JPH11297796A

JPH11297796A - アライナー

Info

Publication number: JPH11297796A
Application number: JP10117767A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Akaike; 由多加赤池; Isao Kono; 功河野; Satoshi Sano; 聡佐野
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1998-04-13
Filing date: 1998-04-13
Publication date: 1999-10-29
Anticipated expiration: 2018-04-13
Also published as: JP3282796B2; US6307390B1

Abstract

(57)【要約】【課題】従来は、ウエハ状態の信頼性試験に当たりウ
エハとコンタクタを目視によりアライメントして一括接
触を行っていたため、アライメント作業に長時間を費や
していた。そこで、本出願人は特願平１０−５４４２３
号において真空吸着による一括接触の自動化技術を提案
した。しかし、この段階では一体化後のウエハ保持体、
ウエハ及びコンタクタ間の真空漏れをチェックすること
ができなかったため、これら三者が試験中に分離する虞
があった。【解決手段】本発明のアライナー１０は、ウエハチャ
ック５０、ウエハＷ及びコンタクタ６０の位置合わせ
後、これら三者を真空排気手段を介して一体化するアラ
イナーであって、真空排気手段は、第１，第２弁機構５
１，５２を開閉操作する弁操作機構２０と、この弁操作
機構２０に真空排気ライン２１Ａを介して弁操作機構２
０側から順次接続された第１、第２ソレノイドバルブ２
６，２７と、第１ソレノイドバルブと弁操作機構２０の
間に配設された真空漏れ検出用の圧力検出計２８とを備
えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アライナーに関
し、更に詳しくは半導体ウエハ内に形成された多数の半
導体素子を一括検査する場合に適用されるアライナーに
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体検査工程では半導体ウエハ（以
下、「ウエハ」と称す。）の表面に多数形成された半導
体素子（以下、「チップ」と称す。）についてウエハ状
態のまま個々のチップについて電気的特性検査を行い、
電気的特性に欠陥のないチップをスクリーニングするよ
うにしている。スクリーニングされた良品チップは組立
工程で合成樹脂またはセラミックによってパッケージし
ている。また、信頼性試験ではパッケージ製品に温度
的、電気的ストレスを加えてチップの潜在的欠陥等を顕
在化させ、不良品を除去するようにしている。

【０００３】一方、電気製品の小型化、高機能化に伴っ
てチップが小型化、高集積化している。しかも、最近で
は、半導体製品の更なる小型化のための実装技術が種々
開発され、特に、チップをパッケージ化せず、いわゆる
ベアチップのまま実装する技術が開発されている。ベア
チップを市場に出すためには品質保証されたベアチップ
が要求される。品質保証されたベアチップを市場に出す
には信頼性試験を行わなくてはならない。信頼性試験に
プローブ装置を用いることもできる。しかし、プローブ
装置の場合にはウエハを一枚ずつしか検査できず、しか
も一枚のウエハの信頼性試験に多大な時間を要するた
め、プローブ装置を信頼性試験に用いるにはコスト的に
問題がある。また、従来の信頼性試験装置を用いてベア
チップを検査するには、ベアチップとソケットとの電気
的接続等の種々の難しい点を解決しなくてならず、しか
も小さなベアチップを取り扱うため、取り扱いが極めて
煩雑になり検査コストの上昇を招く虞がある。

【０００４】そこで、複数枚のウエハをウエハ状態のま
ま同時に低コストで信頼性試験を行える試験技術が例え
ば特開平７−２３１０１９号公報、特開平８−５６６６
号公報及び特開平８−３４００３０号公報において提案
されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来
は、ウエハの一括接触を行う時にはコンタクタ及びウエ
ハを互いに対向させて配置し、コンタクタの基準となる
複数の接触端子とこれらに対応するウエハの基準となる
電極パッドとを目視によりそれぞれの位置を確認しなが
ら順次位置合わせ（以下、「アライメント」と称す。）
を行い、両者がアライメントされた時点でこれら両者を
一括して接触させるため、オペレータが基準となる接触
端子とこれに対応する電極パッドとのアライメント作業
に長時間を費やし、作業効率が悪くオペレータに多大な
負荷がかかり、しかもアライメント精度に個人差があっ
て安定した接触状態を得ることが難しいという課題があ
った。

【０００６】そこで、本出願人は特願平１０−５４４２
３号においてウエハ保持体（ウエハチャックで保持され
たウエハをＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動させてウエハと
コンタクタをアライメントした後、ウエハ保持体上にウ
エハ及びコンタクタを真空吸着することにより一括接触
させて一体化するアライナーをウエハと接触子の位置合
わせ装置として提案した。ところが、この段階では一体
化後のウエハ保持体、ウエハ及びコンタクタ間の真空漏
れをチェックする機能がないため、万一真空漏れがある
と信頼性試験中にウエハとコンタクタの接触不良の原因
になったり、極端な場合には三者が分離してしまう虞が
ある。

【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、ウエハ保持体、半導体ウエハ及びコンタク
タを真空吸着により確実に一体化し、三者間の真空漏れ
の有無を確認することができるアライナーを提供するこ
とを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のアライナーは、ヘッドプレートにコンタクタを着脱自
在に装着すると共に載置台上でウエハ保持体を支持し、
上記載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記ウ
エハ保持体で保持された半導体ウエハと上記コンタクタ
とを位置合わせした後、上記ウエハ保持体内の真空吸着
用内部流路を開閉する弁機構に真空排気手段を接続して
上記弁機構を開放し、上記真空排気手段を介して上記コ
ンタクタと上記ウエハ保持体間を減圧して上記コンタク
タ、半導体ウエハ及びウエハ保持体を一体化するアライ
ナーであって、上記真空排気手段は、上記弁機構を開閉
操作する弁操作機構と、この弁操作機構に配管を介して
弁操作機構側から順次接続された第１、第２切換弁と、
第１切換弁と上記弁操作機構の間に配設された圧力検出
計とを備えたことを特徴とするものである。

【０００９】また、本発明の請求項２に記載のアライナ
ーは、請求項１に記載の発明において、上記第１切換弁
は第２切換弁から切り離し上記弁操作機構側を大気から
遮断する手段を有し、第２切換弁は大気に開放する手段
を有することを特徴とするものである。

【００１０】また、本発明の請求項３に記載のアライナ
ーは、請求項２に記載の発明において、上記第１、第２
切換弁は３ポート電磁弁からなることを特徴とするもの
である。

【００１１】また、本発明の請求項４に記載のアライナ
ーは、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明
において、上記弁操作機構は着脱用のエアシリンダを有
することを特徴とするものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図５の（ａ）、
（ｂ）に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。本
実施形態のアライナー１０は、例えば図１に示すよう
に、ウエハＷをキャリア単位で収納し且つウエハＷ（図
２参照）をロード、アンロードするローダ室１１と、こ
のローラ室１１に隔壁を介して隣接し且つウエハ保持体
（以下、「ウエハチャック」と称す。）５０で保持され
たウエハＷとコンタクタ６０とを位置合わせした後一括
接触させて一体化するアライメント室１２とを備えてい
る。そして、図示してないがローダ室１１には搬送機構
（ピンセット）及び予備位置合わせ機構（サブチャッ
ク）がそれぞれ配設され、ピンセットを介してキャリア
内からウエハＷを一枚ずつ搬送し、搬送過程でサブチャ
ック上でオリフラを基準にしてウエハＷを予備位置合わ
せ（プリアライメント）した後、ピンセットを介してウ
エハＷをアライメント室１２へ搬送するようにしてあ
る。

【００１３】また、図１に示すように上記アライメント
室１２にはヘッドプレート１３が開閉可能に取り付けら
れ、このヘッドプレート１３にコンタクタ６０を装着
し、開閉駆動機構１４を介してアライメント室１２の上
面開口を開閉するようにしてある。アライメント室１２
内のヘッドプレート１３の下方にはＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方
向で移動可能なメインチャック１５が配設され、ウエハ
チャック５０を載置するようにしてある。このメインチ
ャック１５は図２に示すように回転昇降機構１６を介し
てＸステージ１７上でＺ方向に昇降すると共にθ方向に
正逆回転可能に配置されている。Ｘステージ１７はＹス
テージ１８上にＸ方向に往復移動可能に支持され、Ｙス
テージ１８は基台（図示せず）上にＹ方向に往復移動可
能に支持されている。そして、ローダ室１１内のピンセ
ットを介してプリアライメント後のウエハＷをアライメ
ント室１２内のメインチャック１５上のウエハチャック
５０へ移載するようにしてある。

【００１４】更に、アライメント室１２内には図示しな
いアライメント機構が配設され、このアライメント機構
はアライメントブリッジに固定された上カメラと、メイ
ンチャック１５側に固定された下カメラとを備えてい
る。メインチャック１５を移動させて上カメラでウエハ
チャック５０で保持されたウエハＷの検査用電極用パッ
ドを撮像すると共にメインチャック１５を移動させて下
カメラでヘッドプレート１３に固定されたコンタクタ６
０の接触端子（例えば、バンプ端子）６１を撮像し、こ
れらの画像データに基づいてウエハＷとコンタクタ６０
をアライメントするようにしてある。このアライメント
機構としては例えば特願平１０−５４４２３号において
提案した技術を用いることができる。

【００１５】而して、上記アライメント室１２内でウエ
ハＷをアライメントした後、メインチャック１５を回転
昇降機構１６を介して上昇させ、図２に示すようにウエ
ハＷの検査用電極パッドとコンタクタ６０のバンプ端子
６１を一括接触させ、後述するようにウエハチャック５
０上にコンタクタ６０を真空吸着し、ウエハチャック５
０、ウエハＷ及びコンタクタ６０をシェルとして一体化
するようにしてある。

【００１６】そこで、真空吸着による一体化技術につい
て図３〜図５の（ａ）、（ｂ）を参照しながら説明す
る。即ち、上記メインチャック１５の内部には図示しな
い内部流路が形成されている。この内部流路はメインチ
ャック１５の表面の複数箇所で開口すると共にその周面
で図３に示すように給排気口１５Ａとして開口してい
る。この給排気口１５Ａには図３に示すように真空排気
ライン１９が接続され、真空排気ライン１９を介して真
空引きし、表面に載置されたウエハチャック５０を真空
吸着し固定するようにしてある。

【００１７】また、図３に示すようにウエハチャック５
０の周面には上述するように表面で開口する二系列の内
部流路が形成され、これらの内部流路はウエハチャック
５０の周面の隣合う２箇所で給排気口（図示せず）とし
てそれぞれ開口している。そして、これらの給排気口に
はそれぞれ同一の第１、第２弁機構５１、５２が取り付
けれ、これらの弁機構５１、５２を介して内部流路に対
して空気を給排気するようにしてある。また、図２、図
３に示すようにメインチャック１５の周面には弁操作機
構２０が取り付けられ、この弁操作機構２０を介して第
１、第２弁機構５１、５２を開閉操作するようにしてあ
る。即ち、弁操作機構２０は、図２、図３に示すよう
に、第１、第２弁機構５１、５２に対応する第１、第２
クイック継手２０Ａ、２０Ｂと、これらのクイック継手
２０Ａ、２０Ｂが接続された内部流路を有する躯体２０
Ｃと、この躯体２０Ｃが先端に固定されたピストンロッ
ドを有するエアシリンダ２０Ｄと、このエアシリンダ２
０Ｄを介して進退動する躯体２０Ｃを移動方向へ案内す
る一対のガイドロッド２０Ｅとを備え、エアシリンダ２
０Ｄを介して第１、第２クイック継手２０Ａ、２０Ｂが
進出して第１、第２弁機構５１、５２内にそれぞれ嵌入
してそれぞれの弁体を開き、後退して第１、第２クイッ
ク継手２０Ａ、２０Ｂが第１、第２弁機構５１、５２か
ら外れてそれぞれの弁体を自動的に閉じるようにしてあ
る。

【００１８】更に、弁操作機構２０の第１、第２クイッ
ク継手２０Ａ、２０Ｂには真空排気ライン２１Ａ、２１
Ｂが接続され、それぞれの真空排気ライン２１Ａ、２１
Ｂを介してウエハチャック５０の内部流路をそれぞれ真
空引きし、ウエハチャック５０上にウエハＷ及びコンタ
クタ６０をぞれぞれ真空吸着するようにしてある。尚、
真空排気ライン２１Ａはコンタクタ６０を真空吸着する
内部流路に接続され、真空排気ライン２１ＢはウエハＷ
を真空吸着する内部流路に接続されている。

【００１９】また、図３に示すように上記メインチャッ
ク１５の真空排気ライン１９には切換弁として３ポート
タイプのソレノイドバルブ２２が配設されている。この
ソレノイドバルブ２２の通電時にはバルブを介してメイ
ンチャック１５を図示しない真空排気装置側（Ｐポート
側）へ接続し、メインチャック１５上にウエハチャック
５０を真空吸着するようにしてある。また、図３に示す
非通電時にはソレノイドバルブ２２を介してメインチャ
ック１５を真空排気装置側からＲポートのサイレンサ２
３側へ接続し、メインチャック１５をサイレンサ２３を
介して大気に開放し、ウエハチャック５０をメインチャ
ック１５から搬送できるようにしてある。更に、真空排
気ライン１９、２１Ａはマニホールド２４を介して纏め
られている。真空排気ライン１９側の流路２４Ａにはそ
の真空系の真空度を測定する圧力検出計２５が取り付け
られ、この圧力検出計２５によってメインチャック１５
の内部流路からソレノイドバルブ２２に至る真空系の真
空度を測定し、この測定値に基づいてメインチャック１
５の吸着の有無を検出するようにしてある。

【００２０】また、上記ウエハチャック５０の真空排気
ライン２１Ａにはウエハチャック５０側から順に３ポー
トタイプの第１、第２ソレノイドバルブ２６、２７が配
設されている。そして、真空排気ライン２１Ａ側の流路
２４Ｂにはその真空系の真空度を測定する圧力検出計２
８が取り付けられ、この圧力検出計２８によってウエハ
チャック５０の内部流路（更に詳しくはウエハチャック
を吸着する側の内部流路）から第１ソレノイドバルブ２
６に至る真空系の真空度を測定し、この測定値に基づい
てウエハチャック５０とコンタクタ６０間の真空度を検
出するようにしてある。

【００２１】そして、図３に示すように第１、第２ソレ
ノイドバルブ２６、２７の非通電時には第１、第２ソレ
ノイドバルブ２６、２７を介してウエハチャック５０を
サイレンサ２９（Ｒポート）側に接続して大気に開放
し、この状態でウエハチャック５０、ウエハＷ及びコン
タクタ６０が一体化したシェル内に空気を導入し、三者
を分離操作できるようにしてある。また、第１ソレノイ
ドバルブ２６が非通電状態で第２ソレノイドバルブ２７
が通電状態の時には第１、第２ソレノイドバルブ２６、
２７を介してウエハチャック５０を真空排気装置（Ｐポ
ート）側へ接続して真空引きし、この状態でウエハチャ
ック５０上にコンタクタ６０を真空吸着してシェルとし
て一体化操作できるようにしてある。更に、第１ソレノ
イドバルブ２６が通電状態で第２ソレノイドバルブ２７
が非通電状態の時には第１ソレノイドバルブ２６を第２
ソレノイドバルブ２７から切り離して大気から遮断する
一方、第２ソレノイドバルブ２７を真空排気装置から切
り離しサイレンサ２９を介して大気に開放し、この状態
で圧力検出計２８を用いて真空引き後のシェル内部の真
空漏れをチェックできるようにしてある。尚、第１ソレ
ノイドバルブ２６のＰポートは封止されている。

【００２２】また、上記ウエハチャック５０の真空排気
ライン２１Ｂには３ポートタイプのソレノイドバルブ３
０が配設され、このソレノイドバルブ３０の通電時には
ウエハチャック５０を真空排気装置側へ接続し、ウエハ
チャック５０上にウエハＷを真空吸着できるようにして
ある。また、ソレノイドバルブ３０の非通電時にはウエ
ハチャック５０を真空排気装置側から切り離してウエハ
チャック５０の内部流路を大気へ開放しウエハＷの真空
吸着を解除するようにしてある。また、ソレノイドバル
ブ３０とウエハチャック５０間には圧力検出計３１が取
り付けられ、この圧力検出計３１によってソレノイドバ
ルブ３０からウエハチャック５０の内部流路（更に詳し
くはウエハを吸着する側の内部流路）に至る真空系の真
空度を測定し、ウエハチャック５０とウエハＷ間の真空
度（吸着度）を検出するようにしてある。

【００２３】上記ウエハチャック５０について図４、図
５を参照しながら更に説明する。図４に示すようにウエ
ハチャック５０の上面にはリング状溝５３Ａ、５３Ｂが
同心円状に形成され、これらのリング状溝５３Ａ、５３
Ｂの複数箇所で内部流路５４が開口部５５として開口し
ている。また、ウエハチャック５０上面の外周近傍には
シリコンゴム等の柔軟性に富んだ弾性部材からなるシー
ルリング５６が取り付けられ、ウエハチャック５０とコ
ンタクタ６０とが一体化した時にシールリング５６で真
空漏れを防止するようにしてある。従って、ウエハチャ
ック５０上にウエハＷ及びコンタクタ６０をこの順序で
重ね、前述したように真空排気ライン２１Ａ、２１Ｂを
介して真空引きすると三者が一体化して外れなくなる。
尚、図４において、１６Ａはアライメント時に使用する
θ駆動機構で、このθ駆動機構１６Ａを介してメインチ
ャック１５をθ方向で正逆回転させる。

【００２４】また、前述した弁機構５１、５２は例えば
図５の（ｂ）に示すように構成されている。両弁機構５
１、５２は同一であるため、弁機構５１を例に挙げて説
明する。弁機構５１は、本体５１Ａと、この本体５１Ａ
内で往復移動するスプール５１Ｂと、このスプール５１
Ｂを常時外側へ付勢するバネ５１Ｃとを有し、第１クイ
ック継手２０Ａを差し込むとスプール５１Ｂがバネ５１
Ｃに抗して入り込んで流路を開き、第１クイック継手２
０Ａを外すとスプール５１Ｂがバネ５１Ｃの付勢力で元
の位置に復帰して流路を遮断するようにしてある。

【００２５】また、上記ウエハチャック５０は図５の
（ａ）に示すようにメインチャック１５上でそのスリー
ピン１５Ｂを利用してウエハチャック５０上でウエハＷ
を受け渡しするようにしてある。即ち、図５の（ａ）に
示すようにウエハチャック５０にはスリーピン用の貫通
孔５６がリング状溝５３Ｂ内側の３箇所に設けられてい
る。この貫通孔５６はスリーピン１５Ｂの外径よりも大
きく形成され、この貫通孔５６には同図に示すように先
端が閉じた円筒状のシリコンゴム膜５７が配置され、そ
の基端部が例えばアルミニウム製のパッキング５７Ａを
介してウエハチャック５０の裏面側に形成された凹部に
対してネジ止めされている。また、パッキング５７Ａの
外周にはＯリング５８が装着され、シリコンゴム膜５７
及びＯリング５８によりウエハチャック５０とコンタク
タ６０との間の気密を保持し、両者６０、５０間の減圧
状態を維持するようにしてある。また、スリーピン１５
Ｂの先端はシリコンゴム膜５７を傷つけないようにやや
太くしかも丸く形成されている。従って、メインチャッ
ク１５に載置されたウエハチャック５０上でウエハＷを
授受する時には、メインチャック１５のスリーピン１５
Ｂが上昇してウエハチャック５０の貫通孔５６に嵌入
し、その後スリーピン１５Ｂがシリコンゴム膜５７を伸
ばしながらウエハチャック５０の上面から同図の一点鎖
線で示すように突出してもウエハチャック５０とコンタ
クタ６０間の減圧状態を保持するようにしてある。

【００２６】次に、動作について説明する。まず、開閉
駆動機構１４を介してヘッドプレート１３を開き、ヘッ
ドプレート１３にコンタクタ６０を装着すると共に、メ
インチャック１５上にウエハチャック５０を載置する。
この時、ウエハチャック５０の第１、第２弁機構５１、
５２を第１、第２クイック継手２０Ａ、２０Ｂの位置に
合わせる。次いで、開閉駆動機構１４を介してヘッドプ
レート１３を閉じた後、真空排気装置を駆動すると共に
メインチャック１５の真空排気ライン１９のソレノイド
バルブ２２に通電すると、ソレノイドバルブ２２を介し
てメインチャック１５を真空排気装置側に接続し、メイ
ンチャック１５の内部流路を真空引きしメインチャック
１５上にウエハチャック５０を真空吸着する。次いで、
弁操作機構２０のエアシリンダ２０を駆動すると第１、
第２クイック継手２０Ａ、２０Ｂをウエハチャック５０
の第１、第２弁機構５１、５２に接続する。

【００２７】次いで、ローダ室１１内のピンセット及び
サブチャックを介してウエハＷをプリアライメントした
後、ピンセットを介してウエハＷをウエハチャック５０
上へ載置する。引き続き、ウエハチャック５０の真空排
気ライン２１Ｂのソレノイドバルブ３０に通電すると、
ソレノイドバルブ３０を介してウエハチャック５０を真
空排気装置側に接続し、ウエハチャック５０のウエハ側
の内部流路を真空引きしウエハチャック５０上にウエハ
Ｗを真空吸着する。この時の吸着力は圧力検出計３１に
よって確認することができる。そして、所定の真空度に
達した後、一体化後のシェルの真空漏れチェックが終了
すまで真空引きを継続する。このようにしてウエハチャ
ック５０上にウエハＷを吸着すると、Ｘ、Ｙステージ１
７、１８及びθ駆動機構１６Ａが作動すると共にアライ
メント機構が作動し、ウエハＷの電極パッドとコンタク
タ６０のバンプ端子６１のアライメントを行う。アライ
メントが終了すると、回転昇降機構１６が作動し、メイ
ンチャック１５が上昇し、ウエハＷの電極パッドとバン
プ端子６１が図２に示すように一括接触する。

【００２８】この状態でウエハチャック５０の真空排気
ライン２１Ａの第１、第２ソレノイドバルブ２６、２７
のうち、第２ソレノイドバルブ２７に通電すると、ウエ
ハチャック５０のコンタクタ側の内部流路を真空排気装
置側に接続し、ウエハチャック５０のコンタクタ側の内
部流路を真空引きしコンタクタ６０をウエハチャック５
０上に真空吸着し、両者６０、５０間がシールリング５
６を介して気密になると共にウエハＷとコンタクタ６０
を電気的に導通可能な状態で一括接触させてシェルとし
て一体化する。この時の吸着力は圧力検出計２８によっ
て確認することができる。

【００２９】そして、シェル内が所定の真空度に達した
後、第１ソレノイドバルブ２６に通電し第２ソレノイド
バルブ２７を非通電にすると、第１ソレノイドバルブ２
６を第２ソレノイドバルブ２７から切り離し、ウエハチ
ャック５０から第１ソレノイドバルブ２６までの真空系
を大気から遮断すると共に、第２ソレノイドバルブ２７
を真空排気装置側から切り離して大気に開放する。この
操作でウエハチャック５０は真空排気系から確実に遮断
された状態になる。この時、圧力検出計２８の測定値が
変動しなければ、ウエハチャック５０とコンタクタ６０
間は一体化に必要な真空度を維持し、ウエハチャック５
０、ウエハＷ及びコンタクタ６０がシェルとして確実に
一体化しその後の信頼性試験を確実に実施できる。とこ
ろが、圧力検出計２８の測定値が変動すれば、ウエハチ
ャック５０とコンタクタ６０間に真空漏れがあることを
示している。

【００３０】圧力検出計２８の測定値が変動しない時に
は、第１ソレノイドバルブ２６を通電状態のまま弁操作
機構２のエアシリンダ２０Ｄが駆動し第１、第２クイッ
ク継手２０Ａ、２０Ｂをそれぞれの弁機構５１、５２か
ら外すと共に、ソレノイドバルブ２２を非通電の状態に
すると、ウエハチャック５０をメインチャック１５から
取り外して搬送できる状態になる。その後は、シェルと
して一体化したウエハチャック５０、ウエハＷ及びコン
タクタ６０を信頼性試験装置まで搬送し、その試験を実
施する。

【００３１】信頼性試験の終了後には、シェルをアライ
ナー１０まで搬送し、シェルを取り外した時と同一状態
でシェルをメインチャック１５上に載置し、上述したよ
うにメイン│ャック１５上にシェルを真空吸着する。次
いで、第１、第２弁機構５１、５２│弁操作機構２０を
接続する。この時、真空排気ライン２１Ａの第１ソレノ
イドバルブ２６は通電状態にあり第２ソレノイドバルブ
２７は非通電状態にある。また、真空排気ライン２１Ｂ
のソレノイドバルブ３０も通電状態でウエハＷを真空吸
着する状態になっている。その後、第１ソレノイドバル
ブ２６を非通電状態にすると共にソレノイドバルブ３０
を非通電状態にすると、ウエハチャック５０の内部流路
を第１、第２ソレノイドバルブ２６、２７及びソレノイ
ドバルブ３０を介して大気に開放し、シェルが個々のウ
エハチャック５０、ウエハＷ及びコンタクタ６０に分離
できる状態になり、ローダ室１１内のピンセットを介し
てウエハＷをキャリア内の元の場所へ戻す。

【００３２】以上説明したように本実施形態によれば、
アライナー１０の真空排気手段は、ウエハチャック５０
の第１、第２弁機構５１、５２を操作する弁操作機構２
０と、この弁操作機構２０の第１、第２クイック継手２
０Ａ、２０Ｂに真空排気ライン２１Ａ、２１Ｂを介して
順次接続された第１、第２ソレノイドバルブ２６、２７
弁と、第１ソレノイドバルブ２６と弁操作機構２０の間
に配設された圧力検出計２８、３０を有するため、シェ
ルとして一体化したウエハチャック５０、ウエハＷ及び
コンタクタ６０間の真空漏れをチェックでき、信頼性試
験には決して分離することのないシェルを供することが
でき、信頼性の高い試験を確実に行うことができる。

【００３３】尚、本実施形態では、コンタクタ６０及び
ウエハチャック５０をオペレータが装着するアライナー
１０を例に挙げて説明したが、これらの装着は自動化す
ることができることは云うまでもない。

【００３４】

【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項４に記載の発
明によれば、ウエハ保持体、半導体ウエハ及びコンタク
タを真空吸着により確実に一体化し、三者間の真空漏れ
の有無を確認することができるアライナーを提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のアライナーの一実施形態の外観を示す
斜視図である。

【図２】図１に示すアライナーによりウエハチャック、
ウエハ及びコンタクタが一括接触した状態を示す側面図
である。

【図３】図１に示すアライナーの真空排気系を示す回路
図である。

【図４】図１に示すアライナーにより一体化されるウエ
ハチャックを示す平面図である。

【図５】図４に示すウエハチャックの一部を示す断面図
で、（ａ）はメインチャックのスリーピンとウエハチャ
ックの関係を示す図、（ｂ）はウエハチャックの第１弁
機構を示す図である。

【符号の説明】

１０アライナー１３ヘッドプレート１５メインチャック（載置台）１９真空排気ライン（配管）２０弁操作機構２０Ｄエアシリンダ２１Ａ真空排気ライン（配管）２１Ｂ真空排気ライン（配管）２６第１ソレノイドバルブ（第１切換弁）２７第２ソレノイドバルブ（第２切換弁）２８圧力検出計５０ウエハチャック（ウエハ保持体）５１第１弁機構５２第２弁機構５０コンタクタＷウエハ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ヘッドプレートにコンタクタを着脱自在
に装着すると共に載置台上でウエハ保持体を支持し、上
記載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記ウエ
ハ保持体で保持された半導体ウエハと上記コンタクタと
を位置合わせした後、上記ウエハ保持体内の真空吸着用
内部流路を開閉する弁機構に真空排気手段を接続して上
記弁機構を開放し、上記真空排気手段を介して上記コン
タクタと上記ウエハ保持体間を減圧して上記コンタク
タ、半導体ウエハ及びウエハ保持体を一体化するアライ
ナーであって、上記真空排気手段は、上記弁機構を開閉
操作する弁操作機構と、この弁操作機構に配管を介して
弁操作機構側から順次接続された第１、第２切換弁と、
第１切換弁と上記弁操作機構の間に配設された圧力検出
計とを備えたことを特徴とするアライナー。
【請求項２】上記第１切換弁は第２切換弁から切り離
し上記弁操作機構側を大気から遮断する手段を有し、第
２切換弁は大気に開放する手段を有することを特徴とす
る請求項１に記載のアライナー。
【請求項３】上記第１、第２切換弁は３ポート電磁弁
からなることを特徴とする請求項２に記載のアライナ
ー。
【請求項４】上記弁操作機構は着脱用のエアシリンダ
を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれ
か１項に記載のアライナー。