JPH11311508A

JPH11311508A - 検査データ作成方法及び装置及びこれを用いた部品実装基板外観検査装置

Info

Publication number: JPH11311508A
Application number: JP11864198A
Authority: JP
Inventors: Hisae Yamamura; 久恵山村; Toshifumi Honda; 敏文本田; Yuji Takagi; 裕治高木; Yoshio Miyawaki; 義雄宮脇; Tomoharu Horii; 智晴堀井
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1998-04-28
Filing date: 1998-04-28
Publication date: 1999-11-09
Anticipated expiration: 2018-04-28
Also published as: JP3869554B2

Abstract

(57)【要約】【課題】新規部品のデータを自動的に部品ライブラリ
データに追加できるようにして、部品実装基板の検査デ
ータ作成時間を短縮可能とする。【解決手段】入力手段１により検査対象の新規部品の
部品形状情報Ａを入力し、検査パラメータ算出手段３に
おいて、記憶手段２に記憶された検査パラメータ算出方
法Ｂに従って、この部品形状情報Ａから検査パラメータ
Ｃを算出する。そして、入力した部品形状情報Ａとこれ
から算出した検査パラメータＣとを対応付けて、例え
ば、記憶手段２に部品ライブラリデータとして記憶す
る。検査装置に接続して部品を検査するときには、検査
対象部品に対する検査パラメータを読み取り、これに基
づいてはんだ付け状態などの欠陥の判定など行なう。部
品形状情報Ａとしては、部品情報のデータベースなどか
ら読み取ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象の３次元
形状あるいは２次元形状を表わす特徴量を抽出し、抽出
した特徴量を検査パラメータと比較することにより、部
品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する検
査データ作成方法，装置及びこれを用いた部品実装基板
外観検査装置に係り、特に、部品形状を基に検査パラメ
ータを自動的に設定することによって検査データを作成
する検査データ作成方法，装置及びこれを用いた部品実
装基板外観検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】検査対象の３次元形状あるいは２次元形
状を表わす特徴量を抽出し、抽出した特徴量を検査パラ
メータと比較することにより、部品の実装状態あるいは
はんだ付状態の良否を検査する部品実装基板外観検査装
置としては、例えば、特開平６−２７０３０号公報に記
載の実装基板外観検査装置が知られている。これは、濃
淡画像の情報を複数の閾値を用いて多値化し、夫々の値
をとる領域の面積や重心などの２次元的特徴量を抽出
し、それらが所定の範囲に入っているかどうかによって
良否判定を行なうものである。また、対象物の３次元形
状を検出する例としては、例えば、特開平３−１４８０
５１号公報に記載の実装基板検査装置が知られている。
しかし、これらいずれも検査データの作成方法について
は記述されていない。

【０００３】一方、部品実装基板検査装置の検査データ
作成方法については、例えば、特開平５−３５８４９号
公報に記載の教示データ作成方法や特開平６−８２２２
８号公報に記載の検査用プログラムデータ作成方法及び
装置などの例がある。これらは、部品種毎に形状情報や
検査ウィンドウの位置及びサイズ，検査パラメータなど
をライブラリとして登録しておき、部品搭載情報を外部
から入力してこのライブラリを合成することにより、検
査データを作成することを特徴としている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の部
品実装基板外観検査装置あるいは検査データ作成方法で
は、上記のライブラリを構成する部品の部品形状情報や
検査ウィンドウ情報，検査パラメータなどの各種の情報
を人手で入力する必要があり、これに要するのに時間が
かかるし、誤入力の可能性があるという問題があった。

【０００５】また、検査パラメータについては、検査を
試行して最適化を図る必要もあるため、さらに時間を必
要とし、そのため、新規部品が次々と投入される多品種
少量生産ラインでは、ライブラリの追加作成が生産に追
いつかず、検査装置を適用できないという問題があっ
た。

【０００６】本発明の目的は、かかる問題を解消し、人
手により情報の入力の手間を省き、部品の投入に即応し
てライブラリを作成することができるようにした検査デ
ータ作成方法，装置及びこれを用いた部品実装基板外観
検査装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による検査データ生成方法は、検査対象部品
の部品形状情報を入力し、予め記憶装置に記憶された検
査パラメータ算出方法に従って該形状情報から検査パラ
メータを算出することにより、検査装置用部品ライブラ
リデータを作成するものである。

【０００８】また、本発明による検査データ生成装置
は、検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段
と、入力された該形状情報から検査パラメータを算出す
る方法を記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された
検査パラメータ算出方法に従って、該形状情報から該検
査パラメータを算出する検査パラメータ算出手段とで校
正される。

【０００９】さらに、本発明による部品実装基板外観検
査装置は、以上のようにして得られた検査パラメータの
うち、部品実装基板での検査対象となる部品に対する検
査パラメータを選択し、この選択した検査パラメータに
基づいて、検査対象信品の設定された検査範囲での欠陥
の判定を行なう。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
より説明する。

【００１１】図１は本発明による検査データ作成及び装
置の第１の実施形態を示すブロック図であり、１は入力
手段、２は記憶手段、３は検査パラメータ算出手段、Ａ
は部品形状情報、Ｂは検査パラメータ算出方法、Ｃは検
査パラメータである。

【００１２】同図において、新規部品の部品形状情報Ａ
が入力手段１から入力され、検査パラメータ算出手段３
に転送される。ここで、部品形状情報Ａは、ＱＦＰ(Qua
d Flat Package）やＳＯＰ(Small Outline Package），
チップなどの部品タイプと、部品サイズやリードピッ
チ，リード本数などのどこにリードの先端があるか計算
できる情報と、リードあるいは電極の幅や厚さ，長さな
どのリードあるいは電極の形状情報とを含んでいる。

【００１３】かかる部品形状情報Ａは、ネットワークで
接続された別装置あるいは計算機に記憶された部品情報
データベースに格納されている。かかる部品形状情報Ａ
の入力方法としては、このような別装置あるいは部品情
報データベースの中から全ての部品あるいは指定した部
品についての部品形状情報Ａを抽出して入力手段１に転
送する方法がある。部品情報データベースは、少なくと
も部品番号とＱＦＰ，ＳＯＰ，チップなどの部品タイプ
と部品形状情報Ａを含んでおり、他に機能や価格，メー
カーなどの情報も含んでいてもよい。所定部品の部品形
状情報Ａを指定する場合には、予め決められたフォーマ
ットに従った部品番号リストによって行なう方法や、モ
ニタに表示される入力画面に従って要求されるデータを
キーボードから打ち込んでいく方法がある。

【００１４】部品形状情報Ａの入力方法としては、ほか
にモニタに表示される入力画面に従って要求されるデー
タをキーボードから打ち込んでいく方法や、テキストエ
ディタによって予め決められたフォーマットでファイル
を作成しておく方法などがある。

【００１５】記憶手段２には、検査パラメータ算出方法
Ｂが記憶されている。この記憶手段２としては、ハード
ディスク，フロッピーディスク，光磁気ディスク，磁気
テープなど何を用いてもよい。検査パラメータ算出方法
Ｂは、部品の各部の寸法を変数とした各検査パラメータ
の計算式を定義したものである。計算式は、例えば、最
小フィレット長さを検査パラメータの１つとした場合、
この検査パラメータに対し、最小フィレット長さ＝（リ
ード幅）×０．５のように表わされる。ここで、リード
幅は、検査パラメータとしての最小フィレット長さを求
める計算式での部品の寸法の１項目である。

【００１６】検査パラメータ算出方法Ｂには、部品を分
類する条件も付加されてあり、分類毎に異なる定義を行
なうことができる。例えば、ＱＦＰ，ＳＯＰ，チップな
どの部品タイプやリードピッチあるいは電極サイズの範
囲を分類の条件とする。

【００１７】検査パラメータ算出手段３は、入力した新
規部品の部品形状情報Ａにより、記憶手段２に予め記憶
されている検査パラメータ算出方法Ｂの中から構成の新
規部品に対する分類の条件に適合する計算式を選択し、
この選択した計算式を用いて入力した部品形状情報Ａか
ら検査パラメータＣを算出する。この検査パラメータＣ
は、図示しない部品の検査装置によって抽出されるこの
検査対象となる新規部品に対するはんだ付け部分の高さ
や長さ，幅，面積，体積，傾斜といった２次元形状ある
いは３次元形状を表わす特徴量の判定基準値となる。か
かる検査対象の部品の画像から特徴量を抽出するときに
使用される画像処理パラメータが、この検査パラメータ
Ｃに含まれる場合もある。

【００１８】部品形状情報Ａとこれに対する算出された
検査パラメータＣとは対応付けられ、部品ライブラリデ
ータとして記憶手段２あるいは別の図示しない記憶手段
に保存され、部品の検査実行時に参照される。

【００１９】なお、この第１の実施形態を上記検査装置
に接続し、上記のように検査パラメータをライブラリに
登録せず、予め全ての部品の部品形状情報Ａを入力して
保持しておき、部品の検査実行時、その部品番号と部品
搭載位置及び方向とからなる部品搭載情報からその部品
に対する部品番号を読み出し、この部品番号に対応する
部品の部品形状情報Ａから、上記と同様の方法により、
この部品に対する検査パラメータを作成するようにし
て、部品を検査する毎に、その部品の検査パラメータを
作成するようにしてもよい。

【００２０】以上のように、この第１の実施形態では、
各部品の検査パラメータによる部品ライブラリデータを
自動的に作成することができ、検査パラメータの入力が
必要でなくなるため、部品ライブラリデータ作成の時間
を短縮することができ、誤った設定を防ぐこともでき
る。また、工場の部品情報データベースを利用すること
により、部品形状情報の人手による入力を行なう必要が
なくなり、部品ライブラリデータ作成の時間を更に短縮
することが可能である。

【００２１】図２は本発明による検査データ作成方法及
び装置の第２の実施形態を示すブロック図であって、４
は同一形状探索手段、Ｄは同一形状基準、Ｅは部品ライ
ブラリデータであり、図１に対応する部分には同一符号
をつけて重複する説明を省略する。

【００２２】新規部品の部品形状情報Ａは入力手段１に
よって入力され、検査パラメータ算出手段３と同一形状
探索手段４とに転送される。また、記憶手段２には、同
一形状判定基準Ｄと検査パラメータ算出方法Ｂと部品ラ
イブラリデータＥとが記憶されている。ここで、部品ラ
イブラリデータＥは、異なる部品毎の部品形状情報Ａや
検査パラメータ，その部品番号などからなっている。

【００２３】同一形状探索手段４では、入力された新規
部品の部品形状情報Ａを部品ライブラリデータＥと比較
するのであるが、記憶手段２から予め決められた同一形
状判定基準Ｄを読み取り、これに基づいて新規部品と同
一形状の部品の部品ライブラリデータＥを探索し、部品
ライブラリデータＥで同一形状の部品が見つかった場合
には、部品番号によってこの新規部品と部品ライブラリ
データＥとの対応付けを記録する。

【００２４】同一形状探索手段４のかかる比較によって
新規部品と同一の部品が見つからない場合には、パラメ
ータ算出手段４が、上記のように、記憶手段２の対応す
る検査パラメータＢの対応する検査式を用いて検査パラ
メータを算出し、新規部品のデータ（部品形状情報Ａや
検査パラメータ，部品番号など）を新たにライブラリデ
ータＥに追加する。

【００２５】次に、この第２の実施形態での夫々のデー
タについて説明する。

【００２６】部品形状情報Ａ及び検査パラメータ算出方
法Ｂは、図１に示した第１の実施形態と同様である。

【００２７】同一形状判定基準Ｄは、リードあるいは電
極の幅，厚さ，長さなどの部品の各部の寸法を変数とし
た計算式で表わされており、同一形状探索手段４で比較
する２つの部品の各部の寸法の差が上記計算式から計算
される値より小さいとき、これら部品の形状が同一であ
ると見做す。

【００２８】部品ライブラリデータＥは、上記のよう
に、少なくとも部品形状情報Ａと検査パラメータＣとを
含んでおり、図３に示すように、対応データＥ₁と部品
タイプデータＥ₂と検査タイプデータＥ₃とで構成されて
いる。ここで、対応データＥ₁は部品の種類を表わす部
品番号Ｅ₁₁とこれに対応する部品タイプを選択するため
の選択情報Ｅ₁₂とからなり、部品タイプデータＥ₂は上
記部品形状情報Ａからリード形状情報を除いた部品サイ
ズやリードピッチ，リード本数などを表わす情報内容と
同一内容の部品形状情報Ｅ₂₁と検査タイプ選択情報Ｅ₂₂
とからなり、検査タイプデータＥ₃はリード形状情報Ｅ
₃₁や検査ウィンドウサイズＥ₃₂，上記の算出された検査
パラメータＣである検査パラメータＥ₃₃とからなってい
る。

【００２９】なお、対応データＥ₁での部品番号Ｅ₁₁と
部品タイプデータＥ₂での部品形状情報Ｅ₂₁とは、対応
データＥ₁での部品タイプ選択情報Ｅ₁₂によって対応付
けられており、また、部品タイプデータＥ₂での部品形
状情報Ｅ₂₁と検査タイプデータＥ₃でのリード形状情報
Ｅ₃₁，ウィンドウサイズＥ₃₂，検査パラメータＥ₃₃と
は、部品タイプデータＥ₂での検査タイプ選択情報Ｅ₂₂
によって対応付けられている。また、同じ部品であれ
ば、それらの部品番号Ｅ₁₁は部品タイプデータＥ₂での
同じ部品形状情報Ｅ₂₁に対応付けられている。部品タイ
プデータＥ₂と検査タイプデータＥ₃ の間についても同
様である。

【００３０】次に、部品ライブラリデータＥの作成手順
について、図４を用いて説明する。

【００３１】まず、新規部品の部品形状情報Ａを、上記
のように、入力する（ステップ１００）。次に、入力す
る全ての新規部品について、部品ライブラリデータＥの
追加作成を行なう(ステップ１０１)。部品ライブラリデ
ータＥに新規部品のデータを追加するためには、まず、
同一形状探索手段４で新規部品の部品形状情報Ａのリー
ド形状情報を除いた部分と同一の部品形状情報Ｅ₂₁が部
品タイプデータＥ₂にあるか否か探索することにより、
新規部品のデータが部品ライブラリデータＥとして登録
されているか否か探索する（ステップ１０２)。部品タ
イプデータＥ₂に新規部品の部品形状情報Ａのリード形
状情報を除いた部分と同一の部品形状情報Ｅ₂₁があれば
(以下、これを新規部品と同一形状の部品があるという)
（ステップ１０３）、対応データＥ₁に、その新規部品
の部品番号を部品番号Ｅ₁₁として追加するとともに、探
索の結果見つけた部品タイプデータＥ₂の部品形状情報
Ｅ₂₁をこの部品番号Ｅ₁₁に対応付ける部品タイプ選択情
報Ｅ₁₂を追加する(ステップ１０４）。これは、その新
規部品に対して見つかった部品タイプデータＥ₂を使用
することを意味している。

【００３２】一方、部品タイプデータＥ₂に同一形状の
部品がなければ（ステップ１０３）、この新規部品に対
し、この部品番号を部品番号Ｅ₁₁として対応データＥ₁
に追加するとともに、この新規部品の入力部品形状情報
Ａのリード形状情報を除いた部分を部品形状情報Ｅ₂₁と
して部品タイプデータＥ₂に追加し、この追加した部品
形状情報Ｅ₂₁と対応データＥ₁に追加した部品番号Ｅ₁₁
とを対応付ける部品タイプ選択情報Ｅ₁₂を対応データＥ
₁に付加する（ステップ１０５）。

【００３３】そして、この入力部品形状情報Ａのリード
形状情報に一致するリード形状情報Ｅ₃₁を検査タイプデ
ータＥ₃で探索し（ステップ１０６）、一致するものが
あれば（ステップ１０７）、この一致したリード形状情
報Ｅ₃₁やこれに対をなすウィンドウサイズＥ₃₂，検査パ
ラメータＥ₃₃と部品タイプデータＥ₂に追加した上記の
部品形状情報Ｅ₂₁とを対応付ける検査タイプ選択情報Ｅ
₂₂を部品タイプデータＥ₂ に追加する（ステップ１０
８）。また、一致しない場合には（ステップ１０７）、
この入力部品形状情報Ａから検査パラメータ算出手段３
によって新たにウィンドウサイズＥ₃₂と検査パラメータ
Ｅ₃₃とを求め、検査タイプデータＥ₃に追加するととも
に、これら追加した情報と部品タイプデータＥ₂に追加
した上記の部品形状情報Ｅ₃₁と対応付ける検査タイプ選
択情報Ｅ₂₂を部品タイプデータＥ₂に追加する（ステッ
プ１０９）。

【００３４】ここで、新規部品と部品ライブラリデータ
Ｅによる部品とが同一形状であるかどうかの判定は、部
品タイプデーチＥ₂や検査タイプデータＥ₃での部品サイ
ズ，リードピッチ，リード本数及びリード形状の各項目
によって行なう。これらの全ての項目が同一形状判定基
準Ｄに基づいて新規部品の同じ項目と同一であると判断
される場合、新規部品とこの部品ライブラリデータＥに
よる部品とが同一形状であるとする。また、新規部品と
部品ライブラリデータＥによる部品とのリード形状が同
一であるかどうかの判定は、検査タイプデータＥ₃での
リード幅，リード厚さ，リード長さなどの各項目が同一
形状判定基準Ｄに基づいて新規部品の同じ項目と同一で
あると判断される場合、これら部品とのリード形状が同
一の形状であるとする。なお、部品ライブラリデータＥ
で新規部品と同一形状の部品が複数個有る場合には、部
品サイズの差が最も小さい部品をこの新規部品と同一形
状の部品として選択する。

【００３５】検査タイプデータＥ₃を新規作成する際に
は、入力部品形状情報Ａからリード幅，リード厚さ及び
リード長さなどのリード形状情報を抽出し、これをリー
ド形状情報Ｅ₃₁とするとともに、これを検査パラメータ
算出手段３で検査パラメータ算出方法Ｂにより計算し、
検査ウィンドウサイズＥ₃₂及び検査パラメータＥ₃₃を算
出する。

【００３６】なお、ウィンドウサイズＥ３２は、図５に
示すようなリード先端位置からウィンドウの各辺までの
長さＷ０〜Ｗ３として定義付けられており、これら長さ
Ｗ０〜Ｗ３は、例えば、次の式によって決定される。Ｗ０＝Ｗ２＝パッド幅Ｗ１＝リード長さＷ３＝リード幅×２これらの式は、上記の検査パラメータＢに記述されてい
る。また、パッド幅やリード長さ，リード幅の値はいず
れも、上記の部品形状情報Ａに含まれている。

【００３７】以上のように、この第２の実施形態では、
図１に示した第１の実施形態と同様の効果が得られる
上、既存の部品ライブラリデータから同一形状の部品を
選択して使用し、同一形状の部品がない場合のみ、新し
い部品ライブラリデータを作成するため、冗長な部品ラ
イブラリデータを作成することがない。

【００３８】図６は本発明による検査データ作成方法及
び装置の第３の実施形態を示すブロック図であって、５
は類似形状評価手段、Ｆは類似度算出方法であり、図２
に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省
略する。

【００３９】この第３の実施形態は、図２において、検
査パラメータ算出手段３の代わりに、図６に示すよう
に、類似形状評価手段５を用いたものである。このため
に、記憶手段２には、類似度算出方法Ｆが格納されてい
る。それ以外の構成は図２に示した第２の実施形態と同
様である。

【００４０】入力手段１から入力された新規部品の部品
形状情報Ａは、同一形状探索手段４に転送されて、部品
ライブラリデータＥからこの新規部品と同一形状の部品
が探索されるとともに、類似形状評価手段５にも転送さ
れる。類似形状評価手段５は、同一形状探索手段４によ
り、新規部品と同一形状の部品が部品ライブラリデータ
Ｅで見つからない場合、新規部品と部品ライブラリデー
タＥでの部品との形状の類似度を予め決められた類似度
算出方法Ｆによって算出し、最も類似度が高い部品ライ
ブラリデータＥの部品に対する検査パラメータＥ₃₃を複
写することにより、新規部品のデータを作成し、これを
ライブラリデータＥに追加する。

【００４１】部品ライブラリデータＥの作成の手順は第
２の実施形態とほぼ同様であるが、その部品タイプデー
タを新規作成した新規部品の部品番号をディスプレイに
表示するファイルに出力するなどの方法でユーザに通知
する。

【００４２】なお、この第３の実施形態では、検査タイ
プデータＥ₃（図３）を新規作成する方法が図２に示し
た第２の実施形態と異なるので、この形成方法について
説明する。

【００４３】まず、新規部品の入力部品形状情報Ａから
リード幅，リード厚さ及びリード長さなどのリード形状
情報を抽出し、これを新しいリード形状情報Ｅ₃₁として
検査タイプデータＥ₃に追加する。この入力部品形状情
報Ａのリード形状情報と既存の部品ライブラリデータＥ
の検査タイプデータＥ₃に記述されたリード形状情報Ｅ
₃₁との類似度を類似度算出方法Ｆに従って計算し、最も
類似度の高いリード形状情報Ｅ₃₁に対する検査ウィンド
ウサイズＥ₃₂及び検査パラメータＥ₃₃をこの新規部品の
データとして検査タイプデータＥ₃ に複写する。

【００４４】類似度を算出するには、比較する新規部品
と部品ライブラリデータＥでの部品との各部の寸法の差
に重みをかけて合計し、その合計値が小さい程類似度が
高いとする。類似度算出方法Ｆとしては、部品の各部分
に対して重みを定義したものを記憶しておけばよい。

【００４５】この作成方法によれば、検査パラメータの
算出方法を予め定義しておくことが困難であって、検査
パラメータの調整が必要である場合でも、最適に近い検
査パラメータを初期設定することができ、検査パラメー
タの調整時間を短縮することができる。また、部品タイ
プデータＥ₃を新規作成した新規部品の部品番号が通知
されるので、ユーザは検査パラメータの調整が必要な部
品を簡単に知ることができる。

【００４６】図７は本発明による部品実装基板外観検査
装置の一実施形態を示す構成図であって、６は検査デー
タ生成手段、７は新規部品リスト作成手段、８は欠陥判
定手段、９は３次元形状検出光学系、１０はステージで
あり、図２に対応する部分には同一符号をつけて重複す
る説明を省略する。

【００４７】この実施形態は、図２に示した検査データ
作成方法及び装置を用いたものである。

【００４８】同図において、入力手段１や記憶手段２，
検査検査パラメータ算出手段３，同一形状探索手段４
は、図２に示した検査データ作成装置を構成するもので
ある。

【００４９】新規部品リスト作成手段７は、検査対象と
なる部品実装基板での各部品の部品搭載情報Ｇと作成済
みの部品ライブラリデータＥを比較し、この部品ライブ
ラリデータＥに存在しない部品番号をリストアップし、
これからなる新規部品リストＨを作成する。この新規部
品リストＨによって部品を指定し、第２の実施形態で説
明した方法でもってかかる部品の部品ライブラリデータ
Ｅを作成，追加する。これにより、検査対象となる部品
実装基板に搭載される全ての部品に対する部品ライブラ
リデータＥが得られたことになる。

【００５０】なお、図２に示す検査データ作成方法及び
装置の代わりに、図１または図６に示した検査データ作
成方法及び装置を用いてもよい。

【００５１】検査データ生成手段６は、部品搭載情報Ｇ
と部品ライブラリデータＥをもとに、検査ウィンドウデ
ータＩとステージ制御データＪとを生成する。

【００５２】検査対象である部品実装基板は、ＸＹ方向
に移動可能なステージ１０に保持されている。このステ
ージ１０は、検査データ生成手段６によって作成された
ステージ制御データＪに基づいて制御される。ステージ
１０から３次元形状検出光学系９にこのステージ１０の
走査に同期して信号が送り込まれ、これにより、３次元
形状検出光学系９はステージ１０に搭載された部品実装
基板の検査対象ポイントを含む濃淡画像Ｋ₁と距離画像
Ｋ₂と検出し、欠陥判定手段８に送る。そこで、欠陥判
定手段８は、３次元形状検出光学系９から検出画像
Ｋ₁、Ｋ₂夫々の検査データ生成手段６によって作成され
た検査ウィンドウデータＩによる検査範囲内の画像を抽
出して処理し、欠陥判定を行なう。

【００５３】図８は図７における３次元形状検出光学系
９の一具体例を示す構成図であって、９ａはレーザ源、
９ｂはハーフミラー、９ｃはポリゴンミラー、９ｄは対
物レンズ、９ｅ〜９ｈはハーフミラー、９ｉはレンズ、
９ｊはピンホール、９ｋ〜９ｑは光検出器、１１は部品
実装基板である。

【００５４】検査対象の部品実装基板１１は、ＸＹ方向
に移動可能なステージ１０に保持されている。レーザ源
９ａから出力された入射光Ｌｉは、ハーフミラー９ｂ及
びポリゴンミラー９ｃを通り、対物レンズ９ｄによって
細く絞られて部品実装基板１１をその照射する。部品実
装基板１１からの反射光Ｌｏは、拡散成分も含めて、対
物レンズ９ｄ及びポリゴンミラー９ｃを通り、ハーフミ
ラー９ｂで反射された後、ハーフミラー９ｅ〜９ｈによ
って複数の光束に分岐される。夫々の光束は同一焦点距
離のレンズ９ｉによって絞られて、同一口径のピンホー
ル９ｊを介して光検出器９ｊ〜９ｑで受光される。夫々
の光検出器９ｊ〜９ｑからは、その受光量に応じた大き
さの電気信号が出力される。

【００５５】ここで、各ピンホール９ｉは、部品実装基
板１１の異なる高さからの反射光が集光する位置に配置
されている。ピンホール９ｉの位置に対応する高さから
の反射光はほとんどこのピンホール９ｉを通過するため
に、これを通過する光束を受光する光検出器の検出光量
は大きくなり、逆に、これとは異なる高さからの反射光
はピンホール９ｉに遮られ、これを通過する光束を受光
する光検出器の検出光量は小さくなる。従って、どの光
検出器の検出光量が最大となるかによって部品実装基板
１１の光照射部分の高さを知ることができると同時に、
その検出光量によってこの部分の明るさを知ることがで
きる。

【００５６】なお、ここでは、光検出器を４個としてい
るが、光検出器の個数を増やすことにより、高さ方向の
検出レンジ及び解像度を高めることが可能である。ま
た、ハーフミラー９ｂ，９ｅ〜９ｈは、直列に配置され
ているが、どのように配置してもよい。さらに、複数の
光検出器９ｋ〜９ｑの検出信号の内挿補間により、さら
に高い分解能を得ることも可能である。

【００５７】ポリゴンミラー９ｃの回転面は、ステージ
１０のＸ移動方向に平行になるように配置されており、
その回転によって入射光Ｌｉと反射光Ｌｏの光軸がｘ方
向に走査される。ステージ制御データＪが指示する走査
開始・終了位置に従ってステージ１０をＹ方向に移動さ
せることにより、検査対象である部品実装基板１１の濃
淡画像Ｋ₁と距離（高さ）画像Ｋ₂とを検出することがで
きる。

【００５８】図９は図７における検査データ生成手段６
の動作について説明する図であって、検査データの構成
を示しており、図３，図７に対応する部分には同一符号
をつけている。

【００５９】同図において、部品搭載情報Ｇは、ステー
ジ１０（図７）に取り付けられている部品実装基板１１
（図８）に搭載されている各部品の部品番号Ｇ₁とこれ
ら部品の部品実装基板１１での搭載位置・方向情報Ｇ₂
とから構成されている。

【００６０】検査データ生成手段６は、取り込んだ部品
搭載情報Ｇの部品番号Ｇ₁を用いて部品ライブラリデー
タＥの対応データＥ₁での部品番号Ｅ₁₁を指定し、部品
タイプ選択情報Ｅ₁₂を用いて、部品タイプデータＥ₂か
らこの指定した部品の部品形状情報Ｅ₂₁と検査タイプ選
択情報Ｅ₂₂とを読み取り、さらに、指定した部品番号Ｅ
₁₁に対応する検査タイプ選択情報Ｅ₂₂を用いて、検査タ
イプデータＥ₃のウィンドウサイズ情報Ｅ₃₂を読み取
る。そして、この読み取った部品形状情報Ｅ₂₁とウィン
ドウサイズ情報Ｅ₃₂と部品搭載情報Ｇの部品搭載位置・
方向情報Ｇ₂とで検査範囲の計算を行ない、得られた検
査範囲Ｉ₁と検査タイプ選択情報Ｉ₂としての部品タイプ
データＥ₂から読み取った検査タイプ選択情報Ｅ₂₂とか
らなるウィンドウデータＩを作成する。

【００６１】ここで、検査範囲Ｉ１は検査する画像の処
理範囲を決めるものであって、図１０に示す部品実装基
板１１での実装部品１２を検査対象の例にして説明する
と、これは次のように設定される。

【００６２】なお、図１０は３次元形状検出光学系９
（図７）で検出されたステージ１０（図７）に取り付け
られた部品実装基板１１での実装部品１２の距離画像Ｋ
₂を示すものであって、この実装部品１２の取付中心位
置を（Ｘ，Ｙ）としている。この実装部品１２の方の一
辺には、４個のリード１２ａ〜１２ｄがピッチｐで、こ
れに対向する他方の辺にも４個のリード１２ｅ〜１２ｈ
がピッチｐで夫々設けられている。また、実装部品１２
の一方の辺のリードの先端から他方の辺のリードの先端
までの幅をＷとする。

【００６３】ここで、いま、夫々のリード１２ａ〜１２
ｈがはんだ付けされており、その状態を検査するものと
すると、これらリード１２ａ〜１２ｈの先端部のはんだ
付けのパッド１５ａ〜１５ｈがなされた部分にはんだ付
け状態の検査のためのウィンドウを設定するとともに、
これらリード１２ａ〜１２ｈの状態を検査するためのブ
リッジ検査ウインドウも設定する。

【００６４】そこで、リード１２ａを例にして説明する
と、図示するように、このリード１２ａの先端部を含む
はんだ付け状態検査ウインドウ１３ａとリード１２ａ，
１１ｂ間のブリッジ検査ウィンドウ１４ａとが設定され
る。いま、実装部品１２の一辺のリード本数をＮ（ここ
では、Ｎ＝４）とすると、リード１２ａの先端位置
（ｘ，ｙ）は次のように表わされる。

【００６５】ｘ＝Ｘ−Ｗ/２ ………（１）ｙ＝Ｙ−(Ｎ−１)・ｐ/２ ………（２）なお、上記のピッチｐや幅Ｗ，リード本数Ｎは部品ライ
ブラリデータＥの部品タイプデータＥ₂での部品形状情
報Ｅ₂₁に含まれており、また、実装部品１２の中心位置
（Ｘ，Ｙ）は部品搭載情報Ｇの部品搭載位置・方向情報
Ｇ₂に含まれている。

【００６６】このように、リード１２ａの先端位置
(ｘ，ｙ)が求まると、次に、部品ライブラリデータＥの
検査タイプデータＥ₃から読み取ったウィンドウサイズ
情報Ｅ₃₂により、リード１２ａの先端位置(ｘ，ｙ)を中
心とし、このウィンドウサイズ情報Ｅ₃₂で決まる大きさ
のはんだ付け状態検査ウィンドウ１３ａを求める。ブリ
ッジ検査ウィンドウ１４ａについても同様であるが、こ
の場合、上記式(２)でのｙを（ｙ−ｐ/２）とする。他
のリード１２ｂ〜１２ｈについても同様である。

【００６７】以上のようにして求めた各リード１２ａ〜
１２ｈでのウィンドウの情報が、ウィンドウデータＩの
検査範囲情報Ｉ₁ となる。

【００６８】図７に示すように、検査データ生成部６
は、少なくとも部品搭載情報Ｇと部品ライブラリデータ
Ｅを基に、ステージ制御データＪも生成する。ステージ
制御データＪは、画像検出するときのステージ１０の走
査開始・終了位置及び走査方向を含む。

【００６９】いま、図１１に示すように、５個のはんだ
付け状態検査ウィンドウ１３と４個のブリッジ検査ウィ
ンドウ１４とからなり、これらがｙ方向に交互に配列さ
れてなる２つの検査ウィンドウ群１６ａ，１６ｂがｘ方
向に平行に配置され、さらに、これら検査ウィンドウ群
１６ａ，１６ｂに対してｙ方向に位置し、はんだ付け状
態検査ウィンドウ１３とブリッジ検査ウィンドウ１４と
がｘ方向に交互に配列されてなる２個の検査ウィンドウ
群１６ｃ，１６ｄがｙ方向に平行に配置された部品実装
基板を例にとる。

【００７０】ここで、かかる部品実装基板での検査ウィ
ンドウの配列において、１回のｙ方向の走査で画像検出
できる範囲（破線で示す範囲）をページ１７と呼ぶこと
にする。ここでは、検査ウィンドウ群１６ａと検査ウィ
ンドウ群１６ｃ，１６ｄの一部とを含むページ１７ａ
と、検査ウィンドウ群１６ｂと検査ウィンドウ群１６
ｃ，１６ｄの他の一部とを含むページ１７ｂと、検査ウ
ィンドウ群１６ｃ，１５６のさらに他の一部とを含むペ
ージ１７ｃとを示している。ステージ制御データＪはか
かるページ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ毎に設定する。

【００７１】以下、これらページ１７ａ，１７ｂ，１７
ｃを総称してページ１７ということにするが、各ページ
１７のｘ方向の開始位置はそのページ１７での最も左端
に位置するウィンドウでの左辺のｘ座標とする。図１１
においては、ページ１７ａのｘ方向の開始位置は、図示
するように、ｘ座標Ｘsaであり、ページ１７ｂ，１７ｃ
のｘ方向の開始位置は夫々、図示するように、ｘ座標Ｘ
sb，Ｘscである。

【００７２】また、各ページ１７のｙ方向の開始位置，
終了位置は夫々、ステージ１０のｙ方向の移動の向きか
らみて、最初に３次元形状検出光学系９(図７)が走査す
るウィンドウの最初の辺のｙ座標，最後に走査するウィ
ンドウの最後の辺のｙ座標である。ここで、ページ１７
ａでは、図面上、上から下にｙ方向の操作が行なわれ、
ページ１７ｂでは、これとは逆に、下から上に、また、
ページ１７ｃでは、さらにその逆に、上から下に夫々ｙ
方向の走査が行なわれるとすると、ページ１７ａのｙ方
向の開始位置，終了位置は夫々、図示するように、ｙ座
標Ｙsa，Ｙeaであり、ページ１７ｂのｙ方向の開始位
置，終了位置は夫々、図示するように、ｙ座標Ｙsb，Ｙ
ebであり、ページ１７ｃのｙ方向の開始位置，終了位置
は夫々、図示するように、ｙ座標Ｙsc，Ｙecとなる。

【００７３】なお、検査ウィンドウデータＩには、各検
査ウィンドウがどのページに含まれるかを示す情報と、
そのページに対するウィンドウの相対的な位置を示す情
報とを付加しておく。

【００７４】図１２は図７における欠陥判定手段８の一
具体例を示すブロック図であって、１８は特徴抽出部、
１９は欠陥判定部であり、図７に対応する部分には同一
符号をつけて重複する説明を省略する。

【００７５】同図において、欠陥判定手段８は、特徴抽
出部１８と欠陥判定部１９とから構成されている。

【００７６】特徴抽出部１８は、検査対象部品に対し、
検査ウィンドウデータＩでの検査タイプ選択情報Ｅ
₂₂（図９）によって検査タイプデータＥ₃(図９)を選択
する。選択した検査タイプデータＥ₃における検査パラ
メータＥ₃₃のうちの画像処理パラメータを用いて、３次
元形状検出光学系９(図７)から受け取った検出画像Ｋ₁
に対し、検査ウィンドウデータＩに示される検査範囲Ｉ
₁（図９：例えば、図１０でのはんだ付け状態検査ウィ
ンドウ１３ａなど）での画像処理を行ない、はんだ付部
のフィレット高さ、フィレット長さなどの特徴パラメー
タを抽出する。

【００７７】欠陥判定部１９は、選択した検査タイプデ
ータＥ₃での検査パラメータＥ₃₃のうちの欠陥判定パラ
メータと特徴抽出部１８で抽出された特徴パラメータと
を比較することにより、検査対象部品の欠陥判定を行な
う。

【００７８】以上のように、この実施形態では、部品の
検査時に必要となるデータは、部品ライブラリデータＥ
と部品搭載情報Ｇから全て自動的に作成され、また、部
品ライブラリデータＥは部品形状情報Ｇから自動的に作
成されるため、検査データ作成時間を非常に短くするこ
とができる。

【００７９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の検査デー
タ作成方法及び装置によると、検査対象の新規部品の部
品形状情報を入力することにより、予め記憶装置に記憶
された検査パラメータ算出方法に従って、検査時に使用
する検査パラメータを自動的に算出し、部品ライブラリ
データとして保存するため、検査パラメータを入力して
調整する必要がなく、検査パラメータを誤って設定する
こともない。

【００８０】また、本発明の検査データ作成方法及び装
置によると、工場の部品情報データベースを利用するこ
とにより、部品形状情報の入力に要する時間を短縮する
ことが可能であるから、検査対象の新規部品を部品ライ
ブラリデータに追加する作業時間を非常に短くすること
ができる。

【００８１】さらに、本発明の検査データ作成方法及び
装置によると、予め記憶装置に記憶された同一形状判定
基準に従って、既存の部品ライブラリデータから同一形
状の部品を選択して使用し、同一形状の部品がない場合
のみ、新しいデータを作成するため、冗長なデータを作
成することがない。

【００８２】さらに、本発明の部品実装基板外観検査装
置によると、検査時に必要となるデータが部品ライブラ
リデータと部品搭載情報から全て自動的に作成されるた
め、部品ライブラリデータの作成を含む検査データの作
成時間を非常に短くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による検査データ作成方法及び装置の第
１の実施形態を示す構成図である。

【図２】本発明による検査データ作成方法及び装置の第
２の実施形態を示す構成図である。

【図３】図２における部品ライブラリデータＥの一具体
例の構造を示す図である。

【図４】図２に示した第２の実施形態での部品ライブラ
リデータＥ作成手順を示すフローチャートである。

【図５】図３におけるウィンドウサイズの定義を説明す
る図である。

【図６】本発明による検査データ作成方法及び装置の第
３の実施形態を示す構成図である。

【図７】本発明による部品実装基板外観検査装置の一実
施形態を示す構成図である。

【図８】図７における３次元形状検出光学系の一具体例
を示す構成図である。

【図９】図７における検査データ生成手段の動作説明図
である。

【図１０】図７に示した実施形態での検査対象となる部
品実装基板の一具体例を示す図である。

【図１１】図７に示した実施形態でのステージ制御デー
タ生成方法を説明する図である。

【図１２】図７における欠陥判定手段の一具体例を示す
ブロック図である。

【符号の説明】

１部品形状情報の入力手段２記憶手段３検査パラメータ算出手段４同一形状探索手段５類似形状評価手段６検査データ生成手段７新規部品リスト作成手段８欠陥判定手段９３次元形状検出光学系９ａ〜９ｈリード１０ステージ１１検査対象の部品実装基板１２検査対象部品１２ａ〜１２ｈパッド１３ａ〜１３ｈはんだ付状態検査ウィンドウ１４ａ〜１４ｇブリッジ検査ウィンドウ１６ａ〜１６ｃウィンドウ群１７ａ〜１７ｃページ１８特徴抽出部１９欠陥判定部Ａ部品形状情報Ｂ検査パラメータ算出方法Ｃ検査パラメータＤ同一形状判定基準Ｅ部品ライブラリデータＥ₁ 対応データＥ₂ 部品タイプデータＥ₃ 検査タイプデータＥ₁₁ 部品番号Ｅ₁₂ 部品タイプ選択情報Ｅ₂₁ 部品形状情報Ｅ₂₂ 検査タイプ選択情報Ｅ₃₁ リード形状情報Ｅ₃₂ ウィンドウサイズＥ₃₃ 検査パラメータＦ類似度算出方法Ｇ部品搭載情報Ｇ₁ 部品番号Ｇ₂ 部品搭載位置・方向Ｈ新規部品リストＩウィンドウデータＩ₁ 検査範囲Ｉ₂ 検査タイプ選択情報Ｊステージ制御データＫ₁ 濃淡画像Ｋ₂ 距離画像

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者宮脇義雄神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地株式会社日立製作所情報通信事業部内 (72)発明者堀井智晴神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地株式会社日立製作所情報通信事業部内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査対象部品の３次元形状あるいは２次
元形状を表わす特徴量を抽出し、抽出した該特徴量を検
査パラメータと比較することにより、該検査対象部品の
実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する部品実
装基板外観検査装置の検査データ作成方法であって、該検査対象部品の部品形状情報を入力し、予め記憶装置
に記憶された該検査パラメータ算出方法に従って、該部
品形状情報から該検査パラメータを算出することを特徴
とする検査データ作成方法。
【請求項２】検査対象部品の３次元形状あるいは２次
元形状を表わす特徴量を抽出し、抽出した該特徴量を検
査パラメータと比較することにより、該検査対象部品の
実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する部品実
装基板外観検査装置の検査データ作成装置であって、該検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段と、該部品形状情報から該検査パラメータを算出する検査パ
ラメータ算出方法を記憶する記憶手段と、該検査パラメータ算出方法に従って、該部品形状情報か
ら該検査パラメータを算出する検査パラメータ算出手段
とを有することを特徴とする検査データ作成装置。
【請求項３】部品形状情報と検査パラメータから構成
される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータ
を用いて検査対象部品の実装状態あるいははんだ付状態
の良否を検査する外観検査の検査データ作成方法であっ
て、新規な検査対象部品の部品形状情報を入力して、該部品
形状情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形状
情報とを比較し、予め記憶装置に記憶された同一性を判
別する判定基準に基づいて該部品ライブラリデータでの
新規な該検査対象部品と同一形状の部品を探索し、該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形
状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部
品に対応させる情報を記録することを特徴とする検査デ
ータ作成方法。
【請求項４】部品形状情報と検査パラメータから構成
される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータ
を用いて検査対象部品の実装状態あるいははんだ付状態
の良否を検査する外観検査のために、該部品ライブラリ
データに新規な検査対象部品のデータを追加する検査デ
ータ作成方法であって、新規な該検査対象部品の部品形状情報を入力し、該部品
形状情報と該部品ライブラリデータにおける部品形状情
報とを比較し、予め記憶装置に記憶された同一性を判別
する判定基準に基づいて、該検査対象部品と同一形状の
部品を探索し、該探索の結果見つかった該検査対象部品と同一形状の部
品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対
応させる情報を記録し、該探索の結果該検査対象部品と同一形状の部品が見つか
らない場合には、新規な該検査対象部品に対する検査パ
ラメータを新たに設定することを特徴とする検査データ
作成方法。
【請求項５】部品形状情報と検査パラメータから構成
される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータ
を用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を
検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータに
新規な検査対象部品のデータを追加する検査データ作成
方法であって、新規な該検査対象部品の部品形状情報を入力して、該部
品形状情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形
状情報を比較し、予め記憶装置に記憶された同一性を判
別する判定基準に基づいて新規な該検査対象部品と同一
形状の部品を探索し、該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形
状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部
品に対応させる情報を記録し、該探索の結果新規な該検査対象部品と同一形状の部品が
見つからない場合には、新規な該検査対象部品に対する
検査パラメータを設定し、部品ライブラリデータで同一
形状の部品が見つからない新規な該検査対象部品をユー
ザに通知することを特徴とする検査データ作成方法。
【請求項６】部品形状情報と検査パラメータから構成
される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータ
を用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を
検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータに
新規な検査対象部品のデータを追加する検査データ作成
方法であって、新規な検査対象部品の部品形状情報を入力して、該形状
情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形状情報
を比較し、予め記憶装置に記憶された同一性を判別する
判定基準に基づいて新規な検査対象部品と同一形状の部
品を探索し、該探索の結果見つかった新規な検査対象部品と同一形状
の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品
に対応させる情報を記録し、該探索の結果新規な該検査対象部品と同一形状の部品が
見つからない場合には、予め記憶装置に記憶された検査
パラメータ算出方法に従って、新規な該検査対象部品の
該部品形状情報から新規な該検査対象部品に対する検査
パラメータを算出することを特徴とする検査データ作成
方法。
【請求項７】部品形状情報と検査パラメータから構成
される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータ
を用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を
検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータに
新規な検査対象部品のデータを追加する検査データ作成
方法であって、新規な該検査対象部品の部品形状情報を入力して、該部
品形状情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形
状情報を比較し、予め記憶装置に記憶された同一性を判
別する判定基準に基づいて新規な該検査対象部品と同一
形状の部品を探索し、該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形
状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部
品に対応させる情報を記録し、該探索の結果新規な該検査対象部品と同一形状の部品が
見つからない場合には、予め記憶装置に記憶された類似
度評価方法によって最も類似度が高いと評価される部品
ライブラリデータにおける検査パラメータを複写するこ
とにより、新規な該検査対象部品に対する検査パラメー
タを設定することを特徴とする検査データ作成方法。
【請求項８】部品形状情報と検査パラメータから構成
される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータ
を用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を
検査する外観検査の検査データ作成装置であって、新規な検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段
と、部品形状の同一性を判別する判定基準を予め記憶する記
憶手段と、入力した該部品形状情報と該部品ライブラリデータにお
ける該部品形状情報を比較して、該判定基準に基づいて
新規な該検査対象部品と同一形状の該部品ライブラリデ
ータにおける部品を探索し、該探索の結果見つかった新
規な該検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリ
データを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録
する同一形状探索手段とを有することを特徴とする検査
データ作成装置。
【請求項９】部品形状情報と検査パラメータから構成
される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータ
を用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を
検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータに
新規検査対象部品のデータを追加する検査データ作成装
置であって、新規な検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段
と、部品形状の同一性を判別する判定基準を記憶する記憶手
段と、入力した該部品形状情報と該部品ライブラリデータにお
ける該部品形状情報とを比較して、該判定基準に基づい
て新規な該検査対象部品と同一形状の該部品ライブラリ
データにおける部品を探索し、該探索の結果見つかった
新規な該検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラ
リデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記
録する同一形状探索手段と、該探索の結果新規な該検査対象部品と同一形状の部品が
見つからない場合には、新規な該検査対象部品の検査パ
ラメータを新たに設定する検査パラメータ設定手段とを
有することを特徴とする検査データ作成装置。
【請求項１０】部品形状情報と検査パラメータから構
成される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメー
タを用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否
を検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータ
に新規検査対象部品のデータを追加する検査データ作成
装置であって、新規な検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段
と、部品形状の同一性を判別する判定基準を記憶する記憶手
段と、入力した該部品形状情報と該部品ライブラリにおける該
部品形状情報を比較して、該判定基準に基づいて新規な
検査対象部品と同一形状の部品を探索し、該探索の結果
見つかった新規な検査対象部品と同一形状の部品の部品
ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる
情報を記録する同一形状探索手段と、該探索の結果新規な検査対象部品と同一形状の部品が見
つからない場合、新規な該検査対象部品の検査パラメー
タを新たに設定するパラメータ設定手段と、該部品ライブラリデータで同一形状の部品が見つからな
い新規な該検査対象部品をユーザに通知する通知手段と
を有することを特徴とする検査データ作成装置。
【請求項１１】部品形状情報と検査パラメータから構
成される部品ライブラリデータを有し、検査対象の３次
元形状あるいは２次元形状を表わす特徴量を抽出し、抽
出した特徴量を前記部品ライブラリデータに記載された
検査パラメータと比較することにより部品の実装状態あ
るいははんだ付状態の良否を検査する外観検査装置の、
前記部品ライブラリデータに新規な検査対象部品のデー
タを追加する検査データ作成装置であって、新規な検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段
と、部品形状の同一性を判別する判定基準と、該部品形状情
報から該検査パラメータを算出する検査パラメータ算出
方法とを記憶する記憶手段と、入力した該部品形状情報と該部品ライブラリにおける該
部品形状情報を比較して、該判定基準に基づいて、新規
な該検査対象部品と同一形状の部品を探索し、該探索の
結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形状の部品
の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応
させる情報を記録する同一形状探索手段と、該検査対象部品と同一形状の部品が見つからない場合に
は、該記憶手段に記憶されている該検査パラメータ算出
方法に従って入力された該部品形状情報から該検査パラ
メータを算出するパラメータ算出手段とを有することを
特徴とする検査データ作成装置。
【請求項１２】部品形状情報と検査パラメータから構
成される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメー
タを用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否
を検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータ
に新規な検査対象部品のデータを追加する検査データ作
成装置であって、新規な検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段
と、部品形状の同一性を判別する判定基準と、入力した該部
品形状情報と前記部品ライブラリデータにおける部品と
の形状の類似度を評価する類似度評価方法とを記憶する
記憶手段と、入力した該部品形状情報と該部品ライブラリにおける該
部品形状情報とを比較して、該判定基準に基づいて新規
な該検査対象部品と同一形状の部品を探索し、該探索の
結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形状の部品
の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応
させる情報を記録する同一形状探索手段と、新規な該検査対象部品と同一形状の部品が見つからない
場合、該類似度評価方法によって該部品ライブラリデー
タでの最も類似度が高いと評価される部品に対する検査
パラメータを複写することにより、新規な検査対象部品
の検査パラメータを設定する類似形状評価手段とを有す
ることを特徴とする検査データ作成装置。
【請求項１３】請求項１または６において、前記検査パラメータ算出方法は、部品の各部の寸法を変
数とした計算式で表わしたものであることを特徴とする
検査データ作成方法。
【請求項１４】請求項１または６において、前記検査パラメータ算出方法に対し、部品を形状形態で
分類するための判別肢及び寸法により分類するための基
準値と、分類された夫々の部品群に対して１個以上の検
査パラメータを夫々算出するために定義される形状寸法
値に加減乗除するための数値とを予め記憶しておくこと
を特徴とする検査データ作成方法。
【請求項１５】請求項１４において、前記判別肢，基準値及び加減乗除するための数値を入力
する過程、あるいは表示する過程、あるいは修正する過
程の少なくとも１つの過程を含むことを特徴とする検査
データ作成方法。
【請求項１６】請求項３，４，５，６または７におい
て、前記判定基準は、部品の各部の寸法の許容誤差を部品の
各部の寸法を変数とした計算式で表わしたものであるこ
とを特徴とする検査データ作成方法。
【請求項１７】請求項２または１１において、前記検査パラメータ算出方法は、部品の各部の寸法を変
数とした計算式で表わしたものであることを特徴とする
検査データ作成装置。
【請求項１８】請求項２または１１において、前記検査パラメータ算出方法に対し、部品を形状形態で
分類するための判別肢及び寸法により分類するための基
準値と、分類された夫々の部品群に対して１個以上の検
査パラメータを夫々算出するために定義される形状寸法
値に加減乗除するための数値とを予め記憶しておくこと
を特徴とする検査データ作成装置。
【請求項１９】請求項１８において、前記判別肢及び基準値及び加減乗除するための数値を入
力する手段、あるいは表示する手段、あるいは修正する
手段の少なくとも１つの手段を含むことを特徴とする検
査データ作成装置。
【請求項２０】請求項８，９，１０，１１または１２
において、前記判定基準は、部品の各部の寸法の許容誤差を部品の
各部の寸法を変数とした計算式で表わしたものであるこ
とを特徴とする検査データ作成装置。
【請求項２１】部品形状情報と検査パラメータから構
成される部品ライブラリデータと、部品形状の同一性を
判別する判定基準と、該部品形状情報から該検査パラメ
ータを算出する検査パラメータ算出方法とを記憶する記
憶手段と、部品実装基板での検査対象部品の部品搭載情報と該部品
ライブラリデータとを比較することにより、新規部品リ
ストを作成する新規部品リスト作成手段と、該新規部品リストに従って新規な該検査対象部品の部品
形状情報を入力する入力手段と、入力した該部品形状情報と該部品ライブラリデータにお
ける該部品形状情報を比較して、該判定基準に基づい
て、該部品ライブラリデータでの同一形状の部品を探索
し、該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同
一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対
象部品に対応させる情報を記録する同一形状探索手段
と、該探索の結果新規な該検査対象部品と同一形状の部品が
見つからない場合、該検査パラメータ算出方法に従って
入力された該部品形状情報から該検査パラメータを算出
するパラメータ算出手段と、該部品搭載情報と該部品ライブラリデータをもとに、新
規な該検査対象部品での検査対象ポイントの位置データ
を生成する検査データ生成手段と、該位置データが示す部分を計測して２次元形状あるいは
３次元形状を表わす特徴量を抽出する特徴量抽出手段
と、該特徴量を該検査パラメータと比較することにより、新
規な該検査対象部品の欠陥判定を行なう欠陥判定手段と
を備えたことを特徴とする部品実装基板外観検査装置。
【請求項２２】部品形状情報と検査パラメータとから
構成される部品ライブラリデータと、部品形状の同一性
を判別する判定基準と、該部品形状情報から該検査パラ
メータを算出する検査パラメータ算出方法とを記憶する
記憶手段と、部品搭載基板での検査対象部品の部品搭載情報と該部品
ライブラリデータを比較することにより、新規部品リス
トを作成する新規部品リスト作成手段と、該新規部品リストに従って該検査対象部品の該部品形状
情報を入力する入力手段と、入力された該部品形状情報と該部品ライブラリデータに
おける該部品形状情報を比較して、該判定基準に基づい
て、該検査対象部品と同一形状の部品を探索し、該探索
の結果見つかった新規な検査対象部品と同一形状の部品
の部品ライブラリデータを検査対象部品に対応させる情
報を記録する同一形状探索手段と、該探索の結果、同一形状の部品が見つからない場合、該
検査パラメータ算出方法に従って該部品形状情報から該
検査パラメータを算出する検査パラメータ算出手段と、該部品搭載情報と該部品ライブラリデータとをもとに、
画像処理範囲と検査パラメータ選択情報とを含むウィン
ドウデータとステージ制御データを生成する検査データ
生成手段と、該検査対象部品の距離画像，濃淡画像の少なくともいず
れか一方を検出する画像検出光学系と、該画像検出光学系によって該画像が検出される該検査対
象部品を保持し、該ステージ制御データに基づいて制御
されるＸＹ方向に移動可能なステージと、該画像検出光学系によって検出された該画像に対して、
該ウィンドウデータに記述された画像処理範囲の画像処
理を行なうことにより、３次元形状を表わす特徴量を抽
出する特徴量抽出手段と、該特徴量を該ウィンドウデータにおける検査パラメータ
選択情報によって選択される該検査パラメータと比較す
ることにより、該検査対象部品の欠陥判定を行なう欠陥
判定手段とを備えたことを特徴とする部品実装基板外観
検査装置。
【請求項２３】検査対象部品の画像を検出し、画像処
理パラメータを用いて画像処理を行なうことにより、３
次元形状あるいは２次元形状を表わす特徴量を抽出し、
抽出した特徴量を判定パラメータと比較することによ
り、該検査対象部品の実装状態あるいははんだ付け状態
の良否を検査する部品実装基板外観検査装置の検査デー
タ作成方法であって、該検査対象部品の部品形状情報を入力し、予め記憶装置
に記憶された検査パラメータ算出方法に従って、該部品
形状情報から該画像処理パラメータと該判定パラメータ
とを算出することを特徴とする検査データ作成方法。
【請求項２４】検査対象部品の画像を検出し、画像処
理パラメータを用いて画像処理を行なうことにより、３
次元形状あるいは２次元形状を表わす特徴量を抽出し、
抽出した特徴量を判定パラメータと比較することによ
り、該検査対象部品の実装状態あるいははんだ付け状態
の良否を検査する部品実装基板外観検査装置の検査デー
タ作成装置であって、該検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段と、該部品形状情報カラ買い画像処理パラメータ及び該判定
パラメータを算出するパラメータ算出方法を記憶する記
憶手段と、該パラメータ算出方法に従って、該部品形状情報から該
画像処理パラメータと該判定パラメータとを算出するパ
ラメータ算出手段とを有することを特徴とする検査デー
タ作成装置。