JPH11274608A

JPH11274608A - レーザ光利用装置

Info

Publication number: JPH11274608A
Application number: JP10072837A
Authority: JP
Inventors: Takashi Ozaki; 隆志尾崎; Kasuke Ogawa; 嘉祐小川
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1998-03-20
Filing date: 1998-03-20
Publication date: 1999-10-08

Abstract

(57)【要約】【課題】保護筐体内部における人体のレーザ光の被ばく
を防止する。【解決手段】保護筐体１内部の人体の存在を検出する人
体検出センサ３と、ドア７とパネル１０の開状態を検出
するセンサ８、９を設け、人体が検出されているか、ド
アまたはパネルの開状態が検出されているときは、強制
的にシャッタ駆動回路４を介してシャッタ５を閉状態に
固定し、レーザ６が放射されないようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を用いる
装置において、作業者がレーザ光を被ばくしないよう安
全を図る技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】各種加工装置、干渉測定装置、測長機な
ど、さまざまな産業分野においてレーザ光を用いた装置
が普及している。また、このようなレーザ光を用いる装
置の中には、近年、紫外及び赤外波長の不可視光のレー
ザ光を用いる装置や、高出力のレーザ光を用いる装置が
増えている。これに伴って、装置周辺で作業する人間の
レーザ光による被ばくの危険性も高まっている。このた
め、作業者がレーザ光によって被ばくしないように安全
を図ることが、ますます重要となっている。

【０００３】そこで、たとえば、日本工業規格では、作
業者がレーザ光で被ばくすることを防止するために、レ
ーザ製品単体のみならずレーザシステムの最終製品にも
適用される「レーザ製品の放射安全基準」JIS C6802を
定めている。なお、この安全基準では、レーザ光を減衰
または遮断する部材を設けることと、作業者がレーザ光
で被ばくしないよう何らかのインターロック制御を行う
こと、そして、レーザ光を使用した装置に保護筐体を設
けること、を求めている。

【０００４】さて、レーザ光で被ばくすることを防止す
る技術としては、たとえば、レーザ光が外に漏れないよ
うに設けられた保護筐体のドア、パネルなどが開いてい
る間は、強制的にレーザ光を遮断するセーフティインタ
ロック機構を装置に備える技術が知られている。

【０００５】図５に、この従来のセーフティインタロッ
ク機構の一例を示す。

【０００６】この例では、保護筐体のドアやパネルが閉
状態にあるときは、スイッチ５５およびスイッチ５６が
導通状態となる。そして、この状態でシャッタ５２の開
閉スイッチ５４をシャッタ開側に切り替えると、シャッ
タ制御回路５０がオン状態となり、電源５３によってシ
ャッタ５２が開かれ、レーザ光の放射が可能となる。

【０００７】また、スイッチ４２は、シャッタの開閉ス
イッチ５４と連動しており、シャッタ５２の開閉スイッ
チ５４がシャッタ開側にあるときは、スイッチ４２もシ
ャッタ開側に切り替わる。スイッチ４２がシャッタ開側
に切り替わると、警告灯制御回路４０がオンとなり、電
源４１によって警告灯４３が駆動され、作業者にレーザ
放射中であることを表示する。

【０００８】一方、前記ドアもしくはパネルが開状態に
あると、スイッチ５５もしくはスイッチ５６が非導通と
なる。このためシャッタ開閉スイッチ５４の状態によら
ず、シャッタ制御回路５０がオフとなるため、シャッタ
５２が閉じ、レーザ光が放射されない。

【０００９】これにより、保護筐体外部へのレーザ光の
漏れが防がれ、作業者のレーザ光被ばくが防止される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】さて、レーザ光を利用
した大型の装置では、前記保護筐体も大型になり、保護
筐体の内部に作業者が立ち入ることが、構造的に可能と
なることが予想される。

【００１１】これに対して、図５に示した従来の技術
は、保護筐体の外部へのレーザ光の漏れを防ぐことを目
的としたものであって、人が保護筐体内部に立ち入るこ
とまでは想定していない。そのため、レーザ光利用装置
が大型化して、人の立ち入りが可能となる場合には、人
が保護筐体内に立ち入る可能性を想定した対策を講じる
必要がある。すなわち、保護筐体内部での作業者のレー
ザ光被ばくが起きないようにすることが望まれる。

【００１２】そこで、本発明は、保護筐体内部などの、
レーザ光を外部に対して遮断可能な空間内部に立ち入っ
た作業者のレーザ光被ばくを、より確実に防止すること
を課題とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記課題達成のために、
本発明は、レーザ光を発生するレーザ発生部と、選択的
に、前記レーザ発生部から放射されるレーザ光を遮断も
しくは減衰させる被ばく防止部とを含むレーザ発生装置
を、前記レーザ光を、外部に対して遮断可能な空間に配
置したレーザ光利用装置であって、前記空間内に人体が
存在する可能性を判定し、前記空間内に人体が存在する
可能性があると判定された場合に、前記被ばく防止部を
制御し、前記レーザ発生部から放射されるレーザ光を遮
断もしくは減衰させる制御手段を有することを特徴とす
るレーザ光利用装置を提供する。

【００１４】ここで、前記空間内に人体が存在する可能
性の判定は、たとえば、前記空間内における人体の存在
を検出する人体検出手段を備え、人体検出手段が人体の
存在を検出した場合に、前記空間内に人体が存在する可
能性があると判定することなどにより行う。

【００１５】また、前記空間内に人体が存在する可能性
の判定は、前記制御手段に前記空間内の照明状態を検出
する照明検出手段を備え、この照明検出手段により前記
空間内が照明されていることを検出した場合に、前記空
間内に人体が存在する可能性があると判定することによ
り行うことができる。

【００１６】以上の動作により、ドアやパネルが閉めら
れた状態であっても、保護筐体内部に人が存在する場合
には、レーザ光が放射されないようにすることができ
る。

【００１７】したがって、レーザ光を外部に対して遮断
可能な空間内部である保護筐体内部に立ち入った作業者
に対するレーザ光被ばくを、より確実に防止することが
できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、光源としてレーザが使用されている干渉測定装置へ
の適用を例にとり説明する。ただし、本発明は、これに
限られるものでないことはいうまでもない。

【００１９】まず、本発明のレーザ光利用装置の概要に
ついて、図１を参照して説明する。

【００２０】図１に示すレーザ光利用装置は、保護筐体
１と、レーザ６と、レーザ６の出射口にありレーザ光を
遮断するためのシャッタ５と、シャッタ５の開閉を行う
シャッタ駆動回路４と、人体を検知するセンサ３と、ド
アの開閉を検出するドア開閉検出センサ８と、パネルの
開閉を検出するパネル開閉検出センサ９と、これらセン
サ類を監視してシャッタ駆動回路４を動作させる制御器
２とを備える。

【００２１】そして、制御器２は、人体検知センサ３に
より人体の存在が検出されたときは、人間が保護筐体１
内に存在する可能性があり、レーザ光による被ばくの危
険性があると判断し、シャッタ駆動回路４を制御し、シ
ャッタ５を強制的に閉じる。これによりレーザ６の出射
口が遮断され、レーザ光による人体への被ばくを防止す
ることができる。

【００２２】そして、制御器２は、その後、ドア開閉検
出センサ８、パネルの開閉検出センサ９がドア７、パネ
ル１０が全て閉じている状態を検出し、かつ、人体検知
センサ３が保護筐体内に人体が存在しない状態を検出す
るまで、シャッタ駆動回路４をロックし、シャッタ５を
開かず、レーザ光を放射することができないようにす
る。

【００２３】次に、本発明の第１の実施形態について説
明する。

【００２４】図２に、本第１実施形態に係る干渉測定装
置の構成を示す。

【００２５】図示するように、光源としてレーザ６を利
用した干渉測定装置本体部は、保護筐体１内に設定され
る。干渉測定装置本体部は、振動を抑えるための除振台
１２と、ベース１３と、光源レーザ６と、光源レーザ６
の出射口でレーザ光を遮断するためのシャッタ５と、シ
ャッタ５を動作させるシャッタ駆動回路４と、干渉計な
どの測定光学系１１と、被検物固定台１４とで構成され
ている。ここでは、光源レーザ６には、出力３０mW、波
長２４８nmのアルゴンイオンレーザを用いている。

【００２６】保護筐体１は、長さ約５m、幅約５m、高さ
約３mで、内部を恒温かつ清浄に保つための空調及び防
塵用のチャンバも兼ねている。保護筐体１には、被検物
１５の搬出入及び作業者の出入り用に２カ所のドア７、
ドア７の開閉を検出するためのドア開閉検出センサ８、
保守管理用の２カ所のパネル１０、パネル１０の開閉を
検出するためのパネル開閉検出センサ９、照明灯２２、
警告灯２１が設けられている。また、保護筐体１には、
人体の有無を検出するための人体検出センサ３が天井部
に２カ所、それぞれ筐体内を２分割した２つの範囲の中
心付近に各々ボルトで固定されている。なお、ここで
は、人体検出センサ３として微動検知型赤外線センサ
を、ドア開閉検出センサ８及びパネル開閉検出センサ９
として磁気近接センサを用いるものとする。なお、パネ
ル１０は、取り外すことによって、前記干渉測定装置本
体部や大型の被検物などの大きな物を保護筐体１内部へ
搬入するため等に設けられる。

【００２７】次に、保護筐体１の外部には、上記センサ
群の監視と上記シャッタ駆動回路４を制御する制御器２
と、照明灯２２などのオン／オフや、シャッタ駆動回路
４を介したシャッタ５の開閉を制御するためのスイッチ
類２３が設けられている。

【００２８】ここで、このような干渉測定装置により、
被検物１５の形状測定が行われる。この作業では、作業
者が、被検物１５を被検物固定台１４にセットし、保護
筐体１内から退出した後に、保護筐体１外部より遠隔操
作によって行われる。

【００２９】次に、図３aに、制御器２によるシャッタ
駆動回路４の制御によって実現される機能を等価的に表
わす回路図を示す。

【００３０】人体検知センサ３は、人体を検知しない時
に端子両端間を短絡し、検知した時に両端間を絶縁状態
とする。また、ドア開閉検出センサ８は、ドア７の閉状
態を検知した時に端子両端間を短絡し、開状態を検知し
た時に両端間を絶縁状態とする。パネル開閉検出センサ
９は、パネル１０の閉状態を検知した時に端子両端間を
短絡し、開状態を検知した時に両端間を絶縁状態とす
る。また、スイッチ２３aは、シャッタ５を開くとき
に、両端子間が短絡され、シャッタ５を閉じるときに、
両端子間が絶縁状態とされるスイッチである。そして、
電源２５は、シャッタ５を開くために電力を供給する電
源である。電力が供給された状態でシャッタ５は開き、
電力が供給されていない状態ではシャッタ５は閉じる。

【００３１】被検物を保護筐体内に搬入する際や、搬出
する際は、保護筐体１のドア７が開けられる。ドア開閉
検出センサ８は、開状態を検出し、両端子間を絶縁状態
とする。これにより、電源２５からの電力が供給されな
くなり、シャッタ５は強制的に閉じられ、レーザ６のレ
ーザ光は遮断される。この状態で、スイッチ２３aが短
絡されても、電源２５からの電力はシャッタ５に供給さ
れない。したがって、シャッタ５が開いてレーザ光が放
射されることはない。

【００３２】同様に、保守管理作業者が、保護筐体１の
パネル１０を開けて作業している時、パネル開閉検出セ
ンサ９は、開状態を検出し、両端子間を絶縁状態とす
る。これにより、電源２５からの電力が供給されなくな
り、シャッタ５は強制的に閉じられ、レーザ６のレーザ
光は遮断される。この状態で、スイッチ２３aが短絡さ
れても、電源２５からの電力はシャッタ５に供給されな
い。したがって、シャッタ５が開いてレーザ光が放射さ
れることはない。

【００３３】また、測定作業者や保守管理作業者が、保
護筐体１内で作業をしている間、人体検知センサ３は、
作業者の動きに反応することで人体を検知し、両端子間
を絶縁状態とする。これにより、電源２５からの電力が
供給されなくなり、シャッタ５は強制的に閉じられ、レ
ーザ６のレーザ光は遮断される。この状態で、スイッチ
２３aが短絡されても、電源２５からの電力はシャッタ
５に供給されない。したがって、シャッタ５が開いてレ
ーザ光が放射されるという事態は、起きない。

【００３４】複数の作業者が保護筐体内で作業し、誤っ
て保護筐体内に一部の作業者を閉じ込めてしまったとき
も同様である。

【００３５】作業者が、保護筐体から退出し、かつ、保
護筐体１の全てのドア及びパネルが全て閉じられると、
ドア開閉検出センサ８、パネル開閉検出センサ９、人体
検出センサ３の全てが、両端子間を短絡する。この状態
で、スイッチ２３aが短絡されると、電源２５からの電
力はシャッタ５に供給され、シャッタ５が開き、レーザ
光が放射される。

【００３６】ここで、図３bに示すように、スイッチ２
３bは、シャッタ５の開閉用のスイッチ２３aと連動する
ようになっており、スイッチ２３aが短絡したときに、
スイッチ２３bも短絡する。よって、電源２６と警告灯
２１とが導通し、警告灯２１を点灯させる。

【００３７】以上、本発明の第１の実施形態を説明し
た。

【００３８】なお、以上では、人体検出センサ３として
微動検知型赤外線センサ３を、ドア開閉検出センサ８及
びパネル開閉検出センサ９として磁気近接センサを用い
たものとして説明したが、これらのセンサとしては、他
の方式で検出するセンサを用いるようにしてもよい。た
とえば、人体検出センサ３としては、音センサ、光セン
サ、圧力センサ、画像処理によって人体の有無を検出す
るセンサなど、生体や動体を検出する各種センサを用い
ることができる。

【００３９】以下、本発明の第２の実施の形態につい
て、図２および図４を参照して説明する。

【００４０】本第２実施形態に係る干渉測定装置の構成
は、図２に示した干渉測定装置の構成とほぼ同様であ
る。なお、図１と同一符号をつけたものは、第１実施形
態と同一機能を有するもので、ここでの説明は省略す
る。ただし、本第２実施形態に係る干渉測定装置は、図
２に示す人体検知センサ３の代わりに、図４に示す光を
検知する光センサ３０を保護筐体内部に設ける。光セン
サ３０は、図２に示すような保護筐体１内に設けられた
照明灯２２の光や、作業者が作業するために持ち込んだ
光源の光を検知する。なお、光センサ３０は、レーザ光
による光を検知しない位置に配置する等して、レーザ光
による光を検知しないように構成する。

【００４１】図４aに、本第２実施形態におけるシャッ
タ制御機能を等価的に表わす回路図を示す。

【００４２】光センサ３０は、光を検知しない時に端子
両端間を短絡し、検知した時に両端間を絶縁状態とす
る。また、ドア開閉検出センサ８は、ドア７の閉状態を
検知した時に端子両端間を短絡し、開状態を検知した時
に両端間を絶縁状態とする。パネル開閉検出センサ９
は、パネル１０の閉状態を検知した時に端子両端間を短
絡し、開状態を検知した時に両端間を絶縁状態とする。
また、スイッチ２３aは、シャッタ５を開くときに、両
端子間が短絡され、シャッタ５を閉じるときに、両端子
間が絶縁状態とされる。そして、電源２５は、シャッタ
５を開くために電力を供給する電源である。電力が供給
された状態でシャッタ５は開き、一方、電力が供給され
ていない状態ではシャッタ５は閉じる。

【００４３】被検物を保護筐体内に搬入する際や、搬出
する際は、保護筐体のドアが開けられる。ドア開閉検出
センサ８は、開状態を検出し、両端子間を絶縁状態とす
る。これにより、電源２５からの電力が供給されなくな
り、シャッタ５は強制的に閉じられ、レーザ６のレーザ
光は遮断される。この状態で、スイッチ２３aが短絡さ
れても、電源２５からの電力はシャッタ５に供給されな
い。したがって、シャッタ５は開かず、レーザ光が放射
されることはない。

【００４４】同様に、保守管理作業者が、保護筐体１の
パネル１０を開けて作業している時、パネル開閉検出セ
ンサ９は、開状態を検出し、両端子間を絶縁状態とす
る。これにより、電源２５からの電力が供給されなくな
る。シャッタ５は強制的に閉じられ、レーザ６のレーザ
光は遮断される。この状態で、スイッチ２３aが短絡さ
れても、電源２５からの電力はシャッタ５に供給されな
い。したがって、シャッタ５は開かず、レーザ光が放射
されることはない。

【００４５】さて、保護筐体は密閉された空間であり、
ドア７やパネル１０をすべて閉じた状態では、保護筐体
１内部に、レーザ光源以外の光源がない場合、作業者が
業務を行えないような暗闇になる。もちろん、保護筐体
内部の照明として、レーザ光を使用することは安全上で
きない。したがって、作業者が保護筐体１内部で作業す
るときには、必ず照明灯２２を点灯するか、他の光源を
保護筐体１内部に持ち込む必要がある。

【００４６】従って、作業者が保護筐体内部で点灯した
光を、光センサ３０によって検知することで、保護筐体
１内部に人体が存在する可能性があるものと考えること
ができる。

【００４７】そこで、本第２実施形態では、光センサ３
０が光を検知した場合には、強制的にレーザ光が放射さ
れないようにする。すなわち、光センサ３０が光を検知
すると、両端子間が絶縁状態となる。これにより、電源
２５からの電力が供給されなくなり、シャッタ５は強制
的に閉じられ、レーザ６のレーザ光は遮断される。この
状態で、スイッチ２３aが短絡されても、電源２５から
の電力はシャッタ５に供給されない。したがって、シャ
ッタ５が開かないため、レーザ光が放射されることはな
い。

【００４８】作業者が、保護筐体１から退出し、照明が
無くなり、かつ、保護筐体１の全てのドア及びパネルが
全て閉じられると、ドア開閉検出センサ８、パネル開閉
検出センサ９、光センサ３０の全てが、両端子間を短絡
する。その結果、この状態で、スイッチ２３aが短絡さ
れると、電源２５からの電力はシャッタ５に供給され、
シャッタ５が開き、レーザ光が放射される。

【００４９】なお、本第２の実施の形態では、ＪＩＳ規
格に基づき、図４bに示した、スイッチ２３bは、シャッ
タ５の開閉用のスイッチ２３aと連動するようになって
いる。スイッチ２３aが短絡されるとスイッチ２３bも同
時に短絡し、電源２６からの電力を警告灯２１に供給
し、警告灯２１を点灯させる。

【００５０】以上、本発明の第２実施形態について説明
した。

【００５１】ところで、前記第２実施形態では、光セン
サ３０によって光を検知することにより照明灯２２の点
灯を検知した。しかし、照明灯２２の点灯は、光センサ
３０の代わりに、照明灯２２の点灯／消灯用のスイッチ
２３cに連動するスイッチ２３dによって検知するように
してもよい。

【００５２】すなわち、図４ｃに示すように、照明灯２
２のスイッチ２３cが短絡して照明灯２２が点灯された
ときには、スイッチ２３ｄが絶縁し、また、照明灯２２
のスイッチ２３cが絶縁状態となり照明灯２２が消灯さ
れたときには、スイッチ２３ｄが短絡状態となる。

【００５３】このように、照明灯２２のスイッチ２３c
が短絡して照明灯２２が点灯されたときに、スイッチ２
３dの両端子間が絶縁状態となり、電源２５からの電力
が供給されなくなり、シャッタ５は強制的に閉じられ、
レーザ６のレーザ光は遮断される。この状態で、スイッ
チ２３aが短絡されても、電源２５からの電力は、シャ
ッタ５に供給されない。そのため、シャッタ５が開か
ず、レーザ光が放射されることはない。

【００５４】また、作業者が、保護筐体から退出し、ス
イッチ２３ｃを絶縁状態とすることにより照明灯２２が
消灯され、かつ、保護筐体１の全てのドア及びパネルが
全て閉じられると、ドア開閉検出センサ８、パネル開閉
検出センサ９、スイッチ２３dの全てが、両端子間を短
絡する。この状態で、スイッチ２３aが短絡されると、
電源２５からの電力はシャッタ５に供給され、シャッタ
５が開き、レーザ光が放射される。

【００５５】なお、照明灯２２用のスイッチ２３cに連
動するスイッチ２３dは、照明灯２２用のスイッチ２３c
が１回路型スイッチで実現できるのであれば、２回路型
のスイッチを用い、一方の回路をスイッチ２３cとし
て、他方の回路をスイッチ２３dとして用いることによ
り実現できる。もちろん、スイッチ２３dとしては、こ
の他、照明灯２２用のスイッチ２３cの状態を検知し、
短絡／絶縁状態を切り替える任意のスイッチを用いるよ
うにしてもよい。

【００５６】また、上述した図４（ｃ）に示す形態につ
いても、図４（ｂ）に示す警告灯を点灯するための回路
を付加し、図４（ｂ）に示すスイッチ２３bを、図４
（ｃ）に示すスイッチ２３aと連動させて、スイッチ２
３aが短絡されると、スイッチ２３bも短絡して警告灯２
１を点灯させる構成となっている。もちろん、図４
（ｂ）の回路を付加しない構成とすることもできる。

【００５７】また、第２実施の形態では、照明が点灯し
ていれば、シャッタ５を開くことができないように構成
したが、保守などのために、ドアやパネルを開けたり照
明を点灯したままでレーザ光を放射したい場合がある。
そこで、このような場合のために、図４ｄに示すよう
な、ドアやパネルのインターロック解除スイッチ２３e
を設けるようにしてもよい。

【００５８】インターロック解除スイッチ２３eは、解
除側に切り替えられたときに、両端子間を短絡状態と
し、ドア開閉検出センサ８、パネル開閉検出センサ９、
光センサ３０またはスイッチ２３dの状態の如何によら
ず、スイッチ２３aの短絡によって、電源２５からの電
力がシャッタ５に供給されるように機能する。したがっ
て、シャッタ５が開き、レーザ光が放射できるようにす
る。

【００５９】なお、インターロック解除スイッチ２３e
は、おもに保守業務時に特別な訓練を受けた作業者のみ
が使用できるように、たとえば、鍵つきのスイッチを用
い、一般作業者は解除側に切り替えることができないよ
うにする。

【００６０】また、上述した図４（ｄ）に示す形態につ
いても、図４（ｂ）に示す警告灯を点灯するための回路
を付加し、図４（ｂ）に示すスイッチ２３bを、図４
（ｄ）に示すスイッチ２３aと連動させて、スイッチ２
３aが短絡されると、スイッチ２３bも短絡して警告灯２
１を点灯させる構成となっている。もちろん、図４
（ｂ）の回路を付加しない構成とすることもできる。

【００６１】以上、本発明の実施の形態について説明し
た。

【００６２】なお、以上の各実施形態では、制御器２に
よるシャッタ駆動回路４の制御によって実現される機能
を、当該機能と等価な機能を果たす回路図によって説明
したが、実際には、この機能は制御器２の次のような制
御によって実現することができる。

【００６３】すなわち、制御器２は、ドア開閉検出セン
サ８のドア開状態の検出、パネル開閉検出センサ９のパ
ネル開状態の検出、人体検出センサ３の人体の検出（ま
たは、光センサ３０もしくはスイッチ２３dによる照明
の点灯の検出）の、いずれかが発生したときに、シャッ
タ駆動回路４がシャッタ５を閉状態とするよう制御す
る。また、いずれかが発生している期間は、シャッタ駆
動回路４がシャッタ５を閉状態とし続けるよう制御す
る。一方、ドア開閉検出センサ８がドア開状態を検出
し、かつ、パネル開閉検出センサ９がパネル閉状態を検
出し、かつ、人体検出センサ３が人体を検出（または、
光センサ３０もしくはスイッチ２３dが照明の消灯を検
出）していない期間は、スイッチ２３aの状態に従っ
て、シャッタ駆動回路４がシャッタ５開状態もしくは閉
状態とするように制御する。

【００６４】また、以上の実施の形態では、制御器２に
よるシャッタ駆動回路４の制御によってシャッタ５の開
閉が制御されるとして説明したが、これに代えて、図
３、図４に示した回路を実際に備え、これによってシャ
ッタ５の開閉を制御するようにしてもよい。

【００６５】また、以上の実施の形態は、保護体とし
て、筐体ではなく一つの部屋を用いるような場合にも、
同様に適用可能である。

【００６６】また、以上の各実施形態では干渉測定装置
への適用を例にとり説明したが、前記各実施形態は、レ
ーザ光の被ばくを受ける可能性のある保護筐体内や室内
などの、レーザ光を外部に対して遮断可能な空間に、人
が入り込む可能性のある装置全てに適用可能である。

【００６７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、保護筐体
内部などの、レーザ光を外部に対して遮断可能な空間内
部に立ち入った作業者のレーザ光被ばくを、より確実に
防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るレーザ光を用いた装置の構成例を
示すブロック図である。

【図２】本発明の第１実施形態に係る干渉測定装置の構
成を示すブロック図である。

【図３】本発明の第１実施形態に係るシャッタの制御機
能と等価な機能を果たす回路を示す図である。

【図４】本発明の第２実施形態に係るシャッタの制御機
能と等価な機能を果たす回路を示す図である。

【図５】従来のインタロック機構の構成を示す図であ
る。

【符号の説明】

１保護筐体２制御器３人体検出センサ４シャッタ駆動回路５シャッタ６レーザ７ドア８ドア開閉検出センサ９パネル開閉検出センサ１０パネル１１測定光学系１２除振台１３ベース１４被検物固定台１５被検物２１警告灯２２照明灯２３スイッチ類３０光センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザ光を発生するレーザ発生部と、前記
レーザ発生部から放射されるレーザ光を遮断もしくは減
衰させる被ばく防止部とを含むレーザ発生装置を、前記
レーザ光を、外部に対して遮断可能な空間に配置したレ
ーザ光利用装置であって、前記空間内に人体が存在する可能性を判定し、前記空間
内に人体が存在する可能性があると判定された場合に、
前記被ばく防止部を制御し、前記レーザ発生部から放射
されるレーザ光を遮断もしくは減衰させる制御手段を有
することを特徴とするレーザ光利用装置。
【請求項２】請求項１記載のレーザ光利用装置であっ
て、前記制御手段は、前記空間内における人体の存在を検出する人体検出手段
を備え、前記人体検出手段が人体の存在を検出した場合に、前記
空間内に人体が存在する可能性があると判定することを
特徴とするレーザ光利用装置。
【請求項３】請求項１記載のレーザ光利用装置であっ
て、前記制御手段は、前記空間内の照明状態を検出する照明検出手段を備え、前記照明検出手段により前記空間内が照明されているこ
とを検出した場合に、前記空間内に人体が存在する可能
性があると判定することを特徴とするレーザ光利用装
置。
【請求項４】請求項３記載のレーザ光利用装置であっ
て、前記空間内を照明する照明灯を備え、前記照明検出手段は、前記照明灯の点灯／消灯を検出す
ることを特徴とするレーザ光利用装置。
【請求項５】請求項３記載のレーザ光利用装置であっ
て、前記照明検出手段は、前記空間内に配置された光センサ
であることを特徴とするレーザ光利用装置。
【請求項６】請求項３記載のレーザ光利用装置であっ
て、前記空間内を照明する照明灯と、前記照明灯を点灯／消灯するための照明スイッチとを備
え、前記照明検出手段は、前記照明スイッチに連動するスイ
ッチであることを特徴とするレーザ光利用装置。