JP2001291471A - Manufacturing method for plasma display panel and manufacturing apparatus - Google Patents

Manufacturing method for plasma display panel and manufacturing apparatus

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JP2001291471A
JP2001291471A JP2000107542A JP2000107542A JP2001291471A JP 2001291471 A JP2001291471 A JP 2001291471A JP 2000107542 A JP2000107542 A JP 2000107542A JP 2000107542 A JP2000107542 A JP 2000107542A JP 2001291471 A JP2001291471 A JP 2001291471A
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Japan
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plasma display
display panel
manufacturing
discharge
aging
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JP2000107542A
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Kazuhiko Sugimoto
和彦 杉本
Kazuyuki Hasegawa
和之 長谷川
Hideaki Yasui
秀明 安井
Hiroyoshi Tanaka
博由 田中
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem of the time management for an aging process though an adequate aging time for panels are dispersed caused by a dispersion in manufacture of the panels. SOLUTION: The end of the aging is controlled by measuring impurity gas component contained in discharge gas when aging by a gas composition analyzer, and the dispersion of the aging time caused by a dispersion between the panels is to be made adequate so that plasma display panels that are aged adequately can be manufactured in a short time.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの製造方法に関する。プラズマディスプレイ
パネル(以下PDPと称する)は、ブラウン管にかわる
表示デバイスとして注目されており、ハイビジョンテレ
ビ等の大型ディスプレイの用途で有望視されている。
The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel. 2. Description of the Related Art A plasma display panel (hereinafter, referred to as a PDP) has attracted attention as a display device replacing a cathode ray tube, and is expected to be used for large displays such as high-definition televisions.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般的なAC型PDPの構造を図11に
示す。互いに相対して対をなす表示電極101、表示ス
キャン電極102群がガラス基板103上に形成され
る。これらの電極は透明電極と、透明電極の電気抵抗に
よる電圧低下を防ぐためのバス電極からなる。これらの
表示電極101、表示スキャン電極102群は誘電体層
104で被覆され、さらにMgO保護膜105で被覆さ
れる。
2. Description of the Related Art The structure of a general AC type PDP is shown in FIG. A group of display electrodes 101 and display scan electrodes 102 that are opposed to each other are formed on a glass substrate 103. These electrodes include a transparent electrode and a bus electrode for preventing a voltage drop due to the electric resistance of the transparent electrode. These display electrodes 101 and display scan electrodes 102 are covered with a dielectric layer 104 and further covered with an MgO protective film 105.

【0003】これに対し、一方のガラス基板106には
ストライブ状のアドレス電極107が形成される。アド
レス電極107は誘電体層108に被覆されさらに、ア
ドレス電極107に隣接するようにリブ109が形成さ
れる。リブ109はアドレス放電時の隣接セルへの影響
を断ち、光のクロストークを防ぐ働きがある。次にそれ
ぞれのリブに赤、青、緑の蛍光体110がアドレス電極
107を被覆するように塗り分けられる。
On the other hand, a stripe-shaped address electrode 107 is formed on one glass substrate 106. The address electrode 107 is covered with a dielectric layer 108, and a rib 109 is formed adjacent to the address electrode 107. The rib 109 has a function of cutting off the influence on the adjacent cells at the time of the address discharge and preventing light crosstalk. Next, red, blue, and green phosphors 110 are separately applied to the respective ribs so as to cover the address electrodes 107.

【0004】ガラス基板103とガラス基板106は表
示電極ギャップを保ちながら組み合わされ、封止ガラス
により周囲を密閉する。その後、ガラス基板に設けられ
た放電ガス通気口を通して、加熱しながらパネル内を排
気し(排気工程)、終了後にNe等の不活性ガスを主体
とする放電ガスを封入し(ガス封入工程)、放電ガス通
気口を塞いだ(封止工程)構造となっている。
[0004] The glass substrate 103 and the glass substrate 106 are combined while maintaining the display electrode gap, and the periphery is sealed with sealing glass. Thereafter, the inside of the panel is evacuated while heating through a discharge gas vent provided in the glass substrate (evacuation step), and after completion, a discharge gas mainly composed of an inert gas such as Ne is filled (gas filling step). The discharge gas vent is closed (sealing step).

【0005】前記工程で作製されたパネルでは、点灯の
初期段階において大きな発光特性または放電特性の経時
変化が現れる。従って、作製したパネルを所定の時間だ
け放電させることによって、発光特性または放電特性を
安定化させる必要がある。本工程をエージング工程と呼
ぶ。
[0005] In the panel manufactured in the above-described process, a large change in light emission characteristics or discharge characteristics with time appears in an initial stage of lighting. Therefore, it is necessary to stabilize the light emission characteristics or discharge characteristics by discharging the manufactured panel for a predetermined time. This step is called an aging step.

【0006】図12に一般的なPDP製造用エージング
装置の構成を模式的に示す。エージング装置は前記工程
で作製されたパネルの内部空間112に放電ガス113
を封入したパネル111と放電電圧を印加するための駆
動回路114から構成される。エージング工程では表示
電極、表示スキャン電極間に駆動回路114から電圧パ
ルスを一定時間だけ印加することにより発光特性または
放電特性を安定させている。
FIG. 12 schematically shows the structure of a general aging apparatus for manufacturing a PDP. The aging device discharges the discharge gas 113 into the inner space 112 of the panel manufactured in the above process.
And a drive circuit 114 for applying a discharge voltage. In the aging step, a voltage pulse is applied between the display electrode and the display scan electrode from the drive circuit 114 for a fixed time to stabilize the light emission characteristics or discharge characteristics.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】前記点灯初期段階での
大きな発光特性または放電特性の経時変化はパネル内の
排気後の不純物ガスの残留、および、放電のカソードと
して機能するMgO保護膜の表面状態に起因すると考え
られている。パネル内に残留した不純物ガスのうち特に
放電空間に残留した不純物ガスはセルの放電に大きな影
響を与える。エージング工程ではそれら不純物ガスを放
電プラズマの作用で脱離させ、さらに放電プラズマの作
用が及ばない領域にまで排除し、放電空間を浄化する。
The large temporal change in the light emission characteristics or discharge characteristics at the initial stage of lighting is due to the residual impurity gas after exhaust in the panel and the surface condition of the MgO protective film functioning as a discharge cathode. It is believed to be due to. Of the impurity gas remaining in the panel, the impurity gas particularly remaining in the discharge space has a great influence on the discharge of the cell. In the aging step, the impurity gas is desorbed by the action of the discharge plasma, and further removed to a region where the action of the discharge plasma does not reach, thereby purifying the discharge space.

【0008】また、エージング工程により、放電プラズ
マに曝されたMgO保護膜の表面はスパッタリングや分
子レベルでの再配列等が起こる。放電特性はMgO保護
膜表面の結晶配向面、結晶粒径、表面粗度等により変化
するため、MgO保護膜の表面状態の変化が収束するま
でエージングを続ける必要がある。
[0008] In the aging process, the surface of the MgO protective film exposed to the discharge plasma undergoes sputtering and rearrangement at the molecular level. Since the discharge characteristics change depending on the crystal orientation plane, crystal grain size, surface roughness and the like of the MgO protective film surface, it is necessary to continue aging until the change in the surface state of the MgO protective film converges.

【0009】このようなエージング工程は時間を管理す
ることにより工程管理されている。すなわち、エージン
グ時間をパネル毎に変化させることなく、所定の時間エ
ージングが行われている。
The aging process is controlled by controlling time. That is, aging is performed for a predetermined time without changing the aging time for each panel.

【0010】ところが、各々のパネルに必要なエージン
グ時間は、パネル製造におけるばらつきにより大きく異
なる。パネル製造におけるばらつきには、例えばMgO
保護膜の表面状態のばらつき、MgO保護膜成膜後の保
存状態によるばらつき等が考えられ、これらのばらつき
によりパネル内部の不純物ガス量は大きくばらつき、結
果としてパネルに必要なエージング時間もばらつくこと
となる。
However, the aging time required for each panel varies greatly due to variations in panel manufacturing. Variations in panel manufacturing include, for example, MgO
Variations in the surface state of the protective film, variations in the storage state after the formation of the MgO protective film, and the like are conceivable. Due to these variations, the amount of impurity gas inside the panel greatly varies, and as a result, the aging time required for the panel also varies. Become.

【0011】時間管理のエージング方法においてはその
エージング時間は発光特性または放電特性の経時変化が
安定化するまでの時間が長いパネルでのエージング時間
に合わせる必要がある。このため、多くのパネルでは過
剰にエージングを行うこととなり、製造タクトを伸ばす
こととなっている。また、エージング工程は蛍光体の劣
化をともなうことから過剰なエージングは好ましくな
い。また、設定したエージング時間では不充分のままエ
ージング工程を終了されるものもある。
In the aging method of time management, the aging time needs to be adjusted to the aging time of a panel having a long time until the time-dependent change in the emission characteristics or discharge characteristics is stabilized. For this reason, in many panels, aging is excessively performed, and the manufacturing tact is extended. In addition, since the aging step involves deterioration of the phosphor, excessive aging is not preferable. In some cases, the aging step is terminated with insufficient aging time.

【0012】本発明は上述の問題に鑑み、エージング工
程でのパネル間のばらつきに起因するエージング時間の
ばらつきを適正化し、適正にエージングされたプラズマ
ディスプレイパネルを短時間で製造する手法を提供する
ことを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has an object to provide a method for manufacturing a properly aged plasma display panel in a short time by optimizing aging time variations caused by panel-to-panel variations in an aging process. It is an object.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法
は、前面板と背面板を封止したプラズマディスプレイパ
ネルに所定の時間だけ放電を行い、プラズマディスプレ
イパネルの発光特性または放電特性を安定化させるエー
ジング工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造
方法であって、前記エージング工程がガス成分分析器で
測定したデータに基づいてエージング終了時間を制御す
ることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention comprises: discharging a plasma display panel having a front plate and a back plate sealed for a predetermined time; A method of manufacturing a plasma display panel having an aging step of stabilizing a light emission characteristic or a discharge characteristic of a display panel, wherein the aging step controls an aging end time based on data measured by a gas component analyzer. And

【0014】また、エージング工程がプラズマディスプ
レイパネルに放電ガスを導入および排出をしながら放電
を行い、放電中に排出されるガスの成分をガス成分分析
器で測定することを特徴とする。
The aging step is characterized by performing a discharge while introducing and discharging a discharge gas to and from the plasma display panel, and measuring a component of the gas discharged during the discharge by a gas component analyzer.

【0015】また、エージング工程がプラズマディスプ
レイパネルに放電ガスを導入、放電、放電ガスを排出、
放電ガス成分の分析の一連の動作を繰り返すことを特徴
とする。
In the aging step, a discharge gas is introduced into the plasma display panel, discharge is performed, and the discharge gas is discharged.
It is characterized by repeating a series of operations for analyzing a discharge gas component.

【0016】エージングの終了は排出されるガス成分強
度が所定の値以下になった際にエージングを終了するこ
とが望ましい。
It is desirable that the aging be terminated when the intensity of the gas component to be discharged falls below a predetermined value.

【0017】もしくは、排出されるガス成分強度の変化
量が飽和した際にエージングを終了することが望まし
い。
Alternatively, it is desirable to end aging when the change in the intensity of the discharged gas component is saturated.

【0018】ガス成分分析は質量分析器で行うことが望
ましい。
The gas component analysis is desirably performed by a mass spectrometer.

【0019】もしくは、発光スペクトル分析で行うこと
が望ましい。
Alternatively, it is desirable to perform emission spectrum analysis.

【0020】ガス成分分析で分析するガス成分はC
2、H2O、N2、O2、H2、COのいずれかであるこ
とが望ましい。
The gas component analyzed by gas component analysis is C
Desirably, it is one of O 2 , H 2 O, N 2 , O 2 , H 2 , and CO.

【0021】また、前面板と背面板を封止したプラズマ
ディスプレイパネルに所定の時間だけ放電を行い、エー
ジング工程が放電中の発光スペクトルの変化に基づいて
エージング終了時間を制御することを特徴とする。
Further, the plasma display panel in which the front plate and the back plate are sealed is discharged for a predetermined time, and the aging step controls the aging end time based on a change in the emission spectrum during the discharge. .

【0022】また、前面板と背面板を封止したプラズマ
ディスプレイパネルに所定の時間だけ放電を行い、エー
ジング工程が放電中の発光輝度の変化に基づいてエージ
ング終了時間を制御することを特徴とする。
The plasma display panel in which the front plate and the back plate are sealed is discharged for a predetermined time, and the aging step controls the aging end time based on a change in light emission luminance during the discharge. .

【0023】また、前面板と背面板を封止したプラズマ
ディスプレイパネルに所定の時間だけ放電を行い、エー
ジング工程が放電特性の変化に基づいてエージング終了
時間を制御することを特徴とする。
The plasma display panel in which the front plate and the rear plate are sealed is discharged for a predetermined time, and the aging step controls the aging end time based on a change in the discharge characteristics.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】図1は本発明に係るPDP用エー
ジング装置の構成を模式的に表す図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of an aging device for a PDP according to the present invention.

【0025】エージング装置は、パネル1の内部空間2
に放電ガス3を流すための配管4a、4b、パネル1の
内部空間の放電ガス圧を調整するバルブ5a、5b、放
電電圧を印加するための駆動回路6、および質量分析部
7から構成される。
The aging device is provided in the inner space 2 of the panel 1.
Pipes 4a and 4b for flowing the discharge gas 3 through the chamber, valves 5a and 5b for adjusting the discharge gas pressure in the internal space of the panel 1, a drive circuit 6 for applying a discharge voltage, and a mass analyzer 7. .

【0026】アドレス電極、誘電体層、リブ、蛍光体が
形成された背面板8には表示領域をさけて一ヶ所以上の
放電ガス導入口9および一ヶ所以上の放電ガス排出口1
0が設けられており、これらにはガラス管11a、11
bが取り付けられている。ガラス管11a、11bと放
電ガスを流すための配管4a、4bを接続する。放電ガ
ス排出側の配管4bは質量分析部7のチャンバー部に接
続される。質量分析部7はチャンバー部12、四重極型
質量分析器13、分析結果を基に駆動回路を制御するた
めの制御部14から構成される。さらにチャンバー部1
2は配管4cをとおしてポンプ15と接続される。接続
後、パネル1の内部空間2をポンプ15を通して真空に
した後に、放電ガス導入側配管4aより放電ガス3を導
入し、その後、所定の圧力を保ちながら所定の流量で放
電ガスが流れつづけるようにバルブ5a、5bを調整す
る。
The back plate 8 on which the address electrodes, the dielectric layer, the ribs, and the phosphors are formed has one or more discharge gas inlets 9 and one or more discharge gas outlets 1 apart from the display area.
0 are provided, and these include glass tubes 11a, 11
b is attached. The glass tubes 11a and 11b are connected to pipes 4a and 4b for flowing discharge gas. The pipe 4 b on the discharge gas discharge side is connected to the chamber of the mass spectrometer 7. The mass analyzer 7 includes a chamber 12, a quadrupole mass analyzer 13, and a controller 14 for controlling a drive circuit based on the analysis result. Furthermore, chamber part 1
2 is connected to the pump 15 through the pipe 4c. After the connection, the interior space 2 of the panel 1 is evacuated through the pump 15 and then the discharge gas 3 is introduced from the discharge gas introduction side pipe 4a. Thereafter, the discharge gas continues to flow at a predetermined flow rate while maintaining a predetermined pressure. Adjust the valves 5a and 5b.

【0027】本実施の形態では、内部空間を流す放電ガ
スとして乾燥させたHe、Ne、Ar、Xeまたはこれ
らの混合不活性ガスを用い、放電ガス圧力を13.3k
Paから101kPa(100〜760Torr)程度
に設定した。
In the present embodiment, dried He, Ne, Ar, Xe or a mixed inert gas thereof is used as the discharge gas flowing through the internal space, and the discharge gas pressure is 13.3 k.
The pressure was set to about 101 kPa (100 to 760 Torr) from Pa.

【0028】ガス圧力の調整後、駆動回路6を用いて前
面板16に形成された表示電極、表示スキャン電極間に
電圧パルスを印加し、パネル1内部で放電を発生させ
る。
After adjusting the gas pressure, a voltage pulse is applied between the display electrodes and the display scan electrodes formed on the front panel 16 using the drive circuit 6 to generate a discharge inside the panel 1.

【0029】パネル内部に導入された放電ガス3および
放電によりパネル1内部に脱離した不純物ガスは、ポン
プ15により真空引きされたチャンバー12に導入され
る。チャンバー内の四重極型質量分析器13でパネル1
内部に脱離した不純物ガス成分を検出する。パネル1内
の不純物ガスは放電により内部空間2に脱離し放電ガス
3とともにパネル1の外部に排出されるため、パネル1
内部の不純物含有量は時間と共に減少する。同時に四重
極型質量分析器13で検出される不純物ガス成分も時間
と共に減少することになる。ここで、四重極型質量分析
器13で検出した不純物ガス強度の変化量が飽和した際
に表示電極、表示スキャン電極間への電圧パルスの印加
を停止し、パネル1内部での放電を終了させる。
The discharge gas 3 introduced into the panel and the impurity gas desorbed into the panel 1 by the discharge are introduced into the chamber 12 evacuated by the pump 15. Panel 1 with the quadrupole mass spectrometer 13 in the chamber
An impurity gas component desorbed inside is detected. The impurity gas in the panel 1 is desorbed into the internal space 2 by discharge and is discharged to the outside of the panel 1 together with the discharge gas 3.
The internal impurity content decreases with time. At the same time, the impurity gas component detected by the quadrupole mass analyzer 13 also decreases with time. Here, when the variation in the intensity of the impurity gas detected by the quadrupole mass analyzer 13 is saturated, the application of the voltage pulse between the display electrode and the display scan electrode is stopped, and the discharge inside the panel 1 is terminated. Let it.

【0030】点灯初期段階での発光特性または放電特性
の経時変化はパネル内の不純物ガスが主要因であること
から、発光特性または放電特性が安定化する不純物ガス
強度をあらかじめ取得しておくことにより放電を終了さ
せるための不純物ガス強度しきい値を設定すれば、その
不純物ガス強度しきい値が所定の値以下になった際に放
電を終了させても問題はない。
Since the temporal change of the light emission characteristic or discharge characteristic at the initial stage of lighting is mainly caused by the impurity gas in the panel, it is necessary to obtain in advance the impurity gas intensity at which the light emission characteristic or discharge characteristic is stabilized. If the impurity gas intensity threshold value for terminating the discharge is set, there is no problem if the discharge is terminated when the impurity gas intensity threshold value falls below a predetermined value.

【0031】本エージング工程において不純物ガスの脱
離を促進するためにパネル1を加熱してもよい。
In this aging step, panel 1 may be heated in order to promote the desorption of the impurity gas.

【0032】また、本実施例では放電ガス導入口と放電
ガス排出口を各々設置したが同一の放電ガス導入排出口
を用いてもよい。
Further, in this embodiment, the discharge gas inlet and the discharge gas outlet are respectively provided, but the same discharge gas inlet and outlet may be used.

【0033】また、検出する不純物ガスはパネルの放電
を妨げるものを選定し、CO2、H2O、N2、O2
2、COを選定することが望ましい。さらにはこれら
の2つ以上の組み合わせによりおこなうことがより望ま
しい。
The impurity gas to be detected is selected so as to prevent the discharge of the panel, and CO 2 , H 2 O, N 2 , O 2 ,
It is desirable to select H 2 and CO. Further, it is more desirable to carry out the treatment by a combination of two or more of these.

【0034】本実施例では、エージングをパネルに放電
ガスを導入、排出しながら行ったが、放電ガス導入、放
電、放電ガス排出、放電ガス分析の一連の動作を繰り返
す方法でもエージング終了時間を制御することができ
る。
In this embodiment, the aging is performed while introducing and discharging the discharge gas to and from the panel. However, the aging end time can be controlled by repeating a series of operations of discharge gas introduction, discharge, discharge gas discharge, and discharge gas analysis. can do.

【0035】また、ガス成分分析には4重極型質量分析
器を用いたが発光スペクトル測定等の他のガス分析手法
を用いても問題はない。
Although a quadrupole mass spectrometer was used for gas component analysis, there is no problem if other gas analysis methods such as emission spectrum measurement are used.

【0036】エージング終了後、Ne等の不活性ガスを
主体とする放電ガスを封入し(ガス封入工程)、放電ガ
ス導入口と放電ガス排出口を塞ぐ(封止工程)。
After the aging is completed, a discharge gas mainly composed of an inert gas such as Ne is filled (gas filling step), and the discharge gas inlet and discharge gas outlet are closed (sealing step).

【0037】ガス封入に用いる放電ガスとエージングに
用いる放電ガスは異なるものあってもよい。
The discharge gas used for gas filling and the discharge gas used for aging may be different.

【0038】本実施例を用いることにより、パネル内部
に残留した不純物ガスをパネル外部に除去することがで
き、エージング時間を短縮することができる。また、エ
ージングを発光特性または放電特性の安定化する不純物
ガス強度を測定することにより終了させているため、パ
ネル間のばらつきに起因するエージング時間のばらつき
を適正化し、適正にエージングすることができる。
By using this embodiment, the impurity gas remaining inside the panel can be removed outside the panel, and the aging time can be shortened. In addition, since the aging is terminated by measuring the intensity of the impurity gas for stabilizing the light emission characteristics or the discharge characteristics, the variation in the aging time caused by the variation between the panels can be optimized, and the aging can be properly performed.

【0039】[0039]

【発明の効果】本発明によれば、プラズマディスプレイ
パネルのパネル内部に残留する不純物ガスを減少させ、
また、エージング工程でのパネル間のばらつきに起因す
るエージング時間のばらつきを適正化し、適正にエージ
ングされたプラズマディスプレイパネルを短時間で製造
する手法を提供することができる。
According to the present invention, the impurity gas remaining inside the panel of the plasma display panel is reduced,
In addition, it is possible to provide a method for optimizing the aging time variation due to the variation between panels in the aging process and manufacturing a properly aged plasma display panel in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るPDP製造用エージング装置構成
模式図
FIG. 1 is a schematic diagram of an aging apparatus for producing a PDP according to the present invention.

【図2】PDPパネルを示す斜視図FIG. 2 is a perspective view showing a PDP panel.

【図3】従来のPDP製造用エージング装置構成模式図FIG. 3 is a schematic diagram of a configuration of a conventional aging apparatus for manufacturing a PDP.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 パネル 2 内部空間 3 放電ガス 4a,4b,4c 配管 5a,5b バルブ 6 駆動回路 7 質量分析部 8 背面板 9 放電ガス導入口 10 放電ガス排出口 11a,11b ガラス管 12 チャンバー 13 四重極型重量分析器 14 制御部 15 ポンプ 16 前面板 101 表示電極 102 表示スキャン電極 103 ガラス基板 104 誘電体層 105 MgO保護層 106 ガラス基板 107 アドレス電極 108 誘電体層 109 リブ 110 蛍光体 111 パネル 112 内部空間 113 放電ガス 114 駆動回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Panel 2 Internal space 3 Discharge gas 4a, 4b, 4c Pipe 5a, 5b Valve 6 Drive circuit 7 Mass spectrometer 8 Back plate 9 Discharge gas inlet 10 Discharge gas outlet 11a, 11b Glass tube 12 Chamber 13 Quadrupole type Weight analyzer 14 Control unit 15 Pump 16 Front panel 101 Display electrode 102 Display scan electrode 103 Glass substrate 104 Dielectric layer 105 MgO protective layer 106 Glass substrate 107 Address electrode 108 Dielectric layer 109 Rib 110 Phosphor 111 Panel 112 Internal space 113 Discharge gas 114 drive circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安井 秀明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 田中 博由 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5C012 AA09 BD02 BD03 BD04 BE01 5C040 GJ01 GJ04 GJ10 JA24 JA31 LA17 MA10 MA16 MA19 MA23 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Hideaki Yasui 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Pref. Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Hiroyoshi Tanaka 1006 Odaka Kadoma Kadoma, Osaka Pref. Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F term (reference) 5C012 AA09 BD02 BD03 BD04 BE01 5C040 GJ01 GJ04 GJ10 JA24 JA31 LA17 MA10 MA16 MA19 MA23

Claims (23)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】前面板と背面板を封止したプラズマディス
プレイパネルに所定の時間だけ放電を行い、プラズマデ
ィスプレイパネルの発光特性または放電特性を安定化さ
せるエージング工程を有するプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法であって、前記エージング工程がガス成分
分析器で測定したデータに基づいてエージング終了時間
を制御することを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法。
A method for manufacturing a plasma display panel having an aging step of performing discharge for a predetermined time on a plasma display panel in which a front plate and a back plate are sealed, and stabilizing the emission characteristics or discharge characteristics of the plasma display panel. Wherein the aging step controls an aging end time based on data measured by a gas component analyzer.
【請求項2】前面板と背面板を封止したプラズマディス
プレイパネルに放電ガスを導入および排出をしながら放
電を行い、放電中に排出されるガスの成分をガス成分分
析器で測定することを特徴とする請求項1に記載のプラ
ズマディスプレイパネルの製造方法。
2. A method of performing discharge while introducing and discharging a discharge gas into and from a plasma display panel in which a front plate and a back plate are sealed, and measuring a component of the gas discharged during the discharge with a gas component analyzer. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein:
【請求項3】前面板と背面板を封止したプラズマディス
プレイパネルに放電ガスを導入、放電、放電ガスを排
出、放電ガス成分の分析の一連の動作を繰り返すことを
特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法。
3. The method according to claim 1, wherein a series of operations of introducing a discharge gas, discharging, discharging the discharge gas, and analyzing a discharge gas component is repeated to the plasma display panel in which the front plate and the rear plate are sealed. A manufacturing method of the plasma display panel according to the above.
【請求項4】排出されるガス成分強度が所定の値以下に
なった際にエージングを終了することを特徴とする請求
項1から3のいずれかに記載のプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法。
4. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein the aging is terminated when the intensity of the gas component to be discharged becomes equal to or less than a predetermined value.
【請求項5】排出されるガス成分強度の変化量が飽和し
た際にエージングを終了することを特徴とする請求項1
から3のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル
の製造方法。
5. The method according to claim 1, wherein the aging is terminated when the amount of change in the intensity of the discharged gas component is saturated.
4. The method for manufacturing a plasma display panel according to any one of items 1 to 3.
【請求項6】ガス成分分析を質量分析器で行うことを特
徴とする請求項1から5のいずれかに記載のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法。
6. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein the gas component analysis is performed by a mass analyzer.
【請求項7】ガス成分分析を発光スペクトル分析で行う
ことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法。
7. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein the gas component analysis is performed by emission spectrum analysis.
【請求項8】ガス成分分析で分析するガス成分が放電ガ
スに含まれない成分であることを特徴とする請求項1か
ら7のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの
製造方法。
8. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein gas components analyzed by gas component analysis are components not contained in the discharge gas.
【請求項9】ガス成分分析で分析するガス成分がCO2
であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記
載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
9. The gas component analyzed by gas component analysis is CO 2
The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein:
【請求項10】ガス成分分析で分析するガス成分がH2
Oであることを特徴とする請求項1から7のいずれかに
記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
10. The gas component analyzed by gas component analysis is H 2
The method of manufacturing a plasma display panel according to any one of claims 1 to 7, wherein O is O.
【請求項11】ガス成分分析で分析するガス成分がN2
であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記
載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
11. The gas component analyzed by gas component analysis is N 2
The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein:
【請求項12】ガス成分分析で分析するガス成分がO2
であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記
載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
12. The gas component to be analyzed by gas component analysis is O 2
The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein:
【請求項13】ガス成分分析で分析するガス成分がH2
であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記
載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
13. The gas component analyzed by gas component analysis is H 2
The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein:
【請求項14】ガス成分分析で分析するガス成分がCO
であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記
載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
14. The gas component to be analyzed by gas component analysis is CO
The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein:
【請求項15】前面板と背面板を封止したプラズマディ
スプレイパネルに所定の時間だけ放電を行い、プラズマ
ディスプレイパネルの発光特性または放電特性を安定化
させるエージング工程を有するプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法であって、前記エージング工程が放電中
の発光スペクトルの変化に基づいてエージング終了時間
を制御することを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法。
15. A method for manufacturing a plasma display panel having an aging step of discharging a plasma display panel in which a front panel and a rear panel are sealed for a predetermined time to stabilize the emission characteristics or discharge characteristics of the plasma display panel. A method of manufacturing a plasma display panel, wherein the aging step controls an aging end time based on a change in an emission spectrum during discharge.
【請求項16】前面板と背面板を封止したプラズマディ
スプレイパネルに所定の時間だけ放電を行い、プラズマ
ディスプレイパネルの発光特性または放電特性を安定化
させるエージング工程を有するプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法であって、前記エージング工程が放電中
の発光輝度の変化に基づいてエージング終了時間を制御
することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製
造方法。
16. A method of manufacturing a plasma display panel having an aging step of performing discharge for a predetermined time on a plasma display panel in which a front plate and a back plate are sealed, and stabilizing light emission characteristics or discharge characteristics of the plasma display panel. A method of manufacturing a plasma display panel, wherein the aging step controls an aging end time based on a change in light emission luminance during discharge.
【請求項17】前面板と背面板を封止したプラズマディ
スプレイパネルに所定の時間だけ放電を行い、プラズマ
ディスプレイパネルの発光特性または放電特性を安定化
させるエージング工程を有するプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法であって、前記エージング工程がパネル
の放電特性の変化に基づいてエージング終了時間を制御
することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製
造方法。
17. A method for manufacturing a plasma display panel having an aging step of performing discharge for a predetermined time on a plasma display panel in which a front plate and a back plate are sealed, and stabilizing light emission characteristics or discharge characteristics of the plasma display panel. Wherein the aging step controls the aging end time based on a change in the discharge characteristics of the panel.
【請求項18】前記請求項1から17の製造方法を実現
するためのプラズマディスプレイパネル製造用エージン
グ装置。
18. An aging apparatus for manufacturing a plasma display panel for realizing the manufacturing method according to claim 1.
【請求項19】放電ガスの排出側に質量分析器を有する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル製造用エ
ージング装置。
19. An aging apparatus for manufacturing a plasma display panel, comprising a mass analyzer on a discharge gas discharge side.
【請求項20】放電ガスの排出側に発光スペクトル分析
器を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ル製造用エージング装置。
20. An aging apparatus for manufacturing a plasma display panel, comprising an emission spectrum analyzer on a discharge gas discharge side.
【請求項21】パネル前面側に発光スペクトル分析器を
有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル製
造用エージング装置。
21. An aging apparatus for manufacturing a plasma display panel, comprising an emission spectrum analyzer on the front side of the panel.
【請求項22】パネル前面側に輝度計を有することを特
徴とするプラズマディスプレイパネル製造用エージング
装置。
22. An aging apparatus for manufacturing a plasma display panel, comprising a luminance meter on the front side of the panel.
【請求項23】放電特性評価器を有することを特徴とす
るプラズマディスプレイパネル製造用エージング装置。
23. An aging apparatus for manufacturing a plasma display panel, comprising an evaluator for evaluating discharge characteristics.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2005032468A (en) * 2003-07-08 2005-02-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd Aging method and aging apparatus for plasma display panel
JP2010534918A (en) * 2007-08-01 2010-11-11 オスラム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Manufacturing method of discharge lamp

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