JPH11323535A - 金属蒸着製品の製造方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 気化した補助物質（オイルなど）を用いて基
材の表面に補助物質の蒸着膜を形成して金属蒸着製品を
製造する間に生じる補助物質の蒸気圧力の変動に起因す
る補助物質の蒸着膜の変動を防止し、金属蒸着製品の製
造中、補助物質の蒸着膜が安定して形成されるようにし
た金属蒸着製品の製造方法および装置を提供する。 【解決手段】 気化した補助物質（オイルなど）が存在
する雰囲気の圧力を検出し、この検出された圧力に関す
る情報に基づき、補助物質の気化条件（例えば、補助物
質を気化させるための加熱温度）を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属蒸着製品の製
造方法および装置に関する。

【０００２】金属蒸着製品の製造に当たり、基材への金
属蒸着処理を行う前あるいは後において、基材の表面
（基材自体の表面、基材に形成された蒸着金属の表面の
双方を含む）の所定の部分に、補助物質（マージン用オ
イル、腐食防止用オイル、表面改質用物質など）を蒸着
させることが行われている。

【０００３】本発明は、特に、補助物質の蒸着において
改良を加えた金属蒸着製品の製造方法および装置に関す
る。

【０００４】

【従来の技術】合成樹脂などからなるフィルム（基材）
の表面に所望の金属を蒸着した金属蒸着フィルムの代表
的なものとして、コンデンサ用金属蒸着フィルムが知ら
れている。これは一般に、真空蒸着機を用いて製造され
ている。

【０００５】その際、基材に金属が蒸着しない部分（マ
ージン）を形成するために、金属の蒸着処理をする前
に、基材の表面の所定の部分にオイルを蒸着することが
行われている。例えば、特公平８−２６４４９号公報に
は、コンデンサ用金属蒸着フィルムの製造に当たり、原
反フィルムの表面に細幅のオイル薄膜を蒸着するオイル
マージン形成方法が開示されている。

【０００６】また、特開昭５９−２２７１１５号公報や
特公昭６３−１５７３５号公報には、金属蒸着膜の腐蝕
を防止するために、基材の表面に形成された金属蒸着膜
の表面にオイルを蒸着するアフターオイリング方法が提
案されている。

【０００７】これらの方法は、マージンの形成、あるい
は、腐蝕防止膜の形成という目的には優れた方法であ
る。

【０００８】ここで、オイルマージンの形成の場合を例
にとり説明する。一般に、用いられるオイルには、分子
量のばらつきがあるため、可能な限り分子量分布の揃っ
たオイルを用いる配慮がなされている。

【０００９】しかし、いかに高価で分子量分布が揃った
オイルを用いたとしても、オイルは、その製造ロット間
で分子量分布が若干異なるため、複数ロットに亘ったオ
イルを使用してオイルマージンを形成した場合、形成さ
れたマージンの状態に差が出る場合がある。

【００１０】これは、分子量分布が異なると、各オイル
分子の蒸気圧も異なることに起因して、蒸着バッチ毎に
オイル温度を同じに設定しても、オイルの蒸発量に相違
が生じるためである。

【００１１】また、オイル自身の分子量分布のばらつき
により、所定のオイル温度で一定時間蒸発を継続させる
と、低分子量分が先に蒸発し、まだ多くのオイルが蒸発
器（気化器）内に残っているにも拘わらず、所定温度で
蒸発する成分が著しく減少してしまうという現象に当面
する。

【００１２】この問題を回避するには、すなわち、基材
の表面に、一定膜厚のオイル薄膜を連続して形成するた
めには、常に一定したオイル蒸気量を基材の表面にもた
らす必要がある。オイル蒸気量を一定に維持するために
は、オイルの蒸発量が一定である必要がある。

【００１３】この問題に対し、従来は、作業者が、数千
メートル蒸着する毎に、徐々にオイル温度を上げて、オ
イル蒸発量ができるだけ一定に保たれるよう作業してい
た。しかし、この温度調節は、多分に作業者の長年の経
験に基づく勘に頼ったものであり、しかも、オイルの昇
温によって、どの程度オイル蒸気が発生し、フィルムへ
どの程度オイルが付着しているかが、蒸着中に確認でき
ないため、最適オイル量を、１回の蒸着フィルム長さで
ある数万メートルに亘り、常時維持し続けることが困難
な状況にあった。よって、１回の蒸着バッチの中でも、
オイル膜厚が変化し、マージン形成の度合いにばらつき
が発生していた。

【００１４】また、オイル昇温の手動調整も頻繁に行う
必要があるため、オペレーションミスによるマージン形
成ミスが多発しているのが現状である。

【００１５】また、更に、フィルム上に最適なオイル膜
厚を形成するためには、処理するフィルム走行速度の変
化に応じて、オイル蒸発量も変化させる必要があるが、
従来は、作業者にはこの点の対応がとれず、フィルム速
度が変化しても一定のオイル昇温条件のみで蒸着工程の
操作を行っていた。

【００１６】これらに起因して、オイル薄膜のオイル量
が最適でなくなった場合、オイル量が少ないと、マージ
ンが形成されなかったり、形成されても最終製品におい
てマージン部分に金属が残ってしまい、金属蒸着ロスを
生じていた。

【００１７】同様の理由により、蒸着金属の腐蝕防止に
おいても機能不十分となり、一方、オイル量が多いと、
金属蒸着フィルムをコンデンサ素子に巻回する際、芯抜
けと呼ばれる不都合な現象の発生や、プレス性の悪化が
生じ、得られるコンデンサのフィルム同士の密着が不十
分なものが生じ、これに電圧をかけたとき、コンデンサ
がうなりを発すると云う不都合な現象が起っていた。

【００１８】また、補助物質が水や有機化合物モノマー
である場合も、蒸着中に、蒸着膜厚を測定できないた
め、連続的に最適膜厚で蒸着することが困難であった。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前述の従来
の問題を解消し、基材における補助物質の蒸着膜の形成
が安定して行える金属蒸着製品の製造方法および装置を
提供することを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の金属蒸着製品の製造方法および装置の構成
は、次の通りである。

【００２１】第１の発明： 金属を蒸発せしめ、蒸発し
た金属を連続して走行する基材に蒸着する金属蒸着工程
と、該基材の走行方向において、該金属蒸着工程の前あ
るいは後に位置し、気化器に収容された補助物質を気化
せしめ、気化した補助物質を前記連続して走行する基材
に蒸着する補助物質蒸着工程とからなる金属蒸着製品の
製造方法において、前記気化器により気化せしめられた
補助物質が存在する雰囲気の圧力を検出し、この検出さ
れた圧力に関する情報に基づき、前記気化器における補
助物質の気化条件を制御することを特徴とする金属蒸着
製品の製造方法。

【００２２】この第１の発明において、基材の形状は、
一般的には、連続した長尺のシートあるいはフィルムで
ある。所定の長さを有する枚葉タイプのシートあるいは
フィルム等他の形状であっても良い。

【００２３】基材の材質は、一般的には、天然、半合
成、合成の樹脂である。合成の樹脂としては、次のもの
が好ましい。ポリオレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、
ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネ
イト樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、
ポリアリレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂。

【００２４】金属蒸着製品が、コンデンサ用金属蒸着フ
ィルムの場合は、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレン
ナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカー
ボネイト、ポリスチレン樹脂が、機械特性、電気特性の
点から、この好ましく用いられる。中でも、ポリプロピ
レンあるいはポリエチレンテレフタレート樹脂は、交流
耐電圧（ＡＣ耐電圧）が高い点から、特に好ましく用い
られる。

【００２５】蒸着される金属が、導電性を有する金属の
場合は、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｓｉ、
Ｔｉ、Ｃｏ、Ｎｉ、あるいは、これらの合金がある。な
お、蒸着製品が、コンデンサ用金属蒸着フィルムの場合
は、これらの内、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｓｎ、あるいは、
これらの合金が、耐コロナ劣化性が少ない点で、好まし
く、また、これらの内、Ａｌ−Ｚｎ合金が、耐湿性、耐
コロナ劣化性、自己回復特性の点で、より好ましい。

【００２６】この第１の発明により、従来、作業者が経
験に基づく勘で行っていた補助物質蒸着工程における気
化器による補助物質の気化条件の調整作業が、実質的に
不要となり、かつ、１回のバッチで得られる製品におけ
る補助物質の蒸着膜の厚みの変化の問題が、実質的に解
消される。

【００２７】コンデンサ用金属蒸着フィルムの製造にお
いては、従来、作業者の勘に頼るがために発生していた
マージン形成ミスがなくなり、得られるコンデンサのフ
ィルム同士の密着不良が解消され、極めて良好なコンデ
ンサ製品の製造が可能となる。

【００２８】第２の発明： 第１の発明に云う補助物質
が、オイルであることを特徴とする金属蒸着製品の製造
方法。

【００２９】この第２の発明は、使用される補助物質
が、オイルであることを特定したものである。なお、蒸
着製品が、コンデンサ用金属蒸着フィルムの場合は、マ
ージンオイルとしては、電気特性の点から、シリコーン
オイルを使用するのが好ましく、この内で、ジメチルポ
リシロキシサンあるいはメチルフェニルシリコーンオイ
ルがより好ましく、この内で、メチル・フェニル・ジメ
チルポリシロキシサンオイルが更に好ましく使用され
る。

【００３０】第３の発明： 第１の発明に云う補助物質
が、水であることを特徴とする金属蒸着製品の製造方
法。

【００３１】この第３の発明は、使用される補助物質
が、水であることを特定したものである。使用する水と
しては、不純物の含有が少ない可能な限り純水に近いも
のが好ましい。

【００３２】第４の発明： 第１の発明に云う補助物質
が、有機化合物モノマーであることを特徴とする金属蒸
着製品の製造方法。

【００３３】この第４の発明は、使用される補助物質
が、有機化合物モノマーであることを特定したものであ
る。使用する有機化合物モノマーとしては、沸点が低す
ぎず、架橋し易いものが好ましい。

【００３４】第５の発明： （イ）蒸着処理室、（ロ）
該蒸着処理室内を減圧にする減圧手段、（ハ）基材を走
行せしめる基材走行手段、（ニ）金属蒸着手段、（ホ）
加熱手段により収容されている補助物質を加熱し気化せ
しめる気化器からなる補助物質蒸着手段とからなり、前
記蒸着処理室内において、前記基材走行手段により走行
せしめられる前記基材に、前記金属蒸着手段により、金
属を蒸着せしめ、該金属の蒸着の前あるいは後におい
て、前記基材走行手段により走行せしめられる前記基材
に、前記補助物質蒸着手段により、補助物質を蒸着せし
めてなる金属蒸着製品の製造装置において、（ヘ）前記
気化器の前記加熱手段により気化せしめられた補助物質
が存在する雰囲気の圧力を検出する圧力検出手段と、
（ト）この検出された圧力に関する情報に基づき、前記
加熱手段の加熱温度を制御する温度制御手段とが設けら
れていることを特徴とする金属蒸着製品の製造装置。

【００３５】この第５の発明は、前記第１の方法発明を
実施するための一実施装置に関する。気化器は、加熱手
段を有し、気化器の内部には、補助物質が収納される。
加熱手段により加熱された補助物質は、気化する。気化
した補助物質は、気化器の開放口から気化器の外へ放出
される。放出された気化した補助物質は、基材に蒸着す
る。

【００３６】気化した補助物質が存在する雰囲気の圧
力、すなわち、気化した補助物質の蒸気圧力が反映され
ている圧力は、圧力検出手段により検出される。検出さ
れた圧力に関する情報に基づき、気化器の加熱手段の温
度が制御される。この制御により、基材への補助物質の
蒸着の度合いが、実質的に一定に制御される。

【００３７】第６の発明： 第５の発明において、圧力
検出手段の検出端が、気化器内の気化した補助物質が存
在する雰囲気中に設けられていることを特徴とする金属
蒸着製品の製造装置。

【００３８】この第６の発明は、気化器により気化され
た補助物質の蒸気圧をより的確に把握できるように、圧
力検出手段の検出端を、気化器内に設けたものである。

【００３９】第７の発明： 第５の発明において、蒸着
処理室内の圧力を検出する処理室圧力検出手段が設けら
れていることを特徴とする金属蒸着製品の製造装置。

【００４０】この第７の発明は、基材への金属の蒸着を
円滑に行うため、蒸着処理室は、減圧手段により、減圧
雰囲気（１０乃至１０^-4Ｐａ）に維持されるが、この減
圧の度合いが、補助物質の蒸気圧が反映された圧力の検
出に、影響する場合があることを考慮し、蒸着処理室内
の圧力を検出する処理室圧力検出手段を装備したもので
ある。これにより、蒸着処理室自体の圧力の気化した補
助物質の蒸気圧力検出における影響を、補正することが
可能となる。

【００４１】第８の発明： 第５の発明において、基材
の走行速度を検出する基材速度検出手段が設けられてい
ることを特徴とする金属蒸着製品の製造装置。

【００４２】この第８の発明は、蒸着処理室における基
材の走行速度を検出する基材速度検出手段が更に設けら
れている金属蒸着製品の製造装置に関するものである。
これは、基材の走行に応じて、基材への気化した補助物
質の蒸着の量が変化する場合があることを考慮した装置
である。これにより、従来の作業者の勘による手動調整
が殆ど不可能であった基材の走行速度の変化と補助物質
の基材への蒸着量の変化との連動性により発生する問題
点の解決が、可能となる。

【００４３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を用いて、
図面を参照しながら、本発明について、更に、説明す
る。

【００４４】図１は、本発明の金属蒸着製品の製造装置
の一実施例の一部を横断面で示す模式図である。この装
置は、連続した長尺の合成樹脂フィルムからなる基材
に、先ず、補助物質であるオイルを用いてオイルマージ
ンを形成し、次いで、導電性の金属を用いて金属蒸着膜
を形成してなるコンデンサ用金属蒸着フィルムからなる
金属蒸着製品を製造するものである。

【００４５】図１において、蒸着処理室１は、側面に開
閉自在の扉を有するドラム型筐体２にて形成されてい
る。基材走行手段３は、基材の原反ロール４が回動自在
に懸架される軸５と、蒸着が終了した蒸着基材をロール
状に巻き取ることにより形成される蒸着製品ロール６が
回動自在に懸架される軸７と、これらの間に位置する回
動自在に軸８に取り付けられた冷却ロール９とから構成
されている。

【００４６】軸７には、この軸を積極的に回転駆動する
回転駆動源（図示せず）が取り付けられている。なお、
軸８および／または軸５にも、必要に応じて、この軸を
積極的に回転駆動する回転駆動源（図示せず）、あるい
は、制動する制動手段（図示せず）が取り付けられる。

【００４７】原反ロール４から引き出された基材１０
は、冷却ロール９に至り、その表面の一部に捲回して接
触し、次いで、軸７の回動により、蒸着製品ロール６と
して巻き取られる。

【００４８】原反ロール４と冷却ロール９との間を走行
する基材１０に対向して、気化器１１が設けられ、その
内部に、補助物質（オイル）１２が収納されている。気
化器１１には、補助物質（オイル）１２を加熱により気
化せしめるための加熱手段１３が取り付けられている。
加熱手段１３により加熱され気化した補助物質（オイル
粒子）１４は、気化器１１内の上部空間に充満する。こ
の上部空間は、気化器１１の開口部１５に連通され、こ
の開口部１５は、気化した補助物質（オイル粒子）１４
を所望の幅をもって基材１０の表面に蒸着可能に、基材
１０に対して、臨んでいる。

【００４９】また、気化器１１には、気化した補助物質
（オイル粒子）１４の蒸気圧を反映する圧力を検出する
圧力検出手段１６および補助物質（オイル）１２の加熱
温度を検出する温度検出手段１７が取り付けられてい
る。

【００５０】この実施例では、これら圧力および温度検
出手段のそれぞれの検出端は、気化器１１内の気化した
補助物質（オイル粒子）１４が存在する雰囲気内および
気化器１１内に収納されている補助物質（オイル）１２
内にそれぞれ臨んでいる。

【００５１】更に、蒸着処理室１には、金属蒸着のため
金属１８が収納され、それを溶融状態で気化せしめる加
熱器１９が、装備されている。溶融状態にある金属１８
の気化による金属蒸気２０の生成と基材１０への蒸着の
促進を図るため、この実施例では、蒸着処理室１を減圧
状態にする減圧手段２１が蒸着処理室１に係合されてい
る。

【００５２】蒸着処理室１には、蒸着処理室１自体の圧
力を検出するための処理室圧力検出手段２２と、前記走
行する基材１０の走行速度を検出する目的で、その速度
を実質的に反映している前記冷却ロール９の表面速度を
検出する基材速度検出手段２３とが、それぞれ設けられ
ている。

【００５３】次に、この実施例における制御系について
説明する。前記蒸着処理室１の外に、制御装置２４が用
意され、そこには、温度計２５、第１の圧力計２６、第
２の圧力計２７、速度計２８、設定値入力手段２９、お
よび、コントローラ３０が、それぞれ装備されている。

【００５４】第１の圧力計２６は、前記圧力検出手段１
６が検出した圧力情報を受け取りそれを表示し、かつ、
その情報をコントローラ３０に伝達する（図において矢
印付き点線で示す）関係に、圧力検出手段１６とコント
ローラ３０とに電気的に係合されている。

【００５５】温度計２５は、前記温度検出手段１７が検
出した温度情報を受け取りそれを表示し、かつ、その情
報をコントローラ３０に伝達する（図において矢印付き
点線で示す）関係に温度検出手段１７とコントローラ３
０とに電気的に係合されている。

【００５６】第２の圧力計２７は、前記処理室圧力検出
手段２２が検出した圧力情報を受け取りそれを表示し、
かつ、その情報をコントローラ３０に伝達する（図にお
いて矢印付き点線で示す）関係に、処理室圧力検出手段
２２とコントローラ３０とに電気的に係合されている。

【００５７】速度計２８は、前記基材速度検出手段２３
が検出した速度情報を受け取りそれを表示し、かつ、そ
の情報をコントローラ３０に伝達する（図において矢印
付き点線で示す）関係に、基材速度検出手段２３とコン
トローラ３０とに電気的に係合されている。

【００５８】設定値入力手段２９は、気化した補助物質
（オイル粒子）１４の蒸気圧力の設定値、気化器１１の
加熱手段１３による補助物質（オイル）１２の加熱温度
の設定値、蒸着処理室１自体の圧力の設定値、基材１０
の走行速度の設定値が、それぞれそこに入力されるのを
受けて、これらの設定値情報をコントローラ３０に伝達
する（図において矢印付き点線で示す）関係に、コント
ローラ３０に電気的に係合されている。

【００５９】また、コントローラ３０は、そこから出力
される温度制御情報を前記加熱手段１３に伝達し（図に
おいて矢印付き点線で示す）、その温度を制御する関係
に、加熱手段１３に電気的に係合されている。

【００６０】次に、この実施例における装置の作動につ
いて、説明する。

【００６１】蒸着処理室１を形成するドラム型筐体２の
側面の扉が開けられ、軸５に、基材（合成樹脂フィル
ム）（以下、フィルムと云う）１０の原反ロール４が装
着される。次いで、この原反ロール４からフィルム１０
の端部が引き出され、軸８に回動自在に装着されている
冷却ロール９の周面の一部に捲回させた後、フィルム１
０の端部は、回転駆動される軸７に装着された蒸着製品
ロール６に止着される。これにより、フィルム１０の基
材走行手段３への懸架が完了する。

【００６２】一方において、気化器１１内に、補助物質
（オイル）１２が所定量収容され、また、加熱器１９内
に、金属１８が収容され、ドラム型筐体２の側面の扉が
閉じられる。また、一方において、前記各設定値が、設
定値入力手段２９に入力され、これらがコントローラ３
０に伝達される。これにより、蒸着処理自体の操業の準
備が完了する。

【００６３】次いで、気化器１１の加熱手段１３が作動
し、そこに収容されている補助物質（オイル）１２が加
熱され、これが気化し、気化した補助物質（オイル粒
子）１４は、気化器１４内の空間に充満し、開口部１５
から、フィルム１０の表面に向かって放出し始める。一
方、これと併行して、減圧手段２１が作動し、蒸着処理
室１内の圧力が真空に向かって低下し、加熱器１９に収
容された溶融状態にある金属１８は、気化し、気化した
金属蒸気２０となって、フィルム１０の表面に向かって
移動し始める。

【００６４】ここで、これら気化した補助物質（オイル
粒子）１４および金属蒸気２０の生成と同時に、あるい
は、それらに前後して、軸７の回転駆動により、フィル
ム１０の移動が開始され、フィルム１０の表面への補助
物質（オイル粒子）１４の蒸着がなされ、そこに所望の
オイルマージンが形成される。次いで、オイルマージン
が形成されたフィルム１０の表面への金属蒸気２０の蒸
着（オイルマージンが形成されている部分には、金属の
蒸着がなされない）がなされ、所望の金属蒸着膜が形成
される。次いで、金属蒸着膜が形成されたフィルム１０
は、蒸着製品ロール６に巻き取られる。所望の蒸着製品
（コンデンサ用金属蒸着フィルム）のロールが製造され
る。

【００６５】この間、圧力検出手段１６により検出され
る補助物質（オイル粒子）１４の蒸気圧の検出結果は、
常時あるいは一定の時間間隔で、第１の圧力計２６に表
示されるとともに、コントローラ３０にて、その設定値
との比較がなされる。設定値とのずれが生じている場合
は、それが設定値になるように、加熱手段１３の温度調
整をするための制御信号が、コントローラ３０から加熱
手段１３へ出力される。加熱手段１３の補助物質（オイ
ル）１２の加熱条件が調整され、結果として、補助物質
（オイル粒子）１４の蒸気圧が、設定値にあるいはその
近傍に維持される。これにより、フィルム１０への所定
のオイルマージンの形成が継続される。

【００６６】補助物質（オイル）１２の温度は、常時あ
るいは一定の時間間隔で、温度計２５に表示されるとと
もに、コントローラ３０にて、その設定値との比較がな
され、必要に応じて、この情報は、前記気化した補助物
質（オイル粒子）１４の蒸気圧の調整に、参照あるいは
利用される。

【００６７】一方、このオイルマージンの形成は、蒸着
処理室１内の圧力の影響を受ける場合があり、その場
合、第２の圧力計２７に表示されるとともに、コントロ
ーラ３０に入力される処理室圧力検出手段２２にて検出
される蒸着処理室１内の圧力に関する情報が利用され
る。

【００６８】事前に、蒸着処理室１内の圧力の気化した
補助物質（オイル粒子）１４の蒸気圧に対する影響係数
を把握しておき、それを設定値入力手段２９からコント
ローラ３０に入力しておき、前記加熱手段１３の温度制
御に際し、この影響係数を取り入れて温度制御するのが
好ましい。

【００６９】また、一方、このオイルマージンの形成
は、フィルム１０の走行速度の影響を受ける場合があ
り、その場合、速度計２８に表示されるとともに、コン
トローラ３０に入力される基材速度検出手段２３にて検
出されるフィルム１０速度に関する情報が利用される。
すなわち、事前に、フィルム１０の速度のフィルム１０
への気化した補助物質（オイル粒子）１４の蒸着量に対
する影響係数を把握しておき、それを設定値入力手段２
９からコントローラ３０に入力しておき、前記加熱手段
１３の温度制御に際し、この影響係数を取り入れて温度
制御するのが好ましい。

【００７０】なお、気化器１１の開口部１５は、気化器
１１の表面の一部に円形あるいは矩形の多数の開口が対
応するフィルム１０の幅方向に列設されてなる形式のも
の、あるいは、連続したスリットからなる開口が対応す
るフィルム１０の幅方向に設けられた形式のものが好適
であるが、特に限定はされない。

【００７１】気化器１１は、蒸着処理室１の外部に設け
られ、そこで得られる気化した蒸着物が、蒸着処理室１
の内部のフィルム１０の表面近傍に誘導されるようにし
ても良い。

【００７２】気化器１１の加熱手段１３は、気化器１１
の外周に設けた、気化器１１自体に埋設した、あるい
は、その内部に設けた面状発熱体やテープヒーター、あ
るいは、気化器１１自体を抵抗発熱体としたものが好適
であるが、特に限定はされない。これら発熱体は、ＰＩ
Ｄ制御できるものが良い。

【００７３】温度検出手段１７は、補助物質１２の温度
自体を検出するものでも、あるいは、気化器１１の温度
自体を検出するものでも良く、また、そのセンサーは、
熱電対や測温抵抗体が好適であるが、特に限定はされな
い。

【００７４】気化器１１は、その内部に補助物質１２が
所定量収容できる形式のもの、あるいは、空の気化器に
外部から逐次補助物質１２が供給される形式のものが好
適であるが、特に限定はされない。

【００７５】圧力検出手段１６は、隔膜式、あるいは、
ピラニー式真空計が好適であるが、特に限定はされな
い。圧力計内で補助物質（オイル粒子）１４が凝縮しな
いものが良い。

【００７６】コントローラ３０は、通常のプログラマブ
ルコントローラーで良く、設定値入力手段２９は、数値
入力に用いる通常のデジタルスイッチで良い。

【００７７】処理室圧力検出手段２２は、電離式、隔膜
式、あるいは、ピラニー式真空計が好適であるが、特に
限定はされない。

【００７８】基材速度検出手段２３は、磁気式や光電式
のものが好適であるが、特に限定はされない。

【００７９】補助物質１２が、有機化合物モノマーであ
る場合は、気化器１１の下流側に、モノマーを架橋させ
るための架橋装置の設置が必要となる。

【００８０】上記実施装置の説明においては、基材１０
に、補助物質（オイル）１２を蒸着した後、金属１８を
蒸着する例について説明したが、この順序が逆、すなわ
ち、アフターオイルによるオイル膜を形成する場合は、
基材１０に、金属１８を蒸着した後、補助物質（オイ
ル）１２を蒸着することになる。この場合は、上記実施
装置において、基材１０の走行方向における気化器１１
と加熱器１９との設置位置を逆にするか、あるいは、位
置はそのままにしておき、基材（フィルム）１０の蒸着
処理のための走行方向を逆して蒸着処理をすることにす
れば良い。

【００８１】基材１０に、最初にオイルマージン膜を形
成し、次いで、金属膜を形成し、更に、アフターオイル
によるオイル膜を形成する場合があるが、この場合は、
上記実施装置において、アフターオイルが収容された前
記気化器１１と同様な別の気化器が、前記冷却ロール９
と前記蒸着製品ロール６との間に、設けられる。

【００８２】この別の気化器について、気化器１１と同
様に、圧力検出手段および温度検出手段が設けられ、か
つ、それらから検出される情報をコントローラ３０に入
力し、これに基づき、この別の気化器による気化した補
助物質の蒸気圧力を制御するようにしても良い。

【００８３】また、気化器１１、加熱器１９、あるい
は、別の気化器の設置個数は、１個に限られるものでは
なく、必要に応じて、複数個設けられる。

【００８４】

【実施例】実施例１および比較例１ この実施例１は、厚さ１１μｍのポリエチレンテレフタ
レートフィルムに、事前にＺｎを、抵抗値６Ω／□、製
品幅１９ｍｍ、マージン幅２ｍｍになるように、蒸着し
たものを、基材１０として用い、図１に示した実施装置
の気化器１１をアフターオイルのための気化器として用
い、この気化器１１の性能をテストしたものである。よ
って、金属を蒸着する加熱器１９は、不作動状態とし
た。

【００８５】基材１０の原反ロール４を、軸５に取り付
け、基材１０を、気化器１１の開口部１５の前面を所定
の間隔をもって通過させ、冷却ロール９に所定の接触角
にて接触させ通過させ、蒸着製品ロール６にて巻き取る
ように、蒸着処理室１内に装填した。補助物質１２とし
て、シリコーンオイルであるフェニル・メチル・ジメチ
ルポリシロキサンを用いた。

【００８６】加熱手段１３として、面状発熱体を、温度
検出手段１７として、熱電対を、圧力検出手段１６とし
て、ピラニー真空計を、速度検出手段２３として、磁気
式回転速度計を用いた。

【００８７】加熱手段１３は、気化器１１内の圧力が４
５Ｐａとなるように、設定・自動制御した。

【００８８】比較例１は、従来の方法である、作業者
が、一定蒸着長さ毎に徐々に加熱手段１３の温度を上げ
る手動制御によるものである。

【００８９】実施例１および比較例１により得られた金
属（Ｚｎ）蒸着フィルムのそれぞれについて、マージン
部分の２ｍｍ幅をスリットし、得られた１９ｍｍ幅の金
属蒸着フィルム（蒸着製品）のそれぞれについて、蒸着
開始部分、中間、蒸着終了部分を切り出し、それぞれ
を、８５℃、８５％ＲＨの条件の恒温恒湿槽に３時間入
れ、耐湿性を評価するサンプルを作成した。それぞれの
評価結果を表１に示す。実施例１のものは、バラツキが
小さく安定した耐湿性能を示した。

【００９０】

【表１】 次に、これらの蒸着フィルムを２枚重ねて巻回し、１２
０℃、６０kgf／ｃｍ²の圧力で５分間プレスし、０．３
μＦの素子を作成した。この素子１０個について、プレ
ス性を評価した。その結果を表２に示す。実施例１のも
のは、安定して良好なプレス性を示した。

【表２】 図２は、これら実施例１および比較例１における蒸着時
のオイル温度の変化を示すグラフで、横軸は、蒸着長さ
（単位：ｍ）を、縦軸は、この蒸着長さに対応したオイ
ル温度（単位：℃）を示す。

【００９１】従来方式（比較例１）における生産時のオ
イル温度の変化を示す線３１は、作業者が一定蒸着長さ
毎に一定幅でオイル温度を昇温させていることを示して
いる。

【００９２】これに対し、本発明に係る金属蒸着製品の
製造方法、装置（実施例１）では、蒸気圧力を所定の値
に自動的に維持できるため、線３２が示すように、蒸着
開始当初はゆっくりとしたステップでオイル温度が高く
なり、蒸着後半はピッチの早いステップでオイル温度が
高くなり、オイルの蒸気圧がほぼ一定に維持されている
ことが判る。

【００９３】なお、これは、蒸着開始当初ではオイルの
低分子量分が活発に蒸発するため、あまりオイル温度を
上げる必要がないのに対し、蒸着後半では蒸発しづらい
高分子量分が多く残っているため、温度を頻繁に上げて
積極的に蒸発させる必要があるためである。実施例１に
より作成された蒸着フィルムにおいては、従来のオイル
温度手動調整で発生していた、マージン部金属残り等の
欠点によるフィルムロスが完全に解消された。

【００９４】また、実施例１では、蒸着処理室１内を減
圧手段２１により、継続的に減圧（真空側）に維持して
いるため、蒸着後半になるほど徐々に真空度は上がって
行くが、この場合でも、蒸着処理室１内の真空度が、処
理室圧力検出手段２２で検出されているため、オイル蒸
気圧力の設定値４５Ｐａに対し、コントローラー３０で
この圧力設定値の補正を行っているので、運転開始当初
のオイル蒸気圧力で得られる蒸着膜厚がその後も維持さ
れる。また、蒸着速度を必要に応じて変化させる場合で
も、コントローラー３０が、この速度の変化に見合っ
て、自動的にオイル蒸気圧力の設定値の補正を行うた
め、最適蒸着膜厚が一連の蒸着製品製造工程で維持され
る。また、作業者の手動操作によるオイル温度の変更に
頼らないため、オペレーションミスも皆無となった。

【００９５】

【発明の効果】本発明に係る金属蒸着製品の製造方法お
よび装置は、使用される気化した補助物質（オイルな
ど）の蒸気圧力を検出し、その検出値を用いて補助物質
の気化条件を制御するようにしたため、フィルムなど基
材の表面に、補助物質を、常に、蒸着処理開始から終了
までの間、一定した最適な膜厚で蒸着できる。

【００９６】従来は、補助物質の気化条件は、現場の作
業者の経験と勘により調整されていたため、１バッチに
亘って、このような一定した最適な膜厚での蒸着を実施
することは、期待できなかった。作業者は気化器の温度
調整が頻繁にあるため、他の蒸着監視業務がおろそかに
なり、さらには温度調整の操作ミスを起こしてしまい、
製品の生産性に問題を生じていた。この問題は、本発明
により解決される。

【００９７】本発明の別の態様によれば、蒸着処理室自
体の圧力や基材の速度を検出し、これを気化する補助物
質の気化条件の制御に併用するため、蒸着開始から終了
までの環境変化が気化した補助物質の蒸気圧力に与える
影響を極力小さくでき、蒸着処理開始から終了までの
間、一定した最適な膜厚で蒸着できる。

【００９８】これによりオイル不足からくるマージン形
成不良や、蒸着金属腐食防止の機能不良が解消され、ま
たオイル過多から生じるコンデンサ素子巻回時の芯抜け
や、プレス性の悪化といった問題も解消される。さらに
は、気化器の温度調整が全自動で制御できるため、作業
者の作業量は大幅に軽減され、操作ミスも解消される。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の蒸着製品の製造装置の一実施
例の一部を断面で示す模式図である。

【図２】図２は、本発明についての実施例と比較例の場
合における蒸着長さとオイル温度との関係と説明するグ
ラフである。

【符号の説明】

１：蒸着処理室 ２：ドラム型筐体 ３：基材走行手段 ４：原反ロール ５：軸 ６：蒸着製品ロール ７：軸 ８：軸 ９：冷却ロール １０：基材（フィルム） １１：気化器 １２：補助物質（オイル） １３：加熱手段 １４：気化した補助物質（オイル粒子） １５：開口部 １６：圧力検出手段 １７：温度検出手段 １８：金属 １９：加熱器 ２０：金属蒸気 ２１：減圧手段 ２２：処理室圧力検出手段 ２３：基材速度検出手段 ２４：制御装置 ２５：温度計 ２６：第１の圧力計 ２７：第２の圧力計 ２８：速度計 ２９：蒸気圧力設定値入力手段 ３０：コントローラ ３１：従来のオイル温度の変化 ３２：本発明のオイル温度の変化

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属を蒸発せしめ、蒸発した金属を連続
   して走行する基材に蒸着する金属蒸着工程と、該基材の
   走行方向において、該金属蒸着工程の前あるいは後に位
   置し、気化器に収容された補助物質を気化せしめ、気化
   した補助物質を前記連続して走行する基材に蒸着する補
   助物質蒸着工程とからなる金属蒸着製品の製造方法にお
   いて、前記気化器により気化せしめられた補助物質が存
   在する雰囲気の圧力を検出し、この検出された圧力に関
   する情報に基づき、前記気化器における補助物質の気化
   条件を制御することを特徴とする金属蒸着製品の製造方
   法。
2. 【請求項２】 前記補助物質が、オイルであることを特
   徴とする請求項１に記載の金属蒸着製品の製造方法。
3. 【請求項３】 前記補助物質が、水であることを特徴と
   する請求項１に記載の金属蒸着製品の製造方法。
4. 【請求項４】 前記補助物質が、有機化合物モノマーで
   あることを特徴とする請求項１に記載の金属蒸着製品の
   製造方法。
5. 【請求項５】 （イ）蒸着処理室、（ロ）該蒸着処理室
   内を減圧にする減圧手段、（ハ）基材を走行せしめる基
   材走行手段、（ニ）金属蒸着手段、（ホ）加熱手段によ
   り収容されている補助物質を加熱し気化せしめる気化器
   からなる補助物質蒸着手段とからなり、前記蒸着処理室
   内において、前記基材走行手段により走行せしめられる
   前記基材に、前記金属蒸着手段により、金属を蒸着せし
   め、該金属の蒸着の前あるいは後において、前記基材走
   行手段により走行せしめられる前記基材に、前記補助物
   質蒸着手段により、補助物質を蒸着せしめてなる金属蒸
   着製品の製造装置において、（ヘ）前記気化器の前記加
   熱手段により気化せしめられた補助物質が存在する雰囲
   気の圧力を検出する圧力検出手段と、（ト）この検出さ
   れた圧力に関する情報に基づき、前記加熱手段の加熱温
   度を制御する温度制御手段とが設けられていることを特
   徴とする金属蒸着製品の製造装置。
6. 【請求項６】 前記圧力検出手段の検出端が、前記気化
   器内の気化した補助物質が存在する雰囲気中に設けられ
   ていることを特徴とする請求項５に記載の金属蒸着製品
   の製造装置。
7. 【請求項７】 前記蒸着処理室内の圧力を検出する処理
   室圧力検出手段が設けられていることを特徴とする請求
   項５に記載の金属蒸着製品の製造装置。
8. 【請求項８】 前記基材の走行速度を検出する基材速度
   検出手段が設けられていることを特徴とする請求項５に
   記載の金属蒸着製品の製造装置。