JPH11287651A - 屋内位置決め装置 - Google Patents

屋内位置決め装置

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JPH11287651A
JPH11287651A JP10702198A JP10702198A JPH11287651A JP H11287651 A JPH11287651 A JP H11287651A JP 10702198 A JP10702198 A JP 10702198A JP 10702198 A JP10702198 A JP 10702198A JP H11287651 A JPH11287651 A JP H11287651A
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JP
Japan
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distance
wall surface
laser
positioning device
elevation angle
Prior art date
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Pending
Application number
JP10702198A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenichi Koyama
謙一 小山
Takaaki Hayashi
孝明 林
Toshio Suzuki
敏夫 鈴木
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Kaijo Corp
Original Assignee
Kaijo Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】クリーンルーム内などの屋内で超音波風速計な
どを容易かつ正確に位置決めできる屋内位置決め装置を
提供する。 【解決手段】本発明の屋内位置決め装置は、内壁面で囲
まれた建物の内部の平面図を保持する保持手段(5b)と、
内壁面のうち隣接する二つのものについて天井との境界
部分までの距離を測定するレーザ距離計(1) と、このレ
ーザ距離計(1) の水平面からの仰角を検出する仰角セン
サ(3) と、この測定した二つの内壁面までの距離、検出
された仰角及び保持中の内部の平面図からこの建物内の
位置決めを行う処理処理手段(5a)とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、IC製造用のクリ
ーンルーム内などで、風速計などを位置決めするための
屋内位置決め装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体装置製造用のクリーンルームで
は、清浄な空気を吹き流すことによって室内を常に清浄
な状態に保っている。このようなクリーンルーム内で
は、空気の流れが正常に行われているかどうかを確認す
るために、室内の数十乃至数百にわたる測定対象箇所に
わたって超音波風速計を移動させながら、各箇所におけ
る三次元の微弱な風向・風速を測定している。特に、汚
染の発生源となる空気の滞留箇所ないしは吹き溜まりが
クリーンルーム内の何処にも存在しないことの確認が行
われる。この空気の滞留箇所は、極く小さなものでも見
落とすことが出来ないため、測定箇所の位置決めの分解
能と精度は極めて高い値が要求される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来、上述のような風
速計をクリーンルーム内の数十乃至数百の測定対象箇所
のそれぞれに位置決めするために、巻尺などの計器を使
用して内壁面からの距離を測定していた。しかしなが
ら、この巻尺を使用する位置決め方法は、二人以上の作
業者が必要になるなど労力と時間がかかるという問題が
あった。
【0004】特に、クリーンルームの内壁面との距離は
この内壁面に下ろした垂線の長さとして計測されるが、
この内壁面に垂線を下ろす作業は、内壁面の一部を一辺
とする長方形を形成することにより行われる。しかしな
がら、この長方形を形成する作業は、クリーンルーム内
に各種のIC処理装置を設置した後は、内壁面の多くが
設置済みのIC処理装置によって隠されてしまうため適
用できず、作業が一層煩雑になると共に精度も低下する
という問題があった。従って、本発明の目的は、クリー
ンルーム内などの屋内で風速計などを容易かつ正確に位
置決めできる屋内位置決め装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の屋内位置決め装
置は、内壁面で囲まれた建物の内部の平面図を保持する
保持手段と、内壁面のうち隣接する二つのものについて
天井との境界部分までの距離を測定するレーザ距離計
と、このレーザ距離計の水平面からの仰角を検出する傾
斜センサと、この測定した二つの内壁面までの距離、前
記検出された仰角及び前記保持中の内部の平面図からこ
の建物内の位置決めを行う処理手段とを備えている。
【0006】
【発明の実施の形態】本発明の好適な実施の形態によれ
ば、上記レーザ距離計は、内壁面までの距離の測定に際
し、この内壁面に対して鉛直方向から仰角だけ傾けた軸
の回りの適宜な角度範囲にわたってレーザビームを走査
し、得られた最短の距離をこの内壁面までの距離として
検出する手段を備えている。
【0007】本発明の他の好適な実施の形態によれば、
上記レーザ距離計は、内壁面までの距離の測定に際し、
この内壁面と天井との境界部分を中心とする適宜な仰角
の範囲にわたってレーザビームを走査し、この走査によ
って得られた最短の距離をこの内壁面までの距離として
検出する手段を備えている。
【0008】
【実施例】図1は本発明の一実施例の室内位置決め装置
の構成を示す機能ブロック図である。この室内位置決め
装置は、レーザ距離計1、距離表示パネル2、仰角セン
サ3、データ用インターフェイス回路4、位置計算用パ
ーソナルコンピュータ5、キーボード6及び表示パネル
7を備え、超音波風速計8と一体的に構成されている。
位置計算用パーソナルコンピュータ5は、位置計算手段
5aと室内平面図保持メモリ5bとを備えている。
【0009】パーソナルコンピュータの室内平面図保持
メモリ5bには、図中点線で囲んだ枠内に例示するよう
に、内壁面A乃至Dで囲まれたIC製造用クリーンルー
ムCRの室内平面図が、各内壁面の長さを示す数値
1 ,X2 ,X3 ,Y1 ,Y2 ,Y3 の形式によって保
持されている。なお、このクリーンルームの隣接する内
壁面は、互いに直交している。
【0010】図2を参照すれば、この室内位置決め装置
は、内壁面の随所にIC処理装置が配置されたクリーン
ルームCR内において、風速を測定しようとする室内の
各箇所を位置決めする。レーザ距離計1が、作業者の操
作によって適宜な内壁面、例えば最寄りの内壁面の天井
との境界部分に向けられる。図2の例では、隣接する二
つの内壁面Aと内壁面Bとの距離が測定される。
【0011】このレーザ距離計1は、パルス状のレーザ
ビームを一定の周期で内壁面に向けて放射し、この内壁
面で反射されて戻って来たレーザビームを受光し、レー
ザビームの放射から反射ビームの受光までの所要時間の
半分の値を検出し、これにレーザビームの伝播時間、す
なわち光速を乗算することにより、このレーザ距離計
1、すなわち本実施例の位置決め装置とこの内壁面との
距離を算定する。レーザ距離計の測定値は、距離表示パ
ネル2に表示されると共に、データ用インターフェイス
回路4を介してパーソナルコンピュータ5に転送され
る。
【0012】この位置決め装置の操作者は、まず、測定
対象の内壁面の天井との境界部分にレーザ距離計1の光
軸、すなわちレーザビームを向ける。測定対象の内壁面
が図2の平面図中の内壁面Bの場合、図3の室内立面図
に示すように、レーザ距離計1の光軸は水平面から仰角
Θbだけ傾く。この状態ではレーザ距離計1の光軸に直
交する回転軸Pも鉛直方向からΘbだけ傾斜する。図2
の平面図に示すように、上記回転軸Pの回りに一定の角
度θの範囲にわたってレーザ距離計1を回転させながら
距離表示パネル2上に表示される最小の距離を検出す
る。この最小の距離が検出された状態は、この内壁面と
の間を往復するレーザビームの伝播経路が最短になった
状態、すなわち、レーザ距離計の光軸が壁面に垂直にな
った状態であり、以後この状態が保持される。
【0013】次に、図3の室内立面図に示すように、鉛
直面内の一定の角度θの範囲にわたってレーザ距離計1
の仰角を変化させながら、距離表示パネル2上に表示さ
れる最小の距離を検出する。図4の室内立面図に拡大し
て例示するように、境界部分に入射したレーザビームの
うち正規反射を受ける成分の伝播経路は、実線や点線で
例示するように、内壁面と天井の双方を含むものとな
る。従って、上記最小の距離が検出された状態は、レー
ザ距離計1の光軸が内壁面と天井との境界部分を向いた
状態を示している。
【0014】作業者は、キーボード6を操作することに
より、レーザ距離計1からデータ用インターフェイス回
路4を介して入力される上記内壁面と天井との境界部分
までの距離と、仰角センサ3からデータ用インターフェ
イス回路4を介して入力される仰角の取り込みをパーソ
ナルコンピュータ5に指令する。これと前後して、作業
者は上記取り込みデータが内壁面Bの天井との境界部分
までの距離である旨の情報をキーボード6からパーソナ
ルコンピュータ5に入力する。
【0015】操作者は、上記内壁面との距離の測定を室
内の直交する二つの内壁面に関して実行する。図2の例
では、内壁面Bと天井との境界部分までの距離Rbと、
内壁面Cと天井との境界部分までの距離Rcの測定が行
われる。この例では、互いに直交する内壁面Cと内壁面
Dとの交点に座標の原点Oが設定され、内壁面Cに沿っ
てX軸が設定されると共に、内壁面Dに沿ってY軸が設
定されている。図2では、レーザ距離計の室内位置、従
ってこの室内位置決め装置の室内位置(X,Y)は(X
3 −Rb cosΘb,Y1 −Ra cosΘa)と決定され
る。
【0016】本実施例の屋内位置決め装置は三脚上に取
付けられており、この三脚の頂部には超音波風速計8も
取り付けられている。このため、クリーンルーム内の位
置決めが終了すると直ちに超音波風速計8による風速の
測定が開始される。
【0017】以上、隣接する内壁面が直交する場合を例
にとって本発明を説明した。しかしながら、本発明の位
置決め装置は室内平面図を保持しているため、隣接する
内壁面が直交しない複雑な構造の建物についてもそれぞ
れとの距離を測定することにより建物内の位置が決定で
きる。
【0018】また、超音波風速計と一体に構成する場合
を例にとって本発明の屋内位置決め装置の構成と動作を
説明した。しかしながら、この屋内位置決め装置を超音
波風速計などの関連の機器とは別回に、あるいは一部を
入替え可能に構成することもできる。
【0019】さらに、クリーンルーム内における超音波
風速計の位置決めに利用する場合を例にとって本発明を
説明した。しかしながら、倉庫などの建物内を走行する
搬送装置や、コンクリート壁面で囲まれた屋根なしの集
積所や作業場内を自動走行する搬送装置の位置決めなど
に本発明を利用することができる。
【0020】また、人手で操作する場合を例にとって本
発明の位置決め装置を説明した。しかしながら、遠隔操
縦や完全自動式で動作する作業用ロボットや搬送用ロボ
ットの位置決めや走行制御などに本発明を利用する場合
などは、本発明の屋内位置決め装置の動作も、これらの
ロボットと同様に遠隔操縦や完全自動式で行わせること
もできる。
【0021】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の屋
内位置決め装置は、建物の内部の平面図を保持する保持
手段と、建物の二つの内壁面について天井との境界部分
までの距離を測定するレーザ式距離計と、このレーザ距
離計の仰角を検出する仰角センサと、この測定した二つ
の内壁面との距離と保持中の内部の平面図と検出した仰
角とからこの建物内の位置決めを行う処理手段とを備え
る構成であるから、クリーンルーム内などの屋内で超音
波風速計などを容易かつ正確に位置決めできるという利
点がある。
【0022】本発明の屋内位置決め装置は、超音波や電
波の代わりに波長の短いレーザビームを使用する構成で
あるから、極めて高精度の位置決めが可能になり、クリ
ーンルーム内の空気の滞留箇所の有無を探索するための
超音波風速計の位置決めにおいて必要な高い分解能と精
度を実現できる。
【0023】また、本発明の屋内位置決め装置は、内壁
面と天井との境界部分までの距離を測定する構成である
から、壁面がIC製造装置などで隠されていてもその天
井の近傍が露出していさえすれば距離が測定できるとい
う点で、単に内壁面との距離を測定する構成に比べて一
段と優れている。
【0024】さらに、本発明の好適な実施の形態によれ
ば、上記レーザ式距離計は、内壁面との距離の測定に際
し、この内壁面に対してレーザビームを走査し、得られ
た最短の距離をこの内壁面に対するレーザビームの特定
の入射状態として検出する手段を備えるから、この内壁
面に対して容易かつ正確に垂線を下ろしたり、この内壁
面と天井との境界部分にレーザビームを正確に向けたり
することが可能になり、測定精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の超音波風速計と一体化され
た屋内位置決め装置の構成を示す機能ブロック図であ
る。
【図2】上記実施例による位置決めの例を説明するため
の室内平面図である。
【図3】上記実施例による位置決めの例を説明するため
の室内立面図である。
【図4】上記実施例による位置決めの例を説明するため
の室内拡大立面図である。
【符号の説明】
1 レーザ距離計 2 距離表示パネル 3 仰角センサ 5 位置計算用パーソナルコンピュータ 5a 位置計算手段 5b 室内平面図保持メモリ 8 超音波風速計

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】内壁面で囲まれた建物の内部の平面図を保
    持する保持手段と、 前記内壁面のうち隣接する二つのものについて天井との
    境界部分までの距離を測定するレーザ距離計と、 このレーザ距離計の水平面からの仰角を検出する仰角セ
    ンサと、 この測定した二つの内壁面までの距離、前記検出された
    仰角及び前記保持中の内部の平面図からこの建物内の位
    置決めを行う処理手段とを備えたことを特徴とする屋内
    位置決め装置。
  2. 【請求項2】請求項1において、 前記レーザ距離計は、前記内壁面までの距離の測定に際
    し、この内壁面に対して鉛直方向から仰角だけ傾けた軸
    の回りの適宜な角度範囲にわたってレーザビームを走査
    し、得られた最短の距離をこの内壁面までの距離として
    検出する手段を備えたことを特徴とする屋内位置決め装
    置。
  3. 【請求項3】請求項1又は2において、 前記レーザ距離計は、前記内壁面までの距離の測定に際
    し、この内壁面と天井との境界部分を中心とする適宜な
    仰角の範囲にわたってレーザビームを走査し、この走査
    によって得られた最短の距離をこの内壁面までの距離と
    して検出する手段を備えたことを特徴とする屋内位置決
    め装置。
  4. 【請求項4】請求項1乃至3のそれぞれにおいて、 前記建物は半導体集積回路製造用のクリーンルームであ
    り、前記各手段はこのクリーンルーム内の風速を測定す
    る超音波風速計と一体に構成されたことを特徴とする屋
    内位置決め装置。
  5. 【請求項5】請求項1乃至3のそれぞれにおいて、 前記各手段は遠隔制御により又は自動的に走行する車両
    に搭載されると共に、前記レーザ距離計による距離の測
    定と前記処理手段による位置決めは遠隔制御により又は
    自動的に行われることを特徴とする屋内位置決め装置。
JP10702198A 1998-04-02 1998-04-02 屋内位置決め装置 Pending JPH11287651A (ja)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008528981A (ja) * 2005-01-31 2008-07-31 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 区間の長さを測定する方法並びにこの方法を実施する装置
KR20130123041A (ko) * 2012-05-02 2013-11-12 현대엠엔소프트 주식회사 라이다 장치를 활용한 실내지도 자동 생성 방법
CN104062626A (zh) * 2014-07-03 2014-09-24 吴晓栋 一种室内定位方法和装置
KR20160059095A (ko) * 2014-11-17 2016-05-26 엘아이지넥스원 주식회사 실내에서 외벽 정보를 이용하여 위치를 인식하기 위한 방법
KR20160059094A (ko) * 2014-11-17 2016-05-26 엘아이지넥스원 주식회사 실내 위치 인식 시스템
CN106226780A (zh) * 2016-07-26 2016-12-14 南京航空航天大学 基于激光扫描雷达的多旋翼室内定位系统及实现方法
CN110243018A (zh) * 2018-03-07 2019-09-17 Lg电子株式会社 空调机的室内机

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008528981A (ja) * 2005-01-31 2008-07-31 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 区間の長さを測定する方法並びにこの方法を実施する装置
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