JPH1133315A - 液体リサイクル装置 - Google Patents
液体リサイクル装置Info
- Publication number
- JPH1133315A JPH1133315A JP9231665A JP23166597A JPH1133315A JP H1133315 A JPH1133315 A JP H1133315A JP 9231665 A JP9231665 A JP 9231665A JP 23166597 A JP23166597 A JP 23166597A JP H1133315 A JPH1133315 A JP H1133315A
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- JP
- Japan
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- liquid
- purified
- adsorbent
- cylindrical filter
- pretreatment
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】切削液、研削液、洗條液等の被浄化液体を、リ
サイクル使用しうるようにした液体リサイクル装置に関
する。 【解決手段】平板状，立体状，球状の毛羽立状体からな
る搦め状物体６を、複数個、積層して収容し、被浄化液
体を前記搦め状物体６中に通過させ、前記被浄化液体中
の不純物を搦め取る前処理装置５と、及び、中心軸に設
けられた円筒状フイルタ１１と、前記円筒状フイルタ１
１の外周を取り囲ように設置された吸着剤１２と、前記
吸着剤１２の外周を取り囲み前記吸着剤１２の流出を防
止する最外周濾過材１３からなり、前記前処理装置５で
前処理された前記被浄化液体を、前記吸着剤１２と前記
円筒状フイルタ１１とを通過させることにより浄化する
凝集型濾過装置１０とを、備えたことを特徴とする。
サイクル使用しうるようにした液体リサイクル装置に関
する。 【解決手段】平板状，立体状，球状の毛羽立状体からな
る搦め状物体６を、複数個、積層して収容し、被浄化液
体を前記搦め状物体６中に通過させ、前記被浄化液体中
の不純物を搦め取る前処理装置５と、及び、中心軸に設
けられた円筒状フイルタ１１と、前記円筒状フイルタ１
１の外周を取り囲ように設置された吸着剤１２と、前記
吸着剤１２の外周を取り囲み前記吸着剤１２の流出を防
止する最外周濾過材１３からなり、前記前処理装置５で
前処理された前記被浄化液体を、前記吸着剤１２と前記
円筒状フイルタ１１とを通過させることにより浄化する
凝集型濾過装置１０とを、備えたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、切削液，研
削液，洗浄液等の被浄化液体を、リサイクル使用し得る
ようにした液体リサイクル装置に関するものである。
削液，洗浄液等の被浄化液体を、リサイクル使用し得る
ようにした液体リサイクル装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液体リサイクル装置における前処
理装置としては、目の粗いフイルタから、目の細かいフ
イルタを順々に連続配置して行っていた。この様な従来
の前処理装置では、多数のサイズのフイルタを多段に必
要とし、装置が大型となり、大流量処理に不適当であっ
た。
理装置としては、目の粗いフイルタから、目の細かいフ
イルタを順々に連続配置して行っていた。この様な従来
の前処理装置では、多数のサイズのフイルタを多段に必
要とし、装置が大型となり、大流量処理に不適当であっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】即ち、従来において
は、前処理装置が大型となり、多数のフイルタを多段に
用意せねばならないため、前処理装置を省略する場合が
多く、これにより、後処理のフイルタが直ぐに目詰まり
を起こし、到底、リサイクル使用し得ない課題があっ
た。
は、前処理装置が大型となり、多数のフイルタを多段に
用意せねばならないため、前処理装置を省略する場合が
多く、これにより、後処理のフイルタが直ぐに目詰まり
を起こし、到底、リサイクル使用し得ない課題があっ
た。
【０００４】この発明は上記のような従来のものの課題
を解消するためになされたもので、
を解消するためになされたもので、
【請求項１】の発明は、前処理装置として、平板状，立
体状，球状の毛羽立状体からなる搦め状物体を、複数
個、積層して構成し、被浄化液体を搦め状物体中に通過
させ、被浄化液体中の不純物を搦め取った後、中心軸に
設けられた円筒状フイルタと、円筒状フイルタの外周を
取囲むように設置された吸着剤とからなる凝集型濾過装
置で浄化しているため、小型の装置で効果的に被浄化液
体をリサイクル使用し得る液体リサイクル装置を提供す
ることを目的とする。
体状，球状の毛羽立状体からなる搦め状物体を、複数
個、積層して構成し、被浄化液体を搦め状物体中に通過
させ、被浄化液体中の不純物を搦め取った後、中心軸に
設けられた円筒状フイルタと、円筒状フイルタの外周を
取囲むように設置された吸着剤とからなる凝集型濾過装
置で浄化しているため、小型の装置で効果的に被浄化液
体をリサイクル使用し得る液体リサイクル装置を提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【請求項１】の発明は、平板状，立体状，球状の毛羽立
状体からなる搦め状物体を、複数個、積層して収容し、
被浄化液体を前記搦め状物体中に通過させ、前記被浄化
液体中の不純物を搦め取る前処理装置と、及び、中心軸
に設けられた円筒状フイルタと、前記円筒状フイルタの
外周を取囲むように設置された吸着剤と、前記吸着剤の
外周を取り囲み前記吸着剤の流出を防止する最外周濾過
材からなり、前記前処理装置で前処理された前記被浄化
液体を、前記吸着剤と前記円筒状フイルタとを通過させ
ることにより浄化する凝集型濾過装置とを備えることに
より実現した。
状体からなる搦め状物体を、複数個、積層して収容し、
被浄化液体を前記搦め状物体中に通過させ、前記被浄化
液体中の不純物を搦め取る前処理装置と、及び、中心軸
に設けられた円筒状フイルタと、前記円筒状フイルタの
外周を取囲むように設置された吸着剤と、前記吸着剤の
外周を取り囲み前記吸着剤の流出を防止する最外周濾過
材からなり、前記前処理装置で前処理された前記被浄化
液体を、前記吸着剤と前記円筒状フイルタとを通過させ
ることにより浄化する凝集型濾過装置とを備えることに
より実現した。
【０００６】
【実施例】以下この発明の一実施例を図について説明す
る。図１は、この発明の一実施例を示すフロー図であ
る。図において、タンク１は、仕切壁２によって、被浄
化液体が流入するダーティタンク３と、浄化後の液体が
流出するクリーンタンク４とから構成されている。前処
理装置５は、平板状，立体状，球状の、例えば、不織布
からなる毛羽立状体の搦め状物体６を、複数個、積層し
て収容した、同軸状に設置された網目状体もしく多孔体
からなる一対の円筒状の収納容器７と、収納容器７を収
納する容器８と、ダーティタンク３内の被浄化液体を搦
め状物体６中に送込むポンプ９とから構成されている。
凝集型濾過装置１０は、中心軸に設けられた円筒状フイ
ルタ１１と、円筒状フイルタ１１の外周を取囲むように
設置された、例えばマグネシュウムの顆粒状体もしくは
粉末状体からなる吸着剤１２と、及び、吸着剤１２の外
周を取り囲み吸着剤１２の流出を防止する、例えば１０
０μの濾紙からなる最外周濾過材１３とを収容する容器
１４と、クリーンタンク４内の液体を、吸着剤１２中に
送込むポンプ１５とから構成されている。
る。図１は、この発明の一実施例を示すフロー図であ
る。図において、タンク１は、仕切壁２によって、被浄
化液体が流入するダーティタンク３と、浄化後の液体が
流出するクリーンタンク４とから構成されている。前処
理装置５は、平板状，立体状，球状の、例えば、不織布
からなる毛羽立状体の搦め状物体６を、複数個、積層し
て収容した、同軸状に設置された網目状体もしく多孔体
からなる一対の円筒状の収納容器７と、収納容器７を収
納する容器８と、ダーティタンク３内の被浄化液体を搦
め状物体６中に送込むポンプ９とから構成されている。
凝集型濾過装置１０は、中心軸に設けられた円筒状フイ
ルタ１１と、円筒状フイルタ１１の外周を取囲むように
設置された、例えばマグネシュウムの顆粒状体もしくは
粉末状体からなる吸着剤１２と、及び、吸着剤１２の外
周を取り囲み吸着剤１２の流出を防止する、例えば１０
０μの濾紙からなる最外周濾過材１３とを収容する容器
１４と、クリーンタンク４内の液体を、吸着剤１２中に
送込むポンプ１５とから構成されている。
【０００７】次に、動作について説明する。ダーティタ
ンク３に、矢印Ａの如く流入した被浄化液体は、ポンプ
９によって前処理装置５の搦め状物体６中に送込まれ、
被浄化液体中の不純物は、搦め状物体６の毛羽立状体で
搦め取られ前処理される。前処理装置５で前処理された
被浄化液体は、仕切壁２を矢印Ｂの如くオーバーフロー
してクリーンタンク４内に流入する。クリーンタンク４
内に流入した被浄化液体は、ポンプ１５によって、吸着
剤１２中に送込まれ、被浄化液体中に混入した不純物粒
子、またはエマルジョン化して混入した油粒子は、それ
ぞれの相互間距離が所定距離以下となり、相互に引力が
働いて凝集し数百個の大きな塊となる。大きな塊となっ
た不純物粒子は、目の粗い円筒状フイルタ１１で補足さ
れ濾過される。一方、大きな塊となった油粒子は、液体
のため、細長く変形して円筒状フイルタ１１を通過し、
クリーンタンク４内の液面に浮上し、例えば、オイルス
キマー等で分離回収される。この様にして、浄化された
クリーンタンク４内の液体は、矢印Ｃの如く流出してリ
サイクル使用される。
ンク３に、矢印Ａの如く流入した被浄化液体は、ポンプ
９によって前処理装置５の搦め状物体６中に送込まれ、
被浄化液体中の不純物は、搦め状物体６の毛羽立状体で
搦め取られ前処理される。前処理装置５で前処理された
被浄化液体は、仕切壁２を矢印Ｂの如くオーバーフロー
してクリーンタンク４内に流入する。クリーンタンク４
内に流入した被浄化液体は、ポンプ１５によって、吸着
剤１２中に送込まれ、被浄化液体中に混入した不純物粒
子、またはエマルジョン化して混入した油粒子は、それ
ぞれの相互間距離が所定距離以下となり、相互に引力が
働いて凝集し数百個の大きな塊となる。大きな塊となっ
た不純物粒子は、目の粗い円筒状フイルタ１１で補足さ
れ濾過される。一方、大きな塊となった油粒子は、液体
のため、細長く変形して円筒状フイルタ１１を通過し、
クリーンタンク４内の液面に浮上し、例えば、オイルス
キマー等で分離回収される。この様にして、浄化された
クリーンタンク４内の液体は、矢印Ｃの如く流出してリ
サイクル使用される。
【０００８】次に、前処理装置５の効果を、実例により
説明する。図２は、純水を使用してＩＣをダイヤモンド
砥石で切断する際に発生する、ＩＣダイシング廃液中
の、シリコンの粒度分布図である。このＩＣを切断する
際、ＴＣの両面に粘着テープを貼り付け、この粘着テー
プごと、ＩＣをダイヤモンド砥石で切断する。このた
め、ＩＣダイシング廃液中に粘着剤が混入し、この粘着
剤とシリコンの研磨屑とが混合して糊状となる。この糊
状物が１００μの濾紙からなる目の粗い最外周濾過材１
３に絡みつき、内部の吸着剤１２、並びに円筒状フイル
タ１１が、目詰まりをしていないにもかかわらず、最外
周濾過材１３が目詰まり状態となり、凝集型濾過装置１
０が目詰まり状態となる。これをテストにより証明す
る。表１のテストＮｏ．１の如く、円筒状フイルタ１１
として市販の１μのフイルタを、吸着剤１２としてスー
パーカットを、最外周濾過材１３として１００μの濾紙
を、ポンプ１５として流量１０ｌ／ｍｉｎのイワヤポン
プを用いた凝集型濾過装置１０で、図２の粒度分布で、
淡い白色懸濁状態の１０ｌのＩＣダイシング廃液を、単
独浄化すると、凝集型濾過装置１０の初期内圧は０．９
Ｋｇｆ／ｃｍ２となり、１パスで完全に透明状態になっ
た。続いて、表１のテストＮｏ．２の如く、搦め状物体
６として２０ｍｍ×２０ｍｍの平板状の不織布を、ポン
プ９として流量１０ｌ／ｍｉｎのイワヤポンプを用いた
前処理装置５で、図２の粒度分布で、淡い白色懸濁状態
の１０ｌのＩＣダイシング廃液を、単独浄化すると、前
処理装置５の初期内圧は０Ｋｇｆ／ｃｍ２であり、２０
分、即ち、２０パス循環濾過してもＩＣダイシング廃液
には変化が認められなかった。続いて、表１のテストＮ
ｏ．３の如く、テストＮｏ．２の２０パス循環濾過した
ＩＣダイシング廃液を、テストＮｏ．１と同一条件の凝
集型濾過装置１０で、単独浄化すると、凝集型濾過装置
１０の初期内圧は０．４Ｋｇｆ／ｃｍ２となり、１パス
で完全に透明状態になった。この初期圧は、水道水の浄
化時と同じであり、殆ど、目詰まりしていない状態とな
った。
説明する。図２は、純水を使用してＩＣをダイヤモンド
砥石で切断する際に発生する、ＩＣダイシング廃液中
の、シリコンの粒度分布図である。このＩＣを切断する
際、ＴＣの両面に粘着テープを貼り付け、この粘着テー
プごと、ＩＣをダイヤモンド砥石で切断する。このた
め、ＩＣダイシング廃液中に粘着剤が混入し、この粘着
剤とシリコンの研磨屑とが混合して糊状となる。この糊
状物が１００μの濾紙からなる目の粗い最外周濾過材１
３に絡みつき、内部の吸着剤１２、並びに円筒状フイル
タ１１が、目詰まりをしていないにもかかわらず、最外
周濾過材１３が目詰まり状態となり、凝集型濾過装置１
０が目詰まり状態となる。これをテストにより証明す
る。表１のテストＮｏ．１の如く、円筒状フイルタ１１
として市販の１μのフイルタを、吸着剤１２としてスー
パーカットを、最外周濾過材１３として１００μの濾紙
を、ポンプ１５として流量１０ｌ／ｍｉｎのイワヤポン
プを用いた凝集型濾過装置１０で、図２の粒度分布で、
淡い白色懸濁状態の１０ｌのＩＣダイシング廃液を、単
独浄化すると、凝集型濾過装置１０の初期内圧は０．９
Ｋｇｆ／ｃｍ２となり、１パスで完全に透明状態になっ
た。続いて、表１のテストＮｏ．２の如く、搦め状物体
６として２０ｍｍ×２０ｍｍの平板状の不織布を、ポン
プ９として流量１０ｌ／ｍｉｎのイワヤポンプを用いた
前処理装置５で、図２の粒度分布で、淡い白色懸濁状態
の１０ｌのＩＣダイシング廃液を、単独浄化すると、前
処理装置５の初期内圧は０Ｋｇｆ／ｃｍ２であり、２０
分、即ち、２０パス循環濾過してもＩＣダイシング廃液
には変化が認められなかった。続いて、表１のテストＮ
ｏ．３の如く、テストＮｏ．２の２０パス循環濾過した
ＩＣダイシング廃液を、テストＮｏ．１と同一条件の凝
集型濾過装置１０で、単独浄化すると、凝集型濾過装置
１０の初期内圧は０．４Ｋｇｆ／ｃｍ２となり、１パス
で完全に透明状態になった。この初期圧は、水道水の浄
化時と同じであり、殆ど、目詰まりしていない状態とな
った。
【０００９】図３は、この発明の他の実施例を示すフロ
ー図で、図において、前処理篭１６〜１８は、少なくと
も、前面並びに後面が網目状体もしくは多孔体からな
り、それぞれ、平板状，立体状，球状の、例えば、不織
布からなる毛羽立状体の搦め状物体６を、複数個、積層
して収容し、ダーティタンク３内に、間隔を空けて水平
方向に設置されている。即ち、図１の実施例のものは、
ポンプ９によって、ダーティタンク３内の被浄化液体
を、強制的に前処理装置５内の搦め状物体６中に送り込
んだのに対して、図３の実施例の物は、矢印Ｄの如く、
ダーティタンク３内に矢印Ａの如く送込まれる被浄化液
体の流速により、被浄化液体は自力で前処理篭１６〜１
８内の搦め状物体６に流入する。この実施例において
も、図１の実施例と同様の効果が得られる。なお、前処
理篭１６〜１８は、それぞれガイドに沿って、垂直方向
に出し入れ可能に設置されている。
ー図で、図において、前処理篭１６〜１８は、少なくと
も、前面並びに後面が網目状体もしくは多孔体からな
り、それぞれ、平板状，立体状，球状の、例えば、不織
布からなる毛羽立状体の搦め状物体６を、複数個、積層
して収容し、ダーティタンク３内に、間隔を空けて水平
方向に設置されている。即ち、図１の実施例のものは、
ポンプ９によって、ダーティタンク３内の被浄化液体
を、強制的に前処理装置５内の搦め状物体６中に送り込
んだのに対して、図３の実施例の物は、矢印Ｄの如く、
ダーティタンク３内に矢印Ａの如く送込まれる被浄化液
体の流速により、被浄化液体は自力で前処理篭１６〜１
８内の搦め状物体６に流入する。この実施例において
も、図１の実施例と同様の効果が得られる。なお、前処
理篭１６〜１８は、それぞれガイドに沿って、垂直方向
に出し入れ可能に設置されている。
【００１０】図４は、この発明のその他の実施例を示す
フロー図で、図において、前処理容器１９〜２１は、少
なくとも、底面並びに表面が網目状体もしくは多孔体か
らなり、それぞれ、平板状，立体状，球状の、例えば、
不織布からなる毛羽立状体の搦め状物体６を、複数個、
積層して収容し、ダーティタンク３内に間隔を空けて垂
直方向に設置されている。即ち、図３の実施例のもの
は、前処理篭１６〜１８をダーティタンク３内に、水平
方向に設置したのに対して、図４の実施例は、矢印Ｅの
如く、ダーティタンク３内に前処理容器１９〜２１を垂
直方向に設置したものであり、図３の実施例と同様の効
果が得られる。また、クリーンタンク４も、第一クリー
ンタンク４ａと、第二クリーンタンク４ｂとに、仕切壁
２ａ，２ｂによって仕切られ、矢印Ｅの如く、前処理容
器１９〜２１内の搦め状物体６中を通過した被浄化液体
は、仕切壁２ａを矢印Ｆの如くオーバーフローして、第
一クリーンタンク４ａ内に流入し、第一クリーンタンク
４ａ内の被浄化液体は、凝集型濾過装置１０で浄化され
て後、第二クリーンタンク４ｂに流入する。第二クリー
ンタンク４ｂに流入した浄化液体は、その一部は矢印Ｇ
の如く、第一クリーンタンク４ａ内に逆流し、他は、矢
印Ｃの如く流出してリサイクル使用される。なお、前処
理容器１９〜２１は、ボルトもしくはバネにより、取外
し可能に設置されている。
フロー図で、図において、前処理容器１９〜２１は、少
なくとも、底面並びに表面が網目状体もしくは多孔体か
らなり、それぞれ、平板状，立体状，球状の、例えば、
不織布からなる毛羽立状体の搦め状物体６を、複数個、
積層して収容し、ダーティタンク３内に間隔を空けて垂
直方向に設置されている。即ち、図３の実施例のもの
は、前処理篭１６〜１８をダーティタンク３内に、水平
方向に設置したのに対して、図４の実施例は、矢印Ｅの
如く、ダーティタンク３内に前処理容器１９〜２１を垂
直方向に設置したものであり、図３の実施例と同様の効
果が得られる。また、クリーンタンク４も、第一クリー
ンタンク４ａと、第二クリーンタンク４ｂとに、仕切壁
２ａ，２ｂによって仕切られ、矢印Ｅの如く、前処理容
器１９〜２１内の搦め状物体６中を通過した被浄化液体
は、仕切壁２ａを矢印Ｆの如くオーバーフローして、第
一クリーンタンク４ａ内に流入し、第一クリーンタンク
４ａ内の被浄化液体は、凝集型濾過装置１０で浄化され
て後、第二クリーンタンク４ｂに流入する。第二クリー
ンタンク４ｂに流入した浄化液体は、その一部は矢印Ｇ
の如く、第一クリーンタンク４ａ内に逆流し、他は、矢
印Ｃの如く流出してリサイクル使用される。なお、前処
理容器１９〜２１は、ボルトもしくはバネにより、取外
し可能に設置されている。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、
【請求項１】の発明によれば、前処理装置として、平板
状，立体状，球状の毛羽立状体からなる搦め状物体を、
複数個、積層して構成し、被浄化液体を搦め状物体中に
通過させ、被浄化液体中の不純物を搦め取った後、中心
軸に設けられた円筒状フイルタと、円筒状フイルタの外
周を取囲むように設置された吸着剤とからなる凝集型濾
過装置で浄化しているため、小型の装置で効果的に被浄
化液体をリサイクル使用することができる。
状，立体状，球状の毛羽立状体からなる搦め状物体を、
複数個、積層して構成し、被浄化液体を搦め状物体中に
通過させ、被浄化液体中の不純物を搦め取った後、中心
軸に設けられた円筒状フイルタと、円筒状フイルタの外
周を取囲むように設置された吸着剤とからなる凝集型濾
過装置で浄化しているため、小型の装置で効果的に被浄
化液体をリサイクル使用することができる。
【図１】この発明に係る液体リサイクル装置の一実施例
を示すフロー図である。
を示すフロー図である。
【図２】ＩＣダイシング廃液中のシリコンの粒度分布図
である。
である。
【図３】この発明に係る液体リサイクル装置の他の実施
例を示すフロー図である。
例を示すフロー図である。
【図４】この発明に係る液体リサイクル装置のその他の
実施例を示すフロー図である。
実施例を示すフロー図である。
５：前処理装置 ６：搦め状物体 ７：収納容器 ８：容器 １０：凝集型濾過装置 １１：円筒状フイルタ １２：吸着剤 １３：最外周濾過材 １４：容器
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ０１Ｄ 29/26 Ａ
Claims (1)
- 【請求項１】 平板状，立体状，球状の毛羽立状体から
なる搦め状物体を、複数個、積層して収容し、被浄化液
体を前記搦め状物体中に通過させ、前記被浄化液体中の
不純物を搦め取る前処理装置と、 及び、中心軸に設けられた円筒状フイルタと、前記円筒
状フイルタの外周を取囲むように設置された吸着剤と、
前記吸着剤の外周を取り囲み前記吸着剤の流出を防止す
る最外周濾過材からなり、前記前処理装置で前処理され
た前記被浄化液体を、前記吸着剤と前記円筒状フイルタ
とを通過させることにより浄化する凝集型濾過装置と
を、備えたことを特徴とする液体リサイクル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9231665A JPH1133315A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | 液体リサイクル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9231665A JPH1133315A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | 液体リサイクル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1133315A true JPH1133315A (ja) | 1999-02-09 |
Family
ID=16927070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9231665A Pending JPH1133315A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | 液体リサイクル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1133315A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001260024A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-25 | Mitsubishi Materials Corp | ドレッサー装置用洗浄装置 |
| WO2022181708A1 (ja) * | 2021-02-26 | 2022-09-01 | 有限会社ショウナンエンジニアリング | 洗浄液中の油分除去方法 |
-
1997
- 1997-07-23 JP JP9231665A patent/JPH1133315A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001260024A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-25 | Mitsubishi Materials Corp | ドレッサー装置用洗浄装置 |
| WO2022181708A1 (ja) * | 2021-02-26 | 2022-09-01 | 有限会社ショウナンエンジニアリング | 洗浄液中の油分除去方法 |
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