JPH11298265A - 高利得増幅器 - Google Patents

高利得増幅器

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JPH11298265A
JPH11298265A JP11058883A JP5888399A JPH11298265A JP H11298265 A JPH11298265 A JP H11298265A JP 11058883 A JP11058883 A JP 11058883A JP 5888399 A JP5888399 A JP 5888399A JP H11298265 A JPH11298265 A JP H11298265A
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ジヤン−クリストフ・ギラール
Michel Soulard
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    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3011Impedance

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高周波帯域内で使用可能な高利得増幅器を提
供すること。 【解決手段】 複数の増幅回路を相互接続し、それらの
増幅回路を含むハウジングをフタ(31)で覆い、ハウ
ジング内の、フタと増幅回路との間にあるスペース(3
3)内に、使用周波数帯の周波数において存在しうるモ
ードのいずれのモードも伝搬させないようなカットオフ
周波数をもつ導波路(41〜43)を設ける。前記スペ
ース内に吸収材を充填する代わりに、このスペース内に
これらの導波路を形成することによって、妨害再注入を
回避するために出力部と入力部とのはるかに良い電波絶
縁が得られる。従って、これまで一ハウジング当たり4
5dBという限界を超えることができなかったが、同じ
ハウジング内で最高90dBの増幅を達成することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロ波の範囲
内で使用可能な高利得増幅器に関する。本発明は特に、
レーダの分野、電波ビームの分野、衛星による送信、テ
レビジョンの多方面分配システム(LMDS)で利用可
能である。本発明が関係する周波数範囲は、より具体的
には1GHz〜100GHzの周波数範囲である。ただ
し、これらの分野以外およびこの範囲以外での利用も考
えられる。本発明は、電波の伝搬を考える場合にはいつ
でも適用可能である。
【0002】本発明の目的は、高利得かつ低コストの増
幅器を提案することである。「高利得」とは40dB以
上、最高100dBの増幅をいう。
【0003】
【従来の技術】これらの増幅機能を実行するのに用いら
れる回路は、モノリシックマイクロ波集積回路(MMI
C)と呼ばれる回路に基づいた構成要素を含んでいる。
このようなMMIC構成要素は、伝送線によって互いに
接続された集積回路を含んでいる。このようなMMIC
構成要素内の伝送線のアーキテクチャ、長さおよび配置
は、本質的に非振動性のマイクロ波増幅回路を構成する
ようなものである。実際には、マイクロ波増幅アセンブ
リは、MMIC構成要素を受容するための凹所が形成さ
れた(たとえばセラミック製、ポリテトラフルオロエチ
レンガラス製、またはエポキシ樹脂製の)絶縁プレート
を含んでいる。この絶縁プレートは、構成要素を相互接
続するための導電トラックを備えている。各MMIC構
成要素は、増幅すべき信号が注入される入力部と、増幅
された信号が取り出される出力部とを備えている。ま
た、MMIC構成要素は、平行六面体の形をしている場
合が多く、入力部はMMIC構成要素の片側に位置して
おり、出力部は入力側と反対側に位置している。
【0004】当然ながら、増幅された信号は構成要素の
出力部の近傍にあるスペースへ放射される。残念なが
ら、この放射はそのとき入力部まで伝搬する。その結
果、出力部で発生した信号が入力部に再注入されるとい
う現象が生じる。この現象は無線伝送現象である。
【0005】このような現象の妨害効果を制限するため
に、MMIC構成要素は金属カバーと周囲吸収材とを備
える。従って、MMIC構成要素の集積回路とカバーと
の間に吸収材が配置される。さらに、カバーを備えたM
MIC構成要素自体は、MMIC構成要素の入力部に対
向する入力部と、MMIC構成要素の出力部に対向する
出力部とを有するハウジング内に配置される。また、こ
のハウジングのフタとカバーとの間のスペースも、増幅
された波の再帰伝搬を防ぐために吸収材が充填される。
ハウジングは、遮蔽接続ケーブルによって他の回路に接
続される。
【0006】吸収材によってもたらされる欠点は、これ
らの吸収材がそれらの機能を十分に発揮しないことであ
る。従って、吸収材の選択およびそれらの配置に注意し
ても、ハウジング内に配置されたこのような増幅回路で
達成可能な増幅限界は約40dBである。このような限
界を超えると、周波数帯のいくつかのスペクトル成分に
対して、MMIC構成要素は振動を始め(利得は非常に
大きくなる)、再注入により著しい減衰が起こる。つま
り、使用周波数帯内で、実際に達成される利得は予測不
可能に変動し、増幅器に割り当てられた増幅値をはるか
に上回ったり、下回ったりする。従って、このような増
幅器は使用不可能である。つまり、このような増幅器で
は増幅された信号のひずみが非常に大きくなる。
【0007】この問題を解消するために、たとえば90
dBの増幅を達成するために、それぞれ増幅回路を含む
複数のハウジング、たとえば三つのハウジングを縦続接
続するようになされる。当然ながら、このようにすると
コストがほぼ三倍になる。
【0008】さらに、吸収材にはガスを放出するという
欠点がある。吸収材は、昇華により粒子を放出する。こ
れらの粒子は、特に集積回路内で使用されるガリウムヒ
素(GaAs)トランジスタの導電チャネル中に入り込
む。このガス放出はこれらのトランジスタの劣化をもた
らす。さらに、カバーとフタとの間で、吸収材の減衰能
は実際にはせいぜい50dBに制限される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、妨害再注入
現象を生じることなしに、高い利得、たとえば一般に6
0dB、さらには80dBまたは90dBの高い利得を
もつ増幅器の設計を可能にする解決法を提案することに
よって上記の問題を解消することを目的とする。このよ
うな条件の下では、同じハウジング内で高利得増幅器を
構成することが可能になる。つまり、アセンブリのコス
トはほぼ三分の一になると考えられる。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の原理は、MMI
C回路のカバーのところで、それぞれこのカバーの上方
および下方にあるスペース内に、それぞれ補助導波路お
よび追加導波路と呼ばれる導波路を設けることからな
る。これらの補助導波路および追加導波路のカットオフ
周波数は、増幅すべき使用通過帯域の上限より大きくな
るように選択される。その結果、使用周波数帯内で発生
したすべての信号は、構成された導波路のカットオフ周
波数より小さい周波数をもつことになる。つまり、それ
らの信号はこれらの導波路内を伝搬することができなく
なる。従って、増幅回路の出力部から入力部への帰還
は、それらの信号を妨害しない程度まで低減される。し
たがって、非常に高い利得をもつ増幅回路を設計するこ
とができる。実際に本発明をテストしたところ、80d
B〜90dBの利得が得られた。
【0011】当然ながら、本発明の利点は、必ずしも非
常に良好な吸収特性をもたないが、ガスを放出せず、従
ってMMIC構成要素のトランジスタを汚染しないとい
う利点をもつ材料で充填された導波路の構成が可能にな
ることである。
【0012】従って、本発明は、高周波帯域内に分布し
た電気信号を増幅するための高利得増幅器であって、サ
ポート上、たとえばMMIC構成要素内の金属ベースプ
レート上に取り付けられ、カバーで覆われ、第一の側に
信号入力部を有し、この第一の側と反対側の第二の側に
信号出力部を有する増幅回路と、カバーとサポートとの
間にあるスペースをいくつかの補助導波路に分割する分
割手段とを含んでおり、このようにして得られた導波路
の特性が、増幅器の高周波帯域内にある周波数をもつ信
号を出力部と入力部との間で伝搬させるのに不適当であ
ることを特徴とする増幅器を目的とする。カバーの上方
にあるスペースは、追加導波路が補助導波路と同じ特性
を有するように、同じ方法で分割されることが好まし
い。
【0013】本発明は、添付の図面を参照しながら以下
の説明を読むことによってより良く理解されるであろ
う。なお、これらの図面は参考として示されているにす
ぎず、本発明を限定するものではない。
【0014】
【発明の実施の形態】図1および図2に本発明による高
利得増幅器を示す。図2において、増幅器は少なくとも
一つの増幅回路1を含んでいる。この回路は集積回路の
形の電子構成要素2および3を含んでいる。これらの構
成要素2および3は、幾何形状および配置が特に増幅回
路のマイクロ波性質に適している接続4および5によっ
て互いに接続されている。接続は、当然ながら回路のア
ースと接触することなしに空中線の形でなされている。
回路1は、第一の側に信号入力部6を有し、第一の側の
反対側の第二の側に信号出力部7を有している。信号は
入力部6から入り、集積回路2および3によって処理さ
れ、出力部7から増幅された状態で出力される。
【0015】図1はこれらの要素を概略的に示す断面図
である。この図に示すように、回路2および3はサポー
ト上に配置されている。このサポートは絶縁プレート8
から構成される。このプレート8は中央の凹所に金属ベ
ースプレート9を備えている。プレート8上に備えられ
た金属被覆10は、接続部6から供給された信号を増幅
するために、制御信号、特に電力信号と利得制御信号と
を集積回路2および3に伝送することを可能にしてい
る。いずれにしても、制御信号は、増幅すべき高周波信
号の周波数よりかなり低い周波数をもつ。実際に、これ
らの信号は、直流信号であるか(この場合、これらの信
号は集積回路用の電力によって構成される)、あるいは
100MHz以下の低周波信号である。
【0016】回路1は金属カバー11で覆われている。
カバー11は図示されていないピラーまたは金属壁によ
ってベースプレート9上に保持されている。現在の技術
では、ベースプレート9とカバー11との間にあるスペ
ース12には上述の付随する欠点をもつ吸収材が詰め込
まれる。
【0017】カバーの幅13は、増幅され、出力部7で
得られた信号の様々な電波伝搬モードをプレート8とカ
バー11との間のスペース内を伝搬させるのに十分な幅
である。
【0018】本発明では、この伝搬を回避するために、
幅13を複数の導波路に、ここでは三つの導波路14、
15および16に分割する。以下で説明するように、こ
れらの導波路の厚さおよび幅の特性は、出力部7で得ら
れた増幅された信号の任意のモードを伝搬させるのに不
適当であるような特性である。TE01モードと呼ばれ
るモードが導波路内を伝搬するのを防ぐには、導波路の
幅をλ/4より小さくするだけで十分であることが分か
っている。ここで、λは導波路の誘電体内を伝搬する波
の波長である。マイクロストリップ線路を備えたプレー
トがある場合、最も許容されるモードは、特性寸法がλ
/4でないLSM11モード(長さ方向が磁気)であ
る。つまり、特性寸法はλ/4よりも小さく、計算が複
雑である。ただし、このモードの場合でも、それ以下で
は伝搬が不可能になる計算可能なカットオフ周波数が存
在する。また、LSM11モードが伝搬できない場合、
それより高い他のいかなるモードも伝搬できない。
【0019】従って、本発明のアイデアは、導波路14
〜16の各々の特性を知ることである。このことは、幅
13が既知であり、また分割の数および形成すべき断面
のサイズが既知であるので容易である。このようにして
構成された導波路の特性を知るために、LSM11モー
ドのカットオフ周波数を計算する。このような計算は複
雑であるが、知られているタイプの計算である。このよ
うな計算は、たとえば、米国ノーウッド(Norwood)の
アーテックハウス社(Artech House)から出版されたRe
inmut K. HOFFMANN著「Handbook of Microwave Integra
ted Circuit」から知れる。次いで、この計算を用いて
カットオフ周波数を決定する。次いで、このようにして
得られたカットオフ周波数が、増幅回路の使用すべき高
周波帯域の上限を超えているかどうかを決定する。この
カットオフ周波数が高周波帯域の上限を超えている場
合、導波路の企図した分割は容認できる。上限を超えて
いない場合は、スペース13をさらに分割して、導波路
の断面をより小さくしなければならない。
【0020】従って、実際的な一例である図1に示す例
では、それぞれ完全に金属製の二つのバー17および1
8が形成されている。また、バー17および18内の材
料は安定している、つまりガスを放出しないという利点
を有している。一例では、その材料は機械加工された金
属である。また、セラミックを使用することもできる
が、その場合には、金属メッキを施された穴が設けられ
る。バー17および18は、導波路間に分離を構成する
ようにベースプレート9とカバー11との間にそれらと
接触して配置される。第一の補助導波路14は、左側
(図1)でMMIC構成要素に沿って続く金属壁と、下
方のベースプレート9と、上方のカバー11と、右側の
バー17とによって形成される。第二の補助導波路16
は、右側でバー18と協働して対称的に形成される。
【0021】第三のスペース15は空気を含む補助導波
路であり、その金属壁は一方ではカバー11によって、
他方ではバー17および18の壁によって構成される。
いずれにしても、このようにしてスペース13を三つに
分割することは所望の結果を得るのに十二分である。
【0022】また、図2には回路1と同じ条件の下で縦
続接続された第二の増幅回路19が示されている。この
ようにして構成された全体的な増幅回路は、入力部6か
ら回路19の出力部20まで延びる共通のカバー11を
備えている。中央の導波路15は集積回路2および3の
縁部に配置されたバー17および18によって形成され
ることがわかる。
【0023】ある特定の使用では、とりわけ増幅上の理
由で、回路1の出力部7と回路19の入力部21との間
で信号の周波数を二倍にしなければならなかった。従っ
て、カットオフ周波数の制約はより厳しくなる。従っ
て、(二倍の周波数をもつ波に対して大きすぎ、この波
を通過させるような断面をもつ)導波路15を介してで
も、二倍の周波数をもつ信号が出力部20から入力部6
まで伝搬するのを防ぐために、回路1の出力部7と回路
19の入力部21との間の遷移スペース22内に、それ
ぞれ別のバー23および24が取り付けられている。要
するに、遷移スペース22は、金属部分17、23、2
4および18を含み、また構造23、24とカバー11
との間に空のエアースペースを含む。スペース22の幅
を小さくすることにより、周波数を二倍にする結果を克
服することが可能である。従って、スペース22におい
て、補助導波路の特性は変更される。つまり、この場所
で導波路15はそれ自体幅が狭められる。
【0024】プレート8は、入力部6および出力部20
において、対応する金属メッキを施されたトングおよび
プレート8の下の金属被覆25と協働して導波路を形成
する。これらの導波路の特性インピーダンスは、これら
のトングの幅26とプレート8の厚さ27とに依存す
る。これらの導波路の特性インピーダンスは、一例では
50オームである。
【0025】図4に、図1および図2で説明した構成要
素などのMMIC増幅構成要素を含むハウジング30と
そのフタ31を示す。この構成要素内には、本質的にカ
バー11と、サイドバー17と、MMIC構成要素内の
制御接続タブ10とが見える。これらのタブ10は接続
32によって増幅回路に接続されている。接続32は、
構造17の端部を通過してもよく(従って構造17と接
触しない)、あるいは構造17を二つの部分に分割した
二つの長手方向のセグメント171と172との間を通
過してもよい。一例では、二つのセグメント171およ
び172は等しい長さである。また、プレート8の下の
金属被覆層25も見える。この層はまたベースプレート
9の下でそれと接触して延びている。
【0026】図5にフタ31だけを逆さにした状態を示
す。フタ31はチャネル34中に設けられた深い空洞3
3を備えている。従って、フタ31はチャネル34の両
側にある二つの側壁35および36を有している。図示
されている例では、フタは堅い金属でできている。たと
えば、フタは銀メッキされたアルミニウムまたは黄銅の
ブロックからフライス削りによって切り出されるか、あ
るいは鋳造によって直接製造される。
【0027】図4に示すように、深いキャビティ33
は、プレート8の上の、MMIC構成要素11によって
占有されるスペースを受容するのに役立つ。チャネル3
4は、ハウジング30の前面371からMMIC構成要
素11の入力部6まで、またMMIC構成要素11の出
力部7または20からハウジング30の後面372まで
通じているトラック35を受容するのに役立つ。トラッ
ク35はトラック6、7、21および20と連続して形
成できる。同じハウジング内に二つのMMIC構成要素
がある場合、ハウジングは二つの深いキャビティを有す
る。MMIC構成要素が図1および図2に示すように二
重構成要素である場合、深いキャビティは一つしか設け
られない。トラック35は特に、面36および37上に
取り付けられた同軸タイプの38などのピンにはんだ付
け線39によって動作可能に接続される。
【0028】チャネル34内のMMIC構成要素の出力
部において、プレート8上のトラック35をできるだけ
完全に一致させているにもかかわらず、増幅された波
は、放射され、経路40に沿って入力部に向かって逆方
向に伝搬する。換言すれば、波はチャネル34をたど
り、深いキャビティ33を通り、チャネルに沿って伝搬
して、MMIC増幅構成要素11の入力部に至る傾向が
ある。
【0029】図5には、フタ31とカバー11(図5に
は図示せず)との間で深いキャビティ33内にあるスペ
ースを分割している導波路41〜43がこの深いキャビ
ティ33の底部に存在するために伝搬40が阻止される
ことが示されている。導波路41〜43は、フタ31を
ハウジング30上に配置したときに、導波路41および
43の導電面が一方では深いキャビティ33の底面と、
他方ではカバー11と接触するように弾性材料によって
製造されることが好ましい。
【0030】導波路41〜43の高さ44および幅45
は、上述のように、この例ではTE10モードのカット
オフ周波数を達成するように決定される。ここで、この
カットオフ周波数は、当該増幅用途での使用通過帯域の
上限より高い。従って、カバーより上のスペースは、複
数の追加導波路に分割され、これらの追加導波路の各々
はカットオフより低い特性を有する。
【0031】実際に、追加導波路に使用される材料は、
単に、電子キャビネットドアの溝を遮蔽するのに使用で
きる電磁遮蔽用シール材料である。この材料は非常に低
コストであり、指示された用途に十分適している。これ
らのシールセグメントの外壁は各追加導波路の四つの面
を形成する。これらのシールの内面は単に絶縁フォーム
でもよく、金属充填フォームでもよい。なぜならば、こ
れらのフォームは本質的に追加導波路の誘電性内面を構
成するからである。
【0032】外挿によって、シールセグメントを幅方向
に一つおきに配置することが可能である。これにより必
要なシールの量が節減され、工業プロセスでの取付時間
が短縮される。この場合、両側に配置された導波路の隣
接する壁によっていくつかの追加導波路が形成され、ま
たこれらの導波路は絶縁フォームの代わりに誘電体とし
て空気を含む。この構成を図6に示す。図6では、導波
路60および61は誘電体として空気を含んでいる。従
って、この例では、五つのシールを使用する代わりに三
つのシール41、42、43だけを使用すればよい。ま
た、シール41、42、43の代わりに位置60および
61に二つのシールを配置することもできる。この場
合、セグメント41〜43は空気充填導波路を形成す
る。
【0033】また、壁35および36は切欠き46およ
び47を有している。図4に示されている切欠き47
は、制御接続32をMMIC構成要素11に通すのに役
立つ。さらに、壁35および36は、切欠きの両側で、
プレート8の上に形成されている48などの金属被覆上
に載っている。金属被覆48は、金属メッキを施された
穴49によってプレート8の導電層25に接続されるこ
とが好ましい。層25はアースに接続されることが好ま
しい。
【0034】一例では、切欠き46の高さ50は約1m
mであり、チャネル34の深さ51は約2mmである。
従って、ハウジング30とフタ31はプレート8と協働
して、MMIC構成要素11によって発生した電磁波の
伝搬を完全に妨害するアセンブリを形成する。フタ31
は、ねじを受容する穴53を備えたラグ52によってハ
ウジング30に固定される。
【0035】従って、本発明の特徴の一つは、MMIC
構成要素11のカバーが、現在の技術の場合のように絶
縁セラミック材で製造されているのではなく、金属で製
造されていることである。カバー11の導電特性は、M
MIC増幅構成要素の内部および外部に導波路を構成し
うるものである。
【0036】導波路41〜43が深いキャビティ33の
入口側面52および出口側面53に当接していない場合
でも、カットオフ現象はまったく同じであることが分か
っている。逆方向の波の伝搬は阻止される。従って、あ
たかも導波路41〜43が、逆方向の波に対して好まし
いが出口のない経路を構成しているかのようになる。当
然ながら、阻止すべき波の周波数が高い場合でも、導波
路41〜43の数を増やし、それに応じてこれらの導波
路のサイズを小さくするだけでよい。
【0037】図3に、60dBの平均増幅の一例とし
て、本発明の増幅器を用いて得られた増幅曲線28と、
現在の技術を用いて同じ条件の下で得られた曲線29と
を示す。タブ10に加えられた制御信号によって利得が
さらに高くなれば、増幅29の予測不可能な性質はより
一層顕著になるであろう。その場合、この増幅器は使用
できないであろう。なぜならば、いくつかのスペクトル
成分をあまりにも強く増幅し(増幅器は準振動性にな
る)、また他のスペクトル成分を完全に減衰させるから
である。これに対して、本発明では、スペクトル成分の
値にかかわらず、利得は同じである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による高利得増幅器を形成するMMIC
構成要素の断面図である。
【図2】本発明による高利得増幅器を形成するMMIC
構成要素の平面図である。
【図3】本発明の増幅器と従来技術の増幅器とによって
得られた増幅利得を示すグラフである。
【図4】 本発明によるMMIC増幅構成要素を備え
た、フタを有するハウジングの透視図である。
【図5】本発明による増幅器MMIC構成要素を備え
た、フタを有するハウジングの透視図である。
【図6】図5の変形形態である。
【符号の説明】
31 フタ 33 スペース 34 チャネル 35 側壁 36 側壁 40 伝搬 41〜43 追加導波路 44 高さ 45 幅 46〜47 切欠き 52 入口側面 53 出口側面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジヤン−クリストフ・ギラール フランス国、78630・モランビリエ、リ ユ・ドウ・ラ・サンドリエール、4・ビス (72)発明者 ミシエル・スラール フランス国、95370・モンテイニー・レ・ コルメイユ、リユ・デ・ベルジエール、 6・ビス

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 高周波帯域(28)内に分布した電気信
    号を増幅するための高利得増幅器であって、サポート上
    に取り付けられ、カバー(11)で覆われ、第一の側に
    信号入力部(6)を有し、この第一の側と反対側の第二
    の側に信号出力部(7)を有する増幅回路(1)と、カ
    バーとサポートとの間にあるスペースをいくつかの補助
    導波路(13〜15)に分割する分割手段(17、1
    8)とを含んでおり、このようにして得られた導波路の
    特性が、増幅器の高周波帯域内にある周波数をもつ信号
    を出力部と入力部との間で伝搬させるのに不適当である
    ことを特徴とする増幅器。
  2. 【請求項2】 分割手段がバー(17)を含んでおり、
    このバー(17)が、導電性の外表面を有し、増幅器の
    入力部から出力部に向かう方向に整列し、サポートとカ
    バーとの間の、増幅回路を形成する集積回路の縁部に配
    置されたことを特徴とする請求項1に記載の増幅器。
  3. 【請求項3】 バーが整列した二つのセグメント(1
    7、172)として形成されることを特徴とする請求項
    2に記載の増幅器。
  4. 【請求項4】 増幅回路が、高周波帯域より高い低カッ
    トオフ周波数をもつ遷移スペース(22)を含んでお
    り、この遷移スペース内で、補助導波路(23、24)
    の特性が変更されることを特徴とする請求項1から3の
    いずれか一項に記載の増幅器。
  5. 【請求項5】 フタ(31)を備えたハウジング(3
    0)と、このハウジング内の少なくとも一つの増幅回路
    (1)とを含んでおり、さらにこのフタと増幅回路のカ
    バーとの間のスペース(33)が、増幅器の高周波帯域
    内にある周波数をもつ信号を伝搬させるのに不適当な特
    性をもつ追加導波路(41〜43)によって分割される
    ことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載
    の増幅器。
  6. 【請求項6】 フタとカバーとの間のスペースが、導電
    性の外表面をもつ弾性バーによって分割されることを特
    徴とする請求項5に記載の増幅器。
  7. 【請求項7】 フタがチャネル(34)中に設けられた
    深いキャビティを備えており、この深いキャビティが追
    加導波路を受容し、そのチャネルが増幅回路の入力部
    (6)および出力部(20)をそれぞれ、ハウジングの
    入力部(39)および出力部(38)に接続し、かつそ
    こから絶縁するのに役立つことを特徴とする請求項5お
    よび6のいずれか一項に記載の増幅器。
  8. 【請求項8】 補助導波路または追加導波路の寸法がL
    SM11モードまたはTE10モードを伝搬させるのに
    不十分であることを特徴とする請求項1から7のいずれ
    か一項に記載の増幅器。
  9. 【請求項9】 カバー(11)が金属製であることを特
    徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の増幅
    器。
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