JPH11350139A - 耐チッピング性のすぐれた人工ダイヤモンド被覆硬質焼結材料製切削工具 - Google Patents
耐チッピング性のすぐれた人工ダイヤモンド被覆硬質焼結材料製切削工具Info
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- JPH11350139A JPH11350139A JP15574898A JP15574898A JPH11350139A JP H11350139 A JPH11350139 A JP H11350139A JP 15574898 A JP15574898 A JP 15574898A JP 15574898 A JP15574898 A JP 15574898A JP H11350139 A JPH11350139 A JP H11350139A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐チッピング性のすぐれた人工ダイヤモンド
被覆硬質焼結材料製切削工具を提供する。 【解決手段】 人工ダイヤモンド被覆硬質焼結材料製切
削工具が、超硬基体、サーメット基体、およびセラミッ
クス基体のうちのいずれか、からなる硬質焼結材料基体
の表面に、走査型電子顕微鏡による縦断面観察で、ダイ
ヤモンド結晶薄層と非晶質炭素薄層とが交互に細かいピ
ッチで積層して縞模様を呈する積層粒と、ダイヤモンド
結晶粒の混合組織を示し、かつ前記積層粒が１０〜７０
面積％の割合を占める人工ダイヤモンド被膜を、５〜２
００μｍの平均層厚で形成してなる。
被覆硬質焼結材料製切削工具を提供する。 【解決手段】 人工ダイヤモンド被覆硬質焼結材料製切
削工具が、超硬基体、サーメット基体、およびセラミッ
クス基体のうちのいずれか、からなる硬質焼結材料基体
の表面に、走査型電子顕微鏡による縦断面観察で、ダイ
ヤモンド結晶薄層と非晶質炭素薄層とが交互に細かいピ
ッチで積層して縞模様を呈する積層粒と、ダイヤモンド
結晶粒の混合組織を示し、かつ前記積層粒が１０〜７０
面積％の割合を占める人工ダイヤモンド被膜を、５〜２
００μｍの平均層厚で形成してなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、炭化タングステ
ン基超硬合金基体（以下、超硬基体という）、炭窒化チ
タン系サーメット基体（以下、サーメット基体とい
う）、および窒化珪素系セラミックス基体（以下、セラ
ミックス基体という）のうちのいずれか、からなる硬質
焼結材料基体の表面に形成された人工ダイヤモンド被膜
がすぐれた耐チッピング性を示し、長期に亘ってすぐれ
た切削性能を発揮する人工ダイヤモンド被覆硬質焼結材
料製切削工具（以下、ダイヤ被覆工具という）に関する
ものである。
ン基超硬合金基体（以下、超硬基体という）、炭窒化チ
タン系サーメット基体（以下、サーメット基体とい
う）、および窒化珪素系セラミックス基体（以下、セラ
ミックス基体という）のうちのいずれか、からなる硬質
焼結材料基体の表面に形成された人工ダイヤモンド被膜
がすぐれた耐チッピング性を示し、長期に亘ってすぐれ
た切削性能を発揮する人工ダイヤモンド被覆硬質焼結材
料製切削工具（以下、ダイヤ被覆工具という）に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、一般に、例えば特開昭５９−１６
６４０２号公報に記載されるように、硬質焼結材料基体
の表面に、特開昭５８−９１１００号公報に記載される
熱フィラメント法や特開昭５８−１１０４９４号公報に
記載されるマイクロ波法、さらに特開昭５８−１３５１
１７号公報に記載される高周波プラズマ法などの気相合
成法を用いて、人工ダイヤモンド被膜（以下、ダイヤ被
膜という）を５〜２００μｍの平均層厚で形成してなる
ダイヤ被覆工具が知られており、このダイヤ被覆工具
が、Ａｌ−Ｓｉ合金やＣｕ−Ｚｎ合金、さらにグラファ
イトや繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）などの連続切削
や断続切削に用いられることも良く知られるところであ
る。
６４０２号公報に記載されるように、硬質焼結材料基体
の表面に、特開昭５８−９１１００号公報に記載される
熱フィラメント法や特開昭５８−１１０４９４号公報に
記載されるマイクロ波法、さらに特開昭５８−１３５１
１７号公報に記載される高周波プラズマ法などの気相合
成法を用いて、人工ダイヤモンド被膜（以下、ダイヤ被
膜という）を５〜２００μｍの平均層厚で形成してなる
ダイヤ被覆工具が知られており、このダイヤ被覆工具
が、Ａｌ−Ｓｉ合金やＣｕ−Ｚｎ合金、さらにグラファ
イトや繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）などの連続切削
や断続切削に用いられることも良く知られるところであ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、近年の切削加工
に対する省力化および省エネ化の要求は強く、これに伴
ない、切削加工は高速化の傾向にあるが、上記の従来ダ
イヤ被覆工具においては、これを構成するダイヤ被膜は
きわめて硬質ではあるが、非常に脆いものであるため
に、特に断続切削を高速で行った場合に切刃にチッピン
グ（微小欠け）が発生し易く、これが原因で比較的短時
間で使用寿命に至るのが現状である。
に対する省力化および省エネ化の要求は強く、これに伴
ない、切削加工は高速化の傾向にあるが、上記の従来ダ
イヤ被覆工具においては、これを構成するダイヤ被膜は
きわめて硬質ではあるが、非常に脆いものであるため
に、特に断続切削を高速で行った場合に切刃にチッピン
グ（微小欠け）が発生し易く、これが原因で比較的短時
間で使用寿命に至るのが現状である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上述のような観点から、ダイヤ被覆工具の特にダイヤ被
膜に着目し研究を行なった結果、一般に気相合成法によ
るダイヤ被膜の形成に際して、例えばマイクロ波プラズ
マ法による場合、 マイクロ波電力：４〜８ｋｗ、 雰囲気圧力：４０〜７０Ｔｏｒｒ、 基体表面温度：８００〜９００℃、 反応ガス組成：Ｏ2 ／ＣＨ4 ／Ｈ2 ＝容量比で、１／２
〜５／８０〜１２０、 の条件で被膜の形成を行えば、ダイヤモンド結晶粒のみ
からなる被膜が形成され、また上記ダイヤモンド結晶粒
被膜の形成条件のうちの反応ガス組成を、相対的にＣＨ
4 の多い反応ガス組成、すなわち、 反応ガス組成：Ｏ2 ／ＣＨ4 ／Ｈ2 ＝容量比で、１／１
０〜３０／８０〜１２０、 とすれば、形成された被膜は非晶質炭素からなることは
良く知られるところであるが、上記ダイヤモンド結晶粒
被膜形成条件による被膜の１回の形成時間を１５〜４５
分とし、これに続いて１回の形成時間を５〜１０分とし
て上記非晶質炭素被膜形成条件による被膜の形成を行
い、これを交互に少なくとも５回以上繰り返し行ってダ
イヤ被膜の通常の最小平均層厚である５μｍを形成する
ようにすると、形成された被膜は、走査型電子顕微鏡に
よる縦断面観察で、図１に模式図（２０００倍）で示さ
れる通り、ダイヤモンド結晶薄層と非晶質炭素薄層とが
交互に細かいピッチで積層して縞模様を呈する積層粒
と、ダイヤモンド結晶粒の混合組織をもつようになり、
しかもこの場合前記ダイヤモンド結晶粒被膜形成時間お
よび前記非晶質炭素被膜形成時間をそれぞれ前記の１５
〜４５分および５〜１０分の範囲内で調整すれば、前記
積層粒とダイヤモンド結晶粒の相互割合を調整でき、こ
の結果のダイヤ被膜は前記積層粒の存在によってすぐれ
た耐チッピング性をもつようになることから、このダイ
ヤ被膜が形成されたダイヤ被覆工具は、これを断続切削
を高速で行うのに用いても、切刃チッピングの発生な
く、長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮するという研
究結果を得たのである。
上述のような観点から、ダイヤ被覆工具の特にダイヤ被
膜に着目し研究を行なった結果、一般に気相合成法によ
るダイヤ被膜の形成に際して、例えばマイクロ波プラズ
マ法による場合、 マイクロ波電力：４〜８ｋｗ、 雰囲気圧力：４０〜７０Ｔｏｒｒ、 基体表面温度：８００〜９００℃、 反応ガス組成：Ｏ2 ／ＣＨ4 ／Ｈ2 ＝容量比で、１／２
〜５／８０〜１２０、 の条件で被膜の形成を行えば、ダイヤモンド結晶粒のみ
からなる被膜が形成され、また上記ダイヤモンド結晶粒
被膜の形成条件のうちの反応ガス組成を、相対的にＣＨ
4 の多い反応ガス組成、すなわち、 反応ガス組成：Ｏ2 ／ＣＨ4 ／Ｈ2 ＝容量比で、１／１
０〜３０／８０〜１２０、 とすれば、形成された被膜は非晶質炭素からなることは
良く知られるところであるが、上記ダイヤモンド結晶粒
被膜形成条件による被膜の１回の形成時間を１５〜４５
分とし、これに続いて１回の形成時間を５〜１０分とし
て上記非晶質炭素被膜形成条件による被膜の形成を行
い、これを交互に少なくとも５回以上繰り返し行ってダ
イヤ被膜の通常の最小平均層厚である５μｍを形成する
ようにすると、形成された被膜は、走査型電子顕微鏡に
よる縦断面観察で、図１に模式図（２０００倍）で示さ
れる通り、ダイヤモンド結晶薄層と非晶質炭素薄層とが
交互に細かいピッチで積層して縞模様を呈する積層粒
と、ダイヤモンド結晶粒の混合組織をもつようになり、
しかもこの場合前記ダイヤモンド結晶粒被膜形成時間お
よび前記非晶質炭素被膜形成時間をそれぞれ前記の１５
〜４５分および５〜１０分の範囲内で調整すれば、前記
積層粒とダイヤモンド結晶粒の相互割合を調整でき、こ
の結果のダイヤ被膜は前記積層粒の存在によってすぐれ
た耐チッピング性をもつようになることから、このダイ
ヤ被膜が形成されたダイヤ被覆工具は、これを断続切削
を高速で行うのに用いても、切刃チッピングの発生な
く、長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮するという研
究結果を得たのである。
【０００５】この発明は、上記の研究結果にもとづいて
なされたものであって、超硬基体、サーメット基体、お
よびセラミックス基体のうちのいずれか、からなる硬質
焼結材料基体の表面に、走査型電子顕微鏡による縦断面
観察で、ダイヤモンド結晶薄層と非晶質炭素薄層とが交
互に細かいピッチで積層して縞模様を呈する積層粒と、
ダイヤモンド結晶粒の混合組織を示し、かつ前記積層粒
が１０〜７０面積％の割合を占める人工ダイヤモンド被
膜を、５〜２００μｍの平均層厚で形成してなる、耐チ
ッピング性のすぐれたダイヤ被覆工具に特徴を有するも
のである。
なされたものであって、超硬基体、サーメット基体、お
よびセラミックス基体のうちのいずれか、からなる硬質
焼結材料基体の表面に、走査型電子顕微鏡による縦断面
観察で、ダイヤモンド結晶薄層と非晶質炭素薄層とが交
互に細かいピッチで積層して縞模様を呈する積層粒と、
ダイヤモンド結晶粒の混合組織を示し、かつ前記積層粒
が１０〜７０面積％の割合を占める人工ダイヤモンド被
膜を、５〜２００μｍの平均層厚で形成してなる、耐チ
ッピング性のすぐれたダイヤ被覆工具に特徴を有するも
のである。
【０００６】なお、この発明のダイヤ被覆工具におい
て、これを構成するダイヤ被膜の積層粒の割合を１０〜
７０面積％としたのは、その割合が１０面積％未満で
は、ダイヤ被膜に所望のすぐれた耐チッピング性を確保
することができず、一方その割合が７０面積％を越える
と摩耗が急激に進行するようになるという理由からであ
り、望ましくは３０〜５０％の割合がよい。またダイヤ
被膜の平均層厚を５〜２００μｍとしたのは、その値が
５μｍ未満では所望のすぐれた耐摩耗性を長期に亘って
発揮することができず、一方その値が２００μｍを越え
ると、切刃に欠けやチッピングが発生し易くなるという
理由によるものであり、望ましくはその値を２０〜５０
μｍとするのがよい。
て、これを構成するダイヤ被膜の積層粒の割合を１０〜
７０面積％としたのは、その割合が１０面積％未満で
は、ダイヤ被膜に所望のすぐれた耐チッピング性を確保
することができず、一方その割合が７０面積％を越える
と摩耗が急激に進行するようになるという理由からであ
り、望ましくは３０〜５０％の割合がよい。またダイヤ
被膜の平均層厚を５〜２００μｍとしたのは、その値が
５μｍ未満では所望のすぐれた耐摩耗性を長期に亘って
発揮することができず、一方その値が２００μｍを越え
ると、切刃に欠けやチッピングが発生し易くなるという
理由によるものであり、望ましくはその値を２０〜５０
μｍとするのがよい。
【０００７】
【発明の実施の形態】つぎに、この発明のダイヤ被覆工
具を実施例により具体的に説明する。原料粉末として、
平均粒径：１．５μｍの細粒ＷＣ粉末、同３μｍの中粒
ＷＣ粉末、同１．２μｍの（Ｔｉ，Ｗ）ＣＮ（重量比
で、以下同じ、ＴｉＣ／ＴｉＮ／ＷＣ＝２４／２０／５
６）粉末、同１．３μｍの（Ｔａ，Ｎｂ）Ｃ（ＴａＣ／
ＮｂＣ＝９０／１０）粉末、同１μｍのＣｒ粉末、およ
び同１．２μｍのＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末
を、 ＷＣ（細粒）−２％（Ｔａ，Ｎｂ）Ｃ−６％Ｃｏ（基体
Ａ用）、 ＷＣ（細粒）−６％Ｃｏ−０．５％Ｃｒ（基体Ｂ用）、 ＷＣ（中粒）−５％（Ｔｉ，Ｗ）ＣＮ−４％（Ｔａ，Ｎ
ｂ）Ｃ−６％Ｃｏ（基体Ｃ用）、 ＷＣ（中粒）−５％（Ｔｉ，Ｗ）ＣＮ−３％（Ｔａ，Ｎ
ｂ）Ｃ−８％Ｃｏ−０．５％Ｃｒ（基体Ｄ用）、 の配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合
し、乾燥した後、１ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力で、ＩＳＯ規
格ＳＰＧＮ１２１０３０８に定めるスローアウエイチッ
プ形状の圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を、０．０
５Ｔｏｒｒの真空雰囲気中、１４００℃に１時間保持
後、炉冷の条件で真空焼結すことにより硬質焼結材料基
体としての超硬基体からなる基体Ａ〜Ｄをそれぞれ製造
した。
具を実施例により具体的に説明する。原料粉末として、
平均粒径：１．５μｍの細粒ＷＣ粉末、同３μｍの中粒
ＷＣ粉末、同１．２μｍの（Ｔｉ，Ｗ）ＣＮ（重量比
で、以下同じ、ＴｉＣ／ＴｉＮ／ＷＣ＝２４／２０／５
６）粉末、同１．３μｍの（Ｔａ，Ｎｂ）Ｃ（ＴａＣ／
ＮｂＣ＝９０／１０）粉末、同１μｍのＣｒ粉末、およ
び同１．２μｍのＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末
を、 ＷＣ（細粒）−２％（Ｔａ，Ｎｂ）Ｃ−６％Ｃｏ（基体
Ａ用）、 ＷＣ（細粒）−６％Ｃｏ−０．５％Ｃｒ（基体Ｂ用）、 ＷＣ（中粒）−５％（Ｔｉ，Ｗ）ＣＮ−４％（Ｔａ，Ｎ
ｂ）Ｃ−６％Ｃｏ（基体Ｃ用）、 ＷＣ（中粒）−５％（Ｔｉ，Ｗ）ＣＮ−３％（Ｔａ，Ｎ
ｂ）Ｃ−８％Ｃｏ−０．５％Ｃｒ（基体Ｄ用）、 の配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合
し、乾燥した後、１ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力で、ＩＳＯ規
格ＳＰＧＮ１２１０３０８に定めるスローアウエイチッ
プ形状の圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を、０．０
５Ｔｏｒｒの真空雰囲気中、１４００℃に１時間保持
後、炉冷の条件で真空焼結すことにより硬質焼結材料基
体としての超硬基体からなる基体Ａ〜Ｄをそれぞれ製造
した。
【０００８】また、 原料粉末として、いずれも０．５
〜２μｍの範囲内の所定の平均粒径を有するＴｉＣＮ粉
末、ＴｉＮ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＷＣ粉末、
Ｍｏ 2 Ｃ粉末、ＶＣ粉末、ＺｒＣ粉末、Ｃｒ3 Ｃ2 粉
末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉
末を、 ＴｉＣＮ−１０％ＴｉＮ−９％ＴａＣ−３％ＮｂＣ−９
％ＷＣ−１０％Ｍｏ2Ｃ−３％Ｃｏ−４％Ｎｉ（基体ａ
用）、 ＴｉＣＮ−４％ＴａＣ−６％ＮｂＣ−１０％ＷＣ−９％
Ｍｏ2 Ｃ−５％ＺｒＣ−７％Ｃｏ（基体ｂ用）、 ＴｉＣＮ−１６％ＴｉＮ−３％ＴａＣ−６％ＷＣ−６％
Ｍｏ2 Ｃ−２％Ｃｒ3Ｃ2 −４％Ｃｏ−５％Ｎｉ（基体
ｃ用）、 ＴｉＣＮ−７％ＴａＣ−１３％ＷＣ−５％ＶＣ−７％Ｃ
ｏ−４％Ｎｉ（基体ｄ用）、 の配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合
し、乾燥した後、１ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力でＩＳＯ規格
ＳＰＧＮ１２１０３０８に定めるスローアウエイチップ
形状の圧粉体にプレス成形し、ついでこれら圧粉体を、
以下に示す条件、すなわち室温から１３００℃までを
０．０５ｔｏｒｒの真空雰囲気中、１．５℃／ｍｉｎの
昇温速度で昇温し、１３００℃に昇温後、雰囲気を２０
ｔｏｒｒの窒素雰囲気に変えて同じ昇温速度で１５００
℃まで昇温し、同じ雰囲気で１５００℃に６０分間保持
後、炉冷、の条件で焼結すことにより硬質焼結材料基体
としてのサーメット基体からなる基体ａ〜ｄをそれぞれ
製造した。
〜２μｍの範囲内の所定の平均粒径を有するＴｉＣＮ粉
末、ＴｉＮ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＷＣ粉末、
Ｍｏ 2 Ｃ粉末、ＶＣ粉末、ＺｒＣ粉末、Ｃｒ3 Ｃ2 粉
末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉
末を、 ＴｉＣＮ−１０％ＴｉＮ−９％ＴａＣ−３％ＮｂＣ−９
％ＷＣ−１０％Ｍｏ2Ｃ−３％Ｃｏ−４％Ｎｉ（基体ａ
用）、 ＴｉＣＮ−４％ＴａＣ−６％ＮｂＣ−１０％ＷＣ−９％
Ｍｏ2 Ｃ−５％ＺｒＣ−７％Ｃｏ（基体ｂ用）、 ＴｉＣＮ−１６％ＴｉＮ−３％ＴａＣ−６％ＷＣ−６％
Ｍｏ2 Ｃ−２％Ｃｒ3Ｃ2 −４％Ｃｏ−５％Ｎｉ（基体
ｃ用）、 ＴｉＣＮ−７％ＴａＣ−１３％ＷＣ−５％ＶＣ−７％Ｃ
ｏ−４％Ｎｉ（基体ｄ用）、 の配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合
し、乾燥した後、１ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力でＩＳＯ規格
ＳＰＧＮ１２１０３０８に定めるスローアウエイチップ
形状の圧粉体にプレス成形し、ついでこれら圧粉体を、
以下に示す条件、すなわち室温から１３００℃までを
０．０５ｔｏｒｒの真空雰囲気中、１．５℃／ｍｉｎの
昇温速度で昇温し、１３００℃に昇温後、雰囲気を２０
ｔｏｒｒの窒素雰囲気に変えて同じ昇温速度で１５００
℃まで昇温し、同じ雰囲気で１５００℃に６０分間保持
後、炉冷、の条件で焼結すことにより硬質焼結材料基体
としてのサーメット基体からなる基体ａ〜ｄをそれぞれ
製造した。
【０００９】さらに、原料粉末として、いずれも０．１
〜１μｍの範囲内の所定の平均粒径を有するＳｉ3 Ｎ4
粉末、Ｙ2 Ｏ3 粉末、Ｌａ2 Ｏ3 粉末、Ｅｒ2 Ｏ3 粉
末、Ｙｂ2 Ｏ3 粉末、ＳｉＯ2 粉末、ＭｇＯ粉末、およ
びＺｒＮ粉末を用意し、これら原料粉末を、 Ｓｉ3 Ｎ4 −５％Ｙ2 Ｏ3 −２％ＭｇＯ−１．５％Ｓｉ
Ｏ2 −３％ＺｒＮ（基体ア用）、 Ｓｉ3 Ｎ4 −８％Ｌａ2 Ｏ3 −３％ＭｇＯ−２％ＳｉＯ
2 −８％ＺｒＮ（基体イ用）、 Ｓｉ3 Ｎ4 −５％Ｅｒ2 Ｏ3 −１％ＭｇＯ−０．５％Ｓ
ｉＯ2 −３％ＺｒＮ（基体ウ用）、 Ｓｉ3 Ｎ4 −４％Ｙｂ2 Ｏ3 −１％ＭｇＯ−３％ＳｉＯ
2 −８％ＺｒＮ（基体エ用）、 の配合組成に配合し、成形バインダーとしてポリエチレ
ングリコールを加え、溶媒としてエチルアルコールを用
いてボールミルにて４８時間湿式混合した後、スプレー
ドライーで乾燥して顆粒とし、これを一軸プレスにて１
ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力でＩＳＯ規格ＳＰＧＮ１２１０３
０８に定めるスローアウエイチップ形状の圧粉体にプレ
ス成形し、ついでこれら圧粉体を、まず５ＭＰａ（５０
０ｋｇｆ／ｃｍ2 ）の加圧窒素雰囲気中、１８００℃に
２時間保持の条件で一次焼結し、ついで圧力を上げて１
００ＭＰａ（１０００ｋｇｆ／ｃｍ2 ）とし、温度は同
じ１８００℃に保持し、この温度に１時間保持後、冷却
の条件で焼結すことにより硬質焼結材料基体としてのセ
ラミックス基体からなる基体ア〜エをそれぞれ製造し
た。
〜１μｍの範囲内の所定の平均粒径を有するＳｉ3 Ｎ4
粉末、Ｙ2 Ｏ3 粉末、Ｌａ2 Ｏ3 粉末、Ｅｒ2 Ｏ3 粉
末、Ｙｂ2 Ｏ3 粉末、ＳｉＯ2 粉末、ＭｇＯ粉末、およ
びＺｒＮ粉末を用意し、これら原料粉末を、 Ｓｉ3 Ｎ4 −５％Ｙ2 Ｏ3 −２％ＭｇＯ−１．５％Ｓｉ
Ｏ2 −３％ＺｒＮ（基体ア用）、 Ｓｉ3 Ｎ4 −８％Ｌａ2 Ｏ3 −３％ＭｇＯ−２％ＳｉＯ
2 −８％ＺｒＮ（基体イ用）、 Ｓｉ3 Ｎ4 −５％Ｅｒ2 Ｏ3 −１％ＭｇＯ−０．５％Ｓ
ｉＯ2 −３％ＺｒＮ（基体ウ用）、 Ｓｉ3 Ｎ4 −４％Ｙｂ2 Ｏ3 −１％ＭｇＯ−３％ＳｉＯ
2 −８％ＺｒＮ（基体エ用）、 の配合組成に配合し、成形バインダーとしてポリエチレ
ングリコールを加え、溶媒としてエチルアルコールを用
いてボールミルにて４８時間湿式混合した後、スプレー
ドライーで乾燥して顆粒とし、これを一軸プレスにて１
ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力でＩＳＯ規格ＳＰＧＮ１２１０３
０８に定めるスローアウエイチップ形状の圧粉体にプレ
ス成形し、ついでこれら圧粉体を、まず５ＭＰａ（５０
０ｋｇｆ／ｃｍ2 ）の加圧窒素雰囲気中、１８００℃に
２時間保持の条件で一次焼結し、ついで圧力を上げて１
００ＭＰａ（１０００ｋｇｆ／ｃｍ2 ）とし、温度は同
じ１８００℃に保持し、この温度に１時間保持後、冷却
の条件で焼結すことにより硬質焼結材料基体としてのセ
ラミックス基体からなる基体ア〜エをそれぞれ製造し
た。
【００１０】ついで、これらの各種基体のそれぞれの表
面に、マイクロ波プラズマ発生装置にて、 マイクロ波電力：５ｋｗ、 雰囲気圧力：５０Ｔｏｒｒ、 基体表面温度：８５０℃、 反応ガス組成：Ｏ2 ／ＣＨ4 ／Ｈ2 ＝容量比で、１／３
／１００、 １回の形成時間：１５〜４５分、 のダイヤモンド結晶粒被膜の形成条件と、 マイクロ波電力：４．５ｋｗ、 雰囲気圧力：５０Ｔｏｒｒ、 基体表面温度：８００℃、 反応ガス組成：Ｏ2 ／ＣＨ4 ／Ｈ2 ＝容量比で、１０／
１００、 １回の形成時間：５〜１０分、 の非晶質炭素被膜の形成条件、を交互に５回以上、かつ
それぞれの１回の被膜形成時間を上記の範囲内で調整し
ながら、表１に示される平均層厚および走査型電子顕微
鏡による縦断面観察で測定された積層粒割合のダイヤ被
膜を形成することにより本発明ダイヤ被覆工具１〜１２
をそれぞれ製造した。また、比較の目的で、上記のダイ
ヤモンド結晶粒被膜の形成条件と同じ条件だけでダイヤ
被膜の形成を行う以外は同一の条件で表２に示される通
りの従来ダイヤ被覆工具１〜１２をそれぞれ製造した。
面に、マイクロ波プラズマ発生装置にて、 マイクロ波電力：５ｋｗ、 雰囲気圧力：５０Ｔｏｒｒ、 基体表面温度：８５０℃、 反応ガス組成：Ｏ2 ／ＣＨ4 ／Ｈ2 ＝容量比で、１／３
／１００、 １回の形成時間：１５〜４５分、 のダイヤモンド結晶粒被膜の形成条件と、 マイクロ波電力：４．５ｋｗ、 雰囲気圧力：５０Ｔｏｒｒ、 基体表面温度：８００℃、 反応ガス組成：Ｏ2 ／ＣＨ4 ／Ｈ2 ＝容量比で、１０／
１００、 １回の形成時間：５〜１０分、 の非晶質炭素被膜の形成条件、を交互に５回以上、かつ
それぞれの１回の被膜形成時間を上記の範囲内で調整し
ながら、表１に示される平均層厚および走査型電子顕微
鏡による縦断面観察で測定された積層粒割合のダイヤ被
膜を形成することにより本発明ダイヤ被覆工具１〜１２
をそれぞれ製造した。また、比較の目的で、上記のダイ
ヤモンド結晶粒被膜の形成条件と同じ条件だけでダイヤ
被膜の形成を行う以外は同一の条件で表２に示される通
りの従来ダイヤ被覆工具１〜１２をそれぞれ製造した。
【００１１】つぎに、この結果得られた各種ダイヤ被覆
工具のうち、本発明ダイヤ被覆工具１〜４および従来ダ
イヤ被覆工具１〜４については、 被削材：Ａｌ−２０重量％Ｓｉ合金の長さ方向等間隔４
本縦溝入り丸棒、 切削速度：６００ｍ／ｍｉｎ、 送り：０．１ｍｍ／ｒｅｖ、 切り込み：０．５ｍｍ、 切削時間：２０分、 の条件でのＡｌ−Ｓｉ合金の乾式断続高速切削試験、本
発明ダイヤ被覆工具５〜８および従来ダイヤ被覆工具５
〜８については、 被削材：Ｃｕ−３５重量％Ｚｎの長さ方向等間隔４本縦
溝入り丸棒、 切削速度：１２００ｍ／ｍｉｎ、 送り：０．２ｍｍ／ｒｅｖ、 切り込み：１．０ｍｍ、 切削時間：２０分、 の条件でのＣｕ−Ｚｎ合金の乾式断続高速切削試験、本
発明ダイヤ被覆工具９〜１２および従来ダイヤ被覆工具
９〜１２については、 被削材：グラファイトの長さ方向等間隔４本縦溝入り丸
棒、 切削速度：８００ｍ／ｍｉｎ、 送り：０．５ｍｍ／ｒｅｖ、 切り込み：１．０ｍｍ、 切削時間：２０分、 の条件でのグラファイトの乾式断続高速切削試験を行な
い、いずれの切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定し
た。これらの測定結果を表１、２に示した。
工具のうち、本発明ダイヤ被覆工具１〜４および従来ダ
イヤ被覆工具１〜４については、 被削材：Ａｌ−２０重量％Ｓｉ合金の長さ方向等間隔４
本縦溝入り丸棒、 切削速度：６００ｍ／ｍｉｎ、 送り：０．１ｍｍ／ｒｅｖ、 切り込み：０．５ｍｍ、 切削時間：２０分、 の条件でのＡｌ−Ｓｉ合金の乾式断続高速切削試験、本
発明ダイヤ被覆工具５〜８および従来ダイヤ被覆工具５
〜８については、 被削材：Ｃｕ−３５重量％Ｚｎの長さ方向等間隔４本縦
溝入り丸棒、 切削速度：１２００ｍ／ｍｉｎ、 送り：０．２ｍｍ／ｒｅｖ、 切り込み：１．０ｍｍ、 切削時間：２０分、 の条件でのＣｕ−Ｚｎ合金の乾式断続高速切削試験、本
発明ダイヤ被覆工具９〜１２および従来ダイヤ被覆工具
９〜１２については、 被削材：グラファイトの長さ方向等間隔４本縦溝入り丸
棒、 切削速度：８００ｍ／ｍｉｎ、 送り：０．５ｍｍ／ｒｅｖ、 切り込み：１．０ｍｍ、 切削時間：２０分、 の条件でのグラファイトの乾式断続高速切削試験を行な
い、いずれの切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定し
た。これらの測定結果を表１、２に示した。
【００１２】
【表１】
【００１３】
【表２】
【００１４】
【発明の効果】表１、２に示される結果から、本発明ダ
イヤ被覆工具１〜１２は、いずれもダイヤ被膜が積層粒
の存在によってすぐれた耐チッピング性を具備し、かつ
前記積層粒と混合共存するダイヤモンド結晶粒によって
すぐれた耐摩耗性を保持することから、高速断続切削に
もかかわらず、一段とすぐれた耐チッピング性を示し、
長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮するのに対して、
ダイヤ被膜がダイヤモンド結晶粒だけからなる従来ダイ
ヤ被覆工具１〜１２は、いずれもかかる高速断続切削で
は切刃にチッピングが発生し、これが原因で比較的短時
間で使用寿命に至ることが明らかである。上述のよう
に、この発明のダイヤ被覆工具は、これを構成するダイ
ヤ被膜がすぐれた耐チッピング性を有し、通常の条件で
の連続切削や断続切削は勿論のこと、特に断続切削を高
速で行った場合でもすぐれた耐チッピング性を長期に亘
って発揮するものであり、したがって切削加工の省力化
および省エネ化にも役立つなど工業上有用な特性を有す
るのである。
イヤ被覆工具１〜１２は、いずれもダイヤ被膜が積層粒
の存在によってすぐれた耐チッピング性を具備し、かつ
前記積層粒と混合共存するダイヤモンド結晶粒によって
すぐれた耐摩耗性を保持することから、高速断続切削に
もかかわらず、一段とすぐれた耐チッピング性を示し、
長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮するのに対して、
ダイヤ被膜がダイヤモンド結晶粒だけからなる従来ダイ
ヤ被覆工具１〜１２は、いずれもかかる高速断続切削で
は切刃にチッピングが発生し、これが原因で比較的短時
間で使用寿命に至ることが明らかである。上述のよう
に、この発明のダイヤ被覆工具は、これを構成するダイ
ヤ被膜がすぐれた耐チッピング性を有し、通常の条件で
の連続切削や断続切削は勿論のこと、特に断続切削を高
速で行った場合でもすぐれた耐チッピング性を長期に亘
って発揮するものであり、したがって切削加工の省力化
および省エネ化にも役立つなど工業上有用な特性を有す
るのである。
【図１】本発明ダイヤ被覆工具を構成するダイヤ被膜の
走査型電子顕微鏡による縦断面組織を示す模式図（２０
００倍）である。
走査型電子顕微鏡による縦断面組織を示す模式図（２０
００倍）である。
Claims (1)
- 【請求項１】 炭化タングステン基超硬合金基体、炭窒
化チタン系サーメット基体、および窒化珪素系セラミッ
クス基体のうちのいずれか、からなる硬質焼結材料基体
の表面に、 走査型電子顕微鏡による縦断面観察で、ダイヤモンド結
晶薄層と非晶質炭素薄層とが交互に細かいピッチで積層
して縞模様を呈する積層粒と、ダイヤモンド結晶粒の混
合組織を示し、かつ前記積層粒が１０〜７０面積％の割
合を占める人工ダイヤモンド被膜を、５〜２００μｍの
平均層厚で形成してなる、耐チッピング性のすぐれた人
工ダイヤモンド被覆硬質焼結材料製切削工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15574898A JP3353705B2 (ja) | 1998-06-04 | 1998-06-04 | 耐チッピング性のすぐれた人工ダイヤモンド被覆硬質焼結材料製切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15574898A JP3353705B2 (ja) | 1998-06-04 | 1998-06-04 | 耐チッピング性のすぐれた人工ダイヤモンド被覆硬質焼結材料製切削工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11350139A true JPH11350139A (ja) | 1999-12-21 |
| JP3353705B2 JP3353705B2 (ja) | 2002-12-03 |
Family
ID=15612568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15574898A Expired - Lifetime JP3353705B2 (ja) | 1998-06-04 | 1998-06-04 | 耐チッピング性のすぐれた人工ダイヤモンド被覆硬質焼結材料製切削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3353705B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011020179A (ja) * | 2009-07-13 | 2011-02-03 | Mitsubishi Materials Corp | 耐欠損性と耐摩耗性にすぐれたダイヤモンド被覆工具 |
| JP2011098424A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Mitsubishi Materials Corp | すぐれた耐欠損性および耐摩耗性を発揮するダイヤモンド被覆工具 |
| WO2014103533A1 (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-03 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆部材およびその製造方法 |
| WO2020062045A1 (zh) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 广东工业大学 | 金刚石涂层氮化硅陶瓷整体刀具及其制备方法与刀具在石墨中的应用 |
-
1998
- 1998-06-04 JP JP15574898A patent/JP3353705B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011020179A (ja) * | 2009-07-13 | 2011-02-03 | Mitsubishi Materials Corp | 耐欠損性と耐摩耗性にすぐれたダイヤモンド被覆工具 |
| JP2011098424A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Mitsubishi Materials Corp | すぐれた耐欠損性および耐摩耗性を発揮するダイヤモンド被覆工具 |
| WO2014103533A1 (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-03 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆部材およびその製造方法 |
| JP2014129562A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆部材およびその製造方法 |
| US11591695B2 (en) | 2012-12-28 | 2023-02-28 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface coated member and method for manufacturing same |
| WO2020062045A1 (zh) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 广东工业大学 | 金刚石涂层氮化硅陶瓷整体刀具及其制备方法与刀具在石墨中的应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3353705B2 (ja) | 2002-12-03 |
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