JPH1024226A - Automatic gaseous mixture generator - Google Patents
Automatic gaseous mixture generatorInfo
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- JPH1024226A JPH1024226A JP8183396A JP18339696A JPH1024226A JP H1024226 A JPH1024226 A JP H1024226A JP 8183396 A JP8183396 A JP 8183396A JP 18339696 A JP18339696 A JP 18339696A JP H1024226 A JPH1024226 A JP H1024226A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、任意濃度の混合ガ
スを自動的に混合して発生させ、且つ、混合ガスの割合
や濃度を自動的に変更し得る混合ガス自動発生装置に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mixed gas automatic generation apparatus capable of automatically mixing and generating a mixed gas having an arbitrary concentration and automatically changing the ratio and concentration of the mixed gas. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】図２は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、例えば、カタログ名；「流体
（計測・制御・発生）機器」Ｋ−７００１の３２〜３３
頁、発行日；１９９５年１０月１日、発行所；（株）小
島製作所に示されている。2. Description of the Related Art FIG. 2 is an explanatory view of the structure of a conventional example which has been generally used in the past. For example, catalog name; "fluid (measurement / control / generation) equipment" K-7001 32-33
Page, date of issue; October 1, 1995, issuer; Kojima Manufacturing Co., Ltd.
【０００３】図において、１は、一端に１％の濃度の酸
素Ｏ2ガスが、原ガスとして供給される第１の供給ライ
ンである。この場合は、シリンダーＣＹＬ１に詰められ
た酸素ガスＯ2が、使用されている。In FIG. 1 , reference numeral 1 denotes a first supply line at one end of which an oxygen O 2 gas having a concentration of 1% is supplied as a raw gas. In this case, oxygen gas O 2 packed in the cylinder CYL1 is used.
【０００４】しかして、第１の供給ライン１には、前記
一端側から、減圧弁ＰＲ１、ニードル弁ＮＶ１、マスフ
ローコントローラＭＦ１、チエック弁ＣＨＶ１が順次配
置されている。In the first supply line 1, a pressure reducing valve PR1, a needle valve NV1, a mass flow controller MF1, and a check valve CHV1 are sequentially arranged from the one end.
【０００５】２は、一端に１６００ｐｐｍの濃度の一酸
化炭素ガスＣＯが、原ガスとして供給される第２の供給
ラインである。この場合は、シリンダーＣＹＬ２に詰め
られた一酸化炭素ガスＣＯが、使用されている。[0005] Reference numeral 2 denotes a second supply line at one end of which 1600 ppm of carbon monoxide gas CO is supplied as a raw gas. In this case, carbon monoxide gas CO packed in the cylinder CYL2 is used.
【０００６】しかして、第２の供給ライン２には、前記
一端側から、減圧弁ＰＲ２、ニードル弁ＮＶ２、マスフ
ローコントローラＭＦ２、チエック弁ＣＨＶ２が順次配
置されている。In the second supply line 2, a pressure reducing valve PR2, a needle valve NV2, a mass flow controller MF2, and a check valve CHV2 are sequentially arranged from the one end.
【０００７】３は、一端に３．２％の濃度のメタンＣＨ4
が、原ガスとして供給される第３の供給ラインである。
この場合は、シリンダーＣＹＬ３に詰められたメタンＣ
Ｈ4が、使用されている。[0007] 3, 3.2% of the concentration of one of methane CH 4
Is a third supply line supplied as raw gas.
In this case, methane C packed in cylinder CYL3
H 4 have been used.
【０００８】しかして、第３の供給ライン３には、前記
一端側から、減圧弁ＰＲ３、ニードル弁ＮＶ３、マスフ
ローコントローラＭＦ３、チエック弁ＣＨＶ３が順次配
置されている。In the third supply line 3, a pressure reducing valve PR3, a needle valve NV3, a mass flow controller MF3, and a check valve CHV3 are sequentially arranged from the one end.
【０００９】４は、一端に空気が、原ガスとして供給さ
れる第４の供給ラインである。この場合は、計装用の空
気が、使用されている。Reference numeral 4 denotes a fourth supply line at one end of which air is supplied as a raw gas. In this case, instrument air is used.
【００１０】しかして、第４の供給ライン４には、前記
一端側から、減圧弁ＰＲ４、ニードル弁ＮＶ４、マスフ
ローコントローラＭＦ４、チエック弁ＣＨＶ４が順次配
置されている。５は、第１〜第４の供給ラインの他端
が、一端に接続され、他端より所定の混合ガスＰ１ｍｉ
ｘが出力される混合ラインである。In the fourth supply line 4, a pressure reducing valve PR4, a needle valve NV4, a mass flow controller MF4, and a check valve CHV4 are sequentially arranged from the one end. 5, the other end of the first to fourth supply lines is connected to one end, and a predetermined mixed gas P1mi is connected from the other end.
x is the output mixing line.
【００１１】以上の構成において、あらかじめ、減圧弁
ＰＲ１〜ＰＲ４を設定して、それぞれ所定圧力の一定の
原ガス圧力を得られるようにして置く。原ガスとは、こ
の場合は、酸素Ｏ2ガス，一酸化炭素ガスＣＯ，メタン
ガスＣＨ4，空気が、該当する。次に、所定の混合ガス
Ｐ１ｍｉｘを得るには、マスフローコントローラＭＦ１
〜ＭＦ４を操作して、所定の混合ガスＰ１ｍｉｘを得
る。In the above arrangement, the pressure reducing valves PR1 to PR4 are set in advance so as to obtain a constant original gas pressure of a predetermined pressure. In this case, the source gas corresponds to oxygen O 2 gas, carbon monoxide gas CO, methane gas CH 4 , and air. Next, in order to obtain the predetermined mixed gas P1mix, the mass flow controller MF1
MF4 to obtain a predetermined mixed gas P1mix.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、所定の混合ガスを得るには、その度
ごとに、人間が、マスフローコントローラＭＦ１〜ＭＦ
４を操作して、所定の混合ガスを得なければならず、人
間の手による操作を要する。また、誤操作の恐れがあ
り、更に、シーケンシャルに任意の混合ガスを得るのに
多大の時間を要する。However, in such an apparatus, in order to obtain a predetermined mixed gas, each time a person operates the mass flow controllers MF1-MF.
4 must be operated to obtain a predetermined mixed gas, which requires manual operation by humans. In addition, there is a risk of erroneous operation, and furthermore, it takes a long time to sequentially obtain an arbitrary mixed gas.
【００１３】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、任意濃度の混合ガスを自動的に混
合して発生させ、且つ、混合ガスの割合や濃度を自動的
に変更し得る混合ガス自動発生装置を提供するにある。The present invention solves this problem. An object of the present invention is to provide a mixed gas automatic generation device capable of automatically mixing and generating a mixed gas having an arbitrary concentration and automatically changing the ratio and concentration of the mixed gas.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）一端に所定濃度の原ガスがそれぞれ供給される複
数の供給ラインと、該複数の供給ラインの他端が一端に
接続され他端より所定の混合ガスが出力される混合ライ
ンとを具備する混合ガス自動発生装置において、前記そ
れぞれの供給ラインの前記一端側から減圧弁、マスフロ
ーコントローラ、電磁弁の順に配置された供給ライン
と、前記マスフローコントローラ、電磁弁に動作信号を
送るシーケンサとを具備したことを特徴とする混合ガス
自動発生装置。 （２）前記電磁弁として、前記供給ラインの前記一端側
から３方電磁弁と２方電磁弁とが順に配置された供給ラ
インを具備したことを特徴とする請求項１記載の混合ガ
ス自動発生装置。 （３）前記混合ラインにフローメータが設けられたこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の混合ガス自動
発生装置。を構成したものである。In order to achieve this object, the present invention provides: (1) a plurality of supply lines to each of which one end is supplied with a predetermined concentration of raw gas, and the other end of each of the plurality of supply lines. Is connected to one end and a mixing line from which a predetermined mixed gas is output from the other end, wherein a pressure reducing valve, a mass flow controller, and an electromagnetic valve are arranged in this order from the one end side of each of the supply lines. Characterized in that it comprises a supply line, a sequencer for sending operation signals to the mass flow controller and the solenoid valve. (2) The mixed gas automatic generation according to claim 1, wherein a supply line in which a three-way solenoid valve and a two-way solenoid valve are sequentially arranged from the one end side of the supply line is provided as the solenoid valve. apparatus. (3) The apparatus for automatically generating a mixed gas according to claim 1 or 2, wherein a flow meter is provided in the mixing line. It is what constituted.
【００１５】[0015]
【作用】以上の構成において、あらかじめ、減圧弁ＰＲ
１〜ＰＲ４を設定して、それぞれ所定圧力の一定の原ガ
ス圧力を得られるようにして置く。次に、所定の混合ガ
スを得るには、シーケンサより信号を与え、マスフロー
コントローラの流量を設定する。電磁弁にシーケンサよ
り信号を与え、供給ラインより混合ラインに原ガスを供
給して、所定の混合ガスを得る。以下、実施例に基づき
詳細に説明する。In the above construction, the pressure reducing valve PR
1 to PR4 are set so that a constant original gas pressure of a predetermined pressure can be obtained. Next, in order to obtain a predetermined mixed gas, a signal is given from the sequencer and the flow rate of the mass flow controller is set. A signal is supplied from a sequencer to the solenoid valve, and a raw gas is supplied from a supply line to a mixing line to obtain a predetermined mixed gas. Hereinafter, a detailed description will be given based on embodiments.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図である。図において、図２と同一記号の構成
は同一機能を表わす。以下、図２と相違部分のみ説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is an explanatory diagram of a main part configuration of an embodiment of the present invention. In the figure, the configuration of the same symbol as FIG. 2 represents the same function. Hereinafter, only differences from FIG. 2 will be described.
【００１７】図において、１１は、一端に１％の濃度の
酸素Ｏ2ガスが、原ガスとして供給される第１の供給ラ
インである。この場合は、シリンダーＣＹＬ１に詰めら
れた酸素ガスＯ2が、使用されている。In FIG. 1 , reference numeral 11 denotes a first supply line to which oxygen O 2 gas having a concentration of 1% is supplied at one end as a raw gas. In this case, oxygen gas O 2 packed in the cylinder CYL1 is used.
【００１８】しかして、第１の供給ライン１１には、前
記一端側から、減圧弁ＰＲ１、マスフローコントローラ
ＭＦ１１、三方弁を有する電磁弁ＳＶ１１、二方弁を有
する電磁弁ＳＶ１２が順次配置されている。Thus, in the first supply line 11, the pressure reducing valve PR1, the mass flow controller MF11, the solenoid valve SV11 having a three-way valve, and the solenoid valve SV12 having a two-way valve are sequentially arranged from the one end side. .
【００１９】１２は、一端に１６００ｐｐｍの濃度の一
酸化炭素ガスＣＯが、原ガスとして供給される第２の供
給ラインである。この場合は、シリンダーＣＹＬ２に詰
められた一酸化炭素ガスＣＯが、使用されている。Reference numeral 12 denotes a second supply line at one end of which 1600 ppm of carbon monoxide gas CO is supplied as a raw gas. In this case, carbon monoxide gas CO packed in the cylinder CYL2 is used.
【００２０】しかして、第２の供給ライン２には、前記
一端側から、減圧弁ＰＲ２、マスフローコントローラＭ
Ｆ１２、三方弁を有する電磁弁ＳＶ２１、二方弁を有す
る電磁弁ＳＶ２２が順次配置されている。The second supply line 2 is connected to the pressure reducing valve PR2 and the mass flow controller M from the one end.
F12, a solenoid valve SV21 having a three-way valve, and a solenoid valve SV22 having a two-way valve are sequentially arranged.
【００２１】１３は、一端に３．２％の濃度のメタンＣ
Ｈ4が、原ガスとして供給される第３の供給ラインであ
る。この場合は、シリンダーＣＹＬ３に詰められたメタ
ンＣＨ 4が、使用されている。13 is,3.2% methane C at one end
HFourIs a third supply line supplied as raw gas.
You. In this case, the meta packed in the cylinder CYL3
CH FourIs used.
【００２２】しかして、第３の供給ライン３には、前記
一端側から、減圧弁ＰＲ３、マスフローコントローラＭ
Ｆ１３、三方弁を有する電磁弁ＳＶ３１、二方弁を有す
る電磁弁ＳＶ３２が順次配置されている。The third supply line 3 is connected to the pressure reducing valve PR3 and the mass flow controller M from the one end.
F13, a solenoid valve SV31 having a three-way valve, and a solenoid valve SV32 having a two-way valve are sequentially arranged.
【００２３】１４は、一端に空気が、原ガスとして供給
される第４の供給ラインである。この場合は、計装用の
空気ＡＩＲが、使用されている。しかして、第４の供給
ライン４には、前記一端側から、減圧弁ＰＲ４、マスフ
ローコントローラＭＦ１４、三方弁を有する電磁弁ＳＶ
４１、二方弁を有する電磁弁ＳＶ４２が順次配置されて
いる。Reference numeral 14 denotes a fourth supply line to which air is supplied as one source gas at one end. In this case, instrument air AIR is used. The fourth supply line 4 is provided with a pressure reducing valve PR4, a mass flow controller MF14, and a solenoid valve SV having a three-way valve from the one end side.
41, an electromagnetic valve SV42 having a two-way valve is sequentially arranged.
【００２４】１５は、第１〜第４の供給ラインの他端
が、一端に接続され他端より所定の混合ガスＰ１ｍｉｘ
が出力される混合ラインである。しかして、混合ライン
１５には、フローメータＦＭ１が、配置されている。Reference numeral 15 denotes the other end of the first to fourth supply lines connected to one end and a predetermined mixed gas P1mix from the other end.
Is a mixing line that is output. Thus, in the mixing line 15, the flow meter FM1 is arranged.
【００２５】一方、シーケンサＳＫからの信号線が、マ
スフローコントローラＭＦ１１〜ＭＦ１４、三方弁を有
する電磁弁ＳＶ１１〜ＳＶ４１、二方弁を有する電磁弁
ＳＶ１２〜ＳＶ４２に接続されている。On the other hand, signal lines from the sequencer SK are connected to mass flow controllers MF11 to MF14, solenoid valves SV11 to SV41 having a three-way valve, and solenoid valves SV12 to SV42 having a two-way valve.
【００２６】以上の構成において、あらかじめ、減圧弁
ＰＲ１〜ＰＲ４を設定して、それぞれ所定圧力の一定の
原ガス圧力が得られるようにしておく。次に、所定の混
合ガスＰ２ｍｉｘを得るには、シーケンサＳＫより信号
を与え、マスフローコントローラＭＦ１１〜ＭＦ１４の
流量を設定する。電磁弁ＳＶ１１〜ＳＶ４１、ＳＶ１２
〜ＳＶ４２にシーケンサＳＫより信号を与え、供給ライ
ン１１〜１４より混合ライン１５に原ガスを供給して、
所定の混合ガスＰ２ｍｉｘを得る。In the above configuration, the pressure reducing valves PR1 to PR4 are set in advance so that a constant raw gas pressure of a predetermined pressure can be obtained. Next, in order to obtain a predetermined mixed gas P2mix, a signal is given from the sequencer SK and the flow rates of the mass flow controllers MF11 to MF14 are set. Solenoid valves SV11 to SV41, SV12
To the SV42, supply a signal from the sequencer SK, supply the raw gas to the mixing line 15 from the supply lines 11 to 14,
A predetermined mixed gas P2mix is obtained.
【００２７】しかして、マスフローコントローラＭＦ１
１〜１４は流れを止めることが出来ないので、電磁弁Ｓ
Ｖ１１〜ＳＶ４１、ＳＶ１２〜ＳＶ４２で流れを止め
る。電磁弁ＳＶ１１〜ＳＶ４１と電磁弁ＳＶ１２〜ＳＶ
４２とを、２個直列に並べることにより、漏れに耐する
信頼性を確保する事ができる。Thus, the mass flow controller MF1
1 to 14 cannot stop the flow, so the solenoid valve S
The flow is stopped at V11 to SV41 and SV12 to SV42. Solenoid valves SV11 to SV41 and solenoid valves SV12 to SV
By arranging two of them in series, it is possible to ensure reliability against leakage.
【００２８】更に、電磁弁ＳＶ１２〜ＳＶ４２から流体
の漏れがあった場合には、三方弁を有する電磁弁ＳＶ１
１〜ＳＶ４１の大気開放口を開き、混合ライン１５側は
大気圧より高い圧力であることが通常であることを利用
して、大気開放口よりガスを逃がして、電磁弁ＳＶ１２
〜ＳＶ４２から流体の漏れを防止することも出来る。Further, when fluid leaks from the solenoid valves SV12 to SV42, the solenoid valve SV1 having a three-way valve
Opening the atmosphere opening ports of the SV1 to SV41, and utilizing the fact that the pressure on the mixing line 15 side is usually higher than the atmospheric pressure, the gas is released from the atmosphere opening port and the solenoid valve SV12 is opened.
To SV42 can be prevented from leaking.
【００２９】しかして、混合ライン１５に、フローメー
タＦＭ１を設けたので、トータル流量をチェックするこ
とができ、第１の供給ライン１１から第４の供給ライン
１４に配置されている、減圧弁ＰＲ１〜ＰＲ４、マスフ
ローコントローラＭＦ１１〜ＭＦ１４、電磁弁ＳＶ１１
〜ＳＶ４１、ＳＶ１２〜ＳＶ４２の動作チェツクをする
ことができ、信頼性が向上された混合ガス自動発生装置
が得られる。Since the flow meter FM1 is provided in the mixing line 15, the total flow rate can be checked, and the pressure reducing valve PR1 arranged from the first supply line 11 to the fourth supply line 14 can be checked. To PR4, mass flow controllers MF11 to MF14, solenoid valve SV11
To SV41 and SV12 to SV42, and an automatic mixed gas generator with improved reliability can be obtained.
【００３０】この結果、 （１）任意濃度の混合ガスを自動的に混合して発生さ
せ、且つ、混合ガスの割合や濃度を容易に自動的に変更
し得る混合ガス自動発生装置が得られる。As a result, (1) it is possible to obtain a mixed gas automatic generation device capable of automatically mixing and generating a mixed gas having an arbitrary concentration and easily changing the ratio and concentration of the mixed gas easily and automatically.
【００３１】（２）三方弁を有する電磁弁ＳＶ１１〜Ｓ
Ｖ４１と二方弁を有する電磁弁ＳＶ１２〜ＳＶ４２と
を、供給ラインの一端側から順に配置したので、２個直
列に並べることにより、漏れに対する信頼性を確保する
事ができる。(2) Solenoid valves SV11 to S having three-way valves
Since V41 and the solenoid valves SV12 to SV42 each having a two-way valve are arranged in order from one end of the supply line, by arranging two in series, it is possible to ensure reliability against leakage.
【００３２】更に、電磁弁ＳＶ１２〜ＳＶ４２から流体
の漏れがあった場合には、三方弁を有する電磁弁ＳＶ１
１〜ＳＶ４１の大気開放口を開き、混合ライン１５側は
大気圧より高い圧力であることが通常であることを利用
して、大気開放口よりガスを逃がして、電磁弁ＳＶ１２
〜ＳＶ４２から流体の漏れを防止することも出来る。Further, if fluid leaks from the solenoid valves SV12 to SV42, the solenoid valve SV1 having a three-way valve
Opening the atmosphere opening ports of the SV1 to SV41, and utilizing the fact that the pressure on the mixing line 15 side is usually higher than the atmospheric pressure, the gas is released from the atmosphere opening port and the solenoid valve SV12 is opened.
To SV42 can be prevented from leaking.
【００３３】（３）混合ライン１５に、フローメータＦ
Ｍ１を設けたので、トータル流量をチェックすることが
でき、供給ライン１１〜１４に配置されている、各部品
ＰＲ１〜ＰＲ４、ＭＦ１１〜ＭＦ１４、ＳＶ１１〜ＳＶ
４１、ＳＶ１２〜ＳＶ４２の動作チェツクをすることが
でき、信頼性が向上された混合ガス自動発生装置が得ら
れる。(3) Flow meter F
Since the M1 is provided, the total flow rate can be checked, and the components PR1 to PR4, MF11 to MF14, SV11 to SV arranged in the supply lines 11 to 14 are provided.
41, the operation of SV12 to SV42 can be checked, and an automatic mixed gas generator with improved reliability can be obtained.
【００３４】なお、前述の実施例においては、電磁弁Ｓ
Ｖ１１〜ＳＶ４１と電磁弁ＳＶ１２〜ＳＶ４２とは、直
列に配置されていると説明したが、これに限ることはな
く、信頼性は低下するが、電磁弁ＳＶ１２〜ＳＶ４２が
それぞれ１個のみ配置されても良いことは勿論である。In the above embodiment, the solenoid valve S
Although V11 to SV41 and the solenoid valves SV12 to SV42 have been described as being arranged in series, the present invention is not limited to this, and the reliability is reduced. However, only one solenoid valve SV12 to SV42 is arranged. Of course, it is also good.
【００３５】また、前述の実施例においては、混合ライ
ン１５にフローメータＦＭ１が配置されていると説明し
たが、信頼性は低下するが、無くても良いことは勿論で
ある。In the above-described embodiment, the flow meter FM1 has been described as being disposed in the mixing line 15. However, the reliability is lowered, but it goes without saying that the flow meter FM1 may be omitted.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明は、 （１）特許請求の範囲の請求項１によれば、任意濃度の
混合ガスを自動的に混合して発生させ、且つ、混合ガス
の割合や濃度を容易に自動的に変更し得る混合ガス自動
発生装置が得られる。As described in detail above, the present invention provides: (1) According to the first aspect of the present invention, a mixed gas having an arbitrary concentration is automatically mixed and generated; An automatic mixed gas generator capable of easily and automatically changing the ratio and concentration of gas is obtained.
【００３７】（２）特許請求の範囲の請求項２によれ
ば、三方弁を有する電磁弁と二方弁を有する電磁弁と
を、供給ラインの一端側から順に配置したので、２個直
列に並べることにより、漏れに対する信頼性を確保する
事ができる。(2) According to the second aspect of the present invention, the solenoid valve having the three-way valve and the solenoid valve having the two-way valve are arranged in this order from one end of the supply line. By arranging them, reliability against leakage can be ensured.
【００３８】更に、電磁弁から流体の漏れがあった場合
には、三方弁を有する電磁弁の大気開放口を開き、混合
ライン側は大気圧より高い圧力であることが通常である
ことを利用して、大気開放口よりガスを逃がして、電磁
弁から流体の漏れを防止することも出来る。Further, when fluid leaks from the solenoid valve, the air opening of the solenoid valve having the three-way valve is opened, and the fact that the pressure on the mixing line side is usually higher than the atmospheric pressure is utilized. Then, the gas can escape from the air opening, and the leakage of the fluid from the solenoid valve can be prevented.
【００３９】（３）特許請求の範囲の請求項３によれ
ば、混合ラインに、フローメータを設けたので、トータ
ル流量をチェックすることができ、供給ラインに配置さ
れている、各部品の動作チェツクをすることができ、信
頼性が向上された混合ガス自動発生装置が得られる。(3) According to the third aspect of the present invention, since the flow meter is provided in the mixing line, the total flow rate can be checked, and the operation of each component disposed in the supply line can be checked. It is possible to check and to obtain an automatic mixed gas generator with improved reliability.
【００４０】従って、本発明によれば、任意濃度の混合
ガスを自動的に混合して発生させ、且つ、混合ガスの割
合や濃度を自動的に変更し得る混合ガス自動発生装置を
実現することが出来る。Therefore, according to the present invention, it is possible to realize a mixed gas automatic generation device capable of automatically mixing and generating a mixed gas having an arbitrary concentration and automatically changing the ratio and concentration of the mixed gas. Can be done.
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a main part configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a configuration of a conventional example generally used in the related art.
１１ 第１の供給ライン １２ 第２の供給ライン １３ 第３の供給ライン １４ 第４の供給ライン １５ 混合ライン ＳＫ シーケンサ ＣＹＬ１、ＣＹＬ２、ＣＹＬ３ シリンダ ＰＲ１、ＰＲ２、ＰＲ３、ＰＲ４ 減圧弁 ＭＦ１１、ＭＦ１２、ＭＦ１３、ＭＦ１４ マスフロー
コントローラ ＳＶ１１、ＳＶ１２、ＳＶ２１、ＳＶ２２、ＳＶ３１、
ＳＶ３２、ＳＶ４１、ＳＶ４２ 電磁弁 ＦＭ１ フローメータ11 1st supply line 12 2nd supply line 13 3rd supply line 14 4th supply line 15 mixing line SK sequencer CYL1, CYL2, CYL3 cylinder PR1, PR2, PR3, PR4 Pressure reducing valve MF11, MF12, MF13, MF14 mass flow controller SV11, SV12, SV21, SV22, SV31,
SV32, SV41, SV42 Solenoid valve FM1 Flow meter
Claims (3)
れる複数の供給ラインと、 該複数の供給ラインの他端が一端に接続され他端より所
定の混合ガスが出力される混合ラインとを具備する混合
ガス自動発生装置において、 前記それぞれの供給ラインの前記一端側から減圧弁、マ
スフローコントローラ、電磁弁の順に配置された供給ラ
インと、 前記マスフローコントローラ、電磁弁に動作信号を送る
シーケンサとを具備したことを特徴とする混合ガス自動
発生装置。A plurality of supply lines each having one end supplied with a raw gas having a predetermined concentration; a mixing line having the other ends of the plurality of supply lines connected to one end and outputting a predetermined mixed gas from the other end; In the automatic mixed gas generator comprising: a supply line arranged in the order of the pressure reducing valve, the mass flow controller, and the solenoid valve from the one end side of each of the supply lines; and a sequencer that sends an operation signal to the mass flow controller and the solenoid valve. An automatic mixed gas generator characterized by comprising:
一端側から３方電磁弁と２方電磁弁とが順に配置された
供給ラインを具備したことを特徴とする請求項１記載の
混合ガス自動発生装置。2. The mixed gas according to claim 1, wherein the solenoid valve includes a supply line in which a three-way solenoid valve and a two-way solenoid valve are arranged in order from the one end of the supply line. Automatic generator.
たことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の混合ガ
ス自動発生装置。3. The automatic mixed gas generator according to claim 1, wherein a flow meter is provided in the mixing line.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8183396A JPH1024226A (en) | 1996-07-12 | 1996-07-12 | Automatic gaseous mixture generator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8183396A JPH1024226A (en) | 1996-07-12 | 1996-07-12 | Automatic gaseous mixture generator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1024226A true JPH1024226A (en) | 1998-01-27 |
Family
ID=16135053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8183396A Pending JPH1024226A (en) | 1996-07-12 | 1996-07-12 | Automatic gaseous mixture generator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1024226A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11285628A (en) * | 1998-04-02 | 1999-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gas mixing device and production of gas discharge panel |
| CN104043375A (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-17 | 宝山钢铁股份有限公司 | Mixing equipment for high pressure natural gas and low pressure coal gas and mixing method |
| CN106731936A (en) * | 2017-01-07 | 2017-05-31 | 河南工程学院 | A kind of coal mine underground gas configuration experimental provision for automatically controlling |
| CN111266026A (en) * | 2020-02-11 | 2020-06-12 | 哈尔滨焊接研究院有限公司 | Automatic mixed gas proportioning device for gas shielded welding and proportioning method thereof |
| CN112191117A (en) * | 2020-09-21 | 2021-01-08 | 上海仪器仪表自控系统检验测试所有限公司 | Blending device and blending method for multiple combustible gases |
-
1996
- 1996-07-12 JP JP8183396A patent/JPH1024226A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11285628A (en) * | 1998-04-02 | 1999-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gas mixing device and production of gas discharge panel |
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| CN106731936A (en) * | 2017-01-07 | 2017-05-31 | 河南工程学院 | A kind of coal mine underground gas configuration experimental provision for automatically controlling |
| CN111266026A (en) * | 2020-02-11 | 2020-06-12 | 哈尔滨焊接研究院有限公司 | Automatic mixed gas proportioning device for gas shielded welding and proportioning method thereof |
| CN112191117A (en) * | 2020-09-21 | 2021-01-08 | 上海仪器仪表自控系统检验测试所有限公司 | Blending device and blending method for multiple combustible gases |
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