JPH11337418A - シース型熱電対の製造方法 - Google Patents
シース型熱電対の製造方法Info
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- JPH11337418A JPH11337418A JP10161319A JP16131998A JPH11337418A JP H11337418 A JPH11337418 A JP H11337418A JP 10161319 A JP10161319 A JP 10161319A JP 16131998 A JP16131998 A JP 16131998A JP H11337418 A JPH11337418 A JP H11337418A
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Abstract
(57)【要約】
［課題］ シース型熱電対素材の端部で露出させた熱電
対素線の表面に固着している絶縁被膜を効率的かつ安定
確実に除去して、生産性および加工品質を向上させる。 ［解決手段］ 先ず、適当な長さに切断したシース型熱
電対素材の両端部で金属シースを剥くように切り取り、
内側の無機絶縁物を除去し、両熱電対素線１２，１４の
両端部を露出させる。こうして露出した各熱電対素線１
２，１４の表面には、無機絶縁物の被膜１６’が固く付
着（固着）している。次に、該シース型熱電対素材の一
端側にて、各熱電対素線１２，１４の先端部にＹＡＧレ
ーザ光ＬＢを照射し、各素線表面に固着している絶縁被
膜１６’をレーザエネルギーによって除去する。このレ
ーザエネルギーによる絶縁被膜除去工程では、一定の方
角からＹＡＧレーザ光を照射し、熱電対素線１２，１４
側つまりシース型熱電対素材側を軸方向の回りに回転さ
せることで、熱電対素線１２，１４の周回方向全体（３
６０゜）にレーザエネルギーが及ぶようにする。
対素線の表面に固着している絶縁被膜を効率的かつ安定
確実に除去して、生産性および加工品質を向上させる。 ［解決手段］ 先ず、適当な長さに切断したシース型熱
電対素材の両端部で金属シースを剥くように切り取り、
内側の無機絶縁物を除去し、両熱電対素線１２，１４の
両端部を露出させる。こうして露出した各熱電対素線１
２，１４の表面には、無機絶縁物の被膜１６’が固く付
着（固着）している。次に、該シース型熱電対素材の一
端側にて、各熱電対素線１２，１４の先端部にＹＡＧレ
ーザ光ＬＢを照射し、各素線表面に固着している絶縁被
膜１６’をレーザエネルギーによって除去する。このレ
ーザエネルギーによる絶縁被膜除去工程では、一定の方
角からＹＡＧレーザ光を照射し、熱電対素線１２，１４
側つまりシース型熱電対素材側を軸方向の回りに回転さ
せることで、熱電対素線１２，１４の周回方向全体（３
６０゜）にレーザエネルギーが及ぶようにする。
Description
【００１０】
【発明の属する技術分野】本発明は、シース型熱電対素
材を加工してシース型熱電対を製造する方法に関する。
材を加工してシース型熱電対を製造する方法に関する。
【００２０】
【従来の技術】熱電対は、ゼーベック効果を利用して熱
に応じた電流を発生するように２種類の金属を組み合わ
せた素子であり、構造が簡単で機械的にも丈夫なこと、
広い温度範囲で測定が可能なこと、応答が速いこと等の
特長を有し、温度の測定や熱電電流計等に多用されてい
る。
に応じた電流を発生するように２種類の金属を組み合わ
せた素子であり、構造が簡単で機械的にも丈夫なこと、
広い温度範囲で測定が可能なこと、応答が速いこと等の
特長を有し、温度の測定や熱電電流計等に多用されてい
る。
【００３０】シース型熱電対は、金属シース（金属管）
内に熱電対を構成する一対（２種）の熱電対素線を収容
してなるもので、通常はシース型熱電対素材を加工して
作られる。
内に熱電対を構成する一対（２種）の熱電対素線を収容
してなるもので、通常はシース型熱電対素材を加工して
作られる。
【００４０】シース型熱電対素材は、金属シース内に少
なくとも一対（２種）の熱電対素線と無機絶縁物とを収
容してなり、一般には太い針金のように全長１０ｍ以上
の長さのものを輪状に巻回した状態で市販されている。
かかるシース型熱電対素材を適当な長さ（たとえば５ｃ
ｍ程度）に切断し、その一端側に測温接点を形成し、他
端側を計器に電気的に接続することで、シース型熱電対
が得られる。
なくとも一対（２種）の熱電対素線と無機絶縁物とを収
容してなり、一般には太い針金のように全長１０ｍ以上
の長さのものを輪状に巻回した状態で市販されている。
かかるシース型熱電対素材を適当な長さ（たとえば５ｃ
ｍ程度）に切断し、その一端側に測温接点を形成し、他
端側を計器に電気的に接続することで、シース型熱電対
が得られる。
【００５０】このようなシース型熱電対を製作するため
の従来の方法では、測温接点を次のような工程で形成し
ていた。先ず、所望の長さに切断されたシース型熱電対
素材の一端側で金属シースを剥くように切り取って、内
側の無機絶縁物を除去し、両熱電対素線の一端部を露出
させる。露出した各熱電対素線の表面には、無機絶縁物
の被膜が固く付着している。そこで、素線先端部の絶縁
被膜を、薬品処理によって化学的に分解するか、または
サンドブラスト法等で機械的に剥離して、除去する。次
いで、絶縁被膜を除去された両素線の先端部を溶接す
る。この溶接された先端部が測温接点となる。
の従来の方法では、測温接点を次のような工程で形成し
ていた。先ず、所望の長さに切断されたシース型熱電対
素材の一端側で金属シースを剥くように切り取って、内
側の無機絶縁物を除去し、両熱電対素線の一端部を露出
させる。露出した各熱電対素線の表面には、無機絶縁物
の被膜が固く付着している。そこで、素線先端部の絶縁
被膜を、薬品処理によって化学的に分解するか、または
サンドブラスト法等で機械的に剥離して、除去する。次
いで、絶縁被膜を除去された両素線の先端部を溶接す
る。この溶接された先端部が測温接点となる。
【００６０】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
のシース型熱電対の製造においては、シース型熱電対素
材の端部で露出させた熱電対素線の表面に酸化被膜とし
て固着している無機性絶縁被膜を、薬品処理またはサン
ドブラスト法で除去していた。しかしながら、薬品処理
法は、作業が面倒で、時間と手間がかかり、生産性が低
いという欠点がある。また、サンドブラスト法は、やは
り作業が面倒なうえ、絶縁被膜を完全に除去するのが難
しいため、熱電対で最も重要な部分である測温接点を安
定・均一な品質で形成するのが難しいという不具合があ
る。
のシース型熱電対の製造においては、シース型熱電対素
材の端部で露出させた熱電対素線の表面に酸化被膜とし
て固着している無機性絶縁被膜を、薬品処理またはサン
ドブラスト法で除去していた。しかしながら、薬品処理
法は、作業が面倒で、時間と手間がかかり、生産性が低
いという欠点がある。また、サンドブラスト法は、やは
り作業が面倒なうえ、絶縁被膜を完全に除去するのが難
しいため、熱電対で最も重要な部分である測温接点を安
定・均一な品質で形成するのが難しいという不具合があ
る。
【００７０】本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑み
てなされたもので、シース型熱電対素材の端部で露出さ
せた熱電対素線の表面に固着している絶縁被膜を効率的
かつ安定確実に除去して、生産性および加工品質の向上
をはかるようにしたシース型熱電対の製造方法を提供す
ることを目的とする。
てなされたもので、シース型熱電対素材の端部で露出さ
せた熱電対素線の表面に固着している絶縁被膜を効率的
かつ安定確実に除去して、生産性および加工品質の向上
をはかるようにしたシース型熱電対の製造方法を提供す
ることを目的とする。
【００８０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のうち請求項１記載の発明は、金属シース内
に少なくとも一対の熱電対素線を収容し、かつ無機絶縁
物を充填してなるシース型熱電対素材を加工してシース
型熱電対を製造する方法において、所望の長さを有する
前記シース型熱電対素材の一端部側で前記金属シースお
よび前記無機絶縁物を除去して前記一対の熱電対素線を
露出させる工程と、前記露出した一対の熱電対素線の一
端部にＹＡＧレーザ光を照射して、前記熱電対素線の表
面に付着している絶縁被膜を除去する工程と、前記絶縁
被膜を除去された一対の熱電対素線の一端部を溶接して
測温接点を形成する工程とを有することを特徴とした。
め、本発明のうち請求項１記載の発明は、金属シース内
に少なくとも一対の熱電対素線を収容し、かつ無機絶縁
物を充填してなるシース型熱電対素材を加工してシース
型熱電対を製造する方法において、所望の長さを有する
前記シース型熱電対素材の一端部側で前記金属シースお
よび前記無機絶縁物を除去して前記一対の熱電対素線を
露出させる工程と、前記露出した一対の熱電対素線の一
端部にＹＡＧレーザ光を照射して、前記熱電対素線の表
面に付着している絶縁被膜を除去する工程と、前記絶縁
被膜を除去された一対の熱電対素線の一端部を溶接して
測温接点を形成する工程とを有することを特徴とした。
【００９０】また、請求項２記載の発明は、上記請求項
１記載の発明の方法において、前記シース型熱電対素材
の他端部側で前記金属シースおよび前記無機絶縁物を除
去して前記一対の熱電対素線を露出させる工程と、前記
露出した一対の熱電対素線の他端部にＹＡＧレーザ光を
照射して、前記熱電対素線の表面に付着している絶縁被
膜を除去する工程と、前記絶縁被膜を除去された一対の
熱電対素線の一端部に一対の導線をそれぞれ接合する工
程とを有することを特徴とする。
１記載の発明の方法において、前記シース型熱電対素材
の他端部側で前記金属シースおよび前記無機絶縁物を除
去して前記一対の熱電対素線を露出させる工程と、前記
露出した一対の熱電対素線の他端部にＹＡＧレーザ光を
照射して、前記熱電対素線の表面に付着している絶縁被
膜を除去する工程と、前記絶縁被膜を除去された一対の
熱電対素線の一端部に一対の導線をそれぞれ接合する工
程とを有することを特徴とする。
【０１００】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の一実施例で用い
るシース型熱電対素材の構成を示す。
るシース型熱電対素材の構成を示す。
【０１１０】このシース型熱電対素材は、たとえばＳＵ
Ｓからなる金属シース１０内に少なくとも一対（２種）
の熱電対素線１２，１４と固形の無機絶縁物１６とを収
容してなる。両熱電対素線１２，１４には、たとえばク
ロメル−アルメル、鉄−コンスタンタンの組み合わせが
選ばれる。
Ｓからなる金属シース１０内に少なくとも一対（２種）
の熱電対素線１２，１４と固形の無機絶縁物１６とを収
容してなる。両熱電対素線１２，１４には、たとえばク
ロメル−アルメル、鉄−コンスタンタンの組み合わせが
選ばれる。
【０１２０】無機絶縁物１６は、たとえばＭｇＯまたは
Ａｌ2 Ｏ3 の粉末からなり、両熱電対素線１２，１４の
間および各熱電対素線１２，１４と金属シース１０との
間を埋めて固く充填されることで、熱電対素線１２，１
４を電気的に絶縁状態でかつ機密状態に保つとともに、
腐食や劣化を防ぐ役目をしている。
Ａｌ2 Ｏ3 の粉末からなり、両熱電対素線１２，１４の
間および各熱電対素線１２，１４と金属シース１０との
間を埋めて固く充填されることで、熱電対素線１２，１
４を電気的に絶縁状態でかつ機密状態に保つとともに、
腐食や劣化を防ぐ役目をしている。
【０１３０】以下、図２〜図８につき本実施例における
シース型熱電対の製造方法を説明する。
シース型熱電対の製造方法を説明する。
【０１４０】先ず、図２に示すように、上記構成のシー
ス型熱電対素材を適当な長さ（たとえば５ｃｍ程度）に
切断し、その両端部で金属シース１０を剥くように切り
取って、内側の無機絶縁物１６を除去し、両熱電対素線
１２，１４の両端部を露出させる。こうして露出した各
熱電対素線１２，１４の表面には、無機絶縁物１６の被
膜１６’が固く付着（固着）している。
ス型熱電対素材を適当な長さ（たとえば５ｃｍ程度）に
切断し、その両端部で金属シース１０を剥くように切り
取って、内側の無機絶縁物１６を除去し、両熱電対素線
１２，１４の両端部を露出させる。こうして露出した各
熱電対素線１２，１４の表面には、無機絶縁物１６の被
膜１６’が固く付着（固着）している。
【０１５０】次に、図３に示すように、該シース型熱電
対素材の一端側にて、各熱電対素線１２，１４の一端部
（先端部）に適当なレーザ出力を有するＹＡＧレーザ光
ＬＢを照射し、各素線表面に固着している絶縁被膜１
６’をレーザエネルギーによって除去する。
対素材の一端側にて、各熱電対素線１２，１４の一端部
（先端部）に適当なレーザ出力を有するＹＡＧレーザ光
ＬＢを照射し、各素線表面に固着している絶縁被膜１
６’をレーザエネルギーによって除去する。
【０１６０】このレーザエネルギーによる絶縁被膜除去
工程では、一定の方角からＹＡＧレーザ光を照射し、熱
電対素線１２，１４側つまりシース型熱電対素材側を軸
方向の回りに回転させることで、熱電対素線１２，１４
の周回方向全体（３６０゜）にレーザエネルギーが及ぶ
ようにする。
工程では、一定の方角からＹＡＧレーザ光を照射し、熱
電対素線１２，１４側つまりシース型熱電対素材側を軸
方向の回りに回転させることで、熱電対素線１２，１４
の周回方向全体（３６０゜）にレーザエネルギーが及ぶ
ようにする。
【０１７０】また、この絶縁被膜除去工程で使用するＹ
ＡＧレーザ光ＬＢは、ＸＹ方向走査型のＱスイッチパル
スレーザ光が好適であり、後述する本実施例のＹＡＧレ
ーザ加工装置では、加工条件として、たとえば走査速度
を３００ｍｍ／ｓ、Ｑスイッチ周波数を２〜４ｋＨｚ、
レーザ励起用ランプ電流を１２〜１３Ａに設定してよ
い。
ＡＧレーザ光ＬＢは、ＸＹ方向走査型のＱスイッチパル
スレーザ光が好適であり、後述する本実施例のＹＡＧレ
ーザ加工装置では、加工条件として、たとえば走査速度
を３００ｍｍ／ｓ、Ｑスイッチ周波数を２〜４ｋＨｚ、
レーザ励起用ランプ電流を１２〜１３Ａに設定してよ
い。
【０１８０】本実施例による絶縁被膜除去工程によれ
ば、図４に示すように、ＹＡＧレーザ光ＬＢを照射され
た熱電対素線１２，１４の先端部では、絶縁被膜１６’
が跡形もなく除去されるとともに、素線表面に無数の小
さなディンプルが形成され、ざらざらした金属表面が露
出する。
ば、図４に示すように、ＹＡＧレーザ光ＬＢを照射され
た熱電対素線１２，１４の先端部では、絶縁被膜１６’
が跡形もなく除去されるとともに、素線表面に無数の小
さなディンプルが形成され、ざらざらした金属表面が露
出する。
【０１９０】次に、上記のような絶縁被膜除去処理を施
された熱電対素線１２，１４の先端部を溶接して、測温
接点を形成する。この溶接には、たとえば図５に示すよ
うな抵抗溶接または図６に示すようなレーザ溶接を用い
てよい。
された熱電対素線１２，１４の先端部を溶接して、測温
接点を形成する。この溶接には、たとえば図５に示すよ
うな抵抗溶接または図６に示すようなレーザ溶接を用い
てよい。
【０２００】図５の抵抗溶接では、両熱電対素線１２，
１４を捩ってそれぞれの先端部を合わせてから、一対の
溶接電極１８，２０の間に挿入し、溶接加圧の下で溶接
電流Ｉを流して、ジュール発熱によって溶接接合する。
この際、両熱電対素線１２，１４のそれぞれの先端部は
金属表面が完全露出しているため、両素線（金属）の間
に絶縁被膜等の不純物が入るおそれはなく、良好な金属
接合が得られる。この溶接の後、両熱電対素線１２，１
４の捩りを解いて、両素線を先端部以外で互いに離間さ
せる。
１４を捩ってそれぞれの先端部を合わせてから、一対の
溶接電極１８，２０の間に挿入し、溶接加圧の下で溶接
電流Ｉを流して、ジュール発熱によって溶接接合する。
この際、両熱電対素線１２，１４のそれぞれの先端部は
金属表面が完全露出しているため、両素線（金属）の間
に絶縁被膜等の不純物が入るおそれはなく、良好な金属
接合が得られる。この溶接の後、両熱電対素線１２，１
４の捩りを解いて、両素線を先端部以外で互いに離間さ
せる。
【０２１０】図６のレーザ溶接では、適当な治具（図示
せず）によって両熱電対素線１２，１４のそれぞれの先
端を合わせた状態の下で、大きなレーザ出力を有するレ
ーザ溶接用のパルスレーザ光ＬＡを先端に集光照射し、
レーザエネルギーによって溶接接合する。この場合も、
両熱電対素線１２，１４のそれぞれの先端部は金属表面
が完全露出しているため、両素線（金属）の間に絶縁被
膜等の不純物が入るおそれはなく、良好な金属接合が得
られる。
せず）によって両熱電対素線１２，１４のそれぞれの先
端を合わせた状態の下で、大きなレーザ出力を有するレ
ーザ溶接用のパルスレーザ光ＬＡを先端に集光照射し、
レーザエネルギーによって溶接接合する。この場合も、
両熱電対素線１２，１４のそれぞれの先端部は金属表面
が完全露出しているため、両素線（金属）の間に絶縁被
膜等の不純物が入るおそれはなく、良好な金属接合が得
られる。
【０２２０】上記のように、両熱電対素線１２，１４の
それぞれの先端を溶接することによって、図７に示すよ
うに、その溶接箇所に測温接点２２が形成される。
それぞれの先端を溶接することによって、図７に示すよ
うに、その溶接箇所に測温接点２２が形成される。
【０２３０】本実施例では、シース型熱電対素材の他端
側で露出させた両熱電対素線１２，１４を計器（図示せ
ず）に電気的に接続する。しかし、上記のように金属シ
ース１０および無機絶縁物１２を除去した段階（図２の
状態）では、シース型熱電対素材の他端側でも、露出し
た両熱電対素線１２，１４のそれぞれの他端部にも無機
絶縁物の被膜１６’が固く付着（固着）している。
側で露出させた両熱電対素線１２，１４を計器（図示せ
ず）に電気的に接続する。しかし、上記のように金属シ
ース１０および無機絶縁物１２を除去した段階（図２の
状態）では、シース型熱電対素材の他端側でも、露出し
た両熱電対素線１２，１４のそれぞれの他端部にも無機
絶縁物の被膜１６’が固く付着（固着）している。
【０２４０】そこで、上記と同様の絶縁被膜除去工程に
より、シース型熱電対素材の他端側でも、図３に示すよ
うに、各熱電対素線１２，１４の他端部（先端部）にＹ
ＡＧレーザ光ＬＢを照射し、各素線表面に固着している
絶縁被膜１６’をレーザエネルギーによって除去する。
より、シース型熱電対素材の他端側でも、図３に示すよ
うに、各熱電対素線１２，１４の他端部（先端部）にＹ
ＡＧレーザ光ＬＢを照射し、各素線表面に固着している
絶縁被膜１６’をレーザエネルギーによって除去する。
【０２５０】これによって、ＹＡＧレーザ光ＬＢを照射
された熱電対素線１２，１４の先端部では、図４に示す
ように、絶縁被膜１６’が跡形もなく除去されるととも
に、素線表面に無数の小さなディンプルが形成され、ざ
らざらした金属表面が露出する。
された熱電対素線１２，１４の先端部では、図４に示す
ように、絶縁被膜１６’が跡形もなく除去されるととも
に、素線表面に無数の小さなディンプルが形成され、ざ
らざらした金属表面が露出する。
【０２６０】次に、上記のような絶縁被膜除去処理を施
された熱電対素線１２，１４の他端部に、図８に示すよ
うに、一対の導線２４，２６をハンダ付２８，３０でそ
れぞれ接合する。この際、熱電対素線１２，１４の他端
部の表面は無数の小さなディンプルでざらざらしている
ので、ハンダの付き具合が非常によく、導線２４，２６
が簡単かつ良好に接合する。
された熱電対素線１２，１４の他端部に、図８に示すよ
うに、一対の導線２４，２６をハンダ付２８，３０でそ
れぞれ接合する。この際、熱電対素線１２，１４の他端
部の表面は無数の小さなディンプルでざらざらしている
ので、ハンダの付き具合が非常によく、導線２４，２６
が簡単かつ良好に接合する。
【０２７０】なお、導線２４，２６の他端は、計器たと
えば温度検出回路（図示せず）に電気的に接続される。
えば温度検出回路（図示せず）に電気的に接続される。
【０２８０】次に、本実施例の絶縁被膜除去工程で使用
するＹＡＧレーザ加工装置について説明する。
するＹＡＧレーザ加工装置について説明する。
【０２９０】図９に、本実施例におけるＹＡＧレーザ加
工装置の外観を示す。このＹＡＧレーザ加工装置は、制
御ユニット４０とレーザ発振ユニット４２とスキャニン
グユニット４４とから構成される。
工装置の外観を示す。このＹＡＧレーザ加工装置は、制
御ユニット４０とレーザ発振ユニット４２とスキャニン
グユニット４４とから構成される。
【０３００】制御ユニット４０において、上部室４６に
は制御用ディスプレイ４８が取り付けられ、中間室（前
扉５０の奥）には制御基板が内蔵され、下部室（前扉５
２の奥）にはレーザ電源回路やレーザ冷却装置等が内蔵
されている。レーザ発振ユニット４２内には、後述する
ようなＹＡＧレーザ発振器が設けられている。スキャニ
ングユニット４４内には、後述するような光学スキャニ
ング機構およびスキャニング駆動部が設けられている。
スキャニングユニット４４の下には作業台５４が配置さ
れている。
は制御用ディスプレイ４８が取り付けられ、中間室（前
扉５０の奥）には制御基板が内蔵され、下部室（前扉５
２の奥）にはレーザ電源回路やレーザ冷却装置等が内蔵
されている。レーザ発振ユニット４２内には、後述する
ようなＹＡＧレーザ発振器が設けられている。スキャニ
ングユニット４４内には、後述するような光学スキャニ
ング機構およびスキャニング駆動部が設けられている。
スキャニングユニット４４の下には作業台５４が配置さ
れている。
【０３１０】図１０に、このＹＡＧレーザ装置の内部の
要部の構成を示す。このレーザ装置において、ＹＡＧロ
ッド６０、励起ランプ６２、光共振器ミラー６４，６６
およびＱスイッチ６８は、ＹＡＧレーザ発振器を構成し
ている。電源回路７２、制御部７４、設定部７６、Ｑス
イッチ駆動回路７８およびインタフェース回路７９は制
御ユニット４０内に設けられ、ＹＡＧレーザ電源／制御
部を構成している。
要部の構成を示す。このレーザ装置において、ＹＡＧロ
ッド６０、励起ランプ６２、光共振器ミラー６４，６６
およびＱスイッチ６８は、ＹＡＧレーザ発振器を構成し
ている。電源回路７２、制御部７４、設定部７６、Ｑス
イッチ駆動回路７８およびインタフェース回路７９は制
御ユニット４０内に設けられ、ＹＡＧレーザ電源／制御
部を構成している。
【０３２０】このＹＡＧレーザ装置において、ＹＡＧレ
ーザ光を発振出力するときは、制御部７４の制御の下で
電源回路７２が電流を励起ランプ６２に供給し、励起ラ
ンプ６２が連続発光する。ＹＡＧロッド６０は、励起ラ
ンプ６２からの連続光を励起エネルギーとして受け取っ
てロッド端面より軸方向に連続的にレーザ光を出す。
ーザ光を発振出力するときは、制御部７４の制御の下で
電源回路７２が電流を励起ランプ６２に供給し、励起ラ
ンプ６２が連続発光する。ＹＡＧロッド６０は、励起ラ
ンプ６２からの連続光を励起エネルギーとして受け取っ
てロッド端面より軸方向に連続的にレーザ光を出す。
【０３３０】制御部７４は、マイクロコンピュータから
なり、所定のソフトウェアにしたがって動作して、装置
内の各部を制御する。Ｑスイッチ６８には、たとえば超
音波によるブラック回析を利用する音響光学Ｑスイッチ
を用いてよい。
なり、所定のソフトウェアにしたがって動作して、装置
内の各部を制御する。Ｑスイッチ６８には、たとえば超
音波によるブラック回析を利用する音響光学Ｑスイッチ
を用いてよい。
【０３４０】制御部７４の制御の下で、Ｑスイッチ駆動
回路７８より一定周波数を有するパルス状の変調信号で
変調された高周波電気信号ＥＳがＱスイッチ６８に供給
されることにより、変調周波数に等しい繰返し周波数
（周期）で尖頭出力の高いＱスイッチパルスレーザ光Ｌ
Ｂが光共振器の出力ミラー６６より出力される。なお、
Ｑスイッチパルスレーザ光ＬＢの繰返し周波数（周期）
は、設定部７６により所望の値に設定することができ
る。
回路７８より一定周波数を有するパルス状の変調信号で
変調された高周波電気信号ＥＳがＱスイッチ６８に供給
されることにより、変調周波数に等しい繰返し周波数
（周期）で尖頭出力の高いＱスイッチパルスレーザ光Ｌ
Ｂが光共振器の出力ミラー６６より出力される。なお、
Ｑスイッチパルスレーザ光ＬＢの繰返し周波数（周期）
は、設定部７６により所望の値に設定することができ
る。
【０３５０】制御部７４の制御の下で、Ｑスイッチ駆動
回路７８の動作を止め、高周波電気信号ＥＳを停止する
と、Ｑスイッチ駆動回路７８はオフ状態となり、連続波
レーザ光が光共振器の出力ミラー６６より出力される。
連続波レーザ光のレーザ出力は設定部７６により所望の
値に設定することができる。
回路７８の動作を止め、高周波電気信号ＥＳを停止する
と、Ｑスイッチ駆動回路７８はオフ状態となり、連続波
レーザ光が光共振器の出力ミラー６６より出力される。
連続波レーザ光のレーザ出力は設定部７６により所望の
値に設定することができる。
【０３６０】図１１に、スキャニングユニット４４内の
光学スキャニング機構およびスキャニング駆動部の構成
例を示す。光学的スキャニング機構は、互いに直交した
回転軸を有するＸ軸回転ミラー９０およびＹ軸回転ミラ
ー９２から構成されている。スキャニング駆動部は、Ｘ
軸回転ミラー９０およびＹ軸回転ミラー９２の回転軸に
それぞれ連結されたＸ軸ガルバノメータ・スキャナ９４
およびＹ軸ガルバノメータ・スキャナ９６から構成され
ている。
光学スキャニング機構およびスキャニング駆動部の構成
例を示す。光学的スキャニング機構は、互いに直交した
回転軸を有するＸ軸回転ミラー９０およびＹ軸回転ミラ
ー９２から構成されている。スキャニング駆動部は、Ｘ
軸回転ミラー９０およびＹ軸回転ミラー９２の回転軸に
それぞれ連結されたＸ軸ガルバノメータ・スキャナ９４
およびＹ軸ガルバノメータ・スキャナ９６から構成され
ている。
【０３７０】レーザ発振ユニット４２からの平行光のレ
ーザ光ＬＢは、先ずＸ軸回転ミラー９０に入射して、そ
こで全反射してからＹ軸回転ミラー９２に入射し、この
ミラー９２で全反射してのちｆθレンズ１００を通って
被加工物（熱電対素線１２，１４）に集光照射する。ス
キャン照射領域上のレーザスポットの位置は、Ｘ方向に
おいてはＸ軸回転ミラー９０の振れ角によって決まり、
Ｙ方向においてはＹ軸回転ミラー９２の振れ角によって
決まる。
ーザ光ＬＢは、先ずＸ軸回転ミラー９０に入射して、そ
こで全反射してからＹ軸回転ミラー９２に入射し、この
ミラー９２で全反射してのちｆθレンズ１００を通って
被加工物（熱電対素線１２，１４）に集光照射する。ス
キャン照射領域上のレーザスポットの位置は、Ｘ方向に
おいてはＸ軸回転ミラー９０の振れ角によって決まり、
Ｙ方向においてはＹ軸回転ミラー９２の振れ角によって
決まる。
【０３８０】Ｘ軸回転ミラー９０は、Ｘ軸ガルバノメー
タ・スキャナ９４によって矢印Ａ，Ａ’方向に回転振動
する。一方、Ｙ軸回転ミラー９２は、Ｙ軸ガルバノメー
タ・スキャナ９６によって矢印Ｂ，Ｂ’方向に回転振動
する。両スキャナ９４，９６には、制御ユニット４０内
の制御部７４よりインタフェース回路７９および電気ケ
ーブル１０６，１０８を介してＸ方向およびＹ方向スキ
ャニング制御信号がそれぞれ供給される。
タ・スキャナ９４によって矢印Ａ，Ａ’方向に回転振動
する。一方、Ｙ軸回転ミラー９２は、Ｙ軸ガルバノメー
タ・スキャナ９６によって矢印Ｂ，Ｂ’方向に回転振動
する。両スキャナ９４，９６には、制御ユニット４０内
の制御部７４よりインタフェース回路７９および電気ケ
ーブル１０６，１０８を介してＸ方向およびＹ方向スキ
ャニング制御信号がそれぞれ供給される。
【０３９０】したがって、レーザ発振ユニット４２より
レーザ光ＬＢがスキャニングユニット４４内に所定のタ
イミングで入ってくる度毎に、それと同期して両スキャ
ナ９４，９６がＸ方向およびＹ方向スキャニング制御信
号に応じてＸ軸およびＹ軸回転ミラー９０，９２をそれ
ぞれ所定の角度で振り、これによってレーザ光ＬＢのビ
ームスポットが被加工物（１２，１４）の表面上で所定
の方向にスキャンされる。
レーザ光ＬＢがスキャニングユニット４４内に所定のタ
イミングで入ってくる度毎に、それと同期して両スキャ
ナ９４，９６がＸ方向およびＹ方向スキャニング制御信
号に応じてＸ軸およびＹ軸回転ミラー９０，９２をそれ
ぞれ所定の角度で振り、これによってレーザ光ＬＢのビ
ームスポットが被加工物（１２，１４）の表面上で所定
の方向にスキャンされる。
【０４００】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のシース型
熱電対の製造方法によれば、シース型熱電対素材の端部
で露出させた熱電対素線の表面に固着している絶縁被膜
をＹＡＧレーザ光によって効率的かつ安定確実に除去す
るようにしたので、測温接点を安定・均一な品質で形成
することが可能であり、生産性および加工品質を向上さ
せることができる。
熱電対の製造方法によれば、シース型熱電対素材の端部
で露出させた熱電対素線の表面に固着している絶縁被膜
をＹＡＧレーザ光によって効率的かつ安定確実に除去す
るようにしたので、測温接点を安定・均一な品質で形成
することが可能であり、生産性および加工品質を向上さ
せることができる。
【図１】本発明の一実施例で用いるシース型熱電対素材
の構成を示す一部分解斜視図である。
の構成を示す一部分解斜視図である。
【図２】実施例においてシース型熱電対素材の両端部で
熱電対素線の先端部を露出させた段階を示す斜視図であ
る。
熱電対素線の先端部を露出させた段階を示す斜視図であ
る。
【図３】実施例において熱電対素線の先端部にＹＡＧレ
ーザ光を照射して絶縁被膜を除去する工程を示す図であ
る。
ーザ光を照射して絶縁被膜を除去する工程を示す図であ
る。
【図４】実施例において絶縁被膜除去処理を施された熱
電対素線の先端部の表面状態を示す図である。
電対素線の先端部の表面状態を示す図である。
【図５】実施例において両熱電対素線の先端部を抵抗溶
接で溶接する工程を示す図である。
接で溶接する工程を示す図である。
【図６】実施例において両熱電対素線の先端部をレーザ
溶接で溶接する工程を示す図である。
溶接で溶接する工程を示す図である。
【図７】実施例において測温接点が形成されたシース型
熱電対の外観を示す斜視図である。
熱電対の外観を示す斜視図である。
【図８】実施例において両熱電対素線の他端部に導線が
ハンダ付されたシース型熱電対の外観を示す斜視図であ
る。
ハンダ付されたシース型熱電対の外観を示す斜視図であ
る。
【図９】実施例の絶縁被覆除去工程で使用するＹＡＧレ
ーザ加工装置の外観を示す斜視図である。
ーザ加工装置の外観を示す斜視図である。
【図１０】実施例におけるＹＡＧレーザ加工装置の要部
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図１１】実施例のＹＡＧレーザ加工装置のスキャニン
グユニットの内部の構成を示す斜視図である。
グユニットの内部の構成を示す斜視図である。
１０ 金属シース １２，１４ 熱電対素線 １６ 無機絶縁物 １６’ 絶縁被膜 １８，２０ 溶接電極 ２２ 測温接点 ２８，３０ ハンダ付 ４２ レーザ発振ユニット ４４ スキャニングユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０２Ｇ 1/12 ３０３ Ｈ０２Ｇ 1/12 ３０３ ３０６ ３０６
Claims (2)
- 【請求項１】 金属シース内に少なくとも一対の熱電対
素線を収容し、かつ無機絶縁物を充填してなるシース型
熱電対素材を加工してシース型熱電対を製造する方法に
おいて、 所望の長さに切断された前記シース型熱電対素材の一端
部側で前記金属シースおよび前記無機絶縁物を除去して
前記一対の熱電対素線を露出させる工程と、 前記露出した一対の熱電対素線の一端部にＹＡＧレーザ
光を照射して、前記熱電対素線の表面に付着している絶
縁被膜を除去する工程と、 前記絶縁被膜を除去された一対の熱電対素線の一端部を
溶接して測温接点を形成する工程とを有することを特徴
とするシース型熱電対の製造方法。 - 【請求項２】 前記シース型熱電対素材の他端部側で前
記金属シースおよび前記無機絶縁物を除去して前記一対
の熱電対素線を露出させる工程と、 前記露出した一対の熱電対素線の他端部にＹＡＧレーザ
光を照射して、前記熱電対素線の表面に付着している絶
縁被膜を除去する工程と、 前記絶縁被膜を除去された一対の熱電対素線の他端部に
一対の導線をそれぞれ接合する工程とを有することを特
徴とする請求項１に記載のシース型熱電対の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10161319A JPH11337418A (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | シース型熱電対の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10161319A JPH11337418A (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | シース型熱電対の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11337418A true JPH11337418A (ja) | 1999-12-10 |
Family
ID=15732843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10161319A Pending JPH11337418A (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | シース型熱電対の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11337418A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008109753A (ja) * | 2006-10-24 | 2008-05-08 | Tdk Corp | 被覆剥離方法 |
| JP2010044970A (ja) * | 2008-08-14 | 2010-02-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | シース部材の製造方法 |
| JP2011022005A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Metal Create:Kk | シース構造体の被覆材除去方法 |
| CN104526155A (zh) * | 2014-12-02 | 2015-04-22 | 苏州长风航空电子有限公司 | 一种铠装热电极的制备方法 |
-
1998
- 1998-05-26 JP JP10161319A patent/JPH11337418A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008109753A (ja) * | 2006-10-24 | 2008-05-08 | Tdk Corp | 被覆剥離方法 |
| JP2010044970A (ja) * | 2008-08-14 | 2010-02-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | シース部材の製造方法 |
| JP2011022005A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Metal Create:Kk | シース構造体の被覆材除去方法 |
| CN104526155A (zh) * | 2014-12-02 | 2015-04-22 | 苏州长风航空电子有限公司 | 一种铠装热电极的制备方法 |
| CN104526155B (zh) * | 2014-12-02 | 2016-03-16 | 苏州长风航空电子有限公司 | 一种铠装热电极的制备方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050329 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070418 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070522 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071023 |