JPH11281837A - 光導波路デバイス - Google Patents

光導波路デバイス

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JPH11281837A
JPH11281837A JP8634298A JP8634298A JPH11281837A JP H11281837 A JPH11281837 A JP H11281837A JP 8634298 A JP8634298 A JP 8634298A JP 8634298 A JP8634298 A JP 8634298A JP H11281837 A JPH11281837 A JP H11281837A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical waveguide
waveguide layer
light
waveguide device
laser light
Prior art date
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Pending
Application number
JP8634298A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinji Fukumoto
真次 福本
Shinji Maruyama
眞示 丸山
Naoki Nishida
直樹 西田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 安価な手段で光導波層の周囲からの漏れ光を
効果的に除去することのできる光導波路デバイスを得
る。 【解決手段】 基板10上に光学バッファ層11を介し
て光導波層20を積層し、この光導波層20上に光入力
用グレーティング21と光出力用グレーティング22を
形成した光導波路デバイス。少なくとも光導波層20の
全周端面20a,20b,20c,20dには墨、カー
ボン塗料等のレーザ光吸収材25が付与されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路デバイ
ス、特に、基板上に光導波層を積層し、レーザ光を入出
力する光導波路デバイスに関する。
【0002】
【従来の技術と課題】一般に、光導波路デバイスは、基
板上あるいは基板に形成した低屈折率層(光学バッファ
層)上に高屈折率の光導波層を設け、光導波層の表面は
空気(低屈折率層)とし、半導体レーザから放射された
レーザ光を光導波層に入力して導波させ、光導波層から
出力させる。レーザ光を光導波層に入力又は出力させる
結合は、プリズムを用いること、光導波層端面を用いる
こと及びグレーティングを用いること等が実用に供され
ている。
【0003】しかしながら、従来の光結合方法では、光
結合時にどうしても散乱光が発生して光導波層の周囲に
漏れるし、光が導波する際にも漏れ光が発生し、この漏
れ光が実用上の障害となっていた。光が漏れる端面を荒
らすことが考えられるが、微量の光が漏れてしまうこと
まで解決できず、また製作プロセスが複雑でコストが上
昇してしまう。
【0004】そこで、本発明の目的は、安価な手段で光
導波層の周囲からの漏れ光を効果的に除去することので
きる光導波路デバイスを提供することにある。
【0005】
【発明の構成、作用及び効果】以上の目的を達成するた
め、本発明に係る光導波路デバイスにおいては、光導波
層の全周端面に、光入力部又は光出力部を除いて、レー
ザ光吸収材を設けるようにした。
【0006】本発明においては、レーザ光吸収材によっ
て光導波層の端面からのレーザ光の漏れが防止され、こ
の種の光導波路デバイスの実用上の障害を取り除くこと
ができる。しかも、本発明は光導波層の端面に墨等の塗
料を塗る、シールを貼るという簡単で安価な手段で漏れ
光の発生を防止することができる。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光導波路デバ
イスの実施形態について添付図面を参照して説明する。
【0008】(第1実施形態、図1参照)図1に示すよ
うに、本発明の第1実施形態である光導波路デバイス
は、シリコン基板10の表面に、熱酸化法等にて光学バ
ッファ層としてのSiO2層11を形成し、その上にZ
nOをスパッタ法等で成膜して光導波層20を積層した
もので、光導波層20の表面にはグレーティング21,
22が形成されている。このグレーティング21,22
は周知のものであり、図示しないレーザ光源ユニットか
ら放射されたレーザ光はグレーティング21から光導波
層20へ入射し、光導波層20を伝搬してグレーティン
グ22から再び空気中に出射される。
【0009】より詳しくは、グレーティング21,22
はフォトリソグラフィ、ドライエッチング等によって
0.6μmの周期で形成した。光導波層20の膜厚は
1.6μmとした。光源としてHe−Neレーザを使用
してレーザ光を入射、出射させたところ、導波光の一部
及びグレーティングカプラでの散乱による不要光がデバ
イス外へ漏れていた。そこで、本第1実施形態では、光
導波層20の全周端面20a,20b,20c,20d
にレーザ光吸収材25、具体的には、墨を図1に斜線を
付したように塗布することで漏れ光を除去するようにし
た。
【0010】レーザ吸収材としては、墨以外の塗料とし
て、カーボン等を含む種々の有機/無機の塗料を使用で
き、あるいはこの種の塗料を含むテープを端面20a,
20b,20c,20dに貼着してもよい。
【0011】(第2実施形態、図2参照)図2に示すよ
うに、本発明の第2実施形態である光導波路デバイス
は、ガラス基板10の表面に、SiNをスパッタ法等で
成膜して光導波層20を積層したもので、光導波層20
の端面20cの中央部に半導体レーザを含む光源ユニッ
ト31を直結して端面入力方式とし、出力部にはルチル
プリズム32を設けた。
【0012】光導波層20の膜厚を2.0μmとして、
光源ユニット31から波長670nmのレーザ光を光導
波層20へ入射し、光導波層20を伝搬させてルチルプ
リズム32から出射させたところ、導波光の一部及び端
面結合部分、プリズム結合部分での散乱による不要光が
デバイス外へ漏れていた。そこで、本第2実施形態で
は、光導波路デバイスの側面20a,20b,20dの
全面、端面20cにあっては光源ユニット31を取り付
けた部分以外の面にレーザ光吸収材25を図2に斜線を
付したように塗布することで漏れ光を除去するようにし
た。光が通るのは光導波層だけであるが、基板にレーザ
光吸収材25を塗布しても差し支えなく、また、基板と
一緒に塗布する方が作業は容易である。なお、レーザ光
吸収材に関しては第1実施形態で説明したとおりであ
る。
【0013】(他の実施形態)なお、本発明に係る光導
波路デバイスは前記実施形態に限定するものではなく、
その要旨の範囲内で種々に変更することができる。特
に、散乱光の漏れは各種の光結合手段において不可避的
に発生するものであり、本発明は前記実施形態で例示し
たグレーティングカプラ等以外の光結合手段に対しても
有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態である光導波路デバイス
を示す斜視図。
【図2】本発明の第2実施形態である光導波路デバイス
を示す斜視図。
【符号の説明】
10…基板 20…光導波層 20a,20b,20c,20d…端面 21,22…グレーティング 25…レーザ光吸収材 31…光源ユニット 32…ルチルプリズム

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に光導波層を積層してなる光導波
    路と、レーザ光を前記光導波層に入力する光入力部と、
    レーザ光を前記光導波層から出力する光出力部との少な
    くとも一方を備えた光導波路デバイスにおいて、少なく
    とも前記光導波層の全周端面に、光入力部又は光出力部
    を除いて、レーザ光吸収材を設けたことを特徴とする光
    導波路デバイス。
  2. 【請求項2】 前記レーザ光吸収材は黒色の塗料である
    ことを特徴とする請求項1記載の光導波路デバイス。
JP8634298A 1998-03-31 1998-03-31 光導波路デバイス Pending JPH11281837A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111226157A (zh) * 2017-10-13 2020-06-02 康宁股份有限公司 用于增强现实系统的基于波导的光学系统和方法
WO2022210855A1 (ja) * 2021-03-31 2022-10-06 住友大阪セメント株式会社 光導波路素子とそれを用いた光変調デバイス並びに光送信装置
US11513372B2 (en) 2018-06-12 2022-11-29 Magic Leap, Inc. Edge sealant application for optical devices

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