JPH11287652A - 屋内位置決めシステム - Google Patents
屋内位置決めシステムInfo
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- JPH11287652A JPH11287652A JP10702398A JP10702398A JPH11287652A JP H11287652 A JPH11287652 A JP H11287652A JP 10702398 A JP10702398 A JP 10702398A JP 10702398 A JP10702398 A JP 10702398A JP H11287652 A JPH11287652 A JP H11287652A
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- Japan
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- targets
- positioning device
- target
- indoor positioning
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- Ventilation (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】クリーンルーム内などの屋内で超音波風速計な
どを容易かつ正確に位置決めできる屋内位置決め装置を
提供する。 【解決手段】本発明の屋内位置決め装置は、内壁面で囲
まれた建物の内部の予め定められた複数の箇所に配置さ
れる複数の標的(A,B,C,D) と、各標的の位置座標を保持
する保持手段、各標的のうち適宜なものまでの距離(Ra,
Rb,Rd)を測定するためのレーザ距離計(1) 、及び、この
測定された各標的までの距離とこれら標的に関する保持
中の位置座標とからこの建物内における位置を算定する
処理手段を備えた位置決め装置とを備え、上記レーザ距
離計(1) からのレーザビームが上記標的のそれぞれに照
射されたことを上記位置決め装置に通知する被照射通知
手段(La,Lb,Lc,Ld) を更に備える。
どを容易かつ正確に位置決めできる屋内位置決め装置を
提供する。 【解決手段】本発明の屋内位置決め装置は、内壁面で囲
まれた建物の内部の予め定められた複数の箇所に配置さ
れる複数の標的(A,B,C,D) と、各標的の位置座標を保持
する保持手段、各標的のうち適宜なものまでの距離(Ra,
Rb,Rd)を測定するためのレーザ距離計(1) 、及び、この
測定された各標的までの距離とこれら標的に関する保持
中の位置座標とからこの建物内における位置を算定する
処理手段を備えた位置決め装置とを備え、上記レーザ距
離計(1) からのレーザビームが上記標的のそれぞれに照
射されたことを上記位置決め装置に通知する被照射通知
手段(La,Lb,Lc,Ld) を更に備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ製造用のクリ
ーンルーム内などで、風速計などを位置決めするための
屋内位置決め装置に関するものである。
ーンルーム内などで、風速計などを位置決めするための
屋内位置決め装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造用のクリーンルームで
は、清浄な空気を吹き流すことによって室内を常に清浄
な状態に保っている。このようなクリーンルーム内で
は、空気の流れが正常に行われているかどうかを確認す
るために、室内の数十乃至数百の測定対象箇所にわたっ
て超音波風速計を移動させながら、各箇所における三次
元の微弱な風向・風速を測定している。特に、汚染の発
生源となる空気の滞留箇所ないしは吹き溜まりがクリー
ンルーム内の何処にも存在しないことの確認が行われ
る。この空気の滞留箇所は、極く小さなものでも見落と
すことが出来ないため、測定箇所の位置決めの分解能と
精度は極めて高い値が要求される。
は、清浄な空気を吹き流すことによって室内を常に清浄
な状態に保っている。このようなクリーンルーム内で
は、空気の流れが正常に行われているかどうかを確認す
るために、室内の数十乃至数百の測定対象箇所にわたっ
て超音波風速計を移動させながら、各箇所における三次
元の微弱な風向・風速を測定している。特に、汚染の発
生源となる空気の滞留箇所ないしは吹き溜まりがクリー
ンルーム内の何処にも存在しないことの確認が行われ
る。この空気の滞留箇所は、極く小さなものでも見落と
すことが出来ないため、測定箇所の位置決めの分解能と
精度は極めて高い値が要求される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、上述のような風
速計をクリーンルーム内の数十乃至数百の測定対象箇所
のそれぞれに位置決めするために、巻尺などの計器を使
用して内壁面からの距離を測定していた。しかしなが
ら、この巻尺を使用する位置決め方法は、二人以上の作
業者が必要になるなど労力と時間がかかるという問題が
あった。
速計をクリーンルーム内の数十乃至数百の測定対象箇所
のそれぞれに位置決めするために、巻尺などの計器を使
用して内壁面からの距離を測定していた。しかしなが
ら、この巻尺を使用する位置決め方法は、二人以上の作
業者が必要になるなど労力と時間がかかるという問題が
あった。
【０００４】特に、クリーンルームの内壁面との距離は
この内壁面に下ろした垂線の長さとして計測されるが、
この内壁面に垂線を下ろす作業は、内壁面の一部を一辺
とする長方形を形成することにより行われる。しかしな
がら、この長方形を形成する作業は、クリーンルーム内
に各種のＩＣ処理装置を設置した後は、内壁面の多くが
設置済みのＩＣ処理装置によって隠されてしまうため適
用できず、作業が一層煩雑になると共に精度も低下する
という問題があった。従って、本発明の目的は、クリー
ンルーム内などの屋内で風速計などを容易かつ正確に位
置決めできる屋内位置決め装置を提供することにある。
この内壁面に下ろした垂線の長さとして計測されるが、
この内壁面に垂線を下ろす作業は、内壁面の一部を一辺
とする長方形を形成することにより行われる。しかしな
がら、この長方形を形成する作業は、クリーンルーム内
に各種のＩＣ処理装置を設置した後は、内壁面の多くが
設置済みのＩＣ処理装置によって隠されてしまうため適
用できず、作業が一層煩雑になると共に精度も低下する
という問題があった。従って、本発明の目的は、クリー
ンルーム内などの屋内で風速計などを容易かつ正確に位
置決めできる屋内位置決め装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の屋内位置決め装
置は、内壁面で囲まれた建物の内部の予め定められた異
なる複数の箇所に配置される複数の標的と、各標的の位
置座標を保持する保持手段、各標的のうち適宜なものま
での距離を測定するためのレーザ距離計、及び、この測
定された各標的までの距離とこれら標的に関する保持中
の位置座標とからこの建物内における位置を算定する処
理手段を備えた位置決め装置とに加えて更に、レーザ距
離計からのレーザビームが標的のそれぞれに照射された
ことを位置決め装置に通知する被照射通知手段を備えて
いる。
置は、内壁面で囲まれた建物の内部の予め定められた異
なる複数の箇所に配置される複数の標的と、各標的の位
置座標を保持する保持手段、各標的のうち適宜なものま
での距離を測定するためのレーザ距離計、及び、この測
定された各標的までの距離とこれら標的に関する保持中
の位置座標とからこの建物内における位置を算定する処
理手段を備えた位置決め装置とに加えて更に、レーザ距
離計からのレーザビームが標的のそれぞれに照射された
ことを位置決め装置に通知する被照射通知手段を備えて
いる。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の好適な実施の形態によれ
ば、上記被照射通知手段は発光装置や、空間又は有線伝
送路を介して通知のための電気信号を位置決め装置に送
信する送信装置から成る。また、各標的は建物の内壁面
の上や天井に設置されている。
ば、上記被照射通知手段は発光装置や、空間又は有線伝
送路を介して通知のための電気信号を位置決め装置に送
信する送信装置から成る。また、各標的は建物の内壁面
の上や天井に設置されている。
【０００７】
【実施例】図２は、本発明の一実施例の室内位置決めシ
ステムを構成する位置決め装置の構成を示す機能ブロッ
ク図である。この位置決め装置は、レーザ距離計１、距
離表示パネル２、データ用インターフェイス回路３、パ
ーソナルコンピュータ４、キーボード５及び表示パネル
６を備え、超音波風速計７と一体的に図示しない三脚な
どの枠体の上に組み立てられている。位置計算用パーソ
ナルコンピュータ４は、位置計算手段４ａと標的位置座
標保持メモリ４ｂとを備えている。
ステムを構成する位置決め装置の構成を示す機能ブロッ
ク図である。この位置決め装置は、レーザ距離計１、距
離表示パネル２、データ用インターフェイス回路３、パ
ーソナルコンピュータ４、キーボード５及び表示パネル
６を備え、超音波風速計７と一体的に図示しない三脚な
どの枠体の上に組み立てられている。位置計算用パーソ
ナルコンピュータ４は、位置計算手段４ａと標的位置座
標保持メモリ４ｂとを備えている。
【０００８】パーソナルコンピュータ４の標的位置座標
保持メモリ４ｂには、図中点線で囲んだ枠内に例示する
ように、室内位置決めが行われるＩＣ製造用クリーンル
ームの内壁面や天井などの予め定められた複数の箇所に
設置される複数の標的の三次元座標（Ｘi ，Ｙi ，Ｚi
），ｉ＝ａ，ｂ，ｃ・・・が保持されている。
保持メモリ４ｂには、図中点線で囲んだ枠内に例示する
ように、室内位置決めが行われるＩＣ製造用クリーンル
ームの内壁面や天井などの予め定められた複数の箇所に
設置される複数の標的の三次元座標（Ｘi ，Ｙi ，Ｚi
），ｉ＝ａ，ｂ，ｃ・・・が保持されている。
【０００９】図２の位置決め装置は、図１に例示するよ
うに、壁面の随所にＩＣ処理装置が配置されたクリーン
ルームＣＲ内において、風速を測定しようとする室内の
各箇所を位置決めする。ただし、図１において、図２の
位置決め装置はレーザ距離計１で代表して示されてい
る。このクリーンルームＣＲ内の内壁面上の所定の箇所
には、４個の標的Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが設置されている。各
標的は、入射したレーザビームの一部を入射方向に反射
させるための細かな乱反射面や、入射したレーザビーム
の多くの部分を入射方向に反射させるための三角錐群か
ら成る反射面などを有している。
うに、壁面の随所にＩＣ処理装置が配置されたクリーン
ルームＣＲ内において、風速を測定しようとする室内の
各箇所を位置決めする。ただし、図１において、図２の
位置決め装置はレーザ距離計１で代表して示されてい
る。このクリーンルームＣＲ内の内壁面上の所定の箇所
には、４個の標的Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが設置されている。各
標的は、入射したレーザビームの一部を入射方向に反射
させるための細かな乱反射面や、入射したレーザビーム
の多くの部分を入射方向に反射させるための三角錐群か
ら成る反射面などを有している。
【００１０】レーザ距離計１が、作業者の操作によって
ＩＣ処理装置で遮蔽されておらず見通しのきくいくつか
の標的に向けられる。このレーザ距離計１は、パルス状
のレーザビームを一定の周期で壁面に向けて放射し、壁
面で反射されて戻って来たレーザビームを受光し、レー
ザビームの放射から反射ビームの受光までの所要時間の
半分の値を検出し、これにレーザビームの伝播時間、す
なわち光速を乗算することにより、このレーザ距離計、
すなわち位置決め装置と壁面との距離を算定する。
ＩＣ処理装置で遮蔽されておらず見通しのきくいくつか
の標的に向けられる。このレーザ距離計１は、パルス状
のレーザビームを一定の周期で壁面に向けて放射し、壁
面で反射されて戻って来たレーザビームを受光し、レー
ザビームの放射から反射ビームの受光までの所要時間の
半分の値を検出し、これにレーザビームの伝播時間、す
なわち光速を乗算することにより、このレーザ距離計、
すなわち位置決め装置と壁面との距離を算定する。
【００１１】レーザ距離計１の測定値は、距離表示パネ
ル２に表示されると共に、データ用インターフェイス回
路３を介してパーソナルコンピュータ４に転送される。
レーザビームの照射を受ける各標的の中央部分にはフォ
トダイオードが取付けられており、このフォトダイオー
ドは各標的にレーザビームが照射されたこと感知する
と、一定幅のパルス信号を発生する。このパルス信号
は、必要に応じて設置される平滑化回路を通して各標的
の近傍に設置されている発光ダイオードなどから成る対
応のランプLa〜Ldを発光させる。
ル２に表示されると共に、データ用インターフェイス回
路３を介してパーソナルコンピュータ４に転送される。
レーザビームの照射を受ける各標的の中央部分にはフォ
トダイオードが取付けられており、このフォトダイオー
ドは各標的にレーザビームが照射されたこと感知する
と、一定幅のパルス信号を発生する。このパルス信号
は、必要に応じて設置される平滑化回路を通して各標的
の近傍に設置されている発光ダイオードなどから成る対
応のランプLa〜Ldを発光させる。
【００１２】操作者は、照射対象の標的に対応するラン
プが発光中であり、かつ、距離表示パネル２に表示中の
測定値が妥当な値であることを確認すると、この測定値
の取り込みをパーソナルコンピュータ４に指令する。こ
れと前後して、作業者は上記取り込みデータがどの標的
までの距離であるかを示す情報として標的Ａ〜Ｄの識別
子をキーボード５からパーソナルコンピュータ４に入力
する。上述のように、各標的に対応してランプを設置す
ることにより、レーザビームが標的に照射されているこ
とを確認できる。この方法は、照射されるレーザビーム
の輝度が小さくてその先端部分が判別しにくい場合に有
効である。また、この方法によれば、赤外線など可視光
線でないレーザビームを放射するレーザ距離計を使用で
きるという利点がある。
プが発光中であり、かつ、距離表示パネル２に表示中の
測定値が妥当な値であることを確認すると、この測定値
の取り込みをパーソナルコンピュータ４に指令する。こ
れと前後して、作業者は上記取り込みデータがどの標的
までの距離であるかを示す情報として標的Ａ〜Ｄの識別
子をキーボード５からパーソナルコンピュータ４に入力
する。上述のように、各標的に対応してランプを設置す
ることにより、レーザビームが標的に照射されているこ
とを確認できる。この方法は、照射されるレーザビーム
の輝度が小さくてその先端部分が判別しにくい場合に有
効である。また、この方法によれば、赤外線など可視光
線でないレーザビームを放射するレーザ距離計を使用で
きるという利点がある。
【００１３】操作者は、上記標的までの距離の測定を複
数の標的について実行する。図１の例では、３個の標的
Ａ，Ｂ，Ｄまでの距離Ｒa ，Ｒb ，Ｒd の測定が行われ
る。位置計算手段４ａは、上記距離の測定値Ｒa ，Ｒb
，Ｒd と、標的位置保持メモリ４ｂから読出した各標
的の位置座標から、各標的を中心とし、各測定値を半径
とする次のような３個の球面 を設定し、各球面の交点を算定することにより、レーザ
距離計１の位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ）、すなわち、位置決め装
置の二次元位置（Ｘ，Ｙ）を算定し、表示パネル６に表
示する。
数の標的について実行する。図１の例では、３個の標的
Ａ，Ｂ，Ｄまでの距離Ｒa ，Ｒb ，Ｒd の測定が行われ
る。位置計算手段４ａは、上記距離の測定値Ｒa ，Ｒb
，Ｒd と、標的位置保持メモリ４ｂから読出した各標
的の位置座標から、各標的を中心とし、各測定値を半径
とする次のような３個の球面 を設定し、各球面の交点を算定することにより、レーザ
距離計１の位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ）、すなわち、位置決め装
置の二次元位置（Ｘ，Ｙ）を算定し、表示パネル６に表
示する。
【００１４】本実施例の位置決め装置は、前述したよう
に三脚上に取付けられており、この三脚の頂部には超音
波風速計７も取り付けられている。このため、クリーン
ルーム内の位置決めが終了すると直ちに超音波風速計７
による風速の測定が開始される。
に三脚上に取付けられており、この三脚の頂部には超音
波風速計７も取り付けられている。このため、クリーン
ルーム内の位置決めが終了すると直ちに超音波風速計７
による風速の測定が開始される。
【００１５】図３は、本発明の屋内位置決めシステムの
他の実施例の構成を示す屋内立面図である。この実施例
の屋内位置決めシステムでは、２個の標的Ａ，Ｂが内壁
面ではなく天井に設置されている。そして各標的にレー
ザビームが照射されたことを位置決め装置に通知するた
めの手段として、ランプの代わりに無線送信機Ｗａ，Ｗ
ｂが設置されている。そして、この実施例の位置決め装
置は、図４に示すように、上記無線信号による被照射の
通知を受信するために、図２に示した構成の位置決め装
置に対して無線受信機８が付加された構成となってい
る。また、この実施例の位置決めシステムでは、レーザ
距離計１の床面からの高さｈが固定されている。
他の実施例の構成を示す屋内立面図である。この実施例
の屋内位置決めシステムでは、２個の標的Ａ，Ｂが内壁
面ではなく天井に設置されている。そして各標的にレー
ザビームが照射されたことを位置決め装置に通知するた
めの手段として、ランプの代わりに無線送信機Ｗａ，Ｗ
ｂが設置されている。そして、この実施例の位置決め装
置は、図４に示すように、上記無線信号による被照射の
通知を受信するために、図２に示した構成の位置決め装
置に対して無線受信機８が付加された構成となってい
る。また、この実施例の位置決めシステムでは、レーザ
距離計１の床面からの高さｈが固定されている。
【００１６】そして、この実施例においても、内壁面上
に標的を設置する前述の実施例の場合と同様に、操作者
によって、標的ＡとＢのそれぞれまでの距離の測定と、
各距離の測定値Ｒａ，Ｒｂと標的の識別子のパーソナル
コンピュータ４への取り込みが行われる。ただし、この
実施例では、無線受信機８において受信された無線送信
機ＷａとＷｂとからの被照射の通知がデータ用インター
フェイス回路３を経てパーソナルコンピュータ４に転送
され、位置計算手段４ａは、この被照射の通知を受信中
である場合にだけ、上記各データの取り込みを行う。
に標的を設置する前述の実施例の場合と同様に、操作者
によって、標的ＡとＢのそれぞれまでの距離の測定と、
各距離の測定値Ｒａ，Ｒｂと標的の識別子のパーソナル
コンピュータ４への取り込みが行われる。ただし、この
実施例では、無線受信機８において受信された無線送信
機ＷａとＷｂとからの被照射の通知がデータ用インター
フェイス回路３を経てパーソナルコンピュータ４に転送
され、位置計算手段４ａは、この被照射の通知を受信中
である場合にだけ、上記各データの取り込みを行う。
【００１７】パーソナルコンピュータ４の位置計算手段
４ａは、標的Ａを中心とする半径Ｒａの球面Ｓａと、標
的Ｂを中心とする半径Ｒｂの球面Ｓｂと、高さｈの水平
面Ｌとの交点をレーザ距離計１の二次元座標（Ｘ，
Ｙ）、従って位置決め測定の二次元座標（Ｘ，Ｙ）とし
て算定する。
４ａは、標的Ａを中心とする半径Ｒａの球面Ｓａと、標
的Ｂを中心とする半径Ｒｂの球面Ｓｂと、高さｈの水平
面Ｌとの交点をレーザ距離計１の二次元座標（Ｘ，
Ｙ）、従って位置決め測定の二次元座標（Ｘ，Ｙ）とし
て算定する。
【００１８】標的を天井に設置する図３の実施例は、内
壁面上に設置する図１の実施例に比べて、標的がクリー
ンルーム内に設置したＩＣ製造装置などによって遮られ
難くなるため、設置すべき標的の個数が少なくて済むと
いう利点がある。
壁面上に設置する図１の実施例に比べて、標的がクリー
ンルーム内に設置したＩＣ製造装置などによって遮られ
難くなるため、設置すべき標的の個数が少なくて済むと
いう利点がある。
【００１９】以上、被照射通知を無線で行う構成を例示
した。しかしながら、被照射通知手段と位置決め装置と
の間を有線伝送路で接続し、この有線伝送路を通して被
照射通知を行う構成とすることもできる。
した。しかしながら、被照射通知手段と位置決め装置と
の間を有線伝送路で接続し、この有線伝送路を通して被
照射通知を行う構成とすることもできる。
【００２０】また、超音波風速計と一体に構成する場合
を例にとって本発明の屋内位置決め装置の構成と動作を
説明した。しかしながら、この屋内位置決め装置を超音
波風速計などの関連の機器とは別個に、あるいは一部を
入替え可能に構成することもできる。
を例にとって本発明の屋内位置決め装置の構成と動作を
説明した。しかしながら、この屋内位置決め装置を超音
波風速計などの関連の機器とは別個に、あるいは一部を
入替え可能に構成することもできる。
【００２１】さらに、標的の三次元位置を保持メモリ内
に保持させる構成を例示したが、各標的を天井などに設
置する場合や、内壁面の一定の高さの箇所に設置する場
合などは、高さの情報を標的ごとに保持する代わりに、
各標的に共通の情報として一つだけ保持する構成とする
ことができる。
に保持させる構成を例示したが、各標的を天井などに設
置する場合や、内壁面の一定の高さの箇所に設置する場
合などは、高さの情報を標的ごとに保持する代わりに、
各標的に共通の情報として一つだけ保持する構成とする
ことができる。
【００２２】さらに、クリーンルーム内における超音波
風速計の位置決めに利用する場合を例にとって本発明を
説明した。しかしながら、倉庫などの建物内を走行する
搬送装置や、コンクリート壁面で囲まれた屋根なしの集
積所や作業場内を自動走行する搬送装置の位置決めなど
に本発明を利用することができる。
風速計の位置決めに利用する場合を例にとって本発明を
説明した。しかしながら、倉庫などの建物内を走行する
搬送装置や、コンクリート壁面で囲まれた屋根なしの集
積所や作業場内を自動走行する搬送装置の位置決めなど
に本発明を利用することができる。
【００２３】また、人手で操作する場合を例にとって本
発明の位置決め装置を説明した。しかしながら、遠隔操
縦や完全自動式で動作する作業用ロボットや搬送用ロボ
ットの位置決めや走行制御などに本発明を利用する場合
などは、本発明の屋内位置決め装置の動作も、これらの
ロボットと同様に遠隔操縦や完全自動式で行わせること
もできる。この場合において、被照射の通知を行う無線
送信機からこの通知と共に対応の標的の識別子を送信
し、これを受信した位置決め装置は、この識別子を解読
することにより計測された距離がどの標的との距離であ
るかを自動的に識別する構成とすることができる。
発明の位置決め装置を説明した。しかしながら、遠隔操
縦や完全自動式で動作する作業用ロボットや搬送用ロボ
ットの位置決めや走行制御などに本発明を利用する場合
などは、本発明の屋内位置決め装置の動作も、これらの
ロボットと同様に遠隔操縦や完全自動式で行わせること
もできる。この場合において、被照射の通知を行う無線
送信機からこの通知と共に対応の標的の識別子を送信
し、これを受信した位置決め装置は、この識別子を解読
することにより計測された距離がどの標的との距離であ
るかを自動的に識別する構成とすることができる。
【００２４】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の屋
内位置決めシステムは、建物の内部の所定の箇所に配置
された各標的の位置座標の保持手段、各標的のうち適宜
なものまでの距離を測定するためのレーザ距離計、及
び、この測定された各標的までの距離と各標的の保持中
の位置座標とから建物内における位置を算定する処理手
段を備えた位置決め装置を備える構成であるから、クリ
ーンルーム内などの屋内で風速計などを容易かつ正確に
位置決めできるという利点がある。
内位置決めシステムは、建物の内部の所定の箇所に配置
された各標的の位置座標の保持手段、各標的のうち適宜
なものまでの距離を測定するためのレーザ距離計、及
び、この測定された各標的までの距離と各標的の保持中
の位置座標とから建物内における位置を算定する処理手
段を備えた位置決め装置を備える構成であるから、クリ
ーンルーム内などの屋内で風速計などを容易かつ正確に
位置決めできるという利点がある。
【００２５】また、本発明の屋内位置決め装置は、超音
波や電波の代わりに波長の短いレーザビームを使用する
構成であるから、極めて高精度の位置決めが可能にな
り、クリーンルーム内の空気の滞留箇所の有無を探索す
るための超音波風速計の位置決めにおいて必要な高い分
解能と精度を実現できる。
波や電波の代わりに波長の短いレーザビームを使用する
構成であるから、極めて高精度の位置決めが可能にな
り、クリーンルーム内の空気の滞留箇所の有無を探索す
るための超音波風速計の位置決めにおいて必要な高い分
解能と精度を実現できる。
【００２６】さらに、本発明の位置決め装置は、標的に
レーザビームが照射されたことを位置決め装置に通知す
る被照射通知手段を備える構成であるから、測定中の距
離が標的までの距離であることが確認でき、確度の高い
位置決めが可能になるという利点がある。
レーザビームが照射されたことを位置決め装置に通知す
る被照射通知手段を備える構成であるから、測定中の距
離が標的までの距離であることが確認でき、確度の高い
位置決めが可能になるという利点がある。
【００２７】また、本発明の好適な実施の形態によれ
ば、各標的は天井や、内壁面の適宜な箇所に設置できる
ので、設置した標的がＩＣ製造装置などによって遮蔽さ
れ難くなり、設置すべき標的の個数が低減できるという
利点がある。
ば、各標的は天井や、内壁面の適宜な箇所に設置できる
ので、設置した標的がＩＣ製造装置などによって遮蔽さ
れ難くなり、設置すべき標的の個数が低減できるという
利点がある。
【図１】本発明の一実施例の屋内位置決めシステムの構
成を示す機能ブロック図である。
成を示す機能ブロック図である。
【図２】上記実施例の屋内位置決めシステムを構成する
超音波風速計と一体化された屋内位置決め装置の構成を
示す機能ブロック図である。
超音波風速計と一体化された屋内位置決め装置の構成を
示す機能ブロック図である。
【図３】本発明の他の実施例の屋内位置決めシステムの
構成を示す機能ブロック図である。
構成を示す機能ブロック図である。
【図４】上記他の実施例の屋内位置決めシステムを構成
する超音波風速計と一体化された屋内位置決め装置の構
成を示す機能ブロック図である。
する超音波風速計と一体化された屋内位置決め装置の構
成を示す機能ブロック図である。
A 〜D 標的 La〜Ld ランプ １ レーザ距離計 ２ 距離表示パネル ４ パーソナルコンピュータ 4a 位置計算手段 4b 標的位置座標保持メモリ ７ 超音波風速計
Claims (7)
- 【請求項１】内壁面で囲まれた建物の内部の予め定めら
れた異なる複数の箇所に配置される複数の標的と、 前記各標的の位置座標を保持する保持手段、前記各標的
のうち適宜なものまでの距離を測定するためのレーザ距
離計、及び、この測定された各標的までの距離とこれら
標的に関する前記保持中の位置座標とから前記建物内に
おける位置を算定する処理手段を備えた位置決め装置と
を備え、 前記レーザ距離計からのレーザビームが前記標的のそれ
ぞれに照射されたことを前記位置決め装置に通知する被
照射通知手段を更に備えたことを特徴とする屋内位置決
めシステム。 - 【請求項２】請求項１において、 前記被照射通知手段は、発光装置であることを特徴とす
る屋内位置決めシステム。 - 【請求項３】請求項１において、 前記被照射通知手段は、空間又は有線伝送路を介して前
記通知のための電気信号を前記位置決め装置に送信する
送信装置であることを特徴とする屋内位置決めシステ
ム。 - 【請求項４】請求項１乃至３のそれぞれにおいて、 前記標的は前記建物の内壁面の上又は天井に設置された
ことを特徴とする屋内位置決めシステム。 - 【請求項５】請求項１乃至４のそれぞれにおいて、 前記建物は半導体集積回路製造用のクリーンルームであ
り、前記各手段はこのクリーンルーム内の風速を測定す
る超音波風速計と一体に構成されたことを特徴とする屋
内位置決め装置。 - 【請求項６】請求項１乃至５のそれぞれにおいて、 前記各手段は遠隔制御により又は自動的に走行する車両
に搭載されると共に、前記レーザ距離計による距離の測
定と前記処理手段による位置決めは遠隔制御により又は
自動的に行われることを特徴とする屋内位置決め装置。 - 【請求項７】壁面で囲まれた空間の内部の予め定められ
た異なる複数の箇所に配置される複数の標的と、 前記各標的の位置座標を保持する保持手段、前記各標的
のうち適宜なものまでの距離を測定するためのレーザ距
離計、及び、この測定された各標的までの距離とこれら
標的に関する前記保持中の位置座標とからレーザ距離計
の前記空間内における位置を算定する処理手段を備えた
位置決め装置とを備え、 前記レーザ距離計からのレーザビームが前記複数の標的
のそれぞれに照射されたことを前記位置決め装置に通知
する被照射通知手段を更に備えたことを特徴とする空間
内位置決めシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10702398A JP2915896B1 (ja) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | 屋内位置決めシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10702398A JP2915896B1 (ja) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | 屋内位置決めシステム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2915896B1 JP2915896B1 (ja) | 1999-07-05 |
| JPH11287652A true JPH11287652A (ja) | 1999-10-19 |
Family
ID=14448566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10702398A Expired - Lifetime JP2915896B1 (ja) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | 屋内位置決めシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2915896B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002243446A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-08-28 | Minolta Co Ltd | 位置情報設定装置および環境情報獲得装置 |
| KR101174126B1 (ko) | 2010-07-12 | 2012-08-20 | 국민대학교산학협력단 | 실내위치 측정장치 및 방법 |
| KR20150083190A (ko) * | 2014-01-09 | 2015-07-17 | 주식회사 텔릿와이어리스솔루션즈 | 위치 값 계산장치 및 방법 |
| KR102180304B1 (ko) * | 2019-06-19 | 2020-11-18 | 서울대학교산학협력단 | 반사광을 이용한 실내 측위 시스템 및 방법 |
-
1998
- 1998-04-02 JP JP10702398A patent/JP2915896B1/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002243446A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-08-28 | Minolta Co Ltd | 位置情報設定装置および環境情報獲得装置 |
| JP4595212B2 (ja) * | 2001-02-20 | 2010-12-08 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 | 位置情報設定装置および環境情報獲得装置 |
| KR101174126B1 (ko) | 2010-07-12 | 2012-08-20 | 국민대학교산학협력단 | 실내위치 측정장치 및 방법 |
| KR20150083190A (ko) * | 2014-01-09 | 2015-07-17 | 주식회사 텔릿와이어리스솔루션즈 | 위치 값 계산장치 및 방법 |
| KR102180304B1 (ko) * | 2019-06-19 | 2020-11-18 | 서울대학교산학협력단 | 반사광을 이용한 실내 측위 시스템 및 방법 |
| WO2020256353A1 (ko) * | 2019-06-19 | 2020-12-24 | 서울대학교산학협력단 | 반사광을 이용한 실내 측위 시스템 및 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2915896B1 (ja) | 1999-07-05 |
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