JP2003245525A - Module - Google Patents
ModuleInfo
- Publication number
- JP2003245525A JP2003245525A JP2002048273A JP2002048273A JP2003245525A JP 2003245525 A JP2003245525 A JP 2003245525A JP 2002048273 A JP2002048273 A JP 2002048273A JP 2002048273 A JP2002048273 A JP 2002048273A JP 2003245525 A JP2003245525 A JP 2003245525A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- permeable membrane
- liquid
- module
- gas permeable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、オゾンガス等の分
子が大きく腐食性の高いガスにも用いることができ、高
い効率でガスを液体から脱気又は液体に溶解することが
できるモジュールに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a module which can be used for a gas having a large molecule such as ozone gas and a high corrosive property, and which can degas or dissolve a gas in a liquid with high efficiency.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、液体から気体を脱気するため
のモジュールや液体に気体を溶解するためのモジュール
として、中空糸状のガス透過膜を有するものが用いられ
ている。これらのモジールでは、ガスの分子はガス透過
膜を構成する樹脂の分子鎖間を透過し、液体から脱気又
は液体中に溶解される。したがって、ガス透過膜として
は、ガスの分子を効率よく透過することが重要である。2. Description of the Related Art Conventionally, a module having a hollow fiber-shaped gas permeable membrane has been used as a module for degassing a gas from a liquid or a module for dissolving a gas in a liquid. In these modules, gas molecules permeate between the molecular chains of the resin forming the gas permeable membrane, and are degassed from the liquid or dissolved in the liquid. Therefore, it is important for the gas permeable membrane to efficiently permeate gas molecules.
【０００３】しかしながら、従来から用いられてきたガ
ス透過膜では、分子の大きなガスに対しては充分な透過
性がなく、効率よく脱気又は溶解することができないと
いう問題があった。例えば、ポリテトラフルオロエチレ
ン樹脂からなる中空糸状ガス透過膜は、酸素程度の大き
さの分子は充分に透過するものの、オゾンのような分子
の大きなガスでは酸素の場合の１／４〜１／５程度の透
過性しか示さず、実用上用いることができなかった。However, the conventionally used gas permeable membranes have a problem that they are not sufficiently permeable to gases having large molecules and cannot be efficiently degassed or dissolved. For example, a hollow-fiber-shaped gas permeable membrane made of polytetrafluoroethylene resin can sufficiently permeate molecules having a size of oxygen, but a gas having a large molecule such as ozone is ¼ to ⅕ that of oxygen. It showed only a certain degree of transparency and could not be used in practice.
【０００４】ガス透過性を向上させる方法としては、中
空糸状ガス透過膜の膜厚を肉薄化する方法が考えられる
が、従来から用いられてきたポリテトラフルオロエチレ
ン樹脂等からなるガス透過膜では、肉薄化すると繊維化
が起こって多孔質となってしまうため、肉薄化にも限界
があった。As a method of improving the gas permeability, a method of thinning the film thickness of the hollow fiber-shaped gas permeable membrane can be considered, but in the case of the gas permeable membrane made of polytetrafluoroethylene resin or the like which has been conventionally used, When the wall is thinned, it becomes fibrous and becomes porous, so there is a limit to the wall thinning.
【０００５】一方、非フッ素系のガス透過性材料である
天然ゴム、ブタジエンゴム等の各種ゴム系材料では、オ
ゾンガスのような腐食性のガスに対する耐久性に乏し
く、実用上用いることができないという問題もあった。On the other hand, various rubber-based materials such as non-fluorine-based gas permeable materials such as natural rubber and butadiene rubber have poor durability against corrosive gases such as ozone gas and cannot be used in practice. There was also.
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記現状に
鑑み、オゾンガス等の分子が大きく腐食性の高いガスに
も用いることができ、高い効率でガスを液体から脱気又
は液体に溶解することができるモジュールを提供するこ
とを目的とする。In view of the above situation, the present invention can be used for a gas having a large molecule such as ozone gas and a high corrosiveness, and degass or dissolves a gas in a liquid with high efficiency. The purpose is to provide a module that can.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、外套内に非多
孔性中空糸からなるガス透過膜が収納されたモジュール
であって、前記ガス透過膜は、熱可塑性を有する４フッ
化エチレン共重合体からなるモジュールである。以下に
本発明を詳述する。The present invention is a module in which a gas permeable membrane made of a non-porous hollow fiber is housed in an outer cover, wherein the gas permeable membrane is a tetrafluoroethylene copolymer having thermoplasticity. It is a module made of a polymer. The present invention is described in detail below.
【０００７】本発明のモジュールは、外套内に非多孔性
中空糸からなるガス透過膜が収容されたものである。上
記外套としては、気密性を備えたものであれば特に限定
されず、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポ
リエチレン等からなるものが挙げられる。オゾンガス等
の腐食性の高いガスに用いる場合には、ポリテトラフル
オロエチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキ
シ樹脂（ＰＦＡ）、フッ化エチレンプロピレン樹脂（Ｆ
ＥＰ）等の４フッ化エチレン共重合体からなるものが好
ましい。上記外套の形状としては特に限定されず、例え
ば、円柱状；三角柱、四角柱等の多角柱状；楕円体状等
が挙げられる。The module of the present invention has a gas permeable membrane made of a non-porous hollow fiber housed in an outer jacket. The jacket is not particularly limited as long as it has airtightness, and examples thereof include those made of polyvinyl chloride, polypropylene, polyethylene and the like. When used for highly corrosive gases such as ozone gas, polytetrafluoroethylene resin (PTFE), perfluoroalkoxy resin (PFA), fluorinated ethylene propylene resin (F
Those composed of a tetrafluoroethylene copolymer such as EP) are preferable. The shape of the mantle is not particularly limited, and examples thereof include a cylindrical shape; a polygonal pillar shape such as a triangular prism and a quadrangular prism; and an ellipsoidal shape.
【０００８】上記ガス透過膜は、熱可塑性を有する４フ
ッ化エチレン共重合体からなる。上記４フッ化エチレン
共重合体としては、例えば、下記一般式（１）で表され
るもの等が挙げられ、具体的には、例えば、ポリテトラ
フルオロエチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアル
コキシ樹脂（ＰＦＡ）、フッ化エチレンプロピレン樹脂
（ＦＥＰ）等が挙げられる。The gas permeable membrane is made of a tetrafluoroethylene copolymer having thermoplasticity. Examples of the tetrafluoroethylene copolymer include those represented by the following general formula (1). Specifically, for example, polytetrafluoroethylene resin (PTFE), perfluoroalkoxy resin ( PFA), fluorinated ethylene propylene resin (FEP) and the like.
【０００９】[0009]
【化１】 [Chemical 1]
【００１０】式中、Ａはパーフルオロアルコキシ、パー
フルオロアルキル又はパーフルオロジオキソールを表
す。また、式中、ｍ、ｎは特に限定されない数字を表す
が、ｍに対するｎの比率は、これらの４フッ化エチレン
共重合体が熱可塑性を有する程度の比率であることが必
要である。In the formula, A represents perfluoroalkoxy, perfluoroalkyl or perfluorodioxole. Further, in the formula, m and n represent numbers which are not particularly limited, but the ratio of n to m needs to be such a ratio that these tetrafluoroethylene copolymers have thermoplasticity.
【００１１】上記４フッ化エチレン共重合体は、従来か
ら用いられているポリテトラフルオロエチレン樹脂とは
異なり熱可塑性を有するため加工性に優れており、ガス
透過膜の肉薄化によりガス透過性の向上を図ることがで
きる。したがって、上記ガス透過膜は、上記熱可塑性を
有する４フッ化エチレン共重合体からなることによりオ
ゾンガス等の分子の大きなガスをも充分に透過すること
ができる。また、上記ガス透過膜は、耐腐食性に非常に
優れることから、オゾン等の腐食性の高いガスであって
も使用することができる。Unlike the polytetrafluoroethylene resin which has been conventionally used, the above-mentioned tetrafluoroethylene copolymer has excellent workability because it has thermoplasticity, and the gas permeable membrane has a reduced gas permeability. It is possible to improve. Therefore, the gas permeable film, which is made of the tetrafluoroethylene copolymer having thermoplasticity, can sufficiently permeate a gas having a large molecule such as ozone gas. Further, since the gas permeable film has very excellent corrosion resistance, it can be used even for highly corrosive gases such as ozone.
【００１２】上記ガス透過膜としては非多孔性のものを
用いる。多孔性のガス透過膜では、例えばガスを液体に
溶解させる場合には、まず、ガス透過膜の孔内にしみこ
んだ液体にガスが溶解し、次いで、濃度勾配に従いガス
の分子が液体中に拡散するので、異物が混入した液体を
流通させると孔が異物で詰まりガスを液体に溶解させる
ことができなくなる。これに対して、ガス透過膜として
孔のない非多孔性のものを用いると、ガス透過膜が目詰
まりすることがない。また、多孔性のガス透過膜では、
孔内にしみこんだ液体を介してガスが液体に溶解するの
で、孔内に液体をしみこませるためにガス圧を液圧より
低くなるように厳密に調整することが必要であるので、
液体中に溶解するガス濃度を高くすることができない。
これに対して、ガス透過膜として非多孔性のものを用い
ると、ガス圧を液圧より低くする必要はなく、ガス圧を
高圧にして高濃度にガスを液体に溶解させることができ
る。更に、多孔性のガス透過膜では、孔を通して液体中
に泡が混入する危険性があるが、孔のない非多孔性のガ
ス透過膜を用いると、泡が混入する恐れがない。A non-porous film is used as the gas permeable film. In a porous gas permeable membrane, for example, when the gas is dissolved in a liquid, the gas is first dissolved in the liquid that has penetrated into the pores of the gas permeable membrane, and then the gas molecules diffuse into the liquid according to the concentration gradient. Therefore, when the liquid containing the foreign matter is circulated, the holes are clogged with the foreign matter and the gas cannot be dissolved in the liquid. On the other hand, when a non-porous gas-permeable film is used as the gas-permeable film, the gas-permeable film will not be clogged. Moreover, in the porous gas permeable membrane,
Since the gas dissolves in the liquid through the liquid that has penetrated into the holes, it is necessary to strictly adjust the gas pressure to be lower than the liquid pressure in order to infiltrate the liquid into the holes.
The concentration of the gas dissolved in the liquid cannot be increased.
On the other hand, when a non-porous gas permeable film is used, the gas pressure does not need to be lower than the liquid pressure, and the gas pressure can be increased to dissolve the gas in the liquid at a high concentration. Furthermore, in the case of a porous gas permeable membrane, there is a risk that bubbles will be mixed into the liquid through the pores, but when a non-porous gas permeable membrane having no pores is used, bubbles will not be mixed.
【００１３】上記ガス透過膜は、中空糸（チューブ状）
に成形して用いる。中空糸とすることにより、平膜とし
て用いるよりも効率的にガスを液体から脱気又は液体に
溶解することができる。上記中空糸は複数本束ねた後両
端をそれぞれ熱融着するか接着する２次加工を行った
後、モジュールの外套内に収容する。The gas permeable membrane is a hollow fiber (tubular)
It is used after molding. By using a hollow fiber, the gas can be degassed from the liquid or dissolved in the liquid more efficiently than when used as a flat membrane. After bundling a plurality of the hollow fibers, the both ends are subjected to a secondary process of heat-sealing or adhering, and then housed in the outer jacket of the module.
【００１４】上記非多孔性中空糸からなるガス透過膜の
内径の好ましい下限は０．１ｍｍ、上限は１ｍｍであ
る。０．１ｍｍ未満であると、非多孔性中空糸からなる
ガス透過膜の内側に液体を流した場合に、液体の粘性抵
抗により流れにくくなることがあり、１ｍｍを超える
と、中空糸を肉薄化した場合、２次加工の際に折れてし
まうことがある。より好ましい下限は０．３ｍｍであ
る。A preferred lower limit of the inner diameter of the gas permeable membrane made of the non-porous hollow fiber is 0.1 mm, and an upper limit thereof is 1 mm. If it is less than 0.1 mm, it may be difficult for the liquid to flow due to the viscous resistance of the liquid when the liquid is made to flow inside the gas permeable membrane made of non-porous hollow fiber. If it exceeds 1 mm, the hollow fiber is thinned. In that case, it may break during the secondary processing. A more preferable lower limit is 0.3 mm.
【００１５】上記非多孔性中空糸からなるガス透過膜の
肉厚の好ましい下限は１０μｍ、上限は１００μｍであ
る。ガス透過性を考慮すると肉厚は薄い方が好ましい
が、中空糸を束ねる2次加工の際に折れやすくなってし
まう等、取り扱い面からこの範囲内であることが好まし
い。The preferable lower limit of the wall thickness of the gas permeable membrane made of the non-porous hollow fiber is 10 μm, and the upper limit thereof is 100 μm. In consideration of gas permeability, it is preferable that the wall thickness is thin, but it is preferable that the wall thickness is within this range from the viewpoint of handling such that the hollow fibers are easily broken during secondary processing.
【００１６】従来から用いられているポリテトラフルオ
ロエチレン樹脂等からなるガス透過膜では、加工性に乏
しく、特に肉薄化すると繊維化が起こる等の問題があっ
た。本発明のモジュールでは、上記ガス透過膜が上記熱
可塑性を有する４フッ化エチレン共重合体からなること
により、加工が容易で、より肉薄化を図ることができ
る。Conventionally used gas-permeable membranes made of polytetrafluoroethylene resin or the like have poor workability, and particularly, when thinned, they have a problem that they become fibrous. In the module of the present invention, since the gas permeable membrane is made of the tetrafluoroethylene copolymer having thermoplasticity, it is easy to process and can be made thinner.
【００１７】本発明のモジュールは、液体から気体を脱
気又は気体を液体に溶解するために用いられるものであ
る。本発明のモジュールを液体から気体を脱気するため
に使用する場合は、上記中空糸状ガス透過膜又は外套の
いずれの内部に気体又は液体を流通させてもよいが、上
記中空糸状ガス透過膜の内部に液体を流通させ、外套内
部を真空ポンプで減圧することにより、液体から気体を
脱気することが好ましい。一方、本発明のモジュールを
液体に気体を溶解するために使用する場合は、上記中空
糸状ガス透過膜又は外套のいずれの内部に気体又は液体
を流通させてもよいが、中空糸状ガス透過膜の内部に気
体を流通させ、液体は外套の内部を中空糸状ガス透過膜
と接触しながら流通させることが好ましい。上記中空糸
状ガス透過膜の内部に液体を流通させると、液体に異物
が混入していた場合は中空糸状ガス透過膜の内部が詰ま
るおそれがある。The module of the present invention is used for degassing a gas from a liquid or dissolving a gas in a liquid. When the module of the present invention is used for degassing a gas from a liquid, the gas or the liquid may be circulated in any of the hollow fiber-shaped gas permeable membrane or the jacket, but the hollow fiber-shaped gas permeable membrane It is preferable to degas the liquid by circulating the liquid inside and depressurizing the inside of the jacket with a vacuum pump. On the other hand, when the module of the present invention is used to dissolve a gas in a liquid, the gas or the liquid may be circulated in any of the hollow fiber-shaped gas permeable membrane or the jacket, but the hollow fiber-shaped gas permeable membrane It is preferable that a gas be circulated inside and the liquid be circulated while contacting the hollow fiber gas permeable membrane inside the outer jacket. When a liquid is circulated inside the hollow fiber gas permeable membrane, the inside of the hollow fiber gas permeable membrane may be clogged when foreign matter is mixed in the liquid.
【００１８】本発明のモジュールは、上記ガス透過膜が
上記熱可塑性を有する４フッ化エチレン共重合体からな
ることにより、中空糸の肉薄化が図れ高いガス透過性が
実現できることに加え、腐食性ガスに対する高い耐久性
をも実現できる。本発明のモジュールは、オゾン等の分
子が大きく、腐食性の強いガスを液体から脱気又は液体
に溶解するのに好適に用いることができる。特に、本発
明のモジュールを用いれば、高い濃度のオゾン水を容易
に得ることができ、得られた高濃度のオゾン水は、基板
の洗浄、レジストの剥離、プール等の非処理水の浄化、
ダイオキシン類等の難分解性化合物の分解等の様々な用
途へ用いることができる。In the module of the present invention, since the gas permeable membrane is made of the thermoplastic tetrafluoroethylene copolymer, the hollow fiber can be thinned and high gas permeability can be realized. High durability against gas can also be realized. INDUSTRIAL APPLICABILITY The module of the present invention can be suitably used for degassing or dissolving a gas having a large molecule such as ozone and having a strong corrosive property from a liquid. In particular, if the module of the present invention is used, a high concentration of ozone water can be easily obtained, and the obtained high concentration of ozone water is used for cleaning the substrate, stripping the resist, purifying untreated water such as pool,
It can be used for various purposes such as decomposition of hardly decomposable compounds such as dioxins.
【００１９】[0019]
【実施例】以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説
明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるもの
ではない。The present invention will be described in more detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
【００２０】（実施例１）図１に示すオゾン水生成装置
を作製した。当該装置においては、内径１５ｃｍ×長さ
２０ｃｍの円柱形を有する外套内にパーフルオロアルコ
キシ樹脂からなる内径０．３ｍｍ×厚さ０．０３ｍｍ×
長さ２５０ｃｍの中空糸４００本が収容されたモジュー
ル３に、オゾンガス検出器２（理工化学社製：ＯＺＲ−
３０００）を介してオゾンガス発生器１（三菱電機社
製：オゾンジェネレーションユニットＯＰ−３５Ｎ−
Ｓ）を接続し、オゾンガス発生器６に、酸素流量２Ｌ／
分、窒素流量４０ｍＬ／分で原料ガスを送り込みオゾン
ガスを発生させ、発生したオゾンガスをオゾンガス圧
０．２５ＭＰａに加圧してモジュール３に供給し、オゾ
ン水を生成し、生成したオゾン水を循環槽５を介してポ
ンプ６（タクミナ社製：ＣＳ−５２−ＦＴＣ−ＨＷ）に
より装置内に循環させた。生成したオゾン水の溶存オゾ
ンガス濃度はオゾン水検出器４（理工化学社製：ＯＺＲ
−３０００）で測定した。装置内の水圧は０．２５ＭＰ
ａとし、ガス圧は０．２５ＭＰａとし、オゾン水の流量
は５００ｍＬ／分とした。水温は２１℃であった。Example 1 An ozone water generator shown in FIG. 1 was produced. In the apparatus, an inner diameter of 15 mm × a length of 20 cm and a columnar outer casing made of a perfluoroalkoxy resin having an inner diameter of 0.3 mm × thickness of 0.03 mm ×
An ozone gas detector 2 (manufactured by Riko Kagaku Co., Ltd .: OZR-) was placed in a module 3 containing 400 hollow fibers having a length of 250 cm.
3000) and an ozone gas generator 1 (manufactured by Mitsubishi Electric Corporation: ozone generation unit OP-35N-
S) is connected to the ozone gas generator 6, and the oxygen flow rate is 2 L /
Minute, a raw material gas is sent at a nitrogen flow rate of 40 mL / min to generate ozone gas, the generated ozone gas is pressurized to an ozone gas pressure of 0.25 MPa and supplied to the module 3, ozone water is generated, and the generated ozone water is circulated in the circulation tank 5 A pump 6 (manufactured by Takumina Co., Ltd .: CS-52-FTC-HW) was circulated in the apparatus through the. The dissolved ozone gas concentration of the generated ozone water is the ozone water detector 4 (manufactured by Riko Kagaku: OZR).
-3000). Water pressure inside the device is 0.25MP
a, the gas pressure was 0.25 MPa, and the flow rate of ozone water was 500 mL / min. The water temperature was 21 ° C.
【００２１】（実施例２）モジュール３に収容するガス
透過膜を、パーフルオロアルコキシ樹脂からなる内径
０．５ｍｍ×厚さ０．０４ｍｍ×長さ２５０ｃｍの中空
糸４００本とした以外は実施例１と同様にして、オゾン
水を生成した。Example 2 Example 1 was repeated except that the gas permeable membrane housed in the module 3 was 400 hollow fibers made of perfluoroalkoxy resin and having an inner diameter of 0.5 mm × a thickness of 0.04 mm × a length of 250 cm. Ozone water was produced in the same manner as in.
【００２２】（実施例３）モジュール３に収容するガス
透過膜を、パーフルオロアルコキシ樹脂からなる内径１
ｍｍ×厚さ０．０４ｍｍ×長さ２５０ｃｍの中空糸４０
０本とした以外は実施例１と同様にして、オゾン水を生
成した。なお、このガス透過膜を２次加工して外套内に
収容する際に中空糸を曲げると折れてしまうことがあっ
た。(Embodiment 3) The gas permeable membrane to be housed in the module 3 has an inner diameter of 1 made of perfluoroalkoxy resin.
mm × thickness 0.04 mm × length 250 cm hollow fiber 40
Ozone water was produced in the same manner as in Example 1 except that the number was zero. When the hollow fiber was bent when the gas permeable membrane was secondarily processed and housed in the outer jacket, the hollow fiber was sometimes broken.
【００２３】（評価）装置稼働後２０分におけるオゾン
水の溶存オゾンガス濃度をそれぞれ測定し、その結果を
表１に示した。(Evaluation) The dissolved ozone gas concentration of ozone water 20 minutes after the operation of the apparatus was measured, and the results are shown in Table 1.
【００２４】[0024]
【表１】 [Table 1]
【００２５】[0025]
【発明の効果】本発明によれば、オゾンガス等の分子が
大きく腐食性の高いガスにも用いることができ、高い効
率でガスを液体から脱気又は液体に溶解することができ
るモジュールを提供できる。According to the present invention, it is possible to provide a module which can be used for a gas having a large molecule such as ozone gas and a high corrosive property, and which can degas or dissolve a gas in a liquid with high efficiency. .
【図１】 実施例で用いたオゾン水生成装置を示す模式
図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an ozone water generator used in Examples.
１ オゾンガス発生器 ２ オゾンガス検出器 ３ モジュール ４ オゾン水検出器 ５ 循環槽 ６ ポンプ 1 Ozone gas generator 2 Ozone gas detector 3 modules 4 Ozone water detector 5 circulation tanks 6 pumps
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｆ 1/00 Ｂ０１Ｆ 1/00 Ａ 5/06 5/06 Ｃ０２Ｆ 1/20 Ｃ０２Ｆ 1/20 Ａ 1/78 1/78 Ｆターム(参考） 4D006 GA32 GA35 GA41 HA02 HA18 JA25C JB04 JB07 MA01 MA30 MA31 MA33 MC28 MC28X MC30 PB12 PB70 4D011 AA17 4D037 AA01 AB11 BA23 BB07 CA03 4D050 AA01 BB02 BC10 4G035 AA01 AC26 AE17 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) B01F 1/00 B01F 1/00 A 5/06 5/06 C02F 1/20 C02F 1/20 A 1/78 1/78 F term (reference) 4D006 GA32 GA35 GA41 HA02 HA18 JA25C JB04 JB07 MA01 MA30 MA31 MA33 MC28 MC28X MC30 PB12 PB70 4D011 AA17 4D037 AA01 AB11 BA23 BB07 CA03 4D050 AA01 BB02 BC10 4G035 AA01 AC26 AC26
Claims (4)
過膜が収納されたモジュールであって、前記ガス透過膜
は、熱可塑性を有する４フッ化エチレン共重合体からな
ることを特徴とするモジュール。1. A module in which a gas permeable membrane made of a non-porous hollow fiber is housed in an outer jacket, wherein the gas permeable membrane is made of a thermoplastic tetrafluoroethylene copolymer. Module to do.
径が０．１〜１ｍｍであることを特徴とする請求項１記
載のモジュール。2. The module according to claim 1, wherein the gas permeable membrane made of a non-porous hollow fiber has an inner diameter of 0.1 to 1 mm.
厚が１０〜１００μｍであることを特徴とする請求項１
又は２記載のモジュール。3. The gas permeable membrane comprising a non-porous hollow fiber has a wall thickness of 10 to 100 μm.
Or the module described in 2.
解するのに用いるものであることを特徴とする請求項
１、２又は３記載のモジュール。4. The module according to claim 1, wherein the module is used for degassing or dissolving ozone gas in a liquid.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002048273A JP2003245525A (en) | 2002-02-25 | 2002-02-25 | Module |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002048273A JP2003245525A (en) | 2002-02-25 | 2002-02-25 | Module |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003245525A true JP2003245525A (en) | 2003-09-02 |
Family
ID=28661116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002048273A Withdrawn JP2003245525A (en) | 2002-02-25 | 2002-02-25 | Module |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003245525A (en) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7377112B2 (en) | 2005-06-22 | 2008-05-27 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation for improved combustion performance |
| US7393388B2 (en) | 2005-05-13 | 2008-07-01 | United Technologies Corporation | Spiral wound fuel stabilization unit for fuel de-oxygenation |
| US7435283B2 (en) | 2005-05-18 | 2008-10-14 | United Technologies Corporation | Modular fuel stabilization system |
| US7465336B2 (en) | 2005-06-09 | 2008-12-16 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with non-planar plate members |
| US7569099B2 (en) | 2006-01-18 | 2009-08-04 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with non-metallic fuel plate assembly |
| US7582137B2 (en) | 2006-01-18 | 2009-09-01 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenator with non-planar fuel channel and oxygen permeable membrane |
| US7615104B2 (en) | 2005-11-03 | 2009-11-10 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with multi-layer oxygen permeable membrane |
| US7824470B2 (en) | 2006-01-18 | 2010-11-02 | United Technologies Corporation | Method for enhancing mass transport in fuel deoxygenation systems |
| JP2017537783A (en) * | 2014-12-08 | 2017-12-21 | テヒーニィシエ ウニヴェルジテート ベルリン | Fluid distribution device for gas-liquid contact device, gas-liquid contact device, and method of adding gas to liquid |
| JP2021120151A (en) * | 2020-01-31 | 2021-08-19 | 株式会社荏原製作所 | Ozone water producing apparatus and ozone water producing method |
-
2002
- 2002-02-25 JP JP2002048273A patent/JP2003245525A/en not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7393388B2 (en) | 2005-05-13 | 2008-07-01 | United Technologies Corporation | Spiral wound fuel stabilization unit for fuel de-oxygenation |
| US7435283B2 (en) | 2005-05-18 | 2008-10-14 | United Technologies Corporation | Modular fuel stabilization system |
| US7465336B2 (en) | 2005-06-09 | 2008-12-16 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with non-planar plate members |
| US7377112B2 (en) | 2005-06-22 | 2008-05-27 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation for improved combustion performance |
| US7615104B2 (en) | 2005-11-03 | 2009-11-10 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with multi-layer oxygen permeable membrane |
| US7569099B2 (en) | 2006-01-18 | 2009-08-04 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with non-metallic fuel plate assembly |
| US7582137B2 (en) | 2006-01-18 | 2009-09-01 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenator with non-planar fuel channel and oxygen permeable membrane |
| US7824470B2 (en) | 2006-01-18 | 2010-11-02 | United Technologies Corporation | Method for enhancing mass transport in fuel deoxygenation systems |
| JP2017537783A (en) * | 2014-12-08 | 2017-12-21 | テヒーニィシエ ウニヴェルジテート ベルリン | Fluid distribution device for gas-liquid contact device, gas-liquid contact device, and method of adding gas to liquid |
| US10486113B2 (en) | 2014-12-08 | 2019-11-26 | Technische Universität Berlin | Fluid distribution device for a gas-liquid contactor, gas-liquid contactor and method for adding a gas to a liquid |
| JP2021120151A (en) * | 2020-01-31 | 2021-08-19 | 株式会社荏原製作所 | Ozone water producing apparatus and ozone water producing method |
| JP7502037B2 (en) | 2020-01-31 | 2024-06-18 | 株式会社荏原製作所 | Ozone water production device and method for producing ozone water |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4498748B2 (en) | Hollow fiber membrane contactor and process | |
| US5254143A (en) | Diaphragm for gas-liquid contact, gas-liquid contact apparatus and process for producing liquid containing gas dissolved therein | |
| JP3431166B2 (en) | Hollow membrane module | |
| TWI394653B (en) | Atmospheric pressure microwave plasma treated porous membranes | |
| JP2003245525A (en) | Module | |
| JP2000509329A (en) | Gasification and degasification of liquids | |
| TW200906477A (en) | Flat film element for filtration and flat film filtrating modules | |
| JP2008521598A (en) | Membrane post-treatment | |
| WO2006051807A1 (en) | Hydrophilizing agent for hydrophobic porous film and methods of hydrophilizing and inspecting hydrophobic porous film with the same | |
| CN106457165B (en) | Composite semipermeable membrane | |
| WO2001051187A1 (en) | Ozone treating apparatus | |
| WO2019066061A1 (en) | Porous hollow fiber membrane and method for producing same | |
| EP0470377B1 (en) | Diaphragm for gas-liquid contact, gas-liquid contact apparatus and process for producing liquid containing gas dissolved therein | |
| JP2005034694A (en) | Membrane cleaning method, and filter | |
| KR101859135B1 (en) | Apparatus for manufacturing ultra pure water | |
| JP2003200024A (en) | Module | |
| JP2002370006A (en) | Liquid treatment apparatus and treatment method using the same | |
| JP2877923B2 (en) | Removal method of dissolved gas in liquid | |
| JP3575824B2 (en) | Ozone resistant membrane module for water treatment | |
| JP2001330969A (en) | Apparatus for removing photoresist | |
| JP2004244501A (en) | Method for producing graft membrane | |
| JPH1057946A (en) | Deaerator | |
| JP3967458B2 (en) | Deaerator | |
| JP2002028462A (en) | Ozone treating device | |
| JP2006087989A (en) | Gas-liquid separation/mixing apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041221 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20061027 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071024 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20071122 |