JPH11312836A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JPH11312836A JPH11312836A JP11800098A JP11800098A JPH11312836A JP H11312836 A JPH11312836 A JP H11312836A JP 11800098 A JP11800098 A JP 11800098A JP 11800098 A JP11800098 A JP 11800098A JP H11312836 A JPH11312836 A JP H11312836A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】放電の点弧性を改善し、安定したパルスレーザ
ビームを得ることができるガスレーザ発振装置を提供す
る。 【解決手段】放電管１と、この放電管１内に放電を発生
させるマイクロ波空洞共振器２を有して放電管１にパル
ス状にマイクロ波を印加するマイクロ波発生装置とを備
え、マイクロ波発生装置は、レーザ立ち上げ時にマイク
ロ波を連続印加する。
ビームを得ることができるガスレーザ発振装置を提供す
る。 【解決手段】放電管１と、この放電管１内に放電を発生
させるマイクロ波空洞共振器２を有して放電管１にパル
ス状にマイクロ波を印加するマイクロ波発生装置とを備
え、マイクロ波発生装置は、レーザ立ち上げ時にマイク
ロ波を連続印加する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガスレーザ発振
装置に関するものであり、特に放電管の軸方向と光軸方
向が一致し、かつマイクロ波を用いた励起方法によるガ
スレーザ発振装置に関するものである。
装置に関するものであり、特に放電管の軸方向と光軸方
向が一致し、かつマイクロ波を用いた励起方法によるガ
スレーザ発振装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のガスレーザ発振装置は、
図６に示すものであった。この図において、１はガラス
などの誘電体よりなる放電管、２は放電管１の外部に設
けられたマイクロ波空洞共振器、３は空洞共振器２にマ
イクロ波を出射するマグネトロン、４はマグネトロン３
にエネルギを供給するマグネトロン電源、５はマグネト
ロン電源４を制御する制御回路、６はマイクロ波空洞共
振器２で覆われた放電管１内の放電空間、７は全反射
鏡、８は部分反射鏡である。この全反射鏡７と部分反射
鏡８は放電空間６の両端に固定配置され、光共振器を形
成している。９は部分反射鏡８より出力されるレーザビ
ームである。矢印１４はレーザガスの流れる方向を示し
ており、軸流形レーザ装置の中を循環している。１５は
送気管、１６，１７はそれぞれ放電空間６にて温度上昇
したレーザガスの温度を下げるためのレーザガス冷却用
熱交換器、１８はレーザガス循環用送風機である。
図６に示すものであった。この図において、１はガラス
などの誘電体よりなる放電管、２は放電管１の外部に設
けられたマイクロ波空洞共振器、３は空洞共振器２にマ
イクロ波を出射するマグネトロン、４はマグネトロン３
にエネルギを供給するマグネトロン電源、５はマグネト
ロン電源４を制御する制御回路、６はマイクロ波空洞共
振器２で覆われた放電管１内の放電空間、７は全反射
鏡、８は部分反射鏡である。この全反射鏡７と部分反射
鏡８は放電空間６の両端に固定配置され、光共振器を形
成している。９は部分反射鏡８より出力されるレーザビ
ームである。矢印１４はレーザガスの流れる方向を示し
ており、軸流形レーザ装置の中を循環している。１５は
送気管、１６，１７はそれぞれ放電空間６にて温度上昇
したレーザガスの温度を下げるためのレーザガス冷却用
熱交換器、１８はレーザガス循環用送風機である。
【０００３】以上が従来の軸流形レーザ装置の構成であ
り、次にその動作について説明する。まずマグネトロン
３から出射したマイクロ波がマイクロ波空洞共振器２内
で定在波を形成し、放電空間６にグロー状の放電を発生
させる。放電空間６を通過するレーザガスは、この放電
エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザガス
は全反射鏡７および部分反射鏡８により形成された光共
振器で共振状態となり、部分反射鏡８からレーザビーム
９が出力される。このレーザビーム９がレーザ加工等の
用途に用いられる。
り、次にその動作について説明する。まずマグネトロン
３から出射したマイクロ波がマイクロ波空洞共振器２内
で定在波を形成し、放電空間６にグロー状の放電を発生
させる。放電空間６を通過するレーザガスは、この放電
エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザガス
は全反射鏡７および部分反射鏡８により形成された光共
振器で共振状態となり、部分反射鏡８からレーザビーム
９が出力される。このレーザビーム９がレーザ加工等の
用途に用いられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のマイクロ波励起
方式のガスレーザ発振装置では、パルス状のレーザビー
ムを発生させるパルス運転を行う場合において、レーザ
発振停止時間が長いとき、パルスのデューティが小さい
と放電の点弧性が悪くなり安定したレーザ発振が得られ
ない。
方式のガスレーザ発振装置では、パルス状のレーザビー
ムを発生させるパルス運転を行う場合において、レーザ
発振停止時間が長いとき、パルスのデューティが小さい
と放電の点弧性が悪くなり安定したレーザ発振が得られ
ない。
【０００５】この発明は、上記従来の問題点を解決する
もので、放電の点弧性を改善し、安定したパルスレーザ
ビームを得ることができるガスレーザ発振装置を提供す
ることを目的とする。
もので、放電の点弧性を改善し、安定したパルスレーザ
ビームを得ることができるガスレーザ発振装置を提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のガスレー
ザ発振装置は、放電管と、この放電管内に放電を発生さ
せるマイクロ波をパルス状に供給するマイクロ波発生装
置とを備え、前記マイクロ波発生装置は、レーザ立ち上
げ時にマイクロ波を連続印加することを特徴とするもの
である。
ザ発振装置は、放電管と、この放電管内に放電を発生さ
せるマイクロ波をパルス状に供給するマイクロ波発生装
置とを備え、前記マイクロ波発生装置は、レーザ立ち上
げ時にマイクロ波を連続印加することを特徴とするもの
である。
【０００７】請求項１記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、放電管にマイクロ波を連続で供給するように制御す
るため、レーザ立ち上がり時マイクロ波を連続で印加す
ることができ、このため放電が点弧しやすくなり、放電
の点弧性を良好に改善でき、安定したパルスレーザビー
ムを得ることができる。請求項２記載のガスレーザ発振
装置は、放電管と、この放電管内に放電を発生させるマ
イクロ波をパルス状に供給するマイクロ波発生装置とを
備え、前記マイクロ波発生装置は、レーザ立ち上げ時に
マイクロ波を高デューティで印加することを特徴とする
ものである。
ば、放電管にマイクロ波を連続で供給するように制御す
るため、レーザ立ち上がり時マイクロ波を連続で印加す
ることができ、このため放電が点弧しやすくなり、放電
の点弧性を良好に改善でき、安定したパルスレーザビー
ムを得ることができる。請求項２記載のガスレーザ発振
装置は、放電管と、この放電管内に放電を発生させるマ
イクロ波をパルス状に供給するマイクロ波発生装置とを
備え、前記マイクロ波発生装置は、レーザ立ち上げ時に
マイクロ波を高デューティで印加することを特徴とする
ものである。
【０００８】請求項２記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、レーザ発振停止時間が長い場合、レーザ立ち上がり
時マイクロ波を高デューティで印加するため、放電が点
弧しやすくなり、安定したパルスレーザビームを得るこ
とができる。請求項３記載のガスレーザ発振装置は、請
求項１または請求項２において、放電管の放電の発光の
輝度を検出して前記マイクロ波発生装置を通常のパルス
状のマイクロ波の発生に切り換える光測定装置を有する
ものである。
ば、レーザ発振停止時間が長い場合、レーザ立ち上がり
時マイクロ波を高デューティで印加するため、放電が点
弧しやすくなり、安定したパルスレーザビームを得るこ
とができる。請求項３記載のガスレーザ発振装置は、請
求項１または請求項２において、放電管の放電の発光の
輝度を検出して前記マイクロ波発生装置を通常のパルス
状のマイクロ波の発生に切り換える光測定装置を有する
ものである。
【０００９】請求項３記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、請求項１または請求項２と同様な効果のほか、放電
の点弧を観察することで、より立ち上がり速度が速く、
かつ安定したパルスレーザビームを得ることができる。
ば、請求項１または請求項２と同様な効果のほか、放電
の点弧を観察することで、より立ち上がり速度が速く、
かつ安定したパルスレーザビームを得ることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて、図１〜図５を用いて説明する。 （第１の実施の形態）この発明の第１の実施の形態を図
１により説明する。図１（ａ）はパルスレーザを発振す
るガスレーザ発振装置の光共振器部を示し、１はガラス
などの誘電体よりなる放電管、２は放電管１の外部に設
けられた導波管である例えばマイクロ波空洞共振器、３
は空洞共振器２にマイクロ波を出射するマグネトロン、
４はマグネトロン３にエネルギを供給するマグネトロン
電源、５はマグネトロン電源４を制御する制御回路、６
はマイクロ波空洞共振器２で覆われた放電管１内の放電
空間、７は全反射鏡、８は部分反射鏡である。この全反
射鏡７と部分反射鏡８は、例えば放電空間６の両端に固
定配置されて、光共振器を形成している。９は部分反射
鏡８より出力されるレーザビームである。
いて、図１〜図５を用いて説明する。 （第１の実施の形態）この発明の第１の実施の形態を図
１により説明する。図１（ａ）はパルスレーザを発振す
るガスレーザ発振装置の光共振器部を示し、１はガラス
などの誘電体よりなる放電管、２は放電管１の外部に設
けられた導波管である例えばマイクロ波空洞共振器、３
は空洞共振器２にマイクロ波を出射するマグネトロン、
４はマグネトロン３にエネルギを供給するマグネトロン
電源、５はマグネトロン電源４を制御する制御回路、６
はマイクロ波空洞共振器２で覆われた放電管１内の放電
空間、７は全反射鏡、８は部分反射鏡である。この全反
射鏡７と部分反射鏡８は、例えば放電空間６の両端に固
定配置されて、光共振器を形成している。９は部分反射
鏡８より出力されるレーザビームである。
【００１１】なお、放電管１は、レーザガスが流れる送
気管と、この送気管の途中に設けられたレーザガス循環
用送風機と、レーザガス冷却用熱交換器とを用いて循環
路を構成しているが、図６に示す従来例と同様であるの
で省略している。マイクロ波発生装置は、マイクロ波空
洞共振器２、マグネトロン３、マグネトロン電源４、制
御回路５により構成されている。マイクロ波空洞共振器
２は放電管１に電界の振動方向が異なる複数のマイクロ
波を印加する構成にしている。そして、マイクロ波発生
装置は、通常ではパルス状にマイクロ波を放電管１に印
加してパルスレーザを発振させる。またレーザ発振停止
時間が長い場合、レーザ立ち上げ時にマイクロ波を連続
印加する。レーザ発振停止時間が長いか否かの判定は、
制御回路５からの制御信号がある一定時間停止している
か否かで判定する。
気管と、この送気管の途中に設けられたレーザガス循環
用送風機と、レーザガス冷却用熱交換器とを用いて循環
路を構成しているが、図６に示す従来例と同様であるの
で省略している。マイクロ波発生装置は、マイクロ波空
洞共振器２、マグネトロン３、マグネトロン電源４、制
御回路５により構成されている。マイクロ波空洞共振器
２は放電管１に電界の振動方向が異なる複数のマイクロ
波を印加する構成にしている。そして、マイクロ波発生
装置は、通常ではパルス状にマイクロ波を放電管１に印
加してパルスレーザを発振させる。またレーザ発振停止
時間が長い場合、レーザ立ち上げ時にマイクロ波を連続
印加する。レーザ発振停止時間が長いか否かの判定は、
制御回路５からの制御信号がある一定時間停止している
か否かで判定する。
【００１２】図１（ｂ）は制御回路５の制御信号を示し
ており、１０は長時間停止後のパルス立ち上がり時制御
信号、１１は通常のパルスレーザ発振時の制御信号であ
る。マグネトロン電源４の制御回路５の制御信号を信号
１０として、パルスレーザビーム立上時にマイクロ波空
洞共振器２にマイクロ波を連続印加する。マグネトロン
電源４は制御信号に従いマグネトロン３にエネルギを供
給し、これによりマイクロ波空洞共振器２にレーザ立ち
上がり時マイクロ波を連続印加する。
ており、１０は長時間停止後のパルス立ち上がり時制御
信号、１１は通常のパルスレーザ発振時の制御信号であ
る。マグネトロン電源４の制御回路５の制御信号を信号
１０として、パルスレーザビーム立上時にマイクロ波空
洞共振器２にマイクロ波を連続印加する。マグネトロン
電源４は制御信号に従いマグネトロン３にエネルギを供
給し、これによりマイクロ波空洞共振器２にレーザ立ち
上がり時マイクロ波を連続印加する。
【００１３】この実施の形態によれば、レーザ発振停止
時間が長い場合レーザ立ち上げ時マイクロ波を連続印加
するようにしたため、放電が点弧しやすくなり、点弧性
を良好に改善でき安定したパルスレーザビームを得るこ
とができる。 （第２の実施の形態）この発明の第２の実施の形態を図
２により説明する。すなわち、このガスレーザ発振装置
は、第１の実施の形態において、レーザ発振停止時間が
長い場合、レーザ立ち上げ時にマイクロ波を連続印加す
ることに代えて、マイクロ波発生装置は、マイクロ波を
高デューティ（ＤＵＴＹ）で印加するようにしたもので
ある。
時間が長い場合レーザ立ち上げ時マイクロ波を連続印加
するようにしたため、放電が点弧しやすくなり、点弧性
を良好に改善でき安定したパルスレーザビームを得るこ
とができる。 （第２の実施の形態）この発明の第２の実施の形態を図
２により説明する。すなわち、このガスレーザ発振装置
は、第１の実施の形態において、レーザ発振停止時間が
長い場合、レーザ立ち上げ時にマイクロ波を連続印加す
ることに代えて、マイクロ波発生装置は、マイクロ波を
高デューティ（ＤＵＴＹ）で印加するようにしたもので
ある。
【００１４】図２は制御回路５の制御信号を示してお
り、１２は長時間停止後のパルス立ち上がり時制御信
号、１１は通常のパルスレーザ発振時の制御信号であ
る。パルス立ち上がり時制御信号１２は通常のパルスレ
ーザ発振時の制御信号１１よりもパルス幅を大にしてい
る。これによりマイクロ波空洞共振器２にレーザ立ち上
がり時にマイクロ波を高デューティで印加することがで
きるので、放電が点弧しやすくなり、安定したパルスレ
ーザビームを得ることができる。
り、１２は長時間停止後のパルス立ち上がり時制御信
号、１１は通常のパルスレーザ発振時の制御信号であ
る。パルス立ち上がり時制御信号１２は通常のパルスレ
ーザ発振時の制御信号１１よりもパルス幅を大にしてい
る。これによりマイクロ波空洞共振器２にレーザ立ち上
がり時にマイクロ波を高デューティで印加することがで
きるので、放電が点弧しやすくなり、安定したパルスレ
ーザビームを得ることができる。
【００１５】その他は、第１の実施の形態と同様であ
る。 （第３の実施の形態）この発明の第３の実施の形態を図
３および図４により説明する。図３はパルスレーザを発
振するガスレーザ発振装置の光共振器部を示し、１はガ
ラスなどの誘電体よりなる放電管、２は放電管１の外部
に設けられたマイクロ波空洞共振器、３は空洞共振器２
にマイクロ波を出射するマグネトロン、４はマグネトロ
ン３にエネルギを供給するマグネトロン電源、５はマグ
ネトロン電源４を制御する制御回路、６はマイクロ波空
洞共振器２で覆われた放電管１内の放電空間、１３は放
電空間６の放電の発光の輝度を測定する光測定装置であ
り制御回路５につながっている。７は全反射鏡、８は部
分反射鏡、この全反射鏡７と部分反射鏡８は放電空間６
の両端に固定配置され、光共振器を形成している。９は
部分反射鏡８より出力されるレーザビームである。
る。 （第３の実施の形態）この発明の第３の実施の形態を図
３および図４により説明する。図３はパルスレーザを発
振するガスレーザ発振装置の光共振器部を示し、１はガ
ラスなどの誘電体よりなる放電管、２は放電管１の外部
に設けられたマイクロ波空洞共振器、３は空洞共振器２
にマイクロ波を出射するマグネトロン、４はマグネトロ
ン３にエネルギを供給するマグネトロン電源、５はマグ
ネトロン電源４を制御する制御回路、６はマイクロ波空
洞共振器２で覆われた放電管１内の放電空間、１３は放
電空間６の放電の発光の輝度を測定する光測定装置であ
り制御回路５につながっている。７は全反射鏡、８は部
分反射鏡、この全反射鏡７と部分反射鏡８は放電空間６
の両端に固定配置され、光共振器を形成している。９は
部分反射鏡８より出力されるレーザビームである。
【００１６】この実施の形態は、第１の実施の形態との
比較において、放電管１の放電の発光の輝度を検出して
マイクロ波発生装置を通常のパルス状のマイクロ波の発
生に切り換える光測定装置１３を加えた点が異なってい
る。図４（ａ）は制御回路５の制御信号を示しており、
１０は長時間停止後のパルス立ち上がり時制御信号、１
１は通常のパルスレーザ発振時の制御信号である。図４
（ｂ）は光測定装置１３で検出した信号を示しており、
光を検出すると同時にパルス立ち上がり時制御信号１０
から通常のパルスレーザ発振時の制御信号１１に移行す
る。
比較において、放電管１の放電の発光の輝度を検出して
マイクロ波発生装置を通常のパルス状のマイクロ波の発
生に切り換える光測定装置１３を加えた点が異なってい
る。図４（ａ）は制御回路５の制御信号を示しており、
１０は長時間停止後のパルス立ち上がり時制御信号、１
１は通常のパルスレーザ発振時の制御信号である。図４
（ｂ）は光測定装置１３で検出した信号を示しており、
光を検出すると同時にパルス立ち上がり時制御信号１０
から通常のパルスレーザ発振時の制御信号１１に移行す
る。
【００１７】これによりマイクロ波空洞共振器２にレー
ザ立ち上がり時マイクロ波を連続印加する時間を短縮で
き、パルスレーザビームの立ち上がり速度を速くするこ
とができる。その他は第１の実施の形態と同様である。 （第４の実施の形態）この発明の第４の実施の形態を図
５により説明する。すなわち、この実施の形態は、第２
の実施の形態において、第３の実施の形態で示した光測
定装置１３を設けたものである。
ザ立ち上がり時マイクロ波を連続印加する時間を短縮で
き、パルスレーザビームの立ち上がり速度を速くするこ
とができる。その他は第１の実施の形態と同様である。 （第４の実施の形態）この発明の第４の実施の形態を図
５により説明する。すなわち、この実施の形態は、第２
の実施の形態において、第３の実施の形態で示した光測
定装置１３を設けたものである。
【００１８】図５（ａ）は制御回路５の制御信号を示し
ており、１２は長時間停止後のパルス立ち上がり時制御
信号、１１は通常のパルスレーザ発振時の制御信号であ
る。図５（ｂ）は光測定装置１３で検出した信号を示し
ており、光を検出すると同時にパルス立ち上がり時制御
信号１２から通常のパルスレーザ発振時の制御信号１１
に移行する。これによりマイクロ波空洞共振器２にレー
ザ立ち上がり時にマイクロ波を高デューティで印加する
時間を短縮でき、パルスレーザビームの立ち上がり速度
を速くすることができる。その他は、第２の実施の形態
と同様である。
ており、１２は長時間停止後のパルス立ち上がり時制御
信号、１１は通常のパルスレーザ発振時の制御信号であ
る。図５（ｂ）は光測定装置１３で検出した信号を示し
ており、光を検出すると同時にパルス立ち上がり時制御
信号１２から通常のパルスレーザ発振時の制御信号１１
に移行する。これによりマイクロ波空洞共振器２にレー
ザ立ち上がり時にマイクロ波を高デューティで印加する
時間を短縮でき、パルスレーザビームの立ち上がり速度
を速くすることができる。その他は、第２の実施の形態
と同様である。
【００１９】
【発明の効果】請求項１記載のガスレーザ発振装置によ
れば、放電管にマイクロ波を連続で供給するように制御
するため、レーザ立ち上がり時マイクロ波を連続で印加
することができ、このため放電が点弧しやすくなり、放
電の点弧性を良好に改善でき、安定したパルスレーザビ
ームを得ることができる。
れば、放電管にマイクロ波を連続で供給するように制御
するため、レーザ立ち上がり時マイクロ波を連続で印加
することができ、このため放電が点弧しやすくなり、放
電の点弧性を良好に改善でき、安定したパルスレーザビ
ームを得ることができる。
【００２０】請求項２記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、レーザ発振停止時間が長い場合、レーザ立ち上がり
時マイクロ波を高デューティで印加するため、放電が点
弧しやすくなり、安定したパルスレーザビームを得るこ
とができる。請求項３記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、請求項１または請求項２と同様な効果のほか、放電
の点弧を観察することで、より立ち上がり速度が速く、
かつ安定したパルスレーザビームを得ることができる。
ば、レーザ発振停止時間が長い場合、レーザ立ち上がり
時マイクロ波を高デューティで印加するため、放電が点
弧しやすくなり、安定したパルスレーザビームを得るこ
とができる。請求項３記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、請求項１または請求項２と同様な効果のほか、放電
の点弧を観察することで、より立ち上がり速度が速く、
かつ安定したパルスレーザビームを得ることができる。
【図１】（ａ）はこの発明の第１の実施の形態における
ガスレーザ発振装置の光共振器部の構成図である。
（ｂ）は第１の実施の形態におけるマイクロ波電源制御
回路の制御信号波形図である。
ガスレーザ発振装置の光共振器部の構成図である。
（ｂ）は第１の実施の形態におけるマイクロ波電源制御
回路の制御信号波形図である。
【図２】この発明の第２の実施の形態におけるマイクロ
波電源制御回路の制御信号波形図である。
波電源制御回路の制御信号波形図である。
【図３】この発明の第３の実施の形態におけるガスレー
ザ発振装置の光共振器部の構成図である。
ザ発振装置の光共振器部の構成図である。
【図４】（ａ）はこの発明の第３の実施の形態における
マイクロ波電源制御回路の制御信号波形図である。
（ｂ）第３の実施の形態における光測定装置の光検出信
号波形図である。
マイクロ波電源制御回路の制御信号波形図である。
（ｂ）第３の実施の形態における光測定装置の光検出信
号波形図である。
【図５】（ａ）はこの発明の第４の実施の形態における
マイクロ波電源制御回路の制御信号波形図である。
（ｂ）は第４の実施の形態における光測定装置の光検出
信号波形図である。
マイクロ波電源制御回路の制御信号波形図である。
（ｂ）は第４の実施の形態における光測定装置の光検出
信号波形図である。
【図６】従来のマイクロ波励起ガスレーサ発振装置の概
路構成図である。
路構成図である。
１ 放電管 ２ マイクロ波空洞共振器 ３ マグネトロン ４ マグネトロン電源 ５ 制御回路 ６ 放電空間 ７ 全反射鏡 ８ 部分反射鏡 ９ レーザビーム １０ マイクロ波の連続印加時の制御信号 １１ パルス駆動時の制御信号 １２ マイクロ波の高ＤＵＴＹ印加時の制御信号 １３ 光測定装置 １４ レーザガス流 １５ 送気管 １６ レーザガス冷却用熱交換器 １７ レーザガス冷却用熱交換器 １８ レーザガス循環用送風機
Claims (3)
- 【請求項１】 放電管と、この放電管内に放電を発生さ
せるマイクロ波をパルス状に供給するマイクロ波発生装
置とを備え、前記マイクロ波発生装置は、レーザ立ち上
げ時にマイクロ波を連続印加することを特徴とするガス
レーザ発振装置。 - 【請求項２】 放電管と、この放電管内に放電を発生さ
せるマイクロ波をパルス状に供給するマイクロ波発生装
置とを備え、前記マイクロ波発生装置は、レーザ立ち上
げ時にマイクロ波を高デューティで印加することを特徴
とするガスレーザ発振装置。 - 【請求項３】 放電管の放電の発光の輝度を検出して前
記マイクロ波発生装置を通常のパルス状のマイクロ波の
発生に切り換える光測定装置を有する請求項１または請
求項２記載のガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11800098A JPH11312836A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11800098A JPH11312836A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11312836A true JPH11312836A (ja) | 1999-11-09 |
Family
ID=14725577
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11800098A Pending JPH11312836A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11312836A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100656309B1 (ko) | 2004-11-30 | 2006-12-11 | 신영민 | 밀리미터/서브밀리미터 대역 전자기파 발진 장치 |
-
1998
- 1998-04-28 JP JP11800098A patent/JPH11312836A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100656309B1 (ko) | 2004-11-30 | 2006-12-11 | 신영민 | 밀리미터/서브밀리미터 대역 전자기파 발진 장치 |
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