JPH11281837A - 光導波路デバイス - Google Patents
光導波路デバイスInfo
- Publication number
- JPH11281837A JPH11281837A JP8634298A JP8634298A JPH11281837A JP H11281837 A JPH11281837 A JP H11281837A JP 8634298 A JP8634298 A JP 8634298A JP 8634298 A JP8634298 A JP 8634298A JP H11281837 A JPH11281837 A JP H11281837A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- waveguide layer
- light
- waveguide device
- laser light
- Prior art date
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- Pending
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 安価な手段で光導波層の周囲からの漏れ光を
効果的に除去することのできる光導波路デバイスを得
る。 【解決手段】 基板１０上に光学バッファ層１１を介し
て光導波層２０を積層し、この光導波層２０上に光入力
用グレーティング２１と光出力用グレーティング２２を
形成した光導波路デバイス。少なくとも光導波層２０の
全周端面２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄには墨、カー
ボン塗料等のレーザ光吸収材２５が付与されている。
効果的に除去することのできる光導波路デバイスを得
る。 【解決手段】 基板１０上に光学バッファ層１１を介し
て光導波層２０を積層し、この光導波層２０上に光入力
用グレーティング２１と光出力用グレーティング２２を
形成した光導波路デバイス。少なくとも光導波層２０の
全周端面２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄには墨、カー
ボン塗料等のレーザ光吸収材２５が付与されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路デバイ
ス、特に、基板上に光導波層を積層し、レーザ光を入出
力する光導波路デバイスに関する。
ス、特に、基板上に光導波層を積層し、レーザ光を入出
力する光導波路デバイスに関する。
【０００２】
【従来の技術と課題】一般に、光導波路デバイスは、基
板上あるいは基板に形成した低屈折率層（光学バッファ
層）上に高屈折率の光導波層を設け、光導波層の表面は
空気（低屈折率層）とし、半導体レーザから放射された
レーザ光を光導波層に入力して導波させ、光導波層から
出力させる。レーザ光を光導波層に入力又は出力させる
結合は、プリズムを用いること、光導波層端面を用いる
こと及びグレーティングを用いること等が実用に供され
ている。
板上あるいは基板に形成した低屈折率層（光学バッファ
層）上に高屈折率の光導波層を設け、光導波層の表面は
空気（低屈折率層）とし、半導体レーザから放射された
レーザ光を光導波層に入力して導波させ、光導波層から
出力させる。レーザ光を光導波層に入力又は出力させる
結合は、プリズムを用いること、光導波層端面を用いる
こと及びグレーティングを用いること等が実用に供され
ている。
【０００３】しかしながら、従来の光結合方法では、光
結合時にどうしても散乱光が発生して光導波層の周囲に
漏れるし、光が導波する際にも漏れ光が発生し、この漏
れ光が実用上の障害となっていた。光が漏れる端面を荒
らすことが考えられるが、微量の光が漏れてしまうこと
まで解決できず、また製作プロセスが複雑でコストが上
昇してしまう。
結合時にどうしても散乱光が発生して光導波層の周囲に
漏れるし、光が導波する際にも漏れ光が発生し、この漏
れ光が実用上の障害となっていた。光が漏れる端面を荒
らすことが考えられるが、微量の光が漏れてしまうこと
まで解決できず、また製作プロセスが複雑でコストが上
昇してしまう。
【０００４】そこで、本発明の目的は、安価な手段で光
導波層の周囲からの漏れ光を効果的に除去することので
きる光導波路デバイスを提供することにある。
導波層の周囲からの漏れ光を効果的に除去することので
きる光導波路デバイスを提供することにある。
【０００５】
【発明の構成、作用及び効果】以上の目的を達成するた
め、本発明に係る光導波路デバイスにおいては、光導波
層の全周端面に、光入力部又は光出力部を除いて、レー
ザ光吸収材を設けるようにした。
め、本発明に係る光導波路デバイスにおいては、光導波
層の全周端面に、光入力部又は光出力部を除いて、レー
ザ光吸収材を設けるようにした。
【０００６】本発明においては、レーザ光吸収材によっ
て光導波層の端面からのレーザ光の漏れが防止され、こ
の種の光導波路デバイスの実用上の障害を取り除くこと
ができる。しかも、本発明は光導波層の端面に墨等の塗
料を塗る、シールを貼るという簡単で安価な手段で漏れ
光の発生を防止することができる。
て光導波層の端面からのレーザ光の漏れが防止され、こ
の種の光導波路デバイスの実用上の障害を取り除くこと
ができる。しかも、本発明は光導波層の端面に墨等の塗
料を塗る、シールを貼るという簡単で安価な手段で漏れ
光の発生を防止することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光導波路デバ
イスの実施形態について添付図面を参照して説明する。
イスの実施形態について添付図面を参照して説明する。
【０００８】（第１実施形態、図１参照）図１に示すよ
うに、本発明の第１実施形態である光導波路デバイス
は、シリコン基板１０の表面に、熱酸化法等にて光学バ
ッファ層としてのＳｉＯ2層１１を形成し、その上にＺ
ｎＯをスパッタ法等で成膜して光導波層２０を積層した
もので、光導波層２０の表面にはグレーティング２１，
２２が形成されている。このグレーティング２１，２２
は周知のものであり、図示しないレーザ光源ユニットか
ら放射されたレーザ光はグレーティング２１から光導波
層２０へ入射し、光導波層２０を伝搬してグレーティン
グ２２から再び空気中に出射される。
うに、本発明の第１実施形態である光導波路デバイス
は、シリコン基板１０の表面に、熱酸化法等にて光学バ
ッファ層としてのＳｉＯ2層１１を形成し、その上にＺ
ｎＯをスパッタ法等で成膜して光導波層２０を積層した
もので、光導波層２０の表面にはグレーティング２１，
２２が形成されている。このグレーティング２１，２２
は周知のものであり、図示しないレーザ光源ユニットか
ら放射されたレーザ光はグレーティング２１から光導波
層２０へ入射し、光導波層２０を伝搬してグレーティン
グ２２から再び空気中に出射される。
【０００９】より詳しくは、グレーティング２１，２２
はフォトリソグラフィ、ドライエッチング等によって
０．６μｍの周期で形成した。光導波層２０の膜厚は
１．６μｍとした。光源としてＨｅ−Ｎｅレーザを使用
してレーザ光を入射、出射させたところ、導波光の一部
及びグレーティングカプラでの散乱による不要光がデバ
イス外へ漏れていた。そこで、本第１実施形態では、光
導波層２０の全周端面２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ
にレーザ光吸収材２５、具体的には、墨を図１に斜線を
付したように塗布することで漏れ光を除去するようにし
た。
はフォトリソグラフィ、ドライエッチング等によって
０．６μｍの周期で形成した。光導波層２０の膜厚は
１．６μｍとした。光源としてＨｅ−Ｎｅレーザを使用
してレーザ光を入射、出射させたところ、導波光の一部
及びグレーティングカプラでの散乱による不要光がデバ
イス外へ漏れていた。そこで、本第１実施形態では、光
導波層２０の全周端面２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ
にレーザ光吸収材２５、具体的には、墨を図１に斜線を
付したように塗布することで漏れ光を除去するようにし
た。
【００１０】レーザ吸収材としては、墨以外の塗料とし
て、カーボン等を含む種々の有機／無機の塗料を使用で
き、あるいはこの種の塗料を含むテープを端面２０ａ，
２０ｂ，２０ｃ，２０ｄに貼着してもよい。
て、カーボン等を含む種々の有機／無機の塗料を使用で
き、あるいはこの種の塗料を含むテープを端面２０ａ，
２０ｂ，２０ｃ，２０ｄに貼着してもよい。
【００１１】（第２実施形態、図２参照）図２に示すよ
うに、本発明の第２実施形態である光導波路デバイス
は、ガラス基板１０の表面に、ＳｉＮをスパッタ法等で
成膜して光導波層２０を積層したもので、光導波層２０
の端面２０ｃの中央部に半導体レーザを含む光源ユニッ
ト３１を直結して端面入力方式とし、出力部にはルチル
プリズム３２を設けた。
うに、本発明の第２実施形態である光導波路デバイス
は、ガラス基板１０の表面に、ＳｉＮをスパッタ法等で
成膜して光導波層２０を積層したもので、光導波層２０
の端面２０ｃの中央部に半導体レーザを含む光源ユニッ
ト３１を直結して端面入力方式とし、出力部にはルチル
プリズム３２を設けた。
【００１２】光導波層２０の膜厚を２．０μｍとして、
光源ユニット３１から波長６７０ｎｍのレーザ光を光導
波層２０へ入射し、光導波層２０を伝搬させてルチルプ
リズム３２から出射させたところ、導波光の一部及び端
面結合部分、プリズム結合部分での散乱による不要光が
デバイス外へ漏れていた。そこで、本第２実施形態で
は、光導波路デバイスの側面２０ａ，２０ｂ，２０ｄの
全面、端面２０ｃにあっては光源ユニット３１を取り付
けた部分以外の面にレーザ光吸収材２５を図２に斜線を
付したように塗布することで漏れ光を除去するようにし
た。光が通るのは光導波層だけであるが、基板にレーザ
光吸収材２５を塗布しても差し支えなく、また、基板と
一緒に塗布する方が作業は容易である。なお、レーザ光
吸収材に関しては第１実施形態で説明したとおりであ
る。
光源ユニット３１から波長６７０ｎｍのレーザ光を光導
波層２０へ入射し、光導波層２０を伝搬させてルチルプ
リズム３２から出射させたところ、導波光の一部及び端
面結合部分、プリズム結合部分での散乱による不要光が
デバイス外へ漏れていた。そこで、本第２実施形態で
は、光導波路デバイスの側面２０ａ，２０ｂ，２０ｄの
全面、端面２０ｃにあっては光源ユニット３１を取り付
けた部分以外の面にレーザ光吸収材２５を図２に斜線を
付したように塗布することで漏れ光を除去するようにし
た。光が通るのは光導波層だけであるが、基板にレーザ
光吸収材２５を塗布しても差し支えなく、また、基板と
一緒に塗布する方が作業は容易である。なお、レーザ光
吸収材に関しては第１実施形態で説明したとおりであ
る。
【００１３】（他の実施形態）なお、本発明に係る光導
波路デバイスは前記実施形態に限定するものではなく、
その要旨の範囲内で種々に変更することができる。特
に、散乱光の漏れは各種の光結合手段において不可避的
に発生するものであり、本発明は前記実施形態で例示し
たグレーティングカプラ等以外の光結合手段に対しても
有効である。
波路デバイスは前記実施形態に限定するものではなく、
その要旨の範囲内で種々に変更することができる。特
に、散乱光の漏れは各種の光結合手段において不可避的
に発生するものであり、本発明は前記実施形態で例示し
たグレーティングカプラ等以外の光結合手段に対しても
有効である。
【図１】本発明の第１実施形態である光導波路デバイス
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図２】本発明の第２実施形態である光導波路デバイス
を示す斜視図。
を示す斜視図。
１０…基板 ２０…光導波層 ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ…端面 ２１，２２…グレーティング ２５…レーザ光吸収材 ３１…光源ユニット ３２…ルチルプリズム
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上に光導波層を積層してなる光導波
路と、レーザ光を前記光導波層に入力する光入力部と、
レーザ光を前記光導波層から出力する光出力部との少な
くとも一方を備えた光導波路デバイスにおいて、少なく
とも前記光導波層の全周端面に、光入力部又は光出力部
を除いて、レーザ光吸収材を設けたことを特徴とする光
導波路デバイス。 - 【請求項２】 前記レーザ光吸収材は黒色の塗料である
ことを特徴とする請求項１記載の光導波路デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8634298A JPH11281837A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 光導波路デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8634298A JPH11281837A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 光導波路デバイス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11281837A true JPH11281837A (ja) | 1999-10-15 |
Family
ID=13884194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8634298A Pending JPH11281837A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 光導波路デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11281837A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111226157A (zh) * | 2017-10-13 | 2020-06-02 | 康宁股份有限公司 | 用于增强现实系统的基于波导的光学系统和方法 |
| WO2022210855A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子とそれを用いた光変調デバイス並びに光送信装置 |
| US11513372B2 (en) | 2018-06-12 | 2022-11-29 | Magic Leap, Inc. | Edge sealant application for optical devices |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP8634298A patent/JPH11281837A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111226157A (zh) * | 2017-10-13 | 2020-06-02 | 康宁股份有限公司 | 用于增强现实系统的基于波导的光学系统和方法 |
| CN111226157B (zh) * | 2017-10-13 | 2022-06-17 | 康宁股份有限公司 | 用于增强现实系统的基于波导的光学系统和方法 |
| US11513372B2 (en) | 2018-06-12 | 2022-11-29 | Magic Leap, Inc. | Edge sealant application for optical devices |
| WO2022210855A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子とそれを用いた光変調デバイス並びに光送信装置 |
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