JPH11304620A

JPH11304620A - 圧力センサ

Info

Publication number: JPH11304620A
Application number: JP13129998A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Sugiyama; 靖杉山
Original assignee: Nok Corp
Current assignee: Nok Corp
Priority date: 1998-04-24
Filing date: 1998-04-24
Publication date: 1999-11-05

Abstract

(57)【要約】【課題】圧力センサの耐ノイズ性を向上する。【解決手段】歪ゲージＧ１〜Ｇ４を複数個備えてブリ
ッジ回路の構成をなし、電極のいずれかを選択して利用
することでブリッジ回路を調整可能とした圧力センサで
あって、ゲージ膜３２に、選択された電極に応じて変化
するブリッジ回路に関係する静電容量バランスを、面積
を変更することにより調整可能とする補正領域Ｓ１，Ｓ
２を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は圧力センサに関し、
詳しくはブリッジ回路を調整可能とした圧力センサのブ
リッジ回路に関係する静電容量バランスを調整可能とす
る技術である。

【０００２】

【従来の技術】図７は、従来の圧力センサ１００の断面
構成を説明するための図である。この種の圧力センサ
は、例えば自動車のブレーキシステムに利用される油圧
回路の油圧等、各種の流体圧力を測定するために使用さ
れる。

【０００３】この圧力センサ１００は、概略ボルト状の
金属製のケース１０１、及び金属製のケース１０１の上
部に取り付けられたコネクタ部１０２とを外観として呈
している。

【０００４】ケース１０１は、油圧回路の油圧測定部１
０３の取付孔１０４に取り付けるためのネジ部１０５
と、このネジ部１０５をねじ込む際に締め付けるための
締付部１０６とを有する。ネジ部１０５の頭部側（図に
おいて上方）に設けられた締付部１０６は、有底円筒形
状で外周形状は例えば６角ナットのような形状を備え、
締付部１０６の内部には、凹部１１０が形成されてい
る。

【０００５】また、ネジ部１０５の軸心に沿って圧力導
入孔１０９が穿設されている。この圧力導入孔１０９
は、一端がネジ部１０５先端部の中央に開口し、他端は
凹部１１０の底面１１１の中央の段部１０７に開口して
いる。

【０００６】段部１０７には、圧力導入孔１０９の開口
に臨んで圧力検知素子１１４が取り付けられている。圧
力検知素子１１４は円筒形状であり、上部が薄肉で閉じ
られたダイアフラム１１５を備えている。圧力検知素子
１１４の開口側の端部は全周的に電子ビーム等によりビ
ーム溶接されて、ケース１０１に固定されている。

【０００７】そして、ダイアフラム１１５の下面が圧力
導入孔１０９に臨む感圧部をなし、ダイアフラム１１５
の上面には絶縁膜を介して歪ゲージが配設されている。

【０００８】感圧部は圧力導入孔１０９に導入された測
定対象流体の圧力を受け、この圧力によるダイアフラム
１１５の変形により歪ゲージが変形し、変形による歪ゲ
ージの抵抗値の変化を出力として取り出す。

【０００９】圧力検知素子１１４の上部周辺には、凹部
１１０の内周面に突出する段部１１０ａに載置されるこ
とで位置決めされる回路基盤１１７が配置されている。
そして各歪ゲージは、ワイヤ１１８によって回路基盤１
１７に接続され、歪ゲージの微弱な出力信号を回路基盤
１１７の下面に実装された増幅器等の電子部品１２０に
より増幅している。尚、回路基盤１１７と凹部１１０の
底面１１１との間及び回路基盤１１７の上面には、電子
部品１２０やワイヤ１１８を保護する等のために、シリ
コンゲル等のポッティング剤１１９が充填されている。

【００１０】回路基盤１１７の上部には、蓋状の金属製
プレート１２１が設けられている。このプレート１２１
は、外周を締付部１０６の内周に固定されている。そし
てプレート１２１には貫通コンデンサ１２２が設けられ
ており、この貫通コンデンサ１２２を介して回路基盤１
１７からの出力を取り出す。

【００１１】プレート１２１の上部には、蓋状のコネク
タ部１０２が装着される。コネクタ部１０２外縁のフラ
ンジ１２３は、締付部１０６上端内周に嵌合している。

【００１２】また、コネクタ部のフランジ１２３とプレ
ート１２１の外縁と締付部１０６の内周面との間にはＯ
リング１２４が装着されている。

【００１３】コネクタ部１０２は樹脂製で、頂部には略
直方体のコネクタ１２５が設けられている。

【００１４】回路基盤１１７からピン１２６によって貫
通コンデンサ１２２を介して取り出された電気信号は、
コネクタ部１０２内でピン１２６に接続されたコネクタ
ピン１２７によって圧力センサ１００から取り出され
る。

【００１５】図８は、圧力検知素子１１４の構成を説明
する断面図である。圧力検知素子１１４は、ステンレス
等の金属による本体１１４ａの内部を切削除去し、上端
面を薄く残してケース１０１の圧力導入孔１０９により
導入される測定対象流体の圧力（図７参照）を受けて変
形するダイアフラム１１５を形成している。

【００１６】ダイアフラム１１５の上面は、印刷、蒸着
あるいはスパッタリング等の薄膜形成技術により、例え
ばＳｉＯ₂ 等の材料による絶縁膜１３１をまず形成し、
この膜表面に歪ゲージとなるニクロムシリコンによるゲ
ージ膜１３２を形成し、ゲージ膜１３２の上側に歪ゲー
ジの入出力端子となる金電極１３３（パッド形状）を形
成している。尚、各膜の接合強度を向上させるために、
膜の間にバインダ膜を備えることも適宜行われている。

【００１７】図９は、ダイアフラム１１５の上面に形成
された絶縁膜１３１、ゲージ膜１３２、金電極１３３の
パターンを説明する図である。この圧力センサ１００で
は、４つのゲージＧ１０１，Ｇ１０２，Ｇ１０３，Ｇ１
０４を備え、ブリッジ回路を構成するように接続してい
る。１３３ａ，１３３ｂ・・・１３３ｐはブリッジ回路
の入出力端子である金電極である。

【００１８】ゲージＧ１０１とＧ１０４の間、及びゲー
ジＧ１０２とＧ１０３の間にゲージ膜１３２のパターン
を円弧状に設け、その途中に形成された複数の金電極１
３３ｊ〜１３３ｐ及び１３３ｂ〜１３３ｈは、左右のブ
リッジ（右側は歪ゲージＧ１０１とＧ１０２、左側は歪
ゲージＧ１０３とＧ１０４）の零点調整用の端子群Ｔａ
及びＴｂとして機能するものである。

【００１９】従って、製造工程のわずかなばらつきによ
って各歪ゲージの抵抗値が異なる場合においても、ブリ
ッジのバランスを得るために端子群Ｔａ及びＴｂの中か
ら、適宜必要な抵抗値となる金電極を選択することによ
り、ブリッジバランス（零点調整）を行なうことが可能
となっている。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな圧力センサ１００の使用される環境条件として、自
動車に搭載される油圧回路の油圧を検出するものとして
使用される場合には、圧力センサ１００に接続される供
給電源や信号ケーブルは、制御ユニットから延出された
数メートルのハーネスケーブルにより接続され、また、
金属性のケース１０１はシャーシ本体のアースに繋がれ
ている。

【００２１】制御ユニット側のアースポイントを基準に
考えると、自動車の走行中に発生するリレー等接点の開
閉で発生するノイズ等が上記ハーネスケーブルやシャー
シに乗り、ダイアフラム１１５の絶縁膜１３１上のゲー
ジ膜１３２と絶縁膜１３１下のダイアフラム１１５間に
電位差が発生することになり、これが絶縁膜１３１の静
電容量に応じて結合され、ゲージ膜１３２にノイズが重
畳されるという現象を引き起こすこととなる。

【００２２】従って、ノイズは絶縁膜１３１の静電容量
に応じて結合されるため、静電容量を決める要因である
絶縁膜１３１の材質、膜厚、面積がアンバランスとなる
と、ブリッジ出力の２線間のノイズ量も変わり、その差
分によって回路に与えるノイズの影響もより大きくな
り、誤動作の要因となる。

【００２３】本発明は上記従来技術の問題を解決するた
めになされたもので、その目的とするところは、圧力セ
ンサの耐ノイズ性を向上することにある。

【００２４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明にあっては、測定対象流体の圧力により変形す
る感圧部を備えた圧力応答手段と、前記圧力応答手段の
感圧部上に絶縁膜を介して形成されるもので、該感圧部
の変形により抵抗値が変化する歪ゲージ部と、この歪ゲ
ージ部に接続し該歪ゲージ部から所定距離ずつ離間する
複数の端子部とを備えるゲージ膜と、前記ゲージ膜の複
数の端子部のそれぞれに形成された電極と、を備え、前
記歪ゲージ部を複数個備えてブリッジ回路の構成をな
し、前記電極のいずれかを選択して利用することで前記
ブリッジ回路を調整可能とした圧力センサであって、前
記ゲージ膜に、選択された電極に応じて変化するブリッ
ジ回路に関係する静電容量バランスを、面積を変更する
ことにより調整可能とする補正領域を備えたことを特徴
とする。

【００２５】また、前記補正領域は、前記複数の端子部
の内、接続に関与しない電極の総面積の２倍の面積であ
り、選択された電極に応じてアンバランスとなる分の面
積が除去されることも好適である。

【００２６】また、前記ブリッジ回路は、４箇所の前記
歪ゲージ部と、対となる前記複数の端子部をブリッジ回
路の対向位置に備え、前記補正領域を歪ゲージ部と複数
の端子部との間に接続したことも好適である。

【００２７】また、複数の端子部の配置されていない歪
ゲージ部の間に、複数の端子部の内、接続に関与しない
電極の総面積と等しい面積の補助補正領域を備えること
も好適である。

【００２８】さらに、前記補正領域は、各端子部の面積
に応じて容易に分割可能とする複数のくびれ連結部を備
えることも好適である。

【００２９】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）以下、本発明を
図示の第１の実施の形態に基づいて説明する。図１は本
発明を適用した実施の形態に係る圧力センサＰＳの概略
構成を説明する図である。

【００３０】この圧力センサＰＳの外観形状は、概略金
属製のケース１、及びコネクタ部２とからなっている。
ケース１は、油圧回路の油圧測定部３の取付孔４に取り
付けるための締結部としてのネジ部５と、このネジ部５
をねじ込む際に締め付けるための締付部６とを有する。
ネジ部５の頭部側に設けられた締付部６は、有底円筒形
状で外周形状は例えば６角ナットのような形状を備え、
締付部６の内部には、凹部１０が形成されている。

【００３１】また、ネジ部５の軸心に沿って圧力導入孔
９が穿設されている。この圧力導入孔９は、一端がネジ
部５先端部の中央部に開口し、他端は凹部１０の底面１
１の中央の段部７に開口している。

【００３２】段部７には、圧力導入孔９の開口に臨んで
圧力検知素子１４が取り付けられている。圧力検知素子
１４は円筒形状であり、上部が薄肉で閉じられた圧力応
答手段としてのダイアフラム１５を備えている。圧力検
知素子１４の開口側の端部は全周的に電子ビーム等によ
りビーム溶接されて、ケース１に固定されている。

【００３３】そして、ダイアフラム１５が圧力導入孔９
に臨む感圧部となり、ダイアフラム１５の上面には絶縁
膜を介して歪ゲージが配設されている。ダイアフラム１
５は圧力導入孔９に導入された測定対象流体の圧力を受
け、この圧力による感圧部の変形により歪ゲージが変形
し、変形による歪ゲージの抵抗値の変化を出力として取
り出す。

【００３４】圧力検知素子１４の上部周辺には、凹部１
０の内周面に突出する段部１０ａに載置されることで位
置決めされる回路基盤１７が配置されている。そして各
歪ゲージは、ワイヤ１８によって回路基盤１７に接続さ
れ、歪ゲージの微弱な出力信号を回路基盤１７の下面に
実装された増幅器等の電子部品２０により増幅してい
る。尚、回路基盤１７と凹部１０の底面１１との間及び
回路基盤１７の上面には、電子部品２０やワイヤ１８を
保護する等のために、シリコンゲル等のポッティング剤
１９が充填されている。

【００３５】回路基盤１７の上部には、蓋状の金属製プ
レート２１が設けられている。このプレート２１は、外
周を締付部６の内周に固定されている。そしてプレート
２１には貫通コンデンサ２２が設けられており、この貫
通コンデンサ２２を介して回路基盤１７からの出力を取
り出す。

【００３６】プレート２１の上部には、蓋状のコネクタ
部２が装着される。コネクタ部２外縁のフランジ２３
は、締付部６上端内周に嵌合している。コネクタ部のフ
ランジ２３とプレート２１の外縁と締付部６の内周面と
の間にはＯリング２４が装着されている。コネクタ部２
は樹脂製で、頂部には略直方体のコネクタ２５が設けら
れている。回路基盤１７からピン２６によって貫通コン
デンサ２２を介して取り出された電気信号は、コネクタ
部２内でピン２６に接続されたコネクタピン２７によっ
て圧力センサＰＳから取り出される。

【００３７】図２は、圧力応答手段としての圧力検知素
子１４の構成を説明する断面図である。圧力検知素子１
４は、ステンレス等の金属製の本体１４ａの内部を切削
除去したものである。そして、薄く残された上端面が、
ケース１の圧力導入孔９により導入される測定対象流体
の圧力（図１参照）を受けて変形する感圧部として機能
するダイアフラム１５となっている。

【００３８】ダイアフラム１５の上面は、印刷、蒸着あ
るいはスパッタリング等の薄膜形成技術により、例えば
ＳｉＯ₂ 等の材料による絶縁膜３１をまず形成し、この
膜表面に歪ゲージ部を形成するニクロムシリコンによる
ゲージ膜３２を形成し、さらにゲージ膜３２の上側には
歪ゲージの入出力端子となる金電極３３（パッド形状）
を形成している。尚、各膜の接合強度を向上させるため
に、膜の間にバインダ膜等の処理膜を備えることも適宜
行われている。

【００３９】形成されたゲージ膜３２を歪ゲージとする
ためには、エッチングプロセス等によりパターン形成を
行なう。その他の薄膜も同様にエッチングプロセス等に
より所定のパターンが形成されている。

【００４０】図３は、本発明を適用したダイアフラム１
５の上面に形成された絶縁膜３１、ゲージ膜３２、金電
極３３のパターンを説明する図である。

【００４１】絶縁膜３１は、ダイアフラム１５の上面全
面に形成されている。

【００４２】ゲージ膜３２は、４つの歪ゲージＧ１，Ｇ
２，Ｇ３，Ｇ４の歪ゲージ部と、各歪ゲージをブリッジ
回路の構成として接続する出力電極部３２ａ，３２ｂ及
び零点調整用の端子群Ｔａ，Ｔｂを構成する端子電極部
３２ｃ，３２ｄの回路パターン部を構成している。

【００４３】端子群Ｔａ，Ｔｂは、ブリッジ回路の対向
位置（歪ゲージＧ１，Ｇ４の間と歪ゲージＧ２，Ｇ３の
間）に備えられ、複数の端子部３２ｃＡ〜３２ｃＧ及び
複数の端子部３２ｄＡ〜３２ｄＧを備えている。各端子
部には歪ゲージの入出力端子となるワイヤーボンド用の
金電極３３ｂ〜３３ｈ、金電極３３ｊ〜３３ｐが形成さ
れている。

【００４４】さらに、端子電極部３２ｃ，３２ｄには、
選択された電極に応じて変化するブリッジ回路に関係す
る静電容量バランスを、面積を変更することにより調整
可能とする、補正領域Ｓ１が歪ゲージＧ１と端子部３２
ｄＧとの間に、補正領域Ｓ２が歪ゲージＧ３と端子部３
２ｃＧとの間に接続している。

【００４５】これらの補正領域Ｓ１，Ｓ２の面積は、片
側の端子群ＴａまたはＴｂの接続（ワイヤーボンディン
グによる接続）に関与しない金電極の総面積の２倍に等
しい面積であり、いずれの端子部が設定されてもブリッ
ジ回路を構成する左右のパターンの面積を等しくするこ
とが可能となるように設定されている。

【００４６】また、この実施の形態では、出力電極部３
２ａ，３２ｂを補助補正領域Ｓ３，Ｓ４として機能する
ように、その面積を上記片側の端子群の接続（ワイヤー
ボンディングによる接続）に関与しない金電極の面積と
略等しく設定しており、金電極側の面積を変えずにブリ
ッジ回路における歪ゲージ部の両側のパターンの面積比
を小さくしている。

【００４７】このダイアフラム１５の上面に形成された
ブリッジ回路は、図４に示されるような等価回路として
説明される。この図４を参照しながら圧力検知素子１４
の作動を簡単に説明する。

【００４８】等価回路にはＶ_CCとＧ_NDとの間に一定の電
圧が印加され、ダイアフラム１５に加わる圧力に起因す
る各歪ゲージＧ１〜Ｇ４（等価回路ではＲＡ，ＲＢ，Ｒ
Ｃ，ＲＤと表記）の抵抗値の変化によって生じる、出力
電極３３ａ（Ｖ_L ）及び３３ｉ（Ｖ_H ）の間の電圧変化
を検出することにより圧力を測定している。

【００４９】すなわち、圧力のかかっていない状態での
各歪ゲージＧ１〜Ｇ４の抵抗値はすべて等しいＲと設定
し、圧力が加わるとダイアフラム１５の中央部に位置す
る歪ゲージＧ２，Ｇ４は抵抗値がＲ＋ΔＲ_P と大きくな
り、ダイアフラム１５の周辺部に位置する歪ゲージＧ
１，Ｇ３は抵抗値がＲ−ΔＲ_P と小さくなる（ダイアフ
ラム１５及び歪ゲージの特性によっては逆の場合もあ
る）。

【００５０】Ｖ_CCとＧ_NDとの間には一定の電圧が印加さ
れるので、圧力がかかっていない時には、各歪ゲージＧ
１〜Ｇ４の抵抗値は等しいので出力電極３３ａ（Ｖ_L ）
及び３３ｉ（Ｖ_H ）の間の電位は等しく電圧はＶ_P0＝０
となる。

【００５１】また、圧力が加わると歪ゲージＧ２，Ｇ４
はＲ＋ΔＲ_P 、歪ゲージＧ１，Ｇ３はＲ−ΔＲ_P とな
り、出力電極３３ａ（Ｖ_L ）及び３３ｉ（Ｖ_H ）の間の
電圧はＶ_P1＝（ΔＲ_P ／Ｒ）・Ｖ_CCとなる。

【００５２】このように、圧力に応じた電圧が出力さ
れ、出力電極３３ａ，３３ｉに接続したアンプ（回路基
盤１７の電子部品２０等が相当する）で一次増幅等の処
理がなされて外部回路に出力される。

【００５３】また、ブリッジ回路の零点調整は、歪ゲー
ジＧ２と歪ゲージＧ３を接続する端子群Ｔａ、及び歪ゲ
ージＧ４と歪ゲージＧ１を接続する端子群Ｔｂから、左
右のブリッジをバランスさせるために必要となる抵抗値
が得られるように複数の金電極から所定の金電極を適宜
に選択することで、零点調整を行うことを可能としてい
る。

【００５４】この零点調整に伴い、左右のブリッジ回路
に関係する静電容量バランスが変更した場合には、補正
領域Ｓ１，Ｓ２の一部にレーザ等（カット手段は限定さ
れるものではない）によってカットを入れ、不要部分を
除去することにより、歪ゲージＧ２及び歪ゲージＧ３に
それぞれ接続された補正領域Ｓ１，Ｓ２の面積を等価に
することで静電容量バランスを調整することが達成され
る。

【００５５】反対側の歪ゲージＧ１及び歪ゲージＧ４に
関しても同様である。

【００５６】静電容量のアンバランスを求める方法とし
て簡便な方法は、選択された端子部（の位置）により左
右のブリッジ回路においてアンバランスとなる端子部の
面積を求めることが可能であり、その面積を補正領域よ
り除去することにより、静電容量バランスが調整され
る。

【００５７】従って、本発明の解決課題である圧力セン
サの耐ノイズ特性を向上させることが可能となる。

【００５８】尚、アンバランス量とノイズの関係は、補
正後のアンバランスΔＣ／補正前のアンバランスΔＣと
して計算上低減することが可能となる。

【００５９】また、補正後のアンバランスΔＣは、アン
バランスΔＣの検出精度及び除去する面積の精度で決定
されるので、高精度な調整を行なうために、各ブリッジ
の静電容量をより精密に測定することや、レーザカット
位置の位置決め精度を向上させる等の対策を施すことも
適宜行なうことが可能である。

【００６０】図５は、レーザカットにより、静電容量の
アンバランスΔＣを調整した状態を説明する図である。

【００６１】この図において、抵抗バランスからＶｃｃ
電極として金電極３３ｂを選択した場合、金電極３３ｂ
と出力電極３３ａの間の歪ゲージＧ２には、補助補正領
域Ｓ３の面積が接続されている。

【００６２】又もう一方の金電極３３ｂと出力電極３３
ｉの間の歪ゲージＧ３には、接続（ワイヤーボンディン
グ）に関与しない金電極３３ｃから金電極３３ｈの６個
の金電極（これは上記補助補正領域Ｓ３と等しい面積を
有する）、及び補正領域Ｓ２（補助補正領域Ｓ３の２倍
の面積を有する）が接続されている。

【００６３】従って、この場合にはカット線ＬＣ１の位
置で補正領域Ｓ２をカットすることにより静電容量のバ
ランスを取ることができる。

【００６４】次に、金電極３３ｃが選択された場合、金
電極１個分の面積が歪ゲージＧ２に付与され、逆に歪ゲ
ージＧ３は金電極１個分の面積が減少する。この合計２
個分の面積を補正するために、補正領域Ｓ２を金電極２
個分の面積に相当する面積とするためにカット線ＬＣ２
の位置でレーザカットを行なう。

【００６５】金電極３３ｃ以降の選択に対しても、同様
に補正領域Ｓ２の面積を対応させてレーザカットを行な
うことで静電容量のバランスを取ることができる。

【００６６】尚、カット線ＬＣの位置は、選択された金
電極の位置から算出される電極面積に基づいて、ＬＣ
ｘ，ＬＣｙのカット位置をそれぞれ角度θ_S1，θ_S2とし
て算出し、レーザカットを行なう。

【００６７】（実施の形態２）図６は、本発明の第２の
実施の形態を示す図である。この図において、第１の実
施の形態と同様の構成には同じ符号が付されている。

【００６８】この第２の実施の形態の特徴は、補正領域
Ｓ１’，Ｓ２’が、複数のくびれ連結部ＫＲ１，ＫＲ２
・・・により、各端子部の面積に応じた複数領域に分割
されていることにある。

【００６９】選択された端子部（の位置）により左右の
ブリッジ回路において発生するアンバランス量が求めら
れる場合、アンバランス量は端子部の個数に比例するも
のとなり、アンバランスを修正する分の領域を残してく
びれ連結部ＫＲをカットすることにより、簡易的に静電
容量を調整することが可能となる。

【００７０】静電容量のアンバランスΔＣの調整を、第
１の実施の形態と同様に説明すると、抵抗バランスから
Ｖｃｃ電極として金電極３３ｂを選択した場合、金電極
３３ｂと出力電極３３ａの間の歪ゲージＧ２には、補助
補正領域Ｓ３の面積が接続されている。

【００７１】又もう一方の金電極３３ｂと出力電極３３
ｉの間の歪ゲージＧ３には、接続（ワイヤーボンディン
グ）に関与しない金電極３３ｃから金電極３３ｈの６個
の金電極（これは上記補助補正領域Ｓ３と等しい面積を
有する）、及び補正領域Ｓ２’（補助補正領域Ｓ３の２
倍の面積を有する）が接続されている。

【００７２】従って、この場合にはくびれ連結部ＫＲ６
の位置で補正領域Ｓ２’をカットすることにより静電容
量のバランスを取ることができる。

【００７３】次に、金電極３３ｃが選択された場合、金
電極１個分の面積が歪ゲージＧ２に付与され、逆に歪ゲ
ージＧ３は金電極１個分の面積が減少する。この合計２
個分の面積を補正するために、補正領域Ｓ２を金電極２
個分の面積に相当する面積とするためにくびれ連結部Ｋ
Ｒ５の位置でレーザカットを行なう。尚、くびれ連結部
ＫＲ６とくびれ連結部ＫＲ５との間の面積は、金電極２
個分の面積に相当する面積と設定しておく。

【００７４】金電極３３ｃ以降の選択に対しても、同様
に補正領域Ｓ２’の面積を対応させてくびれ連結部ＫＲ
４以降のレーザカットを行なうことで静電容量のバラン
スを取ることができる。

【００７５】尚この場合において、連結部のカット方法
は、カット長さが短いのでダイアフラムに与える影響が
ない場合には、レーザによらず、カッターや研磨ルータ
ー等の機械的なカット方法を採用することも可能であ
る。

【００７６】

【発明の効果】以上のように説明された本発明による
と、選択された電極に応じて変化するブリッジ回路に関
係する静電容量バランスが補正領域の面積を変更するこ
とにより調整可能となり、圧力センサの耐ノイズ性を向
上させることができる。

【００７７】補正領域を接続に関与しない電極の総面積
の２倍の面積とすることにより、いずれの電極が選択さ
れても静電容量バランスを取ることができる。

【００７８】補正領域を４箇所の歪ゲージ部を有するブ
リッジ回路に設けることで、ブリッジ回路の静電容量バ
ランスを取ることができる。

【００７９】複数の端子部の配置されていない歪ゲージ
部の間に補助補正領域を備えることにより、複数の端子
部の面積を変えずにブリッジ回路における歪ゲージ部の
両側のパターンの面積比を小さくすることができ、静電
容量バランスをより容易に取ることができる。

【００８０】補正領域は、各端子部の面積に応じて容易
に分割可能とする複数のくびれ連結部を備えることによ
り、このくびれ連結をカットすることによって、静電容
量バランスをより容易に取ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の実施の形態に係る圧力センサの
構成を示す断面図。

【図２】図２は圧力検知素子の断面構成図。

【図３】図３は第１の実施の形態の圧力検知素子の上面
のパターン図。

【図４】図４はブリッジ回路図。

【図５】図５は選択された端子部とカット位置の関係を
示す図。

【図６】図６は第２の実施の形態の圧力検知素子の上面
のパターン図。

【図７】図７は従来の圧力センサの構成を示す断面図。

【図８】図８は従来の圧力検知素子の断面構成図。

【図９】図９は従来の圧力検知素子の上面のパターン
図。

【符号の説明】

１ケース２コネクタ部３油圧測定部４取付孔５ネジ部６締付部７段部９圧力導入孔１０凹部１０ａ段部１１底面１４圧力検知素子１４ａ本体１５ダイアフラム１７回路基盤１８ワイヤ１９ポッティング剤２０電子部品２１プレート２２貫通コンデンサ２３フランジ２４Ｏリング２５コネクタ３１絶縁膜３２ゲージ膜３２ａ，３２ｂ出力電極部３２ｃ，３２ｄ端子電極部３２ｃＡ〜３２ｃＧ端子部３２ｄＡ〜３２ｄＧ端子部３３ａ，３３ｉ出力電極３３ｂ〜３３ｈ，３３ｊ〜３３ｐ金電極（電極）Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４歪ゲージＰＳ圧力センサＳ１，Ｓ２補正領域Ｔａ，Ｔｂ端子群

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定対象流体の圧力により変形する感圧
部を備えた圧力応答手段と、前記圧力応答手段の感圧部上に絶縁膜を介して形成され
るもので、該感圧部の変形により抵抗値が変化する歪ゲ
ージ部と、この歪ゲージ部に接続し該歪ゲージ部から所
定距離ずつ離間する複数の端子部とを備えるゲージ膜
と、前記ゲージ膜の複数の端子部のそれぞれに形成された電
極と、を備え、前記歪ゲージ部を複数個備えてブリッジ回路の
構成をなし、前記電極のいずれかを選択して利用するこ
とで前記ブリッジ回路を調整可能とした圧力センサであ
って、前記ゲージ膜に、選択された電極に応じて変化するブリ
ッジ回路に関係する静電容量バランスを、面積を変更す
ることにより調整可能とする補正領域を備えたことを特
徴とする圧力センサ。
【請求項２】前記補正領域は、前記複数の端子部の
内、接続に関与しない電極の総面積の２倍の面積であ
り、選択された電極に応じてアンバランスとなる分の面
積が除去されることを特徴とする請求項１に記載の圧力
センサ。
【請求項３】前記ブリッジ回路は、４箇所の前記歪ゲ
ージ部と、対となる前記複数の端子部をブリッジ回路の
対向位置に備え、前記補正領域を歪ゲージ部と複数の端子部との間に接続
したことを特徴とする請求項１または２に記載の圧力セ
ンサ。
【請求項４】複数の端子部の配置されていない歪ゲー
ジ部の間に、複数の端子部の内、接続に関与しない電極
の総面積と等しい面積の補助補正領域を備えることを特
徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
【請求項５】前記補正領域は、各端子部の面積に応じ
て容易に分割可能とする複数のくびれ連結部を備えるこ
とを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の
圧力センサ。