JPH11304464A - 記録媒体の欠陥検出装置及び記録媒体の欠陥検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 記録媒体上の凸状欠陥と凹状欠陥とをより簡
単に且つ精度良く検出することができる欠陥検出装置及
び欠陥検出方法を提供する。 【解決手段】 欠陥検出装置１は、プラスチック製基板
を用いた磁気ディスク３上を走査されて磁気ディスク表
面に存在する欠陥上を通過した場合に上記欠陥の凹凸形
状に対応して電気抵抗値が変化する欠陥検出センサ４
と、この欠陥検出センサ４の電気抵抗値の変化により生
じる信号の極性変化を検知してこの信号の極性変化に基
づいて上記欠陥の凹凸形状を識別して検出する検出部７
とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、データやプログラ
ム等の情報信号が記録再生される記録媒体に対してその
表面上に存在する凸状の欠陥及び凹状の欠陥を検出する
記録媒体の欠陥検出装置及び欠陥検出方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】記録媒体としては、磁気ディスクや磁気
テープ等の磁気記録媒体や、光ディスク等の光記録媒体
がある。そして、例えば、この磁気ディスクに情報信号
を記録及び／又は再生する装置としては、ハードディス
ク装置やフレキシブルディスク装置等がある。

【０００３】ハードディスク装置に内蔵されている磁気
ディスクは、非磁性支持体の両表面上に磁性膜が成膜さ
れている。そして、このハードディスク装置では、情報
信号が記録される際には、磁気ディスクの表面上を浮上
するヘッドスライダに搭載されている磁気ヘッドによ
り、磁性膜に情報信号がトラック状に記録され、また記
録された情報信号が再生される際には、上記磁気ヘッド
によりトラック状に記録された情報信号が再生されるよ
うになっている。

【０００４】また、このように情報信号が記録再生され
る際には、上記ヘッドスライダは、磁気ディスクの表面
上を５０ｎｍ程度の低浮上量にて浮上している。このよ
うなヘッドスライダの低浮上量を達成するためには、磁
気ディスク表面に突起が存在しないように磁気ディスク
を精度良く製作することが必要である。

【０００５】しかしながら、磁気ディスクの表面を加工
する際やスパッタリングにより磁性膜を形成する際に磁
性膜等に異物が混入したり、或いは、スパッタリングに
より磁性膜を形成する際にその磁性膜の構成材料が異常
成長することにより、磁気ディスクの表面にへこみ等の
凹状欠陥や突起等の凸状欠陥（以下、まとめて、凹凸状
欠陥と称する。）が生じる場合がある。このような磁気
ディスクの表面における凹凸状欠陥は、ヘッドスライダ
の浮上特性や、ヘッドスライダに搭載されている磁気ヘ
ッドによる情報信号の記録再生特性に悪影響を及ぼすも
のであり、磁気ディスクにおいて避けねばならないもの
である。

【０００６】従来、これら凹凸状欠陥の検出方法として
は、凸状欠陥検出用と凹状欠陥検出用とで異なる欠陥検
出センサを用いて各欠陥についてそれぞれ個別に検出し
ていた。

【０００７】具体的には、凸状欠陥検出用の欠陥検出セ
ンサ（以下、凸状欠陥検出センサと称する。）には、圧
電素子が用いられる。この凸状欠陥検出センサを用いた
凸状欠陥の検出方法は、この凸状欠陥検出センサが搭載
されたヘッドスライダを磁気ディスク上で所定の浮上量
で浮上させながら磁気ディスクの半径方向に移動させ、
この浮上量よりも高さの高い凸状欠陥にヘッドスライダ
が衝突した際に生じる振動を圧電素子で検出し、この衝
突の度合いに応じた圧電素子からの出力電圧により凸状
欠陥を検出するようにしている。

【０００８】このように、圧電素子では、凸状欠陥の検
出が可能であるが、その一方、凹状欠陥を検出すること
ができない。従って、凹状欠陥の検出には、次に示すよ
うに、全く異なる装置及び方法を用いて検出される。

【０００９】凹状欠陥の検出方法としては、磁気記録再
生ヘッドが用いられる。凹状欠陥の検出方法は、この凹
状欠陥検出用の欠陥検出センサが搭載されたヘッドスラ
イダを磁気ディスク上を任意の浮上量で浮上させて記録
再生を行い、スペーシングロスにより生じる再生信号の
振幅変動を検出して、この振幅変動の度合いにより凹状
欠陥を検出するようにしている。

【００１０】上述したように、従来の凹凸状欠陥の検出
方法は、圧電素子と磁気記録再生ヘッドとを用いること
により、凸状欠陥と凹状欠陥とをそれぞれ個別に検出し
ていた。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
欠陥検出センサでは、上述したように、凸状欠陥と凹状
欠陥とを検出する欠陥検出センサがそれぞれ異なるた
め、装置が複雑になってしまい、検出工程も煩雑になる
という問題がある。

【００１２】そこで、本発明は、このような実情に鑑み
て提案されたものであり、記録媒体上に存在する凸状欠
陥と凹状欠陥とをより簡単に且つ精度良く検出すること
ができる記録媒体の欠陥検出装置及び欠陥検出方法を提
供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成した
本発明に係る記録媒体の欠陥検出装置は、プラスチック
製基板を用いた記録媒体上を走査して記録媒体表面に存
在する凹状の欠陥又は凸状の欠陥上を通過した場合に上
記欠陥の凹凸形状に対応して電気抵抗値が変化する欠陥
検出センサと、上記欠陥検出センサの電気抵抗値の変化
により生じる信号の極性変化を検知してこの信号の極性
変化に基づいて上記欠陥の凹凸形状を識別して検出する
検出部とを備えることを特徴とするものである。

【００１４】特に、上記欠陥検出センサは、熱的な変化
により電気抵抗値の変化する抵抗体を有し、記録媒体表
面に存在する欠陥の凹凸形状に対応してこの抵抗体の電
気抵抗値が変化するものであることが好ましい。

【００１５】このように、本発明に係る記録媒体の欠陥
検出装置は、プラスチック製基板を用いた記録媒体表面
に存在する欠陥の凹凸形状に対応して電気抵抗値が変化
する欠陥検出センサと、この電気抵抗値の変化により生
じる信号の極性変化に基づいて上記欠陥の凹凸形状を識
別して検出する検出部とを備えるため、複数の欠陥検出
装置を用いずに単独の欠陥検出装置によって凹状欠陥及
び凸状欠陥をそれぞれ識別して検出することができる。
すなわち、本発明に係る記録媒体の欠陥検出装置によれ
ば、凹状欠陥及び凸状欠陥をより簡単に且つ精度良く識
別して検出することができる。

【００１６】また、本発明に係る記録媒体の欠陥検出方
法は、プラスチック製基板を用いた記録媒体表面に存在
する凹状の欠陥又は凸状の欠陥上を通過した場合に上記
欠陥の凹凸形状に対応して電気抵抗値が変化する欠陥検
出センサを記録媒体上で走査させ、上記欠陥検出センサ
の電気抵抗値の変化により生じる信号の極性変化を検知
してこの信号の極性変化に基づいて上記欠陥の凹凸形状
を識別して検出することを特徴とするものである。

【００１７】このように、本発明に係る記録媒体の欠陥
検出方法は、記録媒体表面に存在する欠陥の凹凸形状に
対応して電気抵抗値が変化する欠陥検出センサを記録媒
体上で走査させ、この欠陥検出センサの電気抵抗値の変
化により生じる信号の極性変化に基づいて上記欠陥の凹
凸形状を識別して検出するため、煩雑な方法を経ずに
も、簡単に且つ精度良く凹状欠陥及び凸状欠陥をそれぞ
れ識別して検出することができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施の形
態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図１
は、本発明を適用した記録媒体の欠陥検出装置１を示す
構成図である。

【００１９】本発明を適用した欠陥検出装置１は、図示
するように、ヘッドスライダ２の先端部に配されて磁気
ディスク３上の表面形状に対応するセンサ出力信号を送
出する欠陥検出センサ４と、スピンドル５及び欠陥検出
センサ４へ制御信号を送出する測定制御部６と、欠陥検
出センサ２からセンサ出力信号が供給され当該センサ出
力信号に基づいて欠陥の凹凸形状を識別して欠陥検出信
号を測定制御部６へ送出する検出部７とを備える。

【００２０】なお、本発明の欠陥装置１では、プラスチ
ック製基板を用いた記録媒体を対象とするものであれば
何れでも良く、以下に取り挙げるような磁気ディスク３
に限らず、光ディスクや光磁気ディスク等の記録媒体で
あっても構わない。ここで、この磁気ディスク３は、プ
ラスチック製基板上に磁性膜が形成されてなるものであ
る。

【００２１】測定制御部６は、制御信号をスピンドル５
及び欠陥検出センサ４に送出する。そして、この制御信
号に基づいて、スピンドル５が磁気ディスク３の回転を
制御するとともに、ヘッドスライダ２に配された欠陥検
出センサ４が磁気ディスク３の被測定半径方向にヘッド
スライダ２と共動して移動制御される。このとき、ヘッ
ドスライダ２と、回転する磁気ディスク３とのトラック
方向の相対速度は、例えば、約１４ｍ／ｓである。

【００２２】欠陥検出センサ４は、磁気ディスク３上を
半径方向に移動しながら走査されて、磁気ディスク３の
表面形状に対応するセンサ出力信号を検出部７へ送出す
る。ここで、欠陥検出センサ４は、定電流が流されてい
るとともに、熱的な変化により電気的抵抗値が変化する
抵抗体を有しているため、上記センサ出力信号が電圧変
化として表される。

【００２３】検出部７は、欠陥検出センサ４から供給さ
れたセンサ出力信号にフィルタ処理を施して増幅し、予
め設定されている比較基準電圧とセンサ出力信号の出力
電圧とのレベル判定を行って、センサ出力信号の出力電
圧が比較基準電圧を超えていた場合欠陥であると判断す
る。更に、検出部７は、磁気ディスク３上に欠陥が存在
すると判断する場合、後述するようにセンサ出力信号の
極性の違いから凹状欠陥或いは凸状欠陥であるかを識別
して、識別した欠陥検出信号を測定制御部１２に送出す
る。

【００２４】測定制御部１２は、検出部７から供給され
た欠陥検出信号と、制御信号とを合わせて、図２に示す
ように、凸状欠陥や凹状欠陥の位置情報等を出力する。
ここで、図２中では、凸状欠陥を○印で示し、凹状欠陥
を×印で示す。このようにして、磁気ディスク３上の凹
凸状欠陥の位置が検出される。

【００２５】つぎに、本発明に用いられる欠陥検出セン
サ４の構成について、図３及び図４を参照して詳細を説
明する。

【００２６】欠陥検出センサ４は、図３に示すように、
ヘッドスライダ２の先端部側面２ａに配されている。そ
して、この欠陥検出センサ４は、図４に示すように、直
方体状の抵抗体１０と、この抵抗体１０の両端部に取り
付けられた電極１１，１２とを備える。

【００２７】抵抗体１０は、熱的変化により電気抵抗値
が変化するものである。具体的には、抵抗体１０として
は、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）が好適に用いられる
が、電気抵抗値の熱係数が十分大きい抵抗体であれば良
い。また、この抵抗体１０の構成材料としては、例え
ば、パーマロイやタンタル等が挙げられる。

【００２８】電極１１，１２には、図示しない引き出し
線がそれぞれ接続されている。そして、電極１１，１２
は、この引き出し線を介して抵抗体１０に定電流を流す
ようになされている。

【００２９】このように構成される欠陥検出センサ４
は、ヘッドスライダ２と共動して磁気ディスク３上を浮
上しながら走査されることにより磁気ディスク３の表面
形状に対応するセンサ出力信号を検出部７に送出する。

【００３０】つぎに、以上のように構成される本発明を
適用した欠陥検出装置１において、特に、欠陥検出セン
サ４が磁気ディスク３の表面形状に対応するセンサ出力
信号を送出し、検出部７がこのセンサ出力信号の極性変
化に基づいて磁気ディスク面の凹凸状欠陥を識別して欠
陥検出信号を送出する原理について、図５〜図１０を参
照してより詳細を説明する。

【００３１】なお、図５に示される平滑なディスク面、
図７に示される凸状欠陥の存在するディスク面、図９に
示される凹状欠陥の存在するディスク面の何れにおいて
も、磁性膜が全て同様にそれぞれ同方向に磁化されてい
る。これにより、このような微小な大きさの欠陥によっ
ては、この欠陥の凹凸形状により、各ディスク面からの
磁界が異なって結果的に欠陥検出センサ４における抵抗
体１０の抵抗率を著しく変化させるとは考えられない。
よって、後述するように、磁気ディスク３の表面形状に
よる熱的変化が起因して抵抗体１０の電気抵抗値が変化
することを評価するには、上記磁気ディスク３からの磁
界による抵抗体１０の抵抗率変化は考慮しなくて良いと
考えられる。

【００３２】また、このことから、以下に示す図５〜図
１０における欠陥検出対象媒体としては、光ディスクで
あっても良いし、或いは磁気ディスクや光ディスク等の
ディスク基板自体であっても良いことは言うまでもな
い。

【００３３】図５は、欠陥のない磁気ディスク面３ａ上
を欠陥検出センサ４が通過した場合を示す断面図であ
る。図６は、図５に示すような欠陥のない磁気ディスク
面３ａ上を欠陥検出センサ４が通過した場合のセンサ出
力信号を示す図である。

【００３４】欠陥検出センサ４は、図５に示すように、
電極１１，１２に接続された引き出し線１１ａ，１２ａ
を介して抵抗体１０に定電流Ｉを流すことにより、抵抗
体１０が発熱する。ここで、抵抗体１０と磁気ディスク
３との距離は、５０ｎｍ程度と極めて小さいため、空気
層２０を介して、抵抗体１０から磁気ディスク３へ放熱
している。

【００３５】図５に示すように、欠陥のない磁気ディス
ク面３ａ上を抵抗体１０が通過する場合、抵抗体１０と
磁気ディスク３との距離がほぼ一定しており安定してい
るため、発熱と放熱のバランスがとれており、抵抗体１
０は、熱平衡状態となる。その結果、抵抗体１０の電気
抵抗値は、変化せず一定値をとる。そのため、センサ出
力信号は、図６に示すように一定値をとる。

【００３６】一方、図７は、磁気ディスク面３ａに存在
する凸状欠陥１３上を欠陥検出センサ４が通過した場合
を示す断面図である。図８は、図７に示すような凸状欠
陥１３上を欠陥検出センサ４が通過した場合のセンサ出
力信号を示す図である。

【００３７】図７に示すように、磁気ディスク面３ａに
存在する凸状欠陥１３上を抵抗体１０が通過する場合、
抵抗体１０から磁気ディスク３への放熱効果が増大し、
抵抗体１０に熱的減少領域が発生する。そして、この熱
的減少領域が抵抗体１０内に広がると、抵抗体１０の電
気抵抗値が熱係数の変化に伴って変化する。

【００３８】したがって、電極１１，１２にそれぞれ引
き出し線１１ａ，１２ａを接続しておき、この引き出し
線１１ａ，１２ａを介して抵抗体１０に定電流Ｉを流
し、抵抗体１０の両端間、即ち電極１１，１２間の電位
差を測定することにより、抵抗体２１の電気抵抗値の変
化を検知して、磁気ディスク面３ａに存在する凸状欠陥
１３を検出することができる。このときのセンサ出力信
号は、図８に示すような値をとる。

【００３９】これに対して、図９は、磁気ディスク面３
ａに存在する凹状欠陥１４上を欠陥検出センサ４が通過
した場合を示す断面図である。図１０は、図９に示すよ
うな凹状欠陥１４上を欠陥検出センサ４が通過した場合
のセンサ出力信号を示す図である。

【００４０】図９に示すように、磁気ディスク面３ａに
存在する凹状欠陥１４上を抵抗体１０が通過する場合、
抵抗体１０と磁気ディスク３との距離が急激に広がり、
抵抗体１０から磁気ディスク３への放熱効果が減少し、
抵抗体１０においては、熱平衡状態が一時的に崩れ、抵
抗体１０内に熱的増大領域が発生する。そして、この熱
的増加変化により抵抗体１０の電気抵抗値が熱係数の変
化に伴って変化する。

【００４１】したがって、電極１１，１２にそれぞれ引
き出し線１１ａ，１２ａを接続しておき、この引き出し
線１１ａ，１２ａを介して抵抗体１０に定電流Ｉを流
し、抵抗体１０の両端間、即ち電極１１，１２間の電位
差を測定することにより、抵抗体２１の電気抵抗値の変
化を検知して、磁気ディスク面３ａに存在する凹状欠陥
１４を検出することができる。このときのセンサ出力信
号は、図１０に示すような値をとる。

【００４２】上述したように、欠陥検出センサ４が凸状
欠陥１３上を通過した場合と、凹状欠陥１４上を通過し
た場合とでは、熱変化の方向が逆であるため、その結
果、図８及び図１０に示すように、凸状欠陥１３上を通
過した場合と凹状欠陥１４上を通過した場合のセンサ出
力信号の極性が互いに異なる。よって、このようなセン
サ出力信号の極性変化を検知することにより、磁気ディ
スク面３ａの凸状欠陥１３と凹状欠陥１４とを識別して
検出することができる。

【００４３】なお、このように、欠陥の凹凸形状によっ
て、熱変化方向が逆となり、結果的に信号の極性が逆と
なる現象は、対象としている記録媒体の基板がプラスチ
ック製であることがその要因の一つであると考えられ
る。すなわち、対象物の熱伝導度が関係していると考え
られる。

【００４４】以上示したように、先ず、欠陥検出センサ
４は、磁気ディスク３上を半径方向に走査されながら、
磁気ディスク３上の表面形状に対応するセンサ出力信号
を検出部７へ送出する。

【００４５】そして、検出部７が、上述したように、欠
陥検出センサ４から供給されたセンサ出力信号にフィル
タ処理を施して増幅し、予め設定されている比較基準電
圧とセンサ出力信号の電圧とをレベル判定して、センサ
出力信号の電圧が比較基準電圧を超えていた場合欠陥で
あると判断する。

【００４６】そして、この検出部７は、磁気ディスク３
上に欠陥が存在すると判断する場合、上述したようなセ
ンサ出力信号の極性の違いを検知して凹状欠陥１４か凸
状欠陥１３であるかを識別し、識別した欠陥検出信号を
測定制御部１２に送出する。

【００４７】以上述べたように、本発明を適用した記録
媒体の欠陥検出装置１は、磁気ディスク表面３ａに存在
する欠陥の凹凸形状に対応して電気抵抗値が変化する欠
陥検出センサ４と、この電気抵抗値の変化により生じる
信号の極性変化に基づいて上記欠陥の凹凸形状を識別し
て検出する検出部７とを備える。そのため、本発明を適
用した欠陥検出装置１は、複数の欠陥検出装置を用いず
に単独の欠陥検出装置を用いて凹状欠陥及び凸状欠陥を
それぞれ識別して検出することができる。すなわち、本
発明を適用した記録媒体の欠陥検出装置１によれば、よ
り簡単に且つ精度良く凸状欠陥１３及び凹状欠陥１４を
識別して検出することができる。

【００４８】また、以上述べたように、本発明を適用し
た記録媒体の欠陥検出方法は、記録媒体表面３ａに存在
する欠陥の凹凸形状に対応して電気抵抗値が変化する欠
陥検出センサ４を記録媒体３上に走査させ、この欠陥検
出センサ４の電気抵抗値の変化により生じる信号の極性
変化に基づいて上記欠陥の凹凸形状を識別して検出する
ため、煩雑な方法を経ずにも、簡単に且つ精度良く凸状
欠陥１３及び凹状欠陥１４をそれぞれ識別して検出する
ことができる。

【００４９】なお、磁気ディスク３の凹凸欠陥では、特
に凸状欠陥１３が記録再生特性にとって致命的な欠陥と
なることが多い。これは、凸状欠陥１３が磁気ディスク
３表面に存在すると、記録再生時において、記録再生ヘ
ッドがこの凸状欠陥１３と衝突してしまい、記録再生特
性に支障をきたしたり、磁気ディスク３や記録再生ヘッ
ドの損傷を引き起こしてしまうためである。一方、磁気
ディスク３表面上に凹状欠陥１４が存在することも磁気
ディスク３の記録可能な領域を狭める結果となる場合が
あり、勿論好ましくない。

【００５０】このように、磁気ディスク３表面の凹状欠
陥１４及び凸状欠陥１３は、それぞれ磁気ディスク３に
及ぼす影響が異なるものである。そのため、本発明で
は、単独の欠陥検出装置を用いるだけで、凹状欠陥１４
及び凸状欠陥１３を簡単に且つ精度良く識別して検出す
ることができるため、非常に実用上便利である。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る記録
媒体の欠陥検出装置は、記録媒体表面に存在する欠陥の
凹凸形状に対応して電気抵抗値が変化する欠陥検出セン
サと、この電気抵抗値の変化により生じる信号の極性変
化に基づいて上記欠陥の凹凸形状を識別して検出する検
出部とを備えるため、複数の欠陥検出装置を用いずに単
独の欠陥検出装置によって凹状欠陥及び凸状欠陥をそれ
ぞれ識別して検出することができる。よって、本発明に
係る記録媒体の欠陥検出装置は、より簡単な構成で精度
良く凹状欠陥及び凸状欠陥を識別して検出することがで
きる高性能且つ利便性に優れたものとなる。

【００５２】また、本発明に係る記録媒体の欠陥検出方
法は、記録媒体表面に存在する欠陥の凹凸形状に対応し
て電気抵抗値が変化する欠陥検出センサを記録媒体上に
走査させ、この欠陥検出センサの電気抵抗値の変化によ
り生じる信号の極性変化に基づいて上記欠陥の凹凸形状
を識別して検出するため、煩雑な方法を経ずにも、簡単
に且つ精度良く凹状欠陥及び凸状欠陥をそれぞれ識別し
て検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した欠陥検出装置の一例を示す構
成図である。

【図２】本発明を適用した欠陥検出装置を用いて磁気デ
ィスク表面に存在する凹凸欠陥を検出した結果を示す図
である。

【図３】本発明に用いられる欠陥検出センサの一例を示
す斜視図である。

【図４】本発明に用いられる欠陥検出センサの一例を拡
大して示す斜視図である。

【図５】欠陥のない磁気ディスク上を欠陥検出センサが
通過した場合を示す断面図である。

【図６】図５に示す場合におけるセンサ出力信号を示す
図である。

【図７】磁気ディスク面に存在する凸状欠陥上を欠陥検
出センサが通過した場合を示す断面図である。

【図８】図７に示す場合におけるセンサ出力信号を示す
図である。

【図９】磁気ディスク面に存在する凹状欠陥上を欠陥検
出センサが通過した場合を示す断面図である。

【図１０】図９に示す場合におけるセンサ出力信号を示
す図である。

【符号の説明】

１ 欠陥検出装置、 ２ ヘッドスライダ、 ３ 磁気
ディスク、 ４ 欠陥検出センサ、 ５ スピンドル、
６ 測定制御部、 ７ 検出部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プラスチック製基板を用いた記録媒体上
   を走査して記録媒体表面に存在する凹状の欠陥又は凸状
   の欠陥上を通過した場合に上記欠陥の凹凸形状に対応し
   て電気抵抗値が変化する欠陥検出センサと、 上記欠陥検出センサの電気抵抗値の変化により生じる信
   号の極性変化を検知して、この信号の極性変化に基づい
   て上記欠陥の凹凸形状を識別して検出する検出部とを備
   えることを特徴とする記録媒体の欠陥検出装置。
2. 【請求項２】 上記欠陥検出センサは、熱的な変化によ
   り電気抵抗値の変化する抵抗体を有し、記録媒体表面に
   存在する欠陥の凹凸形状に対応してこの抵抗体の電気抵
   抗値が変化することを特徴とする請求項１記載の記録媒
   体の欠陥検出装置。
3. 【請求項３】 プラスチック製基板を用いた記録媒体表
   面に存在する凹状の欠陥又は凸状の欠陥上を通過した場
   合に上記欠陥の凹凸形状に対応して電気抵抗値が変化す
   る欠陥検出センサを記録媒体上で走査させ、 上記欠陥検出センサの電気抵抗値の変化により生じる信
   号の極性変化を検知して、この信号の極性変化に基づい
   て上記欠陥の凹凸形状を識別して検出することを特徴と
   する記録媒体の欠陥検出方法。
4. 【請求項４】 上記欠陥検出センサとして、熱的な変化
   により電気抵抗値が変化する抵抗体を有するものを用
   い、 記録媒体表面に存在する欠陥の凹凸形状に対応して上記
   抵抗体の電気抵抗値が変化することを特徴とする請求項
   ３記載の記録媒体の欠陥検出方法。