KR200494459Y1 - 필터 하우징 조립체 - Google Patents

Abstract

필터 하우징 조립체가 제공된다. 본 고안의 예시적인 실시예에 따른 필터 하우징 조립체는 일측에 유체가 유입되도록 유입구가 형성되고 타측에 상기 유체가 배출되도록 배출구가 형성된 하우징; 상기 하우징 내부에 배치되고, 중심부에 중심홀이 형성되며, 상기 유입구를 통해 유입된 상기 유체를 필터링하는 필터; 및 상기 하우징 내부에서 상기 중심홀을 덮도록 형성되어 상기 유체가 상기 중심홀로 유입되는 것을 방지하고 상기 필터를 고정시키는 고정부를 포함한다.

Description

필터 하우징 조립체{FILTER HOUSING ASSEMBLY}

본 고안은 필터 하우징 조립체에 관한 것이다.

웨이퍼 가공의 확산 공정, 박막 증착 공정, 노광 공정 또는 식각 공정과 같은 반도체 제조 공정 중에서, 배기가스가 발생된다. 발생된 배기가스는 일반적으로 공정이 진행된 챔버에서 그 외부로 방출시키는데, 이 때, 챔버의 배기가스를 정화시킨 후에 방출되도록 한다.

그 이유는, 배기가스에는 인체에 악영향을 끼치는 독성물질, 미세먼지 또는 인체나 환경에 악영향을 끼지는 파우더가 다량 함유되어 있기에, 배기가스 내의 파우더를 제거시키는 정화공정이 필수로 시행되고 있다.

이러한 정화공정에서 배기가스의 파우더를 제거하는데 쓰이는 배기가스 처리 장치는 일반적으로 챔버의 배기관과 연결되는데 간단히, 챔버에서 배출되는 배기가스를 공급받을 수 있고, 공급받은 배기가스를 정화 후 배출시킬 수 있다.

여기서, 배기가스 처리 장치와 챔버를 연결하는 배기관에는 파우더에 의해 막히는 문제를 해소하기 위해 배기가스를 필터링하는 필터가 추가로 설치되는 경우가 있다. 이러한 필터는 일반적으로 배기가스가 유입되는 하우징 내에 내장되어 있다.

정화 공정 중 하우징 내부에서 필터가 고정되지 않아 자유자재로 흔들리면서 하우징 내벽면에 부딪힐 수 있다. 이로 인해서 필터는 파손되거나 파우더의 탈각이 발생되어 파우더를 포집하는 효율이 다소 떨어진다.

또한, 하우징 내부에 필터가 내장된 구조 역시 복잡하여 필터의 교체작업이 수월하지 못하다는 문제점이 있었다.

본 고안의 일 실시예는 내부에 필터를 용이하게 고정시키고 필터의 파손을 방지하며 배기가스의 파우더를 효율적으로 포집할 수 있는 필터 하우징 조립체를 제공하고자 한다.

본 고안의 일 측면에 따르면, 일측에 유체가 유입되도록 유입구가 형성되고 타측에 상기 유체가 배출되도록 배출구가 형성된 하우징; 상기 하우징 내부에 배치되고, 중심부에 중심홀이 형성되며, 상기 유입구를 통해 유입된 상기 유체를 필터링하는 필터; 및 상기 하우징 내부에서 상기 중심홀을 덮도록 형성되어 상기 유체가 상기 중심홀로 유입되는 것을 방지하고 상기 필터를 고정시키는 고정부를 포함하는 필터 하우징 조립체가 제공된다.

또한, 상기 고정부는, 상기 중심홀의 일단부에 설치되어, 상기 중심홀을 덮도록 형성되는 이동부재; 상기 하우징의 하단부에 고정되고, 상기 중심홀 내부에 설치되며 표면에 나사산이 형성된 볼트부재; 및 상기 볼트부재에 체결되어 상기 이동부재가 상기 중심홀을 덮어 밀봉되도록 상기 이동부재를 이동시키는 너트부재를 포함할 수 있다.

이 때, 상기 고정부는, 상기 중심홀의 하단부에 배치되어, 상기 중심홀을 제외한 상기 필터의 하단부를 덮도록 형성된 고정부재를 더 포함하고, 상기 볼트부재는 상기 이동부재의 중심부를 삽입 관통하여 설치되고, 상기 이동부재 및 상기 고정부재가 상기 필터에 밀착될 수 있도록 상기 이동부재 및 상기 고정부재를 서로 연결시킬 수 있다.

이 때, 상기 이동부재 및 상기 고정부재 중 적어도 하나에는 상기 필터와 접촉되도록 돌출된 고정돌기가 형성되고, 상기 이동부재 및 상기 고정부재가 상기 필터에 밀착될 때, 상기 고정돌기가 상기 필터에 삽입될 수 있다.

또한, 상기 고정부는, 상기 고정부재에서 상기 유입구로 향하는 면상에 위치하고, 상기 볼트부재의 말단부가 고정되는 볼트고정부재를 더 포함할 수 있다.

이 때, 상기 볼트고정부재는, 상기 고정부재의 상부로 일정간격 이격되어 배치된 고정판; 및 상기 고정판의 양단부에서 고정부재를 향해 연장 형성된 고정다리를 포함하고, 상기 고정판과 상기 고정부재 사이에 배출공간이 형성된다.

또한, 상기 필터 하우징 조립체는 상기 하우징의 일단부에 설치되어 상기 유입구를 개폐가능한 덮개부를 더 포함할 수 있다.

이 때, 상기 필터 하우징 조립체는 상기 덮개부와 상기 하우징의 일단부에 연결되어 상기 덮개부를 상기 하우징에 밀봉시키는 조임부재가 제공된다.

이때, 상기 조임부재는, 상기 덮개부와 상기 하우징의 일단부의 가장자리가 삽입되도록 일측이 개방되고, 개방된 일면에는 관통된 체결홀이 형성된 조임몸체; 및 상기 체결홀에 삽입되어 체결되고, 상기 조임몸체에 삽입된 상기 덮개부와 상기 하우징의 일단부를 밀착시키는 조임핀이 제공된다.

한편, 상기 필터는 이온교환을 할 수 있는 합성섬유로 형성된다.

한편, 상기 필터 하우징 조립체는 상기 덮개부와 상기 하우징이 끼워져 상기 하우징에 상기 덮개부를 고정시키는 밀폐부를 더 포함할 수 있다.

본 고안의 일 실시예에 따른 필터 하우징 조립체는 필터에서 필터링된 유체를 선택적으로 배출시키는 것으로, 유체에 포함된 파우더를 효율적으로 포집할 수 있다.

본 고안의 일 실시예에 따른 필터 하우징 조립체는 고정부를 통하여 하우징 내벽면에 필터가 부딪치는 것이 방지되도록 하우징 내부에서 필터를 안전하게 고정시킬 수 있고, 이에 따라, 필터의 파손을 방지하고 필터에서 파우더가 탈각되는 현상을 방지할 수 있다.

도 1은 본 고안의 제1 실시예에 따른 필터 하우징 조립체가 반도체 공정 장치의 배관에 설치된 모습을 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 고안의 제1 실시예에 따른 필터 하우징 조립체에 유입된 유체가 필터링되어 배출용유체로 배출되는 모습을 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 고안의 제1 실시예에 따른 각 구성이 분리된 필터 하우징 조립체를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 고안의 제1 실시예에 따른 도 3의 A에 대한 몸체조임부재의 확대 분해도이다.
도 5는 본 고안의 제1 실시예에 따른 도 3의 B에 대한 확대도이다.
도 6은 본 고안의 제2 실시예에 따른 필터 하우징 조립체에 유입된 유체가 필터링되어 배출용유체로 배출되는 모습을 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 고안의 제2 실시예에 따른 유입구가 개방되고, 각 구성이 분리된 필터 하우징 조립체를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 고안의 제2 실시예에 따른 도 6의 C-C 단면도이다.
도 9는 본 고안의 제2 실시예에 따른 도 8의 D에 대한 확대도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 고안의 실시예에 대하여 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 고안은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 고안을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.

도 1은 본 고안의 제1 실시예에 따른 필터 하우징 조립체가 반도체 공정 장치의 배관에 설치된 모습을 나타낸 개략도이고, 도 2는 본 고안의 제1 실시예에 따른 필터 하우징 조립체에 유입된 유체가 필터링되어 배출용유체로 배출되는 모습을 나타낸 사시도이다. 도 3은 본 고안의 제1 실시예에 따른 각 구성이 분리된 필터 하우징 조립체를 나타낸 도면이다.

이하의 설명에서 도 2에서 볼 때 배출배관구(12)에서 유입배관구(41) 쪽을 상부방향으로 규정하여 설명하고 유입배관구(41)에서 배출배관구(12) 쪽을 하부방향으로 규정하여 설명한다.

도 1을 참조하면, 필터 하우징 조립체(1)는 반도체 공정 장치의 배관(5, 7) 사이에 설치될 수 있다. 도 2 및 3을 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 필터 하우징 조립체(1)는 하우징(10), 필터(20), 고정부(30), 덮개부(40) 및 밀폐부(60)를 포함한다.

하우징(10)은 원통 형상으로 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 하우징(10)의 상부측에는 유체(2)가 유입되도록 유입구(11)가 형성될 수 있고, 하우징의 하부측에는 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이 유체가 배출되도록 배출구(14)가 형성될 수 있다.

본 고안의 유체(2)는 반도체 공정 챔버(4)에서 발생되는 배기가스로써, 독성물질이나 미세먼지와 같은 파우더가 다량 함유되어 있는 것일 수 있다. 여기서, 파우더는 이온화 물질로, 후술될 필터(20)에 이온 결합되어 흡착된다.

하우징(10)의 유입구(11) 및 배출구(14)는 유체(2)가 필터링 되도록 하우징(10) 내부로 유입되거나 반도체 장비의 배기가스 처리 장치(6)로 배출되도록 형성될 수 있다.

이러한 유입구(11) 또는 배출구(14)는 하우징(10)에 돌출 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 이때 유입구(11)는 챔버배관(5)과 연결될 수 있고 배출배관구(12)는 방출배관(7)과 연결될 수 있다.

유입구(11)에는 덮개부(40)가 배치될 수 있고, 배출구(14)에는 배출부(18)가 배치될 수 있다.

덮개부(40)는 하우징(10)의 일단부에 배치되어, 유입구(11)를 개폐시킬 수 있다. 이러한 덮개부(40)에는 유입배관구(41)가 형성될 수 있다.

유입배관구(41)는 덮개부(40)의 외측으로 돌출 형성될 수 있다. 유입배관구(41)는 반도체 공정 챔버(4)의 챔버배관(5)과 연결될 수 있다. 이러한 유입배관구(41)는 챔버배관(5)의 유체(2)가 하우징(10) 내부로 유입되도록 하우징(10)의 내부공간과 관통될 수 있다.

배출부(18)는 배출구(14)의 개방된 면을 덮을 수 있다. 이러한 배출부(18)는 배출구(14)가 형성된 하우징(10)의 가장자리에 미리 용접될 수 있다.

배출부(18)에는 하방으로 돌출된 배출배관구(12)가 형성될 수 있다. 배출배관구(12)는 방출배관(7)과 연결될 수 있고, 이러한 배출배관구(12)를 통해 하우징(10) 내부의 유체(2)를 방출배관(7)으로 유동시킬 수 있다.

한편, 필터(20)는 음이온 또는 양이온으로 이온화된 이온교환섬유로, 유체(2)가 필터(20)에 접촉 시, 유체(2)의 파우더가 필터(20)의 음이온 또는 양이온과 이온 결합되어 필터(20)에 적층 상태로 포집될 수 있다.

유체(2)가 필터(20)의 외측면에서 중심홀(21)을 향해 이동할 때, 파우더가 필터(20)와 이온 결합되어 필터(20)에 흡착될 수 있다. 이때, 파우더가 제거된 유체(2)가 중심홀(21)로 유입될 수 있고, 중심홀(21)로 유입된 유체(2)는 배출배관구(12)로 배출될 수 있다.

이를 통해 본 고안의 제1 실시예에 따른 필터 하우징 조립체(1)는 유체(2)의 유입통로와 배출통로를 공간적으로 분리함으로써 유체(2)에 포함되어 있는 파우더를 효율적으로 포집할 수 있다.

고정부(30)는 하우징(10) 내부에 필터(20)를 고정시킴으로써 정화 공정 중 하우징(10) 내부에서 필터(20)가 고정되지 않아 자유자재로 흔들리면서 하우징(10) 내벽면에 부딪치는 것을 방지함으로써 필터(20)의 파손을 방지하고 파우더의 탈각 현상을 방지하여 파우더를 포집할 수 있는 포집율을 높일 수 있다.

도 2를 참고하면, 이동부재(33)는 필터(20)와 너트부재(32) 사이의 중심홀(21) 상단부에 설치될 수 있다. 이때 본 고안의 일 실시예에서 이동부재(33)는 원판 형상으로 적어도 중심홀(21)을 덮도록 형성될 수 있다. 즉 이동부재(33)의 단면적은 중심홀(21)의 단면적보다 넓어서 유체(2)가 중심홀(21)로 유입되는 것을 방지할 수 있다.

또한 도 2에 도시된 바와 같이, 고정부(30)의 이동부재(33) 및 고정부재(36) 중 적어도 하나에는 필터(20)와 접촉되도록 돌출된 고정돌기(33a, 36a)가 형성될 수 있다.

고정돌기(33a, 36a)는 이동부재(33) 또는 고정부재(36)의 적어도 하나에서 필터(20)와 마주보는 면상으로 돌출될 수 있다.

예를 들면, 고정돌기(33a, 36a)는 그 끝단이 필터(20)와 선 접촉되도록 날이 선 형상으로 형성될 수 있다. 고정돌기(33a, 36a)는 필터(20)와 밀착 시, 필터(20)에 삽입될 수 있다.

이러한 고정돌기(33a, 36a)는 도 2에 도시된 바와 같이, 고정부재(36) 및 이동부재(33)에서 필터(20)를 향하는 면상에 각각 형성될 수 있다. 그러면, 중심홀(21)의 배치가 안전하게 유지되도록, 필터(20)를 안전하게 고정시킬 수 있다는 장점이 있다.

고정부재(36)는 필터(20)와 하우징(10) 하부면 사이에 중심홀(21)의 하단부에 설치될 수 있다. 이때, 본 고안의 일 실시예에서 고정부재(36)는 링 형상일 수 있다.

이러한 고정부재(36)의 중심부에는 배출홀(36b)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 고정부재(36)는 필터(20)의 중심홀(21)을 제외한 필터(20)의 하부면을 덮도록 형성될 수 있다.

고정부재(36)는 배출배관구(12)와 근접하게 하우징(10)의 내측면에 배치되어 배출배관구(12)와 연결될 수 있다. 이때 배출홀(36b)의 단면적은 중심홀(21)의 단면적과 동일하거나 작게 형성될 수 있다. 또한 중심홀(21)은 배출홀(36b)과 연통되도록 필터(20)가 고정부재(36)의 상부면에 안착될 수 있다.

한편, 배출배관구(12)는 중심홀(21) 및 배출홀(36b)과 연통되도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 필터(20)에 의해 필터링되어 중심홀(21) 내부로 유입된 유체(2)만이 배출배관구(12)를 통해 배출될 수 있다. 따라서, 유체(2)의 유입통로와 배출통로를 공간적으로 분리함으로써 유체(2)에 포함되어 있는 파우더를 효율적으로 포집할 수 있다.

한편, 볼트부재(31)는 원기둥 형상으로 형성될 수 있다. 이러한 볼트부재(31)는 필터(20)의 길이보다는 길고 하우징(10)의 길이보다는 짧게 형성될 수 있다. 볼트부재(31)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상단부는 이동부재(33)와 연결되고, 하단부는 고정부재(36)와 연결될 수 있다. 이러한 볼트부재(31)의 표면에는 나사산이 형성될 수 있다.

한편, 볼트고정부재(35)는 도 3에 도시된 바와 같이, 고정부재(36)의 상부에 위치한 것으로, 볼트고정부재(35)는 고정다리(35a) 및 고정판(35b)을 포함할 수 있다.

고정판(35b)은 고정부재(36)의 상부에서 고정부재(36)와 일정간격 이격되어 배치될 수 있다. 이러한 고정판(35b) 중심에는 도 3에 도시된 바와 같이, 볼트부재(31)의 하단부가 고정되는 볼트고정홀(35c)이 형성되어 있다. 그러면, 볼트부재(31)가 볼트고정홀(35c)에 삽입되면서, 고정판(35b)에 고정될 수 있다.

고정판(35b)의 상부에는 고정용너트(34)가 배치될 수 있다. 고정용너트(34)에는 도 3에 도시된 바와 같이, 볼트부재(31)의 나사산을 따라 볼트부재(31)를 관통하는 볼트관통홀(34a)이 형성될 수 있다. 이러한 고정용너트(34)는 고정판(35b)에 밀착되어, 볼트고정홀(35c)에 고정된 볼트부재(31)가 임의로 풀리는 것을 방지시킬 수 있다.

고정다리(35a)는 고정판(35b)의 양단부에서 고정부재(36)를 향해 연장되도록 형성될 수 있다. 이러한 고정다리(35a)는 고정부재(36)의 상부면에서 배출홀(36b)이 형성된 부분에 미리 용접될 수 있다.

예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이 고정판(35b)은 중심홀(21)의 직경보다 상대적으로 짧게 형성될 수 있다.

고정다리(35a)는 고정판(35b)을 중심으로 굽은 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 고정다리(35a)의 하단부에서 상단부로 점차 폭이 줄어들도록 형성될 수 있다. 그러면, 필터(20)가 고정부재(36)를 향해 삽입될 때, 폭이 좁은 고정다리(35a)의 상단부가 중심홀(21)에 먼저 삽입되면서 볼트고정부재(35)가 중심홀(21)에 수월하게 삽입될 수 있다.

또한, 고정판(35b)이 중심홀(21)을 막지 않아 중심홀(21)을 지나는 배출용유체(3)가 배출홀(36b)로 배출되는 배출통로의 공간을 확보할 수 있는 효과가 있다.

한편, 고정판(35b)과 배출홀(36b) 사이에는 배출공간(35d)이 형성될 수 있다. 이러한 배출공간(35d)은 고정판(35b)이 고정부재(36)에서 일정간격 이격되면서 형성될 수 있다. 이에 따라, 고정판(35b)을 지난 배출용유체(3)가 배출공간(35d)으로 이동되면서 배출홀(36b)로 방출될 수 있다. 또한, 예를 들어 고정판(35b)이 중심홀(21)의 단면적과 대응되게 형성되었다 하더라도, 배출공간(35d)으로 배출용유체(3)가 이동되면서 배출홀(36b)로 방출될 수 있는 효과가 있다.

너트부재(32)는 볼트부재(31)에 체결되어 이동부재(33)가 중심홀(21)을 덮어 밀봉되도록 이동부재(33)를 이동시킬 수 있다. 예를 들어 너트부재(32)는 나비너트로 제공될 수 있다.

이에 따라, 중심홀(21)에 볼트부재(31)가 배치된 상태에서 너트부재(32)가 나사산을 따라 이동부재(33)를 필터(20)에 밀착되도록 이동시키면, 필터(20)가 이동부재(33) 및 고정부재(36) 사이에 밀착되면서 고정될 수 있다.

한편, 오링(15)은 유입구(11)가 형성된 하우징(10)의 가장자리 부분에 배치될 수 있다. 이러한 오링(15)은 압력이 가해지면 변형되는 탄성을 띄는 합성 고무 재질일 수 있다.

이러한 오링(15)은 하우징(10)과 덮개부(40) 사이의 밀봉작업에 도움을 줄 수 있다. 예를 들면, 오링(15)은 하우징(10)과 덮개부(40) 사이의 틈을 채워줄 수 있어 하우징(10)과 덮개부(40) 사이가 더욱 면밀히 밀폐될 수 있다. 그러면, 하우징(10)과 덮개부(40) 사이에서 유체(2)가 외부로 유출되는 사고를 방지시킬 수 있다.

한편, 밀폐부(60)는 하우징(10)에 덮개부(40)를 고정시키는 것으로, 밀폐몸체(61) 및 몸체조임부재(65)를 포함한다.

밀폐몸체(61)는 일부가 개방된 링 형상일 수 있다. 이러한 밀폐몸체(61) 내측에는 밀폐홈(61a)이 형성될 수 있다. 밀폐홈(61a)은 움푹 파인 형상으로, 덮개부(40)와 하우징(10)의 가장자리가 끼워질 수 있다. 이때, 밀폐홈(61a)에 덮개부(40)와 하우징(10)이 서로 밀착될 수 있다.

한편, 밀폐몸체(61)에는 밀폐몸체(61)가 굽혀지도록 힌지(62)가 설치될 수 있다. 본 실시예에서는 밀폐몸체(61)에 힌지(62)가 2개로 형성되어 있으나 이에 한정되지는 않는다.

이에 따라 도 3에 도시된 바와 같이, 힌지(62)에 의해 밀폐몸체(61)가 굽혀질 수 있다.

예를 들면, 밀폐몸체(61)가 힌지(62)에 의해 넓게 벌려질 수 있다. 그러면, 밀폐홈(61a)에 덮개부(40)와 하우징(10)의 가장자리를 끼운 후, 벌려진 밀폐몸체(61)를 다시 좁혀주면, 덮개부(40)와 하우징(10)의 가장자리가 밀폐홈(61a)에 끼워질 수 있다. 이때, 밀폐홈(61a)에서 덮개부(40)와 하우징(10)이 서로 밀착될 수 있다.

밀폐몸체(61)의 개방된 부분의 양 말단부 중 하나에는 외측으로 돌출된 고정돌기부(64)가 형성될 수 있다. 또한, 밀폐몸체(61)의 고정돌기부(64)가 형성되지 않은 말단부에는 외측으로 돌출된 밀착돌기부(63)가 형성될 수 있다.

도 4는 본 고안의 제1 실시예에 따른 도 3의 A에 대한 몸체조임부재의 확대 분해도이다.

도 4를 참조하면, 고정돌기부(64)는 돌출된 방향으로 개방될 수 있고, 개방된 상부면 및 하부면에는 고정돌기부(64)의 돌출된 방향과 수직인 방향으로 관통될 수 있는 고정홀(64a)이 형성될 수 있다. 이러한 고정돌기부(64)의 개방된 부분에 몸체조임부재(65)의 회전체(69)가 삽입될 수 있다. 또한, 고정홀(64a)에는 몸체조임부재(65)의 회전축(66)이 삽입될 수 있다. 그러면, 몸체조임부재(65)가 고정돌기부(64)에 회전 가능하게 고정될 수 있다.

한편, 몸체조임부재(65)는 조임너트(67), 조임볼트(68), 회전체(69) 및 회전축(66)을 포함할 수 있다.

조임너트(67)에는 조임홀(67a)이 형성될 수 있다. 이러한 조임홀(67a)에는 조임볼트(68)가 삽입될 수 있다. 이러한 조임홀(67a)의 내측면에서 조임볼트(68)의 나사산을 따라 조임너트(67)를 이동시킬 수 있다.

예를 들면, 조임너트(67)는 작업자가 손으로 쉽게 잡아 돌릴 수 있도록 넓은 면을 가질 수 있다..

조임볼트(68)는 일정길이 길게 형성되될 수 있다. 예를 들어, 조임볼트(68)의 외면에는 나사산이 형성될 수 있다. 조임볼트(68)의 일단부에는 회전체(69)와 연결될 수 있고, 타단부에는 조임너트(67)가 연결될 수 있다.

예를 들어, 회전체(69)는 조임볼트(68)와 일체 형성될 수 있다.

이러한 회전체(69)에는 고정돌기부(64) 상부면의 고정홀(64a)을 관통한 회전축(66)이 이어서 관통될 수 있는 회전홀(69a)이 형성될 수 있다.

고정돌기부(64) 상부면의 고정홀(64a)을 관통한 회전축(66)이 회전체(69)의 회전홀(69a)을 지나 고정돌기부(64) 하부면의 고정홀(64a)을 관통할 수 있다. 그러면, 회전축(66)을 통해 고정돌기부(64)와 회전체(69)가 연결될 수 있다.

회전축(66)은 고정홀(64a) 및 회전홀(69a)을 이어서 관통할 수 있는 길이로 형성될 수 있다. 이러한 회전축(66)은 원기둥 형상으로 형성될 수 있다. 회전축(66)의 양 말단부에는 축밀착부(66a)가 형성될 수 있다. 축밀착부(66a)는 고정홀(64a)에 관통되지 않고 고정돌기부(64)의 외면에 밀착될 수 있다.

예를 들어 도 4에 도시된 바와 같이, 회전축(66)의 양 말단부 중 하나에는 축밀착부(66a)가 일체 형성될 수 있다. 그러면, 회전축(66)의 축밀착부(66a)가 형성되지 않은 말단부가 고정돌기부(64) 상부면의 고정홀(64a), 회전홀(69a), 고정돌기부(64) 하부면의 고정홀(64a)을 이어서 관통할 수 있다. 이때, 회전축(66) 상단의 축밀착부(66a)에 의해 더이상 관통되지 않을 수 있다.

이러한 상태에서, 고정돌기부(64) 하부면의 고정홀(64a)을 관통한 회전축(66)의 말단부에 축밀착부(66a)를 결합시킬 수 있다. 이때, 축밀착부(66a)는 고정돌기부(64)의 외면에 밀착될 수 있다.

이때, 축밀착부(66a)가 고정돌기부(64)의 외면에 밀착되어 고정될 수 있다. 이에 따라, 회전축(66)이 상하로 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 회전축(66)이 임의로 회전되는 것을 방지할 수 있다.

회전홀(69a)이 회전축(66)에 삽입된 상태에서 회전축(66)이 고정돌기부(64)에 고정되면, 고정돌기부(64)에서 회전체(69)가 회전 가능하게 설치될 수 있다. 그러면, 회전체(69)에서 연장 형성된 조임볼트(68)를 밀착돌기부(63)로 회전시킬 수 있다.

도 5는 본 고안의 제1 실시예에 따른 도 3의 B에 대한 확대도이다.

도 5를 참조하면, 밀착돌기부(63)는 돌출될 방향으로 개방될 수 있고, 개방된 부분에 조임볼트(68)가 진입하여 배치될 수 있다.

그러면, 조임볼트(68)에 의해 고정돌기부(64)와 밀착돌기부(63)가 연결되면서, 밀폐몸체(61)의 개방된 부분이 연결될 수 있다.

여기서, 조임너트(67)를 조여주면, 조임너트(67)가 밀착돌기부(63)의 외면에 밀착될 수 있다.

이때, 회전체(69)가 임의로 회전되거나 상하로 움직이지 않도록 회전체(69)를 고정한 후, 조임너트(67)를 조여줄 수 있다. 여기서, 회전체(69)의 고정에 있어 작업자가 손으로 회전체(69)를 고정하거나, 별도의 고정도구를 이용할 수 있다.

예를 들면, 밀폐홈(61a)에 덮개부(40)와 하우징(10)의 가장자리가 삽입된 후, 조임볼트(68)를 밀착돌기부(63)의 개방된 부분에 삽입하여 조임너트(67)로 조여주면, 덮개부(40)가 하우징(10)에 고정될 수 있다. 이때, 하우징(10)과 덮개부(40)가 밀착되면서 그 사이가 밀폐될 수 있다.

밀착돌기부(63)에는 오목진 밀착홈(63a)이 형성될 수 있다. 밀착홈(63a)은 도 5에 도시된 바와 같이, 밀착돌기부(63)의 우측에 형성될 수 있다. 이러한 밀착홈(63a)은 밀착돌기부(63)의 개방된 부분의 상하부에 각각 형성될 수 있다.

밀착홈(63a)은 밀착돌기부(63)에 면접촉되는 조임너트(67)의 굴곡진 형상과 대응되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 조임너트(67)가 밀착홈(63a)에 의해 밀착될 수 있다. 또한, 조임너트(67)가 조임볼트(68)의 나사산을 따라 조여지도록 회전될 때, 밀착홈(63a)의 라운드진 형상에 의해 조임너트(67)의 마모를 줄일 수 있다.

도 6은 본 고안의 제2 실시예에 따른 필터 하우징 조립체에 유입된 유체가 필터링되어 배출용유체로 배출되는 모습을 나타낸 사시도이고, 도 7은 본 고안의 제2 실시예에 따른 유입구가 개방되고, 각 구성이 분리된 필터 하우징 조립체를 나타낸 도면이다.

도 6 및 7을 참조하면, 본 고안의 제2 실시예에 따른 필터 하우징 조립체(1)는 하우징(10), 필터(20), 고정부(30), 덮개부(40) 및 조임부재(50)를 포함한다.

하우징(10)은 원통 형상으로 예를 들어, 도 6에 도시된 바와 같이 하우징(10)의 상부측에는 유체(2)가 유입되도록 유입구(11)가 형성될 수 있고, 하우징(10)의 하부측에는 예를 들어 도 6에 도시된 바와 같이, 유체(2)가 배출되도록 배출배관구(12)가 형성될 수 있다.

하우징(10)의 유입구(11) 및 배출배관구(12)는 유체(2)가 필터링 되도록 하우징(10) 내부로 유입되거나 반도체 장비의 배기가스 처리 장치(6)로 배출되도록 형성될 수 있다.

이러한 유입구(11) 또는 배출배관구(12)는 하우징(10)에 돌출 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 이때 유입구(11)는 챔버배관(5)과 연결될 수 있고 배출배관구(12)는 방출배관(7)과 연결될 수 있다.

필터(20)는 원통 형상으로 하우징(10) 내부에 배치될 수 있고, 필터(20)의 중심부에는 중심홀(21)이 형성될 수 있다. 이때, 필터(20)는 하우징(10)의 내부에서 유입구(11)를 통해 유입된 유체(2)를 필터링함으로써, 즉, 유체(2)에 포함된 파우더를 흡착함으로써, 유체(2)에서 파우더를 필터링할 수 있다.

필터(20)는 음이온 또는 양이온으로 이온화된 이온교환섬유로, 유체(2)가 필터(20)에 접촉 시, 유체(2)의 파우더가 필터(20)의 음이온 또는 양이온과 이온 결합되어 필터(20)에 적층 상태로 포집될 수 있다.

유체(2)가 필터(20)의 외측면에서 중심홀(21)을 향해 이동할 때, 파우더가 필터(20)와 이온 결합되어 필터(20)에 흡착될 수 있다. 이때, 파우더가 제거된 유체(2)가 중심홀(21)로 유입될 수 있고, 중심홀(21)로 유입된 유체(2)는 배출배관구(12)로 배출될 수 있다.

이를 통해 본 고안의 이 실시예에 따른 필터 하우징 조립체(1)는 유체(2)의 유입통로와 배출통로를 공간적으로 분리함으로써 유체(2)에 포함되어 있는 파우더를 효율적으로 포집할 수 있다.

고정부(30)는 하우징(10) 내부에 필터(20)를 고정시킴으로써 정화 공정 중 하우징(10) 내부에서 필터(20)가 고정되지 않아 자유자재로 흔들리면서 하우징(10) 내벽면에 부딪치는 것을 방지함으로써 필터(20)의 파손을 방지하고 파우더의 탈각 현상을 방지하여 파우더를 포집할 수 있는 포집율을 높일 수 있다.

도 6을 참고하면, 이동부재(33)는 필터(20)와 너트부재(32) 사이에 중심홀(21)의 상단부에 설치될 수 있다. 이때 본 고안의 이 실시예에서 이동부재(33)는 원판 형상으로 적어도 중심홀(21)을 덮도록 형성될 수 있다. 즉 이동부재(33)의 단면적은 중심홀(21)의 단면적보다 넓어서 유체(2)가 중심홀(21)로 유입되는 것을 방지할 수 있다.

또한 도 6에 도시된 바와 같이, 고정부(30)의 이동부재(33) 및 고정부재(36) 중 적어도 하나에는 필터(20)와 접촉되도록 돌출된 고정돌기(33a, 36a)가 형성될 수 있다.

고정돌기(33a, 36a)는 이동부재(33) 또는 고정부재(36)의 적어도 하나에서, 필터(20)와 마주보는 면상으로 돌출될 수 있다. 예를 들면 고정돌기(33a, 36a)는 그 끝단이 필터(20)와 선 접촉되도록 날이 선 형상으로 형성될 수 있다. 이러한 고정돌기(33a, 36a)는 필터(20)와 밀착 시, 필터(20)에 삽입될 수 있다.

이러한 고정돌기(33a, 36a)는 도 6에 도시된 바와 같이, 고정부재(36) 및 이동부재(33)에서 필터(20)를 향하는 면상에 각각 형성될 수 있다. 그러면, 중심홀(21)의 배치가 안전하게 유지되도록, 필터(20)를 안전하게 고정시킬 수 있다는 장점이 있다.

고정부재(36)는 필터(20)와 하우징(10) 하부면 사이에 중심홀(21)의 하단부에 설치될 수 있다. 이때, 본 고안의 이 실시예에서 고정부재(36)는 링 형상일 수 있다.

이러한 고정부재(36)의 중심부에는 배출홀(36b)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 고정부재(36)는 필터(20)의 중심홀(21)을 제외한 필터(20)의 하부면을 덮도록 형성될 수 있다.

고정부재(36)는 배출배관구(12)와 근접하게 하우징(10)의 내측면에 배치되어 배출배관구(12)와 연결될 수 있다. 이때 배출홀(36b)의 단면적은 중심홀(21)의 단면적과 동일하거나 작게 형성될 수 있다. 또한 중심홀(21)은 배출홀(36b)과 연통되도록 필터(20)가 고정부재(36)의 상부면에 안착될 수 있다.

한편, 배출배관구(12)는 중심홀(21) 및 배출홀(36b)과 연통되도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 필터(20)에 의해 필터링되어 중심홀(21) 내부로 유입된 유체(2)만이 배출배관구(12)를 통해 배출될 수 있다. 따라서, 유체(2)의 유입통로와 배출통로를 공간적으로 분리함으로써 유체(2)에 포함되어 있는 파우더를 효율적으로 포집할 수 있다.

한편, 볼트부재(31)는 원기둥 형상으로 형성될 수 있다. 이러한 볼트부재(31)는 필터(20)의 길이보다는 길고 하우징(10)의 길이보다는 짧게 형성될 수 있다. 볼트부재(31)는 도 6에 도시된 바와 같이, 상단부는 이동부재(33)와 연결되고, 하단부는 고정부재(36)와 연결될 수 있다. 이러한 볼트부재(31)의 표면에는 나사산이 형성될 수 있다.

한편, 볼트고정부재(35)는 도 7에 도시된 바와 같이, 고정부재(36)의 상부에 위치한 것으로, 볼트고정부재(35)는 고정다리(35a) 및 고정판(35b)을 포함할 수 있다.

고정판(35b)은 고정부재(36)의 상부에서 고정부재(36)와 일정간격 이격되어 배치될 수 있다. 이러한 고정판(35b) 중심에는 도 7에 도시된 바와 같이, 볼트부재(31)의 하단부가 고정되는 볼트고정홀(35c)이 형성되어 있다. 그러면, 볼트부재(31)가 볼트고정홀(35c)에 삽입되면서, 고정판(35b)에 고정될 수 있다.

고정판(35b)의 상부에는 고정용너트(34)가 배치될 수 있다. 고정용너트(34)에는 도 7에 도시된 바와 같이, 볼트부재(31)의 나사산을 따라 볼트부재(31)를 관통하는 볼트관통홀(34a)이 형성될 수 있다. 이러한 고정용너트(34)는 고정판(35b)에 밀착되어, 볼트고정홀(35c)에 고정된 볼트부재(31)가 임의로 풀리는 것을 방지시킬 수 있다.

고정다리(35a)는 고정판(35b)의 양단부에서 고정부재(36)를 향해 연장되도록 형성될 수 있다. 이러한 고정다리(35a)는 고정부재(36)의 상부면에서 배출홀(36b)이 형성된 부분에 미리미리 용접될 수 있다.

예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이 고정판(35b)은 중심홀(21)의 직경보다 상대적으로 짧게 형성될 수 있다.

고정다리(35a)는 고정판(35b)을 중심으로 굽은 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 고정다리(35a)의 하단부에서 상단부로 점차 폭이 줄어들도록 형성될 수 있다. 그러면, 볼트부재(31)에 중심홀(21)이 배치되면서 필터(20)가 고정부재(36)를 향해 삽입될 때, 폭이 좁은 고정다리(35a)의 상단부가 중심홀(21)에 먼저 삽입되면서 볼트고정부재(35)가 중심홀(21)에 수월하게 삽입될 수 있다.

또한, 고정판(35b)이 중심홀(21)을 막지 않아, 중심홀(21)의 배출용유체(3)가 배출홀(36b)로 배출되는 배출통로의 공간을 확보할 수 있는 효과가 있다.

도 8은 본 고안의 제2 실시예에 따른 도 6의 C-C 단면도이다.

도 8을 참고하면, 고정판(35b)과 배출홀(36b) 사이에는 배출공간(35d)이 형성될 수 있다. 이러한 배출공간(35d)은 고정다리(35a)의 형상에 의해 고정판(35b)이 고정부재(36)에서 일정간격 이격되면서 형성될 수 있다. 이에 따라, 고정판(35b)을 지난 배출용유체(3)가 배출공간(35d)으로 이동되면서 배출홀(36b)로 방출될 수 있다. 또한, 예를 들어 고정판(35b)이 중심홀(21)의 단면적과 대응되게 형성되었다 하더라도, 배출공간(35d)으로 배출용유체(3)가 이동되면서 배출홀(36b)로 방출될 수 있는 효과가 있다.

너트부재(32)는 볼트부재(31)에 체결되어 이동부재(33)가 중심홀(21)을 덮어 밀봉되도록 이동부재(33)를 이동시킬 수 있다. 이러한 너트부재(32)는 예를 들어 나비너트로 제공될 수 있다. 이에 따라, 중심홀(21)에 볼트부재(31)가 배치된 상태에서 너트부재(32)가 나사산을 따라 이동부재(33)를 필터(20)에 밀착되도록 이동시키면, 필터(20)가 이동부재(33) 및 고정부재(36) 사이에 밀착되면서 고정될 수 있다.

한편, 덮개부(40)는 하우징(10)의 일단부에 설치되어, 유입구(11)를 개폐시킬 수 있다. 이러한 덮개부(40)에는 힌지(42) 및 유입배관구(41)가 형성될 수 있다.

힌지(42)는 하우징(10과 덮개부(40)를 연결시킨다. 이러한 힌지(42)를 중심으로 덮개부(40)가 회전되면서 개폐될 수 있다.

유입배관구(41)는 덮개부(40)의 외측으로 돌출 형성될 수 있다. 유입배관구(41)는 반도체 공정 챔버(4)의 챔버배관(5)과 연결될 수 있다. 이러한 유입배관구(41)는 챔버배관(5)의 유체(2)가 하우징(10) 내부로 유입되도록 하우징(10)의 내부공간과 관통될 수 있다.

도 9는 본 고안의 제2 실시예에 따른 도 8의 D에 대한 확대도이다.

도 9를 참고하면, 조임부재(50)는 조임몸체(51), 조임핀(54) 및 누름체(52)를 포함할 수 있다. 이러한 조임부재(50)는 덮개부(40)와 하우징(10)의 일단부에 연결되어 덮개부(40)를 하우징(10)에 밀봉시시킬 수 있다.

조임몸체(51)는 도 9에 도시된 바와 같이, 우측이 개방될 수 있고, 개방된 상부면에는 체결홀(53)이 형성될 수 있다. 이러한 조임몸체(51)의 개방된 우측으로 덮개부(40)와 하우징(10)의 일단부의 가장자리가 삽입될 수 있다.

한편, 조임핀(54)은 체결홀(53)에 삽입되어 체결될 수 있다. 이러한 조임핀(54)의 상단부는 나비모양의 형상으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 작업자의 손으로 쉽게 돌릴 수 있다.

한편, 누름체(52)는 조임핀(54)의 하단부에 체결될 수 있다. 이러한 누름체(52)는 예를 들어, 조임핀(54)의 하단부 단면적보다 상대적으로 더 넓은 단면적을 가질 수 있다. 이러한 누름체(52)는 조임몸체(51)에 삽입된 덮개부(40) 또는 하우징(10)에 밀착되면서 압력을 가할 수 있다. 이에 따라 덮개부(40)와 하우징(10)의 사이가 밀폐될 수 있다.

이하에서는 조임부재(50)가 덮개부(40) 및 하우징(10) 사이를 밀폐시키는 과정에 대하여 간략하게 설명한다.

우선, 조임핀(54)이 조임몸체(51)의 개방된 우측을 가로막지 않도록 이동시킨다. 그런 다음, 조임몸체(51)의 개방된 우측에 덮개부(40)와 하우징(10)의 일단부를 삽입시킨다. 그런 다음, 누름체(52)가 덮개부(40) 또는 하우징(10)에 압력을 가하도록 조임핀(54)을 이용하여 조여준다. 그러면, 덮개부(40)와 하우징(10)이 서로 밀착되면서 밀폐될 수 있다.

오링(15)은 유입구(11)가 형성된 하우징(10)의 가장자리 부분을 따라 움푹 파여진 밀폐용홈(16)에 끼워질 수 있다. 이러한 오링(15)은 압력이 가해지면 변형되는 탄성을 띄는 합성 고무 재질로, 하우징(10)과 덮개부(40) 사이의 밀봉작업에 도움을 줄 수 있다.

이러한 오링(15)은 하우징(10)과 덮개부(40) 사이의 틈을 채워줄 수 있어 하우징(10)과 덮개부(40) 사이가 더욱 면밀히 밀폐될 수 있다. 그러면, 하우징(10)과 덮개부(40) 사이에서 유체(2)가 외부로 유출되는 사고를 방지시킬 수 있다.

이하에서는 필터 하우징 조립체(1)의 하우징(10)에 필터(20)를 배치하는 과정에 대하여 간략하게 설명한다.

먼저, 조임부재(50)를 하우징(10) 및 덮개부(40)에서 해제시킨다. 그런 다음, 덮개부(40)를 회전시켜 유입구(11)를 개방한다. 그런 다음, 너트부재(32)를 유입구(11)를 향해 이동시켜 볼트부재(31)에서 해소시킨다.

그런 다음, 이동부재(33)를 볼트부재(31)에서 분해시키고 중심홀(21) 내부에 볼트부재(31)가 배치되도록 필터(20)를 하우징(10)에 배치시킨다. 그런 다음, 이동부재(33)를 볼트부재(31)에 삽입하고 이어서 너트부재(32)를 이용하여 이동부재(33) 및 고정부재(36)에 필터(20)를 밀착시킨다.

이때, 고정돌기(33a, 36a)가 필터(20)에 삽입되면서 필터(20)가 하우징(10) 내부에 고정된다. 마지막으로, 덮개부(40)가 개방된 유입구(11)를 덮도록 힌지(42)를 중심으로 덮개부(40)를 회전시켜 유입구(11)의 밀폐시킨다.

위와 같이, 필터(20)를 하우징(10) 내부에 배치시키는 과정이 단순하기에, 하우징(10)의 필터(20) 교체 작업시간이 종래와 대비하여 단축될 수 있고, 그 작업 역시 종래와 대비하여 수월하다는 장점이 있다.

이상에서 본 고안의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 고안의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 고안의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 고안의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.

1: 필터 하우징 조립체 2: 유체
3: 배출용유체 4: 반도체 공정 챔버
5: 챔버배관 6: 배기가스 처리 장치
7: 방출배관 10: 하우징
11: 유입구 12: 배출배관구
14: 배출구 15: 오링
16: 밀폐용홈 18: 배출부
20: 필터 21: 중심홀
30: 고정부 31: 볼트부재
32: 너트부재 33: 이동부재
34: 고정용너트 35: 볼트고정부재
35a: 고정다리 35b: 고정판
35c: 볼트고정홀 35d: 배출공간
36: 고정부재 33a, 36a: 고정돌기
36b: 배출홀 40: 덮개부
41: 유입배관구 42: 힌지
50: 조임부재 51: 조임몸체
52: 누름체 53: 체결홀
54: 조임핀 60: 밀폐부
61: 밀폐몸체 61a: 밀폐홈
62: 힌지 63: 밀착돌기부
63a: 밀착홈 64: 고정돌기부
64a: 고정홀 65: 몸체조임부재
66: 회전축 66a: 축밀착부
67: 조임너트 67a: 조임홀
68: 조임볼트 69: 회전체
69a: 회전홀

Claims (11)

1. 일측에 유체가 유입되도록 유입구가 형성되고 타측에 상기 유체가 배출되도록 배출구가 형성된 하우징;
   상기 하우징 내부에 배치되고, 중심부에 중심홀이 형성되며, 상기 유입구를 통해 유입된 상기 유체를 필터링하는 필터; 및
   상기 하우징 내부에서 상기 중심홀을 덮도록 형성되어 상기 유체가 상기 중심홀로 유입되는 것을 방지하고 상기 필터를 고정시키는 고정부를 포함하고,
   상기 하우징의 일단부에 배치되어, 상기 하우징을 개폐 가능한 덮개부를 더 포함하며,
   상기 덮개부와 상기 하우징이 끼워져 상기 하우징에 상기 덮개부를 고정시키는 밀폐부를 더 포함하고,
   상기 밀폐부는,
   일부가 개방된 링 형상으로 형성되고 내측에 상기 덮개부 및 하우징의 가장자리가 끼워지는 밀폐홈이 형성되며 양 말단부 중 일측에는 외측으로 돌출된 고정돌기부가 형성되고 양 말단부 중 타측에는 외측으로 돌출된 밀착돌기부가 형성된 밀폐몸체; 및 상기 고정돌기부 및 밀착돌기부를 연결시키는 몸체조임부재;를 포함하며,
   상기 몸체조임부재는
   상기 고정돌기부에 형성된 고정홀에 삽입되는 회전축;
   상기 회전축이 삽입되는 회전홀이 형성되고 상기 회전축을 기준으로 회전되는 회전체;
   상기 회전체와 일체로 형성되며 외면에 나사산이 형성된 조임볼트; 및
   상기 조임볼트가 삽입되는 조임홀이 형성되고 상기 나사산을 따라 이동되는 조임너트;를 포함하고,
   상기 고정돌기부 및 밀착돌기부는 상기 조임볼트에 의해 연결되며,
   상기 조임너트는 상기 밀착돌기부의 외면에 밀착되고,
   상기 덮개부의 가장자리의 상단부와 상기 하우징의 가장자리의 하단부에 연결되어 상기 덮개부를 상기 하우징에 밀봉시키는 조임부재를 포함하며,
   상기 조임부재는,
   상기 덮개부와 상기 하우징의 일단부의 가장자리가 삽입되도록 일측이 개방되고, 개방된 일면에는 관통된 체결홀이 형성된 조임몸체;
   상기 체결홀에 삽입되어 체결되고, 상기 조임몸체에 삽입된 상기 덮개부와 상기 하우징의 일단부를 밀착시키는 조임핀; 및
   상기 조임핀의 하단부에 체결되고 상기 조임핀의 하단부 단면적보다 상대적으로 더 넓은 단면적을 갖는 누름체를 포함하고,
   상기 누름체는 상기 덮개부에 밀착되면서 상기 덮개부에 압력을 가하며,
   상기 밀착돌기부의 우측 중 개방된 부분의 상하부에는 각각 오목진 밀착홈이 형성되고,
   상기 조임너트가 상기 조임볼트의 나사산을 따라 조여지도록 회전될 때, 상기 밀착홈은 상기 조임너트의 마모를 감소시키는 필터 하우징 조립체.
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7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
10. 제1항에 있어서,
    상기 필터는 이온교환을 할 수 있는 합성섬유로 형성된 필터 하우징 조립체.
11. 삭제

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