JP3869554B2 - 検査データ作成方法及び装置及びこれを用いた部品実装基板外観検査装置 - Google Patents
検査データ作成方法及び装置及びこれを用いた部品実装基板外観検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3869554B2 JP3869554B2 JP11864198A JP11864198A JP3869554B2 JP 3869554 B2 JP3869554 B2 JP 3869554B2 JP 11864198 A JP11864198 A JP 11864198A JP 11864198 A JP11864198 A JP 11864198A JP 3869554 B2 JP3869554 B2 JP 3869554B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- data
- new
- shape
- component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象の3次元形状あるいは2次元形状を表わす特徴量を抽出し、抽出した特徴量を検査パラメータと比較することにより、部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する検査データ作成方法,装置及びこれを用いた部品実装基板外観検査装置に係り、特に、部品形状を基に検査パラメータを自動的に設定することによって検査データを作成する検査データ作成方法,装置及びこれを用いた部品実装基板外観検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
検査対象の3次元形状あるいは2次元形状を表わす特徴量を抽出し、抽出した特徴量を検査パラメータと比較することにより、部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する部品実装基板外観検査装置としては、例えば、特開平6−27030号公報に記載の実装基板外観検査装置が知られている。これは、濃淡画像の情報を複数の閾値を用いて多値化し、夫々の値をとる領域の面積や重心などの2次元的特徴量を抽出し、それらが所定の範囲に入っているかどうかによって良否判定を行なうものである。また、対象物の3次元形状を検出する例としては、例えば、特開平3−148051号公報に記載の実装基板検査装置が知られている。しかし、これらいずれも検査データの作成方法については記述されていない。
【0003】
一方、部品実装基板検査装置の検査データ作成方法については、例えば、特開平5−35849号公報に記載の教示データ作成方法や特開平6−82228号公報に記載の検査用プログラムデータ作成方法及び装置などの例がある。これらは、部品種毎に形状情報や検査ウィンドウの位置及びサイズ,検査パラメータなどをライブラリとして登録しておき、部品搭載情報を外部から入力してこのライブラリを合成することにより、検査データを作成することを特徴としている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の部品実装基板外観検査装置あるいは検査データ作成方法では、上記のライブラリを構成する部品の部品形状情報や検査ウィンドウ情報,検査パラメータなどの各種の情報を人手で入力する必要があり、これに要するのに時間がかかるし、誤入力の可能性があるという問題があった。
【0005】
また、検査パラメータについては、検査を試行して最適化を図る必要もあるため、さらに時間を必要とし、そのため、新規部品が次々と投入される多品種少量生産ラインでは、ライブラリの追加作成が生産に追いつかず、検査装置を適用できないという問題があった。
【0006】
本発明の目的は、かかる問題を解消し、人手により情報の入力の手間を省き、部品の投入に即応してライブラリを作成することができるようにした検査データ作成方法,装置及びこれを用いた部品実装基板外観検査装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明による検査データ生成方法は、検査対象部品の部品形状情報を入力し、予め記憶装置に記憶された検査パラメータ算出方法に従って該形状情報から検査パラメータを算出することにより、検査装置用部品ライブラリデータを作成するものである。
【0008】
また、本発明による検査データ生成装置は、検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段と、入力された該形状情報から検査パラメータを算出する方法を記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された検査パラメータ算出方法に従って、該形状情報から該検査パラメータを算出する検査パラメータ算出手段とで校正される。
【0009】
さらに、本発明による部品実装基板外観検査装置は、以上のようにして得られた検査パラメータのうち、部品実装基板での検査対象となる部品に対する検査パラメータを選択し、この選択した検査パラメータに基づいて、検査対象信品の設定された検査範囲での欠陥の判定を行なう。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面により説明する。
【0011】
図1は本発明による検査データ作成及び装置の第1の実施形態を示すブロック図であり、1は入力手段、2は記憶手段、3は検査パラメータ算出手段、Aは部品形状情報、Bは検査パラメータ算出方法、Cは検査パラメータである。
【0012】
同図において、新規部品の部品形状情報Aが入力手段1から入力され、検査パラメータ算出手段3に転送される。ここで、部品形状情報Aは、QFP(Quad Flat Package)やSOP(Small Outline Package),チップなどの部品タイプと、部品サイズやリードピッチ,リード本数などのどこにリードの先端があるか計算できる情報と、リードあるいは電極の幅や厚さ,長さなどのリードあるいは電極の形状情報とを含んでいる。
【0013】
かかる部品形状情報Aは、ネットワークで接続された別装置あるいは計算機に記憶された部品情報データベースに格納されている。かかる部品形状情報Aの入力方法としては、このような別装置あるいは部品情報データベースの中から全ての部品あるいは指定した部品についての部品形状情報Aを抽出して入力手段1に転送する方法がある。部品情報データベースは、少なくとも部品番号とQFP,SOP,チップなどの部品タイプと部品形状情報Aを含んでおり、他に機能や価格,メーカーなどの情報も含んでいてもよい。所定部品の部品形状情報Aを指定する場合には、予め決められたフォーマットに従った部品番号リストによって行なう方法や、モニタに表示される入力画面に従って要求されるデータをキーボードから打ち込んでいく方法がある。
【0014】
部品形状情報Aの入力方法としては、ほかにモニタに表示される入力画面に従って要求されるデータをキーボードから打ち込んでいく方法や、テキストエディタによって予め決められたフォーマットでファイルを作成しておく方法などがある。
【0015】
記憶手段2には、検査パラメータ算出方法Bが記憶されている。この記憶手段2としては、ハードディスク,フロッピーディスク,光磁気ディスク,磁気テープなど何を用いてもよい。検査パラメータ算出方法Bは、部品の各部の寸法を変数とした各検査パラメータの計算式を定義したものである。計算式は、例えば、最小フィレット長さを検査パラメータの1つとした場合、この検査パラメータに対し、最小フィレット長さ=(リード幅)×0.5のように表わされる。ここで、リード幅は、検査パラメータとしての最小フィレット長さを求める計算式での部品の寸法の1項目である。
【0016】
検査パラメータ算出方法Bには、部品を分類する条件も付加されてあり、分類毎に異なる定義を行なうことができる。例えば、QFP,SOP,チップなどの部品タイプやリードピッチあるいは電極サイズの範囲を分類の条件とする。
【0017】
検査パラメータ算出手段3は、入力した新規部品の部品形状情報Aにより、記憶手段2に予め記憶されている検査パラメータ算出方法Bの中から構成の新規部品に対する分類の条件に適合する計算式を選択し、この選択した計算式を用いて入力した部品形状情報Aから検査パラメータCを算出する。この検査パラメータCは、図示しない部品の検査装置によって抽出されるこの検査対象となる新規部品に対するはんだ付け部分の高さや長さ,幅,面積,体積,傾斜といった2次元形状あるいは3次元形状を表わす特徴量の判定基準値となる。かかる検査対象の部品の画像から特徴量を抽出するときに使用される画像処理パラメータが、この検査パラメータCに含まれる場合もある。
【0018】
部品形状情報Aとこれに対する算出された検査パラメータCとは対応付けられ、部品ライブラリデータとして記憶手段2あるいは別の図示しない記憶手段に保存され、部品の検査実行時に参照される。
【0019】
なお、この第1の実施形態を上記検査装置に接続し、上記のように検査パラメータをライブラリに登録せず、予め全ての部品の部品形状情報Aを入力して保持しておき、部品の検査実行時、その部品番号と部品搭載位置及び方向とからなる部品搭載情報からその部品に対する部品番号を読み出し、この部品番号に対応する部品の部品形状情報Aから、上記と同様の方法により、この部品に対する検査パラメータを作成するようにして、部品を検査する毎に、その部品の検査パラメータを作成するようにしてもよい。
【0020】
以上のように、この第1の実施形態では、各部品の検査パラメータによる部品ライブラリデータを自動的に作成することができ、検査パラメータの入力が必要でなくなるため、部品ライブラリデータ作成の時間を短縮することができ、誤った設定を防ぐこともできる。また、工場の部品情報データベースを利用することにより、部品形状情報の人手による入力を行なう必要がなくなり、部品ライブラリデータ作成の時間を更に短縮することが可能である。
【0021】
図2は本発明による検査データ作成方法及び装置の第2の実施形態を示すブロック図であって、4は同一形状探索手段、Dは同一形状基準、Eは部品ライブラリデータであり、図1に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。
【0022】
新規部品の部品形状情報Aは入力手段1によって入力され、検査パラメータ算出手段3と同一形状探索手段4とに転送される。また、記憶手段2には、同一形状判定基準Dと検査パラメータ算出方法Bと部品ライブラリデータEとが記憶されている。ここで、部品ライブラリデータEは、異なる部品毎の部品形状情報Aや検査パラメータ,その部品番号などからなっている。
【0023】
同一形状探索手段4では、入力された新規部品の部品形状情報Aを部品ライブラリデータEと比較するのであるが、記憶手段2から予め決められた同一形状判定基準Dを読み取り、これに基づいて新規部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータEを探索し、部品ライブラリデータEで同一形状の部品が見つかった場合には、部品番号によってこの新規部品と部品ライブラリデータEとの対応付けを記録する。
【0024】
同一形状探索手段4のかかる比較によって新規部品と同一の部品が見つからない場合には、パラメータ算出手段4が、上記のように、記憶手段2の対応する検査パラメータBの対応する検査式を用いて検査パラメータを算出し、新規部品のデータ(部品形状情報Aや検査パラメータ,部品番号など)を新たにライブラリデータEに追加する。
【0025】
次に、この第2の実施形態での夫々のデータについて説明する。
【0026】
部品形状情報A及び検査パラメータ算出方法Bは、図1に示した第1の実施形態と同様である。
【0027】
同一形状判定基準Dは、リードあるいは電極の幅,厚さ,長さなどの部品の各部の寸法を変数とした計算式で表わされており、同一形状探索手段4で比較する2つの部品の各部の寸法の差が上記計算式から計算される値より小さいとき、これら部品の形状が同一であると見做す。
【0028】
部品ライブラリデータEは、上記のように、少なくとも部品形状情報Aと検査パラメータCとを含んでおり、図3に示すように、対応データE1と部品タイプデータE2と検査タイプデータE3とで構成されている。ここで、対応データE1は部品の種類を表わす部品番号E11とこれに対応する部品タイプを選択するための選択情報E12とからなり、部品タイプデータE2は上記部品形状情報Aからリード形状情報を除いた部品サイズやリードピッチ,リード本数などを表わす情報内容と同一内容の部品形状情報E21と検査タイプ選択情報E22とからなり、検査タイプデータE3はリード形状情報E31や検査ウィンドウサイズE32,上記の算出された検査パラメータCである検査パラメータE33とからなっている。
【0029】
なお、対応データE1での部品番号E11と部品タイプデータE2での部品形状情報E21とは、対応データE1での部品タイプ選択情報E12によって対応付けられており、また、部品タイプデータE2での部品形状情報E21と検査タイプデータE3でのリード形状情報E31,ウィンドウサイズE32,検査パラメータE33とは、部品タイプデータE2での検査タイプ選択情報E22によって対応付けられている。また、同じ部品であれば、それらの部品番号E11は部品タイプデータE2での同じ部品形状情報E21に対応付けられている。部品タイプデータE2と検査タイプデータE3 の間についても同様である。
【0030】
次に、部品ライブラリデータEの作成手順について、図4を用いて説明する。
【0031】
まず、新規部品の部品形状情報Aを、上記のように、入力する(ステップ100)。次に、入力する全ての新規部品について、部品ライブラリデータEの追加作成を行なう(ステップ101)。部品ライブラリデータEに新規部品のデータを追加するためには、まず、同一形状探索手段4で新規部品の部品形状情報Aのリード形状情報を除いた部分と同一の部品形状情報E21が部品タイプデータE2にあるか否か探索することにより、新規部品のデータが部品ライブラリデータEとして登録されているか否か探索する(ステップ102)。部品タイプデータE2に新規部品の部品形状情報Aのリード形状情報を除いた部分と同一の部品形状情報E21があれば(以下、これを新規部品と同一形状の部品があるという)(ステップ103)、対応データE1に、その新規部品の部品番号を部品番号E11として追加するとともに、探索の結果見つけた部品タイプデータE2の部品形状情報E21をこの部品番号E11に対応付ける部品タイプ選択情報E12を追加する(ステップ104)。これは、その新規部品に対して見つかった部品タイプデータE2を使用することを意味している。
【0032】
一方、部品タイプデータE2に同一形状の部品がなければ(ステップ103)、この新規部品に対し、この部品番号を部品番号E11として対応データE1に追加するとともに、この新規部品の入力部品形状情報Aのリード形状情報を除いた部分を部品形状情報E21として部品タイプデータE2に追加し、この追加した部品形状情報E21と対応データE1に追加した部品番号E11とを対応付ける部品タイプ選択情報E12を対応データE1に付加する(ステップ105)。
【0033】
そして、この入力部品形状情報Aのリード形状情報に一致するリード形状情報E31を検査タイプデータE3で探索し(ステップ106)、一致するものがあれば(ステップ107)、この一致したリード形状情報E31やこれに対をなすウィンドウサイズE32,検査パラメータE33と部品タイプデータE2に追加した上記の部品形状情報E21とを対応付ける検査タイプ選択情報E22を部品タイプデータE2 に追加する(ステップ108)。また、一致しない場合には(ステップ107)、この入力部品形状情報Aから検査パラメータ算出手段3によって新たにウィンドウサイズE32と検査パラメータE33とを求め、検査タイプデータE3に追加するとともに、これら追加した情報と部品タイプデータE2に追加した上記の部品形状情報E31と対応付ける検査タイプ選択情報E22を部品タイプデータE2に追加する(ステップ109)。
【0034】
ここで、新規部品と部品ライブラリデータEによる部品とが同一形状であるかどうかの判定は、部品タイプデーチE2や検査タイプデータE3での部品サイズ,リードピッチ,リード本数及びリード形状の各項目によって行なう。これらの全ての項目が同一形状判定基準Dに基づいて新規部品の同じ項目と同一であると判断される場合、新規部品とこの部品ライブラリデータEによる部品とが同一形状であるとする。また、新規部品と部品ライブラリデータEによる部品とのリード形状が同一であるかどうかの判定は、検査タイプデータE3でのリード幅,リード厚さ,リード長さなどの各項目が同一形状判定基準Dに基づいて新規部品の同じ項目と同一であると判断される場合、これら部品とのリード形状が同一の形状であるとする。なお、部品ライブラリデータEで新規部品と同一形状の部品が複数個有る場合には、部品サイズの差が最も小さい部品をこの新規部品と同一形状の部品として選択する。
【0035】
検査タイプデータE3を新規作成する際には、入力部品形状情報Aからリード幅,リード厚さ及びリード長さなどのリード形状情報を抽出し、これをリード形状情報E31とするとともに、これを検査パラメータ算出手段3で検査パラメータ算出方法Bにより計算し、検査ウィンドウサイズE32及び検査パラメータE33を算出する。
【0036】
なお、ウィンドウサイズE32は、図5に示すようなリード先端位置からウィンドウの各辺までの長さW0〜W3として定義付けられており、これら長さW0〜W3は、例えば、次の式によって決定される。
これらの式は、上記の検査パラメータBに記述されている。また、パッド幅やリード長さ,リード幅の値はいずれも、上記の部品形状情報Aに含まれている。
【0037】
以上のように、この第2の実施形態では、図1に示した第1の実施形態と同様の効果が得られる上、既存の部品ライブラリデータから同一形状の部品を選択して使用し、同一形状の部品がない場合のみ、新しい部品ライブラリデータを作成するため、冗長な部品ライブラリデータを作成することがない。
【0038】
図6は本発明による検査データ作成方法及び装置の第3の実施形態を示すブロック図であって、5は類似形状評価手段、Fは類似度算出方法であり、図2に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。
【0039】
この第3の実施形態は、図2において、検査パラメータ算出手段3の代わりに、図6に示すように、類似形状評価手段5を用いたものである。このために、記憶手段2には、類似度算出方法Fが格納されている。それ以外の構成は図2に示した第2の実施形態と同様である。
【0040】
入力手段1から入力された新規部品の部品形状情報Aは、同一形状探索手段4に転送されて、部品ライブラリデータEからこの新規部品と同一形状の部品が探索されるとともに、類似形状評価手段5にも転送される。類似形状評価手段5は、同一形状探索手段4により、新規部品と同一形状の部品が部品ライブラリデータEで見つからない場合、新規部品と部品ライブラリデータEでの部品との形状の類似度を予め決められた類似度算出方法Fによって算出し、最も類似度が高い部品ライブラリデータEの部品に対する検査パラメータE33を複写することにより、新規部品のデータを作成し、これをライブラリデータEに追加する。
【0041】
部品ライブラリデータEの作成の手順は第2の実施形態とほぼ同様であるが、その部品タイプデータを新規作成した新規部品の部品番号をディスプレイに表示するファイルに出力するなどの方法でユーザに通知する。
【0042】
なお、この第3の実施形態では、検査タイプデータE3(図3)を新規作成する方法が図2に示した第2の実施形態と異なるので、この形成方法について説明する。
【0043】
まず、新規部品の入力部品形状情報Aからリード幅,リード厚さ及びリード長さなどのリード形状情報を抽出し、これを新しいリード形状情報E31として検査タイプデータE3に追加する。この入力部品形状情報Aのリード形状情報と既存の部品ライブラリデータEの検査タイプデータE3に記述されたリード形状情報E31との類似度を類似度算出方法Fに従って計算し、最も類似度の高いリード形状情報E31に対する検査ウィンドウサイズE32及び検査パラメータE33をこの新規部品のデータとして検査タイプデータE3 に複写する。
【0044】
類似度を算出するには、比較する新規部品と部品ライブラリデータEでの部品との各部の寸法の差に重みをかけて合計し、その合計値が小さい程類似度が高いとする。類似度算出方法Fとしては、部品の各部分に対して重みを定義したものを記憶しておけばよい。
【0045】
この作成方法によれば、検査パラメータの算出方法を予め定義しておくことが困難であって、検査パラメータの調整が必要である場合でも、最適に近い検査パラメータを初期設定することができ、検査パラメータの調整時間を短縮することができる。また、部品タイプデータE3を新規作成した新規部品の部品番号が通知されるので、ユーザは検査パラメータの調整が必要な部品を簡単に知ることができる。
【0046】
図7は本発明による部品実装基板外観検査装置の一実施形態を示す構成図であって、6は検査データ生成手段、7は新規部品リスト作成手段、8は欠陥判定手段、9は3次元形状検出光学系、10はステージであり、図2に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。
【0047】
この実施形態は、図2に示した検査データ作成方法及び装置を用いたものである。
【0048】
同図において、入力手段1や記憶手段2,検査検査パラメータ算出手段3,同一形状探索手段4は、図2に示した検査データ作成装置を構成するものである。
【0049】
新規部品リスト作成手段7は、検査対象となる部品実装基板での各部品の部品搭載情報Gと作成済みの部品ライブラリデータEを比較し、この部品ライブラリデータEに存在しない部品番号をリストアップし、これからなる新規部品リストHを作成する。この新規部品リストHによって部品を指定し、第2の実施形態で説明した方法でもってかかる部品の部品ライブラリデータEを作成,追加する。これにより、検査対象となる部品実装基板に搭載される全ての部品に対する部品ライブラリデータEが得られたことになる。
【0050】
なお、図2に示す検査データ作成方法及び装置の代わりに、図1または図6に示した検査データ作成方法及び装置を用いてもよい。
【0051】
検査データ生成手段6は、部品搭載情報Gと部品ライブラリデータEをもとに、検査ウィンドウデータIとステージ制御データJとを生成する。
【0052】
検査対象である部品実装基板は、XY方向に移動可能なステージ10に保持されている。このステージ10は、検査データ生成手段6によって作成されたステージ制御データJに基づいて制御される。ステージ10から3次元形状検出光学系9にこのステージ10の走査に同期して信号が送り込まれ、これにより、3次元形状検出光学系9はステージ10に搭載された部品実装基板の検査対象ポイントを含む濃淡画像K1と距離画像K2と検出し、欠陥判定手段8に送る。そこで、欠陥判定手段8は、3次元形状検出光学系9から検出画像K1、K2夫々の検査データ生成手段6によって作成された検査ウィンドウデータIによる検査範囲内の画像を抽出して処理し、欠陥判定を行なう。
【0053】
図8は図7における3次元形状検出光学系9の一具体例を示す構成図であって、9aはレーザ源、9bはハーフミラー、9cはポリゴンミラー、9dは対物レンズ、9e〜9hはハーフミラー、9iはレンズ、9jはピンホール、9k〜9qは光検出器、11は部品実装基板である。
【0054】
検査対象の部品実装基板11は、XY方向に移動可能なステージ10に保持されている。レーザ源9aから出力された入射光Liは、ハーフミラー9b及びポリゴンミラー9cを通り、対物レンズ9dによって細く絞られて部品実装基板11をその照射する。部品実装基板11からの反射光Loは、拡散成分も含めて、対物レンズ9d及びポリゴンミラー9cを通り、ハーフミラー9bで反射された後、ハーフミラー9e〜9hによって複数の光束に分岐される。夫々の光束は同一焦点距離のレンズ9iによって絞られて、同一口径のピンホール9jを介して光検出器9j〜9qで受光される。夫々の光検出器9j〜9qからは、その受光量に応じた大きさの電気信号が出力される。
【0055】
ここで、各ピンホール9iは、部品実装基板11の異なる高さからの反射光が集光する位置に配置されている。ピンホール9iの位置に対応する高さからの反射光はほとんどこのピンホール9iを通過するために、これを通過する光束を受光する光検出器の検出光量は大きくなり、逆に、これとは異なる高さからの反射光はピンホール9iに遮られ、これを通過する光束を受光する光検出器の検出光量は小さくなる。従って、どの光検出器の検出光量が最大となるかによって部品実装基板11の光照射部分の高さを知ることができると同時に、その検出光量によってこの部分の明るさを知ることができる。
【0056】
なお、ここでは、光検出器を4個としているが、光検出器の個数を増やすことにより、高さ方向の検出レンジ及び解像度を高めることが可能である。また、ハーフミラー9b,9e〜9hは、直列に配置されているが、どのように配置してもよい。さらに、複数の光検出器9k〜9qの検出信号の内挿補間により、さらに高い分解能を得ることも可能である。
【0057】
ポリゴンミラー9cの回転面は、ステージ10のX移動方向に平行になるように配置されており、その回転によって入射光Liと反射光Loの光軸がx方向に走査される。ステージ制御データJが指示する走査開始・終了位置に従ってステージ10をY方向に移動させることにより、検査対象である部品実装基板11の濃淡画像K1と距離(高さ)画像K2とを検出することができる。
【0058】
図9は図7における検査データ生成手段6の動作について説明する図であって、検査データの構成を示しており、図3,図7に対応する部分には同一符号をつけている。
【0059】
同図において、部品搭載情報Gは、ステージ10(図7)に取り付けられている部品実装基板11(図8)に搭載されている各部品の部品番号G1とこれら部品の部品実装基板11での搭載位置・方向情報G2とから構成されている。
【0060】
検査データ生成手段6は、取り込んだ部品搭載情報Gの部品番号G1を用いて部品ライブラリデータEの対応データE1での部品番号E11を指定し、部品タイプ選択情報E12を用いて、部品タイプデータE2からこの指定した部品の部品形状情報E21と検査タイプ選択情報E22とを読み取り、さらに、指定した部品番号E11に対応する検査タイプ選択情報E22を用いて、検査タイプデータE3のウィンドウサイズ情報E32を読み取る。そして、この読み取った部品形状情報E21とウィンドウサイズ情報E32と部品搭載情報Gの部品搭載位置・方向情報G2とで検査範囲の計算を行ない、得られた検査範囲I1と検査タイプ選択情報I2としての部品タイプデータE2から読み取った検査タイプ選択情報E22とからなるウィンドウデータIを作成する。
【0061】
ここで、検査範囲I1は検査する画像の処理範囲を決めるものであって、図10に示す部品実装基板11での実装部品12を検査対象の例にして説明すると、これは次のように設定される。
【0062】
なお、図10は3次元形状検出光学系9(図7)で検出されたステージ10(図7)に取り付けられた部品実装基板11での実装部品12の距離画像K2を示すものであって、この実装部品12の取付中心位置を(X,Y)としている。この実装部品12の方の一辺には、4個のリード12a〜12dがピッチpで、これに対向する他方の辺にも4個のリード12e〜12hがピッチpで夫々設けられている。また、実装部品12の一方の辺のリードの先端から他方の辺のリードの先端までの幅をWとする。
【0063】
ここで、いま、夫々のリード12a〜12hがはんだ付けされており、その状態を検査するものとすると、これらリード12a〜12hの先端部のはんだ付けのパッド15a〜15hがなされた部分にはんだ付け状態の検査のためのウィンドウを設定するとともに、これらリード12a〜12hの状態を検査するためのブリッジ検査ウインドウも設定する。
【0064】
そこで、リード12aを例にして説明すると、図示するように、このリード12aの先端部を含むはんだ付け状態検査ウインドウ13aとリード12a,11b間のブリッジ検査ウィンドウ14aとが設定される。いま、実装部品12の一辺のリード本数をN(ここでは、N=4)とすると、リード12aの先端位置(x,y)は次のように表わされる。
【0065】
x=X−W/2 ………(1)
y=Y−(N−1)・p/2 ………(2)
なお、上記のピッチpや幅W,リード本数Nは部品ライブラリデータEの部品タイプデータE2での部品形状情報E21に含まれており、また、実装部品12の中心位置(X,Y)は部品搭載情報Gの部品搭載位置・方向情報G2に含まれている。
【0066】
このように、リード12aの先端位置(x,y)が求まると、次に、部品ライブラリデータEの検査タイプデータE3から読み取ったウィンドウサイズ情報E32により、リード12aの先端位置(x,y)を中心とし、このウィンドウサイズ情報E32で決まる大きさのはんだ付け状態検査ウィンドウ13aを求める。ブリッジ検査ウィンドウ14aについても同様であるが、この場合、上記式(2)でのyを(y−p/2)とする。他のリード12b〜12hについても同様である。
【0067】
以上のようにして求めた各リード12a〜12hでのウィンドウの情報が、ウィンドウデータIの検査範囲情報I1 となる。
【0068】
図7に示すように、検査データ生成部6は、少なくとも部品搭載情報Gと部品ライブラリデータEを基に、ステージ制御データJも生成する。ステージ制御データJは、画像検出するときのステージ10の走査開始・終了位置及び走査方向を含む。
【0069】
いま、図11に示すように、5個のはんだ付け状態検査ウィンドウ13と4個のブリッジ検査ウィンドウ14とからなり、これらがy方向に交互に配列されてなる2つの検査ウィンドウ群16a,16bがx方向に平行に配置され、さらに、これら検査ウィンドウ群16a,16bに対してy方向に位置し、はんだ付け状態検査ウィンドウ13とブリッジ検査ウィンドウ14とがx方向に交互に配列されてなる2個の検査ウィンドウ群16c,16dがy方向に平行に配置された部品実装基板を例にとる。
【0070】
ここで、かかる部品実装基板での検査ウィンドウの配列において、1回のy方向の走査で画像検出できる範囲(破線で示す範囲)をページ17と呼ぶことにする。ここでは、検査ウィンドウ群16aと検査ウィンドウ群16c,16dの一部とを含むページ17aと、検査ウィンドウ群16bと検査ウィンドウ群16c,16dの他の一部とを含むページ17bと、検査ウィンドウ群16c,156のさらに他の一部とを含むページ17cとを示している。ステージ制御データJはかかるページ17a,17b,17c毎に設定する。
【0071】
以下、これらページ17a,17b,17cを総称してページ17ということにするが、各ページ17のx方向の開始位置はそのページ17での最も左端に位置するウィンドウでの左辺のx座標とする。図11においては、ページ17aのx方向の開始位置は、図示するように、x座標Xsaであり、ページ17b,17cのx方向の開始位置は夫々、図示するように、x座標Xsb,Xscである。
【0072】
また、各ページ17のy方向の開始位置,終了位置は夫々、ステージ10のy方向の移動の向きからみて、最初に3次元形状検出光学系9(図7)が走査するウィンドウの最初の辺のy座標,最後に走査するウィンドウの最後の辺のy座標である。ここで、ページ17aでは、図面上、上から下にy方向の操作が行なわれ、ページ17bでは、これとは逆に、下から上に、また、ページ17cでは、さらにその逆に、上から下に夫々y方向の走査が行なわれるとすると、ページ17aのy方向の開始位置,終了位置は夫々、図示するように、y座標Ysa,Yeaであり、ページ17bのy方向の開始位置,終了位置は夫々、図示するように、y座標Ysb,Yebであり、ページ17cのy方向の開始位置,終了位置は夫々、図示するように、y座標Ysc,Yecとなる。
【0073】
なお、検査ウィンドウデータIには、各検査ウィンドウがどのページに含まれるかを示す情報と、そのページに対するウィンドウの相対的な位置を示す情報とを付加しておく。
【0074】
図12は図7における欠陥判定手段8の一具体例を示すブロック図であって、18は特徴抽出部、19は欠陥判定部であり、図7に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。
【0075】
同図において、欠陥判定手段8は、特徴抽出部18と欠陥判定部19とから構成されている。
【0076】
特徴抽出部18は、検査対象部品に対し、検査ウィンドウデータIでの検査タイプ選択情報E22(図9)によって検査タイプデータE3(図9)を選択する。選択した検査タイプデータE3における検査パラメータE33のうちの画像処理パラメータを用いて、3次元形状検出光学系9(図7)から受け取った検出画像K1に対し、検査ウィンドウデータIに示される検査範囲I1(図9:例えば、図10でのはんだ付け状態検査ウィンドウ13aなど)での画像処理を行ない、はんだ付部のフィレット高さ、フィレット長さなどの特徴パラメータを抽出する。
【0077】
欠陥判定部19は、選択した検査タイプデータE3での検査パラメータE33のうちの欠陥判定パラメータと特徴抽出部18で抽出された特徴パラメータとを比較することにより、検査対象部品の欠陥判定を行なう。
【0078】
以上のように、この実施形態では、部品の検査時に必要となるデータは、部品ライブラリデータEと部品搭載情報Gから全て自動的に作成され、また、部品ライブラリデータEは部品形状情報Gから自動的に作成されるため、検査データ作成時間を非常に短くすることができる。
【0079】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の検査データ作成方法及び装置によると、検査対象の新規部品の部品形状情報を入力することにより、予め記憶装置に記憶された検査パラメータ算出方法に従って、検査時に使用する検査パラメータを自動的に算出し、部品ライブラリデータとして保存するため、検査パラメータを入力して調整する必要がなく、検査パラメータを誤って設定することもない。
【0080】
また、本発明の検査データ作成方法及び装置によると、工場の部品情報データベースを利用することにより、部品形状情報の入力に要する時間を短縮することが可能であるから、検査対象の新規部品を部品ライブラリデータに追加する作業時間を非常に短くすることができる。
【0081】
さらに、本発明の検査データ作成方法及び装置によると、予め記憶装置に記憶された同一形状判定基準に従って、既存の部品ライブラリデータから同一形状の部品を選択して使用し、同一形状の部品がない場合のみ、新しいデータを作成するため、冗長なデータを作成することがない。
【0082】
さらに、本発明の部品実装基板外観検査装置によると、検査時に必要となるデータが部品ライブラリデータと部品搭載情報から全て自動的に作成されるため、部品ライブラリデータの作成を含む検査データの作成時間を非常に短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による検査データ作成方法及び装置の第1の実施形態を示す構成図である。
【図2】本発明による検査データ作成方法及び装置の第2の実施形態を示す構成図である。
【図3】図2における部品ライブラリデータEの一具体例の構造を示す図である。
【図4】図2に示した第2の実施形態での部品ライブラリデータE作成手順を示すフローチャートである。
【図5】図3におけるウィンドウサイズの定義を説明する図である。
【図6】本発明による検査データ作成方法及び装置の第3の実施形態を示す構成図である。
【図7】本発明による部品実装基板外観検査装置の一実施形態を示す構成図である。
【図8】図7における3次元形状検出光学系の一具体例を示す構成図である。
【図9】図7における検査データ生成手段の動作説明図である。
【図10】図7に示した実施形態での検査対象となる部品実装基板の一具体例を示す図である。
【図11】図7に示した実施形態でのステージ制御データ生成方法を説明する図である。
【図12】図7における欠陥判定手段の一具体例を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 部品形状情報の入力手段
2 記憶手段
3 検査パラメータ算出手段
4 同一形状探索手段
5 類似形状評価手段
6 検査データ生成手段
7 新規部品リスト作成手段
8 欠陥判定手段
9 3次元形状検出光学系
9a〜9h リード
10 ステージ
11 検査対象の部品実装基板
12 検査対象部品
12a〜12h パッド
13a〜13h はんだ付状態検査ウィンドウ
14a〜14g ブリッジ検査ウィンドウ
16a〜16c ウィンドウ群
17a〜17c ページ
18 特徴抽出部
19 欠陥判定部
A 部品形状情報
B 検査パラメータ算出方法
C 検査パラメータ
D 同一形状判定基準
E 部品ライブラリデータ
E1 対応データ
E2 部品タイプデータ
E3 検査タイプデータ
E11 部品番号
E12 部品タイプ選択情報
E21 部品形状情報
E22 検査タイプ選択情報
E31 リード形状情報
E32 ウィンドウサイズ
E33 検査パラメータ
F 類似度算出方法
G 部品搭載情報
G1 部品番号
G2 部品搭載位置・方向
H 新規部品リスト
I ウィンドウデータ
I1 検査範囲
I2 検査タイプ選択情報
J ステージ制御データ
K1 濃淡画像
K2 距離画像
Claims (24)
- 検査対象部品の3次元形状あるいは2次元形状を表わす特徴量を抽出し、抽出した該特徴量を検査パラメータと比較することにより、該検査対象部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する部品実装基板外観検査装置の検査データ作成方法であって、
該検査対象部品の部品形状情報を入力し、予め記憶装置に記憶された該検査パラメータ算出方法に従って、該部品形状情報から該検査パラメータを算出することを特徴とする検査データ作成方法。 - 検査対象部品の3次元形状あるいは2次元形状を表わす特徴量を抽出し、抽出した該特徴量を検査パラメータと比較することにより、該検査対象部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する部品実装基板外観検査装置の検査データ作成装置であって、
該検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段と、
該部品形状情報から該検査パラメータを算出する検査パラメータ算出方法を記憶する記憶手段と、
該検査パラメータ算出方法に従って、該部品形状情報から該検査パラメータを算出する検査パラメータ算出手段と
を有することを特徴とする検査データ作成装置。 - 部品形状情報と検査パラメータから構成される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータを用いて検査対象部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する外観検査の検査データ作成方法であって、
新規な検査対象部品の部品形状情報を入力して、該部品形状情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形状情報とを比較し、予め記憶装置に記憶された同一性を判別する判定基準に基づいて該部品ライブラリデータでの新規な該検査対象部品と同一形状の部品を探索し、
該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録することを特徴とする検査データ作成方法。 - 部品形状情報と検査パラメータから構成される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータを用いて検査対象部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータに新規な検査対象部品のデータを追加する検査データ作成方法であって、
新規な該検査対象部品の部品形状情報を入力し、該部品形状情報と該部品ライブラリデータにおける部品形状情報とを比較し、予め記憶装置に記憶された同一性を判別する判定基準に基づいて、該検査対象部品と同一形状の部品を探索し、
該探索の結果見つかった該検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録し、
該探索の結果該検査対象部品と同一形状の部品が見つからない場合には、新規な該検査対象部品に対する検査パラメータを新たに設定することを特徴とする検査データ作成方法。 - 部品形状情報と検査パラメータから構成される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータを用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータに新規な検査対象部品のデータを追加する検査データ作成方法であって、
新規な該検査対象部品の部品形状情報を入力して、該部品形状情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形状情報を比較し、予め記憶装置に記憶された同一性を判別する判定基準に基づいて新規な該検査対象部品と同一形状の部品を探索し、
該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録し、
該探索の結果新規な該検査対象部品と同一形状の部品が見つからない場合には、新規な該検査対象部品に対する検査パラメータを設定し、部品ライブラリデータで同一形状の部品が見つからない新規な該検査対象部品をユーザに通知することを特徴とする検査データ作成方法。 - 部品形状情報と検査パラメータから構成される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータを用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータに新規な検査対象部品のデータを追加する検査データ作成方法であって、
新規な検査対象部品の部品形状情報を入力して、該形状情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形状情報を比較し、予め記憶装置に記憶された同一性を判別する判定基準に基づいて新規な検査対象部品と同一形状の部品を探索し、
該探索の結果見つかった新規な検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録し、
該探索の結果新規な該検査対象部品と同一形状の部品が見つからない場合には、予め記憶装置に記憶された検査パラメータ算出方法に従って、新規な該検査対象部品の該部品形状情報から新規な該検査対象部品に対する検査パラメータを算出することを特徴とする検査データ作成方法。 - 部品形状情報と検査パラメータから構成される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータを用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータに新規な検査対象部品のデータを追加する検査データ作成方法であって、
新規な該検査対象部品の部品形状情報を入力して、該部品形状情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形状情報を比較し、予め記憶装置に記憶された同一性を判別する判定基準に基づいて新規な該検査対象部品と同一形状の部品を探索し、
該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録し、
該探索の結果新規な該検査対象部品と同一形状の部品が見つからない場合には、予め記憶装置に記憶された類似度評価方法によって最も類似度が高いと評価される部品ライブラリデータにおける検査パラメータを複写することにより、新規な該検査対象部品に対する検査パラメータを設定することを特徴とする検査データ作成方法。 - 部品形状情報と検査パラメータから構成される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータを用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する外観検査の検査データ作成装置であって、
新規な検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段と、
部品形状の同一性を判別する判定基準を予め記憶する記憶手段と、
入力した該部品形状情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形状情報を比較して、該判定基準に基づいて新規な該検査対象部品と同一形状の該部品ライブラリデータにおける部品を探索し、該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録する同一形状探索手段と
を有することを特徴とする検査データ作成装置。 - 部品形状情報と検査パラメータから構成される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータを用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータに新規検査対象部品のデータを追加する検査データ作成装置であって、
新規な検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段と、
部品形状の同一性を判別する判定基準を記憶する記憶手段と、
入力した該部品形状情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形状情報とを比較して、該判定基準に基づいて新規な該検査対象部品と同一形状の該部品ライブラリデータにおける部品を探索し、該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録する同一形状探索手段と、
該探索の結果新規な該検査対象部品と同一形状の部品が見つからない場合には、新規な該検査対象部品の検査パラメータを新たに設定する検査パラメータ設定手段と
を有することを特徴とする検査データ作成装置。 - 部品形状情報と検査パラメータから構成される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータを用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータに新規検査対象部品のデータを追加する検査データ作成装置であって、
新規な検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段と、
部品形状の同一性を判別する判定基準を記憶する記憶手段と、
入力した該部品形状情報と該部品ライブラリにおける該部品形状情報を比較して、該判定基準に基づいて新規な検査対象部品と同一形状の部品を探索し、該探索の結果見つかった新規な検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録する同一形状探索手段と、
該探索の結果新規な検査対象部品と同一形状の部品が見つからない場合、新規な該検査対象部品の検査パラメータを新たに設定するパラメータ設定手段と、
該部品ライブラリデータで同一形状の部品が見つからない新規な該検査対象部品をユーザに通知する通知手段と
を有することを特徴とする検査データ作成装置。 - 部品形状情報と検査パラメータから構成される部品ライブラリデータを有し、検査対象の3次元形状あるいは2次元形状を表わす特徴量を抽出し、抽出した特徴量を前記部品ライブラリデータに記載された検査パラメータと比較することにより部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する外観検査装置の、前記部品ライブラリデータに新規な検査対象部品のデータを追加する検査データ作成装置であって、
新規な検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段と、
部品形状の同一性を判別する判定基準と、該部品形状情報から該検査パラメータを算出する検査パラメータ算出方法とを記憶する記憶手段と、
入力した該部品形状情報と該部品ライブラリにおける該部品形状情報を比較して、該判定基準に基づいて、新規な該検査対象部品と同一形状の部品を探索し、該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録する同一形状探索手段と、
該検査対象部品と同一形状の部品が見つからない場合には、該記憶手段に記憶されている該検査パラメータ算出方法に従って入力された該部品形状情報から該検査パラメータを算出するパラメータ算出手段と
を有することを特徴とする検査データ作成装置。 - 部品形状情報と検査パラメータから構成される部品ライブラリデータを有し、該検査パラメータを用いて部品の実装状態あるいははんだ付状態の良否を検査する外観検査のために、該部品ライブラリデータに新規な検査対象部品のデータを追加する検査データ作成装置であって、
新規な検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段と、
部品形状の同一性を判別する判定基準と、入力した該部品形状情報と前記部品ライブラリデータにおける部品との形状の類似度を評価する類似度評価方法とを記憶する記憶手段と、
入力した該部品形状情報と該部品ライブラリにおける該部品形状情報とを比較して、該判定基準に基づいて新規な該検査対象部品と同一形状の部品を探索し、該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録する同一形状探索手段と、
新規な該検査対象部品と同一形状の部品が見つからない場合、該類似度評価方法によって該部品ライブラリデータでの最も類似度が高いと評価される部品に対する検査パラメータを複写することにより、新規な検査対象部品の検査パラメータを設定する類似形状評価手段と
を有することを特徴とする検査データ作成装置。 - 請求項1または6において、
前記検査パラメータ算出方法は、部品の各部の寸法を変数とした計算式で表わしたものであることを特徴とする検査データ作成方法。 - 請求項1または6において、
前記検査パラメータ算出方法に対し、部品を形状形態で分類するための判別肢及び寸法により分類するための基準値と、分類された夫々の部品群に対して1個以上の検査パラメータを夫々算出するために定義される形状寸法値に加減乗除するための数値とを予め記憶しておくことを特徴とする検査データ作成方法。 - 請求項14において、
前記判別肢,基準値及び加減乗除するための数値を入力する過程、あるいは表示する過程、あるいは修正する過程の少なくとも1つの過程を含むことを特徴とする検査データ作成方法。 - 請求項3,4,5,6または7において、
前記判定基準は、部品の各部の寸法の許容誤差を部品の各部の寸法を変数とした計算式で表わしたものであることを特徴とする検査データ作成方法。 - 請求項2または11において、
前記検査パラメータ算出方法は、部品の各部の寸法を変数とした計算式で表わしたものであることを特徴とする検査データ作成装置。 - 請求項2または11において、
前記検査パラメータ算出方法に対し、部品を形状形態で分類するための判別肢及び寸法により分類するための基準値と、分類された夫々の部品群に対して1個以上の検査パラメータを夫々算出するために定義される形状寸法値に加減乗除するための数値とを予め記憶しておくことを特徴とする検査データ作成装置。 - 請求項18において、
前記判別肢及び基準値及び加減乗除するための数値を入力する手段、あるいは表示する手段、あるいは修正する手段の少なくとも1つの手段を含むことを特徴とする検査データ作成装置。 - 請求項8,9,10,11または12において、
前記判定基準は、部品の各部の寸法の許容誤差を部品の各部の寸法を変数とした計算式で表わしたものであることを特徴とする検査データ作成装置。 - 部品形状情報と検査パラメータから構成される部品ライブラリデータと、部品形状の同一性を判別する判定基準と、該部品形状情報から該検査パラメータを算出する検査パラメータ算出方法とを記憶する記憶手段と、
部品実装基板での検査対象部品の部品搭載情報と該部品ライブラリデータとを比較することにより、新規部品リストを作成する新規部品リスト作成手段と、
該新規部品リストに従って新規な該検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段と、
入力した該部品形状情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形状情報を比較して、該判定基準に基づいて、該部品ライブラリデータでの同一形状の部品を探索し、該探索の結果見つかった新規な該検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを新規な該検査対象部品に対応させる情報を記録する同一形状探索手段と、
該探索の結果新規な該検査対象部品と同一形状の部品が見つからない場合、該検査パラメータ算出方法に従って入力された該部品形状情報から該検査パラメータを算出するパラメータ算出手段と、
該部品搭載情報と該部品ライブラリデータをもとに、新規な該検査対象部品での検査対象ポイントの位置データを生成する検査データ生成手段と、
該位置データが示す部分を計測して2次元形状あるいは3次元形状を表わす特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、
該特徴量を該検査パラメータと比較することにより、新規な該検査対象部品の欠陥判定を行なう欠陥判定手段と
を備えたことを特徴とする部品実装基板外観検査装置。 - 部品形状情報と検査パラメータとから構成される部品ライブラリデータと、部品形状の同一性を判別する判定基準と、該部品形状情報から該検査パラメータを算出する検査パラメータ算出方法とを記憶する記憶手段と、
部品搭載基板での検査対象部品の部品搭載情報と該部品ライブラリデータを比較することにより、新規部品リストを作成する新規部品リスト作成手段と、
該新規部品リストに従って該検査対象部品の該部品形状情報を入力する入力手段と、
入力された該部品形状情報と該部品ライブラリデータにおける該部品形状情報を比較して、該判定基準に基づいて、該検査対象部品と同一形状の部品を探索し、該探索の結果見つかった新規な検査対象部品と同一形状の部品の部品ライブラリデータを検査対象部品に対応させる情報を記録する同一形状探索手段と、
該探索の結果、同一形状の部品が見つからない場合、該検査パラメータ算出方法に従って該部品形状情報から該検査パラメータを算出する検査パラメータ算出手段と、
該部品搭載情報と該部品ライブラリデータとをもとに、画像処理範囲と検査パラメータ選択情報とを含むウィンドウデータとステージ制御データを生成する検査データ生成手段と、
該検査対象部品の距離画像,濃淡画像の少なくともいずれか一方を検出する画像検出光学系と、
該画像検出光学系によって該画像が検出される該検査対象部品を保持し、該ステージ制御データに基づいて制御されるXY方向に移動可能なステージと、
該画像検出光学系によって検出された該画像に対して、該ウィンドウデータに記述された画像処理範囲の画像処理を行なうことにより、3次元形状を表わす特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、
該特徴量を該ウィンドウデータにおける検査パラメータ選択情報によって選択される該検査パラメータと比較することにより、該検査対象部品の欠陥判定を行なう欠陥判定手段と
を備えたことを特徴とする部品実装基板外観検査装置。 - 検査対象部品の画像を検出し、画像処理パラメータを用いて画像処理を行なうことにより、3次元形状あるいは2次元形状を表わす特徴量を抽出し、抽出した特徴量を判定パラメータと比較することにより、該検査対象部品の実装状態あるいははんだ付け状態の良否を検査する部品実装基板外観検査装置の検査データ作成方法であって、
該検査対象部品の部品形状情報を入力し、予め記憶装置に記憶された検査パラメータ算出方法に従って、該部品形状情報から該画像処理パラメータと該判定パラメータとを算出することを特徴とする検査データ作成方法。 - 検査対象部品の画像を検出し、画像処理パラメータを用いて画像処理を行なうことにより、3次元形状あるいは2次元形状を表わす特徴量を抽出し、抽出した特徴量を判定パラメータと比較することにより、該検査対象部品の実装状態あるいははんだ付け状態の良否を検査する部品実装基板外観検査装置の検査データ作成装置であって、
該検査対象部品の部品形状情報を入力する入力手段と、
該部品形状情報カラ買い画像処理パラメータ及び該判定パラメータを算出するパラメータ算出方法を記憶する記憶手段と、
該パラメータ算出方法に従って、該部品形状情報から該画像処理パラメータと該判定パラメータとを算出するパラメータ算出手段と
を有することを特徴とする検査データ作成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11864198A JP3869554B2 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 検査データ作成方法及び装置及びこれを用いた部品実装基板外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11864198A JP3869554B2 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 検査データ作成方法及び装置及びこれを用いた部品実装基板外観検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11311508A JPH11311508A (ja) | 1999-11-09 |
JP3869554B2 true JP3869554B2 (ja) | 2007-01-17 |
Family
ID=14741582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11864198A Expired - Fee Related JP3869554B2 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 検査データ作成方法及び装置及びこれを用いた部品実装基板外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3869554B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4502760B2 (ja) * | 2004-09-16 | 2010-07-14 | アイパルス株式会社 | 実装基板の検査用データ作成方法、実装基板の検査方法および同装置 |
JP4935109B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2012-05-23 | オムロン株式会社 | 基板検査装置並びにその検査ロジック設定方法および検査ロジック設定装置 |
JP2007033048A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Ricoh Co Ltd | はんだ接合判定方法,はんだ検査方法,はんだ検査装置およびはんだ検査用プログラムならびに記録媒体 |
JP4946267B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2012-06-06 | オムロン株式会社 | 検査条件設定装置、検査条件設定方法、検査条件設定用プログラム、および検査条件設定用プログラムを格納した記録媒体 |
US8381140B2 (en) * | 2011-02-11 | 2013-02-19 | Tokyo Electron Limited | Wide process range library for metrology |
JP6484802B2 (ja) * | 2015-04-09 | 2019-03-20 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装装置および動作パラメータの設定値の設定方法 |
JP7535735B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2024-08-19 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 生産データ作成装置および生産データ作成方法 |
JP7088874B2 (ja) * | 2019-04-09 | 2022-06-21 | 株式会社日立製作所 | 電子部品外観検査システム |
JP7159483B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2022-10-24 | 株式会社Fuji | データ管理システム |
-
1998
- 1998-04-28 JP JP11864198A patent/JP3869554B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11311508A (ja) | 1999-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7082715B2 (ja) | 深層畳み込みニューラルネットワークを用いたレーザ加工システムの加工誤差の検出 | |
US6333992B1 (en) | Defect judgement processing method and apparatus | |
WO2016121265A1 (ja) | 試料観察方法および試料観察装置 | |
JPH1089931A (ja) | パターン検査方法及びその装置並びに半導体ウエハの製造方法 | |
US20080175466A1 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
JPWO2006135040A1 (ja) | 3次元計測を行う画像処理装置および画像処理方法 | |
JP2006098155A (ja) | 検査方法及びその装置 | |
KR102400851B1 (ko) | 웨이퍼 관찰 장치 및 웨이퍼 관찰 방법 | |
JP3869554B2 (ja) | 検査データ作成方法及び装置及びこれを用いた部品実装基板外観検査装置 | |
JP7492240B2 (ja) | 分析装置及び分析方法 | |
US20080040064A1 (en) | Surface inspection apparatus and surface inspection method | |
KR20230126163A (ko) | 교사 데이터 생성 장치, 교사 데이터 생성 방법 및 기록 매체에 기록된 프로그램 | |
JPH09190531A (ja) | 実装データ作成方法と装置、および基板と実装の検査方法 | |
JP2010133744A (ja) | 欠陥検出方法およびその方法を用いた視覚検査装置 | |
JP4788549B2 (ja) | 外観検査用の画像の保存方法および画像保存処理装置 | |
JP2006113073A (ja) | パターン欠陥検査装置及びパターン欠陥検査方法 | |
JP5371928B2 (ja) | 欠陥検査方法及びその装置 | |
JP5075083B2 (ja) | 教師データ作成支援方法、並びに、画像分類方法および画像分類装置 | |
JPH1187446A (ja) | パターン欠陥検査装置及びパターン欠陥検査方法 | |
JP2018091771A (ja) | 検査方法、事前画像選別装置及び検査システム | |
JP2924859B2 (ja) | 外観検査方法及び装置 | |
JPH09119982A (ja) | 飛しょう体誘導装置 | |
JP2628951B2 (ja) | 画像欠陥判別処理装置 | |
EP3760970A1 (en) | Image analysis device, analysis device, shape measurement device, image analysis method, measurement condition determination method, shape measurement method, and program | |
JP2002277409A (ja) | プリント基板パターンの検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061002 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061010 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061013 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131020 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |