JPH11316262A - Ｉｃ試験装置 - Google Patents
Ｉｃ試験装置Info
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- JPH11316262A JPH11316262A JP10121518A JP12151898A JPH11316262A JP H11316262 A JPH11316262 A JP H11316262A JP 10121518 A JP10121518 A JP 10121518A JP 12151898 A JP12151898 A JP 12151898A JP H11316262 A JPH11316262 A JP H11316262A
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- time
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 リレーが故障に至る前の劣化状態を検出し、
故障以前に予備交換出来るＩＣ試験装置を提供する。 【解決手段】 直流特性測定回路Ｍは、リレーＨに駆動
信号であるオン信号ＯＮまたはオフ信号ＯＦＦが与えら
れる。この結果、リレーＨは、ＯＮ／ＯＦＦの動作を行
う。そして、直流特性測定回路Ｍは、リレーＨの開閉の
時刻を検出し、この時刻に基づき各々時間ＴON、時間Ｔ
OFFおよびバウンス時間を算定する。また、直流特性測
定回路Ｍは、この時間ＴON、時間ＴOFFおよびバウンス
時間ＴBと、予め設定してある各々の時間の許容範囲と
比較し、リレーＨの劣化の程度の判定を行う。この結
果、時間ＴON、時間ＴOFFおよびバウンス時間ＴBのいず
れか一つでも許容範囲外と判定されれば、リレーＨは、
この劣化の程度に応じて、新しいリレーと交換される。
故障以前に予備交換出来るＩＣ試験装置を提供する。 【解決手段】 直流特性測定回路Ｍは、リレーＨに駆動
信号であるオン信号ＯＮまたはオフ信号ＯＦＦが与えら
れる。この結果、リレーＨは、ＯＮ／ＯＦＦの動作を行
う。そして、直流特性測定回路Ｍは、リレーＨの開閉の
時刻を検出し、この時刻に基づき各々時間ＴON、時間Ｔ
OFFおよびバウンス時間を算定する。また、直流特性測
定回路Ｍは、この時間ＴON、時間ＴOFFおよびバウンス
時間ＴBと、予め設定してある各々の時間の許容範囲と
比較し、リレーＨの劣化の程度の判定を行う。この結
果、時間ＴON、時間ＴOFFおよびバウンス時間ＴBのいず
れか一つでも許容範囲外と判定されれば、リレーＨは、
この劣化の程度に応じて、新しいリレーと交換される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、内部に使用される
リレーに対するリレー劣化検出機能を有するＩＣ（集積
回路）試験装置に関する。
リレーに対するリレー劣化検出機能を有するＩＣ（集積
回路）試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ試験装置は、装置内に多数使用して
いるリレーの故障を検出する目的としてリレー故障検出
機能を有している。このリレー故障検出機能は、リレー
が故障して接点が開閉しないなどの動作不良を検出する
ものであり、動作不良を起こす以前のリレーの劣化を検
出するものではない。
いるリレーの故障を検出する目的としてリレー故障検出
機能を有している。このリレー故障検出機能は、リレー
が故障して接点が開閉しないなどの動作不良を検出する
ものであり、動作不良を起こす以前のリレーの劣化を検
出するものではない。
【０００３】図４は、従来のリレー故障検出機能の動作
の一例を示すフローチャートである。ステップＰ１にお
いて、リレー駆動信号発生により、リレーにリレーオン
信号またはリレーオフ信号がリレー駆動部に与えられ
る。
の一例を示すフローチャートである。ステップＰ１にお
いて、リレー駆動信号発生により、リレーにリレーオン
信号またはリレーオフ信号がリレー駆動部に与えられ
る。
【０００４】次に、、ステップＰ２において、リレー接
点開閉による導通の有無が測定される。そして、ステッ
プＰ３において、正常にリレーが動作したかどうかが確
認される。リレーオン信号を与えても接点が閉じない場
合、またはリレーオフ信号を与えても接点が開かない場
合には、ステップＰ２２進み、測定対象のリレーが故障
と判定され、このリレーが新しいリレーと交換される。
点開閉による導通の有無が測定される。そして、ステッ
プＰ３において、正常にリレーが動作したかどうかが確
認される。リレーオン信号を与えても接点が閉じない場
合、またはリレーオフ信号を与えても接点が開かない場
合には、ステップＰ２２進み、測定対象のリレーが故障
と判定され、このリレーが新しいリレーと交換される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来のＩＣ試験装置は、リレーの故障検出を目的としてい
るため、リレー動作不良に陥るまで検出できない欠点が
ある。また、リレー故障が突発的に発生するため、従来
のＩＣ試験装置は、装置使用中にリレーが故障に至った
場合、故障リレーの特定・交換・復旧までに時間がかか
ってしまい、デバイス測定に支障をきたすという問題が
あった。
来のＩＣ試験装置は、リレーの故障検出を目的としてい
るため、リレー動作不良に陥るまで検出できない欠点が
ある。また、リレー故障が突発的に発生するため、従来
のＩＣ試験装置は、装置使用中にリレーが故障に至った
場合、故障リレーの特定・交換・復旧までに時間がかか
ってしまい、デバイス測定に支障をきたすという問題が
あった。
【０００６】本発明はこのような背景の下になされたも
ので、リレーが故障に至る前の劣化状態を検出し、故障
以前に予備交換出来るＩＣ試験装置を提供することを目
的とする。
ので、リレーが故障に至る前の劣化状態を検出し、故障
以前に予備交換出来るＩＣ試験装置を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ＩＣの測定時に測定種類毎に測定系の接続を変更するリ
レーを使用しているＩＣ試験装置において、前記リレー
に駆動信号を与える駆動回路と、この駆動信号による前
記リレーの動作を検出し、検出結果として検出時刻を出
力する検出回路と、前記検出時刻と前記駆動信号の出力
された時刻との差から、前記駆動信号が与えられた時刻
からリレーが動作するために必要な動作時間を求める演
算部と、この動作時間が所定の時間範囲内にあるか否か
を判定する判定手段とを具備することを特徴とするＩＣ
試験装置。
ＩＣの測定時に測定種類毎に測定系の接続を変更するリ
レーを使用しているＩＣ試験装置において、前記リレー
に駆動信号を与える駆動回路と、この駆動信号による前
記リレーの動作を検出し、検出結果として検出時刻を出
力する検出回路と、前記検出時刻と前記駆動信号の出力
された時刻との差から、前記駆動信号が与えられた時刻
からリレーが動作するために必要な動作時間を求める演
算部と、この動作時間が所定の時間範囲内にあるか否か
を判定する判定手段とを具備することを特徴とするＩＣ
試験装置。
【０００８】請求項２記載の発明は、請求項１記載のＩ
Ｃ試験装置において、前記検出回路が一の電源と他の電
源との間に直列接続により介挿され、一の接続点が一の
端子に所定の電圧が加えられている前記リレーの他の端
子に接続された複数の抵抗を有し、この複数の抵抗の他
の接続点の電圧値を測定して前記リレーの動作を検出す
るこを特徴とする。
Ｃ試験装置において、前記検出回路が一の電源と他の電
源との間に直列接続により介挿され、一の接続点が一の
端子に所定の電圧が加えられている前記リレーの他の端
子に接続された複数の抵抗を有し、この複数の抵抗の他
の接続点の電圧値を測定して前記リレーの動作を検出す
るこを特徴とする。
【０００９】請求項３記載の発明は、請求項１または請
求項２に記載のＩＣ試験装置において、前記動作時間が
リレーがオンするために必要な時間、リレーが安定した
状態となるために必要なバウンス時間、およびリレーが
オフするために必要な時間であることを特徴とする。
求項２に記載のＩＣ試験装置において、前記動作時間が
リレーがオンするために必要な時間、リレーが安定した
状態となるために必要なバウンス時間、およびリレーが
オフするために必要な時間であることを特徴とする。
【００１０】このため、本発明のＩＣ試験装置では、リ
レーが故障に至る前にリレー動作時間（リレーオン時
間、バウンス時間、リレーオフ時間）が正常なリレーに
比べ長くなる、または短くなるというリレーの特性を利
用し、リレーの動作時間を測定することでリレーの劣化
の程度を検出する。
レーが故障に至る前にリレー動作時間（リレーオン時
間、バウンス時間、リレーオフ時間）が正常なリレーに
比べ長くなる、または短くなるというリレーの特性を利
用し、リレーの動作時間を測定することでリレーの劣化
の程度を検出する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態に
よるＩＣ試験装置の構成を示すブロック図である。この
図において、Ｗは、ＩＣ試験装置であり、測定部Ｑと被
測定部Ｒとで構成されている。測定部Ｑは、被測定部Ｒ
に実装されているＩＣの特性を測定する。
施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態に
よるＩＣ試験装置の構成を示すブロック図である。この
図において、Ｗは、ＩＣ試験装置であり、測定部Ｑと被
測定部Ｒとで構成されている。測定部Ｑは、被測定部Ｒ
に実装されているＩＣの特性を測定する。
【００１２】以下に、測定部Ｑの構成を説明する。Ｍは
直流特性測定回路であり、測定部Ｑの各回路の動作を制
御し、被測定部Ｒに実装されている被測定物の直流特性
を測定する。この各回路の制御については、後に各回路
の説明とともに行う。
直流特性測定回路であり、測定部Ｑの各回路の動作を制
御し、被測定部Ｒに実装されている被測定物の直流特性
を測定する。この各回路の制御については、後に各回路
の説明とともに行う。
【００１３】ここで、通常において、被測定部Ｒは、測
定されるＩＣが実装されている測定基板である。しかし
ながら、図１に示す被測定部Ｒは、測定部Ｑ上で用いら
れているリレーＨの劣化の程度を測定するための試験ボ
ードとなっている。当然、被測定部Ｒを前記測定基板に
代えることで、測定部Ｑは、測定基板に実装されている
ＩＣの特性試験を行う。
定されるＩＣが実装されている測定基板である。しかし
ながら、図１に示す被測定部Ｒは、測定部Ｑ上で用いら
れているリレーＨの劣化の程度を測定するための試験ボ
ードとなっている。当然、被測定部Ｒを前記測定基板に
代えることで、測定部Ｑは、測定基板に実装されている
ＩＣの特性試験を行う。
【００１４】この、被測定部Ｒには、測定部に使用され
ている複数のリレーを特定しながら、各リレーの劣化の
程度を測定できる様に各リレーに対応する測定用回路が
設けられている。一実施形態の説明においては、一つの
リレーに対する構成で説明するが、複数のリレーに対応
できる構成も当然可能である。複数のリレーに対応でき
る構成において、測定部Ｑは、ＩＣの特性測定時におけ
るＩＣの各ピンを特定する機能を用いて、測定している
リレーの特定が可能である。
ている複数のリレーを特定しながら、各リレーの劣化の
程度を測定できる様に各リレーに対応する測定用回路が
設けられている。一実施形態の説明においては、一つの
リレーに対する構成で説明するが、複数のリレーに対応
できる構成も当然可能である。複数のリレーに対応でき
る構成において、測定部Ｑは、ＩＣの特性測定時におけ
るＩＣの各ピンを特定する機能を用いて、測定している
リレーの特定が可能である。
【００１５】Ｇはダイオードであり、カソード端子が直
流特性測定回路Ｍに接続され、アノード端子がリレーＨ
の端子Ｔ１に接続されている。ダイオードＧのカソード
端子端子には、電圧Ａが直流特性測定回路Ｍから供給さ
れる。また、ダイオードＧは、端子Ｔ１の電圧を電圧Ａ
によりクランプするために用いられる。
流特性測定回路Ｍに接続され、アノード端子がリレーＨ
の端子Ｔ１に接続されている。ダイオードＧのカソード
端子端子には、電圧Ａが直流特性測定回路Ｍから供給さ
れる。また、ダイオードＧは、端子Ｔ１の電圧を電圧Ａ
によりクランプするために用いられる。
【００１６】リレーＨは、端子Ｔ２が測定部Ｒの端子Ｔ
３に接続されている。また、電圧測定回路Ｍは、リレー
駆動回路Ｊに制御信号ＣＮＴを出力し、この出力した時
間から端子Ｔ４の電圧が変化するまでの時間を測定す
る。さらに、電圧測定回路Ｍは、端子Ｔ５へ電圧Ｂを供
給し、端子Ｔ６へ電圧Ｃを供給する。
３に接続されている。また、電圧測定回路Ｍは、リレー
駆動回路Ｊに制御信号ＣＮＴを出力し、この出力した時
間から端子Ｔ４の電圧が変化するまでの時間を測定す
る。さらに、電圧測定回路Ｍは、端子Ｔ５へ電圧Ｂを供
給し、端子Ｔ６へ電圧Ｃを供給する。
【００１７】リレー駆動回路Ｊは、リレーＨを開閉する
ために、リレーＨをオンするオン信号ＯＮおよびオフす
るオフ信号ＯＦＦを出力する。
ために、リレーＨをオンするオン信号ＯＮおよびオフす
るオフ信号ＯＦＦを出力する。
【００１８】次に、被測定部Ｒの構成を説明する。抵抗
Ｄは、端子Ｔ６’と接続点Ｚ１との間に介挿されてい
る。接続点Ｚ１は、端子Ｔ３’へ接続されている。抵抗
Ｅは、接続点Ｚ１と測定点Ｚ２との間に介挿されてい
る。接続点Ｚ２は、端子Ｔ４’と接続されている。抵抗
Ｆは、測定点Ｚ２と端子Ｔ５’との間に介挿されてい
る。
Ｄは、端子Ｔ６’と接続点Ｚ１との間に介挿されてい
る。接続点Ｚ１は、端子Ｔ３’へ接続されている。抵抗
Ｅは、接続点Ｚ１と測定点Ｚ２との間に介挿されてい
る。接続点Ｚ２は、端子Ｔ４’と接続されている。抵抗
Ｆは、測定点Ｚ２と端子Ｔ５’との間に介挿されてい
る。
【００１９】上述したように、抵抗Ｄ、抵抗Ｅおよび抵
抗Ｆは、端子Ｔ５’と端子Ｔ６’との間に直列に介挿さ
れており、リレーＨの劣化の程度の測定に必要な接続点
Ｚ１および測定点Ｚ２における電圧を、端子Ｔ５’の電
圧Ｂと端子Ｔ６’の電圧Ｃとを分圧することにより生成
している。ここで、例えば、電圧Ｂと電圧Ｃとの関係
は、「Ｂ＞Ｃ」である。同様に、電圧Ｂと電圧Ａとの関
係は、「Ｂ＞Ａ」である。
抗Ｆは、端子Ｔ５’と端子Ｔ６’との間に直列に介挿さ
れており、リレーＨの劣化の程度の測定に必要な接続点
Ｚ１および測定点Ｚ２における電圧を、端子Ｔ５’の電
圧Ｂと端子Ｔ６’の電圧Ｃとを分圧することにより生成
している。ここで、例えば、電圧Ｂと電圧Ｃとの関係
は、「Ｂ＞Ｃ」である。同様に、電圧Ｂと電圧Ａとの関
係は、「Ｂ＞Ａ」である。
【００２０】また、端子Ｔ３と端子Ｔ３’と、端子Ｔ４
と端子Ｔ４’と、端子Ｔ５と端子Ｔ５’と、および端子
Ｔ６と端子Ｔ６’とは、おのおの接続されている。従っ
て、リレーＨの端子Ｔ３と接続点Ｚ１とは、端子Ｔ３お
よび端子Ｔ３’を介して接続されている。
と端子Ｔ４’と、端子Ｔ５と端子Ｔ５’と、および端子
Ｔ６と端子Ｔ６’とは、おのおの接続されている。従っ
て、リレーＨの端子Ｔ３と接続点Ｚ１とは、端子Ｔ３お
よび端子Ｔ３’を介して接続されている。
【００２１】また、直流特性測定回路Ｍは、端子Ｔ４お
よび端子Ｔ４’を介して測定点Ｚ２と接続されており、
この測定点Ｚ２の電圧を測定することになる。さらに、
直流特性測定回路Ｍは、端子Ｔ５および端子Ｔ５’を介
して抵抗Ｄと接続されており、この抵抗Ｄへ電圧Ｂを供
給する。また、直流特性測定回路Ｍは、端子Ｔ６および
端子Ｔ６’を介して抵抗Ｆと接続されており、この抵抗
Ｆへ電圧Ｃを供給する。
よび端子Ｔ４’を介して測定点Ｚ２と接続されており、
この測定点Ｚ２の電圧を測定することになる。さらに、
直流特性測定回路Ｍは、端子Ｔ５および端子Ｔ５’を介
して抵抗Ｄと接続されており、この抵抗Ｄへ電圧Ｂを供
給する。また、直流特性測定回路Ｍは、端子Ｔ６および
端子Ｔ６’を介して抵抗Ｆと接続されており、この抵抗
Ｆへ電圧Ｃを供給する。
【００２２】上述したようにＩＣ試験装置が構成されて
いるため、直流特性測定回路ＭがダイオードＧのカソー
ドに供給する電圧Ａよりも接続点Ｚ１の電圧が高くなる
ように（ダイオードＧの順方向電圧も含めて）設定す
る。これにより、リレーＨがオンした場合、測定点Ｚ２
の電圧は、抵抗Ｄを流れる電流が全て抵抗Ｅおよび抵抗
Ｆを流れる状態から、抵抗Ｅおよび抵抗Ｆを流れる電流
とダイオードＧへ流れる電流とに分流されるために低下
する。
いるため、直流特性測定回路ＭがダイオードＧのカソー
ドに供給する電圧Ａよりも接続点Ｚ１の電圧が高くなる
ように（ダイオードＧの順方向電圧も含めて）設定す
る。これにより、リレーＨがオンした場合、測定点Ｚ２
の電圧は、抵抗Ｄを流れる電流が全て抵抗Ｅおよび抵抗
Ｆを流れる状態から、抵抗Ｅおよび抵抗Ｆを流れる電流
とダイオードＧへ流れる電流とに分流されるために低下
する。
【００２３】リレーＨにオン信号が入力されてから、こ
の測定点Ｚ２の電圧の変化する間での時間を測定するこ
とにより、リレーＨにオン信号が入力されてからリレー
Ｈがオンするまでの時間を測定する。同様に、リレーＨ
のオフに対応した測定点Ｚ２の電圧の変化に基づき、リ
レーのオフに要する時間を測定する。
の測定点Ｚ２の電圧の変化する間での時間を測定するこ
とにより、リレーＨにオン信号が入力されてからリレー
Ｈがオンするまでの時間を測定する。同様に、リレーＨ
のオフに対応した測定点Ｚ２の電圧の変化に基づき、リ
レーのオフに要する時間を測定する。
【００２４】すなわち、リレーが故障に至る前には、リ
レー動作時間（リレーのオンに要する時間、リレーのオ
フに要する時間、リレーがオン状態となる時にリレーの
接点がバウンドして不安定状態となるバウンス時間）が
正常なリレーに比べて、長くもしくは短くなる特性があ
る。本発明のＩＣ試験装置は、前記の特性を利用して、
リレーの各動作時間を測定することにより、リレーの劣
化を検出している。
レー動作時間（リレーのオンに要する時間、リレーのオ
フに要する時間、リレーがオン状態となる時にリレーの
接点がバウンドして不安定状態となるバウンス時間）が
正常なリレーに比べて、長くもしくは短くなる特性があ
る。本発明のＩＣ試験装置は、前記の特性を利用して、
リレーの各動作時間を測定することにより、リレーの劣
化を検出している。
【００２５】ここで、電圧測定回路Ｍのリレーの開閉
（オン-オフ）時間の測定方法について、図３を参照し
て説明する。時刻ｔ1において、直流特性測定回路Ｍか
らの制御信号ＣＮＴに基づいて、リレー駆動回路Ｊは、
オン信号ＯＮを出力する。直流特性測定回路Ｍは、内部
で生成されるウインドウストロボ信号Ｕの時刻ｔ2から
時刻ｔ2までの時間Ｔ1の間において電圧測定点Ｚ２の電
圧を測定する。
（オン-オフ）時間の測定方法について、図３を参照し
て説明する。時刻ｔ1において、直流特性測定回路Ｍか
らの制御信号ＣＮＴに基づいて、リレー駆動回路Ｊは、
オン信号ＯＮを出力する。直流特性測定回路Ｍは、内部
で生成されるウインドウストロボ信号Ｕの時刻ｔ2から
時刻ｔ2までの時間Ｔ1の間において電圧測定点Ｚ２の電
圧を測定する。
【００２６】ここで、直流特性測定回路Ｍは、制御信号
ＣＮＴをリレー駆動回路Ｊへ出力した時刻ｔ1から時刻
ｔ4までの時間ＴONを測定点Ｚ２（図１）の所定の電圧
（電圧値Ｖ2）低下（時刻ｔ4）に基づき測定する。この
時刻ｔ4は、測定点Ｚ２（図１）の電圧が一度でも所定
の電圧よりも低下した時を測定している。すなわち、直
流特性測定回路Ｍは、リレーＨがリレー駆動回路Ｊのオ
ン信号ＯＮの入力からオンするまでの時間を測定する。
ＣＮＴをリレー駆動回路Ｊへ出力した時刻ｔ1から時刻
ｔ4までの時間ＴONを測定点Ｚ２（図１）の所定の電圧
（電圧値Ｖ2）低下（時刻ｔ4）に基づき測定する。この
時刻ｔ4は、測定点Ｚ２（図１）の電圧が一度でも所定
の電圧よりも低下した時を測定している。すなわち、直
流特性測定回路Ｍは、リレーＨがリレー駆動回路Ｊのオ
ン信号ＯＮの入力からオンするまでの時間を測定する。
【００２７】このとき、直流特性測定回路Ｍは、前記時
刻ｔ4の検出をウインドウストロボ信号Ｕの時間Ｔ1の間
で行っている。すなわち、直流特性測定回路Ｍは、測定
点Ｚ２（図１）の電圧の電圧値Ｖ2への低下を検出する
ため、ウインドウストロボ信号Ｕにより測定点Ｚ２（図
１）の電圧低下が測定されるまで、ウインドウストロボ
信号Ｕの出力される時刻ｔ2を時刻ｔ1に対して徐々に遅
らせる操作を行う。
刻ｔ4の検出をウインドウストロボ信号Ｕの時間Ｔ1の間
で行っている。すなわち、直流特性測定回路Ｍは、測定
点Ｚ２（図１）の電圧の電圧値Ｖ2への低下を検出する
ため、ウインドウストロボ信号Ｕにより測定点Ｚ２（図
１）の電圧低下が測定されるまで、ウインドウストロボ
信号Ｕの出力される時刻ｔ2を時刻ｔ1に対して徐々に遅
らせる操作を行う。
【００２８】つまり、直流特性測定回路Ｍは、測定点Ｚ
２（図１）の電圧低下が測定されるまで、リレーＨを一
度オフ状態に戻した後、検出制御信号ＣＮＴをリレー駆
動回路Ｊへ出力する。そして、直流特性測定回路Ｍは、
ウインドウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2を時刻
ｔ1に対して所定時間ずつずらしながら何度もリレーＨ
をオン状態とする操作を繰り返す。
２（図１）の電圧低下が測定されるまで、リレーＨを一
度オフ状態に戻した後、検出制御信号ＣＮＴをリレー駆
動回路Ｊへ出力する。そして、直流特性測定回路Ｍは、
ウインドウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2を時刻
ｔ1に対して所定時間ずつずらしながら何度もリレーＨ
をオン状態とする操作を繰り返す。
【００２９】上述した操作により、直流特性測定回路Ｍ
は、リレーＨのオン状態となる時間ＴONを測定する。ま
た、直流特性測定回路Ｍは、上述した操作と同様にウイ
ンドウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2をずらしな
がら電圧測定点Ｚ２の電圧変化の時刻を測定することに
より、バウンス時間ＴBおよびリレーＨのオフ状態とな
る時間ＴOFFを求める。
は、リレーＨのオン状態となる時間ＴONを測定する。ま
た、直流特性測定回路Ｍは、上述した操作と同様にウイ
ンドウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2をずらしな
がら電圧測定点Ｚ２の電圧変化の時刻を測定することに
より、バウンス時間ＴBおよびリレーＨのオフ状態とな
る時間ＴOFFを求める。
【００３０】また、直流特性測定回路Ｍは、測定結果の
時刻ＴON、バウンス時間ＴBおよび時間ＴOFFが各々所定
の範囲に含まれているか否かの判定を行う。この結果、
直流特性測定回路Ｍは、図に示さないコンピュータにこ
のリレーＨの劣化の程度を検出した結果情報を出力す
る。
時刻ＴON、バウンス時間ＴBおよび時間ＴOFFが各々所定
の範囲に含まれているか否かの判定を行う。この結果、
直流特性測定回路Ｍは、図に示さないコンピュータにこ
のリレーＨの劣化の程度を検出した結果情報を出力す
る。
【００３１】このコンピュータは、図に示さない表示部
にリレーＨの劣化の程度を示すテ゛ータを表示する。作業者
は、この表示を確認して、時刻ＴON、バウンス時間ＴB
および時間ＴOFFが各々所定の範囲に含まれていない場
合、このリレーＨを新しいリレーと交換する。
にリレーＨの劣化の程度を示すテ゛ータを表示する。作業者
は、この表示を確認して、時刻ＴON、バウンス時間ＴB
および時間ＴOFFが各々所定の範囲に含まれていない場
合、このリレーＨを新しいリレーと交換する。
【００３２】次に、図１、図２および図３を参照して上
述したＩＣ試験装置のリレー回路の動作を説明する。図
３は、上述したＩＣ試験装置のリレー回路の動作を示す
フローチャートである。
述したＩＣ試験装置のリレー回路の動作を説明する。図
３は、上述したＩＣ試験装置のリレー回路の動作を示す
フローチャートである。
【００３３】ステップＳ１において、直流特性測定回路
Ｍは、時刻ｔ1にリレー駆動回路Ｊへ制御信号ＣＮＴを
出力する。これにより、リレー駆動回路Ｊは、オン信号
ＯＮをリレーＨへ出力する。
Ｍは、時刻ｔ1にリレー駆動回路Ｊへ制御信号ＣＮＴを
出力する。これにより、リレー駆動回路Ｊは、オン信号
ＯＮをリレーＨへ出力する。
【００３４】そして、直流特性測定回路Ｍは、測定点Ｚ
２の電圧が電圧値Ｖ1から所定の電圧値Ｖ2へ低下する時
刻を検出するため、ウインドウストロボ信号Ｕにより測
定点Ｚ２が所定の電圧値Ｖ2に低下することが測定され
るまで、ウインドウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ
2を時刻ｔ1に対して徐々に遅らせる操作を行う。
２の電圧が電圧値Ｖ1から所定の電圧値Ｖ2へ低下する時
刻を検出するため、ウインドウストロボ信号Ｕにより測
定点Ｚ２が所定の電圧値Ｖ2に低下することが測定され
るまで、ウインドウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ
2を時刻ｔ1に対して徐々に遅らせる操作を行う。
【００３５】そして、直流特性測定回路Ｍは、ウインド
ウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2を時刻ｔ1に対し
て所定時間ずつずらしながら何度もリレーＨをオン状態
とする操作を繰り返す。
ウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2を時刻ｔ1に対し
て所定時間ずつずらしながら何度もリレーＨをオン状態
とする操作を繰り返す。
【００３６】この結果、直流特性測定回路Ｍは、時刻ｔ
4において、測定点Ｚ２の電圧が電圧値Ｖ1から所定の電
圧値Ｖ2への低下を検出する。そして、直流特性測定回
路Ｍは、時刻ｔ4をリレーがオンした時刻として記憶す
る。ここでのオンは、測定点Ｚ２が一度でも所定の電圧
値Ｖ2に低下したときを示している。
4において、測定点Ｚ２の電圧が電圧値Ｖ1から所定の電
圧値Ｖ2への低下を検出する。そして、直流特性測定回
路Ｍは、時刻ｔ4をリレーがオンした時刻として記憶す
る。ここでのオンは、測定点Ｚ２が一度でも所定の電圧
値Ｖ2に低下したときを示している。
【００３７】次に、直流特性測定回路Ｍは、バウンス状
態の終了時刻を検出するため、時刻ｔ1にリレー駆動回
路Ｊへ制御信号ＣＮＴを出力する。これにより、リレー
駆動回路Ｊは、オン信号ＯＮをリレーＨへ出力する。そ
して、直流特性測定回路Ｍは、測定点Ｚ２の電圧の低下
を検出するため、ウインドウストロボ信号Ｕにより測定
点Ｚ２の電圧が所定の電圧値Ｖ2へ低下した状態で安定
するまで、ウインドウストロボ信号Ｕの出力される時刻
ｔ2を時刻ｔ1に対して徐々に遅らせる操作を行う。
態の終了時刻を検出するため、時刻ｔ1にリレー駆動回
路Ｊへ制御信号ＣＮＴを出力する。これにより、リレー
駆動回路Ｊは、オン信号ＯＮをリレーＨへ出力する。そ
して、直流特性測定回路Ｍは、測定点Ｚ２の電圧の低下
を検出するため、ウインドウストロボ信号Ｕにより測定
点Ｚ２の電圧が所定の電圧値Ｖ2へ低下した状態で安定
するまで、ウインドウストロボ信号Ｕの出力される時刻
ｔ2を時刻ｔ1に対して徐々に遅らせる操作を行う。
【００３８】そして、直流特性測定回路Ｍは、ウインド
ウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2を時刻ｔ1に対し
て所定時間ずつずらしながら何度もリレーＨをオン状態
とする操作を繰り返す。
ウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2を時刻ｔ1に対し
て所定時間ずつずらしながら何度もリレーＨをオン状態
とする操作を繰り返す。
【００３９】この結果、直流特性測定回路Ｍは、時刻ｔ
5において、測定点Ｚ２の電圧が所定の電圧値Ｖ2へ低下
した状態で安定したことを検出する。そして、直流特性
測定回路Ｍは、時刻ｔ5をリレーが安定状態でオンした
時刻として記憶する。
5において、測定点Ｚ２の電圧が所定の電圧値Ｖ2へ低下
した状態で安定したことを検出する。そして、直流特性
測定回路Ｍは、時刻ｔ5をリレーが安定状態でオンした
時刻として記憶する。
【００４０】次に、直流特性測定回路Ｍは、リレーＨの
オフ状態になる時刻を検出するため、時刻ｔ1にリレー
駆動回路Ｊへ制御信号ＣＮＴを出力する。これにより、
リレー駆動回路Ｊは、オン信号ＯＮをリレーＨへ出力す
る。そして、直流特性測定回路Ｍは、時刻ｔ6にリレー
駆動回路Ｊへ制御信号ＣＮＴを出力する。これにより、
リレー駆動回路Ｊは、オフ信号ＯＦＦをリレーＨへ出力
する。
オフ状態になる時刻を検出するため、時刻ｔ1にリレー
駆動回路Ｊへ制御信号ＣＮＴを出力する。これにより、
リレー駆動回路Ｊは、オン信号ＯＮをリレーＨへ出力す
る。そして、直流特性測定回路Ｍは、時刻ｔ6にリレー
駆動回路Ｊへ制御信号ＣＮＴを出力する。これにより、
リレー駆動回路Ｊは、オフ信号ＯＦＦをリレーＨへ出力
する。
【００４１】そして、直流特性測定回路Ｍは、測定点Ｚ
２の電圧が所定の電圧値Ｖ1に上昇する時刻を検出する
ため、ウインドウストロボ信号Ｕにより測定点Ｚ２の電
圧が所定の電圧値Ｖ1に上昇することが測定されるま
で、ウインドウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2時
刻ｔ6に対して徐々に遅らせる操作を行う。
２の電圧が所定の電圧値Ｖ1に上昇する時刻を検出する
ため、ウインドウストロボ信号Ｕにより測定点Ｚ２の電
圧が所定の電圧値Ｖ1に上昇することが測定されるま
で、ウインドウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2時
刻ｔ6に対して徐々に遅らせる操作を行う。
【００４２】そして、直流特性測定回路Ｍは、ウインド
ウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2を時刻ｔ6に対し
て所定時間ずつずらしながら何度もリレーＨをオン状態
からオフ状態とする操作を繰り返す。この結果、直流特
性測定回路Ｍは、時刻ｔ7において、測定点Ｚ２の電圧
が電圧値Ｖ2から所定の電圧値Ｖ1に上昇したことを検出
する。そして、直流特性測定回路Ｍは、時刻ｔ7をリレ
ーがオフした時刻として記憶する。
ウストロボ信号Ｕの出力される時刻ｔ2を時刻ｔ6に対し
て所定時間ずつずらしながら何度もリレーＨをオン状態
からオフ状態とする操作を繰り返す。この結果、直流特
性測定回路Ｍは、時刻ｔ7において、測定点Ｚ２の電圧
が電圧値Ｖ2から所定の電圧値Ｖ1に上昇したことを検出
する。そして、直流特性測定回路Ｍは、時刻ｔ7をリレ
ーがオフした時刻として記憶する。
【００４３】ここで、リレーのオフ状態は、一瞬でもリ
レーが開いたと判断されるまでの時間である。すなわ
ち、リレーのオフ状態は、一度でも測定点Ｚ２の電圧が
電圧値Ｖ2から所定の電圧値Ｖ1まで上昇した時のことを
示す。
レーが開いたと判断されるまでの時間である。すなわ
ち、リレーのオフ状態は、一度でも測定点Ｚ２の電圧が
電圧値Ｖ2から所定の電圧値Ｖ1まで上昇した時のことを
示す。
【００４４】次に、ステップＳ２において、直流特性測
定回路Ｍは、記憶されている時刻ｔ1、時刻ｔ4、、時刻
ｔ5、時刻ｔ6および時刻ｔ7に基づき、測定結果の時刻
ＴON、バウンス時間ＴBおよび時間ＴOFFの算定を行う。
すなわち、測定結果の時刻ＴONは、時刻ｔ4から時刻ｔ1
を減算する事により求まる。また、バウンス時間ＴB
は、時刻ｔ5から時刻ｔ4を減算する事により求まる。さ
らに、時間ＴOFFは、時刻ｔ7から時刻ｔ6を減算する事
により求まる。
定回路Ｍは、記憶されている時刻ｔ1、時刻ｔ4、、時刻
ｔ5、時刻ｔ6および時刻ｔ7に基づき、測定結果の時刻
ＴON、バウンス時間ＴBおよび時間ＴOFFの算定を行う。
すなわち、測定結果の時刻ＴONは、時刻ｔ4から時刻ｔ1
を減算する事により求まる。また、バウンス時間ＴB
は、時刻ｔ5から時刻ｔ4を減算する事により求まる。さ
らに、時間ＴOFFは、時刻ｔ7から時刻ｔ6を減算する事
により求まる。
【００４５】次に、ステップＳ３において、直流特性測
定回路Ｍは、ステップＳ２で算定された測定結果の時刻
ＴON、バウンス時間ＴBおよび時間ＴOFFが各々所定の範
囲に含まれているか否かの判定を行う。この判定結果に
おいて、時刻ＴON、バウンス時間ＴBおよび時間ＴOFFの
いずれかが所定の範囲に含まれていない場合、直流特性
測定回路Ｍは、処理をステップＳ４へ進める。
定回路Ｍは、ステップＳ２で算定された測定結果の時刻
ＴON、バウンス時間ＴBおよび時間ＴOFFが各々所定の範
囲に含まれているか否かの判定を行う。この判定結果に
おいて、時刻ＴON、バウンス時間ＴBおよび時間ＴOFFの
いずれかが所定の範囲に含まれていない場合、直流特性
測定回路Ｍは、処理をステップＳ４へ進める。
【００４６】次に、ステップＳ４において、直流特性測
定回路Ｍは、図に示さないコンピュータにこのリレーＨ
の劣化の程度を検出した結果情報を出力する。そして、
コンピュータは、図に示さない表示部にリレーＨの劣化
の程度を示すテ゛ータを表示する。これにより、作業者は、
この表示を確認して、時刻ＴON、バウンス時間ＴBおよ
び時間ＴOFFが各々所定の範囲に含まれていない場合、
リレーＨが劣化していると判断し、このリレーＨを新し
いリレーと交換する。
定回路Ｍは、図に示さないコンピュータにこのリレーＨ
の劣化の程度を検出した結果情報を出力する。そして、
コンピュータは、図に示さない表示部にリレーＨの劣化
の程度を示すテ゛ータを表示する。これにより、作業者は、
この表示を確認して、時刻ＴON、バウンス時間ＴBおよ
び時間ＴOFFが各々所定の範囲に含まれていない場合、
リレーＨが劣化していると判断し、このリレーＨを新し
いリレーと交換する。
【００４７】また、ステップＳ３において、時刻ＴON、
バウンス時間ＴBおよび時間ＴOFFのいずれもが所定の範
囲に含まれてると判定された場合、直流特性測定回路Ｍ
は、図３のフローチャートの処理を終了する。
バウンス時間ＴBおよび時間ＴOFFのいずれもが所定の範
囲に含まれてると判定された場合、直流特性測定回路Ｍ
は、図３のフローチャートの処理を終了する。
【００４８】以上説明したように本発明によるＩＣ試験
装置は、直流特性測定回路Ｍが装置内に使用するリレー
Ｈの劣化を検出する機能を有するため、作業者が設定し
た時にリレーの劣化の検出処理が行え、このときリレー
Ｈの劣化が確認された場合に新しいリレーに交換するこ
とが出来る。そのため、従来のような突然のリレー故障
によるデバイス測定作業の中断を未然に防ぐことが出来
る。故障したリレーの特定ができるため、本発明による
ＩＣ試験装置は、従来のようにどのリレーが故障したか
を確認する作業が必要なくなり、作業時間が短縮でき
る。
装置は、直流特性測定回路Ｍが装置内に使用するリレー
Ｈの劣化を検出する機能を有するため、作業者が設定し
た時にリレーの劣化の検出処理が行え、このときリレー
Ｈの劣化が確認された場合に新しいリレーに交換するこ
とが出来る。そのため、従来のような突然のリレー故障
によるデバイス測定作業の中断を未然に防ぐことが出来
る。故障したリレーの特定ができるため、本発明による
ＩＣ試験装置は、従来のようにどのリレーが故障したか
を確認する作業が必要なくなり、作業時間が短縮でき
る。
【００４９】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、前記リレ
ーに駆動信号を与える駆動回路と、この駆動信号による
前記リレーの動作を検出し、検出結果として検出時刻を
出力する検出回路と、前記検出時刻と前記駆動信号の出
力された時刻との差から、前記駆動信号が与えられた時
刻からリレーが動作するために必要な動作時間を求める
演算部と、この動作時間が所定の時間範囲内にあるか否
かを判定する判定手段とを具備するため、ＩＣ試験装置
内に使用されるリレーの劣化を検出する機能を設けてい
るので、作業者が必要と認めて設定した時にリレーの劣
化を検出する動作を行い、リレーの劣化の程度に応じて
リレーの交換を行うことが出来、かつ突然のリレー故障
によるデバイス測定の中断を未然に防ぐことが出来る効
果がある。
ーに駆動信号を与える駆動回路と、この駆動信号による
前記リレーの動作を検出し、検出結果として検出時刻を
出力する検出回路と、前記検出時刻と前記駆動信号の出
力された時刻との差から、前記駆動信号が与えられた時
刻からリレーが動作するために必要な動作時間を求める
演算部と、この動作時間が所定の時間範囲内にあるか否
かを判定する判定手段とを具備するため、ＩＣ試験装置
内に使用されるリレーの劣化を検出する機能を設けてい
るので、作業者が必要と認めて設定した時にリレーの劣
化を検出する動作を行い、リレーの劣化の程度に応じて
リレーの交換を行うことが出来、かつ突然のリレー故障
によるデバイス測定の中断を未然に防ぐことが出来る効
果がある。
【００５０】請求項２記載の発明によれば、前記検出回
路が一の電源と他の電源との間に直列接続により介挿さ
れ、一の接続点が一の端子に所定の電圧が加えられてい
る前記リレーの他の端子に接続された複数の抵抗を有
し、この複数の抵抗の他の接続点の電圧値を測定して前
記リレーの動作を検出するため、リレーの劣化の程度を
検出するリレーの動作時間を簡単な抵抗回路により簡易
に測定できる効果がある。
路が一の電源と他の電源との間に直列接続により介挿さ
れ、一の接続点が一の端子に所定の電圧が加えられてい
る前記リレーの他の端子に接続された複数の抵抗を有
し、この複数の抵抗の他の接続点の電圧値を測定して前
記リレーの動作を検出するため、リレーの劣化の程度を
検出するリレーの動作時間を簡単な抵抗回路により簡易
に測定できる効果がある。
【００５１】請求項３記載の発明によれば、前記動作時
間がリレーがオンするために必要な時間、リレーが安定
した状態となるために必要なバウンス時間、およびリレ
ーがオフするために必要な時間であるため、リレーの劣
化の程度を色々な角度から検討できる効果がある。
間がリレーがオンするために必要な時間、リレーが安定
した状態となるために必要なバウンス時間、およびリレ
ーがオフするために必要な時間であるため、リレーの劣
化の程度を色々な角度から検討できる効果がある。
【図１】 本発明の一実施形態によるＩＣ試験装置の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図２】 図１に示すＩＣ試験装置のリレーの故障検出
の動作を示すタイミングチャートである。
の動作を示すタイミングチャートである。
【図３】 図１に示すにおけるＩＣ試験装置のリレーの
故障検出の動作を説明するフローチャートである。
故障検出の動作を説明するフローチャートである。
【図４】 従来のＩＣ試験装置におけるリレーの故障検
出の動作を示すフローチャートである。
出の動作を示すフローチャートである。
Ｄ、Ｅ、Ｆ 抵抗 Ｇ ダイオード Ｈ リレー Ｊ リレー駆動回路 Ｍ 直流特性測定回路 Ｑ 測定部 Ｒ 被測定部 Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４、Ｔ５、Ｔ６ 端子 Ｔ３’、Ｔ４’、Ｔ５’、Ｔ６’ 端子 Ｚ１ 接続点 Ｚ２ 測定点
Claims (3)
- 【請求項１】 ＩＣの測定時に測定種類毎に測定系の接
続を変更するリレーを使用しているＩＣ試験装置におい
て、 前記リレーに駆動信号を与える駆動回路と、 この駆動信号による前記リレーの動作を検出し、検出結
果として検出時刻を出力する検出回路と、 前記検出時刻と前記駆動信号の出力された時刻との差か
ら、前記駆動信号が与えられた時刻からリレーが動作す
るために必要な動作時間を求める演算部と、 この動作時間が所定の時間範囲内にあるか否かを判定す
る判定手段と、 を具備することを特徴とするＩＣ試験装置。 - 【請求項２】 前記検出回路が一の電源と他の電源との
間に直列接続により介挿され、一の接続点が一の端子に
所定の電圧が加えられている前記リレーの他の端子に接
続された複数の抵抗を有し、この複数の抵抗の他の接続
点の電圧値を測定して前記リレーの動作を検出するこを
特徴とする請求項１記載のＩＣ試験装置。 - 【請求項３】 前記動作時間がリレーがオンするために
必要な時間、リレーが安定した状態となるために必要な
バウンス時間、およびリレーがオフするために必要な時
間であることを特徴とする請求項１または請求項２に記
載のＩＣ試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10121518A JPH11316262A (ja) | 1998-04-30 | 1998-04-30 | Ｉｃ試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10121518A JPH11316262A (ja) | 1998-04-30 | 1998-04-30 | Ｉｃ試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11316262A true JPH11316262A (ja) | 1999-11-16 |
Family
ID=14813210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10121518A Pending JPH11316262A (ja) | 1998-04-30 | 1998-04-30 | Ｉｃ試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11316262A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010047275A3 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-07-08 | 日本電子材料株式会社 | 半導体テストシステムおよび半導体テストシステムのリレー駆動検査方法 |
| JP2020095786A (ja) * | 2018-12-10 | 2020-06-18 | オムロン株式会社 | 継電器状態判定装置、継電器状態判定システム、継電器状態判定方法、およびプログラム |
| CN113939888A (zh) * | 2019-05-28 | 2022-01-14 | 菲尼克斯电气公司 | 预测初级继电器故障的方法 |
-
1998
- 1998-04-30 JP JP10121518A patent/JPH11316262A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010047275A3 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-07-08 | 日本電子材料株式会社 | 半導体テストシステムおよび半導体テストシステムのリレー駆動検査方法 |
| US8456171B2 (en) | 2008-10-24 | 2013-06-04 | Japan Electronic Materials Corp. | Semiconductor test system and relay driving test method therefor |
| JP5598764B2 (ja) * | 2008-10-24 | 2014-10-01 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード検査システムおよびプローブカードのリレー駆動検査方法 |
| JP2020095786A (ja) * | 2018-12-10 | 2020-06-18 | オムロン株式会社 | 継電器状態判定装置、継電器状態判定システム、継電器状態判定方法、およびプログラム |
| WO2020121768A1 (ja) * | 2018-12-10 | 2020-06-18 | オムロン株式会社 | 継電器状態判定装置、継電器状態判定システム、継電器状態判定方法、およびプログラム |
| CN113939888A (zh) * | 2019-05-28 | 2022-01-14 | 菲尼克斯电气公司 | 预测初级继电器故障的方法 |
| JP2022534385A (ja) * | 2019-05-28 | 2022-07-29 | フェニックス コンタクト ゲーエムベーハー ウント コムパニー カーゲー | エレメンタリリレーの故障を予測する方法 |
| CN113939888B (zh) * | 2019-05-28 | 2024-01-05 | 菲尼克斯电气公司 | 预测初级继电器故障的方法 |
| US11965932B2 (en) | 2019-05-28 | 2024-04-23 | Phoenix Contact Gmbh & Co. Kg | Method for predicting the failure of elementary relays |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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|
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|
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