサ

Info

Publication number: JPH1137877A
Application number: JP20533097A
Authority: JP
Inventors: Eiji Okamoto; 英司岡本
Original assignee: Nok Corp
Current assignee: Nok Corp
Priority date: 1997-07-15
Filing date: 1997-07-15
Publication date: 1999-02-12

Abstract

(57)【要約】【課題】圧力センサに加えられる締付トルクによる歪
みゲージへの影響を抑え、測定精度を向上させることの
可能な圧力センサを提供する。【解決手段】ダイアフラム１５（圧力応答手段）の表
面に形成され、その変形により抵抗値が変化する複数の
歪ゲージＧ１〜Ｇ４の、つづら状に折り曲がるパターン
の方向を一方向に揃える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は圧力センサに関し、
詳しくは圧力センサを固定する際に圧力センサに作用す
る外力による歪みゲージへの影響を抑え、測定精度を向
上させる技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０は、従来の圧力センサ１００の断
面構成を説明するための図である。この種の圧力センサ
は、例えば自動車のブレーキシステムの油圧回路の油圧
等、各種流体圧力を測定するために使用される。

【０００３】この圧力センサ１００は、概略ボルト状の
金属製のケース１０１、及び金属製のケース１０１の上
部に取り付けられたコネクタ部１０２とを外観として呈
している。

【０００４】ケース１０１は、油圧回路の油圧測定部１
０３の取付孔１０４に取り付けるためのネジ部１０５
と、このネジ部１０５をねじ込む際に締め付けるための
締付部１０６とを有する。ネジ部１０５の頭部側（図に
おいて上方）に設けられた締付部１０６は、有底円筒形
状で外周形状は例えば６角ナットのような形状を備え、
締付部１０６の内部には、凹部１１０が形成されてい
る。

【０００５】また、ネジ部１０５の軸心に沿って圧力導
入孔１０９が穿設されている。この圧力導入孔１０９
は、一端がネジ部１０５先端部の中央に開口し、他端は
凹部１１０の底面１１１の中央の段部１０７に開口して
いる。

【０００６】段部１０７には、圧力導入孔１０９の開口
に臨んで圧力検知素子１１４が取り付けられている。圧
力検知素子１１４は円筒形状であり、上部が薄肉で閉じ
られたダイアフラム１１５を備えている。圧力検知素子
１１４の開口側の端部は全周的に電子ビーム等によりビ
ーム溶接されて、ケース１０１に固定されている。

【０００７】そして、ダイアフラム１１５の下面が圧力
導入孔１０９に臨む感圧部をなし、ダイアフラム１１５
の上面には絶縁膜を介して歪ゲージが配設されている。

【０００８】感圧部は圧力導入孔１０９に導入された測
定対象流体の圧力を受け、この圧力によるダイアフラム
１１５の変形により歪ゲージが変形し、変形による歪ゲ
ージの抵抗値の変化を出力として取り出す。

【０００９】圧力検知素子１１４の上部周辺には、凹部
１１０の内周面に突出する段部１１０ａに載置されるこ
とで位置決めされる回路基盤１１７が配置されている。
そして各歪ゲージは、ワイヤ１１８によって回路基盤１
１７に接続され、歪ゲージの微弱な出力信号を回路基盤
１１７の下面に実装された増幅器等の電子部品１２０に
より増幅している。尚、回路基盤１１７と凹部１１０の
底面１１１との間及び回路基盤１１７の上面には、電子
部品１２０やワイヤ１１８を保護する等のために、シリ
コンゲル等のポッティング剤１１９が充填されている。

【００１０】回路基盤１１７の上部には、蓋状の金属製
プレート１２１が設けられている。このプレート１２１
は、外周を締付部１０６の内周に固定されている。そし
てプレート１２１には貫通コンデンサ１２２が設けられ
ており、この貫通コンデンサ１２２を介して回路基盤１
１７からの出力を取り出す。

【００１１】プレート１２１の上部には、蓋状のコネク
タ部１０２が装着される。コネクタ部１０２外縁のフラ
ンジ１２３は、締付部１０６上端内周に嵌合している。

【００１２】また、コネクタ部のフランジ１２３とプレ
ート１２１の外縁と締付部１０６の内周面との間にはＯ
リング１２４が装着されている。

【００１３】コネクタ部１０２は樹脂製で、頂部には略
直方体のコネクタ１２５が設けられている。

【００１４】回路基盤１１７からピン１２６によって貫
通コンデンサ１２２を介して取り出された電気信号は、
コネクタ部１０２内でピン１２６に接続されたコネクタ
ピン１２７によって圧力センサ１００から取り出され
る。

【００１５】図１１は、圧力検知素子１１４の構成を説
明する断面図である。圧力検知素子１１４は、ステンレ
ス等の金属による本体１１４ａの内部を切削除去し、上
端面を薄く残してケース１０１の圧力導入孔１０９によ
り導入される測定対象流体の圧力（図１０参照）を受け
て変形するダイアフラム１１５を形成している。

【００１６】ダイアフラム１１５の上面は、印刷、蒸着
あるいはスパッタリング等の薄膜形成技術により、例え
ばＳｉＯ₂ 等の材料による絶縁膜１３１をまず形成し、
この膜表面に歪みゲージとなるニクロムシリコンによる
ゲージ膜１３２を形成し、ゲージ膜１３２の上側に歪ゲ
ージの入出力端子となる金電極１３３（パッド形状）を
形成している。尚、各膜の接合強度を向上させるため
に、膜の間にバインダ膜を備えることも適宜行われてい
る。

【００１７】図１２は、ダイアフラム１１５の上面に形
成された絶縁膜１３１、ゲージ膜１３２、金電極１３３
のパターンを説明する図である。この圧力センサ１００
では、４つのゲージＧ１０１，Ｇ１０２，Ｇ１０３，Ｇ
１０４を備え、ブリッジ回路を構成するように接続して
いる。１３３ａ，１３３ｂ・・・１３３ｐはブリッジ回
路の入出力端子である金電極である。

【００１８】また、各ゲージの配置構成に関しては、同
じ出願人による特願平２−１０６７７７号に、ダイアフ
ラム１１５の中心を通る同一線上に位置させることによ
り、（図１３の圧力センサ２００参照）各ゲージの厚み
を揃えて抵抗値のバラツキを抑えることが記載されてい
る。

【００１９】これは、ダイアフラム１１５の上面の絶縁
膜１３１、ゲージ膜１３２、金電極１３３を形成する際
に、圧力検知素子１１４の本体１１４ａを回転するホル
ダーの回転中心から外れた位置に固定し、スパッタリン
グチャンバ内部で回転させながら薄膜形成を行なう場合
に、ホルダーの半径方向に膜厚分布が異なる現象が発生
する場合があり、ダイアフラム１１５のホルダーの回転
方向に沿った膜厚分布の小さい直線領域にゲージを配置
することで、薄膜形成の際の各ゲージの厚みを揃えて抵
抗値のバラツキを抑えるようにしたものである。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ネジ部
１０５を備えたケース１０１に圧力検知素子１１４を固
定している圧力センサ１００の構成においては、ケース
１０１を固定する為に締付トルクを与えると、この締付
トルクがダイアフラム１１５に作用し、歪みゲージの出
力が変動してしまうという問題がある。

【００２１】この問題は、歪みゲージのダイアフラム１
１５上での配置位置が関係すると考えられるが、図１３
の圧力センサ２００のように各ゲージをダイアフラム１
１５の中心を通る同一線上に位置させても解消すること
は不可能であった。

【００２２】すなわち、図１３の圧力センサ２００で
は、外側のゲージＧ１０１，Ｇ１０３と内側のゲージＧ
１０２，Ｇ１０４の向きがパターンの方向が直交する様
に配置されていることにより、ホルダーの回転方向に対
するゲージパターンの方向が異なり、薄膜形成によるゲ
ージ膜の特性が微妙に異なることも原因の一つと考えら
れている。

【００２３】本発明は上記従来技術の問題を解決するた
めになされたもので、その目的とするところは、圧力セ
ンサを固定する際に圧力センサに作用する外力による歪
みゲージへの影響を抑え、測定精度を向上させることの
可能な圧力センサを提供することにある。

【００２４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明にあっては、測定対象流体の圧力により変形す
る感圧部を備えた圧力応答手段と、前記圧力応答手段の
感圧部に形成され、該感圧部の変形により抵抗値が変化
する複数の歪ゲージと、を備え、前記感圧部の変形によ
り変化する歪ゲージの抵抗値により測定対象流体の圧力
を検出する圧力センサにおいて、前記複数の歪ゲージの
つづら状に折り曲がるパターンの方向を揃えることを特
徴とする。

【００２５】これによると、歪ゲージのパターンの方向
が異なる場合の出力特性の変化を抑えることが可能とな
る。

【００２６】前記複数の歪ゲージを前記感圧部の中央部
を通過する直線上に配置することも好適である。

【００２７】これによると、複数の歪ゲージの膜厚のバ
ラツキが抑えられる。

【００２８】また、前記圧力応答手段は、圧力センサ自
体を固定するための締結部に一体的に備えられているこ
とも好適である。

【００２９】

【発明の実施の形態】

（実施の形態１）以下、本発明を図示の第１の実施の形
態に基づいて説明する。図１は本発明を適用した実施の
形態に係る圧力センサＰＳの概略構成を説明する図であ
る。

【００３０】この圧力センサＰＳの外観形状は、概略金
属製のケース１、及びコネクタ部２とからなっている。
ケース１は、油圧回路の油圧測定部３の取付孔４に取り
付けるための締結部としてのネジ部５と、このネジ部５
をねじ込む際に締め付けるための締付部６とを有する。
ネジ部５の頭部側に設けられた締付部６は、有底円筒形
状で外周形状は例えば６角ナットのような形状を備え、
締付部６の内部には、凹部１０が形成されている。

【００３１】また、ネジ部５の軸心に沿って圧力導入孔
９が穿設されている。この圧力導入孔９は、一端がネジ
部５先端部の中央部に開口し、他端は凹部１０の底面１
１の中央の段部７に開口している。

【００３２】段部７には、圧力導入孔９の開口に臨んで
圧力検知素子１４が取り付けられている。圧力検知素子
１４は円筒形状であり、上部が薄肉で閉じられた圧力応
答手段としてのダイアフラム１５を備えている。圧力検
知素子１４の開口側の端部は全周的に電子ビーム等によ
りビーム溶接されて、ケース１に固定されている。

【００３３】そして、ダイアフラム１５が圧力導入孔９
に臨む感圧部となり、ダイアフラム１５の上面には絶縁
膜を介して歪ゲージが配設されている。ダイアフラム１
５は圧力導入孔９に導入された測定対象流体の圧力を受
け、この圧力による感圧部の変形により歪ゲージが変形
し、変形による歪ゲージの抵抗値の変化を出力として取
り出す。

【００３４】圧力検知素子１４の上部周辺には、凹部１
０の内周面に突出する段部１０ａに載置されることで位
置決めされる回路基盤１７が配置されている。そして各
歪ゲージは、ワイヤ１８によって回路基盤１７に接続さ
れ、歪ゲージの微弱な出力信号を回路基盤１７の下面に
実装された増幅器等の電子部品２０により増幅してい
る。尚、回路基盤１７と凹部１０の底面１１との間及び
回路基盤１７の上面には、電子部品２０やワイヤ１８を
保護する等のために、シリコンゲル等のポッティング剤
１９が充填されている。

【００３５】回路基盤１７の上部には、蓋状の金属製プ
レート２１が設けられている。このプレート２１は、外
周を締付部６の内周に固定されている。そしてプレート
２１には貫通コンデンサ２２が設けられており、この貫
通コンデンサ２２を介して回路基盤１７からの出力を取
り出す。

【００３６】プレート２１の上部には、蓋状のコネクタ
部２が装着される。コネクタ部２外縁のフランジ２３
は、締付部６上端内周に嵌合している。コネクタ部のフ
ランジ２３とプレート２１の外縁と締付部６の内周面と
の間にはＯリング２４が装着されている。コネクタ部２
は樹脂製で、頂部には略直方体のコネクタ２５が設けら
れている。回路基盤１７からピン２６によって貫通コン
デンサ２２を介して取り出された電気信号は、コネクタ
部２内でピン２６に接続されたコネクタピン２７によっ
て圧力センサＰＳから取り出される。

【００３７】図２は、圧力応答手段としての圧力検知素
子１４の構成を説明する断面図である。圧力検知素子１
４は、ステンレス等の金属製の本体１４ａの内部を切削
除去したものである。そして、薄く残された上端面が、
ケース１の圧力導入孔９により導入される測定対象流体
の圧力（図１参照）を受けて変形する感圧部として機能
するダイアフラム１５となっている。

【００３８】ダイアフラム１５の上面は、印刷、蒸着あ
るいはスパッタリング等の薄膜形成技術により、例えば
ＳｉＯ₂ 等の材料による絶縁膜３１をまず形成し、この
膜表面に歪みゲージ部を形成するニクロムシリコンによ
るゲージ膜３２を形成し、ゲージ膜３２の上側には歪ゲ
ージの入出力端子となる金電極３３（パッド形状）を形
成している。尚、各膜の接合強度を向上させるために、
膜の間にバインダ膜等の処理膜を備えることも適宜行わ
れている。

【００３９】この実施の形態の圧力検知素子１４の薄膜
形成工程の特徴的な部分を説明すると、圧力検知素子１
４の本体１４ａを回転するホルダーの回転中心から外れ
た位置に固定し、チャンバ内部で回転させながらダイア
フラム１５の上面に薄膜（例えばゲージ膜３２）を真空
蒸着やスパッタリング等の公知の薄膜形成方法により形
成している。

【００４０】従って、ダイアフラム１５に形成された薄
膜のホルダーの回転方向に沿った領域Ｓ１は、薄膜の厚
みや構造が等しくなり、この領域上に複数の歪みゲージ
を形成することにより、各ゲージの厚みや抵抗値等のバ
ラツキを抑えることが可能なようにしている。

【００４１】そして、形成されたゲージ膜３２を歪みゲ
ージとするために、エッチングプロセスによりパターン
形成を行なう。その他の薄膜も同様にエッチングプロセ
スにより所定のパターンを形成している。

【００４２】図３は、ダイアフラム１５の上面に形成さ
れた絶縁膜３１、ゲージ膜３２、金電極３３のパターン
を説明する図である。

【００４３】ゲージ膜３２は、４つの歪ゲージＧ１，Ｇ
２，Ｇ３，Ｇ４の歪ゲージ部と、各歪ゲージをブリッジ
接続する出力電極部３２ａ，３２ｂ及び零点調整用の端
子群Ｔａ，Ｔｂの回路パターン部を構成している。

【００４４】そして、この圧力センサＰＳでは４つの歪
ゲージＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４が、薄膜形成時のホルダ
ーの回転方向に沿った領域Ｓ１内であって、ダイアフラ
ム１５の中央部を通過する直線Ｌ１上に配置されてい
る。

【００４５】また、全ての歪ゲージＧ１，Ｇ２，Ｇ３，
Ｇ４は、そのつづら状に折り曲がるパターンの方向もす
べて直線Ｌ１と平行となるように向きが揃えられ、各歪
ゲージによりブリッジ回路を構成するように接続してい
る。

【００４６】３３ａ，３３ｂ・・・３３ｐはブリッジ回
路の入出力端子としての金電極である。

【００４７】このダイアフラム１５の上面に形成された
ブリッジ回路は、図４に示される等価回路となる。この
図４を参照しながら圧力検知素子１４の作動を簡単に説
明する。

【００４８】等価回路にはＶ_CCとＧ_NDとの間に一定の電
圧が印加され、ダイアフラム１５に加わる圧力に起因す
る各歪ゲージＧ１〜Ｇ４（等価回路ではＲＡ，ＲＢ，Ｒ
Ｃ，ＲＤと表記）の抵抗値の変化によって生じる、出力
電極３３ａ（Ｖ_L ）及び３３ｉ（Ｖ_H ）の間の電圧変化
を検出することにより圧力を測定している。

【００４９】すなわち、圧力のかかっていない状態での
各歪ゲージＧ１〜Ｇ４の抵抗値はすべて等しいＲと設定
し、圧力が加わるとダイアフラム１５の中央部に位置す
る歪ゲージＧ２，Ｇ４は抵抗値がＲ＋ΔＲ_P と大きくな
り、ダイアフラム１５の周辺部に位置する歪ゲージＧ
１，Ｇ３は抵抗値がＲ−ΔＲ_P と小さくなる（ダイアフ
ラム１５及び歪ゲージの特性によっては逆の場合もあ
る）。

【００５０】Ｖ_CCとＧ_NDとの間には一定の電圧が印加さ
れるので、圧力がかかっていない時には、各歪ゲージＧ
１〜Ｇ４の抵抗値は等しいので出力電極３３ａ（Ｖ_L ）
及び３３ｉ（Ｖ_H ）の間の電位は等しく電圧はＶ_P0＝０
となる。

【００５１】また、圧力が加わると歪ゲージＧ２，Ｇ４
はＲ＋ΔＲ_P 、歪ゲージＧ１，Ｇ３はＲ−ΔＲ_P とな
り、出力電極３３ａ（Ｖ_L ）及び３３ｉ（Ｖ_H ）の間の
電圧はＶ_P1＝（ΔＲ_P ／Ｒ）・Ｖ_CCとなる。

【００５２】このように、圧力に応じた電圧が出力さ
れ、出力電極３３ａ，３３ｉに接続したアンプ（回路基
盤１７の電子部品２０等が相当する）で一次増幅等の処
理がなされて外部回路に出力される。

【００５３】また、ブリッジ回路の零点調整は、歪ゲー
ジＧ２と歪ゲージＧ３を接続する端子群Ｔａ、及び歪ゲ
ージＧ４と歪ゲージＧ１を接続する端子群Ｔｂから、左
右のブリッジをバランスさせるために必要となる抵抗値
が得られるように複数の金電極から所定の金電極を適宜
に選択することで、零点調整を行うことを可能としてい
る。

【００５４】尚、この実施の形態のように各金電極が主
配線部３２ｃから独立的に構成されているものは、温度
変化の際に他の金電極の抵抗値の変化の影響を受けるこ
とがなく、温度変化に伴う抵抗値の変化が少なくなり、
かつブリッジバランスも安定するので、圧力センサの温
度特性が向上する。

【００５５】このような構成とすることで、圧力センサ
ＰＳを油圧測定部３の取付孔４に取り付ける際に発生す
る締付トルクによるセンサ出力への影響を低減すること
が可能となり、圧力センサＰＳの測定精度が向上する。

【００５６】図５は、圧力センサＰＳを取付孔４に取り
付ける際に発生する締付トルクと、出力変化との関係を
確認した結果の図である。

【００５７】横軸は締付トルク（kgf・ｍ）、縦軸は締付
トルクが０（kgf・ｍ）の状態を０として、負荷圧力が０
（kgf/cm² ）における、締付トルクを０→４→６→８→
１０→０（kgf・ｍ）と変化させた場合の出力変化の割合
（％ＦＳ）を示している。

【００５８】図５に示されるように、三角プロットを結
んだ従来技術によるものは、−０．２（％ＦＳ）程度の
出力変化が見られたが、丸プロットを結んだ本願発明を
適用したものでは、−０．０４（％ＦＳ）程度の出力変
化に留まり、測定精度の向上が確認された。

【００５９】図６は、本発明を適用した外側形状の異な
る圧力センサＰＳ２，ＰＳ３，ＰＳ４を示す図である。
各圧力センサの圧力検知素子の構成は、上記された圧力
検知素子１４と同様であるが、圧力検知素子１４をカバ
ーする金属製のケースの形状が、用途に合わせて変更さ
れている。

【００６０】図６（ａ）の圧力センサＰＳ２において
は、センサボディ４０下部に締付け部としての円盤状の
フランジ部４１を備え、センサボディ４０を通る大きさ
の貫通穴を備えた別構成としての六角ナット状の固定具
４２により、フランジ部４１を押える構成としている。
この構成では、金属製のケース４０に直接締め付け時の
回転トルクが加わる構成ではないが、フランジ４１を押
圧される際に受ける外力に対して、測定精度を安定させ
ることができる。

【００６１】図６（ｂ）の圧力センサＰＳ３において
は、金属製のケース４３の下部に締結部としてのひし形
形状のフランジ４４を備え、ボルトにより相手部材に取
り付けられている。この構成では、金属製のケース４３
に直接締め付け時の回転トルクが加わる構成ではない
が、フランジ４４を押圧される際に受ける外力に対し
て、測定精度を安定させることができる。

【００６２】図６（ｃ）の圧力センサＰＳ４において
は、金属製のケース４５の下部に円盤状のフランジ４６
を備え別体構成のひし形押え部材４７により、フランジ
４６を押えている。この構成は締結によりケースや圧力
検知素子に加わる応力が少ないと考えられるので、より
測定精度を安定させることができる。

【００６３】（実施の形態２）図７は、本発明の第２の
実施の形態を示す図である。この図において、第１の実
施の形態と同様の構成には同じ符号が付されている。

【００６４】この第２の実施の形態の特徴は、全ての歪
ゲージＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４のつづら状に折り曲がる
パターンの方向は、薄膜形成時のホルダーの回転方向に
沿った領域Ｓ２に平行な方向に揃えられているが、中央
部の歪ゲージＧ２，Ｇ４は、縦に並ぶように配置されて
いる。

【００６５】中央部の歪ゲージＧ２，Ｇ４に、ダイアフ
ラム１５の上面の周方向の応力を検出させたい場合に、
このような配置構成を採用することも可能である。

【００６６】この実施の形態では、歪ゲージは一直線上
に並ぶものではないが、つづら状に折り曲がるパターン
の方向が揃えられているので、圧力センサの測定精度を
向上させることができる。

【００６７】（実施の形態３）図８，９は、本発明の第
３の実施の形態を示す図である。この図において、第１
及び第２の実施の形態と同様の構成には同じ符号が付さ
れている。

【００６８】この第３の実施の形態の特徴は、ブリッジ
回路の零点調整を行うことを可能とする、歪ゲージＧ２
と歪ゲージＧ３を接続する端子群Ｔａ、及び歪ゲージＧ
４と歪ゲージＧ１を接続する端子群Ｔｂの各電極が、主
配線部３２ｃから独立的に構成されているものではな
い。

【００６９】従って、第１及び第２の実施の形態に比
べ、温度変化に対する金電極の抵抗値の変化による測定
精度への影響を多少受けることになるが、ゲージ膜３２
の歪ゲージ部以外の部分での細密化をなくし、信頼性向
上に寄与する。

【００７０】尚、ブリッジ回路の零点調整を行うことが
不要な場合には、端子群Ｔａ及び端子群Ｔｂを備えず、
それぞれ１つの電極を備えたパターン構成とすることも
可能である。

【００７１】また、ゲージ膜３２及び金電極３３等の材
料は、当実施の形態のものに限定されるものではなく、
その他の材料を適宜選定して使用することを制限するも
のではない。

【００７２】

【発明の効果】本発明は以上の構成および作用を有する
ものであり、圧力センサ取り付け時等で加えられた外力
による歪ゲージの出力変化が抑えられ、圧力センサの測
定精度を向上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の実施の形態に係る圧力センサの
構成を示す断面図。

【図２】図２は圧力検知素子の断面構成図。

【図３】図３は第１の実施の形態の圧力検知素子の上面
のパターン図。

【図４】図４はブリッジ回路図。

【図５】図５は締め付けトルクと出力変化の関係を示す
図。

【図６】図６は外側形状の異なる圧力センサの図。

【図７】図７は第２の実施の形態の圧力検知素子の上面
のパターン図。

【図８】図８は第３の実施の形態の圧力検知素子の上面
のパターン図。

【図９】図９は第３の実施の形態の圧力検知素子の上面
のパターン図。

【図１０】図１０は従来の圧力センサの構成を示す断面
図。

【図１１】図１１は従来の圧力検知素子の断面構成図。

【図１２】図１２は従来の圧力検知素子の上面のパター
ン図。

【図１３】図１３は従来の圧力検知素子の上面の歪ゲー
ジの配置図。

【符号の説明】

１，４１，４３，４５ケース２コネクタ部３油圧測定部４取付孔５ネジ部６締付部７段部９圧力導入孔１０凹部１０ａ段部１１底面１４圧力検知素子１４ａ本体１５ダイアフラム１７回路基盤１８ワイヤ１９ポッティング剤２０電子部品２１プレート２２貫通コンデンサ２３フランジ２４Ｏリング２５コネクタ３１絶縁膜３２ゲージ膜３２ａ，３２ｂ出力電極３２ｃ主配線部（抵抗増減部）３３ａ〜３３ｐ金電極（電極）Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４歪ゲージＬ１直線ＰＳ圧力センサＳ１，Ｓ２領域

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定対象流体の圧力により変形する感圧
部を備えた圧力応答手段と、前記圧力応答手段の感圧部に形成され、該感圧部の変形
により抵抗値が変化する複数の歪ゲージと、を備え、前記感圧部の変形により変化する歪ゲージの抵
抗値により測定対象流体の圧力を検出する圧力センサに
おいて、前記複数の歪ゲージのつづら状に折り曲がるパターンの
方向を揃えることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】前記複数の歪ゲージを前記感圧部の中央
部を通過する直線上に配置することを特徴とする請求項
１に記載の圧力センサ。
【請求項３】前記圧力応答手段は、圧力センサ自体を
固定するための締結部に一体的に備えられていることを
特徴とする請求項１または２のいずれか１項に記載の圧
力センサ。