JPH11326216A - グロー放電発光分光分析の測定方法 - Google Patents
グロー放電発光分光分析の測定方法Info
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- JPH11326216A JPH11326216A JP10133285A JP13328598A JPH11326216A JP H11326216 A JPH11326216 A JP H11326216A JP 10133285 A JP10133285 A JP 10133285A JP 13328598 A JP13328598 A JP 13328598A JP H11326216 A JPH11326216 A JP H11326216A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 グロー放電発光分光分析において、異なる大
きさや形状の試料を同一の測定条件で測定する。また、
異なる大きさや形状の試料から同一の大きさの測定試料
への加工を容易に行い、微小な試料の測定を容易に行
う。 【解決手段】 試料を導電性の樹脂で包埋することによ
って、異なる大きさや形状が一定でない試料に対して、
同一の測定条件で測定を行う。また、微小試料について
も、同一の大きさの測定試料とすることによって取り扱
いを共通化することができ、また、包埋樹脂で包むこと
によって、取り扱いを容易なものとすることができる。
きさや形状の試料を同一の測定条件で測定する。また、
異なる大きさや形状の試料から同一の大きさの測定試料
への加工を容易に行い、微小な試料の測定を容易に行
う。 【解決手段】 試料を導電性の樹脂で包埋することによ
って、異なる大きさや形状が一定でない試料に対して、
同一の測定条件で測定を行う。また、微小試料について
も、同一の大きさの測定試料とすることによって取り扱
いを共通化することができ、また、包埋樹脂で包むこと
によって、取り扱いを容易なものとすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、グロー放電発光分
光分析に関し、微小試料や形状が不定である試料を同一
条件で測定するための試料調整方法に関する。
光分析に関し、微小試料や形状が不定である試料を同一
条件で測定するための試料調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】低圧力のアルゴン雰囲気中で、電極間に
高電圧を印加すると、グロー放電が発生する。このグロ
ー放電によって生成されたＡｒイオンは、高電界で加速
されて陰極側に衝突して陰極側から物質をたたき出す。
このスパッタリングによって放出された粒子（原子，分
子，イオン）は、プラズマ中で励起状態から基底状態に
戻る際に、その元素特有の波長の光を放出する。グロー
放電発光分光分析は、この発光を分光器で分光して元素
分析等を行うものである。
高電圧を印加すると、グロー放電が発生する。このグロ
ー放電によって生成されたＡｒイオンは、高電界で加速
されて陰極側に衝突して陰極側から物質をたたき出す。
このスパッタリングによって放出された粒子（原子，分
子，イオン）は、プラズマ中で励起状態から基底状態に
戻る際に、その元素特有の波長の光を放出する。グロー
放電発光分光分析は、この発光を分光器で分光して元素
分析等を行うものである。
【０００３】グロー放電発光分光分析において、電極間
に供給する高周波電力が一定の測定条件で測定を行う場
合、試料の面積や厚さに応じて電気容量が変化するた
め、試料面のスパッタリング速度が変化する。そのた
め、測定条件が変化することになる。図７において、ス
パッタリングはＯリング７で囲まれたランプ部６におい
て行われる。試料１２ａと試料１２ｂの大きさが異なる
場合、ランプ部６でのスパッタリングの条件が異なるた
め、試料１２ａのスパッタリング速度と試料１２ｂのス
パッタリング速度とが異なり、深さ方向の分析を同一条
件で比較することができない。
に供給する高周波電力が一定の測定条件で測定を行う場
合、試料の面積や厚さに応じて電気容量が変化するた
め、試料面のスパッタリング速度が変化する。そのた
め、測定条件が変化することになる。図７において、ス
パッタリングはＯリング７で囲まれたランプ部６におい
て行われる。試料１２ａと試料１２ｂの大きさが異なる
場合、ランプ部６でのスパッタリングの条件が異なるた
め、試料１２ａのスパッタリング速度と試料１２ｂのス
パッタリング速度とが異なり、深さ方向の分析を同一条
件で比較することができない。
【０００４】そこで、従来、面積や厚さが異なる試料に
ついて同一の測定条件で測定を行うために、同一の形状
や大きさとなるように、試料を加工する必要がある。
ついて同一の測定条件で測定を行うために、同一の形状
や大きさとなるように、試料を加工する必要がある。
【０００５】面積や厚さが異なる試料間で測定した場合
には、測定条件が異なるため、得られた測定データ間で
は定量的な比較を行うことはできず、定性的な比較に止
まることになる。
には、測定条件が異なるため、得られた測定データ間で
は定量的な比較を行うことはできず、定性的な比較に止
まることになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】大きさや形状が異なる
試料を同一の測定条件で測定する場合、従来は試料が同
一の形状や大きさとなるように試料を加工する必要があ
るという問題がある。
試料を同一の測定条件で測定する場合、従来は試料が同
一の形状や大きさとなるように試料を加工する必要があ
るという問題がある。
【０００７】特に、試料が微小試料である場合には、試
料（たとえば、図７中の１２ａ，１２ｂ）をＯリング７
で囲まれたランプ部６内に納まる大きさに加工する必要
があり、この加工には時間がかかり、さらに異なる試料
間で形状や大きさを同一とするには、さらに加工時間は
長時間化する。
料（たとえば、図７中の１２ａ，１２ｂ）をＯリング７
で囲まれたランプ部６内に納まる大きさに加工する必要
があり、この加工には時間がかかり、さらに異なる試料
間で形状や大きさを同一とするには、さらに加工時間は
長時間化する。
【０００８】また、グロー放電発光分光分析では、試料
を均一にスパッタするために試料のスパッタリング面は
電極に対して平行である必要があるが、図８に示すよう
に、微小試料のスパッタリング面を平行に加工すること
は困難であるという問題がある。また、試料の厚さが均
一でない場合には、図８（ｂ）に示しように、Ｏリング
７と試料１２ｄとの間に隙間が生じ、ランプ部６の気密
性が保てないという問題も発生する。
を均一にスパッタするために試料のスパッタリング面は
電極に対して平行である必要があるが、図８に示すよう
に、微小試料のスパッタリング面を平行に加工すること
は困難であるという問題がある。また、試料の厚さが均
一でない場合には、図８（ｂ）に示しように、Ｏリング
７と試料１２ｄとの間に隙間が生じ、ランプ部６の気密
性が保てないという問題も発生する。
【０００９】また、微小試料は破損し易いため、加工処
理を容易に行うことができないという問題もある。
理を容易に行うことができないという問題もある。
【００１０】そこで、本発明は、異なる大きさや形状の
試料を同一の測定条件で測定することができるグロー放
電発光分光分析の測定方法を提供することを目的とする
ものであり、更に詳細には、異なる大きさや形状の試料
から同一の大きさの測定試料への容易な加工によって測
定することを一つの目的とし、また、微小な試料の測定
を容易なものとすることを他の目的とする。
試料を同一の測定条件で測定することができるグロー放
電発光分光分析の測定方法を提供することを目的とする
ものであり、更に詳細には、異なる大きさや形状の試料
から同一の大きさの測定試料への容易な加工によって測
定することを一つの目的とし、また、微小な試料の測定
を容易なものとすることを他の目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】グロー放電によって試料
表面をスパッタリングしながら原子発光を分光検出し、
元素分析を行うグロー放電発光分光分析において、本発
明の測定方法では、大きさの異なる試料や微小試料につ
いて、その試料面をスパッタリング面とする同一の大き
さの測定試料を形成することによって、同一の測定条件
での測定を可能とするものであり、試料を導電性の樹脂
によって、試料の一部を露出させて包埋して同一の大き
さ及び形状の測定試料を形成し、形成した測定試料にお
いて試料が露出する面をスパッタリング面として原子発
光を行い、該発光を分光検出して元素分析を行う。
表面をスパッタリングしながら原子発光を分光検出し、
元素分析を行うグロー放電発光分光分析において、本発
明の測定方法では、大きさの異なる試料や微小試料につ
いて、その試料面をスパッタリング面とする同一の大き
さの測定試料を形成することによって、同一の測定条件
での測定を可能とするものであり、試料を導電性の樹脂
によって、試料の一部を露出させて包埋して同一の大き
さ及び形状の測定試料を形成し、形成した測定試料にお
いて試料が露出する面をスパッタリング面として原子発
光を行い、該発光を分光検出して元素分析を行う。
【００１２】本発明の測定方法で形成される測定試料
は、異なる大きさの試料を樹脂で包埋することによっ
て、異なる大きさの試料や形状が一定でない試料に対し
て、同一の測定条件で測定を行うことができる。また、
微小試料についても、同一の大きさの測定試料とするこ
とによって取り扱いを共通化することができ、また、包
埋樹脂で包むことによって破損を受けにくくし、取り扱
いを容易なものとすることができる。
は、異なる大きさの試料を樹脂で包埋することによっ
て、異なる大きさの試料や形状が一定でない試料に対し
て、同一の測定条件で測定を行うことができる。また、
微小試料についても、同一の大きさの測定試料とするこ
とによって取り扱いを共通化することができ、また、包
埋樹脂で包むことによって破損を受けにくくし、取り扱
いを容易なものとすることができる。
【００１３】本発明の第１の形態は、グロー放電によっ
て試料表面をスパッタリングしながら原子発光を分光検
出し、元素分析を行うグロー放電発光分光分析におい
て、導電性の樹脂によって、試料の一部を露出させて包
埋するとともに、スパッタリング面側の面積、及び厚さ
を試料にかかわらず同一として測定試料を形成し、形成
した測定試料において試料が露出する面をスパッタリン
グ面とするものである。
て試料表面をスパッタリングしながら原子発光を分光検
出し、元素分析を行うグロー放電発光分光分析におい
て、導電性の樹脂によって、試料の一部を露出させて包
埋するとともに、スパッタリング面側の面積、及び厚さ
を試料にかかわらず同一として測定試料を形成し、形成
した測定試料において試料が露出する面をスパッタリン
グ面とするものである。
【００１４】第１の形態では、スパッタリング面積を同
一とすることができ、また、導電性の樹脂で同一の厚さ
とすることにより、試料の厚さによらず測定試料の電気
容量を同じにすることができる。これによって、包埋樹
脂による包埋処理によって測定試料を形成し、異なる大
きさの試料に対して同一の測定条件でスパッタリングを
行うことができる。したがって、大きさや形状が異なる
試料から同一の大きさの測定試料への加工を容易なもの
とすることができる。
一とすることができ、また、導電性の樹脂で同一の厚さ
とすることにより、試料の厚さによらず測定試料の電気
容量を同じにすることができる。これによって、包埋樹
脂による包埋処理によって測定試料を形成し、異なる大
きさの試料に対して同一の測定条件でスパッタリングを
行うことができる。したがって、大きさや形状が異なる
試料から同一の大きさの測定試料への加工を容易なもの
とすることができる。
【００１５】本発明の第２の形態は、グロー放電によっ
て試料表面をスパッタリングしながら原子発光を分光検
出し、元素分析を行うグロー放電発光分光分析におい
て、導電性の樹脂によって、試料の一部を露出させて包
埋するとともに、スパッタリング面側が少なくともグロ
ー放電発生領域を被うように測定試料を形成し、測定試
料において試料が露出する面をスパッタリング面とする
ものである。
て試料表面をスパッタリングしながら原子発光を分光検
出し、元素分析を行うグロー放電発光分光分析におい
て、導電性の樹脂によって、試料の一部を露出させて包
埋するとともに、スパッタリング面側が少なくともグロ
ー放電発生領域を被うように測定試料を形成し、測定試
料において試料が露出する面をスパッタリング面とする
ものである。
【００１６】第２の形態では、形成された測定試料は、
スパッタリングの面積を同一とすることができるととも
に、そのスパッタリング面によって少なくともグロー放
電発生領域（ランプ部）を被うことによって、微小な試
料や、形状が一定しない試料についても、同一測定条件
で測定を行うことができる。
スパッタリングの面積を同一とすることができるととも
に、そのスパッタリング面によって少なくともグロー放
電発生領域（ランプ部）を被うことによって、微小な試
料や、形状が一定しない試料についても、同一測定条件
で測定を行うことができる。
【００１７】また、形状は一定でない試料についても、
測定試料の厚さを一定とすることによって、隙間の発生
を防止し、ランプ部の気密性を保持することができる。
測定試料の厚さを一定とすることによって、隙間の発生
を防止し、ランプ部の気密性を保持することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。図１は本発明のグロー放
電発光分光分析における補正方法を適用することができ
るグロー放電発光分光分析装置の一構成例を示すブロッ
ク図である。図１に示すグロー放電発光分光分析装置１
は、中空状に形成した放電電極３と試料１０とを対向配
置し、アルゴンガスを流しながら真空排気を行って低真
空雰囲気に保ち、試料１０に高周波電力を供給して、試
料１０と放電電極３との間のランプ部６に安定したアル
ゴンのグロー放電プラズマを形成する。なお、放電電極
３の外周の配置したＯリングは、グロー放電を形成する
ためにランプ部６の気密性を保持する部材である。ま
た、高周波電力を供給する場合には、高周波電源４及び
整合器５によって行うことができる。
参照しながら詳細に説明する。図１は本発明のグロー放
電発光分光分析における補正方法を適用することができ
るグロー放電発光分光分析装置の一構成例を示すブロッ
ク図である。図１に示すグロー放電発光分光分析装置１
は、中空状に形成した放電電極３と試料１０とを対向配
置し、アルゴンガスを流しながら真空排気を行って低真
空雰囲気に保ち、試料１０に高周波電力を供給して、試
料１０と放電電極３との間のランプ部６に安定したアル
ゴンのグロー放電プラズマを形成する。なお、放電電極
３の外周の配置したＯリングは、グロー放電を形成する
ためにランプ部６の気密性を保持する部材である。ま
た、高周波電力を供給する場合には、高周波電源４及び
整合器５によって行うことができる。
【００１９】プラズマの正イオンは、試料１０の表面を
均一にスパッタリングし、たとえば１０ｎｍ／ｓｅｃの
オーダーの速度で切削する。スパッタリングされた試料
１０の原子は、プラズマ中で励起されて元素特有の光を
発光する。高周波グロー放電発光分光分析装置１は、こ
の発光を分光器２で分光して光検出器２３で検出する。
なお、符号２１はスリットであり、符号２２は回折格子
等の分光器である。通常、上記構成のグロー放電発光分
光分析装置１は、発光の経時変化を測定することによっ
て、試料１０中の元素の深さ方向の分布の測定を行う。
均一にスパッタリングし、たとえば１０ｎｍ／ｓｅｃの
オーダーの速度で切削する。スパッタリングされた試料
１０の原子は、プラズマ中で励起されて元素特有の光を
発光する。高周波グロー放電発光分光分析装置１は、こ
の発光を分光器２で分光して光検出器２３で検出する。
なお、符号２１はスリットであり、符号２２は回折格子
等の分光器である。通常、上記構成のグロー放電発光分
光分析装置１は、発光の経時変化を測定することによっ
て、試料１０中の元素の深さ方向の分布の測定を行う。
【００２０】本発明によるグロー放電発光分光分析で
は、上記したグロー放電発光分光分析装置１によって、
波長毎に光強度を検出し、この測定光強度の大きさから
含有元素の組成を求める。
は、上記したグロー放電発光分光分析装置１によって、
波長毎に光強度を検出し、この測定光強度の大きさから
含有元素の組成を求める。
【００２１】以下、本発明のグロー放電発光分光分析に
おける測定方法について、図２〜図６を用いて説明す
る。図２，３は、大きさが異なる試料１０ａと１０ｂに
対して本発明の測定方法を適用し、これによって形成さ
れる測定試料１１を示している。図２に示す試料１０ａ
は、面積をｓa ，厚さをｈa ，幅をｄa とし（図２
（ａ））、また、図３に示す試料１０ｂは、面積をｓb
，厚さをｈb ，幅をｄa （図３（ａ））とする。
おける測定方法について、図２〜図６を用いて説明す
る。図２，３は、大きさが異なる試料１０ａと１０ｂに
対して本発明の測定方法を適用し、これによって形成さ
れる測定試料１１を示している。図２に示す試料１０ａ
は、面積をｓa ，厚さをｈa ，幅をｄa とし（図２
（ａ））、また、図３に示す試料１０ｂは、面積をｓb
，厚さをｈb ，幅をｄa （図３（ａ））とする。
【００２２】大きさや形状が異なる試料１０ａ，１０ｂ
に対して、図２（ｂ），（ｃ）及び図３（ｂ），（ｃ）
に示すように、導電性の樹脂を用いて包埋し、同一の大
きさ及び形状の測定試料１１を形成する。なお、図２
（ｂ）及び図３（ｂ）は斜視図であり、図２（ｃ）及び
図３（ｃ）は断面図である。
に対して、図２（ｂ），（ｃ）及び図３（ｂ），（ｃ）
に示すように、導電性の樹脂を用いて包埋し、同一の大
きさ及び形状の測定試料１１を形成する。なお、図２
（ｂ）及び図３（ｂ）は斜視図であり、図２（ｃ）及び
図３（ｃ）は断面図である。
【００２３】測定試料１１を形成するには、試料１０ａ
及び試料１０ｂの容量に対して充分に多量の導電性の樹
脂を用意し、型枠等を用いて樹脂内に試料１０ａ及び試
料１０を包埋させる。この包埋処理において、試料１０
ａ及び試料１０ｂのスパッタリング面を露出させて包埋
する。測定試料１１は、試料１０ａ，１０ｂの大きさや
形状にかかわらず、同一の大きさ及び形状に形成する。
たとえば、スパッタリング面側の面積はＳとし、厚さは
Ｈとし、幅はＤとする。
及び試料１０ｂの容量に対して充分に多量の導電性の樹
脂を用意し、型枠等を用いて樹脂内に試料１０ａ及び試
料１０を包埋させる。この包埋処理において、試料１０
ａ及び試料１０ｂのスパッタリング面を露出させて包埋
する。測定試料１１は、試料１０ａ，１０ｂの大きさや
形状にかかわらず、同一の大きさ及び形状に形成する。
たとえば、スパッタリング面側の面積はＳとし、厚さは
Ｈとし、幅はＤとする。
【００２４】なお、面積Ｓは試料の面積ｓa ，ｓb より
も大きく、厚さＨは試料の厚さｈa，ｈb よりも厚く、
また、幅Ｄは試料の幅ｄa ，ｄb より長く形成する。
も大きく、厚さＨは試料の厚さｈa，ｈb よりも厚く、
また、幅Ｄは試料の幅ｄa ，ｄb より長く形成する。
【００２５】包埋に用いる樹脂は、カーボン入りのベー
クライト樹脂を用いることができ、導電性樹脂とするこ
とによって、放電電極との間の電気容量を試料にかかわ
らず一定なものとし、これによって、スパッタリング条
件を一定なものとすることができる。
クライト樹脂を用いることができ、導電性樹脂とするこ
とによって、放電電極との間の電気容量を試料にかかわ
らず一定なものとし、これによって、スパッタリング条
件を一定なものとすることができる。
【００２６】なお、樹脂の使用量は前記したように、試
料１０ａ及び試料１０ｂの容量に対して充分な量であれ
ば足りるが、試料１０ａ及び試料１０ｂの容量に応じて
樹脂の使用量を調整し、これによって、形成された測定
試料１１の容量を常に一定とすることができる。
料１０ａ及び試料１０ｂの容量に対して充分な量であれ
ば足りるが、試料１０ａ及び試料１０ｂの容量に応じて
樹脂の使用量を調整し、これによって、形成された測定
試料１１の容量を常に一定とすることができる。
【００２７】測定試料１１は、試料の大きさ（面積、厚
さ等）や形状にかかわらず同一とすることができ、グロ
ー放電発光分光分析装置１に対する試料としては共通に
扱うことができ、異なる試料に対して供給電力の調整を
行うことなく、同一の測定条件で測定することができ
る。
さ等）や形状にかかわらず同一とすることができ、グロ
ー放電発光分光分析装置１に対する試料としては共通に
扱うことができ、異なる試料に対して供給電力の調整を
行うことなく、同一の測定条件で測定することができ
る。
【００２８】また、測定試料１１の形成において、厚さ
Ｈを均一とすることによってスパッタリング面の平行面
とすることができる。
Ｈを均一とすることによってスパッタリング面の平行面
とすることができる。
【００２９】図４，５，６は、測定試料１１のスパッタ
リング面側の径及び面積を、Ｏリング７で囲まれる部分
の径及び面積よりも大きく形成した場合の例を示し、図
４，５，６はそれぞれ大きさの異なる試料１０ａ，１０
ｂ，１０ｃに対する適用例を示している。
リング面側の径及び面積を、Ｏリング７で囲まれる部分
の径及び面積よりも大きく形成した場合の例を示し、図
４，５，６はそれぞれ大きさの異なる試料１０ａ，１０
ｂ，１０ｃに対する適用例を示している。
【００３０】測定試料１１のスパッタリング面側の径及
び面積を、Ｏリング７で囲まれる部分の径及び面積より
も大きく形成することにより、測定試料１１のスパッタ
リング面側をＯリング７に当接させることによって、ラ
ンプ部の気密を保持することができる。
び面積を、Ｏリング７で囲まれる部分の径及び面積より
も大きく形成することにより、測定試料１１のスパッタ
リング面側をＯリング７に当接させることによって、ラ
ンプ部の気密を保持することができる。
【００３１】図４は、試料１０ａの面積が放電電極３間
で形成される面積より小さい場合であり、図５、試料１
０ｂの面積が放電電極３間で形成される面積より大きい
場合であり、図６は、試料１０ｂの面積がＯリング７で
囲まれる部分の面積より大きい場合である。
で形成される面積より小さい場合であり、図５、試料１
０ｂの面積が放電電極３間で形成される面積より大きい
場合であり、図６は、試料１０ｂの面積がＯリング７で
囲まれる部分の面積より大きい場合である。
【００３２】いずれの試料の場合においても、測定試料
１１はグロー放電発光分光分析装置１側から見た場合に
同一の試料とするすることができ、同一測定条件で測定
することができる。
１１はグロー放電発光分光分析装置１側から見た場合に
同一の試料とするすることができ、同一測定条件で測定
することができる。
【００３３】また、測定試料１１のスパッタリング側の
面は平行面であり、試料の形状は一定しない場合であっ
ても、正確な測定を行うことができる。
面は平行面であり、試料の形状は一定しない場合であっ
ても、正確な測定を行うことができる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、グロー放電発光分
光分析において、異なる大きさや形状の試料を同一の測
定条件で測定することができる。
光分析において、異なる大きさや形状の試料を同一の測
定条件で測定することができる。
【００３５】また、異なる大きさや形状の試料から同一
の大きさの測定試料への加工を容易に行うことができ
る。また、微小な試料の測定を容易に行うことができ
る。
の大きさの測定試料への加工を容易に行うことができ
る。また、微小な試料の測定を容易に行うことができ
る。
【図１】本発明のグロー放電発光分光分析における補正
方法を適用することができるグロー放電発光分光分析装
置の一構成例を示すブロック図である。
方法を適用することができるグロー放電発光分光分析装
置の一構成例を示すブロック図である。
【図２】大きさが異なる試料に対して本発明の測定方法
を適用して形状される測定試料を示す図である。
を適用して形状される測定試料を示す図である。
【図３】大きさが異なる試料に対して本発明の測定方法
を適用して形状される測定試料を示す図である。
を適用して形状される測定試料を示す図である。
【図４】本発明の測定方法を適用して形状される測定試
料を用いた測定を説明するための図である。
料を用いた測定を説明するための図である。
【図５】本発明の測定方法を適用して形状される測定試
料を用いた測定を説明するための図である。
料を用いた測定を説明するための図である。
【図６】本発明の測定方法を適用して形状される測定試
料を用いた測定を説明するための図である。
料を用いた測定を説明するための図である。
【図７】グロー放電発光分光分析の従来の測定方法を説
明するための図である。
明するための図である。
【図８】グロー放電発光分光分析の従来の測定方法を説
明するための図である。
明するための図である。
１…グロー放電発光分光分析装置、２…分光器、３…放
電電極、４…高周波電源、５…整合器、６…ランプ部、
７…Ｏリング、８…ベース、１０…試料、１１…測定試
料。
電電極、４…高周波電源、５…整合器、６…ランプ部、
７…Ｏリング、８…ベース、１０…試料、１１…測定試
料。
Claims (3)
- 【請求項１】 グロー放電によって試料表面をスパッタ
リングしながら原子発光を分光検出し、元素分析を行う
グロー放電発光分光分析において、試料を導電性の樹脂
によって、試料の一部を露出させて包埋して測定試料を
形成し、前記測定試料において試料が露出する面をスパ
ッタリング面とする、グロー放電発光分光分析の測定方
法。 - 【請求項２】 グロー放電によって試料表面をスパッタ
リングしながら原子発光を分光検出し、元素分析を行う
グロー放電発光分光分析において、試料を導電性の樹脂
によって、試料の一部を露出させて包埋するとともに、
スパッタリング面側の面積、及び厚さを試料にかかわら
ず同一として、測定試料を形成し、前記測定試料におい
て試料が露出する面をスパッタリング面とする、グロー
放電発光分光分析の測定方法。 - 【請求項３】 グロー放電によって試料表面をスパッタ
リングしながら原子発光を分光検出し、元素分析を行う
グロー放電発光分光分析において、試料を導電性の樹脂
によって、試料の一部を露出させて包埋するとともに、
スパッタリング面側は少なくともグロー放電発生領域を
被うように測定試料を形成し、前記測定試料において試
料が露出する面をスパッタリング面とする、グロー放電
発光分光分析の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10133285A JPH11326216A (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | グロー放電発光分光分析の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10133285A JPH11326216A (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | グロー放電発光分光分析の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11326216A true JPH11326216A (ja) | 1999-11-26 |
Family
ID=15101079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10133285A Withdrawn JPH11326216A (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | グロー放電発光分光分析の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11326216A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015197295A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-09 | 株式会社堀場製作所 | グロー放電発光分析方法 |
| CN114354576A (zh) * | 2022-01-05 | 2022-04-15 | 钢研纳克检测技术股份有限公司 | 一种用于辉光分析中的小样品分析方法 |
-
1998
- 1998-05-15 JP JP10133285A patent/JPH11326216A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015197295A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-09 | 株式会社堀場製作所 | グロー放電発光分析方法 |
| CN114354576A (zh) * | 2022-01-05 | 2022-04-15 | 钢研纳克检测技术股份有限公司 | 一种用于辉光分析中的小样品分析方法 |
| CN114354576B (zh) * | 2022-01-05 | 2024-01-30 | 钢研纳克检测技术股份有限公司 | 一种用于辉光分析中的小样品分析方法 |
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