JPH11330792A - 電子部品実装機における部品吸着装置 - Google Patents
電子部品実装機における部品吸着装置Info
- Publication number
- JPH11330792A JPH11330792A JP10139435A JP13943598A JPH11330792A JP H11330792 A JPH11330792 A JP H11330792A JP 10139435 A JP10139435 A JP 10139435A JP 13943598 A JP13943598 A JP 13943598A JP H11330792 A JPH11330792 A JP H11330792A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slide shaft
- negative pressure
- air filter
- component suction
- upper slide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Automatic Assembly (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 部品吸着装置において、部品吸着ノズルから
吸入された異物がシール部材等を損傷しないように捕捉
し、且つ清掃を容易とする。 【解決手段】 部品吸着装置２０のスライドシャフト２
２を、軸受け部材２８側の上部スライドシャフト３０
と、この下端に着脱自在であり、且つ部品吸着ノズル２
４を支持する下部スライドシャフト３２とに分割し、両
者の分割端面から、上部スライドシャフト３０の負圧管
路２６Ａにおける装着部２７に、エアフィルタ３４を着
脱自在に設ける。
吸入された異物がシール部材等を損傷しないように捕捉
し、且つ清掃を容易とする。 【解決手段】 部品吸着装置２０のスライドシャフト２
２を、軸受け部材２８側の上部スライドシャフト３０
と、この下端に着脱自在であり、且つ部品吸着ノズル２
４を支持する下部スライドシャフト３２とに分割し、両
者の分割端面から、上部スライドシャフト３０の負圧管
路２６Ａにおける装着部２７に、エアフィルタ３４を着
脱自在に設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電子部品を負圧
により吸着して基板に搭載するための電子部品実装機に
おける部品吸着装置に関する。
により吸着して基板に搭載するための電子部品実装機に
おける部品吸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品実装機は、図４に示されるよう
に、パーツフィーダ（図示省略）から供給される電子部
品１を部品吸着ノズル２によって吸着し、隣接した位置
にある基板（図示省略）に運び、ここで負圧を解除する
ことによって電子部品１を基板上に搭載するものであ
る。
に、パーツフィーダ（図示省略）から供給される電子部
品１を部品吸着ノズル２によって吸着し、隣接した位置
にある基板（図示省略）に運び、ここで負圧を解除する
ことによって電子部品１を基板上に搭載するものであ
る。
【０００３】前記部品吸着ノズル２は、スライドシャフ
ト３の下端に取り付けられ、このスライドシャフト３は
スライドブラケット４によって鉛直方向に支持され、こ
のスライドブラケット４の上下動に応じて上下するよう
にされている。
ト３の下端に取り付けられ、このスライドシャフト３は
スライドブラケット４によって鉛直方向に支持され、こ
のスライドブラケット４の上下動に応じて上下するよう
にされている。
【０００４】このスライドブラケット４は、フレーム５
に対してリニアガイド６を介して鉛直方向に移動可能に
支持され、且つ、Ｚ軸モータ７により、ボールねじ８を
介して上下方向に駆動されるようになっている。
に対してリニアガイド６を介して鉛直方向に移動可能に
支持され、且つ、Ｚ軸モータ７により、ボールねじ８を
介して上下方向に駆動されるようになっている。
【０００５】又、スライドシャフト３は、スライドブラ
ケット４に支持された状態で、θ軸モータ９によりタイ
ミングベルト１０を介してその軸線回りに回動できるよ
うにされている。
ケット４に支持された状態で、θ軸モータ９によりタイ
ミングベルト１０を介してその軸線回りに回動できるよ
うにされている。
【０００６】前記スライドシャフト３内には、負圧通路
１１が形成され、部品吸着ノズル２の先端に負圧を伝達
するようにされている。
１１が形成され、部品吸着ノズル２の先端に負圧を伝達
するようにされている。
【０００７】この負圧通路１１は、エアチューブ１２を
介してエアフィルタ１３に連通され、負圧源（図示省
略）からの負圧をエアフィルタ１３、エアチューブ１２
を介して伝達するようになっている。
介してエアフィルタ１３に連通され、負圧源（図示省
略）からの負圧をエアフィルタ１３、エアチューブ１２
を介して伝達するようになっている。
【０００８】前記負圧通路１１の、前記スライドシャフ
ト３内からその周壁を貫通してエアチューブ１２に至る
連通孔１１Ａの、スライドシャフト３軸方向前後はオイ
ルシール１４によって負圧が漏れないようにされてい
る。
ト３内からその周壁を貫通してエアチューブ１２に至る
連通孔１１Ａの、スライドシャフト３軸方向前後はオイ
ルシール１４によって負圧が漏れないようにされてい
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の部
品吸着構造では、部品吸着ノズル２から例えば金属粉等
の異物が吸引された場合に、オイルシール１４が損傷さ
れ易く、この損傷によって負圧が漏れたりすることがあ
る。又、オイルシール１４部分に異物が溜まった場合
に、その清掃が困難であるという問題点があった。
品吸着構造では、部品吸着ノズル２から例えば金属粉等
の異物が吸引された場合に、オイルシール１４が損傷さ
れ易く、この損傷によって負圧が漏れたりすることがあ
る。又、オイルシール１４部分に異物が溜まった場合
に、その清掃が困難であるという問題点があった。
【００１０】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、異物が吸引された場合でもオイル
シールが損傷して負圧が漏れたりすることがなく、又、
吸引された異物を容易に除去することができ、清掃が簡
単な部品吸着装置を提供することを目的とする。
されたものであって、異物が吸引された場合でもオイル
シールが損傷して負圧が漏れたりすることがなく、又、
吸引された異物を容易に除去することができ、清掃が簡
単な部品吸着装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明は、請求項１の
ように、鉛直方向に上下動され、且つ、中心軸線回りに
回転角度調節自在のスライドシャフトと、このスライド
シャフトの下端に着脱自在の部品吸着ノズルと、前記ス
ライドシャフト内を通り、前記部品吸着ノズルに負圧を
伝達する負圧管路と、前記スライドシャフトを中心軸線
回りに回転自在に支持する軸受け部材と、を有してな
り、負圧により、前記部品吸着ノズルの下端に電子部品
を吸着する電子部品実装機における部品吸着装置におい
て、前記スライドシャフトを、上部スライドシャフト
と、この上部スライドシャフトの下端及びその内側の負
圧通路に、上端及びその内側の負圧通路が接続自在、且
つ、下端に前記部品吸着ノズルが着脱自在とされた下部
スライドシャフトと、から構成すると共に、吸入された
異物を捕捉するエアフィルタを、前記負圧通路内に、上
部スライドシャフトと下部スライドシャフトとの接続端
面から出入れ自在に設けることにより、上記目的を達成
するものである。
ように、鉛直方向に上下動され、且つ、中心軸線回りに
回転角度調節自在のスライドシャフトと、このスライド
シャフトの下端に着脱自在の部品吸着ノズルと、前記ス
ライドシャフト内を通り、前記部品吸着ノズルに負圧を
伝達する負圧管路と、前記スライドシャフトを中心軸線
回りに回転自在に支持する軸受け部材と、を有してな
り、負圧により、前記部品吸着ノズルの下端に電子部品
を吸着する電子部品実装機における部品吸着装置におい
て、前記スライドシャフトを、上部スライドシャフト
と、この上部スライドシャフトの下端及びその内側の負
圧通路に、上端及びその内側の負圧通路が接続自在、且
つ、下端に前記部品吸着ノズルが着脱自在とされた下部
スライドシャフトと、から構成すると共に、吸入された
異物を捕捉するエアフィルタを、前記負圧通路内に、上
部スライドシャフトと下部スライドシャフトとの接続端
面から出入れ自在に設けることにより、上記目的を達成
するものである。
【００１２】前記電子部品実装機における部品吸着装置
においては、前記上部スライドシャフト及び下部スライ
ドシャフトが接続されたとき、前記負圧通路内に装着さ
れた前記エアフィルタの開口内に突出し、該エアフィル
タの軸方向及び径方向の位置決めをする位置決め突起を
設けると共に、この位置決め突起に、前記負圧通路の一
部を構成する貫通孔を形成するようにしてもよい。
においては、前記上部スライドシャフト及び下部スライ
ドシャフトが接続されたとき、前記負圧通路内に装着さ
れた前記エアフィルタの開口内に突出し、該エアフィル
タの軸方向及び径方向の位置決めをする位置決め突起を
設けると共に、この位置決め突起に、前記負圧通路の一
部を構成する貫通孔を形成するようにしてもよい。
【００１３】又、前記負圧通路は、前記エアフィルタの
装着部における内径が、エアフィルタの外径よりも大き
くなるようにしてもよい。
装着部における内径が、エアフィルタの外径よりも大き
くなるようにしてもよい。
【００１４】更に又、前記エアフィルタは、その底部側
が、負圧通路内での空気流れの下流側に向けて、且つ、
前記開口側が空気流れの上流側に向けて、前記負圧通路
内に装着されるように構成してもよい。
が、負圧通路内での空気流れの下流側に向けて、且つ、
前記開口側が空気流れの上流側に向けて、前記負圧通路
内に装着されるように構成してもよい。
【００１５】又、前記上部スライドシャフトの負圧通路
内に前記エアフィルタの装着部が形成すると共に、前記
下部スライドシャフトを、これが前記上部スライドシャ
フトに接続されるとき、前記エアフィルタに開口側から
当接して位置決めするように構成してもよい。
内に前記エアフィルタの装着部が形成すると共に、前記
下部スライドシャフトを、これが前記上部スライドシャ
フトに接続されるとき、前記エアフィルタに開口側から
当接して位置決めするように構成してもよい。
【００１６】この発明においては、スライドシャフトが
その軸方向に上部及び下部スライドシャフトに２分割さ
れ、各々接続端面から筒状のエアフィルタを負圧通路内
に出入れ自在に設けたので、部品吸着ノズルから吸引さ
れた異物は必ず筒状エアフィルタによって捕捉され、且
つ、上部スライドシャフトから下部スライドシャフトを
外す際に、容易に筒状のエアフィルタを取り外して、異
物を取り除くことができる。
その軸方向に上部及び下部スライドシャフトに２分割さ
れ、各々接続端面から筒状のエアフィルタを負圧通路内
に出入れ自在に設けたので、部品吸着ノズルから吸引さ
れた異物は必ず筒状エアフィルタによって捕捉され、且
つ、上部スライドシャフトから下部スライドシャフトを
外す際に、容易に筒状のエアフィルタを取り外して、異
物を取り除くことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。
面を参照して詳細に説明する。
【００１８】この実施の形態の例に係る部品吸着装置２
０は、図４に示されると同様の電子部品実装機に用いら
れるものであり、鉛直方向に上下動され、且つ、中心軸
線回りに回転角度調節自在のスライドシャフト２２と、
このスライドシャフト２２の下端に着脱自在の部品吸着
ノズル２４と、前記スライドシャフト２２内を通り、前
記部品吸着ノズル２４に負圧を伝達する負圧管路２６
と、前記スライドシャフト２２を上下動自在、且つ、軸
線回りに回転自在に支持する軸受け部材２８と、を有し
てなり、前記スライドシャフト２２を、前記軸受け部材
２８よりも下方位置で軸方向に２分割して、前記軸受け
部材２８に支持される上部スライドシャフト３０と、こ
の上部スライドシャフト３０の下端及びその内側の負圧
管路２６Ａに、上端及びその内側の負圧管路２６Ｂが接
続自在、且つ、下端に前記部品吸着ノズル２４が着脱自
在とされた下部スライドシャフト３２とから構成すると
共に、一端が底部３４Ａ、他端が開口３４Ｂとされた筒
状エアフィルタ３４を、前記上部スライドシャフト３０
の下端面、即ち上部スライドシャフト３０と下部スライ
ドシャフト３２との接続端面から負圧管路２６Ａ内に出
入れ自在に設けたものである。
０は、図４に示されると同様の電子部品実装機に用いら
れるものであり、鉛直方向に上下動され、且つ、中心軸
線回りに回転角度調節自在のスライドシャフト２２と、
このスライドシャフト２２の下端に着脱自在の部品吸着
ノズル２４と、前記スライドシャフト２２内を通り、前
記部品吸着ノズル２４に負圧を伝達する負圧管路２６
と、前記スライドシャフト２２を上下動自在、且つ、軸
線回りに回転自在に支持する軸受け部材２８と、を有し
てなり、前記スライドシャフト２２を、前記軸受け部材
２８よりも下方位置で軸方向に２分割して、前記軸受け
部材２８に支持される上部スライドシャフト３０と、こ
の上部スライドシャフト３０の下端及びその内側の負圧
管路２６Ａに、上端及びその内側の負圧管路２６Ｂが接
続自在、且つ、下端に前記部品吸着ノズル２４が着脱自
在とされた下部スライドシャフト３２とから構成すると
共に、一端が底部３４Ａ、他端が開口３４Ｂとされた筒
状エアフィルタ３４を、前記上部スライドシャフト３０
の下端面、即ち上部スライドシャフト３０と下部スライ
ドシャフト３２との接続端面から負圧管路２６Ａ内に出
入れ自在に設けたものである。
【００１９】前記上部スライドシャフト３０の負圧管路
２６Ａにおける、前記筒状エアフィルタ３４の装着部２
７は、図１に示されるように、筒状エアフィルタ３４の
円筒状の外径よりも大きくされ、筒状エアフィルタ３４
は、その底部３４Ａが負圧管路２６Ａ内における空気流
れの下流側にあるように、即ち上向き方向に装入され、
底部３４Ａが、装着部２７よりも細径の負圧管路２６Ａ
における段部２７Ａに当接することによって、上向きの
位置決めがなされるようになっている。
２６Ａにおける、前記筒状エアフィルタ３４の装着部２
７は、図１に示されるように、筒状エアフィルタ３４の
円筒状の外径よりも大きくされ、筒状エアフィルタ３４
は、その底部３４Ａが負圧管路２６Ａ内における空気流
れの下流側にあるように、即ち上向き方向に装入され、
底部３４Ａが、装着部２７よりも細径の負圧管路２６Ａ
における段部２７Ａに当接することによって、上向きの
位置決めがなされるようになっている。
【００２０】この筒状エアフィルタ３４は、セラミクス
フィルタであって、開口３４Ｂから流入した空気流れを
濾過して、その筒状外周部の外側あるいは底部３４Ａの
下流側に流すことができるようにされている。
フィルタであって、開口３４Ｂから流入した空気流れを
濾過して、その筒状外周部の外側あるいは底部３４Ａの
下流側に流すことができるようにされている。
【００２１】前記下部スライドシャフト３２は、その上
端において、上部スライドシャフト３０の下端に接続さ
れたとき、負圧管路２６Ａ内に入り込み、且つ、装着部
２７に装入されている筒状エアフィルタ３４の開口３４
Ｂを軸方向に押すと共に、該開口３４Ｂから筒状エアフ
ィルタ３４内に突出して、この筒状エアフィルタ３４の
半径方向及び軸線方向の位置決めをする位置決め突起３
６を備えている。
端において、上部スライドシャフト３０の下端に接続さ
れたとき、負圧管路２６Ａ内に入り込み、且つ、装着部
２７に装入されている筒状エアフィルタ３４の開口３４
Ｂを軸方向に押すと共に、該開口３４Ｂから筒状エアフ
ィルタ３４内に突出して、この筒状エアフィルタ３４の
半径方向及び軸線方向の位置決めをする位置決め突起３
６を備えている。
【００２２】前記下部スライドシャフト３２側の負圧管
路２６Ｂは、下部スライドシャフト３２の中心を通ると
共に、上端は前記位置決め突起３６の中心を貫通して、
装着時における筒状エアフィルタ３４の内側に開口し、
ここで、上部スライドシャフト３０側の負圧管路２６Ａ
と接続するようにされている。又、負圧管路２６Ｂの下
端側には、部品吸着ノズル２４の中心を貫通して形成さ
れている負圧管路２６Ｃが連設できるようにされてい
る。
路２６Ｂは、下部スライドシャフト３２の中心を通ると
共に、上端は前記位置決め突起３６の中心を貫通して、
装着時における筒状エアフィルタ３４の内側に開口し、
ここで、上部スライドシャフト３０側の負圧管路２６Ａ
と接続するようにされている。又、負圧管路２６Ｂの下
端側には、部品吸着ノズル２４の中心を貫通して形成さ
れている負圧管路２６Ｃが連設できるようにされてい
る。
【００２３】前記上部スライドシャフト３０における負
圧管路２６Ａは、この上部スライドシャフト３０の軸方
向略中間位置で、直径方向に形成された一対の連通ポー
ト３８を介して外側と連通するようにされている。
圧管路２６Ａは、この上部スライドシャフト３０の軸方
向略中間位置で、直径方向に形成された一対の連通ポー
ト３８を介して外側と連通するようにされている。
【００２４】前記軸受け部材２８は、図３に示されるよ
うに、スライドブラケット４０の上下端において、上部
スライドシャフト３０を回転自在に支持する一対のベア
リング２８Ａ、２８Ｂを備えて構成されている。
うに、スライドブラケット４０の上下端において、上部
スライドシャフト３０を回転自在に支持する一対のベア
リング２８Ａ、２８Ｂを備えて構成されている。
【００２５】又、スライドブラケット４０における、前
記上部スライドシャフト３０が貫通する支持孔４２に
は、前記上下一対のベアリング２８Ａ、２８Ｂ間におい
て、これらに接近した位置で上下一対のシール部材４４
Ａ、４４Ｂが設けられ、前記連通ポート３８が支持孔４
２を介してスライドブラケット４０の上下に連通しない
ように、支持孔４２と上部スライドシャフト３０との間
をシールしている。
記上部スライドシャフト３０が貫通する支持孔４２に
は、前記上下一対のベアリング２８Ａ、２８Ｂ間におい
て、これらに接近した位置で上下一対のシール部材４４
Ａ、４４Ｂが設けられ、前記連通ポート３８が支持孔４
２を介してスライドブラケット４０の上下に連通しない
ように、支持孔４２と上部スライドシャフト３０との間
をシールしている。
【００２６】前記上部スライドシャフト３０に形成され
ている連通ポート３８は、前記上下一対のシール部材４
４Ａ、４４Ｂ間のシールされた空間を介して、スライド
ブラケット４０に形成されている負圧管路２６Ｄに連通
されている。
ている連通ポート３８は、前記上下一対のシール部材４
４Ａ、４４Ｂ間のシールされた空間を介して、スライド
ブラケット４０に形成されている負圧管路２６Ｄに連通
されている。
【００２７】この負圧管路２６Ｄは、スライドブラケッ
ト４０に一端が接続されるエアチューブ４６を介して負
圧源（図示省略）に接続されている。
ト４０に一端が接続されるエアチューブ４６を介して負
圧源（図示省略）に接続されている。
【００２８】前記スライドブラケット４０は、前記図４
に示される電子部品実装機におけるスライドブラケット
４と同様に、Ｚ軸モータによって上下動され、且つ、ス
ライドシャフト２２は、θ軸モータによってその軸線回
りに回転されるように構成されていて、他の構成も、図
４に示される部品吸着装置と同一であるので、説明及び
図示は省略する。
に示される電子部品実装機におけるスライドブラケット
４と同様に、Ｚ軸モータによって上下動され、且つ、ス
ライドシャフト２２は、θ軸モータによってその軸線回
りに回転されるように構成されていて、他の構成も、図
４に示される部品吸着装置と同一であるので、説明及び
図示は省略する。
【００２９】なお、図１、図２において、符号４８は前
記下部スライドシャフト３２を上部スライドシャフト３
０に接続する際に、上部スライドシャフト３０側のおね
じ部４９に螺合して、下部スライドシャフト３２を上部
スライドシャフト３０に締付け固定するための締付けナ
ットを示す。
記下部スライドシャフト３２を上部スライドシャフト３
０に接続する際に、上部スライドシャフト３０側のおね
じ部４９に螺合して、下部スライドシャフト３２を上部
スライドシャフト３０に締付け固定するための締付けナ
ットを示す。
【００３０】又、図２の符号５０Ａは、下部スライドシ
ャフト３２の下端に前記部品吸着ノズル２４の上端を装
着する際に、部品吸着ノズル２４上端の外周に係合して
シールをするためのオーリング、５２は、下部スライド
シャフト３２側に取り付けられ、装着されている部品吸
着ノズル２４を、鋼球５０Ｂを介して上方に付勢するこ
とにより、部品吸着ノズル２４を保持するためのばねを
示す。
ャフト３２の下端に前記部品吸着ノズル２４の上端を装
着する際に、部品吸着ノズル２４上端の外周に係合して
シールをするためのオーリング、５２は、下部スライド
シャフト３２側に取り付けられ、装着されている部品吸
着ノズル２４を、鋼球５０Ｂを介して上方に付勢するこ
とにより、部品吸着ノズル２４を保持するためのばねを
示す。
【００３１】上記部品吸着装置２０において、筒状エア
フィルタ３４を上部スライドシャフト３０内に取り付
け、取り外しする過程について説明する。
フィルタ３４を上部スライドシャフト３０内に取り付
け、取り外しする過程について説明する。
【００３２】通常、上部スライドシャフト３０は軸受け
部材２８を介してスライドブラケット４０に取り付けら
れた状態とされている。
部材２８を介してスライドブラケット４０に取り付けら
れた状態とされている。
【００３３】筒状エアフィルタ３４は、前記下部スライ
ドシャフト３２の上端にある位置決め突起３６に、その
開口３４Ｂが嵌合されるようにして、下部スライドシャ
フト３２上端に載せた状態で、下部スライドシャフト３
２と共に、上部スライドシャフト３０の下端開口から装
着部２７内に押し込み、この状態で、前記締付けナット
４８を、上部スライドシャフト３０のおねじ部４９に螺
合して、締付け固定する。
ドシャフト３２の上端にある位置決め突起３６に、その
開口３４Ｂが嵌合されるようにして、下部スライドシャ
フト３２上端に載せた状態で、下部スライドシャフト３
２と共に、上部スライドシャフト３０の下端開口から装
着部２７内に押し込み、この状態で、前記締付けナット
４８を、上部スライドシャフト３０のおねじ部４９に螺
合して、締付け固定する。
【００３４】上部スライドシャフト３０側の装着部２７
の内径は、筒状エアフィルタ３４の外径よりも大きくさ
れているが、位置決め突起３６が筒状エアフィルタ３４
の開口３４Ｂ内に突出して、その半径方向の位置決めを
するので、筒状エアフィルタ３４の外周と装着部２７の
内周との間には均一な隙間が形成される。また、軸方向
についても、筒状エアフィルタ３４は、前記装着部２７
上端の段部２７Ａと位置決め突起３６とによって位置決
め固定される。
の内径は、筒状エアフィルタ３４の外径よりも大きくさ
れているが、位置決め突起３６が筒状エアフィルタ３４
の開口３４Ｂ内に突出して、その半径方向の位置決めを
するので、筒状エアフィルタ３４の外周と装着部２７の
内周との間には均一な隙間が形成される。また、軸方向
についても、筒状エアフィルタ３４は、前記装着部２７
上端の段部２７Ａと位置決め突起３６とによって位置決
め固定される。
【００３５】従って、部品吸着ノズル２４によって電子
部品を吸着する際に、流入した外部空気は、負圧管路２
６Ｃ、２６Ｂを通って、位置決め突起３６の先端から筒
状エアフィルタ３４内に入り、その外周壁及び底部３４
Ａを通って、上部スライドシャフト３０側の負圧管路２
６Ａに吸引される。このとき、流入空気に金属粉、樹脂
粉等の異物が入り込んでいても、筒状エアフィルタ３４
の内側に漉し取られ、軸受け部材２８におけるシール部
材４４Ａ、４４Ｂ等に到達することがない。
部品を吸着する際に、流入した外部空気は、負圧管路２
６Ｃ、２６Ｂを通って、位置決め突起３６の先端から筒
状エアフィルタ３４内に入り、その外周壁及び底部３４
Ａを通って、上部スライドシャフト３０側の負圧管路２
６Ａに吸引される。このとき、流入空気に金属粉、樹脂
粉等の異物が入り込んでいても、筒状エアフィルタ３４
の内側に漉し取られ、軸受け部材２８におけるシール部
材４４Ａ、４４Ｂ等に到達することがない。
【００３６】筒状エアフィルタ３４内に漉し取られた異
物は、定期的に筒状エアフィルタ３４を取り外すことに
よって除去する。
物は、定期的に筒状エアフィルタ３４を取り外すことに
よって除去する。
【００３７】筒状エアフィルタ３４の取り外しは、前記
と逆の手順で、締付けナット４８をおねじ部４９から弛
め、下部スライドシャフト３２を下方に引き抜くと、筒
状エアフィルタ３４は位置決め突起３６上に載った状態
で容易に取り外すことができる。
と逆の手順で、締付けナット４８をおねじ部４９から弛
め、下部スライドシャフト３２を下方に引き抜くと、筒
状エアフィルタ３４は位置決め突起３６上に載った状態
で容易に取り外すことができる。
【００３８】筒状エアフィルタ３４は、新しいものに交
換してもよく、又、圧縮空気等によって内部に溜まった
異物を取り除くようにしてもよい。
換してもよく、又、圧縮空気等によって内部に溜まった
異物を取り除くようにしてもよい。
【００３９】なお、上記実施の形態の例において、筒状
エアフィルタ３４はセラミクスにより構成されている
が、本発明はこれに限定されるものでなく、エアフィル
タ機能を有するものであればよく、例えば、不織布、連
続発泡体により筒状に形成したもの等であってもよい。
エアフィルタ３４はセラミクスにより構成されている
が、本発明はこれに限定されるものでなく、エアフィル
タ機能を有するものであればよく、例えば、不織布、連
続発泡体により筒状に形成したもの等であってもよい。
【００４０】又、前記筒状エアフィルタ３４は、その底
部３４Ａが空気流れの下流側に、開口３４Ｂが上流側に
位置するように装着されているが、本発明はこれに限定
されるものでなく、上記とは反対向きに取り付けるよう
にしてもよい。
部３４Ａが空気流れの下流側に、開口３４Ｂが上流側に
位置するように装着されているが、本発明はこれに限定
されるものでなく、上記とは反対向きに取り付けるよう
にしてもよい。
【００４１】更に、前記筒状エアフィルタ３４は、上部
スライドシャフト３０内に装着されるようになっている
が、本発明はこれに限定されるものでなく、下部スライ
ドシャフト３２内に装着するようにしてもよく、又、筒
状エアフィルタ３４の軸方向中間部が、上部スライドシ
ャフト３０と下部スライドシャフト３２との接続端面位
置となるようにしてもよい。この場合は、筒状エアフィ
ルタ３４の取り外しが容易である。又、異物を捕捉でき
るものであれば筒状以外の形状としてもよい。
スライドシャフト３０内に装着されるようになっている
が、本発明はこれに限定されるものでなく、下部スライ
ドシャフト３２内に装着するようにしてもよく、又、筒
状エアフィルタ３４の軸方向中間部が、上部スライドシ
ャフト３０と下部スライドシャフト３２との接続端面位
置となるようにしてもよい。この場合は、筒状エアフィ
ルタ３４の取り外しが容易である。又、異物を捕捉でき
るものであれば筒状以外の形状としてもよい。
【００４２】
【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、部
品吸着ノズルから吸入された異物がシール部材に到達す
ることなく、これを確実に捕捉することができるので、
信頼性を向上させることができると共に、筒状エアフィ
ルタの取り付け、取り外しが簡単であるため、清掃等の
メンテナンスが容易であるという優れた効果を有する。
品吸着ノズルから吸入された異物がシール部材に到達す
ることなく、これを確実に捕捉することができるので、
信頼性を向上させることができると共に、筒状エアフィ
ルタの取り付け、取り外しが簡単であるため、清掃等の
メンテナンスが容易であるという優れた効果を有する。
【図１】本発明に係る部品装着装置のスライドシャフト
及び部品吸着ノズルを示す一部断面とした側面図
及び部品吸着ノズルを示す一部断面とした側面図
【図２】同スライドシャフト及び部品吸着ノズルを分解
した状態で示す断面図
した状態で示す断面図
【図３】上部スライドシャフト及びこれを保持するスラ
イドブラケットを示す一部断面とした側面図
イドブラケットを示す一部断面とした側面図
【図４】従来の電子部品実装機における部品吸着装置を
示す側面図
示す側面図
２０…部品吸着装置 ２２…スライドシャフト ２４…部品吸着ノズル ２６、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ…負圧管路 ２７…装着部 ２８…軸受け部材 ３０…上部スライドシャフト ３２…下部スライドシャフト ３４…筒状エアフィルタ ３４Ａ…底部 ３４Ｂ…開口 ３６…位置決め突起 ３８…連通ポート ４０…スライドブラケット ４４Ａ、４４Ｂ…シール部材
Claims (5)
- 【請求項１】鉛直方向に上下動され、且つ、中心軸線回
りに回転角度調節自在のスライドシャフトと、このスラ
イドシャフトの下端に着脱自在の部品吸着ノズルと、前
記スライドシャフト内を通り、前記部品吸着ノズルに負
圧を伝達する負圧管路と、前記スライドシャフトを中心
軸線回りに回転自在に支持する軸受け部材と、を有して
なり、負圧により、前記部品吸着ノズルの下端に電子部
品を吸着する電子部品実装機における部品吸着装置にお
いて、前記スライドシャフトを、上部スライドシャフト
と、この上部スライドシャフトの下端及びその内側の負
圧通路に、上端及びその内側の負圧通路が接続自在、且
つ、下端に前記部品吸着ノズルが着脱自在とされた下部
スライドシャフトと、から構成すると共に、吸入された
異物を捕捉するエアフィルタを、前記負圧通路内に、上
部スライドシャフトと下部スライドシャフトとの接続端
面から出入れ自在に設けたことを特徴とする電子部品実
装機における部品吸着装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記上部スライドシャ
フト及び下部スライドシャフトが接続されたとき、前記
負圧通路内に装着された前記エアフィルタの開口内に突
出し、該エアフィルタの軸方向及び径方向の位置決めを
する位置決め突起を設けると共に、この位置決め突起
に、前記負圧通路の一部を構成する貫通孔を形成したこ
とを特徴とする電子部品実装機における部品吸着装置。 - 【請求項３】請求項１又は２において、前記負圧通路
は、前記エアフィルタの装着部における内径が、エアフ
ィルタの外径よりも大きくされたことを特徴とする電子
部品実装機における部品吸着装置。 - 【請求項４】請求項１、２又は３において、前記エアフ
ィルタは、その底部側が、負圧通路内での空気流れの下
流側に向けて、且つ、前記開口側が空気流れの上流側に
向けて、前記負圧通路内に装着されるように構成したこ
とを特徴とする電子部品実装機における部品吸着装置。 - 【請求項５】請求項４において、前記上部スライドシャ
フトの負圧通路内に前記エアフィルタの装着部を形成す
ると共に、前記下部スライドシャフトを、これが前記上
部スライドシャフトに接続されるとき、前記エアフィル
タに開口側から当接して位置決めするように構成したこ
とを特徴とする電子部品実装機における部品吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13943598A JP4082783B2 (ja) | 1998-05-21 | 1998-05-21 | 電子部品実装機における部品吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13943598A JP4082783B2 (ja) | 1998-05-21 | 1998-05-21 | 電子部品実装機における部品吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11330792A true JPH11330792A (ja) | 1999-11-30 |
| JP4082783B2 JP4082783B2 (ja) | 2008-04-30 |
Family
ID=15245139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13943598A Expired - Fee Related JP4082783B2 (ja) | 1998-05-21 | 1998-05-21 | 電子部品実装機における部品吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4082783B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1154680A2 (en) * | 2000-05-01 | 2001-11-14 | FUJI MACHINE Mfg. Co., Ltd. | Electric-component holding head |
| WO2005011351A1 (en) * | 2003-07-30 | 2005-02-03 | Assembleon N.V. | Component placement device, nozzle exchange device as well as method for the exchange of nozzles |
| JP2008021820A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品実装ヘッドおよびエアフィルタユニット |
| JP2013135149A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Samsung Techwin Co Ltd | 表面実装機の吸着ヘッド |
| US9258936B2 (en) | 2011-12-27 | 2016-02-09 | Hanwha Techwin Co., Ltd. | Adsorption head for surface mounting device |
| JP2017050437A (ja) * | 2015-09-03 | 2017-03-09 | ヤマハ発動機株式会社 | 実装ヘッド、部品実装機 |
| JP2018069331A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 青山 省司 | 部品供給装置 |
| WO2018235809A1 (ja) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | Thk株式会社 | アクチュエータ及びアクチュエータユニット |
-
1998
- 1998-05-21 JP JP13943598A patent/JP4082783B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1154680A2 (en) * | 2000-05-01 | 2001-11-14 | FUJI MACHINE Mfg. Co., Ltd. | Electric-component holding head |
| EP1154680A3 (en) * | 2000-05-01 | 2002-08-21 | FUJI MACHINE Mfg. Co., Ltd. | Electric-component holding head |
| US6527322B2 (en) | 2000-05-01 | 2003-03-04 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Electric-component holding head |
| WO2005011351A1 (en) * | 2003-07-30 | 2005-02-03 | Assembleon N.V. | Component placement device, nozzle exchange device as well as method for the exchange of nozzles |
| JP2008021820A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品実装ヘッドおよびエアフィルタユニット |
| JP4618204B2 (ja) * | 2006-07-13 | 2011-01-26 | パナソニック株式会社 | 部品実装ヘッドおよびエアフィルタユニット |
| JP2013135149A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Samsung Techwin Co Ltd | 表面実装機の吸着ヘッド |
| US9258936B2 (en) | 2011-12-27 | 2016-02-09 | Hanwha Techwin Co., Ltd. | Adsorption head for surface mounting device |
| JP2017050437A (ja) * | 2015-09-03 | 2017-03-09 | ヤマハ発動機株式会社 | 実装ヘッド、部品実装機 |
| JP2018069331A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 青山 省司 | 部品供給装置 |
| WO2018235809A1 (ja) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | Thk株式会社 | アクチュエータ及びアクチュエータユニット |
| JP2019005844A (ja) * | 2017-06-23 | 2019-01-17 | Thk株式会社 | アクチュエータ及びアクチュエータユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4082783B2 (ja) | 2008-04-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10639575B2 (en) | Air filter with balanced seal | |
| JPH11330792A (ja) | 電子部品実装機における部品吸着装置 | |
| KR100803721B1 (ko) | 공기증폭기를 이용한 압축공기 분사장치 | |
| MY195607A (en) | Filtering Devices for Evacuation Stations | |
| KR20030071006A (ko) | 진공청소기용 사이클론 집진장치의 그릴 조립체 | |
| US7582168B2 (en) | Method and apparatus for cleaning semiconductor wafer | |
| CN112750688B (zh) | 一种晶圆清洗方法 | |
| JP2014100772A (ja) | 研削装置 | |
| EP3337370A1 (en) | Cyclone dust collector and vacuum cleaner having the same | |
| JP2009095747A (ja) | 集塵装置および集塵方法 | |
| JP4431120B2 (ja) | シール装置 | |
| WO2017030263A1 (ko) | 블로우 파이프의 구조를 개선한 집진기 | |
| KR200494459Y1 (ko) | 필터 하우징 조립체 | |
| JP5950144B2 (ja) | 空気浄化装置およびその試験システム | |
| JP2006239655A (ja) | インラインフィルタ装置 | |
| US4796795A (en) | Flux fume removal device | |
| JP6894996B2 (ja) | 集塵装置用部材 | |
| KR20160068085A (ko) | 산업용 정수기 필터 고정장치 | |
| JP2013022703A (ja) | 夾雑物回収方法 | |
| CN221632547U (zh) | 一种半导体真空吸盘 | |
| RU2004136274A (ru) | Устройство и способ для детектирования возникновения пожаров | |
| JP2790408B2 (ja) | 真空式液体輸送装置の仕切り弁 | |
| KR100617628B1 (ko) | 진공 청소기 집진 필터의 고정 장치 | |
| CN105964078B (zh) | 除尘系统 | |
| JPH08172047A (ja) | 基板の回転処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050517 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071016 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071207 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080115 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080212 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120222 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120222 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130222 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130222 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140222 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |