JPH1135304A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPH1135304A JPH1135304A JP9191593A JP19159397A JPH1135304A JP H1135304 A JPH1135304 A JP H1135304A JP 9191593 A JP9191593 A JP 9191593A JP 19159397 A JP19159397 A JP 19159397A JP H1135304 A JPH1135304 A JP H1135304A
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- JP
- Japan
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- ozone
- coolant
- dielectric
- manifold
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 外部筐体の内部に配置された電極についても
効率的に冷却することができ、オゾン発生効率を向上さ
せる。 【解決手段】 外部筐体１ａ内に金属電極４および誘電
体電極５が対向して配置されている。誘電体電極５は、
外部筐体１ａの内部に配置され、誘電体電極５は配管７
ａ，７ｂおよびマニホールド８を介して外部筐体１ａの
外方に接続されている。配管７ａ，７ｂおよびマニホー
ルド８は、耐オゾン性に優れ、かつ絶縁性を有してい
る。
効率的に冷却することができ、オゾン発生効率を向上さ
せる。 【解決手段】 外部筐体１ａ内に金属電極４および誘電
体電極５が対向して配置されている。誘電体電極５は、
外部筐体１ａの内部に配置され、誘電体電極５は配管７
ａ，７ｂおよびマニホールド８を介して外部筐体１ａの
外方に接続されている。配管７ａ，７ｂおよびマニホー
ルド８は、耐オゾン性に優れ、かつ絶縁性を有してい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、浄水処理、パルプ
漂白処理、排ガス処理、産業廃水処理、医療器具の殺菌
処理等を目的としたオゾン処理設備に用いられるオゾン
発生装置に関する。
漂白処理、排ガス処理、産業廃水処理、医療器具の殺菌
処理等を目的としたオゾン処理設備に用いられるオゾン
発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の大型オゾン発生装置の構成を図５
に示す。図５に示すように、大型のオゾン発生装置１は
円筒状の外部筐体１ａと、外部筐体１ａの両端に設けら
れた蓋２とを備えている。さらに外部筐体１ａの蓋２の
内側には、一対の端板３が外部筐体１ａに封着されてい
る。一対の端板３の間には複数の金属電極４が設けら
れ、各々の金属電極４は一対の端板３に溶接により封着
されている。また金属電極４の内側には、一方が密閉さ
れたガラス管２０が設けられ、ガラス管２０の内面には
金属薄膜が設けられている。さらに各ガラス管２０内面
の金属薄膜にはヒューズを介して給電線１０が接続さ
れ、この給電線１０は、電流導入端子１８を介して電源
１９に接続されている。
に示す。図５に示すように、大型のオゾン発生装置１は
円筒状の外部筐体１ａと、外部筐体１ａの両端に設けら
れた蓋２とを備えている。さらに外部筐体１ａの蓋２の
内側には、一対の端板３が外部筐体１ａに封着されてい
る。一対の端板３の間には複数の金属電極４が設けら
れ、各々の金属電極４は一対の端板３に溶接により封着
されている。また金属電極４の内側には、一方が密閉さ
れたガラス管２０が設けられ、ガラス管２０の内面には
金属薄膜が設けられている。さらに各ガラス管２０内面
の金属薄膜にはヒューズを介して給電線１０が接続さ
れ、この給電線１０は、電流導入端子１８を介して電源
１９に接続されている。
【０００３】図５において酸素ガス、もしくは空気等の
酸素分子を含む原料ガスが、外部筐体１ａに設けられた
ガス導入口Ａから外部筐体１ａ内に導入され、金属電極
４とガラス管２０との間の放電ギャップを通って外部筐
体１ａに設けられたガス排出口Ｂから放出される。この
際、電源１９からの交流高電圧が、給電線１０およびヒ
ューズを介してガラス管２０内面の金属薄膜に印加され
ると、ガラス管２０と金属電極４との間の放電ギャップ
を通る原料ガスに無声放電が発生する。このとき無声放
電によりガス中の酸素分子が解離して原子酸素となり、
他の酸素分子と結合してオゾンが生成する。生成したオ
ゾンは外部筐体１ａのガス排出口Ｂから取り出される。
酸素分子を含む原料ガスが、外部筐体１ａに設けられた
ガス導入口Ａから外部筐体１ａ内に導入され、金属電極
４とガラス管２０との間の放電ギャップを通って外部筐
体１ａに設けられたガス排出口Ｂから放出される。この
際、電源１９からの交流高電圧が、給電線１０およびヒ
ューズを介してガラス管２０内面の金属薄膜に印加され
ると、ガラス管２０と金属電極４との間の放電ギャップ
を通る原料ガスに無声放電が発生する。このとき無声放
電によりガス中の酸素分子が解離して原子酸素となり、
他の酸素分子と結合してオゾンが生成する。生成したオ
ゾンは外部筐体１ａのガス排出口Ｂから取り出される。
【０００４】無声放電により発生した熱はオゾンを破壊
する。これを抑制するため、すべての金属電極４と外部
筐体１ａの間には冷却材１１が満たされ、金属電極４の
表面から無声放電で発生する熱を冷却している。通常、
冷却材１１には水が用いられ、冷却材１１は外部筐体１
ａに設けた冷却媒体導入口ａから金属電極４と外部筐体
１ａの間に導入される。冷却材１１は、その後無声放電
の熱を奪い、冷却媒体排出口ｂから熱とともに排出され
る。
する。これを抑制するため、すべての金属電極４と外部
筐体１ａの間には冷却材１１が満たされ、金属電極４の
表面から無声放電で発生する熱を冷却している。通常、
冷却材１１には水が用いられ、冷却材１１は外部筐体１
ａに設けた冷却媒体導入口ａから金属電極４と外部筐体
１ａの間に導入される。冷却材１１は、その後無声放電
の熱を奪い、冷却媒体排出口ｂから熱とともに排出され
る。
【０００５】このように従来のオゾン発生装置１では金
属電極４のみを冷却し、もう一方の電極であるガラス管
２０は冷却しない構造を採るため、片面冷却型オゾナイ
ザと呼ばれる。
属電極４のみを冷却し、もう一方の電極であるガラス管
２０は冷却しない構造を採るため、片面冷却型オゾナイ
ザと呼ばれる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述したよ
うな従来のオゾン発生装置１では、上述のように金属電
極４と外部筐体１ａとの間のみを冷却するため、電力密
度を上げると放電ギャップ中のガス温度上昇が大きくな
る。通常のオゾン発生装置の電力密度は、単位放電面積
当たり電力で１．５〜２kW/m2 であるが、このために、
オゾン発生装置のサイズが大きくなってしまう。
うな従来のオゾン発生装置１では、上述のように金属電
極４と外部筐体１ａとの間のみを冷却するため、電力密
度を上げると放電ギャップ中のガス温度上昇が大きくな
る。通常のオゾン発生装置の電力密度は、単位放電面積
当たり電力で１．５〜２kW/m2 であるが、このために、
オゾン発生装置のサイズが大きくなってしまう。
【０００７】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、外部筐体の内部に配置された電極まで効果
的に冷却して、高いオゾン収率およびオゾン生成のため
の高い信頼性を得ることができるオゾン発生装置を提供
することを目的とする。
ものであり、外部筐体の内部に配置された電極まで効果
的に冷却して、高いオゾン収率およびオゾン生成のため
の高い信頼性を得ることができるオゾン発生装置を提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、外部筐体と、
外部筐体内に設けられた誘導体電極と、外部筐体内にこ
の誘導体電極に対向して配置され、誘導体電極との間で
放電を発生させて原料ガスからオゾンを生成する金属電
極と、誘導体電極および金属電極に接続された高電圧電
源とを備え、誘導体電極および金属電極のうちの少なく
とも一方の電極は、冷却材用の内部空間を有し、この一
方の電極に内部空間内へ冷却材を供給する冷却配管を接
続するとともに、冷却配管を耐オゾン性の絶縁材料で作
製したことを特徴とするオゾン発生装置である。
外部筐体内に設けられた誘導体電極と、外部筐体内にこ
の誘導体電極に対向して配置され、誘導体電極との間で
放電を発生させて原料ガスからオゾンを生成する金属電
極と、誘導体電極および金属電極に接続された高電圧電
源とを備え、誘導体電極および金属電極のうちの少なく
とも一方の電極は、冷却材用の内部空間を有し、この一
方の電極に内部空間内へ冷却材を供給する冷却配管を接
続するとともに、冷却配管を耐オゾン性の絶縁材料で作
製したことを特徴とするオゾン発生装置である。
【０００９】本発明によれば、誘電体電極および金属電
極のうちの少なくとも一方に、冷却配管を介して冷却材
を当該電極の内部空間へ供給することにより、この電極
を効率的に冷却することができる。
極のうちの少なくとも一方に、冷却配管を介して冷却材
を当該電極の内部空間へ供給することにより、この電極
を効率的に冷却することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１乃至図４は本発明によ
るオゾン発生装置の一実施の形態を示す図である。
施の形態について説明する。図１乃至図４は本発明によ
るオゾン発生装置の一実施の形態を示す図である。
【００１１】図１乃至図４に示すように、オゾン発生装
置１は円筒状の外部筐体１ａと、外部筐体１ａの両端に
設けられた蓋２とを備えている。さらに外部筐体１ａの
蓋２の内側には、一対の端板３が外部筐体１ａに封着さ
れている。一対の端板３の間には、複数の円筒状金属電
極４が設けられ、各金属電極４は一対の端板３に溶接に
より封着されている。各金属電極４の内側には、金属管
基材５ａ表面に誘電体５ｂをコートしてなる誘電体電極
５がそれぞれ配置されている。各誘電体電極５の両端に
は、誘電体電極５の内部空間へ冷却材１１を供給するた
め冷却用配管継ぎ手６が接続され、さらに各配管継ぎ手
６には、絶縁性がよくかつ耐オゾン性の高いポリテトラ
フルオロエチレン製配管７ａが接続されている。この配
管７ａは外部筐体１ａ内部のポリテトラフルオロエチレ
ン製のマニホールド８に集合するとともに、マニホール
ド８はさらにポリテトラフルオロエチレン製配管７ｂを
介して外部筐体１の外方へ接続されている。
置１は円筒状の外部筐体１ａと、外部筐体１ａの両端に
設けられた蓋２とを備えている。さらに外部筐体１ａの
蓋２の内側には、一対の端板３が外部筐体１ａに封着さ
れている。一対の端板３の間には、複数の円筒状金属電
極４が設けられ、各金属電極４は一対の端板３に溶接に
より封着されている。各金属電極４の内側には、金属管
基材５ａ表面に誘電体５ｂをコートしてなる誘電体電極
５がそれぞれ配置されている。各誘電体電極５の両端に
は、誘電体電極５の内部空間へ冷却材１１を供給するた
め冷却用配管継ぎ手６が接続され、さらに各配管継ぎ手
６には、絶縁性がよくかつ耐オゾン性の高いポリテトラ
フルオロエチレン製配管７ａが接続されている。この配
管７ａは外部筐体１ａ内部のポリテトラフルオロエチレ
ン製のマニホールド８に集合するとともに、マニホール
ド８はさらにポリテトラフルオロエチレン製配管７ｂを
介して外部筐体１の外方へ接続されている。
【００１２】また各誘電体電極５には、ヒューズ９を介
して給電線１０が接続され、この給電線１０は電流導入
端子１８を介して高電圧交流電源１９に接続されてい
る。
して給電線１０が接続され、この給電線１０は電流導入
端子１８を介して高電圧交流電源１９に接続されてい
る。
【００１３】次に図２により、誘電体電極５と金属電極
４の詳細を示す。図２に示すように誘電体電極５は上述
のように金属管基材５ａと、その表面に設けられた誘電
体５ｂからなっている。また、図２に示すマニホールド
８には、空気抜機構１２が取り付けられており、この空
気抜機構１２によりマニホールド８内の冷却材１１から
空気を排除することができ、誘電体電極５内を効率よく
冷却して高収率のオゾンを生成することができる（図３
参照）。なお、マニホールド８の空気抜機構１２がマニ
ホールド８の上部に位置するよう、マニホールド８には
ガイド１３が取付けられている。このように空気抜機構
１２をマニホールド８の上部に配置することにより、マ
ニホールド８内の冷却材１１から空気を容易に排除で
き、誘電体電極内を効率良く冷却して高収率のオゾンを
生成することができる。
４の詳細を示す。図２に示すように誘電体電極５は上述
のように金属管基材５ａと、その表面に設けられた誘電
体５ｂからなっている。また、図２に示すマニホールド
８には、空気抜機構１２が取り付けられており、この空
気抜機構１２によりマニホールド８内の冷却材１１から
空気を排除することができ、誘電体電極５内を効率よく
冷却して高収率のオゾンを生成することができる（図３
参照）。なお、マニホールド８の空気抜機構１２がマニ
ホールド８の上部に位置するよう、マニホールド８には
ガイド１３が取付けられている。このように空気抜機構
１２をマニホールド８の上部に配置することにより、マ
ニホールド８内の冷却材１１から空気を容易に排除で
き、誘電体電極内を効率良く冷却して高収率のオゾンを
生成することができる。
【００１４】また、誘電体電極５の金属管基材５ａに誘
電体５ｂのコートが施される前に、金属管基材５ａを焼
鈍して機械加工する。このように誘電体電極５の金属管
基材５ａを予め焼鈍することにより誘電体５ｂのコート
を施す際に、曲がりおよび変形等が小さくなり、金属電
極４と誘電体電極５との間の放電ギャップが均等に形成
され、その結果、高濃度で高収率のオゾンが生成でき
る。
電体５ｂのコートが施される前に、金属管基材５ａを焼
鈍して機械加工する。このように誘電体電極５の金属管
基材５ａを予め焼鈍することにより誘電体５ｂのコート
を施す際に、曲がりおよび変形等が小さくなり、金属電
極４と誘電体電極５との間の放電ギャップが均等に形成
され、その結果、高濃度で高収率のオゾンが生成でき
る。
【００１５】次に金属電極４の内側に位置する誘電体電
極５とヒューズ９との取付構造について図２および図４
により説明する。ヒューズ９は図２に示すように誘電体
電極５のノズル１４に取付金具１５を介して電気的に接
続されている。このようにヒューズ９を取付金具１５を
介してノズル１４に取付けることにより、ヒューズ９の
取付けが容易になり、ヒューズ９とノズル１４との間の
絶縁距離が確保され、信頼性の向上につながる。
極５とヒューズ９との取付構造について図２および図４
により説明する。ヒューズ９は図２に示すように誘電体
電極５のノズル１４に取付金具１５を介して電気的に接
続されている。このようにヒューズ９を取付金具１５を
介してノズル１４に取付けることにより、ヒューズ９の
取付けが容易になり、ヒューズ９とノズル１４との間の
絶縁距離が確保され、信頼性の向上につながる。
【００１６】また、誘電体電極５とヒューズ９を電気的
に接続する際用いる取付金具１５に、誘電体電極５のノ
ズル１４が挿入できるように穴１６が形成されている
（図４参照）。このように取付金具１５に穴１６を形成
するのは、ヒューズ９の取付けを容易とし、信頼性を向
上させるためである。この場合その穴１６の径は、ノズ
ル１４だけでなく配管継ぎ手６の外径よりも大きくなっ
ており、このためヒューズ９の接続がさらに容易とな
る。また、誘電体電極５のノズル１４と配管継ぎ手６と
の間にはハロゲン化樹脂のＯ−リング１７が介在されて
いる。このＯ−リング１７は誘電体電極５の中に冷却材
１１を充てんした後に装着されるものであり、Ｏ−リン
グ１７により水漏れ等が解消され、オゾン発生装置の信
頼性が向上する（図２参照）。また、図２に示すよう
に、金属電極４と端板３の溶接部分に凹部２１が設けら
れ、この凹部２１により金属電極４が溶接により変形す
ることがなくなり、金属電極４と誘電体電極５との間の
放電ギャップが均一化され、高濃度で高収率のオゾンを
生成することができる。
に接続する際用いる取付金具１５に、誘電体電極５のノ
ズル１４が挿入できるように穴１６が形成されている
（図４参照）。このように取付金具１５に穴１６を形成
するのは、ヒューズ９の取付けを容易とし、信頼性を向
上させるためである。この場合その穴１６の径は、ノズ
ル１４だけでなく配管継ぎ手６の外径よりも大きくなっ
ており、このためヒューズ９の接続がさらに容易とな
る。また、誘電体電極５のノズル１４と配管継ぎ手６と
の間にはハロゲン化樹脂のＯ−リング１７が介在されて
いる。このＯ−リング１７は誘電体電極５の中に冷却材
１１を充てんした後に装着されるものであり、Ｏ−リン
グ１７により水漏れ等が解消され、オゾン発生装置の信
頼性が向上する（図２参照）。また、図２に示すよう
に、金属電極４と端板３の溶接部分に凹部２１が設けら
れ、この凹部２１により金属電極４が溶接により変形す
ることがなくなり、金属電極４と誘電体電極５との間の
放電ギャップが均一化され、高濃度で高収率のオゾンを
生成することができる。
【００１７】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００１８】酸素ガス、もしくは空気等の酸素分子を含
む原料ガスが外部筐体１ａに設けられたガス導入口Ａか
ら外部筐体１ａ内に導入され、金属電極４と誘電体電極
５の間の放電ギャップを通る。この際、交流電源１９か
ら交流高電圧が給電線１０およびヒューズ９を介して誘
電体電極５に印加されると、誘電体電極５と金属電極４
間の放電ギャップを通る原料ガスに無声放電が発生す
る。このような無声放電により、原料ガス中の酸素分子
が解離して、酸素原子となり、他の酸素分子と結合して
オゾンが生成する。生成したオゾンは外部筐体１ａのガ
ス排出口Ｂから外方へ取り出される。
む原料ガスが外部筐体１ａに設けられたガス導入口Ａか
ら外部筐体１ａ内に導入され、金属電極４と誘電体電極
５の間の放電ギャップを通る。この際、交流電源１９か
ら交流高電圧が給電線１０およびヒューズ９を介して誘
電体電極５に印加されると、誘電体電極５と金属電極４
間の放電ギャップを通る原料ガスに無声放電が発生す
る。このような無声放電により、原料ガス中の酸素分子
が解離して、酸素原子となり、他の酸素分子と結合して
オゾンが生成する。生成したオゾンは外部筐体１ａのガ
ス排出口Ｂから外方へ取り出される。
【００１９】この間冷却材１１が金属電極４と誘電体電
極５表面から、無声放電で発生する熱を冷却する。すな
わち冷却材１１としては通常イオン交換水が用いられ、
この冷却材１１は外部筐体１ａに設けられた冷却材導入
口Ｃ１から配管７ａおよびマニホールド８を介して誘電
体電極５の内部空間に導入され、無声放電で発生した誘
電体電極５の熱を奪い、マニホールド８を介して冷却材
排出口Ｄ１より熱とともに排出される。同時に冷却材１
１が冷却材等入口Ｃ２から金属電極４の内部空間へ導入
され、金属電極４の熱を奪って冷却材排出口Ｄ２より排
出される。
極５表面から、無声放電で発生する熱を冷却する。すな
わち冷却材１１としては通常イオン交換水が用いられ、
この冷却材１１は外部筐体１ａに設けられた冷却材導入
口Ｃ１から配管７ａおよびマニホールド８を介して誘電
体電極５の内部空間に導入され、無声放電で発生した誘
電体電極５の熱を奪い、マニホールド８を介して冷却材
排出口Ｄ１より熱とともに排出される。同時に冷却材１
１が冷却材等入口Ｃ２から金属電極４の内部空間へ導入
され、金属電極４の熱を奪って冷却材排出口Ｄ２より排
出される。
【００２０】この場合、導入口Ｃ１および排出口Ｄ１と
誘電体電極５とを接続する配管７ａ，７ｂおよびマニホ
ールド８は、ポリエトラフルオロエチレン製となってい
るので、耐オゾン性がよく、信頼性があり、外部筐体１
ａ内でも長時間使用可能となる。また、配管７ａ，７ｂ
は柔軟性があるため、誘電体電極５との接続が容易とな
る。
誘電体電極５とを接続する配管７ａ，７ｂおよびマニホ
ールド８は、ポリエトラフルオロエチレン製となってい
るので、耐オゾン性がよく、信頼性があり、外部筐体１
ａ内でも長時間使用可能となる。また、配管７ａ，７ｂ
は柔軟性があるため、誘電体電極５との接続が容易とな
る。
【００２１】またポリエトラフルオロエチレンは絶縁性
を有するので、金属電極４と誘電体電極５との間の放電
作用に悪影響を及ぼすことはない。
を有するので、金属電極４と誘電体電極５との間の放電
作用に悪影響を及ぼすことはない。
【００２２】以上のように本発明の実施の形態によれ
ば、外部筐体１ａ内部に配置された誘電体電極５につい
ても、導入口Ｃ１から配管７ａ，７ｂおよびマニホール
ド８を介して冷却材１１を誘電体電極５内に供給するこ
とにより、誘電体電極５を効果的に冷却することができ
る。このように誘電体電極５を冷却することにより、効
率良くオゾンを発生させることができる。また誘電体電
極５の金属基材５ａに誘電体５ｂをコートする前に焼鈍
し、その後に機械加工を行うことにより、金属電極４と
う誘電体電極５との間に高精度の放電ギャップが形成さ
れ、その結果、高濃度で、高収率のオゾンが生成でき
る。
ば、外部筐体１ａ内部に配置された誘電体電極５につい
ても、導入口Ｃ１から配管７ａ，７ｂおよびマニホール
ド８を介して冷却材１１を誘電体電極５内に供給するこ
とにより、誘電体電極５を効果的に冷却することができ
る。このように誘電体電極５を冷却することにより、効
率良くオゾンを発生させることができる。また誘電体電
極５の金属基材５ａに誘電体５ｂをコートする前に焼鈍
し、その後に機械加工を行うことにより、金属電極４と
う誘電体電極５との間に高精度の放電ギャップが形成さ
れ、その結果、高濃度で、高収率のオゾンが生成でき
る。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
冷却材を冷却配管を介して電極の内部空間に供給してこ
の電極を冷却することができるので、当該電極が外部筐
体の内側中に配置されていてもこの電極を効率的に冷却
することができる。このため効率良くオゾンを発生させ
ることができる。また冷却配管は耐オゾン性の絶縁材料
からなっているので、発生オゾンにより劣化することは
なく、またオゾン反応に悪影響を与えることもない。
冷却材を冷却配管を介して電極の内部空間に供給してこ
の電極を冷却することができるので、当該電極が外部筐
体の内側中に配置されていてもこの電極を効率的に冷却
することができる。このため効率良くオゾンを発生させ
ることができる。また冷却配管は耐オゾン性の絶縁材料
からなっているので、発生オゾンにより劣化することは
なく、またオゾン反応に悪影響を与えることもない。
【図１】本発明によるオゾン発生装置の一実施の形態を
示す概略図。
示す概略図。
【図２】金属電極と誘電体電極を示す拡大図。
【図３】マニホールドおよび冷却材用の配管を示す図。
【図４】誘電体電極の取付構造を示す図。
【図５】従来のオゾン発生装置を示す図。
１ オゾン発生装置 １ａ 外部筐体 ４ 金属電極 ５ 誘電体電極 ７ａ，７ｂ 冷却材用の配管 ８ マニホールド １１ 冷却材 １２ 空気抜機構 １９ 交流電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 天 野 淳 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 石 光 万亀夫 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 納 田 和 彦 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 沖 田 裕 二 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東 芝エフエーシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 高 瀬 治 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東 芝エフエーシステムエンジニアリング株式 会社内
Claims (4)
- 【請求項１】外部筐体と、 外部筐体内に設けられた誘導体電極と、 外部筐体内にこの誘導体電極に対向して配置され、誘導
体電極との間で放電を発生させて原料ガスからオゾンを
生成する金属電極と、 誘導体電極および金属電極に接続された高電圧電源とを
備え、 誘導体電極および金属電極のうちの少なくとも一方の電
極は、冷却材用の内部空間を有し、 この一方の電極に内部空間内へ冷却材を供給する冷却配
管を接続するとともに、冷却配管を耐オゾン性の絶縁材
料で作製したことを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項２】冷却配管はポリテトラフルオロエチレンか
ら作製されていることを特徴とする請求項１記載のオゾ
ン発生装置。 - 【請求項３】冷却材用の内部空間を有する電極が複数設
けられ、各電極に接続された冷却配管はマニホールドか
ら分岐することを特徴とする請求項１記載のオゾン発生
装置。 - 【請求項４】マニホールドに空気抜機構を設けたことを
特徴とする請求項３記載のオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9191593A JPH1135304A (ja) | 1997-07-16 | 1997-07-16 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9191593A JPH1135304A (ja) | 1997-07-16 | 1997-07-16 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1135304A true JPH1135304A (ja) | 1999-02-09 |
Family
ID=16277228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9191593A Pending JPH1135304A (ja) | 1997-07-16 | 1997-07-16 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1135304A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4499187B1 (ja) * | 2009-05-15 | 2010-07-07 | 株式会社Ｆｌｃ | オゾン発生装置 |
-
1997
- 1997-07-16 JP JP9191593A patent/JPH1135304A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4499187B1 (ja) * | 2009-05-15 | 2010-07-07 | 株式会社Ｆｌｃ | オゾン発生装置 |
| JP2010285337A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-12-24 | Flc:Kk | オゾン発生装置 |
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