JPH11281466A - 液面レベルセンサ - Google Patents
液面レベルセンサInfo
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- JPH11281466A JPH11281466A JP10081999A JP8199998A JPH11281466A JP H11281466 A JPH11281466 A JP H11281466A JP 10081999 A JP10081999 A JP 10081999A JP 8199998 A JP8199998 A JP 8199998A JP H11281466 A JPH11281466 A JP H11281466A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
- G01F23/30—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by floats
- G01F23/32—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by floats using rotatable arms or other pivotable transmission elements
- G01F23/38—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by floats using rotatable arms or other pivotable transmission elements using magnetically actuated indicating means
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高精度で高信頼性であり、しかも検出範囲が
広い液面レベルセンサを提供する。 【解決手段】 フロートアーム3は、液面に浮かぶフロ
ート2に取り付けられ、フロート2の上下動によって回
転軸11を中心に回動し、円板状の磁性体製カム21
は、回転軸11に取り付けられ、フロートアーム3の回
動に伴って回動すると共に、その回動角度に応じて径が
徐々に変化し、磁気センサ23は、カム21と対向配置
され、カム21の回動角度に応じてカム21との距離が
変化したとき、その距離変化に基づき液面のレベルを検
出する。磁気センサ23は、側壁4dを仕切って筐体部
4cに密閉される。
広い液面レベルセンサを提供する。 【解決手段】 フロートアーム3は、液面に浮かぶフロ
ート2に取り付けられ、フロート2の上下動によって回
転軸11を中心に回動し、円板状の磁性体製カム21
は、回転軸11に取り付けられ、フロートアーム3の回
動に伴って回動すると共に、その回動角度に応じて径が
徐々に変化し、磁気センサ23は、カム21と対向配置
され、カム21の回動角度に応じてカム21との距離が
変化したとき、その距離変化に基づき液面のレベルを検
出する。磁気センサ23は、側壁4dを仕切って筐体部
4cに密閉される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、貯液槽に貯留した
各種液体の液面レベルを検出する液面レベルセンサに関
する。
各種液体の液面レベルを検出する液面レベルセンサに関
する。
【0002】
【従来の技術】貯液槽に貯留した各種液体の液面レベル
を検出する液面レベルセンサとして、例えば、特開平8
−94413号公報に記載された液面レベル測定装置が
知られている。
を検出する液面レベルセンサとして、例えば、特開平8
−94413号公報に記載された液面レベル測定装置が
知られている。
【0003】この液面レベル測定装置の断面図を図8に
示す。この液面レベル測定装置は、フロート式レベルセ
ンサであり、液面に浮かぶフロート2には回動するフロ
ートアーム3の先端部が連結され、このフロートアーム
3の後端部には回動自在に支承された回転軸11が取り
付けられている。
示す。この液面レベル測定装置は、フロート式レベルセ
ンサであり、液面に浮かぶフロート2には回動するフロ
ートアーム3の先端部が連結され、このフロートアーム
3の後端部には回動自在に支承された回転軸11が取り
付けられている。
【0004】また、液面レベル測定装置は、回転軸11
を軸支する筐体部4の側壁4a、回転軸11と同軸にし
てフロートアーム3の後端部に一側面側を露出して埋設
され側壁4aと側壁4bとで囲まれた筐体部4の内部空
間に収められた永久磁石12、この回転軸と同軸上で対
向配置して側壁4bで仕切られると共に密閉された空間
部内に収められた磁気抵抗素子13を備えて構成され
る。
を軸支する筐体部4の側壁4a、回転軸11と同軸にし
てフロートアーム3の後端部に一側面側を露出して埋設
され側壁4aと側壁4bとで囲まれた筐体部4の内部空
間に収められた永久磁石12、この回転軸と同軸上で対
向配置して側壁4bで仕切られると共に密閉された空間
部内に収められた磁気抵抗素子13を備えて構成され
る。
【0005】永久磁石12は、回転軸11に取り付けら
れ、フロートアーム3の回転とともに同じ角度で同一方
向に回転する。磁気抵抗素子13は、永久磁石12の回
転に伴って永久磁石12の磁界の向きが変化して抵抗値
が変化する。
れ、フロートアーム3の回転とともに同じ角度で同一方
向に回転する。磁気抵抗素子13は、永久磁石12の回
転に伴って永久磁石12の磁界の向きが変化して抵抗値
が変化する。
【0006】このような構成によれば、図10の液面レ
ベル測定装置の概略構成図に示すように、タンク17内
の液体の液面18にフロート2が浮かび、液面18のレ
ベルの上昇に応じて、フロートアーム3がO(回転軸1
1)を中心として回転(フロートアーム角度が−90°
から+90°までの180°)してフロート2が円弧状
の軌跡Q1を描く。
ベル測定装置の概略構成図に示すように、タンク17内
の液体の液面18にフロート2が浮かび、液面18のレ
ベルの上昇に応じて、フロートアーム3がO(回転軸1
1)を中心として回転(フロートアーム角度が−90°
から+90°までの180°)してフロート2が円弧状
の軌跡Q1を描く。
【0007】このとき、永久磁石12も回転するので、
永久磁石12の回転に伴って永久磁石12の磁界の向き
が変化するから、磁気抵抗素子13の抵抗値が変化す
る。そして、この抵抗値変化をセンサ出力として取り出
し、このセンサ出力の値により液面のレベルを測定する
ことができる。
永久磁石12の回転に伴って永久磁石12の磁界の向き
が変化するから、磁気抵抗素子13の抵抗値が変化す
る。そして、この抵抗値変化をセンサ出力として取り出
し、このセンサ出力の値により液面のレベルを測定する
ことができる。
【0008】図9にフロートアームの回転角に対するセ
ンサ出力を示す。図9からもわかるように、回転角が約
−30°から約+30°までの範囲では、センサ出力が
直線的に変化する。
ンサ出力を示す。図9からもわかるように、回転角が約
−30°から約+30°までの範囲では、センサ出力が
直線的に変化する。
【0009】図10に液面に対するフロートアーム角度
を示す。図10からもわかるように、回転角が約−60
°から約+60°までの範囲では、液面のレベルが直線
的に変化する。
を示す。図10からもわかるように、回転角が約−60
°から約+60°までの範囲では、液面のレベルが直線
的に変化する。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
液面レベルセンサにあっては、以下のような課題を有し
ていた。
液面レベルセンサにあっては、以下のような課題を有し
ていた。
【0011】(1)永久磁石12が液体を有するタンク
内で露出するため、液体中に軟磁性体が混入している
と、この軟磁性体が永久磁石12に付着する。このた
め、永久磁石12の磁界に乱れが発生し、これによって
磁気抵抗素子の出力が変化する。すなわち、出力誤差が
発生する。
内で露出するため、液体中に軟磁性体が混入している
と、この軟磁性体が永久磁石12に付着する。このた
め、永久磁石12の磁界に乱れが発生し、これによって
磁気抵抗素子の出力が変化する。すなわち、出力誤差が
発生する。
【0012】また、永久磁石12はフロートアーム3の
回転軸11に取り付けられているため、軟磁性体が永久
磁石12に付着することで、フロートアーム3の可動に
支障をきたす。
回転軸11に取り付けられているため、軟磁性体が永久
磁石12に付着することで、フロートアーム3の可動に
支障をきたす。
【0013】(2)また、図11に示すように、液面と
フロートアーム角度とは、回転角が約−60°から約+
60°までの範囲以外の範囲では、非線形特性となる。
このため、非線形特性の範囲では、液面レベルがフロー
トアーム角度に対応して正確に測定できない。
フロートアーム角度とは、回転角が約−60°から約+
60°までの範囲以外の範囲では、非線形特性となる。
このため、非線形特性の範囲では、液面レベルがフロー
トアーム角度に対応して正確に測定できない。
【0014】また、この非線形特性を補正することもで
きなかった。
きなかった。
【0015】さらに、図12に示すような台形状のタン
ク17aでは、回転角度の範囲が180°よりも狭く、
例えば、140°ぐらいであるため、非線形特性がさら
に悪化する。
ク17aでは、回転角度の範囲が180°よりも狭く、
例えば、140°ぐらいであるため、非線形特性がさら
に悪化する。
【0016】(3)さらに、図9に示すように、フロー
トアームの回転角度に対するセンサ出力の線形特性部分
は、前述したように、約−30°から約+30°までの
範囲であるため、検出角度限界値は約60°であり、こ
の検出角度限界値を越える回転角度に対しては、検出精
度が悪くなる。
トアームの回転角度に対するセンサ出力の線形特性部分
は、前述したように、約−30°から約+30°までの
範囲であるため、検出角度限界値は約60°であり、こ
の検出角度限界値を越える回転角度に対しては、検出精
度が悪くなる。
【0017】本発明は、高精度で高信頼性であり、しか
も検出範囲が広い液面レベルセンサを提供することを課
題とする。
も検出範囲が広い液面レベルセンサを提供することを課
題とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために以下の構成とした。請求項1の発明は、液面
に浮かぶフロートに取り付けられ、フロートの上下動に
よって回転軸を中心に回動するフロートアームと、前記
回転軸に取り付けられ、前記フロートアームの回動に伴
って回動すると共に、その回動角度に応じて径が徐々に
変化する円板状の磁性体と、この磁性体と対向配置さ
れ、磁性体の回動角度に応じて磁性体との距離が変化し
たとき、その距離変化に基づき前記液面のレベルを検出
する液面検出手段と、この液面検出手段を側壁を仕切っ
て密閉した筐体部とを備えることを特徴とする。
するために以下の構成とした。請求項1の発明は、液面
に浮かぶフロートに取り付けられ、フロートの上下動に
よって回転軸を中心に回動するフロートアームと、前記
回転軸に取り付けられ、前記フロートアームの回動に伴
って回動すると共に、その回動角度に応じて径が徐々に
変化する円板状の磁性体と、この磁性体と対向配置さ
れ、磁性体の回動角度に応じて磁性体との距離が変化し
たとき、その距離変化に基づき前記液面のレベルを検出
する液面検出手段と、この液面検出手段を側壁を仕切っ
て密閉した筐体部とを備えることを特徴とする。
【0019】この発明によれば、フロートの上下動によ
ってフロートアームが回転軸を中心に回動すると、円板
状の磁性体は、フロートアームの回動に伴って回動し、
その回動角度に応じて径が徐々に変化する。そして、磁
性体の回動角度に応じて、液面検出手段と磁性体との距
離が変化したとき、液面検出手段は、その距離変化に基
づき液面のレベルを検出する。
ってフロートアームが回転軸を中心に回動すると、円板
状の磁性体は、フロートアームの回動に伴って回動し、
その回動角度に応じて径が徐々に変化する。そして、磁
性体の回動角度に応じて、液面検出手段と磁性体との距
離が変化したとき、液面検出手段は、その距離変化に基
づき液面のレベルを検出する。
【0020】すなわち、フロートアームの回動角度を、
距離に変換し、その距離変化を液面検出手段で検出する
ため、検出範囲が広くなる。また、液面検出手段を側壁
を仕切って筐体部に密閉したため、液面検出手段に軟磁
性体等が付着することがなくなり、液面検出手段の検出
出力に影響を与えることがなくるから、高信頼性及び高
精度の検出出力を得ることができる。
距離に変換し、その距離変化を液面検出手段で検出する
ため、検出範囲が広くなる。また、液面検出手段を側壁
を仕切って筐体部に密閉したため、液面検出手段に軟磁
性体等が付着することがなくなり、液面検出手段の検出
出力に影響を与えることがなくるから、高信頼性及び高
精度の検出出力を得ることができる。
【0021】請求項2の発明のように、前記液面検出手
段は、前記距離変化に応じた磁界の変化により抵抗値変
化を生じ、この抵抗値変化に基づき前記液面のレベルを
検出することを特徴とする。
段は、前記距離変化に応じた磁界の変化により抵抗値変
化を生じ、この抵抗値変化に基づき前記液面のレベルを
検出することを特徴とする。
【0022】この発明によれば、液面検出手段は、距離
変化に応じた磁界の変化により抵抗値変化を生じ、抵抗
値変化に基づき液面のレベルを検出することができる。
変化に応じた磁界の変化により抵抗値変化を生じ、抵抗
値変化に基づき液面のレベルを検出することができる。
【0023】請求項3の発明のように、前記磁性体の単
位角度当たりの径の変化量は、前記磁性体と前記液面検
出手段との距離に対する前記液面検出手段の検出出力の
傾きが一定値となるように調整されることを特徴とす
る。
位角度当たりの径の変化量は、前記磁性体と前記液面検
出手段との距離に対する前記液面検出手段の検出出力の
傾きが一定値となるように調整されることを特徴とす
る。
【0024】この発明によれば、磁性体の単位角度当た
りの径の変化量が、磁性体と液面検出手段との距離に対
する液面検出手段の検出出力の傾きが一定値となるよう
に調整されるため、線形特性が得られるから、検出出力
が高精度となる。
りの径の変化量が、磁性体と液面検出手段との距離に対
する液面検出手段の検出出力の傾きが一定値となるよう
に調整されるため、線形特性が得られるから、検出出力
が高精度となる。
【0025】請求項4の発明のように、前記液面検出手
段は、前記磁性体に向かう方向に着磁された平板状のバ
イアス磁石と、このバイアス磁石に対向配置されるとと
もにバイアス磁石の前記磁性体側の磁極面近傍に配置さ
れ、かつ、前記磁性体の運動方向に対して略垂直な面に
配置され、前記磁性体との距離に応じた磁界の変化によ
り抵抗値変化を生ずる磁気抵抗手段と、前記磁気抵抗手
段の抵抗値の変化による出力値の変化を前記液面のレベ
ル検出出力として出力するセンサ信号処理部と、前記バ
イアス磁石,磁気抵抗手段及びセンサ信号処理部を一体
的に支持する支持基板とを備えることを特徴とする。
段は、前記磁性体に向かう方向に着磁された平板状のバ
イアス磁石と、このバイアス磁石に対向配置されるとと
もにバイアス磁石の前記磁性体側の磁極面近傍に配置さ
れ、かつ、前記磁性体の運動方向に対して略垂直な面に
配置され、前記磁性体との距離に応じた磁界の変化によ
り抵抗値変化を生ずる磁気抵抗手段と、前記磁気抵抗手
段の抵抗値の変化による出力値の変化を前記液面のレベ
ル検出出力として出力するセンサ信号処理部と、前記バ
イアス磁石,磁気抵抗手段及びセンサ信号処理部を一体
的に支持する支持基板とを備えることを特徴とする。
【0026】この発明によれば、磁気抵抗手段が平板状
のバイアス磁石のバイアス磁界中に置かれ、磁性体の回
転により、磁気抵抗手段と磁性体との距離が変化する
と、その距離変化に応じて磁界が変化するため、抵抗値
変化を生ずる。このため、センサ信号処理部は、磁気抵
抗手段の抵抗値の変化による出力値の変化を液面のレベ
ル検出出力として出力することができる。
のバイアス磁石のバイアス磁界中に置かれ、磁性体の回
転により、磁気抵抗手段と磁性体との距離が変化する
と、その距離変化に応じて磁界が変化するため、抵抗値
変化を生ずる。このため、センサ信号処理部は、磁気抵
抗手段の抵抗値の変化による出力値の変化を液面のレベ
ル検出出力として出力することができる。
【0027】また、平板状のバイアス磁石を中空状のバ
イアス磁石と比べて外形寸法を小さくすることができ、
液面検出手段の外形寸法を小さくすることができる。ま
た、液面検出手段の取り付け位置にずれや傾きが生じて
も、磁気抵抗手段に印加されるバイアス磁界の変化を小
さくすることができ、磁気抵抗手段の中点電位の変動を
小さくすることができる。このため、液面検出手段は高
い取り付け精度を必要としなくてすむ。また、磁気抵抗
手段の中点電位の変動が小さくなることから、後段の信
号処理部からの運動検出出力にデューティ比変化等の不
具合を生じることを防止できる。
イアス磁石と比べて外形寸法を小さくすることができ、
液面検出手段の外形寸法を小さくすることができる。ま
た、液面検出手段の取り付け位置にずれや傾きが生じて
も、磁気抵抗手段に印加されるバイアス磁界の変化を小
さくすることができ、磁気抵抗手段の中点電位の変動を
小さくすることができる。このため、液面検出手段は高
い取り付け精度を必要としなくてすむ。また、磁気抵抗
手段の中点電位の変動が小さくなることから、後段の信
号処理部からの運動検出出力にデューティ比変化等の不
具合を生じることを防止できる。
【0028】請求項5の発明のように、前記平板状のバ
イアス磁石は、前記磁気抵抗手段が設けられている前記
支持基板面の反対の面に設けられていることを特徴とす
る。
イアス磁石は、前記磁気抵抗手段が設けられている前記
支持基板面の反対の面に設けられていることを特徴とす
る。
【0029】請求項6の発明のように、前記磁気抵抗手
段は、前記磁性体に向かう方向に対して略垂直な方向に
配置された微小磁気抵抗パターンを前記磁性体に向かう
方向に沿って複数個並設して直列接続した第1の磁気抵
抗手段と、前記磁性体に向かう方向に配置された微小磁
気抵抗パターンを前記略垂直な方向に沿って複数個並設
して直列接続した第2の磁気抵抗手段とを直列接続した
ハーフブリッジ構成を有し、前記第1の磁気抵抗手段及
び第2の磁気抵抗手段の前記磁性体に向かう方向のパタ
ーンサイズを、前記略垂直な方向のパターンサイズより
も所定サイズ分短くしたことを特徴とする。
段は、前記磁性体に向かう方向に対して略垂直な方向に
配置された微小磁気抵抗パターンを前記磁性体に向かう
方向に沿って複数個並設して直列接続した第1の磁気抵
抗手段と、前記磁性体に向かう方向に配置された微小磁
気抵抗パターンを前記略垂直な方向に沿って複数個並設
して直列接続した第2の磁気抵抗手段とを直列接続した
ハーフブリッジ構成を有し、前記第1の磁気抵抗手段及
び第2の磁気抵抗手段の前記磁性体に向かう方向のパタ
ーンサイズを、前記略垂直な方向のパターンサイズより
も所定サイズ分短くしたことを特徴とする。
【0030】この発明によれば、第1の磁気抵抗手段及
び第2の磁気抵抗手段の磁性体に向かう方向のパターン
サイズを、略垂直な方向のパターンサイズよりも所定サ
イズ分短くしたことにより、磁性体に向かう方向のバイ
アス磁界のばらつきが小さくなり、磁性体の回転による
各微小磁気抵抗パターンの抵抗値変化も略同一となり、
歪のないセンサ出力が得られる。
び第2の磁気抵抗手段の磁性体に向かう方向のパターン
サイズを、略垂直な方向のパターンサイズよりも所定サ
イズ分短くしたことにより、磁性体に向かう方向のバイ
アス磁界のばらつきが小さくなり、磁性体の回転による
各微小磁気抵抗パターンの抵抗値変化も略同一となり、
歪のないセンサ出力が得られる。
【0031】
【発明の実施の形態】以下、本発明の液面レベルセンサ
の実施の形態を図面を参照して説明する。図1に本発明
の液面レベルセンサの実施の形態の構成図を示し、図2
に磁気センサの構成図を示す。
の実施の形態を図面を参照して説明する。図1に本発明
の液面レベルセンサの実施の形態の構成図を示し、図2
に磁気センサの構成図を示す。
【0032】液面レベルセンサは、フロート式レベルセ
ンサであり、液面に浮かぶフロート2には回動するフロ
ートアーム3の先端部が連結され、このフロートアーム
3の後端部には回動自在に支承された回転軸11が取り
付けられている。
ンサであり、液面に浮かぶフロート2には回動するフロ
ートアーム3の先端部が連結され、このフロートアーム
3の後端部には回動自在に支承された回転軸11が取り
付けられている。
【0033】また、回転軸11は、筐体部4cにより軸
支され、回転軸11には、回転軸11と同軸上にあり、
磁性体からなるカム21が取り付けられている。このカ
ム21は、図2に示すように、検出する角度範囲(0°
から360°まで)において半径rが徐々に変化するよ
う構成され、大径と小径との差がL1となっていて、フ
ロートアーム3の回転とともに同じ角度で同一方向に回
転するようになっている。
支され、回転軸11には、回転軸11と同軸上にあり、
磁性体からなるカム21が取り付けられている。このカ
ム21は、図2に示すように、検出する角度範囲(0°
から360°まで)において半径rが徐々に変化するよ
う構成され、大径と小径との差がL1となっていて、フ
ロートアーム3の回転とともに同じ角度で同一方向に回
転するようになっている。
【0034】磁気センサ23は、筐体部4c内に密封さ
れて収納されるとともに、側壁4dを介してカム21と
対向して配置されている。このため、フロートアーム角
度に対応して、カム21と磁気センサ23との距離が変
化するようになっている。
れて収納されるとともに、側壁4dを介してカム21と
対向して配置されている。このため、フロートアーム角
度に対応して、カム21と磁気センサ23との距離が変
化するようになっている。
【0035】磁気センサ23は、カム21の外周近傍
に、磁気抵抗素子33、バイアス磁石36、センサから
の信号を処理するセンサ信号処理部35を設けて構成さ
れる。磁気抵抗素子33、バイアス磁石36、センサ信
号処理部35は、支持基板34により一体的に構成され
る。
に、磁気抵抗素子33、バイアス磁石36、センサから
の信号を処理するセンサ信号処理部35を設けて構成さ
れる。磁気抵抗素子33、バイアス磁石36、センサ信
号処理部35は、支持基板34により一体的に構成され
る。
【0036】バイアス磁石36は、カム21に向けてバ
イアス磁界を発生するもので、カム21に向かう方向に
長手方向のある平板状磁石であり、この長手方向に着磁
されていて支持基板34に固定される。
イアス磁界を発生するもので、カム21に向かう方向に
長手方向のある平板状磁石であり、この長手方向に着磁
されていて支持基板34に固定される。
【0037】磁気抵抗素子33は、第1の磁気抵抗素子
33aと第2の磁気抵抗素子33bとからなるハーフブ
リッジを構成しており、支持基板34のバイアス磁石3
6が設けられている面の反対の面に配置され、かつ、バ
イアス磁石36のカム21側の磁極面近傍に配置されて
いる。そして、カム21とバイアス磁石36との距離に
応じたバイアス磁界の状態変化により、各磁気抵抗素子
33a,33bに抵抗変化を生ずるようになっている。
33aと第2の磁気抵抗素子33bとからなるハーフブ
リッジを構成しており、支持基板34のバイアス磁石3
6が設けられている面の反対の面に配置され、かつ、バ
イアス磁石36のカム21側の磁極面近傍に配置されて
いる。そして、カム21とバイアス磁石36との距離に
応じたバイアス磁界の状態変化により、各磁気抵抗素子
33a,33bに抵抗変化を生ずるようになっている。
【0038】このため、液面レベルセンサは、フロート
アーム角度の変化を、磁気センサ23とカム21との距
離の変化に変換し、この距離変化を、磁気センサ23に
よりバイアス磁界の変化に応じた抵抗変化で検出し、こ
の抵抗変化に基づき液面レベルを測定するようになって
いる。
アーム角度の変化を、磁気センサ23とカム21との距
離の変化に変換し、この距離変化を、磁気センサ23に
よりバイアス磁界の変化に応じた抵抗変化で検出し、こ
の抵抗変化に基づき液面レベルを測定するようになって
いる。
【0039】図3に磁気抵抗素子33の構成を示す。磁
気抵抗素子33の第1の磁気抵抗素子33aと第2の磁
気抵抗素子33bは、中点端子bで接続されている。
気抵抗素子33の第1の磁気抵抗素子33aと第2の磁
気抵抗素子33bは、中点端子bで接続されている。
【0040】磁気抵抗素子33aは、カム21に向かう
方向(X方向)に対し垂直な方向に配置された複数の微
小磁気抵抗パターン33a1、33a2、33a3をX
方向に沿って並設し、それら微小磁気抵抗パターン33
a1、33a2、33a3が直列に接続され、接地端子
cを有する。
方向(X方向)に対し垂直な方向に配置された複数の微
小磁気抵抗パターン33a1、33a2、33a3をX
方向に沿って並設し、それら微小磁気抵抗パターン33
a1、33a2、33a3が直列に接続され、接地端子
cを有する。
【0041】磁気抵抗素子33bは、X方向に配置され
た微小磁気抵抗パターンを、約10個〜数100個X方
向に対し垂直な方向(Y方向)に沿って配置し、各微小
磁気抵抗パターンが直列に接続され電源が供給される電
源端子aを有する。
た微小磁気抵抗パターンを、約10個〜数100個X方
向に対し垂直な方向(Y方向)に沿って配置し、各微小
磁気抵抗パターンが直列に接続され電源が供給される電
源端子aを有する。
【0042】各磁気抵抗素子33a,33bのX方向の
サイズは、Y方向のサイズと比較し十分小さくなってお
り、そのサイズの比は、例えば数分の一乃至数十分の一
の範囲内となっている。
サイズは、Y方向のサイズと比較し十分小さくなってお
り、そのサイズの比は、例えば数分の一乃至数十分の一
の範囲内となっている。
【0043】各磁気抵抗素子33a、33bには、電源
端子aと接地端子cを介して電源電圧が印加されるよう
になっており、その検出出力(センサ信号)は、中点端
子bの電圧値の変化として取り出すようになっている。
端子aと接地端子cを介して電源電圧が印加されるよう
になっており、その検出出力(センサ信号)は、中点端
子bの電圧値の変化として取り出すようになっている。
【0044】次に、このように構成された実施の形態の
液面レベルセンサの動作を図面を参照して説明する。
液面レベルセンサの動作を図面を参照して説明する。
【0045】まず、タンク内の液体の液面のレベルの変
動に応じて、フロートアーム3が回転軸11を中心とし
て回転すると、これに伴って、カム21も回転する。こ
のため、フロートアーム3の回転角度の変化に応じて、
カム21と磁気センサ23の磁気抵抗素子33との距離
が変化する。この距離変化に応じて、磁気抵抗素子33
が配置される位置のバイアス磁界が変化する。
動に応じて、フロートアーム3が回転軸11を中心とし
て回転すると、これに伴って、カム21も回転する。こ
のため、フロートアーム3の回転角度の変化に応じて、
カム21と磁気センサ23の磁気抵抗素子33との距離
が変化する。この距離変化に応じて、磁気抵抗素子33
が配置される位置のバイアス磁界が変化する。
【0046】このバイアス磁界の変化の様子を図4を参
照して説明する。図4(a)乃至図4(c)に示すよう
に、磁気抵抗素子33が配置される位置のバイアス磁界
は、バイアス磁石36とカム21との距離に応じて変化
する。
照して説明する。図4(a)乃至図4(c)に示すよう
に、磁気抵抗素子33が配置される位置のバイアス磁界
は、バイアス磁石36とカム21との距離に応じて変化
する。
【0047】図4(a)では、バイアス磁石36とカム
21との距離が近い場合におけるバイアス磁界37aを
示しており、このバイアス磁界37aは、カム21に向
かう方向(X方向)成分とこの方向に直交する成分とか
らなり、X方向成分が比較的大である。
21との距離が近い場合におけるバイアス磁界37aを
示しており、このバイアス磁界37aは、カム21に向
かう方向(X方向)成分とこの方向に直交する成分とか
らなり、X方向成分が比較的大である。
【0048】図4(b)では、バイアス磁石36とカム
21との距離が中位程度の場合におけるバイアス磁界3
7bを示しており、このバイアス磁界37bは、X方向
成分が中位程度である。
21との距離が中位程度の場合におけるバイアス磁界3
7bを示しており、このバイアス磁界37bは、X方向
成分が中位程度である。
【0049】図4(c)では、バイアス磁石36とカム
21との距離が遠い場合におけるバイアス磁界37cを
示しており、このバイアス磁界37cは、X方向成分が
ほぼ零であり、前記直交する成分のみからなる。
21との距離が遠い場合におけるバイアス磁界37cを
示しており、このバイアス磁界37cは、X方向成分が
ほぼ零であり、前記直交する成分のみからなる。
【0050】すなわち、バイアス磁界は、磁気抵抗素子
33を貫く方向にあり、バイアス磁石36とカム21と
の距離が変化することにより、バイアス磁界がカム21
の方向(X方向)に変調されることになる。
33を貫く方向にあり、バイアス磁石36とカム21と
の距離が変化することにより、バイアス磁界がカム21
の方向(X方向)に変調されることになる。
【0051】次に、バイアス磁界がX方向に変調された
ときにおける磁気抵抗素子33の抵抗変化を説明する。
ときにおける磁気抵抗素子33の抵抗変化を説明する。
【0052】磁気抵抗素子33は、図2に示すようにバ
イアス磁石36のカム21側磁極面近傍のバイアス磁界
中に配置される。この位置は、カム21の運動方向に垂
直な面内におけるカム21の直径方向の磁界強度が0と
なる位置よりもカム21に近い位置である。
イアス磁石36のカム21側磁極面近傍のバイアス磁界
中に配置される。この位置は、カム21の運動方向に垂
直な面内におけるカム21の直径方向の磁界強度が0と
なる位置よりもカム21に近い位置である。
【0053】磁気抵抗素子33が配置される位置におけ
るバイアス磁界は、図4で説明したように、カム21に
向かう方向(X方向)とカム21の回転方向との2方向
を有する面の中にあり、カム21の回転方向から僅かに
ずれた方向にある。
るバイアス磁界は、図4で説明したように、カム21に
向かう方向(X方向)とカム21の回転方向との2方向
を有する面の中にあり、カム21の回転方向から僅かに
ずれた方向にある。
【0054】バイアス磁界方向はカム21の回転により
変調され、磁気抵抗素子33の面内に生じる磁界強度の
変化は、カム21の回転によりX方向に変調される。こ
の場合、カム21の半径が徐々に大きくなるに従って、
変調量が大となる。
変調され、磁気抵抗素子33の面内に生じる磁界強度の
変化は、カム21の回転によりX方向に変調される。こ
の場合、カム21の半径が徐々に大きくなるに従って、
変調量が大となる。
【0055】磁気抵抗素子33の各磁気抵抗素子33
a,33bの抵抗値は、磁気抵抗素子33を流れる電流
の方向と、磁気抵抗素子内部の磁化方向とのなす角度に
より変化し、磁化方向は、磁気抵抗素子33に印加され
る磁界強度により変化する。
a,33bの抵抗値は、磁気抵抗素子33を流れる電流
の方向と、磁気抵抗素子内部の磁化方向とのなす角度に
より変化し、磁化方向は、磁気抵抗素子33に印加され
る磁界強度により変化する。
【0056】磁気抵抗素子33の電流方向は、磁気抵抗
パターンの長手方向であるため、第1の磁気抵抗素子3
3aに対してはY方向、第2の磁気抵抗素子33bに対
してはX方向となる。
パターンの長手方向であるため、第1の磁気抵抗素子3
3aに対してはY方向、第2の磁気抵抗素子33bに対
してはX方向となる。
【0057】磁気抵抗素子33の面内に生じる磁界強度
の変化は、X方向(カム方向)となるため、第1の磁気
抵抗素子33aに対しては電流方向に対し垂直方向の磁
界強度が変化し、第2の磁気抵抗素子33bに対しては
電流方向の磁界強度が変化する。
の変化は、X方向(カム方向)となるため、第1の磁気
抵抗素子33aに対しては電流方向に対し垂直方向の磁
界強度が変化し、第2の磁気抵抗素子33bに対しては
電流方向の磁界強度が変化する。
【0058】この場合、各磁気抵抗素子33a、33b
は、X方向の磁界に対して図5(a)に示すように各抵
抗値が変化する。すなわち、図5(a)からもわかるよ
うに、第1の磁気抵抗素子33aは、電流方向とX方向
の磁界とが略直交するので、カム21とバイアス磁石3
6との距離変化に応じた抵抗変化が大となり、第2の磁
気抵抗素子33bは、電流方向とX方向の磁界とが略平
行となるので、前記距離変化に応じた抵抗変化が小とな
る。
は、X方向の磁界に対して図5(a)に示すように各抵
抗値が変化する。すなわち、図5(a)からもわかるよ
うに、第1の磁気抵抗素子33aは、電流方向とX方向
の磁界とが略直交するので、カム21とバイアス磁石3
6との距離変化に応じた抵抗変化が大となり、第2の磁
気抵抗素子33bは、電流方向とX方向の磁界とが略平
行となるので、前記距離変化に応じた抵抗変化が小とな
る。
【0059】また、磁気抵抗素子33は、カム21の運
動方向に垂直な面内におけるカム21の直径方向の磁界
強度が0となる位置よりも、カム21に近い位置に配置
されるため、磁気抵抗素子33面内でX方向に生じるバ
イアス磁界は、図5(a)においてA点で示す磁界強度
となり0からずれている。
動方向に垂直な面内におけるカム21の直径方向の磁界
強度が0となる位置よりも、カム21に近い位置に配置
されるため、磁気抵抗素子33面内でX方向に生じるバ
イアス磁界は、図5(a)においてA点で示す磁界強度
となり0からずれている。
【0060】そして、このバイアス磁界は、カム21の
回転によりX方向に例えば、B点からC点(C点からB
点でもよい。)の範囲で変化するため、各磁気抵抗素子
33a、33bの抵抗値はカム21の回転により180
度の位相差をもって図5(b)に示すように変化する。
回転によりX方向に例えば、B点からC点(C点からB
点でもよい。)の範囲で変化するため、各磁気抵抗素子
33a、33bの抵抗値はカム21の回転により180
度の位相差をもって図5(b)に示すように変化する。
【0061】このため、図6に示すように、電源電圧E
が印加される第1の磁気抵抗素子33a、(抵抗39
a)と第2の磁気抵抗素子33b、(抵抗39b)の中
点端子の電圧は、カム21とバイアス磁石36との距離
変化に応じて変化し、この距離変化に応じたセンサ信号
を得ることができる。
が印加される第1の磁気抵抗素子33a、(抵抗39
a)と第2の磁気抵抗素子33b、(抵抗39b)の中
点端子の電圧は、カム21とバイアス磁石36との距離
変化に応じて変化し、この距離変化に応じたセンサ信号
を得ることができる。
【0062】図7にセンサとカムとの距離に対する中点
電位を示す。図7に示すように、距離に応じて、中点電
位が徐々に変化しているが、距離に対する中点電位の傾
きが一定でないことがわかる。
電位を示す。図7に示すように、距離に応じて、中点電
位が徐々に変化しているが、距離に対する中点電位の傾
きが一定でないことがわかる。
【0063】この傾きは、カム21の形状(半径rの変
化率)を調整することで前記傾きを一定値にすることが
できる。すなわち、傾きが大きい部分については、フロ
ートアーム3の単位角度当たりのカム21の半径の変化
量(dr/dθ)を小さくし、傾きが小さい部分につい
ては、半径の変化量(dr/dθ)を大きくすれば、傾
きを一定値にすることができる。
化率)を調整することで前記傾きを一定値にすることが
できる。すなわち、傾きが大きい部分については、フロ
ートアーム3の単位角度当たりのカム21の半径の変化
量(dr/dθ)を小さくし、傾きが小さい部分につい
ては、半径の変化量(dr/dθ)を大きくすれば、傾
きを一定値にすることができる。
【0064】このため、液面とフロートアーム3との関
係が線形特性となるため、センサ出力が高精度となり、
高信頼性となる。
係が線形特性となるため、センサ出力が高精度となり、
高信頼性となる。
【0065】また、フロートアーム3が可動する角度範
囲において、カム21の半径を変化させることで、最大
で約360°の検出範囲を得ることができるため、検出
範囲が広くなるという効果が得られる。
囲において、カム21の半径を変化させることで、最大
で約360°の検出範囲を得ることができるため、検出
範囲が広くなるという効果が得られる。
【0066】さらに、バイアス磁石36が筐体部4c内
に配置されているため、タンク内に露出していないこと
から、バイアス磁石36には磁性体等が付着しなくな
る。このため、磁気抵抗素子33の出力誤差が大幅に低
減されるから、高精度でセンサ出力を得ることができ
る。
に配置されているため、タンク内に露出していないこと
から、バイアス磁石36には磁性体等が付着しなくな
る。このため、磁気抵抗素子33の出力誤差が大幅に低
減されるから、高精度でセンサ出力を得ることができ
る。
【0067】なお、バイアス磁界の変調の大きさが、バ
イアス磁石36のカム21側磁極面近傍に磁気抵抗素子
33を配置することで最大となるため、この位置に磁気
抵抗素子33を配置したが、磁気抵抗素子面内に生ずる
X方向の磁界強度が0となる位置よりカム21に遠い側
でも十分なバイアス磁界の変調が得られるため、この位
置に配置しても良い。
イアス磁石36のカム21側磁極面近傍に磁気抵抗素子
33を配置することで最大となるため、この位置に磁気
抵抗素子33を配置したが、磁気抵抗素子面内に生ずる
X方向の磁界強度が0となる位置よりカム21に遠い側
でも十分なバイアス磁界の変調が得られるため、この位
置に配置しても良い。
【0068】磁気抵抗素子33は、発散しているバイア
ス磁界中に配置されることとなり、磁気抵抗素子33に
印加されるバイアス磁界は、磁気抵抗素子33の面内の
位置により違いが生じる。これはセンサ出力の感度低下
や、波形割れの原因となるため、均一磁界中に磁気抵抗
素子33を配置するのが好ましい。
ス磁界中に配置されることとなり、磁気抵抗素子33に
印加されるバイアス磁界は、磁気抵抗素子33の面内の
位置により違いが生じる。これはセンサ出力の感度低下
や、波形割れの原因となるため、均一磁界中に磁気抵抗
素子33を配置するのが好ましい。
【0069】このため、磁気センサでは、磁気抵抗素子
33のX方向の寸法を極力小さくするために、X方向の
寸法をバイアス磁界発散量の小さいY方向の寸法に対
し、数分の一乃至数十分の一の範囲内にした。
33のX方向の寸法を極力小さくするために、X方向の
寸法をバイアス磁界発散量の小さいY方向の寸法に対
し、数分の一乃至数十分の一の範囲内にした。
【0070】これにより、X方向のバイアス磁界のばら
つきが小さくなり、カム21の回転による各微小磁気抵
抗パターン33a1、33a2、33a3の抵抗値変化
も略同一となり、歪のないセンサ出力が得られる。ま
た、Y方向のバイアス磁界の発散は小さいため、磁気抵
抗素子33のY方向の寸法を大きくした影響は小さい。
つきが小さくなり、カム21の回転による各微小磁気抵
抗パターン33a1、33a2、33a3の抵抗値変化
も略同一となり、歪のないセンサ出力が得られる。ま
た、Y方向のバイアス磁界の発散は小さいため、磁気抵
抗素子33のY方向の寸法を大きくした影響は小さい。
【0071】また、従来のように中空形状のバイアス磁
石を設けると、磁気センサ自体の外形寸法が大きくなる
が、磁気センサ23は、磁気抵抗素子33が配置される
支持基板34の面の裏側の面に平板状のバイアス磁石3
6を設けた構成であるため、磁気センサ自体の外形寸法
を小さくすることができる。
石を設けると、磁気センサ自体の外形寸法が大きくなる
が、磁気センサ23は、磁気抵抗素子33が配置される
支持基板34の面の裏側の面に平板状のバイアス磁石3
6を設けた構成であるため、磁気センサ自体の外形寸法
を小さくすることができる。
【0072】また、磁気センサの取り付け位置にずれや
傾きが生じても、磁気抵抗素子に印加されるバイアス磁
界の変化を小さくすることができ、磁気抵抗素子の中点
電位の変動を小さくすることができる。このため、磁気
センサは高い取り付け精度を必要としなくてすむ。ま
た、磁気抵抗素子の中点電位の変動が小さくなることか
ら、後段の信号処理部からの運動検出出力にデューティ
比変化等の不具合を生じることを防止できる。
傾きが生じても、磁気抵抗素子に印加されるバイアス磁
界の変化を小さくすることができ、磁気抵抗素子の中点
電位の変動を小さくすることができる。このため、磁気
センサは高い取り付け精度を必要としなくてすむ。ま
た、磁気抵抗素子の中点電位の変動が小さくなることか
ら、後段の信号処理部からの運動検出出力にデューティ
比変化等の不具合を生じることを防止できる。
【0073】なお、実施の形態では、磁気抵抗素子33
が、第1の磁気抵抗素子33a,33bを設けたハーフ
ブリッジ構成であったが、例えば、磁気抵抗素子をフル
ブリッジ構成としてもよい。フルブリッジ構成の磁気抵
抗素子は、ハーフブリッジ構成の磁気抵抗素子を2組用
いたものであり、ハーフブリッジ構成の磁気抵抗素子の
センサ出力よりも大きいセンサ出力を得ることができ
る。
が、第1の磁気抵抗素子33a,33bを設けたハーフ
ブリッジ構成であったが、例えば、磁気抵抗素子をフル
ブリッジ構成としてもよい。フルブリッジ構成の磁気抵
抗素子は、ハーフブリッジ構成の磁気抵抗素子を2組用
いたものであり、ハーフブリッジ構成の磁気抵抗素子の
センサ出力よりも大きいセンサ出力を得ることができ
る。
【0074】
【発明の効果】本発明によれば、フロートの上下動によ
ってフロートアームが回転軸を中心に回動すると、円板
状の磁性体は、フロートアームの回動に伴って回動し、
その回動角度に応じて径が徐々に変化する。そして、磁
性体の回動角度に応じて、液面検出手段と磁性体との距
離が変化したとき、液面検出手段は、その距離変化に基
づき液面のレベルを検出する。
ってフロートアームが回転軸を中心に回動すると、円板
状の磁性体は、フロートアームの回動に伴って回動し、
その回動角度に応じて径が徐々に変化する。そして、磁
性体の回動角度に応じて、液面検出手段と磁性体との距
離が変化したとき、液面検出手段は、その距離変化に基
づき液面のレベルを検出する。
【0075】すなわち、フロートアームの回動角度を、
距離に変換し、その距離変化を液面検出手段で検出する
ため、検出範囲が広くなる。また、液面検出手段を側壁
を仕切って筐体部に密閉したため、液面検出手段に軟磁
性体等が付着することがなくなり、液面検出手段の検出
出力に影響を与えることがなくるから、高信頼性及び高
精度の検出出力を得ることができる。
距離に変換し、その距離変化を液面検出手段で検出する
ため、検出範囲が広くなる。また、液面検出手段を側壁
を仕切って筐体部に密閉したため、液面検出手段に軟磁
性体等が付着することがなくなり、液面検出手段の検出
出力に影響を与えることがなくるから、高信頼性及び高
精度の検出出力を得ることができる。
【0076】また、液面検出手段は、距離変化に応じた
磁界の変化により抵抗値変化を生じ、抵抗値変化に基づ
き液面のレベルを検出することができる。
磁界の変化により抵抗値変化を生じ、抵抗値変化に基づ
き液面のレベルを検出することができる。
【0077】また、磁性体の単位角度当たりの径の変化
量が、磁性体と液面検出手段との距離に対する液面検出
手段の検出出力の傾きが一定値となるように調整される
ため、線形特性が得られるから、検出出力が高精度とな
る。
量が、磁性体と液面検出手段との距離に対する液面検出
手段の検出出力の傾きが一定値となるように調整される
ため、線形特性が得られるから、検出出力が高精度とな
る。
【0078】また、磁気抵抗手段が平板状のバイアス磁
石のバイアス磁界中に置かれ、磁性体の回転により、磁
気抵抗手段と磁性体との距離が変化すると、その距離変
化に応じて磁界が変化するため、抵抗値変化を生ずる。
このため、センサ信号処理部は、磁気抵抗手段の抵抗値
の変化による出力値の変化を液面のレベル検出出力とし
て出力することができる。このとき、平板状のバイアス
磁石を中空状のバイアス磁石と比べて外形寸法を小さく
することができ、液面検出手段の外形寸法を小さくする
ことができる。
石のバイアス磁界中に置かれ、磁性体の回転により、磁
気抵抗手段と磁性体との距離が変化すると、その距離変
化に応じて磁界が変化するため、抵抗値変化を生ずる。
このため、センサ信号処理部は、磁気抵抗手段の抵抗値
の変化による出力値の変化を液面のレベル検出出力とし
て出力することができる。このとき、平板状のバイアス
磁石を中空状のバイアス磁石と比べて外形寸法を小さく
することができ、液面検出手段の外形寸法を小さくする
ことができる。
【0079】また、液面検出手段の取り付け位置にずれ
や傾きが生じても、磁気抵抗手段に印加されるバイアス
磁界の変化を小さくすることができ、磁気抵抗手段の中
点電位の変動を小さくすることができる。このため、液
面検出手段は高い取り付け精度を必要としなくてすむ。
また、磁気抵抗手段の中点電位の変動が小さくなること
から、後段の信号処理部からの運動検出出力にデューテ
ィ比変化等の不具合を生じることを防止できる。
や傾きが生じても、磁気抵抗手段に印加されるバイアス
磁界の変化を小さくすることができ、磁気抵抗手段の中
点電位の変動を小さくすることができる。このため、液
面検出手段は高い取り付け精度を必要としなくてすむ。
また、磁気抵抗手段の中点電位の変動が小さくなること
から、後段の信号処理部からの運動検出出力にデューテ
ィ比変化等の不具合を生じることを防止できる。
【0080】また、第1の磁気抵抗手段及び第2の磁気
抵抗手段の磁性体に向かう方向のパターンサイズを、略
垂直な方向のパターンサイズよりも所定サイズ分短くし
たことにより、磁性体に向かう方向のバイアス磁界のば
らつきが小さくなり、磁性体の回転による各微小磁気抵
抗パターンの抵抗値変化も略同一となり、歪のないセン
サ出力が得られる。
抵抗手段の磁性体に向かう方向のパターンサイズを、略
垂直な方向のパターンサイズよりも所定サイズ分短くし
たことにより、磁性体に向かう方向のバイアス磁界のば
らつきが小さくなり、磁性体の回転による各微小磁気抵
抗パターンの抵抗値変化も略同一となり、歪のないセン
サ出力が得られる。
【図1】本発明の液面レベルセンサの実施の形態の構成
図である。
図である。
【図2】磁気センサの構成図である。
【図3】磁気抵抗素子の構成図である。
【図4】磁気抵抗素子とカムとの距離に応じて変化する
バイアス磁界を示す図である。
バイアス磁界を示す図である。
【図5】(a)はX方向の磁界強度に対する各磁気抵抗
素子の抵抗値を示し、(b)はカムとセンサとの距離に
対する各磁気抵抗素子の抵抗値を示す図である。
素子の抵抗値を示し、(b)はカムとセンサとの距離に
対する各磁気抵抗素子の抵抗値を示す図である。
【図6】磁気抵抗素子間の中点から取り出される中点電
位を示す図である。
位を示す図である。
【図7】センサとカムとの距離に対する中点電位を示す
図である。
図である。
【図8】従来の液面レベル測定装置の断面図である。
【図9】従来の液面レベル測定装置におけるフロートア
ームの回転角に対するセンサ出力を示す図である。
ームの回転角に対するセンサ出力を示す図である。
【図10】従来のフロート式の液面レベル測定装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図11】従来の液面レベル測定装置における液面に対
するフロートアーム角度を示す図である。
するフロートアーム角度を示す図である。
【図12】従来の台形状のタンクを有する液面レベル測
定装置の概略構成図である。
定装置の概略構成図である。
2 フロート 3 フロートアーム 4、4c 筐体部 4a,4b 側壁 11 回転軸 12 永久磁石 13 磁気抵抗素子 21 カム 23 磁気センサ 33a 第1の磁気抵抗素子 33b 第2の磁気抵抗素子 34 支持基板 35 センサ信号処理部 36 バイアス磁石 37a,37b,37c バイアス磁界
Claims (6)
- 【請求項1】 液面に浮かぶフロートに取り付けられ、
フロートの上下動によって回転軸を中心に回動するフロ
ートアームと、 前記回転軸に取り付けられ、前記フロートアームの回動
に伴って回動すると共に、その回動角度に応じて径が徐
々に変化する円板状の磁性体と、 この磁性体と対向配置され、磁性体の回動角度に応じて
磁性体との距離が変化したとき、その距離変化に基づき
前記液面のレベルを検出する液面検出手段と、 この液面検出手段を側壁を仕切って密閉した筐体部と、
を備えることを特徴とする液面レベルセンサ。 - 【請求項2】 前記液面検出手段は、前記距離変化に応
じた磁界の変化により抵抗値変化を生じ、この抵抗値変
化に基づき前記液面のレベルを検出することを特徴とす
る請求項1記載の液面レベルセンサ。 - 【請求項3】 前記磁性体の単位角度当たりの径の変化
量は、前記磁性体と前記液面検出手段との距離に対する
前記液面検出手段の検出出力の傾きが一定値となるよう
に調整されることを特徴とする請求項1または請求項2
記載の液面レベルセンサ。 - 【請求項4】 前記液面検出手段は、前記磁性体に向か
う方向に着磁された平板状のバイアス磁石と、 このバイアス磁石に対向配置されるとともにバイアス磁
石の前記磁性体側の磁極面近傍に配置され、かつ、前記
磁性体の運動方向に対して略垂直な面に配置され、前記
磁性体との距離に応じた磁界の変化により抵抗値変化を
生ずる磁気抵抗手段と、 前記磁気抵抗手段の抵抗値の変化による出力値の変化を
前記液面のレベル検出出力として出力するセンサ信号処
理部と、 前記バイアス磁石,磁気抵抗手段及びセンサ信号処理部
を一体的に支持する支持基板と、を備えることを特徴と
する請求項1記載の液面レベルセンサ。 - 【請求項5】 前記平板状のバイアス磁石は、前記磁気
抵抗手段が設けられている前記支持基板面の反対の面に
設けられていることを特徴とする請求項4記載の液面レ
ベルセンサ。 - 【請求項6】 前記磁気抵抗手段は、前記磁性体に向か
う方向に対して略垂直な方向に配置された微小磁気抵抗
パターンを前記磁性体に向かう方向に沿って複数個並設
して直列接続した第1の磁気抵抗手段と、前記磁性体に
向かう方向に配置された微小磁気抵抗パターンを前記略
垂直な方向に沿って複数個並設して直列接続した第2の
磁気抵抗手段とを直列接続したハーフブリッジ構成を有
し、前記第1の磁気抵抗手段及び第2の磁気抵抗手段の
前記磁性体に向かう方向のパターンサイズを、前記略垂
直な方向のパターンサイズよりも所定サイズ分短くした
ことを特徴とする請求項4または請求項5記載の液面レ
ベルセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10081999A JPH11281466A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 液面レベルセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10081999A JPH11281466A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 液面レベルセンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11281466A true JPH11281466A (ja) | 1999-10-15 |
Family
ID=13762185
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10081999A Pending JPH11281466A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 液面レベルセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11281466A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1998
- 1998-03-27 JP JP10081999A patent/JPH11281466A/ja active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040928 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050308 |