JPH11300104A - Deaerating tube and deaerator using the same - Google Patents
Deaerating tube and deaerator using the sameInfo
- Publication number
- JPH11300104A JPH11300104A JP13124998A JP13124998A JPH11300104A JP H11300104 A JPH11300104 A JP H11300104A JP 13124998 A JP13124998 A JP 13124998A JP 13124998 A JP13124998 A JP 13124998A JP H11300104 A JPH11300104 A JP H11300104A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- degassing
- deaerator
- liquid
- deaeration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は脱気用チューブ及び
このチューブを用いた脱気装置に係り、その目的は、脱
気効率に優れ、溶存気体量の低い液体を効率良く得るこ
とができ、しかも処理液の濃度変化を最小限に抑えるこ
とができる脱気用チューブ及びこのチューブを用いた脱
気装置を提供することにある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a degassing tube and a degassing apparatus using the tube, and an object of the present invention is to efficiently obtain a liquid having a high degassing efficiency and a low dissolved gas amount. Moreover, it is an object of the present invention to provide a degassing tube capable of minimizing a change in the concentration of a processing solution and a degassing apparatus using the tube.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体メモリやＬＣＤ用ガラス基板の製
造ラインでは、薬液塗工の際に種々の結果を引き起こす
溶存ガスの存在が問題となっている。このような溶存ガ
スを除去する方法としては、薬液を真空脱気する方法が
知られており、気体透過性に優れたフッ素樹脂製チュー
ブを膜材として使用した脱気装置が提案されている。こ
のような脱気装置としては、例えば特開昭５７−１６５
００７号に開示の技術が存在している。特開昭５７−１
６５００７号開示の脱気装置は、図６に示すように、フ
ッ素樹脂等のプラスチックチューブ（Ａ）内に脱気処理
する液体を入れ、チューブ（Ａ）を真空ポンプ等の減圧
装置と連通連結された脱気用密閉容器（Ｂ）内に収容し
てなるものである。尚、図中（Ｃ）は入液口、（Ｄ）は
出液口、（Ｅ）は減圧装置との接続口である。また、特
開昭６０−４８１０４号においては多孔質チューブを使
用した脱気装置が提案されている。このような多孔質チ
ューブを使用した脱気装置は、一般的に非多孔質のチュ
ーブを使用した装置に比べて単位時間当たりの処理量が
大きいか、同一処理量なら脱気効率が高いといった特徴
を有している。2. Description of the Related Art In a production line for a semiconductor memory or a glass substrate for an LCD, there is a problem of the presence of a dissolved gas which causes various results when a chemical solution is applied. As a method of removing such dissolved gas, a method of vacuum degassing a chemical solution is known, and a degassing apparatus using a fluororesin tube having excellent gas permeability as a membrane material has been proposed. As such a deaerator, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-165
No. 007 discloses a technique disclosed therein. JP-A-57-1
As shown in FIG. 6, the degassing device disclosed in Japanese Patent No. 65007 is such that a liquid to be degassed is put into a plastic tube (A) such as a fluororesin, and the tube (A) is connected to a decompression device such as a vacuum pump. It is housed in a sealed degassing container (B). In the figure, (C) is a liquid inlet, (D) is a liquid outlet, and (E) is a connection port with a decompression device. Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-48104 proposes a deaerator using a porous tube. A deaerator using such a porous tube generally has a larger processing amount per unit time than a device using a non-porous tube, or has a higher deaeration efficiency if the same processing amount is used. have.
【０００３】しかしながら、上記したような従来の脱気
装置には以下に述べるような課題が存在した。すなわ
ち、脱気装置の脱気性能は使用する膜材の気体透過性に
強く依存するものであるが、プラスチック性の非多孔質
チューブを使用した特開昭５７−１６５００７号の脱気
装置では、チューブの気体透過性が低いため処理効率に
限界があり、液体を短時間で大量に処理することができ
なかった。更には、このような非多孔質チューブを使用
した脱気処置では、被処理液に目視できる程度の大量の
気泡が含まれている場合等には脱気が追いつかず、処理
後の脱気効果も十分でない場合があった。[0003] However, the conventional deaerator as described above has the following problems. That is, the deaeration performance of the deaerator strongly depends on the gas permeability of the membrane material to be used. However, in the deaerator of JP-A-57-165007 using a plastic non-porous tube, Since the gas permeability of the tube is low, the processing efficiency is limited, and a large amount of liquid cannot be processed in a short time. Furthermore, in the deaeration treatment using such a non-porous tube, if the liquid to be treated contains a large amount of visible bubbles, the deaeration cannot catch up with the deaeration effect after the treatment. Sometimes not enough.
【０００４】一方、特開昭６０−４８１０４号に代表さ
れるような多孔質チューブを使用した脱気装置は、低真
空圧（一般的には、１５０ｔｏｒｒ〜１００ｔｏｒｒ以
下）で使用した場合、気体だけでなく液体までもがチュ
ーブを透過して外部に漏出してしまい、真空ポンプの損
傷、薬液の濃度変化、チューブの変質などの様々な弊害
を引き起こすという問題があった。しかしながら、液内
の溶存気体量は、飽和溶存気体量をＭ（ｍｇ／Ｌ）、真
空圧をｐ（ｔｏｒｒ）とすると、ｐＭ／７６０以下には
ならないため、溶存気体量を下げるためには真空圧をで
きるだけ（好ましくは２０ｔｏｒｒ以下）に下げる必要
がある。On the other hand, a deaerator using a porous tube as typified by JP-A-60-48104 requires only a gas when used at a low vacuum pressure (generally 150 torr to 100 torr or less). However, even the liquid permeates through the tube and leaks to the outside, causing various problems such as damage to the vacuum pump, change in the concentration of the chemical solution, and deterioration of the tube. However, if the amount of dissolved gas in the liquid is M (mg / L) and the vacuum pressure is p (torr), the amount of dissolved gas in the liquid is not below pM / 760. It is necessary to reduce the pressure as much as possible (preferably 20 torr or less).
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】つまり、多孔質チュー
ブを使用した脱気装置は、液中の溶存気体量を減らすた
めには真空圧を下げなければならないが、そうすると薬
液の濃度変化が起こり、これを防ぐために真空圧を上げ
ると溶存気体量が多くなってしまうというという相反す
る二つの課題を包含したものであった。また、非多孔質
チューブを使用した脱気装置では、真空圧を下げてもチ
ューブから液体が漏出することがなく薬液の濃度変化は
起こらないが、前述した如くチューブの気体透過性が低
いため処理効率に限界があり、液体を短時間で大量に処
理することができないという課題を抱えていた。In other words, in a deaerator using a porous tube, the vacuum pressure must be reduced in order to reduce the amount of dissolved gas in the solution, but this causes a change in the concentration of the chemical solution. Increasing the vacuum pressure in order to prevent this would increase the amount of dissolved gas, which involved two conflicting problems. In addition, in the deaerator using a non-porous tube, even if the vacuum pressure is reduced, the liquid does not leak from the tube and the concentration of the chemical solution does not change. There is a problem in that the efficiency is limited and a large amount of liquid cannot be processed in a short time.
【０００６】本発明は、溶存気体量の減少、薬液の濃度
変化の防止、脱気効率の向上といった課題を同時に解決
することが可能な脱気装置を提供せんとするものであ
る。An object of the present invention is to provide a deaerator capable of simultaneously solving the problems of reducing the amount of dissolved gas, preventing a change in the concentration of a chemical solution, and improving deaeration efficiency.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために以下の手段を採用した。請求項１に係る発明
では、酸素及び窒素の分離係数が、チューブの長さ方向
における一部分において１とされ、残りの部分において
１より大きくされてなることを特徴とする脱気用チュー
ブとした。請求項２に係る発明では、請求項１の脱気用
チューブが１本又は複数本束ねられて形成された脱気エ
レメントが真空チャンバー内に配設されてなることを特
徴とする脱気装置とした。請求項３に係る発明では、入
液口と出液口を備えてなり、該入液口側に前記脱気用チ
ューブの分離係数が１の部分が配設されてなることを特
徴とする請求項２記載の脱気装置とした。請求項４に係
る発明では、前記真空チャンバー内が複数の小部屋に分
割されてなるとともに、脱気用チューブの分離係数が１
の部分を含む小部屋の真空圧が他の小部屋よりも高いこ
とを特徴とする請求項２又は３記載の脱気装置とした。
請求項５に係る発明では、前記脱気用チューブがフッ素
樹脂から形成されてなることを特徴とする請求項２乃至
４記載の脱気装置とした。The present invention employs the following means in order to solve the above problems. In the invention according to the first aspect, the degassing tube is characterized in that the separation coefficient of oxygen and nitrogen is set to 1 in a part of the length direction of the tube and larger than 1 in the remaining part. According to a second aspect of the present invention, there is provided a degassing apparatus, wherein a degassing element formed by bundling one or more degassing tubes according to the first aspect is disposed in a vacuum chamber. did. The invention according to claim 3 is characterized in that it comprises a liquid inlet and a liquid outlet, and a portion where the separation coefficient of the degassing tube is 1 is arranged on the liquid inlet side. Item 2 is a degassing apparatus. In the invention according to claim 4, the inside of the vacuum chamber is divided into a plurality of small chambers, and the separation coefficient of the degassing tube is one.
The vacuum pressure of the small room including the portion is higher than that of the other small rooms.
In the invention according to claim 5, the degassing tube is formed of a fluororesin.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。本発明に係る脱気用チュー
ブは、チューブの長さ方向において、酸素の透過係数を
ＰＯ2 、窒素の透過係数をＰＮ2 としたとき次式１（数
１）で示される分離係数が１の部分と１より大きい部分
を備えていることを最大の特徴とするものである。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the tube for degassing according to the present invention, when the permeability coefficient of oxygen is PO 2 and the permeability coefficient of nitrogen is PN 2 in the length direction of the tube, the separation coefficient represented by the following equation 1 (Equation 1) is 1 The greatest feature is that it has a portion and a portion larger than 1.
【数１】(Equation 1)
【０００９】分離係数が１の気体透過性チューブ（或い
はフィルム）とは、酸素、窒素など分子の大きさ、性質
が異なる気体であっても、その透過特性において変化の
無いチューブ（或いはフィルム）を指し、一般的な所謂
多孔質チューブは殆どこれに含まれる。一方、分離係数
が１より大きい気体透過性チューブ（或いはフィルム）
とは、酸素、窒素など分子の大きさ、性質が異なる気体
に対しては、異なる透過特性を有するチューブ（或いは
フィルム）を指し、一般的な非多孔質チューブは殆どこ
れに含まれ、また多孔質チューブであっても気体分子に
比して孔径が十分小さい、所謂微多孔膜の場合はこちら
に含まれる。A gas-permeable tube (or film) having a separation coefficient of 1 means a tube (or film) that has no change in its permeation characteristics even if the size and properties of molecules such as oxygen and nitrogen are different. In general, most of so-called porous tubes are included. On the other hand, gas-permeable tubes (or films) with a separation factor greater than 1
The term refers to tubes (or films) that have different permeation characteristics for gases with different molecular sizes and properties such as oxygen and nitrogen, and generally non-porous tubes are mostly included in this. So-called microporous membranes having a pore size sufficiently smaller than gas molecules even in porous tubes are included here.
【００１０】図１乃至図３は本発明に係る脱気用チュー
ブの好適な実施形態を示す概略図であり、本発明に係る
脱気用チューブ（１）は、チューブ長さ方向において、
分離係数が１のチューブ（２）と１より大きいチューブ
（３）が接続部材（４）を介して接続されることにより
構成されている。但し、図示例はあくまでも本発明に係
る脱気用チューブ（１）の一例を示したものに過ぎず、
分離係数が１のチューブ（２）と１より大きいチューブ
（３）をチューブ長さ方向のどの部分に設けるか、どれ
くらいの長さで設けるか、何箇所設けるか等については
特に限定されない。また、２種類のチューブの接続方法
についても特に限定されず、チューブ間の液漏れが発生
しない方法であれば適宜の接続手段を使用できる。FIGS. 1 to 3 are schematic views showing a preferred embodiment of a degassing tube according to the present invention. The degassing tube (1) according to the present invention has a structure in the longitudinal direction of the tube.
A tube (2) having a separation factor of 1 and a tube (3) larger than 1 are connected via a connecting member (4). However, the illustrated example is merely an example of the degassing tube (1) according to the present invention,
There is no particular limitation on where in the tube length direction the tube (2) having a separation factor of 1 and the tube (3) larger than 1 are provided, how long the tube (3) is provided, how many positions are provided, and the like. The method of connecting the two types of tubes is not particularly limited, and any suitable connecting means can be used as long as the method does not cause liquid leakage between the tubes.
【００１１】分離係数が１の部分の脱気用チューブの内
径は、好ましくは０．５〜３０ｍｍ、より好ましくは１
〜５ｍｍとされる。これは、内径が０．５ｍｍより小さ
いと送液の際の圧力損失が大きくなりすぎ、内径が３０
ｍｍを超えると取扱い性が悪くなる他、チューブ内にお
ける気体拡散の影響が大きくなって脱気効率が低下して
しまうからである。また、肉厚については０．０１〜２
ｍｍ、好ましくは０．１〜１ｍｍとされる。これは、肉
厚が０．０１ｍｍより小さいと、強度が不足し、送液や
組み立ての際にチューブが破損する可能性が高いためで
あり、２ｍｍを超えると気体透過性が悪くなって脱気効
率が低下するからである。また、長さは１０ｃｍ〜１０
０ｍ、好ましくは３０ｃｍ〜５ｍのものが使用される。
これは、長さが１０ｃｍより短いと脱気効果が殆どなく
なり、１００ｍを超えると取扱い性が悪くなる他、送液
の際の圧力損失が大きくなり送液が困難となるからであ
る。The inner diameter of the degassing tube having a separation coefficient of 1 is preferably 0.5 to 30 mm, more preferably 1 to 30 mm.
５5 mm. If the inner diameter is smaller than 0.5 mm, the pressure loss during liquid sending becomes too large, and the inner diameter is 30 mm.
If it exceeds mm, the handleability will deteriorate, and the effect of gas diffusion in the tube will increase, and the degassing efficiency will decrease. The thickness is 0.01 to 2
mm, preferably 0.1 to 1 mm. This is because if the wall thickness is less than 0.01 mm, the strength is insufficient and the tube is likely to be damaged during liquid feeding or assembly. If it exceeds 2 mm, the gas permeability deteriorates and degassing occurs. This is because the efficiency is reduced. In addition, length is 10cm-10
0 m, preferably 30 cm to 5 m is used.
This is because if the length is shorter than 10 cm, the degassing effect is almost eliminated, and if the length is longer than 100 m, the handling property is deteriorated, and the pressure loss during liquid sending becomes large, making the liquid sending difficult.
【００１２】また、分離係数が１より大きい部分の脱気
用チューブの内径は、好ましくは０．５〜１０ｍｍ、よ
り好ましくは１〜３ｍｍとされる。これは、内径が０．
５ｍｍより小さいと送液の際の圧力損失が大きくなりす
ぎ、内径が１０ｍｍを超えると取扱い性が悪くなる他、
チューブ内における気体拡散の影響が大きくなって脱気
効率が低下してしまうからである。また、肉厚について
は０．０１〜０．３ｍｍ、好ましくは０．０５〜０．２
ｍｍとされる。これは、肉厚が０．０１ｍｍより小さい
と、強度が不足し、送液や組み立ての際にチューブが破
損する可能性が高いためであり、０．３ｍｍを超えると
気体透過性が悪くなって脱気効率が低下するからであ
る。また、長さは１ｍ〜１００ｍ、好ましくは２ｍ〜２
０ｍのものが使用される。これは、長さが１ｍより短い
と脱気効果が殆どなくなり、１００ｍを超えると取扱い
性が悪くなる他、送液の際の圧力損失が大きくなり送液
が困難となるからである。The inner diameter of the deaeration tube at a portion where the separation coefficient is larger than 1 is preferably 0.5 to 10 mm, more preferably 1 to 3 mm. This means that the inner diameter is
If the diameter is smaller than 5 mm, the pressure loss at the time of liquid sending becomes too large, and if the inner diameter exceeds 10 mm, handleability deteriorates.
This is because the influence of gas diffusion in the tube increases, and the degassing efficiency decreases. The thickness is 0.01 to 0.3 mm, preferably 0.05 to 0.2 mm.
mm. This is because if the wall thickness is smaller than 0.01 mm, the strength is insufficient, and the tube is likely to be damaged during liquid feeding or assembly, and if it exceeds 0.3 mm, the gas permeability becomes poor. This is because the degassing efficiency decreases. The length is 1 m to 100 m, preferably 2 m to 2 m.
0 m is used. This is because if the length is shorter than 1 m, the deaeration effect is almost eliminated, and if the length is longer than 100 m, the handling property is deteriorated, and the pressure loss during liquid sending becomes large, making the liquid sending difficult.
【００１３】これら２種類の脱気用チューブは、単体で
使用してもよいが、脱気処理量を増やすために複数本束
ねて使用することが好ましい。複数本で使用する際の具
体的な本数については、目的とする処理量によって適宜
設定すればよいが、処理量１リットル／分につき、１０
〜５００本、好ましくは２０〜１００本程度の束が好適
に使用される。複数本で使用する場合は、例えばテー
プ、包帯、紐等を使用して束ねてもよいし、チューブ端
部をフッ素樹脂、ポリオレフィン樹脂等の熱接着性を有
する樹脂で融着したり、エポキシ樹脂等の熱硬化樹脂や
紫外線硬化樹脂で固めたりしてもよい。These two types of degassing tubes may be used alone, but it is preferable to bundle and use a plurality of them in order to increase the amount of degassing processing. The specific number when using a plurality of tubes may be appropriately set depending on the target processing amount.
A bundle of up to 500, preferably about 20 to 100 is suitably used. In the case of using a plurality of tubes, they may be bundled using, for example, a tape, a bandage, a string, or the like, or a tube end portion may be fused with a resin having a thermal adhesive property such as a fluororesin or a polyolefin resin, or an epoxy resin Or a thermosetting resin or an ultraviolet curable resin.
【００１４】また、上記した２種類の脱気用チューブの
材質としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキル
ビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエ
チレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥ
Ｐ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（Ｅ
ＴＦＥ）等のフッ素樹脂が好適に使用されるがこれらに
限定はされず、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリメ
チルペンテン等のポリオレフィンや、複数の材料をポリ
マーアロイ化或いは積層したもの等についても好適に使
用できる。The above two kinds of degassing tubes are made of polytetrafluoroethylene (PTF).
E), tetrafluoroethylene-perfluoroalkylvinyl ether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FE
P), ethylene-tetrafluoroethylene copolymer (E
Fluororesins such as TFE) are preferably used, but are not limited thereto. Polyolefins such as polypropylene, polyethylene and polymethylpentene, and those obtained by polymerizing or laminating a plurality of materials can also be suitably used. .
【００１５】上記した２種類の脱気用チューブは例えば
以下のような方法で製造される。先ず、ＰＴＦＥ粉末と
液状潤滑剤をＰＴＦＥ粉末１００重量部に対して液状潤
滑剤１５〜２５重量部の割合で混合する。そして、この
混合物をチューブ状に押し出し、次いで液状潤滑剤を加
熱除去する。その後、チューブの分離係数を１より大き
くする場合には、そのまま焼成、或いは若干延伸して
（通常、１．０〜１．８倍程度であるが、樹脂の種類に
よって倍率は変動する）から焼成する。チューブの分離
係数を１とする場合には、上記工程で、液状潤滑剤を加
熱除去した後に、延伸（通常、１．６〜４．０倍程度で
あるが、樹脂の種類によって倍率は変動する）してから
焼成する。尚、延伸は一軸で行っても二軸で行ってもよ
い。上記液状潤滑剤としては、ＰＴＦＥを濡らすことが
でき且つＰＴＦＥの分解温度よりも低い温度で抽出、蒸
発等により除去できるものを使用する。具体例としては
ナフサ、ホワイトオイル等の炭化水素油、トルエン、キ
シレン等の芳香族炭化水素類、アルコール類、ケトン
類、エステル類等を挙げることができる。尚、本発明に
係る脱気用チューブの製造方法は必ずしも上記方法には
限定されず、例えば脱離可能な固体或いは液体を混合し
て焼成してから、この固体又は液体を溶解や熱分解等の
方法で脱離して得てもよいし、また他の方法を使用して
もよい。The above two types of degassing tubes are manufactured, for example, by the following method. First, the PTFE powder and the liquid lubricant are mixed at a ratio of 15 to 25 parts by weight of the liquid lubricant to 100 parts by weight of the PTFE powder. Then, the mixture is extruded into a tube shape, and then the liquid lubricant is removed by heating. After that, when the separation coefficient of the tube is to be larger than 1, baking as it is or stretching slightly (usually about 1.0 to 1.8 times, but the magnification varies depending on the type of resin) I do. In the case where the separation coefficient of the tube is set to 1, after the liquid lubricant is removed by heating in the above step, the stretching is performed (usually about 1.6 to 4.0 times, but the magnification varies depending on the type of resin). ) And then bake. The stretching may be performed uniaxially or biaxially. As the liquid lubricant, one that can wet PTFE and that can be removed by extraction, evaporation, or the like at a temperature lower than the decomposition temperature of PTFE is used. Specific examples include hydrocarbon oils such as naphtha and white oil, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, alcohols, ketones, and esters. The method for producing the degassing tube according to the present invention is not necessarily limited to the above method. For example, after mixing and firing a desorbable solid or liquid, the solid or liquid is dissolved or thermally decomposed. May be obtained by desorption by the method described above, or another method may be used.
【００１６】図４は本発明に係る脱気装置の一実施形態
を示す概略図であり、上記したような方法により得られ
た分離係数が１の脱気用チューブ（２）と、分離係数が
１を超える脱気用チューブ（３）は、任意の接続手段に
よって長手方向に接続されて１本の脱気用チューブ
（１）とされた後、図示の如く脱気装置（５）内に配設
される。尚、ここでいう脱気用チューブとはチューブ束
の概念をも含むものである。脱気装置（５）は、真空チ
ャンバー（６）と該真空チャンバー（６）内に配設され
る脱気用チューブ（１）とから構成され、入液口
（７）、送液口（８）、減圧装置との接続口（９）を備
えている。FIG. 4 is a schematic view showing an embodiment of a deaeration apparatus according to the present invention. The deaeration tube (2) having a separation coefficient of 1 obtained by the above-described method and a separation coefficient of 1 are provided. One or more degassing tubes (3) are longitudinally connected by any connecting means to form one degassing tube (1), and then disposed in a degassing device (5) as shown. Is established. Here, the degassing tube includes the concept of a tube bundle. The deaerator (5) is composed of a vacuum chamber (6) and a deaeration tube (1) disposed in the vacuum chamber (6), and has a liquid inlet (7) and a liquid inlet (8). ), And a connection port (9) for connection with a pressure reducing device.
【００１７】尚、本発明に係る脱気装置（５）において
は、脱気用チューブ（１）の真空チャンバー（６）内へ
の接続固定方法は、適宜任意の方法を採用することがで
きる。また、１つの真空チャンバー（６）内に複数セッ
トの脱気用チューブ（１）を配設したり、入液口
（７）、出液口（８）、減圧装置との接続口（９）を複
数個設けてもよい。In the deaerator (5) according to the present invention, any method can be used to connect and fix the deaeration tube (1) to the vacuum chamber (6). In addition, a plurality of sets of degassing tubes (1) are provided in one vacuum chamber (6), and a liquid inlet (7), a liquid outlet (8), and a connection port (9) for a decompression device. May be provided in plurality.
【００１８】真空チャンバー（６）は、金属、プラスチ
ック、ガラス等適宜任意の素材から構成することができ
るが、耐久性や耐薬品性の点から、金属材料の場合はス
テンレス鋼を、プラスチック材料の場合はＰＴＦＥやＰ
ＦＡなどのフッ素樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチ
レン樹脂等を使用することが好ましい。The vacuum chamber (6) can be made of any suitable material such as metal, plastic, glass or the like. However, from the viewpoint of durability and chemical resistance, stainless steel is used for a metal material and stainless steel is used for a plastic material. In case of PTFE or P
It is preferable to use a fluorine resin such as FA, a polypropylene resin, a polyethylene resin, or the like.
【００１９】上記構成からなる脱気装置（５）によれ
ば、一つの装置内に、分離係数が１の脱気用チューブ
（２）からなる脱気部と、分離係数が１より大きい脱気
用チューブ（３）からなる脱気部とを有しているため、
従来の非多孔質チューブのみを使用した脱気装置に比べ
て処理効率に優れたものとなり、しかも高真空圧で脱気
しても液漏れが少ないため、従来の多孔質チューブのみ
を使用した脱気装置に比べて液中の溶存気体濃度を低く
することができる。According to the deaeration device (5) having the above configuration, a deaeration section composed of a deaeration tube (2) having a separation factor of 1 and a deaeration device having a separation factor of more than 1 are provided in one device. And a deaeration section consisting of a tubing (3)
Compared to the conventional deaerator using only non-porous tubes, the processing efficiency is superior, and there is little liquid leakage even if deaeration is performed under high vacuum pressure. The dissolved gas concentration in the liquid can be reduced as compared with the gas device.
【００２０】尚、脱気用チューブ（１）の真空チャンバ
ー（６）内への配設に際しては、図示の如く、分離係数
が１のチューブ（２）を入液口（７）側に配設すること
が好ましい。その理由は、目に見えるような気泡などが
存在する場合、先ずチューブ（２）の部分でこれを有効
に除去することができるからである。When the degassing tube (1) is disposed in the vacuum chamber (6), a tube (2) having a separation coefficient of 1 is disposed on the liquid inlet (7) side as shown in the figure. Is preferred. The reason is that if there are visible bubbles or the like, they can be effectively removed first in the tube (2).
【００２１】また、図５に示す如く真空チャンバー
（６）内を隔壁（１０）により複数の小部屋に分割し
て、分離係数が１の脱気用チューブ（２）を含む小部屋
（６１）の真空圧を他の小部屋（６２）の真空圧よりも
高くする構成とすると、チューブからの液漏れをより効
果的に防ぐことが可能となり、液中の溶存気体濃度をよ
り低くすることができ、処理効率を一層向上させること
ができるため好ましい。尚、真空チャンバー（６）内の
分割形態については、一方の小部屋に分離係数が１の脱
気用チューブ（２）の部分が含まれており、他方の小部
屋には分離係数が１より大きい脱気用チューブ（３）の
部分しか含まれていなければよく、例えば分離係数が１
の脱気用チューブ（２）の部分のみが配置された小部屋
と、分離係数が１より大きい脱気用チューブ（３）の部
分のみが配置された小部屋とに分割する構成としてもよ
い。また、分割位置や分割数についても特に限定され
ず、使用する脱気用チューブ（１）の形態に応じて適宜
設定することができる。As shown in FIG. 5, the inside of the vacuum chamber (6) is divided into a plurality of small chambers by a partition (10), and a small chamber (61) including a degassing tube (2) having a separation coefficient of 1 is provided. If the vacuum pressure is higher than the vacuum pressure of the other small chambers (62), it is possible to more effectively prevent the liquid from leaking from the tube, and to lower the dissolved gas concentration in the liquid. This is preferable because the processing efficiency can be further improved. With respect to the divided form in the vacuum chamber (6), one of the small chambers includes a deaeration tube (2) having a separation coefficient of 1, and the other has a separation coefficient of 1 or more. It is sufficient that only the large deaeration tube (3) is included, for example, the separation coefficient is 1
It may be configured to be divided into a small room in which only the portion of the deaeration tube (2) is arranged and a small room in which only the portion of the deaeration tube (3) having a separation coefficient larger than 1. Also, the division position and the number of divisions are not particularly limited, and can be appropriately set according to the form of the degassing tube (1) to be used.
【００２２】[0022]
【実施例】以下、本発明の実施例及び比較例を示すこと
により、本発明の効果をより明確にする。但し、本発明
は以下の実施例により何ら限定されない。 （実施例１）ＰＴＦＥ粉末（旭ＩＣＩフロロポリマーズ
製、商品名：フルオンＣＤ１２３）１００重量部に対し
ナフサ（液状潤滑剤）１６重量部を均一に混合し、この
混合物を押し出して内径１．１ｍｍ、肉厚０．１５ｍｍ
の未焼成チューブを得た。該チューブを１５０℃の温度
で２分間加熱してナフサを除去した後、３００℃で５分
間加熱乾燥し、さらに３８０℃で５分間加熱して焼成チ
ューブ（Ａ）を得た。得られたチューブ（Ａ）の内径は
１．０ｍｍ、肉厚は０．１５ｍｍ、比重は２．１６、分
離係数は１．５８であった。EXAMPLES Hereinafter, the effects of the present invention will be clarified by showing Examples and Comparative Examples of the present invention. However, the present invention is not limited at all by the following examples. Example 1 100 parts by weight of PTFE powder (manufactured by Asahi ICI Fluoropolymers, trade name: Fluon CD123) was uniformly mixed with 16 parts by weight of naphtha (liquid lubricant), and the mixture was extruded to obtain an inner diameter of 1.1 mm. 0.15mm thickness
Was obtained. After heating the tube at a temperature of 150 ° C. for 2 minutes to remove naphtha, the tube was dried by heating at 300 ° C. for 5 minutes, and further heated at 380 ° C. for 5 minutes to obtain a fired tube (A). The inner diameter of the obtained tube (A) was 1.0 mm, the wall thickness was 0.15 mm, the specific gravity was 2.16, and the separation factor was 1.58.
【００２３】次に、ＰＴＦＥ粉末（旭ＩＣＩフロロポリ
マーズ製、商品名：フルオンＣＤ１２３）１００重量部
に対しナフサ（液状潤滑剤）２０重量部を均一に混合
し、この混合物を押し出して内径２．１ｍｍ、肉厚０．
５ｍｍの未焼成チューブを得た。該チューブを１５０℃
の温度で２分間加熱してナフサを除去した後、２．２倍
に延伸して延伸チューブを得た。このチューブの両端を
固定し、３００℃で５分間加熱乾燥し、更に３８０℃で
５分間加熱して焼成チューブ（Ｂ）を得た。得られたチ
ューブ（Ｂ）の内径は１．９ｍｍ、肉厚は０．４５ｍ
ｍ、比重は１．４、分離係数は１．０であった。Next, 20 parts by weight of naphtha (liquid lubricant) was uniformly mixed with 100 parts by weight of PTFE powder (trade name: Fluon CD123, manufactured by Asahi ICI Fluoropolymers), and the mixture was extruded to an inner diameter of 2.1 mm. , Thickness 0.
A 5 mm unfired tube was obtained. 150 ° C
After heating at a temperature of 2 minutes to remove naphtha, the film was stretched 2.2 times to obtain a stretched tube. Both ends of this tube were fixed, heated and dried at 300 ° C. for 5 minutes, and further heated at 380 ° C. for 5 minutes to obtain a fired tube (B). The inner diameter of the obtained tube (B) is 1.9 mm, and the wall thickness is 0.45 m.
m, specific gravity was 1.4, and separation factor was 1.0.
【００２４】長さ３ｍのチューブ（Ａ）を１２０本結束
してチューブ束（Ａ１）を作製し、長さ５０ｃｍのチュ
ーブ（Ｂ）を３０本結束してチューブ束（Ｂ１）を作製
し、これらチューブ束（Ａ１）とチューブ束（Ｂ１）を
スウェジロック継手により接続したものを図４に示す如
く真空チャンバー（６）内に配設して脱気装置（Ａ）を
構成した。A tube bundle (A1) is made by bundling 120 tubes (A) having a length of 3 m, and a tube bundle (B1) is made by bundling 30 tubes (B) having a length of 50 cm. The tube bundle (A1) and the tube bundle (B1) connected by a swagelok joint were arranged in a vacuum chamber (6) as shown in FIG. 4 to constitute a deaerator (A).
【００２５】（実施例２）図５に示したような内部が２
つに分割されている真空チャンバー（６）を使用し、チ
ューブ束（Ｂ１）を小部屋（６１）内に、チューブ束
（Ａ１）を小部屋（６２）内にそれぞれ配置して脱気装
置（Ｂ）を構成した。(Embodiment 2) As shown in FIG.
Using a vacuum chamber (6) divided into two, the tube bundle (B1) is arranged in the small room (61), and the tube bundle (A1) is arranged in the small room (62), and the deaerator ( B) was constituted.
【００２６】（比較例１）長さ３．５ｍのチューブ
（Ａ）を１２０本結束してチューブ束（Ａ２）を作製
し、このチューブ束（Ａ２）を内部が分割されていない
真空チャンバー内に配設して脱気装置（Ｃ）を構成し
た。つまり、この脱気装置（Ｃ）は分離係数が１より大
きいチューブのみを使用した脱気装置である。Comparative Example 1 A bundle of tubes (A2) was prepared by bundling 120 tubes (A) each having a length of 3.5 m, and this tube bundle (A2) was placed in a vacuum chamber whose interior was not divided. It was arranged to constitute a deaerator (C). That is, this deaerator (C) is a deaerator using only a tube having a separation coefficient larger than 1.
【００２７】（比較例２）長さ３．５ｍのチューブ
（Ｂ）を４０本結束してチューブ束（Ｂ２）を作製し、
このチューブ束（Ｂ２）を内部が分割されていない真空
チャンバー内に配設して脱気装置（Ｄ）を構成した。つ
まり、この脱気装置（Ｄ）は分離係数が１のチューブの
みを使用した脱気装置である。(Comparative Example 2) Forty tubes (B) having a length of 3.5 m were bound to form a tube bundle (B2).
The tube bundle (B2) was disposed in a vacuum chamber whose interior was not divided, to constitute a deaerator (D). That is, this deaerator (D) is a deaerator using only a tube having a separation factor of 1.
【００２８】（液漏れ試験）脱気装置（Ａ）〜（Ｄ）を
使用して、テトラメチルアンモニウムオキサイドハライ
ドの２．４％水溶液の脱気処理を行った。脱気処理に際
しては、空気バブリングにより８．０ｍｇ／Ｌの溶存酸
素量の同水溶液を調整し、真空圧４０ｔｏｒｒ、処理量
１００ｃｃ／分で脱気処理を行い、処理液の溶存酸素量
を溶存酸素計で、処理液の濃度を中和滴定によりそれぞ
れ求めた。結果を表１に示す。(Liquid Leak Test) Using a deaerator (A) to (D), a 2.4% aqueous solution of tetramethylammonium oxide halide was deaerated. At the time of deaeration, the same aqueous solution having a dissolved oxygen amount of 8.0 mg / L was prepared by air bubbling, deaerated at a vacuum pressure of 40 torr, and a processing amount of 100 cc / min. In each case, the concentration of the processing solution was determined by neutralization titration. Table 1 shows the results.
【表１】 [Table 1]
【００２９】表１に示す如く、実施例の脱気装置を使用
した脱気処理によれば、比較例１の脱気装置を使用した
場合に比べて液中の溶存酸素量を２／３に減少させるこ
とが可能となった。また、比較例２の脱気装置を使用し
た場合には、溶存酸素量は確かに減少したものの、原液
に比べて５％以上の濃縮が起こっており、気泡のみを取
り除くという脱気処理の目的から逸脱しているといえ
る。これに対し、実施例の脱気装置では１％程度の濃縮
しか起こっておらず、高真空圧脱気処理による液漏れ防
止効果に優れていることが分かる。As shown in Table 1, according to the deaeration treatment using the deaerator of the embodiment, the amount of dissolved oxygen in the liquid was reduced to 2/3 as compared with the case of using the deaerator of Comparative Example 1. It became possible to reduce. When the deaerator of Comparative Example 2 was used, although the amount of dissolved oxygen was certainly reduced, the concentration was 5% or more as compared with the undiluted solution, and the purpose of the deaeration treatment was to remove only bubbles. It can be said that it deviates from. On the other hand, only about 1% of the concentration occurred in the degassing apparatus of the example, and it is understood that the high vacuum pressure degassing treatment is excellent in the liquid leakage prevention effect.
【００３０】次に、実施例２の脱気装置においてチュー
ブ束（Ｂ１）が配置された小部屋（６１）の真空圧を１
５０ｔｏｒｒに上げて脱気処理を行った。結果を実施例
２’として表１に合わせて示した。表１に示す如く、分
離係数が１のチューブ束（Ｂ１）が配置された小部屋内
の真空圧を他の小部屋よりも高くすることによって、溶
存酸素量をあまり増加させることなく濃縮を防ぐことが
可能となった。Next, in the deaerator of the second embodiment, the vacuum pressure in the small room (61) in which the tube bundle (B1) is disposed is reduced by 1
The pressure was increased to 50 torr to perform deaeration. The results are shown in Table 1 as Example 2 '. As shown in Table 1, by making the vacuum pressure in the small room in which the tube bundle (B1) having the separation factor of 1 is arranged higher than in the other small rooms, concentration is prevented without increasing the amount of dissolved oxygen much. It became possible.
【００３１】（高精度脱気試験）脱気装置（Ａ）〜
（Ｄ）を使用して水の脱気処理を行った。処理に際して
は、空気バブリングにより８．０ｍｇ／Ｌの溶存酸素量
の水を調整し、真空チャンバー内の真空圧は、チューブ
束（Ａ１）のみからなる部分は１０ｔｏｒｒ、チューブ
束（Ｂ１）を含む部分は１５０ｔｏｒｒとし（比較例１
では１０ｔｏｒｒ、比較例２では１５０ｔｏｒｒ、実施
例１では１５０ｔｏｒｒ、実施例２では小部屋（６１）
が１５０ｔｏｒｒ、小部屋（６２）が１０ｔｏｒｒ）、
処理量６０ｃｃ／分で脱気処理を行い、処理液の溶存酸
素量を溶存酸素計で測定した。結果を表２に示す。(High-precision degassing test) Degassing device (A)
Degassing of water was performed using (D). At the time of treatment, water having a dissolved oxygen amount of 8.0 mg / L is adjusted by air bubbling, and the vacuum pressure in the vacuum chamber is set to 10 torr for the portion consisting of the tube bundle (A1) alone and to the portion containing the tube bundle (B1). Is set to 150 torr (Comparative Example 1
10 torr, 150 torr in Comparative Example 2, 150 torr in Example 1, and small room (61) in Example 2.
150 torr, small room (62) is 10 torr),
Deaeration was performed at a processing rate of 60 cc / min, and the amount of dissolved oxygen in the processing solution was measured with a dissolved oxygen meter. Table 2 shows the results.
【表２】 [Table 2]
【００３２】表２に示す如く、脱気装置を実施例２の形
態、即ち真空チャンバー内を複数の小部屋に分割し、脱
気用チューブの分離係数が１の部分を含む小部屋の真空
圧を他の小部屋よりも高くすることによって、実施例１
及び比較例１、２に比べて高い脱気性能が得られること
が分かった。As shown in Table 2, the degassing apparatus is of the form of the second embodiment, that is, the inside of the vacuum chamber is divided into a plurality of small chambers, and the vacuum pressure of the small chamber including a part where the separation coefficient of the degassing tube is 1 is shown. Example 1 by making the height higher than the other small rooms
And it was found that higher degassing performance was obtained as compared with Comparative Examples 1 and 2.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、酸素及
び窒素の分離係数が、チューブの長さ方向における一部
分において１とされ、残りの部分において１より大きく
されてなることを特徴とする脱気用チューブ及びこのチ
ューブを用いた脱気装置であるから、以下に述べる効果
を奏する。すなわち、一つの装置内に、分離係数が１の
脱気用チューブからなる脱気部と、分離係数が１より大
きい脱気用チューブからなる脱気部とを有しているた
め、従来の非多孔質チューブのみを使用した脱気装置に
比べて処理効率に優れたものとなり、しかも高真空圧で
脱気しても液漏れが少ないため、従来の多孔質チューブ
のみを使用した脱気装置に比べて液中の溶存気体濃度を
低くすることができる。また、真空チャンバー内を複数
の小部屋に分割して、分離係数が１の脱気用チューブを
含む小部屋の真空圧を他の小部屋の真空圧よりも高くす
る構成とすると、チューブからの液漏れをより効果的に
防ぐことが可能となり、液中の溶存気体濃度をより低く
することができ、処理効率を一層向上させることができ
る。As described above, the present invention is characterized in that the separation coefficient of oxygen and nitrogen is set to 1 in a part of the tube in the longitudinal direction, and is set to be larger than 1 in the remaining part. The deaeration tube and the deaerator using the tube have the following effects. That is, since one device has a deaeration section composed of a deaeration tube having a separation coefficient of 1 and a deaeration section composed of a deaeration tube having a separation coefficient of greater than 1, Compared to a deaerator using only porous tubes, it has better processing efficiency, and there is less liquid leakage even when deaerated at high vacuum pressure. In comparison, the dissolved gas concentration in the liquid can be reduced. Further, when the inside of the vacuum chamber is divided into a plurality of small rooms, and the vacuum pressure of the small room including the degassing tube having a separation coefficient of 1 is set to be higher than the vacuum pressure of the other small rooms, Liquid leakage can be more effectively prevented, the concentration of dissolved gas in the liquid can be lowered, and the processing efficiency can be further improved.
【図１】本発明に係る脱気用チューブの好適な実施形態
を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing a preferred embodiment of a degassing tube according to the present invention.
【図２】本発明に係る脱気用チューブの他の実施形態を
示す概略図である。FIG. 2 is a schematic view showing another embodiment of the deaeration tube according to the present invention.
【図３】本発明に係る脱気用チューブの他の実施形態を
示す概略図である。FIG. 3 is a schematic view showing another embodiment of the deaeration tube according to the present invention.
【図４】本発明に係る脱気装置の好適な実施形態を示す
概略図である。FIG. 4 is a schematic view showing a preferred embodiment of a deaerator according to the present invention.
【図５】本発明に係る脱気装置の他の実施形態を示す概
略図である。FIG. 5 is a schematic view showing another embodiment of the deaerator according to the present invention.
【図６】従来の脱気装置の一例を示す図である。FIG. 6 is a view showing an example of a conventional deaerator.
１ 脱気用チューブ ２ 分離係数が１のチューブ ３ 分離係数が１より大きいチューブ ５ 脱気装置 ６ 真空チャンバー ６１ 分離係数が１の脱気用チューブを含む小部屋 ６２ 分離係数が１の脱気用チューブを含まない小
部屋DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Deaeration tube 2 Tube with a separation factor of 1 3 Tube with a separation factor of greater than 1 5 Deaerator 6 Vacuum chamber 61 Small room containing deaeration tube with a separation factor of 1 62 Deaeration with a separation factor of 1 Small room without tube
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 有吉 俊彦 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東 電工株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Toshihiko Ariyoshi 1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-shi, Osaka Nitto Denko Corporation
Claims (5)
数をＰＮ2 としたとき次式１（数１）で示される分離係
数が、チューブの長さ方向における一部分において１と
され、残りの部分において１より大きくされてなること
を特徴とする脱気用チューブ。 【数１】 1. When the permeability coefficient of oxygen is PO 2 and the permeability coefficient of nitrogen is PN 2 , the separation coefficient represented by the following equation (1) is 1 in a part of the tube in the longitudinal direction, and the remainder is 1 A degassing tube characterized in that it is made larger than 1 in the part. (Equation 1)
数本束ねられて形成された脱気エレメントが真空チャン
バー内に配設されてなることを特徴とする脱気装置。2. A degassing device comprising a degassing element formed by bundling one or more degassing tubes according to claim 1 in a vacuum chamber.
側に前記脱気用チューブの分離係数が１の部分が配設さ
れてなることを特徴とする請求項２記載の脱気装置。3. The liquid supply apparatus according to claim 2, further comprising a liquid inlet and a liquid outlet, wherein a portion having a separation coefficient of 1 for the degassing tube is disposed on the liquid inlet side. Degassing device.
分割されてなるとともに、脱気用チューブの分離係数が
１の部分を含む小部屋の真空圧が他の小部屋よりも高い
ことを特徴とする請求項２又は３記載の脱気装置。4. The vacuum chamber is divided into a plurality of small chambers, and the vacuum pressure of a small room including a portion where the separation coefficient of the degassing tube is 1 is higher than that of the other small rooms. The deaerator according to claim 2 or 3, wherein:
成されてなることを特徴とする請求項２乃至４記載の脱
気装置。5. The degassing device according to claim 2, wherein said degassing tube is formed of a fluororesin.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13124998A JP3967458B2 (en) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | Deaerator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13124998A JP3967458B2 (en) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | Deaerator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11300104A true JPH11300104A (en) | 1999-11-02 |
| JP3967458B2 JP3967458B2 (en) | 2007-08-29 |
Family
ID=15053501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13124998A Expired - Fee Related JP3967458B2 (en) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | Deaerator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3967458B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011036743A (en) * | 2009-08-06 | 2011-02-24 | Nomura Unison Co Ltd | Hollow fiber membrane for degassing |
-
1998
- 1998-04-24 JP JP13124998A patent/JP3967458B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011036743A (en) * | 2009-08-06 | 2011-02-24 | Nomura Unison Co Ltd | Hollow fiber membrane for degassing |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3967458B2 (en) | 2007-08-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7717405B2 (en) | Hollow fiber membrane contact apparatus and process | |
| US5154832A (en) | Spiral wound gas permeable membrane module and apparatus and method for using the same | |
| JP2578281B2 (en) | Composite membranes for accelerated transport processes | |
| JPH02273503A (en) | Degassing membrane and degassing process | |
| JPH11179167A (en) | Spiral type membrane module | |
| JP3685289B2 (en) | Liquid degassing module | |
| JP7367369B2 (en) | Humidifying hollow fiber membrane and humidifying hollow fiber membrane module using the same | |
| CN101046262A (en) | Resin pipe and pipe material | |
| US20150059576A1 (en) | Composite hollow fiber membrane and hollow fiber membrane module | |
| JP2725311B2 (en) | Hollow fiber membrane type gas-liquid contactor | |
| JPH11300104A (en) | Deaerating tube and deaerator using the same | |
| JP2003245525A (en) | Module | |
| EP1510326B1 (en) | Method for forming a tubular member made of fluororesin having low gas permeability | |
| JPH022802A (en) | Reverse-osmosis separation membrane treating device | |
| JPH0760082A (en) | Method and apparatus for adjusting specific resistance of ultrapure water | |
| JP3873434B2 (en) | Gas dissolution module and gas dissolution method using porous polytetrafluoroethylene membrane for gas dissolution | |
| JP4828673B2 (en) | Nonporous resin membrane manufacturing method and degassing device | |
| JPH1057946A (en) | Deaerator | |
| JP2000033245A (en) | Fluororesin composite membrane and its production | |
| JPH10202074A (en) | Asymmetric structural fluororesin tube, production thereof, deaerating method using the tube and device therefor | |
| JP3638426B2 (en) | Ceramic composite member for deaeration and deaeration method using the same | |
| WO2023120589A1 (en) | Hollow fiber membrane module and hollow fiber membrane for module | |
| JPH07178324A (en) | Heat-resistant deaeration hollow-fiber membrane and its sterilizing method | |
| JP3467450B2 (en) | Porous membrane for dissolving hardly soluble gas and method for producing the same | |
| WO2021117362A1 (en) | Gas separation method and gas separation device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041108 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070220 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070228 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070419 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070521 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070531 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130608 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160608 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |