JPH11271740A - 液晶表示装置および液晶装置、並びにこれらの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶装置および液晶表示装置の製造工程の簡
略化、製造コストの低減、および軽量化を図る。 【解決手段】 ガラス基板２１上に、支持部材２２、お
よび支持部材２２に支持されたフィルム状の樹脂膜２３
が設けられるとともに、上記ガラス基板２１と樹脂膜２
３との間に液晶が封入された液晶層２４が形成されてい
る。上記支持部材２２および樹脂膜２３は、感光性プレ
ポリマーである光重合性モノマーまたはオリゴマーが紫
外線の照射によって重合硬化して形成されている。樹脂
膜２３は、より詳しくは、２回の紫外線の照射によって
それぞれ形成された第１の樹脂膜２３ａと第２の樹脂膜
２３ｂとから構成されている。第２の樹脂膜２３ｂを形
成するための紫外線の照射時には、所定の方向に偏光し
た紫外線が用いられることにより、ガラス基板２１と樹
脂膜２３との間で液晶分子が９０°ねじれたＴＮ型液晶
表示装置が構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、テレビジョンやコ
ンピュータディスプレイ等に用いられる、ツイステッド
ネマティック（ＴＮ）型やインプレーンスイッチング
（ＩＰＳ）型等の液晶表示装置、および上記液晶表示装
置や、調光機能を有するブラインドガラス、液晶シャッ
ターなどに適用される液晶装置、並びにこれらの製造方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のＴＮ型液晶表示装置は、一対のガ
ラス基板が、スペーサを介して所定のギャップを形成す
るように貼り合わされ、上記ギャップに液晶（ネマティ
ック液晶等）が注入されて液晶パネルが形成されるとと
もに、上記液晶パネルの両面側に偏光板が設けられて構
成されている。上記ガラス基板の一方には、透明画素電
極、および薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が形成されてい
る。他方のガラス基板には、赤緑青の微小なフィルタ群
から構成されたカラーモザイクフィルタ、および透明共
通電極が形成されている。また、上記各ガラス基板の透
明画素電極、および透明共通電極上には、それぞれ配向
膜が形成されている。これらの配向膜は、例えば各電極
上にポリビニルアルコールやポリイミド溶液をスピナー
により塗布して被膜を形成した後、ラビングを行って配
向処理することにより形成されている。上記のような液
晶表示装置は、背面側からバックライトの光を照射する
とともに、ＴＦＴを介して各透明画素電極に画像信号電
圧を印加し、各画素に対応する液晶の光透過率を制御す
ることにより、カラー画像が表示されるようになってい
る。

【０００３】また、ＩＰＳ型液晶表示装置等において
も、電極の構成等は異なるが、一対のガラス基板の間に
形成されたギャップに液晶が注入されて構成されている
点は同様である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の液晶表示装置は、ガラス基板のギャップに液晶を注
入する工程を必要とし、この工程に長時間を要するため
に、製造コストが高くつくという課題を有していた。具
体的には、液晶表示装置のサイズにも依存するが、例え
ば１０インチ型の液晶表示装置において、５μｍ程度の
ギャップに真空脱気により液晶を注入するためには２時
間程度かかり、極めて製造効率が悪かった。

【０００５】また、１対のガラス基板（すなわち２枚の
ガラス基板）を用いているために、重量の低減が困難で
あるという課題を有していた。この課題は、特に液晶表
示装置を携帯用の機器に適用する場合に大きな欠点とな
る。

【０００６】本発明は上記の点に鑑み、液晶注入工程を
必要とせず、製造工程の簡略化および製造コストの低減
を図ることができる液晶装置および液晶表示装置、並び
にこれらの製造方法の提供を目的としている。また、容
易に軽量化を図ることができ、携帯用の機器への適用に
も適した液晶表示装置の提供を目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、液晶表示装置であって、画素電
極、上記画素電極に接続されたスイッチング素子、およ
び配向膜が形成された基板と、感光性プレポリマーが露
光により重合硬化して形成された樹脂膜と、上記基板と
上記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有することを
特徴としている。

【０００８】これにより、１枚の基板と樹脂膜との間に
液晶が封止されているので、１対の基板の間に液晶が封
止された液晶表示装置に比べて、軽量化を容易に図るこ
とができ、携帯用の機器への適用にも適した液晶表示装
置を得ることができる。

【０００９】請求項２の発明は、請求項１の液晶表示装
置であって、さらに、上記基板と上記樹脂膜との間に、
感光性プレポリマーが露光により重合硬化して形成され
た支持部材が設けられていることを特徴としている。

【００１０】これにより、基板と樹脂膜との間隔、すな
わち液晶層の厚さを一定に保つことが容易にでき、表示
むらの少ない液晶表示装置を得ることができる。

【００１１】請求項３の発明は、請求項１または請求項
２の液晶表示装置であって、上記樹脂膜は、アクリレー
ト系の物質を含むことを特徴としている。

【００１２】これにより、可視光域の光に対して透明性
に優れ、明るい表示が可能な液晶表示装置を得ることが
できる。

【００１３】請求項４または請求項５の発明は、請求項
１または請求項２の液晶表示装置であって、上記液晶層
は、ネマティック液晶、より具体的には、トラン系ネマ
ティック液晶を含むことを特徴としている。

【００１４】これにより、安価で、しかも動作の安定し
た液晶表示装置を容易に得ることができる。

【００１５】請求項６の発明は、請求項１または請求項
２の液晶表示装置であって、上記樹脂膜は、感光性プレ
ポリマーが、偏光の露光により、分子が方向性を有する
ように重合硬化して形成されるとともに、上記樹脂膜の
上記液晶層と反対側に対向電極が形成されていることを
特徴としている。

【００１６】これにより、軽量なツイステッドネマティ
ックモードやホメオトロピックモードの液晶表示装置を
得ることができる。

【００１７】請求項７の発明は、請求項６の液晶表示装
置であって、さらに、上記樹脂膜の上記液晶層と反対側
に、カラーフィルタが設けられていることを特徴として
いる。

【００１８】これにより、軽量でカラー表示の可能なツ
イステッドネマティックモードやホメオトロピックモー
ドの液晶表示装置を得ることができる。

【００１９】請求項８の発明は、請求項７の液晶表示装
置であって、上記対向電極は、透明導電膜から形成され
るとともに、上記対向電極は、上記樹脂膜と上記カラー
フィルタとの間、または上記カラーフィルタの上記樹脂
膜と反対側に設けられていることを特徴としている。

【００２０】これにより、軽量でカラー表示の可能なツ
イステッドネマティックモードやホメオトロピックモー
ドの透過型の液晶表示装置を得ることができる。

【００２１】請求項９の発明は、請求項７の液晶表示装
置であって、上記対向電極は、光を反射する材料から形
成されるとともに、上記カラーフィルタは、上記樹脂膜
と上記対向電極との間に設けられていることを特徴とし
ている。

【００２２】これにより、軽量でカラー表示の可能なツ
イステッドネマティックモードやホメオトロピックモー
ドの反射型の液晶表示装置を得ることができる。

【００２３】請求項１０の発明は、請求項１または請求
項２の液晶表示装置であって、上記基板には、さらに、
共通電極（対向電極）が形成されていることを特徴とし
ている。

【００２４】これにより、軽量なインプレーンスイッチ
ング型の液晶表示装置を得ることができる。

【００２５】請求項１１の発明は、請求項１０の液晶表
示装置であって、上記樹脂膜は、感光性プレポリマー
が、偏光の露光により、分子が方向性を有するように重
合硬化して形成されていることを特徴としている。

【００２６】これにより、樹脂膜が、その樹脂膜近傍の
液晶分子に所定のチルト角を与える配向機能を有するの
で、液晶の配向状態の安定度が向上し、軽量で、かつ、
良好な表示特性のインプレーンスイッチング型の液晶表
示装置を得ることができる。

【００２７】請求項１２の発明は、請求項１０の液晶表
示装置であって、さらに、上記樹脂膜の上記液晶層と反
対側に、カラーフィルタが設けられていることを特徴と
している。

【００２８】これにより、軽量でカラー表示の可能なイ
ンプレーンスイッチング型の液晶表示装置を得ることが
できる。

【００２９】請求項１３の発明は、請求項１２の液晶表
示装置であって、さらに、上記樹脂膜と上記カラーフィ
ルタとの間、または上記カラーフィルタの上記樹脂膜と
反対側に、透明導電膜から形成された電極が設けられて
いることを特徴としている。

【００３０】これにより、軽量でカラー表示が可能であ
るとともに、樹脂膜が薄くても、液晶分子の配向が静電
気の影響を受けにくいので、配向安定性に優れたインプ
レーンスイッチング型の液晶表示装置を得ることができ
る。

【００３１】請求項１４の発明は、請求項１２の液晶表
示装置であって、さらに、上記カラーフィルタの上記樹
脂膜と反対側に、光を反射する材料から形成された電極
が設けられていることを特徴としている。

【００３２】これにより、軽量でカラー表示の可能なイ
ンプレーンスイッチング型の反射型の液晶表示装置を得
ることができる。

【００３３】請求項１５の発明は、画素電極、上記画素
電極に接続されたスイッチング素子、および配向膜が形
成された基板と、感光性プレポリマーが露光により重合
硬化して形成された樹脂膜と、上記基板と上記樹脂膜と
の間に封止された液晶層とを有する液晶表示装置の製造
方法であって、上記基板上に、上記画素電極、上記スイ
ッチング素子、および上記配向膜を形成する工程と、上
記基板上に、感光性プレポリマーと液晶とを含む混合体
膜を形成する工程と、上記混合体膜を上記基板と反対側
から第１の波長の光で露光し、上記混合体膜中の感光性
プレポリマーを析出させ、重合硬化させて、上記混合体
膜の表面に樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程とを有する
ことを特徴としている。

【００３４】これにより、混合体膜中の感光性プレポリ
マーが析出して樹脂膜が形成されるとともに、残った液
晶によって液晶層が形成されるので、時間の長くかかる
液晶注入工程を必要とすることなく液晶層を形成するこ
とができ、製造工程の簡略化および製造コストの低減を
図ることができるとともに、１枚の基板と樹脂膜との間
に液晶が封止されるので、１対の基板の間に液晶が封止
された液晶表示装置に比べて、軽量化を容易に図ること
ができる。

【００３５】請求項１６の発明は、請求項１５の液晶表
示装置の製造方法であって、上記樹脂膜形成工程は、上
記混合体膜中の所定の量の感光性プレポリマーを析出さ
せて樹脂膜を形成するとともに、さらに、上記混合体膜
における所定の領域を第２の波長の光で選択的に露光
し、上記混合体膜中に残っている感光性プレポリマーを
重合硬化させて、上記領域における上記基板と上記樹脂
膜との間に支持部材を形成する支持部材形成工程を有す
ることを特徴としている。

【００３６】これにより、混合体膜中に残っている感光
性プレポリマーによって支持部材を形成することができ
るので、製造工程の簡略化を図りつつ、基板と樹脂膜と
の間隔、すなわち液晶層の厚さを一定に保った液晶表示
装置を製造することが容易にできる。

【００３７】請求項１７の発明は、請求項１６の液晶表
示装置の製造方法であって、上記支持部材形成工程は、
上記混合体膜中に残っている所定の量の感光性プレポリ
マーを析出させて支持部材を形成するとともに、さら
に、上記混合体膜を上記樹脂膜側から第３の波長の光で
露光し、上記混合体膜中に残っている感光性プレポリマ
ーを析出させ、重合硬化させて、上記樹脂膜の上記基板
側に内面側樹脂膜を形成する内面側樹脂膜形成工程を有
することを特徴としている。

【００３８】これにより、混合体膜中に残っている感光
性プレポリマーが析出して内面側樹脂膜が形成され、残
った液晶によって液晶層が形成されるので、液晶層にお
ける液晶の純度を高くすることが容易にできる。

【００３９】請求項１８または請求項１９の発明は、請
求項１５ないし請求項１７の液晶表示装置の製造方法で
あって、上記感光性プレポリマーは、光重合性モノマー
またはオリゴマー、より具体的には、アクリレート系の
物質を含むことを特徴としている。

【００４０】これにより、混合体膜の露光によって容易
に感光性プレポリマーを重合硬化させて樹脂膜等を形成
することができるとともに、可視光域の光に対して透明
性に優れた液晶表示装置を製造することができる。

【００４１】請求項２０または請求項２１の発明は、請
求項１５ないし請求項１７の液晶表示装置の製造方法で
あって、上記液晶は、ネマティック液晶、より具体的に
は、トラン系ネマティック液晶を含むことを特徴として
いる。

【００４２】これにより、混合体膜の露光によって感光
性プレポリマーと液晶とが相分離しやすく、感光性プレ
ポリマーを析出させて容易に樹脂膜等を形成できるとと
もに、入手しやすい液晶を用いて、動作の安定した液晶
表示装置を容易に製造することができる。

【００４３】請求項２２ないし請求項２４の発明は、請
求項１５ないし請求項１７の液晶表示装置の製造方法で
あって、上記混合体膜は、さらに、感光性プレポリマー
の重合開始剤、または増感剤、例えばベンゾイル系の物
質、より具体的には、２，２−ジメトキシ−１，２−ジ
フェニルエタン−１−オンを含むことを特徴としてい
る。

【００４４】これにより、感光性プレポリマーの重合硬
化を効率よく行わせることができるので、感光性プレポ
リマーの硬化速度を増大させて、一層、製造工程の簡略
化を図ることができる。

【００４５】請求項２５の発明は、請求項１５ないし請
求項１７の液晶表示装置の製造方法であって、上記樹脂
膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条件で上記
第１の波長の光で露光することにより行うことを特徴と
している。

【００４６】これにより、最も多くの光を吸収する混合
体膜の表面付近で、感光性プレポリマーが重合硬化しや
すく、また、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを
析出させて混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成する
ことが容易にできる。、

【００４７】請求項２６または請求項２７の発明は、請
求項１５ないし請求項１７の液晶表示装置の製造方法で
あって、上記第１の波長の光として、上記感光性プレポ
リマーの吸光特性における吸収領域の波長の光を用い、
より具体的には、上記感光性プレポリマーは、ポリエス
テルアクリレート系の物質を含むとともに、上記第１の
波長の光として、波長が２５４ｎｍの遠紫外線を用いる
ことを特徴としている。

【００４８】これにより、照射された光をほとんど混合
体膜の表面付近で吸収させて、感光性プレポリマーを重
合硬化させることができるので、混合体膜の表面に選択
的に樹脂膜を形成することが、一層、容易にできるとと
もに、樹脂膜の厚さを高い精度で制御することが容易に
できる。

【００４９】請求項２８の発明は、請求項１６または請
求項１７の液晶表示装置の製造方法であって、上記樹脂
膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条件で上記
第１の波長の光で露光することにより行い、上記支持部
材形成工程は、上記混合体膜を相反則の条件で上記第２
の波長の光で露光することにより行うことを特徴として
いる。

【００５０】これにより、相反則不軌の条件で第１の波
長の光が照射されると、混合体膜の表面付近で感光性ポ
リマーが析出して重合硬化しやすく、混合体膜の表面に
選択的に樹脂膜を形成することが容易にでき、また、相
反則の条件で第２の光が照射されると、混合体膜におけ
る基板近傍の部分にまで感光性ポリマーを重合硬化させ
やすく、樹脂膜と基板との間に確実かつ効率的に支持部
材を形成することが容易にできる。

【００５１】請求項２９の発明は、請求項１６または請
求項１７の液晶表示装置の製造方法であって、上記第２
の波長の光として、上記感光性プレポリマーの吸光度が
上記第１の波長の光よりも小さい波長の光を用いること
を特徴としている。

【００５２】これにより、照射された第１の波長の光を
ほとんど混合体膜の表面付近で吸収させて、感光性プレ
ポリマーを重合硬化させることができ、混合体膜の表面
に選択的に樹脂膜を形成することが、一層、容易にでき
るとともに、第２の波長の光は、混合体膜における基板
近傍の部分にまで届きやすいので、樹脂膜と基板との間
に支持部材を形成することが容易にできる。

【００５３】請求項３０の発明は、請求項１７の液晶表
示装置の製造方法であって、上記樹脂膜形成工程は、上
記混合体膜を相反則不軌の条件で上記第１の波長の光で
露光することにより行い、上記支持部材形成工程は、上
記混合体膜を相反則の条件で上記第２の波長の光で露光
することにより行い、上記内面側樹脂膜形成工程は、上
記混合体膜を相反則不軌の条件で上記第３の波長の光で
露光することにより行うことを特徴としている。

【００５４】これにより、相反則不軌の条件で第１の波
長の光または第３の波長の光が照射されると、混合体膜
の表面付近で感光性ポリマーが析出して重合硬化しやす
く、混合体膜の表面に選択的に樹脂膜や内面側樹脂膜を
形成することが容易にでき、また、相反則の条件で第２
の光が照射されると、混合体膜における基板近傍の部分
にまで感光性ポリマーを重合硬化させやすく、樹脂膜と
基板との間に確実かつ効率的に支持部材を形成すること
が容易にできる。

【００５５】請求項３１の発明は、請求項１７の液晶表
示装置の製造方法であって、上記第３の波長の光とし
て、上記感光性プレポリマーの吸光度が、上記第１の波
長の光よりも小さく、かつ、上記第２の波長の光よりも
大きい波長の光を用いることを特徴としている。

【００５６】これにより、第１の波長の光は、混合体膜
を透過しにくく、ほとんど混合体膜の表面付近で吸収さ
れるので、混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成する
ことが容易にでき、また、第２の波長の光は、混合体膜
における基板近傍の部分にまで届きやすいので、樹脂膜
と基板との間に確実に支持部材を形成することが容易に
できるとともに、第３の波長の光は、既に形成された樹
脂膜を比較的透過しやすい一方、混合体膜における、樹
脂膜の基板側付近で吸収されやすいので、樹脂膜の基板
側に内面側樹脂膜を形成することが容易にできる。

【００５７】請求項３２または請求項３３の発明は、請
求項１７の液晶表示装置の製造方法であって、上記混合
体膜は、さらに、感光性プレポリマーの重合開始剤、ま
たは増感剤を含むとともに、上記第１の波長の光とし
て、上記感光性プレポリマーの吸光特性における吸収領
域端の波長より短波長の光を用い、相反則不軌の条件で
上記混合体膜を露光し、上記第２の波長の光として、上
記重合開始剤、または増感剤の吸光特性における吸収ピ
ーク波長より長波長の光を用い、相反則の条件で上記混
合体膜を露光し、上記第３の波長の光として、上記感光
性プレポリマーの吸光特性における吸収領域端の波長
と、上記重合開始剤、または増感剤の吸光特性における
吸収ピーク波長との間の波長の光を用い、相反則不軌の
条件で上記混合体膜を露光することを特徴としており、
より具体的には、上記感光性プレポリマーは、ポリエス
テルアクリレート系の物質を含み、上記液晶は、トラン
系ネマティック液晶を含み、上記混合体膜は、さらに、
２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−
オンを含むとともに、上記第１の波長の光として、波長
が２５４ｎｍの遠紫外線を用い、上記第２の波長の光と
して、波長が３６５ｎｍの紫外線を用い、上記第３の波
長の光として、波長が３１３ｎｍの紫外線を用いること
を特徴としている。

【００５８】これにより、第１の波長の光は、混合体膜
を透過しにくく、ほとんど混合体膜の表面付近で吸収さ
れるうえ、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを析
出させて混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成するこ
とが容易にでき、また、第２の波長の光は、混合体膜に
おける基板近傍の部分にまで届きやすいうえ、相反則の
条件により樹脂膜と基板との間に確実かつ効率的に支持
部材を形成することが容易にできるとともに、第３の波
長の光は、既に形成された樹脂膜を比較的透過しやす
く、混合体膜における、樹脂膜の基板側付近で吸収され
やすいうえ、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを
析出させて樹脂膜の基板側に内面側樹脂膜を形成するこ
とが容易にできる。

【００５９】請求項３４の発明は、請求項１５ないし請
求項１７の液晶表示装置の製造方法であって、さらに、
上記樹脂膜の上記液晶層と反対側に対向電極を形成する
対向電極形成工程を有することを特徴としている。

【００６０】これにより、軽量なツイステッドネマティ
ックモードや、ホメオトロピックモードなどの液晶表示
装置を製造することができる。

【００６１】請求項３５の発明は、請求項３４の液晶表
示装置の製造方法であって、上記内面側樹脂膜形成工程
における第３の波長の光による露光は、偏光板を介して
行われることを特徴としている。

【００６２】これにより、軽量なツイステッドネマティ
ックモードなどの液晶表示装置を製造することができ
る。

【００６３】請求項３６の発明は、請求項３４の液晶表
示装置の製造方法であって、上記対向電極形成工程は、
上記樹脂膜の上記液晶層と反対側に透明導電膜を形成す
ることにより、上記対向電極を形成する工程であるとと
もに、さらに、上記対向電極形成工程の前または後に、
上記樹脂膜上または上記対向電極上に、カラーフィルタ
を形成する工程を有することを特徴としている。

【００６４】これにより、軽量でカラー表示の可能なツ
イステッドネマティックモードやホメオトロピックモー
ドの透過型の液晶表示装置を製造することができる。

【００６５】請求項３７の発明は、請求項３４の液晶表
示装置の製造方法であって、上記対向電極形成工程は、
上記樹脂膜の上記液晶層と反対側に光の反射膜を形成す
ることにより、上記対向電極を形成する工程であるとと
もに、さらに、上記対向電極形成工程の前に、上記樹脂
膜上にカラーフィルタを形成する工程を有することを特
徴としている。

【００６６】これにより、軽量でカラー表示の可能なツ
イステッドネマティックモードやホメオトロピックモー
ドの反射型の液晶表示装置を製造することができる。

【００６７】請求項３８の発明は、請求項１５ないし請
求項１７の液晶表示装置の製造方法であって、さらに、
上記基板に共通電極を形成する工程を有することを特徴
としている。

【００６８】これにより、軽量なインプレーンスイッチ
ング型の液晶表示装置を製造することができる。

【００６９】請求項３９の発明は、請求項３８の液晶表
示装置の製造方法であって、上記内面側樹脂膜形成工程
における第３の波長の光による露光は、偏光板を介して
行われることを特徴としている。

【００７０】これにより、樹脂膜が、その樹脂膜近傍の
液晶分子に所定のチルト角を与える配向機能を有するの
で、液晶の配向状態の安定度が向上し、軽量で、かつ、
良好な表示特性のインプレーンスイッチング型の液晶表
示装置を製造することができる。

【００７１】請求項４０の発明は、請求項３８の液晶表
示装置の製造方法であって、さらに、上記封止膜上にカ
ラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成工程を有す
ることを特徴としている。

【００７２】これにより、軽量でカラー表示の可能なイ
ンプレーンスイッチング型の液晶表示装置を製造するこ
とができる。

【００７３】請求項４１の発明は、請求項４０の液晶表
示装置の製造方法であって、さらに、上記カラーフィル
タ形成工程の前または後に、上記樹脂膜上または上記カ
ラーフィルタ上に、透明電極を形成する工程を有するこ
とを特徴としている。

【００７４】これにより、軽量でカラー表示が可能であ
るとともに、樹脂膜が薄くても、液晶分子の配向が静電
気の影響を受けにくいので、配向安定性に優れたインプ
レーンスイッチング型の液晶表示装置を製造することが
できる。

【００７５】請求項４２の発明は、請求項４０の液晶表
示装置の製造方法であって、さらに、上記カラーフィル
タ上に導電性の光の反射膜を形成する工程を有すること
を特徴としている。

【００７６】これにより、軽量でカラー表示の可能なイ
ンプレーンスイッチング型の反射型の液晶表示装置を製
造することができる。

【００７７】請求項４３の発明は、液晶表示装置であっ
て、画像信号電極と走査電極とのうちの何れか一方、お
よび配向膜が形成された基板と、感光性プレポリマーが
露光により重合硬化して形成され、上記画像信号電極と
走査電極とのうちの他方が形成された樹脂膜と、上記基
板と上記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有するこ
とを特徴としている。

【００７８】これにより、１枚の基板と樹脂膜との間に
液晶が封止されているので、１対の基板の間に液晶が封
止された液晶表示装置に比べて、軽量化を容易に図るこ
とができ、携帯用の機器への適用にも適した単純マトリ
クス型の液晶表示装置を得ることができる。

【００７９】請求項４４の発明は、請求項４３の液晶表
示装置であって、さらに、上記第２の電極の上記樹脂膜
側、または上記樹脂膜と反対側にカラーフィルタが設け
られていることを特徴としている。

【００８０】これにより、軽量でカラー表示の可能な単
純マトリクス型の液晶表示装置を得ることができる。

【００８１】請求項４５の発明は、液晶装置であって、
配向膜が形成された基板と、感光性プレポリマーが露光
により重合硬化して形成された樹脂膜と、上記基板と上
記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有することを特
徴としている。

【００８２】これにより、１枚の基板と樹脂膜との間に
液晶が封止されているので、１対の基板の間に液晶が封
止された液晶装置に比べて、軽量化を容易に図ることが
できる。

【００８３】請求項４６の発明は、請求項４５の液晶装
置であって、さらに、上記基板と上記樹脂膜との間に、
感光性プレポリマーが露光により重合硬化して形成され
た支持部材が設けられていることを特徴としている。

【００８４】これにより、基板と樹脂膜との間隔、すな
わち液晶層の厚さを一定に保つことが容易にできる。

【００８５】請求項４７の発明は、請求項４５の液晶装
置であって、さらに、上記基板、および上記樹脂膜に、
それぞれ透明電極が形成されていることを特徴としてい
る。

【００８６】これにより、透明電極に印加する電圧を制
御して光の透過率を制御する液晶装置を得ることができ
る。

【００８７】請求項４８の発明は、請求項４５ないし請
求項４７の液晶装置であって、上記樹脂膜は、感光性プ
レポリマーが、偏光の露光により、分子が方向性を有す
るように重合硬化して形成されていることを特徴として
いる。

【００８８】これにより、樹脂膜が、その樹脂膜近傍の
液晶分子に所定のチルト角を与える配向機能を有するの
で、液晶の安定な配向状態を容易に得ることができる。

【００８９】請求項４９の発明は、請求項４５ないし請
求項４７の液晶装置であって、上記樹脂膜は、アクリレ
ート系の物質を含むことを特徴としている。

【００９０】これにより、可視光域の光に対して透明性
に優れた液晶装置を得ることができる。

【００９１】請求項５０または請求項５１の発明は、請
求項４５ないし請求項４７の液晶装置であって、上記液
晶層は、ネマティック液晶、より具体的には、トラン系
ネマティック液晶を含むことを特徴としている。

【００９２】これにより、安価で、しかも動作の安定し
た液晶装置を容易に得ることができる。

【００９３】請求項５２の発明は、配向膜が形成された
基板と、感光性プレポリマーが露光により重合硬化して
形成された樹脂膜と、上記基板と上記樹脂膜との間に封
止された液晶層とを有する液晶装置の製造方法であっ
て、上記配向膜が形成された上記基板上に、感光性プレ
ポリマーと液晶とを含む混合体膜を形成する工程と、上
記混合体膜を上記基板と反対側から第１の波長の光で露
光し、上記混合体膜中の感光性プレポリマーを析出さ
せ、重合硬化させて、上記混合体膜の表面に樹脂膜を形
成する樹脂膜形成工程とを有することを特徴としてい
る。

【００９４】これにより、混合体膜中の感光性プレポリ
マーが析出して樹脂膜が形成されるとともに、残った液
晶によって液晶層が形成されるので、時間の長くかかる
液晶注入工程を必要とすることなく液晶層を形成するこ
とができ、製造工程の簡略化および製造コストの低減を
図ることができるとともに、１枚の基板と樹脂膜との間
に液晶が封止されるので、１対の基板の間に液晶が封止
された液晶装置に比べて、軽量化を容易に図ることがで
きる。

【００９５】請求項５３の発明は、請求項５２の液晶装
置の製造方法であって、上記樹脂膜形成工程は、上記混
合体膜中の所定の量の感光性プレポリマーを析出させて
樹脂膜を形成するとともに、さらに、上記混合体膜にお
ける所定の領域を第２の波長の光で選択的に露光し、上
記混合体膜中に残っている感光性プレポリマーを重合硬
化させて、上記領域における上記基板と上記樹脂膜との
間に支持部材を形成する支持部材形成工程を有すること
を特徴としている。

【００９６】これにより、混合体膜中に残っている感光
性プレポリマーによって支持部材を形成することができ
るので、製造工程の簡略化を図りつつ、基板と樹脂膜と
の間隔、すなわち液晶層の厚さを一定に保った液晶装置
を製造することが容易にできる。

【００９７】請求項５４の発明は、請求項５３の液晶装
置の製造方法であって、上記支持部材形成工程は、上記
混合体膜中に残っている所定の量の感光性プレポリマー
を析出させて支持部材を形成するとともに、さらに、上
記混合体膜を上記樹脂膜側から第３の波長の光で露光
し、上記混合体膜中に残っている感光性プレポリマーを
析出させ、重合硬化させて、上記樹脂膜の上記基板側に
内面側樹脂膜を形成する内面側樹脂膜形成工程を有する
ことを特徴としている。

【００９８】これにより、混合体膜中に残っている感光
性プレポリマーが析出して内面側樹脂膜が形成され、残
った液晶によって液晶層が形成されるので、液晶層にお
ける液晶の純度を高くすることが容易にできる。

【００９９】請求項５５または請求項５６の発明は、請
求項５２ないし請求項５４の液晶装置の製造方法であっ
て、上記感光性プレポリマーは、光重合性モノマーまた
はオリゴマー、より具体的には、アクリレート系の物質
を含むことを特徴としている。

【０１００】これにより、混合体膜の露光によって容易
に感光性プレポリマーを重合硬化させて樹脂膜等を形成
することができるとともに、可視光域の光に対して透明
性に優れた液晶装置を製造することができる。

【０１０１】請求項５７または請求項５８の発明は、請
求項５２ないし請求項５４の液晶装置の製造方法であっ
て、上記液晶は、ネマティック液晶、より具体的には、
トラン系ネマティック液晶を含むことを特徴としてい
る。

【０１０２】これにより、混合体膜の露光によって感光
性プレポリマーと液晶とが相分離しやすく、感光性プレ
ポリマーを析出させて容易に樹脂膜等を形成できるとと
もに、入手しやすい液晶を用いて、動作の安定した液晶
装置を容易に製造することができる。

【０１０３】請求項５９ないし請求項６１の発明は、請
求項５２ないし請求項５４の液晶装置の製造方法であっ
て、上記混合体膜は、さらに、感光性プレポリマーの重
合開始剤、または増感剤、例えばベンゾイル系の物質、
より具体的には、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェ
ニルエタン−１−オンを含むことを特徴としている。

【０１０４】これにより、感光性プレポリマーの重合硬
化を効率よく行わせることができるので、感光性プレポ
リマーの硬化速度を増大させて、一層、製造工程の簡略
化を図ることができる。

【０１０５】請求項６２の発明は、請求項５２ないし請
求項５４の液晶装置の製造方法であって、上記樹脂膜形
成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条件で上記第１
の波長の光で露光することにより行うことを特徴として
いる。

【０１０６】これにより、最も多くの光を吸収する混合
体膜の表面付近で、感光性プレポリマーが重合硬化しや
すく、また、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを
析出させて混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成する
ことが容易にできる。、

【０１０７】請求項６３または請求項６４の発明は、請
求項５２ないし請求項５４の液晶装置の製造方法であっ
て、上記第１の波長の光として、上記感光性プレポリマ
ーの吸光特性における吸収領域の波長の光を用い、より
具体的には、上記感光性プレポリマーは、ポリエステル
アクリレート系の物質を含むとともに、上記第１の波長
の光として、波長が２５４ｎｍの遠紫外線を用いること
を特徴としている。

【０１０８】これにより、照射された光をほとんど混合
体膜の表面付近で吸収させて、感光性プレポリマーを重
合硬化させることができるので、混合体膜の表面に選択
的に樹脂膜を形成することが、一層、容易にできるとと
もに、樹脂膜の厚さを高い精度で制御することが容易に
できる。

【０１０９】請求項６５の発明は、請求項５３または請
求項５４の液晶装置の製造方法であって、上記樹脂膜形
成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条件で上記第１
の波長の光で露光することにより行い、上記支持部材形
成工程は、上記混合体膜を相反則の条件で上記第２の波
長の光で露光することにより行うことを特徴としてい
る。

【０１１０】これにより、相反則不軌の条件で第１の波
長の光が照射されると、混合体膜の表面付近で感光性ポ
リマーが析出して重合硬化しやすく、混合体膜の表面に
選択的に樹脂膜を形成することが容易にでき、また、相
反則の条件で第２の光が照射されると、混合体膜におけ
る基板近傍の部分にまで感光性ポリマーを重合硬化させ
やすく、樹脂膜と基板との間に確実かつ効率的に支持部
材を形成することが容易にできる。

【０１１１】請求項６６の発明は、請求項５３または請
求項５４の液晶装置の製造方法であって、上記第２の波
長の光として、上記感光性プレポリマーの吸光度が上記
第１の波長の光よりも小さい波長の光を用いることを特
徴としている。

【０１１２】これにより、照射された第１の波長の光を
ほとんど混合体膜の表面付近で吸収させて、感光性プレ
ポリマーを重合硬化させることができ、混合体膜の表面
に選択的に樹脂膜を形成することが、一層、容易にでき
るとともに、第２の波長の光は、混合体膜における基板
近傍の部分にまで届きやすいので、樹脂膜と基板との間
に支持部材を形成することが容易にできる。

【０１１３】請求項６７の発明は、請求項５４の液晶装
置の製造方法であって、上記樹脂膜形成工程は、上記混
合体膜を相反則不軌の条件で上記第１の波長の光で露光
することにより行い、上記支持部材形成工程は、上記混
合体膜を相反則の条件で上記第２の波長の光で露光する
ことにより行い、上記内面側樹脂膜形成工程は、上記混
合体膜を相反則不軌の条件で上記第３の波長の光で露光
することにより行うことを特徴としている。

【０１１４】これにより、相反則不軌の条件で第１の波
長の光または第３の波長の光が照射されると、混合体膜
の表面付近で感光性ポリマーが析出して重合硬化しやす
く、混合体膜の表面に選択的に樹脂膜や内面側樹脂膜を
形成することが容易にでき、また、相反則の条件で第２
の光が照射されると、混合体膜における基板近傍の部分
にまで感光性ポリマーを重合硬化させやすく、樹脂膜と
基板との間に確実かつ効率的に支持部材を形成すること
が容易にできる。

【０１１５】請求項６８の発明は、請求項５４の液晶装
置の製造方法であって、上記第３の波長の光として、上
記感光性プレポリマーの吸光度が、上記第１の波長の光
よりも小さく、かつ、上記第２の波長の光よりも大きい
波長の光を用いることを特徴としている。

【０１１６】これにより、第１の波長の光は、混合体膜
を透過しにくく、ほとんど混合体膜の表面付近で吸収さ
れるので、混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成する
ことが容易にでき、また、第２の波長の光は、混合体膜
における基板近傍の部分にまで届きやすいので、樹脂膜
と基板との間に確実に支持部材を形成することが容易に
できるとともに、第３の波長の光は、既に形成された樹
脂膜を比較的透過しやすい一方、混合体膜における、樹
脂膜の基板側付近で吸収されやすいので、樹脂膜の基板
側に内面側樹脂膜を形成することが容易にできる。

【０１１７】請求項６９または請求項７０の発明は、請
求項５４の液晶装置の製造方法であって、上記混合体膜
は、さらに、感光性プレポリマーの重合開始剤、または
増感剤を含むとともに、上記第１の波長の光として、上
記感光性プレポリマーの吸光特性における吸収領域端の
波長より短波長の光を用い、相反則不軌の条件で上記混
合体膜を露光し、上記第２の波長の光として、上記重合
開始剤、または増感剤の吸光特性における吸収ピーク波
長より長波長の光を用い、相反則の条件で上記混合体膜
を露光し、上記第３の波長の光として、上記感光性プレ
ポリマーの吸光特性における吸収領域端の波長と、上記
重合開始剤、または増感剤の吸光特性における吸収ピー
ク波長との間の波長の光を用い、相反則不軌の条件で上
記混合体膜を露光することを特徴としており、より具体
的には、上記感光性プレポリマーは、ポリエステルアク
リレート系の物質を含み、上記液晶は、トラン系ネマテ
ィック液晶を含み、上記混合体膜は、さらに、２，２−
ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オンを含
むとともに、上記第１の波長の光として、波長が２５４
ｎｍの遠紫外線を用い、上記第２の波長の光として、波
長が３６５ｎｍの紫外線を用い、上記第３の波長の光と
して、波長が３１３ｎｍの紫外線を用いることを特徴と
している。

【０１１８】これにより、第１の波長の光は、混合体膜
を透過しにくく、ほとんど混合体膜の表面付近で吸収さ
れるうえ、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを析
出させて混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成するこ
とが容易にでき、また、第２の波長の光は、混合体膜に
おける基板近傍の部分にまで届きやすいうえ、相反則の
条件により樹脂膜と基板との間に確実かつ効率的に支持
部材を形成することが容易にできるとともに、第３の波
長の光は、既に形成された樹脂膜を比較的透過しやす
く、混合体膜における、樹脂膜の基板側付近で吸収され
やすいうえ、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを
析出させて樹脂膜の基板側に内面側樹脂膜を形成するこ
とが容易にできる。

【０１１９】請求項７１の発明は、請求項５４の液晶装
置の製造方法であって、上記内面側樹脂膜形成工程にお
ける上記第３の波長の光による露光は、偏光板を介して
行われることを特徴としている。

【０１２０】これにより、内面側樹脂膜が、その樹脂膜
近傍の液晶分子に所定のチルト角を与える配向機能を有
するので、液晶の安定な配向状態を容易に得ることがで
きる。

【０１２１】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）本発明の実施の
形態１として、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）によって駆
動される、透過型のツイステッドネマティック（ＴＮ）
型液晶表示装置の例を説明する。

【０１２２】この液晶表示装置は、図１に示すように、
ガラス基板２１上に、隔壁状の支持部材２２、および支
持部材２２に支持された膜厚が約１．２μｍのフィルム
状の樹脂膜２３が設けられるとともに、上記ガラス基板
２１と樹脂膜２３との間に液晶が封入された液晶層２４
が形成されて構成されている。上記ガラス基板２１上に
は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイ２５、酸化イン
ジウム錫（ＩＴＯ）の透明導電膜から成る画素電極２
６、および配向膜２７が形成されている。また、樹脂膜
２３上には、シート抵抗が１００〜５０オーム／□のＩ
ＴＯの透明導電膜から成る対向電極２８、および赤緑青
の微小なフィルタ群から構成されたカラーモザイクフィ
ルタ２９が設けられている。さらに、ガラス基板２１、
およびカラーモザイクフィルタ２９の外方側には、それ
ぞれ偏光板３０，３０が設置されている。

【０１２３】上記支持部材２２および樹脂膜２３は、感
光性プレポリマーである光重合性モノマーまたはオリゴ
マーが紫外線の照射によって重合硬化して形成されてい
る。樹脂膜２３は、より詳しくは、２回の紫外線の照射
によってそれぞれ形成された第１の樹脂膜２３ａと第２
の樹脂膜２３ｂとから構成されている。第２の樹脂膜２
３ｂを形成するための紫外線の照射時には、所定の方向
に偏光した紫外線が用いられることにより、ガラス基板
２１と樹脂膜２３との間で液晶分子が９０°ねじれたＴ
Ｎ型液晶表示装置が構成されている。

【０１２４】次に、上記液晶表示装置の製造方法につい
て説明する。

【０１２５】（１） 図２（ａ）に示すように、ガラス
基板２１上に、薄膜トランジスタアレイ２５および画素
電極２６を形成する。

【０１２６】（２） 図２（ｂ）に示すように、配向膜
用ポリイミド樹脂をスピナーを用いて１００ｎｍ程度の
膜厚で塗布し、２５０度℃で２０分程度加熱硬化させた
後、所定の方向にラビングして配向膜２７を形成する。

【０１２７】（３） 図２（ｃ）に示すように、配向膜
２７の表面全面に渡って、スピナーを用いて液晶分散プ
レポリマー３１を６μｍ程度の膜厚に塗布する。上記液
晶分散プレポリマー３１は、具体的には、感光性プレポ
リマーである光重合性モノマーまたはオリゴマーと、光
重合性モノマーまたはオリゴマーの反応性を向上させる
重合開始剤または増感剤と、ネマティック液晶とを混合
したものである。より具体的には、例えば、（ａ）多官
能ポリエステルアクリレート（大日本インキ（株）
製）：２０％、（ｂ）イルガキュアー６５１（チバガイ
ギー社製）：２％、（ベンゾイル系の２，２−ジメトキ
シ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン）（ｃ）トラ
ン系ネマティック液晶（ＫＴ４５０：大日本インキ
（株）製）：７８％を混合したものである。なお、液晶
分散プレポリマー３１の材料や混合割合は、上記のもの
に限るものではない。例えば、多官能ポリエステルアク
リレートの混合割合は、形成する樹脂膜２３の膜厚等に
応じて設定すればよい。また、混合割合等によっては、
必ずしも液晶が混合体中に分散した状態にならなくて
も、均質な混合体であればよい。

【０１２８】ここで、上記液晶分散プレポリマー３１
は、例えば図４に示すような可視・紫外分光吸収特性
（吸光特性）を示す。同図に示すように、液晶分散プレ
ポリマー３１は、約３００ｎｍ以下の波長の光に対して
吸光度が極めて大きい吸収領域を有する。なお、同図に
おいて、実線および破線は、それぞれ重合前後の吸光特
性を示す。

【０１２９】（４） 次に、図２（ｄ）に示すように、
液晶分散プレポリマー３１の全面にわたって、波長が２
５４ｎｍ、強度が０．５ｍＷ／ｃｍ² の第１の光で、３
００ｍＪ／ｃｍ² 程度露光して、液晶分散プレポリマー
３１の表面付近で、液晶分散プレポリマー３１中のポリ
エステルアクリレートを５０％程度だけ重合硬化させ
て、膜厚が約０．５μｍの第１の樹脂膜２３ａを形成す
る。

【０１３０】ここで、上記第１の光の波長（２５４ｎ
ｍ）は、多官能ポリエステルアクリレート系の物質の吸
光特性における吸収領域端より短波長側に位置し、第１
の光は液晶分散プレポリマー３１をほとんど透過せず、
その表面付近で吸収される。また、第１の光は強度が非
常に弱い（相反則不軌の条件）ため、液晶分散プレポリ
マー３１の表面付近において、液晶分散プレポリマー３
１中のポリエステルアクリレートが相分離して析出し、
重合硬化して固定され、上記のように第１の樹脂膜２３
ａが形成される。

【０１３１】（５） 次に、支持部材２２を形成する位
置に対応した格子状の５μｍ程度のギャップ５１ａを有
するフォトマスク５１を、図３（ｅ）に示すように、液
晶分散プレポリマー３１に重ねて位置合わせし、圧着し
て液晶分散プレポリマー３１の膜厚を均一にした状態
で、波長が３６５ｎｍで、十分大きな強度（相反則の条
件）の第２の光で露光して、上記フォトマスク５１のギ
ャップ５１ａの位置に支持部材２２を形成する。

【０１３２】上記第２の光の波長（３６５ｎｍ）は、重
合開始剤（２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエ
タン−１−オン）の吸光特性における吸収ピーク波長
（３３５ｎｍ）より長波長領域に位置し、第２の光は液
晶分散プレポリマー３１を透過しやすいため、液晶分散
プレポリマー３１中のポリエステルアクリレートは、そ
の厚さ方向に渡って、すなわち配向膜２７から第１の樹
脂膜２３ａまでの間で重合硬化し、隔壁状の支持部材２
２が形成される。また、第２の光の強度は強いため、上
記重合は比較的短時間に行われる。なお、このように短
時間に重合が行われると、支持部材２２には液晶分散プ
レポリマー３１中の液晶が分散された状態で保持される
が、特に液晶表示装置の表示動作には影響しない。

【０１３３】なお、上記格子状のギャップ５１ａを有す
るフォトマスク５１に代えて、例えば数μｍ角の複数の
開口部を有するフォトマスクを用いて、柱状の支持部材
を形成するようにしてもよい。

【０１３４】（６） さらに、図３（ｆ）に示すよう
に、偏光板５２を介して、液晶分散プレポリマー３１の
全面にわたって、波長が３１３ｎｍ、強度が０．５ｍＷ
／ｃｍ²の第３の光で、１０００ｍＪ／ｃｍ² 程度露光
して、第１の樹脂膜２３ａのガラス基板２１側に、膜厚
が約０．７μｍの第２の樹脂膜２３ｂを形成するととも
に、液晶分散プレポリマー３１中に残った液晶によって
液晶層２４を形成する。

【０１３５】上記第３の光の波長（３１３ｎｍ）は、重
合開始剤の吸光特性における吸収ピーク波長と前記ポリ
エステルアクリレート系の光重合性物質の吸光特性にお
ける吸収領域端との間に位置し、第３の光は、第１の樹
脂膜２３ａ（重合硬化したポリエステルアクリレート）
を比較的よく透過する一方、液晶分散プレポリマー３１
（未硬化のポリエステルアクリレート）はあまり透過し
ないため、液晶分散プレポリマー３１の表面付近で吸収
される。また、第３の光は第１の光と同様に強度が非常
に弱い（相反則不軌の条件）ため、液晶分散プレポリマ
ー３１中のポリエステルアクリレートは、相分離して第
１の樹脂膜２３ａの下面付近に析出し、重合硬化して、
上記のように第２の樹脂膜２３ｂが形成される。また、
液晶層２４は、液晶分散プレポリマー３１中のポリエス
テルアクリレートが全て析出することによって、配向膜
２７と第２の樹脂膜２３ｂとの間に比較的純度の高い液
晶が封止された状態になる。

【０１３６】ここで、上記露光が偏光板５２を介して行
われることにより、ポリエステルアクリレートは分子が
方向性をもって重合するため、第２の樹脂膜２３ｂは、
その表面付近の液晶分子を偏光板５２の偏光方向に配向
させる配向膜としての機能を有するようになる。そこ
で、偏光板５２の偏光方向を前記配向膜２７のラビング
方向と例えば９０°の角度をなす方向に設定することに
より、配向膜２７と樹脂膜２３との間で、液晶分子の配
向方向が９０°ねじれたＴＮ型液晶セル構造が形成され
る。

【０１３７】なお、上記のように、重合硬化後に所定の
波長の光の透過率が大きくなるプレポリマーを用いる場
合には、第２の樹脂膜２３ｂの形成を特に効率よく行う
ことができるが、重合前後で透過率があまり変化しない
材料を用いる場合でも、上記第３の光として、ある程
度、第１の樹脂膜２３ａを透過し得る波長の光を照射す
るようにすれば、同様に第２の樹脂膜２３ｂを形成する
ことはできる。

【０１３８】（７） 次に、図３（ｇ）に示すように、
樹脂膜２３上にＩＴＯの透明導電膜（シート抵抗１００
〜５０オーム／□）を蒸着して対向電極２８を形成し、
さらに、公知の手法によって対向電極２８上に赤緑青の
カラーモザイクフィルタ２９を形成する。なお、樹脂膜
２３上にカラーモザイクフィルタ２９を形成し、カラー
モザイクフィルタ２９上に対向電極２８を形成するよう
にしてもよい。

【０１３９】（８） この状態で、ガラス基板２１、お
よびカラーモザイクフィルタ２９の外方側に偏光板３
０，３０を設けることにより、図１に示す液晶表示装置
が得られる。

【０１４０】なお、上記のような第２の樹脂膜２３ｂ
は、必ずしも形成しなくてもよいが、これを形成するこ
とにより、液晶分散プレポリマー３１中に残存している
ポリエステルアクリレートを析出させて、液晶層２４に
おける液晶の純度を高くすることが容易にできる。

【０１４１】また、先に支持部材２２を形成した後に、
樹脂膜を形成するようにしてもよいが、通常、上記のよ
うに先に樹脂膜を形成する方が、樹脂膜の凹凸を小さく
抑えることが容易である。また、上記（４）（５）の工
程を逆の順序で行う場合、（５）の工程のマスク合わせ
は、プロキシミティー露光、または投影露光を行う必要
がある。

【０１４２】また、支持部材２２は、上記のように液晶
分散プレポリマー３１中のポリエステルアクリレートを
重合硬化させて形成するのに代えて、液晶分散プレポリ
マー３１の塗布前に、あらかじめ、公知の印刷や、リソ
グラフィ、レジストの露光および現像などによって形成
するなどしてもよい。なお、この場合には、もちろん
（５）の工程は不要となる。

【０１４３】さらに、他のスペーサなどによって液晶層
２４の厚さが一定に保たれる場合などには、必ずしも上
記のようにして支持部材２２を形成しなくてもよい。

【０１４４】また、液晶分散プレポリマー３１の露光前
に、または露光に代えて、液晶分散プレポリマー３１の
表面にアミン系活性化剤など、プレポリマーの重合を促
進する物質を接触させて、樹脂膜を形成するようにして
もよい。

【０１４５】また、ＴＮモードではなく、ホメオトロピ
ック配向モードの液晶表示装置を構成する場合などに
は、上記第２の樹脂膜２３ｂを形成する際に、偏光によ
る露光を行わなくてもよい。

【０１４６】（実施の形態２）上記実施の形態１では、
透過型のＴＮ型液晶表示装置を構成した例を示したが、
これに限らず、例えば図５に示すように、樹脂膜２３上
にカラーモザイクフィルタ２９を形成した後、カラーモ
ザイクフィルタ２９の上に、対向電極として、金属アル
ミニウムを主成分とした（例えばアルミニウムが９８
％、シリコンが２％）、膜厚が１μｍ程度の反射膜４１
を蒸着して形成することにより、反射型のＴＮ型液晶表
示装置を構成することができる。また、反射型のＴＮ型
液晶表示装置を構成するためには、画素電極２６として
反射膜を用いたり、ガラス基板２１の外方側に反射膜を
形成したりしてもよい。

【０１４７】（実施の形態３）図６に示すように、ガラ
ス基板２１上に画素電極４２と共通電極（対向電極）４
３とを設けて、透過型のインプレーンスイッチング（Ｉ
ＰＳ）型液晶表示装置を構成してもよい。この場合に
は、必ずしも前記のように偏光の露光によって第２の樹
脂膜２３ｂに配向機能を持たせる必要はないが、配向機
能を持たせることによって、液晶分子の配向安定性に優
れたＩＰＳ型の液晶表示装置を得ることができる。ま
た、液晶分子の配向は画素電極４２と共通電極４３との
間に形成される電界によって制御されるので、前記のよ
うに樹脂膜２３の表面に対向電極２８を設ける必要はな
いが、対向電極２８と同様の、シート抵抗が１００〜５
０オーム／□程度の透明電極４４をカラーモザイクフィ
ルタ２９上または樹脂膜２３上などに蒸着等により形成
すれば、樹脂膜２３が薄くても、液晶分子の配向が静電
気の影響を受けにくく、配向安定性に優れたＩＰＳ型の
液晶表示装置が得られる。

【０１４８】（実施の形態４）実施の形態３の透明電極
４４に代えて、図７に示すように、実施の形態２と同様
の反射膜４１を設ければ、反射型のＩＰＳ型液晶表示装
置を構成することができる。

【０１４９】なお、上記実施の形態１〜４においては、
ＴＦＴによって駆動される液晶表示装置の例を示した
が、これに限らず、走査信号線と画像信号線とを液晶層
２４の両側、すなわちガラス基板２１上と樹脂膜２３上
とに設けて、単純マトリクス駆動される液晶表示装置を
構成してもよい。また、カラーモザイクフィルタ２９を
設けず、モノクロの液晶表示装置を構成してもよい。

【０１５０】（実施の形態５）基板全面にわたって液晶
の配向が均一に制御され、調光機能を有するブラインド
ガラスや、液晶シャッターなどに適用される液晶装置に
ついて説明する。

【０１５１】この液晶装置は、図８に示すように、１対
のガラス基板２１，６１の間に、ガラス基板２１の全面
にわたる制御電極６２、配向膜２７、液晶層２４、前記
実施の形態１と同様にして形成された樹脂膜２３、およ
び対向電極２８が設けられて構成されている。一方、実
施の形態１のような支持部材２２は設けられていない
が、ガラス基板２１，６１の図示しない周辺部におい
て、シール部材によって液晶が封止されるとともに、ガ
ラス基板２１，６１の間隔が一定に保たれるようになっ
ている。

【０１５２】次に、上記のような液晶装置の製造方法に
ついて説明する。

【０１５３】（１１） 実施の形態１における画素電極
２６の形成と同様の工程により、ガラス基板２１上に、
全面にわたってＩＴＯ膜から成る制御電極６２を形成す
る。

【０１５４】（１２） 実施の形態１の（２）と同様に
して、配向膜２７を形成する。

【０１５５】（１３） 実施の形態１の（３）と同様に
して、配向膜２７の表面に液晶分散プレポリマー３１を
塗布する。

【０１５６】（１４） 実施の形態１の（４）と同様に
して、波長が２５４ｎｍ、強度が０．５ｍＷ／ｃｍ² の
第１の光で、液晶分散プレポリマー３１を３００ｍＪ／
ｃｍ²程度露光して、第１の樹脂膜２３ａを形成する。

【０１５７】（１５） 実施の形態１の（６）と同様に
して、波長が３１３ｎｍ、強度が０．５ｍＷ／ｃｍ² の
第３の光で、液晶分散プレポリマー３１を１０００ｍＪ
／ｃｍ ² 程度露光して、第２の樹脂膜２３ｂを形成する
とともに、液晶分散プレポリマー３１中に残った液晶に
よって液晶層２４を形成する。このように、液晶を注入
することなく液晶層２４を形成することができるので、
特にブラインドガラスのような大面積の液晶装置などで
も、容易に製造することができる。

【０１５８】（１６） 実施の形態１の（７）と同様に
して、対向電極２８を形成する。

【０１５９】（１７） 対向電極２８上にガラス基板６
１を貼り合わせる。

【０１６０】（１８）ガラス基板２１，６１の両側に偏
光板３０，３０を設けることにより、図８に示す液晶装
置が得られる。

【０１６１】なお、本実施の形態５においても、実施の
形態１と同様に支持部材２２を設けてもよい。この場合
には、ガラス基板６１を設けなくても、液晶層２４の厚
さを一定に保つことが容易にできる。

【０１６２】また、ガラス基板６１に代えて保護膜や樹
脂基板を設けたり、樹脂膜２３を十分な強度および剛性
を有する厚さに形成したりしてもよい。

【０１６３】また、液晶の配向を電界によって制御する
のではなく、光や温度などによって制御する場合には、
制御電極６２および対向電極２８を設ける必要はない。

【０１６４】

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。

【０１６５】すなわち、感光性プレポリマーと液晶とを
含む混合体膜を露光し、混合体膜中の感光性プレポリマ
ーを析出させ、重合硬化させて、混合体膜の表面に樹脂
膜を形成するとともに、基板と樹脂膜との間に、感光性
プレポリマーが析出して残った液晶によって液晶層を形
成することにより、液晶注入工程を必要とすることなく
液晶層を形成することができ、製造工程の簡略化および
製造コストの低減を図ることができるとともに、１枚の
基板と樹脂膜との間に液晶が封止されるので、１対の基
板の間に液晶が封止された液晶装置や液晶表示装置に比
べて、軽量化を容易に図ることができるという効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態１の透過型のＴＮ型液晶表示装置の
構成を示す縦断面図である。

【図２】実施の形態１の液晶表示装置の製造工程を示す
説明図である。

【図３】実施の形態１の液晶表示装置の製造工程を示す
説明図である。

【図４】実施の形態１の液晶分散プレポリマーの可視・
紫外分光吸収特性を示すグラフである。

【図５】実施の形態２の反射型のＴＮ型液晶表示装置の
構成を示す縦断面図である。

【図６】実施の形態３の透過型のＩＰＳ型液晶表示装置
の構成を示す縦断面図である。

【図７】実施の形態４の反射型のＩＰＳ型液晶表示装置
の構成を示す縦断面図である。

【図８】実施の形態５の液晶装置の構成を示す縦断面図
である。

【符号の説明】

２１，６１ ガラス基板 ２２ 支持部材 ２３ 樹脂膜 ２３ａ 第１の樹脂膜 ２３ｂ 第２の樹脂膜 ２４ 液晶層 ２５ 薄膜トランジスタアレイ ２６ 画素電極 ２７ 配向膜 ２８ 対向電極 ２９ カラーモザイクフィルタ ３０ 偏光板 ３１ 液晶分散プレポリマー ４１ 反射膜 ４２ 画素電極 ４３ 共通電極（対向電極） ４４ 透明電極 ５１ フォトマスク ５１ａ ギャップ ５２ 偏光板 ６１ ガラス基板 ６２ 制御電極

Claims (71)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも、画素電極、上記画素電極に接
   続されたスイッチング素子、および配向膜が形成された
   基板と、 感光性プレポリマーが露光により重合硬化して形成され
   た樹脂膜と、 上記基板と上記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有
   することを特徴とする液晶表示装置。
2. 【請求項２】請求項１の液晶表示装置であって、さら
   に、 上記基板と上記樹脂膜との間に、感光性プレポリマーが
   露光により重合硬化して形成された支持部材が設けられ
   ていることを特徴とする液晶表示装置。
3. 【請求項３】請求項１または請求項２の液晶表示装置で
   あって、 上記樹脂膜は、アクリレート系の物質を含むことを特徴
   とする液晶表示装置。
4. 【請求項４】請求項１または請求項２の液晶表示装置で
   あって、 上記液晶層は、ネマティック液晶を含むことを特徴とす
   る液晶表示装置。
5. 【請求項５】請求項４の液晶表示装置であって、 上記液晶は、トラン系ネマティック液晶を含むことを特
   徴とする液晶表示装置。
6. 【請求項６】請求項１または請求項２の液晶表示装置で
   あって、 上記樹脂膜は、感光性プレポリマーが、偏光の露光によ
   り、分子が方向性を有するように重合硬化して形成され
   るとともに、 上記樹脂膜の上記液晶層と反対側に対向電極が形成され
   ていることを特徴とする液晶表示装置。
7. 【請求項７】請求項６の液晶表示装置であって、さら
   に、 上記樹脂膜の上記液晶層と反対側に、カラーフィルタが
   設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
8. 【請求項８】請求項７の液晶表示装置であって、 上記対向電極は、透明導電膜から形成されるとともに、 上記対向電極は、上記樹脂膜と上記カラーフィルタとの
   間、または上記カラーフィルタの上記樹脂膜と反対側に
   設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
9. 【請求項９】請求項７の液晶表示装置であって、 上記対向電極は、光を反射する材料から形成されるとと
   もに、 上記カラーフィルタは、上記樹脂膜と上記対向電極との
   間に設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
10. 【請求項１０】請求項１または請求項２の液晶表示装置
    であって、 上記基板には、さらに、共通電極が形成されていること
    を特徴とする液晶表示装置。
11. 【請求項１１】請求項１０の液晶表示装置であって、 上記樹脂膜は、感光性プレポリマーが、偏光の露光によ
    り、分子が方向性を有するように重合硬化して形成され
    ていることを特徴とする液晶表示装置。
12. 【請求項１２】請求項１０の液晶表示装置であって、さ
    らに、 上記樹脂膜の上記液晶層と反対側に、カラーフィルタが
    設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
13. 【請求項１３】請求項１２の液晶表示装置であって、さ
    らに、 上記樹脂膜と上記カラーフィルタとの間、または上記カ
    ラーフィルタの上記樹脂膜と反対側に、透明導電膜から
    形成された電極が設けられていることを特徴とする液晶
    表示装置。
14. 【請求項１４】請求項１２の液晶表示装置であって、さ
    らに、 上記カラーフィルタの上記樹脂膜と反対側に、光を反射
    する材料から形成された電極が設けられていることを特
    徴とする液晶表示装置。
15. 【請求項１５】画素電極、上記画素電極に接続されたス
    イッチング素子、および配向膜が形成された基板と、 感光性プレポリマーが露光により重合硬化して形成され
    た樹脂膜と、 上記基板と上記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有
    する液晶表示装置の製造方法であって、少なくとも、 上記基板上に、上記画素電極、上記スイッチング素子、
    および上記配向膜を形成する工程と、 上記基板上に、感光性プレポリマーと液晶とを含む混合
    体膜を形成する工程と、 上記混合体膜を上記基板と反対側から第１の波長の光で
    露光し、上記混合体膜中の感光性プレポリマーを析出さ
    せ、重合硬化させて、上記混合体膜の表面に樹脂膜を形
    成する樹脂膜形成工程とを有することを特徴とする液晶
    表示装置の製造方法。
16. 【請求項１６】請求項１５の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜中の所定の量の感
    光性プレポリマーを析出させて樹脂膜を形成するととも
    に、 さらに、上記混合体膜における所定の領域を第２の波長
    の光で選択的に露光し、上記混合体膜中に残っている感
    光性プレポリマーを重合硬化させて、上記領域における
    上記基板と上記樹脂膜との間に支持部材を形成する支持
    部材形成工程を有することを特徴とする液晶表示装置の
    製造方法。
17. 【請求項１７】請求項１６の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記支持部材形成工程は、上記混合体膜中に残っている
    所定の量の感光性プレポリマーを析出させて支持部材を
    形成するとともに、 さらに、上記混合体膜を上記樹脂膜側から第３の波長の
    光で露光し、上記混合体膜中に残っている感光性プレポ
    リマーを析出させ、重合硬化させて、上記樹脂膜の上記
    基板側に内面側樹脂膜を形成する内面側樹脂膜形成工程
    を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
18. 【請求項１８】請求項１５ないし請求項１７の液晶表示
    装置の製造方法であって、 上記感光性プレポリマーは、光重合性モノマーまたはオ
    リゴマーを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方
    法。
19. 【請求項１９】請求項１８の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記光重合性モノマーまたはオリゴマーは、アクリレー
    ト系の物質を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造
    方法。
20. 【請求項２０】請求項１５ないし請求項１７の液晶表示
    装置の製造方法であって、 上記液晶は、ネマティック液晶を含むことを特徴とする
    液晶表示装置の製造方法。
21. 【請求項２１】請求項２０の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記液晶は、トラン系ネマティック液晶を含むことを特
    徴とする液晶表示装置の製造方法。
22. 【請求項２２】請求項１５ないし請求項１７の液晶表示
    装置の製造方法であって、 上記混合体膜は、さらに、感光性プレポリマーの重合開
    始剤、または増感剤を含むことを特徴とする液晶表示装
    置の製造方法。
23. 【請求項２３】請求項２２の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記重合開始剤または増感剤は、ベンゾイル系の物質を
    含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
24. 【請求項２４】請求項２３の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記重合開始剤または増感剤は、２，２−ジメトキシ−
    １，２−ジフェニルエタン−１−オンを含むことを特徴
    とする液晶表示装置の製造方法。
25. 【請求項２５】請求項１５ないし請求項１７の液晶表示
    装置の製造方法であって、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条
    件で上記第１の波長の光で露光することにより行うこと
    を特徴とする液晶表示装置の製造方法。
26. 【請求項２６】請求項１５ないし請求項１７の液晶表示
    装置の製造方法であって、 上記第１の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
    吸光特性における吸収領域の波長の光を用いることを特
    徴とする液晶表示装置の製造方法。
27. 【請求項２７】請求項２６の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記感光性プレポリマーは、ポリエステルアクリレート
    系の物質を含むとともに、 上記第１の波長の光は、波長が２５４ｎｍの遠紫外線で
    あることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
28. 【請求項２８】請求項１６または請求項１７の液晶表示
    装置の製造方法であって、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条
    件で上記第１の波長の光で露光することにより行い、 上記支持部材形成工程は、上記混合体膜を相反則の条件
    で上記第２の波長の光で露光することにより行うことを
    特徴とする液晶表示装置の製造方法。
29. 【請求項２９】請求項１６または請求項１７の液晶表示
    装置の製造方法であって、 上記第２の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
    吸光度が上記第１の波長の光よりも小さい波長の光を用
    いることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
30. 【請求項３０】請求項１７の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条
    件で上記第１の波長の光で露光することにより行い、 上記支持部材形成工程は、上記混合体膜を相反則の条件
    で上記第２の波長の光で露光することにより行い、 上記内面側樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不
    軌の条件で上記第３の波長の光で露光することにより行
    うことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
31. 【請求項３１】請求項１７の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記第３の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
    吸光度が、上記第１の波長の光よりも小さく、かつ、上
    記第２の波長の光よりも大きい波長の光を用いることを
    特徴とする液晶表示装置の製造方法。
32. 【請求項３２】請求項１７の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記混合体膜は、さらに、感光性プレポリマーの重合開
    始剤、または増感剤を含むとともに、 上記第１の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
    吸光特性における吸収領域端の波長より短波長の光を用
    い、相反則不軌の条件で上記混合体膜を露光し、 上記第２の波長の光として、上記重合開始剤、または増
    感剤の吸光特性における吸収ピーク波長より長波長の光
    を用い、相反則の条件で上記混合体膜を露光し、 上記第３の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
    吸光特性における吸収領域端の波長と、上記重合開始
    剤、または増感剤の吸光特性における吸収ピーク波長と
    の間の波長の光を用い、相反則不軌の条件で上記混合体
    膜を露光することを特徴とする液晶表示装置の製造方
    法。
33. 【請求項３３】請求項３２の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記感光性プレポリマーは、ポリエステルアクリレート
    系の物質を含み、 上記液晶は、トラン系ネマティック液晶を含み、 上記混合体膜は、さらに、２，２−ジメトキシ−１，２
    −ジフェニルエタン−１−オンを含むとともに、 上記第１の波長の光に、波長が２５４ｎｍの遠紫外線を
    用い、 上記第２の波長の光に、波長が３６５ｎｍの紫外線を用
    い、 上記第３の波長の光に、波長が３１３ｎｍの紫外線を用
    いることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
34. 【請求項３４】請求項１５ないし請求項１７の液晶表示
    装置の製造方法であって、さらに、 上記樹脂膜の上記液晶層と反対側に対向電極を形成する
    対向電極形成工程を有することを特徴とする液晶表示装
    置の製造方法。
35. 【請求項３５】請求項３４の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記内面側樹脂膜形成工程における第３の波長の光によ
    る露光が、偏光板を介して行われることを特徴とする液
    晶表示装置の製造方法。
36. 【請求項３６】請求項３４の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記対向電極形成工程は、上記樹脂膜の上記液晶層と反
    対側に透明導電膜を形成することにより、上記対向電極
    を形成する工程であるとともに、 さらに、上記対向電極形成工程の前または後に、上記樹
    脂膜上または上記対向電極上に、カラーフィルタを形成
    する工程を有することを特徴とする液晶表示装置の製造
    方法。
37. 【請求項３７】請求項３４の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記対向電極形成工程は、上記樹脂膜の上記液晶層と反
    対側に光の反射膜を形成することにより、上記対向電極
    を形成する工程であるとともに、 さらに、上記対向電極形成工程の前に、上記樹脂膜上に
    カラーフィルタを形成する工程を有することを特徴とす
    る液晶表示装置の製造方法。
38. 【請求項３８】請求項１５ないし請求項１７の液晶表示
    装置の製造方法であって、さらに、 上記基板に共通電極を形成する工程を有することを特徴
    とする液晶表示装置の製造方法。
39. 【請求項３９】請求項３８の液晶表示装置の製造方法で
    あって、 上記内面側樹脂膜形成工程における第３の波長の光によ
    る露光が、偏光板を介して行われることを特徴とする液
    晶表示装置の製造方法。
40. 【請求項４０】請求項３８の液晶表示装置の製造方法で
    あって、さらに、 上記封止膜上にカラーフィルタを形成するカラーフィル
    タ形成工程を有することを特徴とする液晶表示装置の製
    造方法。
41. 【請求項４１】請求項４０の液晶表示装置の製造方法で
    あって、さらに、 上記カラーフィルタ形成工程の前または後に、上記樹脂
    膜上または上記カラーフィルタ上に、透明電極を形成す
    る工程を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方
    法。
42. 【請求項４２】請求項４０の液晶表示装置の製造方法で
    あって、さらに、 上記カラーフィルタ上に導電性の光反射膜を形成する工
    程を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
43. 【請求項４３】画像信号電極と走査電極とのうちの何れ
    か一方、および配向膜が形成された基板と、 感光性プレポリマーが露光により重合硬化して形成さ
    れ、上記画像信号電極と走査電極とのうちの他方が形成
    された樹脂膜と、 上記基板と上記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有
    することを特徴とする液晶表示装置。
44. 【請求項４４】請求項４３の液晶表示装置であって、さ
    らに、 上記第２の電極の上記樹脂膜側、または上記樹脂膜と反
    対側にカラーフィルタが設けられていることを特徴とす
    る液晶表示装置。
45. 【請求項４５】配向膜が形成された基板と、 感光性プレポリマーが露光により重合硬化して形成され
    た樹脂膜と、 上記基板と上記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有
    することを特徴とする液晶装置。
46. 【請求項４６】請求項４５の液晶装置であって、さら
    に、 上記基板と上記樹脂膜との間に、感光性プレポリマーが
    露光により重合硬化して形成された支持部材が設けられ
    ていることを特徴とする液晶装置。
47. 【請求項４７】請求項４５の液晶装置であって、さら
    に、 上記基板、および上記樹脂膜に、それぞれ透明電極が形
    成されていることを特徴とする液晶装置。
48. 【請求項４８】請求項４５ないし請求項４７の液晶装置
    であって、 上記樹脂膜は、感光性プレポリマーが、偏光の露光によ
    り、分子が方向性を有するように重合硬化して形成され
    ていることを特徴とする液晶装置。
49. 【請求項４９】請求項４５ないし請求項４７の液晶装置
    であって、 上記樹脂膜は、アクリレート系の物質を含むことを特徴
    とする液晶装置。
50. 【請求項５０】請求項４５ないし請求項４７の液晶装置
    であって、 上記液晶層は、ネマティック液晶を含むことを特徴とす
    る液晶装置。
51. 【請求項５１】請求項５０の液晶装置であって、 上記液晶は、トラン系ネマティック液晶を含むことを特
    徴とする液晶装置。
52. 【請求項５２】配向膜が形成された基板と、 感光性プレポリマーが露光により重合硬化して形成され
    た樹脂膜と、 上記基板と上記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有
    する液晶装置の製造方法であって、少なくとも、 上記配向膜が形成された上記基板上に、感光性プレポリ
    マーと液晶とを含む混合体膜を形成する工程と、 上記混合体膜を上記基板と反対側から第１の波長の光で
    露光し、上記混合体膜中の感光性プレポリマーを露光面
    側に析出させ、重合硬化させて、上記混合体膜の表面に
    樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程とを有することを特徴
    とする液晶装置の製造方法。
53. 【請求項５３】請求項５２の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜中の所定の量の感
    光性プレポリマーを析出させて樹脂膜を形成するととも
    に、 さらに、上記混合体膜における所定の領域を第２の波長
    の光で選択的に露光し、上記混合体膜中に残っている感
    光性プレポリマーを重合硬化させて、上記領域における
    上記基板と上記樹脂膜との間に支持部材を形成する支持
    部材形成工程を有することを特徴とする液晶装置の製造
    方法。
54. 【請求項５４】請求項５３の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記支持部材形成工程は、上記混合体膜中に残っている
    所定の量の感光性プレポリマーを析出させて支持部材を
    形成するとともに、 さらに、上記混合体膜を上記樹脂膜側から第３の波長の
    光で露光し、上記混合体膜中に残っている感光性プレポ
    リマーを析出させ、重合硬化させて、上記樹脂膜の上記
    基板側に内面側樹脂膜を形成する内面側樹脂膜形成工程
    を有することを特徴とする液晶装置の製造方法。
55. 【請求項５５】請求項５２ないし請求項５４の液晶装置
    の製造方法であって、 上記感光性プレポリマーは、光重合性モノマーまたはオ
    リゴマーを含むことを特徴とする液晶装置の製造方法。
56. 【請求項５６】請求項５５の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記光重合性モノマーまたはオリゴマーは、アクリレー
    ト系の物質を含むことを特徴とする液晶装置の製造方
    法。
57. 【請求項５７】請求項５２ないし請求項５４の液晶装置
    の製造方法であって、 上記液晶は、ネマティック液晶を含むことを特徴とする
    液晶装置の製造方法。
58. 【請求項５８】請求項５７の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記液晶は、トラン系ネマティック液晶を含むことを特
    徴とする液晶装置の製造方法。
59. 【請求項５９】請求項５２ないし請求項５４の液晶装置
    の製造方法であって、 上記混合体膜は、さらに、感光性プレポリマーの重合開
    始剤、または増感剤を含むことを特徴とする液晶装置の
    製造方法。
60. 【請求項６０】請求項５９の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記重合開始剤または増感剤は、ベンゾイル系の物質を
    含むことを特徴とする液晶装置の製造方法。
61. 【請求項６１】請求項６０の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記重合開始剤または増感剤は、２，２−ジメトキシ−
    １，２−ジフェニルエタン−１−オンを含むことを特徴
    とする液晶装置の製造方法。
62. 【請求項６２】請求項５２ないし請求項５４の液晶装置
    の製造方法であって、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条
    件で上記第１の波長の光で露光することにより行うこと
    を特徴とする液晶装置の製造方法。
63. 【請求項６３】請求項５２ないし請求項５４の液晶装置
    の製造方法であって、 上記第１の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
    吸光特性における吸収領域の波長の光を用いることを特
    徴とする液晶装置の製造方法。
64. 【請求項６４】請求項６３の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記感光性プレポリマーは、ポリエステルアクリレート
    系の物質を含むとともに、 上記第１の波長の光は、波長が２５４ｎｍの遠紫外線で
    あることを特徴とする液晶装置の製造方法。
65. 【請求項６５】請求項５３または請求項５４の液晶装置
    の製造方法であって、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条
    件で上記第１の波長の光で露光することにより行い、 上記支持部材形成工程は、上記混合体膜を相反則の条件
    で上記第２の波長の光で露光することにより行うことを
    特徴とする液晶装置の製造方法。
66. 【請求項６６】請求項５３または請求項５４の液晶装置
    の製造方法であって、 上記第２の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
    吸光度が上記第１の波長の光よりも小さい波長の光を用
    いることを特徴とする液晶装置の製造方法。
67. 【請求項６７】請求項５４の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条
    件で上記第１の波長の光で露光することにより行い、 上記支持部材形成工程は、上記混合体膜を相反則の条件
    で上記第２の波長の光で露光することにより行い、 上記内面側樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不
    軌の条件で上記第３の波長の光で露光することにより行
    うことを特徴とする液晶装置の製造方法。
68. 【請求項６８】請求項５４の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記第３の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
    吸光度が、上記第１の波長の光よりも小さく、かつ、上
    記第２の波長の光よりも大きい波長の光を用いることを
    特徴とする液晶装置の製造方法。
69. 【請求項６９】請求項５４の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記混合体膜は、さらに、感光性プレポリマーの重合開
    始剤、または増感剤を含むとともに、 上記第１の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
    吸光特性における吸収領域端の波長より短波長の光を用
    い、相反則不軌の条件で上記混合体膜を露光し、 上記第２の波長の光として、上記重合開始剤、または増
    感剤の吸光特性における吸収ピーク波長より長波長の光
    を用い、相反則の条件で上記混合体膜を露光し、 上記第３の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
    吸光特性における吸収領域端の波長と、上記重合開始
    剤、または増感剤の吸光特性における吸収ピーク波長と
    の間の波長の光を用い、相反則不軌の条件で上記混合体
    膜を露光することを特徴とする液晶装置の製造方法。
70. 【請求項７０】請求項６９の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記感光性プレポリマーは、ポリエステルアクリレート
    系の物質を含み、 上記液晶は、トラン系ネマティック液晶を含み、 上記混合体膜は、さらに、２，２−ジメトキシ−１，２
    −ジフェニルエタン−１−オンを含むとともに、 上記第１の波長の光に、波長が２５４ｎｍの遠紫外線を
    用い、 上記第２の波長の光に、波長が３６５ｎｍの紫外線を用
    い、 上記第３の波長の光に、波長が３１３ｎｍの紫外線を用
    いることを特徴とする液晶装置の製造方法。
71. 【請求項７１】請求項５４の液晶装置の製造方法であっ
    て、 上記内面側樹脂膜形成工程における上記第３の波長の光
    による露光が、偏光板を介して行われることを特徴とす
    る液晶装置の製造方法。