JPH11352059A - エアロゾル検出装置の検出能力評価システムおよびその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】エアロゾル検出装置の検出能力を評価するシス
テムを提案する。 【解決手段】エアロゾルに対して光を照射し、その際に
生じるエアロゾルからの散乱光を検出することによりエ
アロゾルを検出するエアロゾル検出装置２０の検出能力
を評価するシステムであり、エアロゾル発生装置４およ
び希釈器５を用いて実質的に粒径が単分散の評価用粒子
の低濃度エアロゾルを発生させ、この低濃度エアロゾル
を風洞２内を通過させ、この風洞２内を通過してくるエ
アロゾルについて、エアロゾル検出装置２０による検出
を行いその結果をモニタ７等に表示等させる一方、パー
ティクルカウンター３によっても検出を行い、これらの
検出結果の対比に基づいてエアロゾル検出装置２０の検
出能力を評価するものとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、エアロゾルに対し
て光を照射し、その際に生じるエアロゾルからの散乱光
を検出することによりそのエアロゾルを検出するエアロ
ゾル検出装置について、その検出能力を評価する評価シ
ステムおよび評価方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在までに、エアロゾルに対して光を照
射し、その際に生じるエアロゾルからの散乱光を検出す
ることによりそのエアロゾルを検出するエアロゾル検出
装置として、種々のものが提案されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
エアロゾル検出装置は光源の種類や検出装置の種類の他
それらの位置関係などにより検出能力が異なるものであ
るにもかかわらず、その検出能力を厳密に評価する装置
および方法は未だ提案されていない。

【０００４】そこで、本発明の主たる課題は、エアロゾ
ルに対して光を照射し、その際に生じるエアロゾルから
の散乱光を検出することによりそのエアロゾルを検出す
るエアロゾル検出装置について、その検出能力を正確に
評価するシステムおよび方法を提案することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決した本発
明のエアロゾル検出装置の検出能力評価システムは、エ
アロゾルに対して光を照射し、その際に生じるエアロゾ
ルからの散乱光を検出することにより前記エアロゾルを
検出するエアロゾル検出装置について、その検出能力を
評価する評価システムであって、評価用粒子のエアロゾ
ルを通過させる風洞と、この風洞内を通過してくる前記
エアロゾルの計測を行うパーティクルカウンターとを備
え、前記風洞内に光を照射し、その際に生じる前記風洞
内を通過してくるエアロゾルからの散乱光を検出しうる
ように前記エアロゾル検出装置を設置し、前記風洞内を
通過してくるエアロゾルについて前記エアロゾル検出装
置による検出および前記パーティクルカウンターによる
検出を行い、前記エアロゾル検出装置による検出結果と
前記パーティクルカウンターによる検出結果との対比に
基づいて前記エアロゾル検出装置の検出能力を評価しう
るように構成したことを特徴とするものである。

【０００６】つまり、本発明システムは、風洞内を通過
する評価用粒子のエアロゾルについてエアロゾル検出装
置による検出およびパーティクルカウンターによる検出
を行い、両装置により検出結果の対比に基づいて、エア
ロゾルの計測技術として信頼度が高くかつ汎用されてい
るパーティクルカウンターの検出能力を基準として、エ
アロゾル検出装置の検出能力を評価するものである。

【０００７】かかる本発明システムにおいて、前記評価
用粒子のエアロゾルを発生させるエアロゾル発生装置
と、このエアロゾル発生装置で発生させたエアロゾルを
希釈して粒子濃度を低下させるとともに実質的に粒径が
単分散の前記評価用粒子のエアロゾルとする希釈器とを
備え、この希釈器からのエアロゾルを前記評価用粒子の
エアロゾルとして前記風洞内を通過させるように構成す
るのは好ましい。これにより、風洞内を通過するエアロ
ゾルは、個数が少なくなるとともに粒径が単分散となる
ため、エアロゾル検出装置の検出能力をより正確に評価
できるようになる。

【０００８】また、本発明システムが、前記風洞の風洞
内断面積を自在に変化させて前記風洞内の気流速を調整
する気流速調整手段を備えるのも好ましい。これによ
り、種々の気流速条件下における検出能力を評価するこ
とができる。

【０００９】さらに本発明システムにおいて、前記エア
ロゾル検出装置により前記風洞内を通過してくるエアロ
ゾルからの散乱光を検出するにあたりその背景を自在に
変更する背景変更手段を備えるのも好ましい。この場
合、エアロゾル検出装置による検出に関する外乱の影響
を低減することができる。

【００１０】一方、本発明のエアロゾル検出装置の検出
方法は、エアロゾルに対して光を照射し、その際に生じ
るエアロゾルからの散乱光を検出することにより前記エ
アロゾルを検出するエアロゾル検出装置について、その
検出能力を評価する方法であって、評価用粒子のエアロ
ゾルを通過させる風洞と、この風洞内を通過してくる前
記エアロゾルの計測を行うパーティクルカウンターとを
用い、前記風洞内に光を照射し、その際に生じる前記風
洞内を通過してくるエアロゾルからの散乱光を検出しう
るように前記エアロゾル検出装置を設置し、前記風洞内
を通過してくるエアロゾルについて前記エアロゾル検出
装置による検出および前記パーティクルカウンターによ
る検出を行い、前記エアロゾル検出装置による検出結果
と前記パーティクルカウンターによる検出結果との対比
に基づいて前記エアロゾル検出装置の検出能力を評価す
ることを特徴とする方法である。

【００１１】本発明方法において、前記評価用粒子のエ
アロゾルを発生させ、このエアロゾルを希釈して粒子濃
度を低下させるとともに実質的に粒径が単分散の前記評
価用粒子のエアロゾルとした後、この粒径が単分散の前
記評価用粒子のエアロゾルを前記評価用粒子のエアロゾ
ルとして前記風洞内を通過させるのは好ましい。また、
前記風洞内断面積を自在に変化させて前記風洞内の気流
速を調整するのも好ましい。さらに、前記エアロゾル検
出装置により前記風洞内を通過してくるエアロゾルから
の散乱光を検出するにあたりその背景を任意の背景に変
更して前記エアロゾル検出装置の検出能力を評価するの
も好ましい。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照しつつ詳述する。図１に本発明に係る
エアロゾル検出装置の検出能力評価システム例１を示し
た。この評価システム１は、評価用粒子のエアロゾルを
通過させる風洞２と、この風洞２内を通過したエアロゾ
ルの計測を行うパーティクルカウンター３とを備えるも
のである。Ｐはパーティクルカウンター３用のポンプで
ある。図示例の風洞２は、上端部にエアロゾルの供給管
６が連通する第１風洞部２Ａと、上端部側面において第
１風洞部２Ａの下端部側面と連通し、下端部にパーティ
クルカウンター３の試料導入管３Ａが連通する第２風洞
部２Ｂとからなるものとされている。この第２風洞部２
Ｂの上壁には検出窓Ｗ１が設けられ、また第２風洞部２
Ｂにおける検出窓Ｗ１とパーティクルカウンター３の試
料導入管３Ａの連通部との間における一方の側壁部分及
びこれと対面する他方の側壁部分の各々に照射光通過窓
Ｗ２，Ｗ２が設けられている。

【００１３】また、本評価システム１は、風洞２内にエ
アロゾルを供給すべく、評価用粒子のエアロゾルを発生
させるエアロゾル発生装置４と、このエアロゾル発生装
置４で発生させたエアロゾルを希釈して粒子濃度を低下
させるとともに実質的に粒径が単分散のエアロゾルとす
る希釈器５と、この希釈器５で希釈した実質的に粒径が
単分散の評価用粒子のエアロゾルを風洞２内に供給する
供給管６とを備えている。

【００１４】ここに、本発明の希釈器５の具体例を図２
に示した。この図示例の希釈器５は、エアロゾル発生装
置４で発生させたエアロゾルが供給される希釈タンク５
Ａと、この希釈タンク５Ａに希釈用分散媒体（空気な
ど）を供給する希釈ポンプ５Ｂとからなり、エアロゾル
発生装置４からの高濃度のエアロゾルを、希釈タンク５
Ａ内において希釈ポンプ５Ｂからの分散媒体により希釈
して実質的に粒径が単分散の低濃度エアロゾルとし、こ
の低濃度エアロゾルを希釈タンク５Ａ上端部に連通する
エアロゾル供給管６へ送出するものである。５ｃはエア
ロゾル発生装置４の希釈タンク５Ａに対する高濃度エア
ロゾルの供給量を調節する調節弁を示し、５ｄは希釈ポ
ンプ５Ｂの希釈タンク５Ａに対する分散媒体供給量を調
節する調節弁を示し、Ｆは希釈ポンプ５Ｂからの分散媒
体を清浄化して希釈タンク５Ａへ供給するためのフィル
ターを示している。

【００１５】参考までに、図３（ａ）にエアロゾル発生
装置４で発生させたエアロゾルからの高濃度エアロゾル
の粒径およびその粒子数のグラフを示し、同図（ｂ）に
希釈器５で希釈して得られる低濃度エアロゾルの粒径お
よびその粒子数のグラフを示す。これらのグラフは本発
明者らによる実験結果である。図３（ａ）に示すように
希釈前では単一粒子やこれが複数凝集した凝集粒子が主
に存在しているが、希釈器５により希釈すると、図３
（ｂ）に示すように粒径が０．０７μｍおよび０．１０
μｍの単一粒子しか存在しなくなる。また、エアロゾル
濃度も６０個／ＣＦＭ以下とすることができる。なお、
本発明では、希釈器５による希釈の程度すなわち風洞２
内を通過させるエアロゾルの個数を、６０個／ＣＦＭ以
下とするのが評価の正確を期する上で好ましい。

【００１６】さて、かかる評価システム１を用いる場
合、先ず風洞２内を通過してくるエアロゾルの検出を行
いうるようにエアロゾル検出装置２０を設置する。すな
わち、一方の照射光通過窓Ｗ２の外部から第２風洞部２
Ｂ内を横切って他方の照射光通過窓を臨むように光源２
１を設置するとともに、第２風洞部２Ｂ内における光源
２１からの光の通過領域を臨むように、散乱光検出器２
２を検出窓Ｗ１の外側に設置する。

【００１７】本発明の評価対象たるエアロゾル検出装置
２０としては、光源２１および散乱光検出器２２を備
え、光源からの光をエアロゾルに対して照射し、その際
に生じるエアロゾルからの散乱光を散乱光検出器２２で
検出することによりエアロゾルを検出するものであれば
照射光や散乱光検出器２２の種類に限定されず、また他
の付加的機器を備えるものであっても良い。例えば、照
射光としてハロゲン光や、ストロボ光、レーザー光、お
よびこれらの光をレンズや鏡などにより加工した光など
を用いるものや、散乱光検出器２２として撮像管、ＣＣ
Ｄカメラ、写真機等を用いるもの、またはこれらによる
検出画像を処理してコントラストを高める画像処理装置
Ｖを備えるものなどについて、検出能力を評価すること
ができる。

【００１８】なお、散乱光検出器２２による検出結果
は、そのままではパーティクルカウンター３の検出結果
と対比できない。したがって、散乱光検出器２２として
撮像管やＣＣＤカメラ等を用いる場合には図示するよう
に、散乱光検出器２２の検出画像を表示するモニタ７、
検出画像に基づいてエアロゾル数を計数する自動計数器
８、検出画像を印刷するプリンター９、および検出画像
を録画するビデオデッキ１０等を少なくとも１つ用い
る。

【００１９】計測に際しては、エアロゾル発生装置４に
よりエアロゾルを発生させ、これを希釈器５に供給して
希釈し、粒子濃度を低下させるとともに実質的に粒径が
単分散の評価用粒子からなるエアロゾルとした後、この
希釈済みのエアロゾルを供給管６を介して第１風洞部２
Ａ上端より風洞２内に定量供給する。

【００２０】一方、散乱光検出器２２を作動させて検出
を開始するとともに、光源２１からの光Ｌを一方側の照
射光通過窓Ｗ２通して第２風洞部２Ｂ内に入射させ、第
２風洞部２Ｂ内領域全体を通過させて他方側の照射光通
過窓Ｗ２から風洞外に出射させる。また、ポンプＰを作
動させて、風洞２内の空気を吸引して、試料導入管３Ａ
を介してパーティクルカウンター３に供給するととも
に、パーティクルカウンター３による計測を開始する。
このポンプＰの吸引により風洞２の上端から下端に向か
う気流が発生する。

【００２１】この気流に乗って、供給管６からのエアロ
ゾルが第１風洞部２Ａ内において均一に分散しつつ下降
し、第２風洞部２Ｂに至り、さらに第２風洞部２Ｂ内を
下降していく。この際、照射光通過窓Ｗ２によって囲ま
れる第２風洞部２Ｂ内の光通過領域を交差して通るエア
ロゾルによって、光源２１からの光Ｌの一部が散乱され
る。散乱光のうち上方に向かうものが検出窓Ｗ１を通し
て散乱光検出器２２により検出される。

【００２２】第２風洞部２Ｂを降下したエアロゾルは、
試料導入管３Ａを介してパーティクルカウンター３に導
かれ、粒径や粒子数が計測される。

【００２３】一方、散乱光検出器２２による検出結果に
基づいてエアロゾル個数を計数する。例えば、モニタ７
の表示画像、ビデオデッキ１０の録画画像、プリンタ９
の印刷画像に基づいて作業員が目視でエアロゾル個数を
求めるか、あるいは自動計数器８により自動でエアロゾ
ル個数を計数する。また、写真機を用いた場合にはその
写真などの撮影結果に基づいて作業員が目視でエアロゾ
ル個数を求める。

【００２４】かかる計測の後、エアロゾル検出装置２０
の検出結果に基づくエアロゾル数の計数結果と、パーテ
ィクルカウンター３によるエアロゾル個数の計数結果と
を対比することにより、エアロゾル検出装置２０の検出
能力を評価することができる。例えば、両計数結果の比
を取ることにより検出率を求めたり、評価用粒子の粒径
を適宜スライドさせて評価実験を行い、エアロゾル検出
装置２０の検出限界を求めたりすることができる。この
検出能力の評価は人的に行うことができるが、例えば自
動計数器８およびパーティクルカウンター３を図示しな
いコンピュータに接続し、これらの計数結果をコンピュ
ータで処理することにより行うこともできる。

【００２５】このように、本評価システム１は、エアロ
ゾル検出装置２０の検出能力（検出の可否、検出率また
は検出限界等）を、実質的に単分散の低濃度エアロゾル
を用い、風洞２を用いることにより系外からの影響を抑
制しつつ、エアロゾルの計測技術として信頼度が高くか
つ汎用されているパーティクルカウンター３の検出能力
を基準として評価するものである。したがって、本評価
システム１によれば厳密にエアロゾル検出装置の評価を
行うことができる＜変形例１＞上記例において、風洞２
内断面積を自在に変化させて風洞２内の気流速を調整す
る気流速調整手段を設けるのは好ましい。例えば図４お
よび図５に示すように、照射光通過窓Ｗ２，Ｗ２よりも
上側の部分から下側の部分までの第２風洞部２Ｂの側壁
部分Ｒ（照射光通過窓Ｗ２，Ｗ２を除く）を、図４に示
すように蛇腹Ｓなどの変形可能な構造としたり、図５に
示すようにゴムなどの変形可能な部材Ｇにより形成した
りしておき、当該側壁部分Ｒを変形させつつ照射光通過
窓Ｗ２，Ｗ２間距離を短く若しくは長くすることによ
り、照射光通過部分の第２風洞部２Ｂ内断面積を自在に
変化させて、この照射光通過部分を通る気流の速度を調
整することができる。

【００２６】＜変形例２＞一方、本発明者らは、エアロ
ゾル検出装置２０の一構成として、散乱光検出装置２２
による検出にあたりその背景となる領域に光を反射しに
くい背景を設置することにより、エアロゾル検出装置２
０の検出能力を向上させる発明をなしている。この発明
においては、明度や反射率などの背景の光学特性によっ
て検出能力に差違を生ずるため、好適な背景を選択する
うえで背景種別の検出能力を測定する必要がある。ま
た、室内等において実際にエアロゾル検出装置の測定を
行う際に、検出背景となる壁などの光学特性が検出能力
へ及ぼす影響を予め調べることができると、実条件に則
した検出能力を評価することができ便利である。

【００２７】そこで、かかる要望に応ずるべく、上記例
において、エアロゾル検出装置２０により風洞２内を通
過してくるエアロゾルからの散乱光を検出するにあた
り、その背景すなわち上記例でいうならば、第２風洞部
２Ｂ内における照射光通過窓Ｗ２よりも下側の部分を自
在に変更する背景変更手段を設けることを備えせしめる
ことを提案する。

【００２８】この背景変更手段としては、例えば図６に
示すように、第２風洞部２Ｂの照射光通過窓Ｗ２よりも
下側の部分２ＢＵ（以下、第２風洞部下側部分という）
を図中矢印および二点鎖線で示すように着脱自在とする
とともに、明度や反射率などの光学特性の異なる内面を
有する第２風洞部下側部分（図示せず）を複数種用意し
ておき、これらを適宜交換して背景を任意のものに変更
しつつ、エアロゾル検出装置２０の検出能力を評価する
ものを提案する。この場合において、内面に無反射塗装
を施したり、無反射シート（黒布）を貼り付けたりする
ことにより無反射部を設けた第２風洞部下側部分を用い
ると、散乱光検出装置２２および光源２１のみからなる
エアロゾル検出装置２０の検出能力を評価できる。

【００２９】また、図７に示すように、第２風洞部２Ｂ
内における照射光通過窓Ｗ２よりも下側に、風洞２Ｂ内
を横断する、上下面に連通する評価用粒子の通過孔（図
示せず）を形成した背景部材ＢＧを、図中矢印および二
点鎖線で示すように着脱自在に設置することもできる。
この場合、明度や反射率などの光学特性の異なる背景部
材ＢＧを複数種用意しておき、これらを適宜交換して背
景を任意のものに変更しつつ、エアロゾル検出装置２０
の検出能力を評価する。この背景部材ＢＧには、必要に
応じて無反射塗装等の無反射処理を施すことができる。

【００３０】＜その他＞ （イ）図１に示す評価システム１は、光源２１からの光
の方向と散乱光検出器２２の検出方向との角度および散
乱光検出器２２の検出距離（散乱光検出器２２と照射光
通過領域との距離）が一定の条件下でエアロゾル検出装
置の検出能力を評価するものであるが、本発明はこれに
限定されない。すなわち、図示しないが光源および散乱
光検出器の少なくとも一方の設置位置および設置方向を
適宜変更することにより、光源の光照射方向と散乱光検
出器の撮影方向との角度や散乱光検出器の検出距離を任
意に定めることができる。この場合、風洞の形状や検出
窓および照射光通過窓の配設位置を適宜変更することも
できる。また、光源および散乱光検出器の少なくとも一
方の設置位置および設置方向を可変としたり、複数の光
源や散乱光検出器を設置位置および設置方向を異ならし
めて設置したりするのも好ましい。

【００３１】また、光源および散乱光検出器の少なくと
も一方の設置位置および設置方向を適宜変更しつつ検出
能力を評価することにより、既存または新規なエアロゾ
ル検出装置における最適条件（光源の光照射方向と散乱
光検出器の検出方法との最適角度、散乱光検出器の最適
検出距離）を調べることもできる。

【００３２】（ロ）上記例の評価システム１において、
パーティクルカウンター３用のポンプＰにより、風洞２
内気流速を適宜変更して、異なる気流速における検出能
力を評価することもできる。この評価結果を利用すれ
ば、評価対象のエアロゾル検出装置が適応可能な現場を
推定することが可能となる。

【００３３】（ハ）上記例の評価システム１は、実質的
に粒径が単分散の評価用粒子のみからなるエアロゾルを
用いているが、粒径が多分散の評価用粒子のエアロゾル
を用いることもできる。

【００３４】（ニ）上記評価システム１においては、エ
アロゾル発生装置４で発生させたエアロゾルを希釈器５
で希釈した後、風洞２内に供給するようにしたが、本発
明はこれに限定されない。例えば、エアロゾル発生装置
４で発生させた評価用粒子のエアロゾルを希釈せずに風
洞２内に供給したり、評価用粒子を風洞２内に直接に散
布したりして、評価用粒子のエアロゾルが風洞２内を通
過するように構成することもできる。

【００３５】（ホ）上記評価システム１において風洞２
の形状は適宜定めることができる。また、風洞２を傾斜
配置、横向き配置（すなわちエアロゾルが水平方向に移
動する）、上下逆さ配置（すなわち風洞内をエアロゾル
が上昇する）とすることもできる。なお風洞２内は無反
射処理を施しておくのが好ましい。

【００３６】（ヘ）評価用粒子としては、エアロゾルと
なる限り材質は問わないが、例えば真球に近くかつ粒径
が均一で単分散性に優れているポリスチレンラテックス
粒子のほか、水ミストやオイルミストなどを用いること
ができる。

【００３７】（ト）パーティクルカウンター３として
は、ＪＩＳＢ９９２１「光散乱式粒子計数器」に規定さ
れるもの等を用いることができる。

【００３８】＜実験例＞図１に示す前述の評価システム
１を実験用クリーンルーム内（≧０．１μｍ、Ｃ−１
０）に設置した。評価用粒子として、真球に近く、かつ
粒径が均一で単分散性に優れているポリスチレンラテッ
クス（ＰＳＬ）粒子を採用し、粒径が０．１００μｍ、
０．１４４μｍ、０．１９６μｍ、０．２９４μｍのも
のを用意した。

【００３９】また、エアロゾル検出装置２０の光源２１
として、アルゴン（Ａｒ）レーザ（波長４５８〜５１４
ｎｍ）を用い、これからのレーザー光を６０Ｈｚで振動
するガルバノミラーで反射させ、その反射レーザー光を
照射光通過窓Ｗ２を介して第２風洞部２Ｂ内に照射し
た。ガルバノミラーからの反射レーザー光は反射部を中
心に揺動走査される。この走査速度は速く、肉眼ではシ
ート状をなすように見えるので、以下、レーザーライト
シートという。本実験ではレーザーライトシートの厚さ
は３ｍｍとなるようにし、第２風洞部２Ｂ内を水平に横
断するようにした。

【００４０】また、散乱光検出器２２として高感度撮像
管を用い、レーザーライトシート面と散乱光検出器２２
の検出方向との角度は焦点深度を考慮し、散乱光検出器
２２からの距離が一定となる９０°に固定した。散乱光
検出器２２の検出結果は画像処理装置Ｖでコントラスト
を高めた後、モニタ７に表示させるようにした。また、
風洞２内気流速（Ｖ）は０．０７５ｍ／ｓに調整した。

【００４１】かかるシステム構成および条件のもと、エ
アロゾル発生装置４においてＰＳＬ粒子のエアロゾルを
発生させ、このエアロゾルを希釈器５において濃度が１
ft³当り数個〜数十個となるように希釈して実質的に粒
径が単分散の低濃度エアロゾルとし、この低濃度エアロ
ゾルを風洞２内に供給するとともに、レーザーライトシ
ートを通過するエアロゾルからの散乱光を上部に配置し
た散乱光検出器２２で撮影し、その撮影結果をモニター
７に表示させた。また、レーザーライトシートを通過し
た全ての粒子をパーティクルカウンタ３で計数した。そ
して、モニター７の表示映像に基づく粒子数の計数結果
とパーティクルカウンター３による計数結果とを比較
し、両計数結果が実質的に一致している場合には検出可
能と判断した。

【００４２】その結果、０．２９４μｍのＰＳＬ粒子は
検出可能であった。０．１９６μｍ以下のＰＳＬ粒子を
用いた実験では、モニター７の表示映像に基づく粒子数
の計数結果とパーティクルカウンター３による計数結果
との対比において、個数に大きな差異があったため、検
出不可能と判断した。

【００４３】

【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、エアロ
ゾル検出装置の検出能力を、エアロゾルの計測技術とし
て信頼度が高くかつ汎用されているパーティクルカウン
ターの検出能力を基準として、厳密に評価することがで
きるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るエアロゾル検出装置の検出能力評
価システム例を示す概略縦断面図である。

【図２】希釈器を示す概要図である。

【図３】（ａ）希釈前のエアロゾルの粒径及び粒子数を
示すグラフ、および（ｂ）希釈後のエアロゾルの粒径及
び粒子数を示すグラフである。

【図４】変形例１の要部を示す概略縦断面図である。

【図５】変形例１に係る他の例の要部を示す概略縦断面
図である。

【図６】変形例２の要部を示す概略縦断面図である。

【図７】変形例２に係る他の例の要部を示す概略縦断面
図である。

【符号の説明】

１…エアロゾル検出装置の検出能力評価システム、２…
風洞、３…パーティクルカウンター、４…エアロゾル発
生装置、５…希釈器、６…エアロゾル供給管、７…モニ
タ、８…自動計数器、９…プリンター、１０…ビデオデ
ッキ、２０…エアロゾル検出装置、２１…光源、２２…
散乱光検出器。

フロントページの続き (72)発明者 伊藤 聖治 東京都中央区日本橋本石町４丁目４番20号 三井第二別館 新日本空調株式会社内 (72)発明者 齋藤 安隆 東京都中央区日本橋本石町４丁目４番20号 三井第二別館 新日本空調株式会社内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】エアロゾルに対して光を照射し、その際に
   生じるエアロゾルからの散乱光を検出することにより前
   記エアロゾルを検出するエアロゾル検出装置について、
   その検出能力を評価する評価システムであって、 評価用粒子のエアロゾルを通過させる風洞と、この風洞
   内を通過してくる前記エアロゾルの計測を行うパーティ
   クルカウンターとを備え、 前記風洞内に光を照射し、その際に生じる前記風洞内を
   通過してくるエアロゾルからの散乱光を検出しうるよう
   に前記エアロゾル検出装置を設置し、前記風洞内を通過
   してくるエアロゾルについて前記エアロゾル検出装置に
   よる検出および前記パーティクルカウンターによる検出
   を行い、前記エアロゾル検出装置による検出結果と前記
   パーティクルカウンターによる検出結果との対比に基づ
   いて前記エアロゾル検出装置の検出能力を評価しうるよ
   うに構成したことを特徴とするエアロゾル検出装置の検
   出能力評価システム。
2. 【請求項２】前記評価用粒子のエアロゾルを発生させる
   エアロゾル発生装置と、このエアロゾル発生装置で発生
   させたエアロゾルを希釈して粒子濃度を低下させるとと
   もに実質的に粒径が単分散の前記評価用粒子のエアロゾ
   ルとする希釈器とを備え、この希釈器からのエアロゾル
   を前記評価用粒子のエアロゾルとして前記風洞内を通過
   させるように構成した請求項１記載のエアロゾル検出装
   置の検出能力評価システム。
3. 【請求項３】前記風洞の風洞内断面積を自在に変化させ
   て前記風洞内の気流速を調整する気流速調整手段を備え
   た請求項１または２記載のエアロゾル検出装置の検出能
   力評価システム。
4. 【請求項４】前記エアロゾル検出装置により前記風洞内
   を通過してくるエアロゾルからの散乱光を検出するにあ
   たりその背景を自在に変更する背景変更手段を備えた請
   求項１〜３のいずれか１項記載のエアロゾル検出装置の
   検出能力評価システム。
5. 【請求項５】エアロゾルに対して光を照射し、その際に
   生じるエアロゾルからの散乱光を検出することにより前
   記エアロゾルを検出するエアロゾル検出装置について、
   その検出能力を評価する方法であって、 評価用粒子のエアロゾルを通過させる風洞と、この風洞
   内を通過してくる前記エアロゾルの計測を行うパーティ
   クルカウンターとを用い、 前記風洞内に光を照射し、その際に生じる前記風洞内を
   通過してくるエアロゾルからの散乱光を検出しうるよう
   に前記エアロゾル検出装置を設置し、前記風洞内を通過
   してくるエアロゾルについて前記エアロゾル検出装置に
   よる検出および前記パーティクルカウンターによる検出
   を行い、前記エアロゾル検出装置による検出結果と前記
   パーティクルカウンターによる検出結果との対比に基づ
   いて前記エアロゾル検出装置の検出能力を評価すること
   を特徴とするエアロゾル検出装置の検出能力評価方法。
6. 【請求項６】前記評価用粒子のエアロゾルを発生させ、
   このエアロゾルを希釈して粒子濃度を低下させるととも
   に実質的に粒径が単分散の前記評価用粒子のエアロゾル
   とした後、この粒径が単分散の前記評価用粒子のエアロ
   ゾルを前記評価用粒子のエアロゾルとして前記風洞内を
   通過させる請求項５記載のエアロゾル検出装置の検出能
   力評価方法。
7. 【請求項７】前記風洞内断面積を自在に変化させて前記
   風洞内の気流速を調整する請求項５または６記載のエア
   ロゾル検出装置の検出能力評価方法。
8. 【請求項８】前記エアロゾル検出装置により前記風洞内
   を通過してくるエアロゾルからの散乱光を検出するにあ
   たりその背景を任意の背景に変更して前記エアロゾル検
   出装置の検出能力を評価する請求項５〜７のいずれか１
   項記載のエアロゾル検出装置の検出能力評価方法。