JPH11285628A - Gas mixing device and production of gas discharge panel - Google Patents
Gas mixing device and production of gas discharge panelInfo
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- JPH11285628A JPH11285628A JP10089943A JP8994398A JPH11285628A JP H11285628 A JPH11285628 A JP H11285628A JP 10089943 A JP10089943 A JP 10089943A JP 8994398 A JP8994398 A JP 8994398A JP H11285628 A JPH11285628 A JP H11285628A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のガスを混合
する装置に関し、特に、プラズマディスプレイパネル
（以下ＰＤＰと記載する）に封入する混合ガス装置及
び、この混合ガス装置を用いたＰＤＰなどのガス放電パ
ネルの製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for mixing a plurality of gases, and more particularly to a mixed gas apparatus sealed in a plasma display panel (hereinafter referred to as a PDP) and a PDP using the mixed gas apparatus. The present invention relates to a method for manufacturing a gas discharge panel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、ハイビジョンをはじめとする高品
位で薄型、大画面のテレビに対する期待が高まっている
中で、プラズマディスプレイパネルの開発が本格化して
きている。図４は、従来の一般的な交流面放電型ＰＤＰ
の概略断面図である。2. Description of the Related Art In recent years, with the expectation of high-definition, thin, large-screen televisions including high-definition televisions, plasma display panels have been developed in earnest. FIG. 4 shows a conventional general AC surface discharge type PDP.
FIG.
【０００３】図４において、フロントカバープレート１
上に表示電極２が配設され、その上を鉛ガラス［ＰｂＯ
−Ｂ2Ｏ3−ＳiＯ2ガラス］からなる誘電体層３で覆われ
ている。誘電体層３の表面は、酸化マグネシウムからな
る保護層４で覆われている。In FIG. 4, a front cover plate 1 is shown.
A display electrode 2 is provided on the upper side, and a lead glass [PbO
Covered with -B 2 O 3 dielectric layer 3 made of -SiO 2 glass. The surface of the dielectric layer 3 is covered with a protective layer 4 made of magnesium oxide.
【０００４】また、バックプレート５上には、アドレス
電極６と隔壁７と、赤または緑または青の紫外線励起蛍
光体からなる蛍光体層８とが配設され、誘電体層３，バ
ックプレート５，隔壁７に囲まれた放電空間９内には、
放電ガスが封入されている。放電ガスの組成としては、
一般的にヘリウム［Ｈｅ］とキセノン［Ｘｅ］の混合ガ
ス系やネオン［Ｎｅ］とキセノン［Ｘｅ］との混合ガス
系が用いられており、その封入圧力は、放電電圧を２５
０Ｖ以下に抑えることを考慮して、通常、１００〜５０
０Ｔｏｒｒ程度の範囲に設定されている（例えば、「エ
スアイデー９４ダイジェスト」（Ｍ．Ｎｏｂｒｉｏ，
Ｔ．Ｙｏｓｈｉｏｋａ，Ｙ．Ｓａｎｏ，Ｋ．Ｎｕｎｏｍ
ｕｒａ，ＳＩＤ９４’ Ｄｉｇｅｓｔ ７２７〜７３０
１９９４）参照）。On the back plate 5, an address electrode 6, a partition 7 and a phosphor layer 8 made of a red, green or blue ultraviolet-excited phosphor are disposed. , In the discharge space 9 surrounded by the partition walls 7,
Discharge gas is sealed. As the composition of the discharge gas,
In general, a mixed gas system of helium [He] and xenon [Xe] or a mixed gas system of neon [Ne] and xenon [Xe] is used.
In consideration of suppressing the voltage to 0 V or less, usually 100 to 50
0 Torr (for example, “S.I. Day 94 Digest” (M. Nobrio,
T. Yoshioka, Y .; Sano, K .; Nunom
ura, SID94 'Digest 727-730
1994)).
【０００５】ＰＤＰの製造フローは、大別すると図５に
示すようになり、（１）フロントカバープレート１の作
製工程、（２）バックプレート５の作製工程、（３）フ
ロントカバープレート１とバックプレート５とをガラス
フリットによって接合し一体化したパネルにする封着工
程、（４）封着されたパネルを排気、加熱し、同時に、
またはその後に放電ガスを封入する排気工程、（５）排
気管を封止きった後に、点灯するエージング工程とから
なる。[0005] The manufacturing flow of the PDP can be roughly classified as shown in FIG. 5, wherein (1) a process of manufacturing the front cover plate 1, (2) a process of manufacturing the back plate 5, (3) a front cover plate 1 and a back plate. A sealing step of joining the plate 5 with a glass frit to form an integrated panel; (4) exhausting and heating the sealed panel,
Or, after that, an exhausting step of filling the discharge gas, and (5) an aging step of turning on the light after the exhaust pipe is completely sealed.
【０００６】なお、（４）において、排気管を封じきら
ずに、ガスを封入し点灯する場合もある。Incidentally, in (4), there is a case where the gas is sealed and turned on without completely closing the exhaust pipe.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上述の工程を経て製造
されるＰＤＰにとって、放電特性のバラツキ、即ち放電
を維持させるための電圧（以降、放電維持電圧）が歩留
低下や寿命に大きく影響している。For a PDP manufactured through the above-described processes, variations in discharge characteristics, that is, a voltage for maintaining discharge (hereinafter referred to as a "discharge maintaining voltage") greatly affect the yield and life. ing.
【０００８】例えば、パネルの規格が、放電維持電圧＝
１８０Ｖ、輝度＝４００カンデラであるとき、何かの原
因で放電維持電圧＝２２０Ｖ、輝度＝５００カンデラの
パネルができたとする。輝度は規格値以上で問題ない
が、放電維持電圧を低くすることが不可能なため、この
パネルは不良品になってしまうという課題がある。先に
述べた何かの原因とは、保護膜４の結晶性が悪いとか、
表示電極間隔が適切でないとか、誘電体の厚みのばらつ
き等によると思われる。For example, if the specification of the panel is such that the sustaining voltage =
When the voltage is 180 V and the luminance is 400 candelas, it is assumed that a panel having a discharge sustaining voltage of 220 V and a luminance of 500 candelas is formed for some reason. Although there is no problem with the luminance being higher than the standard value, there is a problem that this panel becomes a defective product because it is impossible to lower the discharge sustaining voltage. Some of the causes mentioned above are that the crystallinity of the protective film 4 is poor,
It is considered that the display electrode interval is not appropriate or that the thickness of the dielectric material varies.
【０００９】本発明は、このような課題に鑑み、ＰＤＰ
をはじめとするガス放電パネルにおいて、製造されたパ
ネルの個々の特性に合わせた放電ガスを、製造工程中に
混合し封入することで、パネルの製造歩留まりを向上さ
せることを主な目的とする。The present invention has been made in view of such problems, and
The main object of the present invention is to improve the production yield of a panel by mixing and enclosing a discharge gas adapted to the individual characteristics of a manufactured panel in a manufacturing process.
【００１０】これは、前述のように、ＰＤＰで用いられ
ている一般的なガスであるＮｅ−Ｘｅ（５％）のＸｅの
分圧を変えると放電維持電圧と、輝度を変化させること
が可能であるという、特性を利用することにある。[0010] As described above, when the partial pressure of Xe of Ne-Xe (5%), which is a general gas used in PDP, is changed, the discharge sustaining voltage and the luminance can be changed. Is to utilize the characteristic that
【００１１】しかしながら、現製造工程では、通常予め
決められたガス混合比のガスボンベを、購入し装置に備
え付けている。However, in the current manufacturing process, a gas cylinder having a predetermined gas mixture ratio is usually purchased and installed in the apparatus.
【００１２】これは、単にある混合比でガスを混合した
だけでは、ガスがうまく、均一に混合されずに、いわば
凝集した状態になっており、専門業者に依頼し２種類の
ガスを混合してその後かなりの時間、ガスボンベを回転
するなどして攪拌する必要があったためである。[0012] This is because, simply mixing gases at a certain mixing ratio, the gases are not well mixed uniformly, but in a so-called agglomerated state. It was necessary to stir the gas cylinder for a considerable amount of time thereafter.
【００１３】また、購入したガスを１年以上の長期間放
置しておくと、混合したガスが凝集した様な状態で分離
する危険性があった。Further, if the purchased gas is left for a long period of one year or more, there is a risk that the mixed gas may be separated in a state where the mixed gas is aggregated.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のガス混合装置は、複数のガスボンベと、複
数のマスフローコントローラと、混合器を備え、前記混
合器は、ガス通過管内面に、ガスの進行方向に対して、
ガスを回転させる作用を有する螺旋状の階段構造を有し
ていることを特徴とする。In order to solve the above problems, a gas mixing apparatus according to the present invention includes a plurality of gas cylinders, a plurality of mass flow controllers, and a mixer, and the mixer is provided on an inner surface of a gas passage pipe. , With respect to the direction of gas
It is characterized by having a spiral step structure having a function of rotating gas.
【００１５】また、複数のガスボンベのうち、少なくと
も１つのガスボンベが、予め２種類以上のガスを混合し
てあることが好ましい。It is preferable that at least one of the plurality of gas cylinders has a mixture of two or more gases in advance.
【００１６】次に、本発明のガス放電パネルの製造方法
は、放電ガス表示装置を高温で加熱しながら真空排気す
る、排気、ベーキング工程中または、終了後に放電ガス
を封入し放電ガス表示装置の点灯特性により、上記ガス
混合装置によって混合された所望のガスを、再度封入す
ることを特徴とする。Next, the method for manufacturing a gas discharge panel according to the present invention is characterized in that the discharge gas display device is evacuated while being heated at a high temperature. According to the lighting characteristics, the desired gas mixed by the gas mixing device is sealed again.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】本発明は、複数のガスを混合する
方法として、ガスの進行方向に対してガスが回転方向の
力を受けるような通路を設け、さらにガス保存部分に温
度勾配を持たせた混合器を用いるものである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention provides a method for mixing a plurality of gases by providing a passage through which the gas is subjected to a force in the direction of rotation with respect to the traveling direction of the gas, and further having a temperature gradient in the gas storage portion. A mixed mixer is used.
【００１８】またＰＤＰの排気工程中または、排気後に
ガスを導入し、製造された個々のＰＤＰの放電特性を確
認後、個々のＰＤＰに最適なガスを、工程中で混合し、
封入するようにしたものである。以下、本発明の実施の
形態について説明する。In addition, a gas is introduced during or after the exhaust process of the PDP, and after confirming the discharge characteristics of each manufactured PDP, an optimal gas for each PDP is mixed in the process.
It is intended to be enclosed. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
【００１９】（本発明のガス混合装置の構成）図１は、
本発明の一実施の形態に係るガス混合装置の概略系統図
である。図１に示すように、５本のガスボンベＢ１〜Ｂ
５の出口に装着された各々のレギュレータの２次側から
出たガスは、それぞれのマスフローコントローラ１１の
Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４、Ｍ５を通過し、ガスを混合す
る混合器２に導入される。マスフローコントローラ１１
によって制御されるガス量は、コンダクタンスか、また
はバルブの開閉時間によって制御される。(Configuration of Gas Mixing Device of the Present Invention) FIG.
It is a schematic system diagram of a gas mixing device concerning one embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, five gas cylinders B1 to B
The gas exiting from the secondary side of each regulator mounted at the outlet of No. 5 passes through M1, M2, M3, M4, M5 of each mass flow controller 11 and is introduced into the mixer 2 for mixing the gas. . Mass flow controller 11
Is controlled by the conductance or the opening and closing time of the valve.
【００２０】図２は、機械的回転部を用いないガスを容
易に混合させる混合器１２の混合部の構成を示すもので
ある。図２に示すように、混合器１２は、ガスの進行方
向に対して回転方向を持たせる機構を備えている。すな
わち、ガス通過管内面に、ガスの進行方向に対して、ガ
スを回転させる作用を有する螺旋状の階段構造を有して
いる。したがってガスは進行しながら、回転する。FIG. 2 shows the structure of the mixing section of the mixer 12 for easily mixing gas without using a mechanical rotating section. As shown in FIG. 2, the mixer 12 is provided with a mechanism for giving a rotation direction to the traveling direction of the gas. That is, the inner surface of the gas passage pipe has a spiral step structure having an action of rotating the gas in the gas traveling direction. Therefore, the gas rotates as it progresses.
【００２１】そして、各ガスによって質量が異なるため
に、その回転速度がそれぞれ異なるために、容易にガス
を混合することができる。さらに混合を確実にするため
に混合器１２を出たガスを前ガス蓄積部１３に入れさら
に、再度、混合器１２に戻すことを複数回行う。なお、
レギュレータからでた２次側のガス圧力は、３〜５Ｋｇ
／ｃｍ２Ｇに設定した。[0021] The gas can be easily mixed because the mass is different for each gas and the rotation speed is different for each gas. In order to further ensure the mixing, the gas that has exited the mixer 12 is put into the pre-gas storage unit 13 and returned to the mixer 12 again a plurality of times. In addition,
The gas pressure on the secondary side coming out of the regulator is 3 to 5 kg.
/ Cm2G.
【００２２】このようにして得られた混合ガスは、後ガ
ス蓄積部１４に１気圧以上、望ましくは３気圧程度で蓄
積される。より効果的にするために、後ガス蓄積部１４
は昇温部分と冷却部分があり、温度分布を持たせ対流す
る様にしてある。The mixed gas thus obtained is stored in the post-gas storage section 14 at a pressure of 1 atm or more, preferably about 3 atm. In order to be more effective, the post-gas accumulator 14
Has a temperature rising part and a cooling part, and has a temperature distribution so that convection occurs.
【００２３】このように混合されたガスの特性を確かめ
るために、排気工程を終了したパネルに予め専門業者か
ら購入したＮｅ−Ｘｅ（５％）のガスを封入した。In order to confirm the characteristics of the gas thus mixed, a gas of Ne-Xe (5%) purchased in advance from a specialist was sealed in the panel after the exhaust process.
【００２４】このときの放電開始電圧（Ｖｆ＝１８５
Ｖ）、輝度３６０カンデラの値は、再度パネル内のガス
を排気後、本実施の形態のガス混合装置によって混合し
たガスを封入した場合（Ｖｆ＝１８９Ｖ、輝度３５０カ
ンデラ）とほとんど差がないことを確認した。At this time, the discharge starting voltage (Vf = 185)
V) The value of the luminance 360 candela is almost the same as the case where the gas in the panel is exhausted again and the gas mixed by the gas mixing device of the present embodiment is sealed (Vf = 189 V, luminance 350 candela). It was confirmed.
【００２５】以上のように本実施の形態によれば、複数
のガスボンベＢ１〜Ｂ５と、複数のマスフローコントロ
ーラ１１と、混合器１２とを備え、混合器１２は、ガス
通過管内面に、ガスの進行方向に対して、ガスを回転さ
せる作用を有する螺旋状の階段構造を有していることを
特徴とするもので、これにより、機械的撹拌部を用いる
ことなく複数のガスを確実に混合させることができ、ま
た装置自体をコンパクトにすることが可能である。As described above, according to the present embodiment, a plurality of gas cylinders B1 to B5, a plurality of mass flow controllers 11, and a mixer 12 are provided. It is characterized by having a spiral staircase structure that rotates the gas in the direction of travel, which ensures that multiple gases are mixed without using a mechanical stirrer And the device itself can be made compact.
【００２６】（本発明のガス放電パネルの製造方法）図
５で示すフローで、（１）〜（３）は従来通りである
が、（４）の排気工程において、本発明では従来技術と
は異なっている。すなわち、排気装置にパネルを取り付
けて、１×１０-6(Torr)程度になってから、排気をしな
がら３５０度程度まで昇温する。ここでパネル内にガス
を導入する。このとき混合器に接続するガスボンベは、
ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａ
ｒ）、キセノン（Ｘｅ）、酸素（Ｏ2）である。(Method of Manufacturing Gas Discharge Panel of the Present Invention) In the flow shown in FIG. 5, (1) to (3) are the same as in the prior art. Is different. That is, after the panel is attached to the exhaust device, the temperature becomes about 1 × 10 −6 (Torr), and then the temperature is raised to about 350 ° C. while exhausting air. Here, gas is introduced into the panel. At this time, the gas cylinder connected to the mixer is
Helium (He), neon (Ne), argon (A
r), xenon (Xe) and oxygen (O 2 ).
【００２７】最終封入ガスがＮｅ−Ｘｅ（５％）の場合
を図３を用いながら説明すると、３５０度になった時に
まず封入するガスは、Ｎｅ−Ｘｅ（５％）をベースに酸
素を５％以下混合したガスを封入する。このとき１０分
程度の放電によって、パネル内面をクリーニングすると
同時に、酸素によって前工程の未分解の有機バインダー
を燃焼させ分解させる。The case where the final gas is Ne-Xe (5%) will be described with reference to FIG. 3. When the temperature reaches 350 ° C., first, the gas to be charged is based on Ne-Xe (5%) and contains 5% oxygen. % Or less mixed gas. At this time, by discharging for about 10 minutes, the inner surface of the panel is cleaned, and at the same time, the undecomposed organic binder in the previous step is burned and decomposed by oxygen.
【００２８】その後パネルを再排気して、次に通常のＮ
ｅ−Ｘｅ（５％）の放電ガスの放電によってにクリーニ
ングする。そして常温にした後に再度ガスを入れ替えて
放電させる。Thereafter, the panel is evacuated again, and then the normal N
Cleaning is performed by discharging an e-Xe (5%) discharge gas. After the temperature is brought to room temperature, the gas is replaced again to discharge.
【００２９】ここまでの技術は、先行技術と概略似てい
るが、本発明は、このときの放電開始電圧、電流、輝度
とを測定し最終的に封入するガスの組成を決定する。The technique so far is substantially similar to the prior art, but the present invention measures the firing voltage, current, and luminance at this time and finally determines the composition of the gas to be filled.
【００３０】たとえば、放電開始電圧が１８０Ｖ、電流
５３０ｍＡ、輝度４００カンデラの標準値（１５”程度
のパネル）に対して、このとき得られた特性が放電開始
電圧１６０Ｖ、電流５１０ｍＡ、輝度３４０カンデラで
あるとき、輝度不足で不良品となる。For example, with respect to a standard value of a discharge starting voltage of 180 V, a current of 530 mA, and a luminance of 400 candela (a panel of about 15 ″), the characteristics obtained at this time are a discharge starting voltage of 160 V, a current of 510 mA, and a luminance of 340 candela. In some cases, the product is defective due to insufficient brightness.
【００３１】しかし、封入するガスのＸｅ量を増やせば
放電開始電圧は上昇するが、輝度、効率を改善すること
が可能となる。この例の場合、Ｎｅ−Ｘｅ（８％）で放
電開始電圧１８０Ｖ、電流５２２ｍＡ、輝度４３０カン
デラとなる。However, if the amount of Xe in the gas to be sealed is increased, the discharge starting voltage increases, but the luminance and efficiency can be improved. In the case of this example, the discharge start voltage is 180 V, the current is 522 mA, and the luminance is 430 candelas in Ne-Xe (8%).
【００３２】このような個々のパネルへの対応は、従来
技術では、非常に多くの混合比のガスボンベを用意する
必要があり、実現不可能であった。また、Ｎｅに０．５
％以下の微少のアルゴンを封入することで放電開始電圧
が１０〜３０Ｖ下がるペニング効果は良く知られている
が、マスフローコントローラの精度がそれほどないの
で、従来技術では本発明の簡便な装置での混合は不可能
であった。In the prior art, it was impossible to prepare a gas cylinder having a very large mixture ratio, and it was impossible to cope with such individual panels. Also, 0.5 to Ne
% Is well known, the penetrating effect of lowering the discharge starting voltage by 10 to 30 V by enclosing a small amount of argon of less than 10% is well known. Was impossible.
【００３３】本実施の形態では、この場合、予め２種混
合のガスボンベを用意し、それをガス混合装置に接続し
て対応する。例えば、ＸｅーＡｒ（１０％）のガスボン
ベＸＡと、ＮｅのガスボンベＮｅとを混合する。Ｎｅ−
Ｘｅ（５％）−Ａｒ（０．５％）を得たい場合、ガスボ
ンベＸＡと、ガスボンベＮｅとの混合比を９５：５とす
ることで得られる。In this embodiment, in this case, two types of gas cylinders are prepared in advance and connected to a gas mixing device. For example, a gas cylinder XA of Xe-Ar (10%) and a gas cylinder Ne of Ne are mixed. Ne-
When it is desired to obtain Xe (5%)-Ar (0.5%), it can be obtained by setting the mixing ratio of the gas cylinder XA and the gas cylinder Ne to 95: 5.
【００３４】この様に、必要なときに必要なガスを混合
することで、ガスの分離の危険性も解決することができ
るものである。As described above, the risk of gas separation can be solved by mixing the necessary gas when needed.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上のように本発明のガス混合装置は、
機械的撹拌部を用いることなく複数のガスを確実に混合
させることができ、また装置自体をコンパクトにするこ
とが可能である。As described above, the gas mixing device of the present invention
A plurality of gases can be surely mixed without using a mechanical stirring section, and the apparatus itself can be made compact.
【００３６】また、本発明のガス混合装置を用いること
で、排気工程中または、工程後に個々のパネルの特性に
適した混合ガスを封入することにより、製品の歩留まり
を向上させることが可能となる。Further, by using the gas mixing device of the present invention, it is possible to improve the product yield by filling a mixed gas suitable for the characteristics of each panel during or after the exhaust process. .
【図１】本発明の一実施の形態に係るガス混合装置の構
成図FIG. 1 is a configuration diagram of a gas mixing device according to an embodiment of the present invention.
【図２】上記混合器の混合部を示す一部切り欠き斜視図FIG. 2 is a partially cutaway perspective view showing a mixing section of the mixer.
【図３】本発明の排気工程での温度変化とガス導入状態
を示す特性図FIG. 3 is a characteristic diagram showing a temperature change and a gas introduction state in an exhaust process of the present invention.
【図４】従来の一般的な交流面放電型ＰＤＰの概略断面
図FIG. 4 is a schematic sectional view of a conventional general AC surface discharge type PDP.
【図５】従来のＰＤＰの製造フローチャートFIG. 5 is a manufacturing flowchart of a conventional PDP.
Ｂ１〜Ｂ５ ガスボンベ １１ マスフローコントローラ １２ 混合器 １３ 前ガス蓄積部 １４ 後ガス蓄積部 B1 to B5 Gas cylinder 11 Mass flow controller 12 Mixer 13 Front gas storage unit 14 Rear gas storage unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０４Ｎ 5/66 １０１ Ｈ０４Ｎ 5/66 １０１Ｚ (72)発明者 高田 祐助 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 東野 秀隆 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI H04N 5/66 101 H04N 5/66 101Z 72) Inventor Hidetaka Higashino 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Claims (4)
ントローラと、混合器を備えたガス混合装置であって、
前記混合器は、ガス通過管内面に、ガスの進行方向に対
して、ガスを回転させる作用を有する螺旋状の階段構造
を有していることを特徴とするガス混合装置。1. A gas mixing device comprising a plurality of gas cylinders, a plurality of mass flow controllers, and a mixer,
The gas mixer according to claim 1, wherein the mixer has a spiral step structure having an action of rotating the gas in a gas traveling direction on an inner surface of the gas passage pipe.
傾斜を持たせるための加熱部と冷却部とを有することを
特徴とする請求項１記載のガス混合装置。2. A gas mixing apparatus according to claim 1, further comprising a heating section and a cooling section for providing a temperature gradient between the gas inlet and the outlet of the mixer.
のガスボンベが、予め２種類以上のガスを混合してある
ことを特徴とする請求項１または２記載のガス混合装
置。3. The gas mixing device according to claim 1, wherein at least one of the plurality of gas cylinders has a mixture of two or more gases in advance.
空排気する、排気、ベーキング工程中または、終了後に
放電ガスを封入し放電ガス表示装置の点灯特性により、
請求項１〜３のいずれかに記載のガス混合装置によって
混合された所望のガスを、再度封入することを特徴とす
るガス放電パネルの製造方法。The discharge gas display device is evacuated while being heated at a high temperature, and the discharge gas is sealed during the evacuation and baking steps or after the end of the discharge gas display device.
A method for manufacturing a gas discharge panel, comprising re-sealing a desired gas mixed by the gas mixing device according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10089943A JPH11285628A (en) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | Gas mixing device and production of gas discharge panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10089943A JPH11285628A (en) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | Gas mixing device and production of gas discharge panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11285628A true JPH11285628A (en) | 1999-10-19 |
Family
ID=13984796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10089943A Pending JPH11285628A (en) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | Gas mixing device and production of gas discharge panel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11285628A (en) |
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